【課題】圧電素子をウエハから容易に無駄なく形成することができ、ｘ方向とｙ方向とで感度が異ならない力センサーを提供する。
【解決手段】圧電素子の外周形状は、少なくとも４つの辺を有し、４つの辺のうちの第１辺と第２辺とは互いに平行で、残りの第３辺と第４辺とも互いに平行で、第１辺と第２辺との間隔と、第３辺と第４辺との間隔とは等しく、更に、第１辺の延長線と第３辺の延長線とは直交する形状に形成されている。こうすれば、同一のウエハから切断したものを、ｘ方向用圧電素子あるいはｙ方向用圧電素子として共通して使用することができるので、ｘ方向とｙ方向の感度を揃えことができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物との間隔を一定に保って、測定対象物から受ける力を高精度に測定することができる力測定装置を提供する。
【解決手段】固定点と、変位を検出する検出点２０と、力が作用する作用点３０とを有し、作用点３０に作用する力を検出点２０の変位に変換して検出する力測定装置であって、固定点と検出点２０との間を支持する第１の支持機構４１と、検出点２０と作用点３０との間を支持する第２の支持機構５１と、を有し、第１の支持機構４１及び第２の支持機構５１の少なくとも一方が、アクチュエータを備える能動型支持機構であり、作用点３０の位置が変位しないようにアクチュエータの制御が行われる。この力測定装置では、作用点３０が力を受けても変位しないため、測定対象物との間隔を一定に保って測定対象物から受ける力を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡素且つ安価な構成で小型化・薄型化が容易でありながらも汎用性の高い力検出装置を提供する。
【解決手段】力検出装置１は、静電容量検出用の固定電極３０と、固定電極３０に対向して配置される可動電極２２と、固定電極３０と可動電極２２の間において可動電極２２と略接触した状態で配置される絶縁層１０と、可動電極２２を絶縁層１０に沿って移動または回転可能に支持する支持部２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で剪断力の測定が可能な触覚センサー素子を提供すること。
【解決手段】第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを有する基板１１と、第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを覆う支持膜１２と、支持膜１２上、かつ第一の開口部１１１Ａの上方に配置された第一の検出部１３Ａと、支持膜１２上、かつ第二の開口部１１１Ｂの上方に配置された第二の検出部１３Ｂと、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂの上に配置された弾性部材１６と、を備え、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂのそれぞれは、圧電積層部１４を備え、弾性部材１６は、基板１１の厚み方向で見た平面視で、少なくとも、第一の検出部１３Ａ、第二の検出部１３Ｂ、並びに第一の検出部１３Ａと第二の検出部１３Ｂとに挟まれる領域の支持膜１２上を覆い、弾性部材１６表面は、基板１１面と平行に形成されている触覚センサー素子１０。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で剪断力の測定が可能な触覚センサー素子を提供すること。
【解決手段】開口部１１Ａ〜１１Ｄを有する基板１０と、開口部１１Ａ〜１１Ｄを覆う支持膜１２と、支持膜１２上、かつ開口部１１Ａ〜１１Ｄ上方に配置された検出部１３Ａ〜１３Ｄと、検出部１３Ａ，１３Ｂ上に配置された弾性部材１６Ａと、検出部１３Ｃ，１３Ｄ上に配置された弾性部材１６Ｂと、を備え、基板１０厚み方向で見た平面視で、開口部１１Ａの重心と開口部１１Ｂの重心とを結ぶ線分と、開口部１１Ｃの重心と開口部１１Ｄの重心とを結ぶ線分とは離間し、かつ非平行であり、弾性部材１６Ａは、前記平面視で、検出部１３Ａ，１３Ｂ、並びに検出部１３Ａ，１３Ｂとに挟まれる領域の支持膜１２の上を覆い、弾性部材１６Ｂは、前記平面視において、検出部１３Ｃ，１３Ｄ、並びに検出部１３Ｃ，１３Ｄとに挟まれる領域の支持膜１２の上を覆う触覚センサー素子２。 （もっと読む）

【課題】荷重推定に用いる補正係数を車両組付け時に設定するキャリブレ−ション作業が容易で、車輪軸受部にかかる荷重を正確に検出できるセンサ付車輪用軸受を提供する。
【解決手段】車輪用軸受は、外方部材１と内方部材２の対向し合う複列の転走面３，４間に転動体５を介在させたものである。外方部材１と内方部材２のうちの固定側部材に、３つ以上のセンサユニット２０を設ける。センサユニット２０は、固定側部材に接触して固定される２つ以上の接触固定部を有する歪み発生部材２１と、この歪み発生部材２１に取付けられて歪み発生部材２１の歪みを検出する１つ以上のセンサとでなる。荷重推定手段３２を設け、これに予め導出された各車輪位置での補正係数を登録しておく。この荷重推定手段３２により、センサユニット２０の出力と前記補正係数とで車輪に加わる荷重を推定する。 （もっと読む）

【課題】異なる方向に作用する複数の荷重やモーメントを同時に検出する多軸力検出器であって、大きく作用する荷重と小さく作用する荷重やモーメントを共に精度よく検出できる多軸力検出器を提供する。
【解決手段】荷重受け部１００と、荷重受け部の中心を交点とする互いに直交する２方向に延びた柱状感度部２００と、柱状感度部の各側面に貼着されたひずみゲージ３００と、柱状感度部と繋がる平板状のフレクシャ４００と、フレクシャと繋がる枠体５００と、から構成される多軸力検出器であって、２方向に延びた柱状感度部の断面積の一方が、他方の断面積より小さくなっている。 （もっと読む）

【課題】 回転センサの信号や車両からの車輪回転速度情報を用いずに、荷重推定演算処理を行うことができ、正確な推定荷重値が得られるセンサ付車輪用軸受を提供する。
【解決手段】 車輪用軸受の外方部材と内方部材のうちの固定側部材にセンサユニットを複数設ける。車輪用軸受に作用する荷重を、センサユニットのセンサ出力信号の平均値Ａのみを用いて演算する第１の演算処理部３５、およびセンサ出力信号の平均値Ａと振幅値Ｂとを用いて演算する第２の演算処理部３６からなる荷重推定手段３４と、センサ出力信号から車輪の回転速度を表す評価値Ｖを求める回転速度評価手段３７と、前記評価値Ｖに基づき前記２つの演算処理結果を合成して推定荷重値を出力する推定荷重出力手段３８とを設ける。推定荷重出力手段３８は、前記評価値Ｖが予め定めたしきい値Ｖthを横切ってからの経過時間に応じた比率ｒで演算処理結果の合成を行う。 （もっと読む）

【課題】 離れた距離の対象物から力センサに入力される外力を減衰することができる力検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 外力を検出する力センサと、力センサに外力を減衰させて入力する減衰機構を備えた力検出装置であって、減衰機構は、力センサの入力部に設けられた伝達部材と、一端が力センサの固定部に設けられた支持部材と、支持部材の他端に枢動可能に支持された可倒軸とを備え、可倒軸は伝達部材に屈曲可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】陽極接合の際に、陽極接合の不具合や、センサ回路の損傷が起きない力覚センサチップを提供する。
【解決手段】外力作用領域部４Ａを有する作用部４と、この作用部４を支持する支持部３と、作用部４と支持部３とを連結する連結部と、を備える半導体基板からなるベース部材２と、連結部の変形発生部に設けられた歪み検出用抵抗素子Ｓと、を備え、作用部４の表面又は作用部４が形成された面の裏面に、陽極接合する際に電流が供給される電極である陽極接合用電極８が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）