【課題】微粒子を高い濃度で含有する分散液であっても、微粒子の平均粒径やその分布の測定を、高い精度及び簡便な操作で可能とする低コヒーレンス光源を用いた光散乱強度測定方法及び動的光散乱測定装置を提供する。
【解決手段】低コヒーレンス光源を有するマッハツェンダー型又はマイケルソン型の干渉計を使用し、分散液に分散された微粒子の動的特性を測定する光散乱強度測定方法であり、前記微粒子に光を照射し、かつ、後方散乱光を集光する照射集光部を前記分散液に挿し入れて測定する光散乱強度測定方法。 （もっと読む）

【課題】被検物の屈折率分布を高精度に計測する。
【解決手段】被検物１４０の屈折率とは異なる屈折率をそれぞれ有する媒質１、２中に被検物を配置した状態で参照光を被検物に入射させ、各媒質と、媒質中の被検物の異なる複数の配置ごとに被検物の透過波面を計測し（Ｓ２０４）、各透過波面と基準透過波面との差分に相当する波面収差を求め（Ｓ２０５）、同じ位置に配置されている被検物の２つの波面収差を使用して被検物の形状誤差の影響を除去することによって被検物の屈折率分布投影値を取得し（Ｓ５０）、複数の配置に対応する複数の屈折率分布投影値から被検物の３次元の屈折率分布の情報を取得する（Ｓ７０）。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎ比を効果的に向上させる。
【解決手段】本発明の光熱変換測定装置は、所定の周波数で光強度が変化する励起光Ｌ１１を試料Ｓに照射する第１光照射部１１と、試料Ｓに測定光Ｌ２１を照射する第２光照射部１２と、試料Ｓを通った測定光Ｌ２１を検出する光検出器１３と、光検出器１３と第２光照射部１２との間の光路に設けられ、所定の偏光状態の光を光検出器１３へ向かう光路から遮断する偏光素子１４と、偏光素子１４に入射する測定光Ｌ２１の偏光状態を調整する偏光調整部１５と、励起光Ｌ１１の光強度が極小である期間に偏光調整部１５に入射した測定光Ｌ２１が所定の偏光状態になるように偏光調整部１５と第１光照射部１１とを所定の周波数で同期制御する制御部１６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ガラス製の部材やプラスチック製の部材の品質安定化のためには、屈折率の分布を高精度に測定する必要があるが、従来の測定方法では、破壊検査であったり、有毒物を使用したり、平面でしか測れないといった課題がある。
【解決手段】光センサで得られた干渉信号に基づいて、被検物なしの基準反射面と、被検物の表面と、被検物の裏面と、被検物を透過後の基準反射面および被検物の手前で集光し平行光で反射する基準反射面の少なくとも一方との、それぞれの距離を測定し、これらの測定距離に基づいて被検物の屈折率を算出する。 （もっと読む）

【課題】 平面、円筒、自由形状を含む各種形状の基板の外面および内面上に施したＤＬＣ薄膜の膜厚と屈折率を近赤外光を用いて精度良く測定することを目的とする。
【解決手段】 グラファイト成分を含むダイアモンド状カーボン薄膜が半透明な波長域の近赤外光を光源として利用することを特徴として垂直反射干渉スペクトル計測によって膜厚と屈折率の積を求める。
また、干渉測定する対象試料の同一点の屈折率を同一光源を用いて、傾斜入反射測定計で反射物質の屈折率のみで決まるブリュースター角を測定することで、屈折率を決定する。結果として、正確な膜厚が求まる。 （もっと読む）

【課題】 被検体と非接触で被検体の立体形状を測定することができるコモンパス型の測定システムを提供することを目的とする。
【解決手段】 測定システム（１００Ａ）は測定ビーム（Ｌ１）と測定ビームに対して基準となる基準ビーム（Ｌ２）とを出射する光源部１１と、被検物体に隣接して配置され、基準ビームを反射させ測定ビームを被検物体へ透過させる平板状の参照素子（１３）と、被検物体で反射された測定ビームと参照素子で反射された基準ビームとが干渉した干渉ビームを各波長に分光する分光素子（２０）と、分光素子で分光された各波長を検出する検出部（２４）と、光源部から被検物体および分光素子を介して検出部に至る測定ビームの光路長と、光源部から参照素子および分光素子を介して検出部に至る基準ビームの光路長とを揃える迂回路を有する測定光学系（１２）を備える。 （もっと読む）

【課題】長さの短い検査システムを用いつつ広い視野を確保でき、光学材料の内部状態を正確に検査できる検査方法、ならびに短時間で高品質の光学素子を製造できる光学素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る光学材料ＯＭの内部状態を検査する検査方法は、光源２１からの拡散光を光学材料ＯＭに照射し、この光学材料ＯＭを透過した透過光に基づいて光学材料ＯＭの内部状態を検査する工程を有する。また、本発明に係る光学素子の製造方法は、この検査方法を用いて光学素子の候補体である光学材料ＯＭの内部状態を検査し、この内部状態が所定基準を満たすことに基づいて、候補体から光学素子を選別する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】基板上にコーティング層が安定的にコーティングされるように基板表面に存在する異物を検知するための検査装置、その検査方法及びそれを備えるスリットコータに関する。
【解決手段】本発明は、スリット状の光を照射するスリット照明ユニット、上記スリット光を互いに異なる２つの経路に沿って進行する２つの光に分離して対象物に照射し、上記対象物から反射される２つの光が集合されて干渉像を抽出する光学系、上記干渉像を撮影して映像信号を出力する映像装置及び上記映像信号の輝度値を取得してリアルタイムで分析して異物検知可否を判断する分析ユニットを含む表面検査装置、その表面検査方法及びそれを備えるスリットコータを提供する。 （もっと読む）

【課題】被検物の屈折率分布を高精度に測定可能な屈折率分布測定システム及び屈折率分布測定方法を提供する。
【解決手段】２光束干渉計と、干渉計が取得した干渉縞像から被検物の屈折率分布を取得する信号処理装置９０と、を有する屈折率分布測定システムを提供する。干渉計は、波長の異なる２種類の波長の可干渉光を生成する光源ユニット１０と、各波長について前記干渉縞を観測するために前記２種類の波長の一つを選択するＣＰＵ１とを有する。信号処理装置９０は、被検物Ｏの屈折率分布を取得するのに一方の波長を使用し、被検物Ｏの輪郭を検出するのに他方の波長を使用する。 （もっと読む）

【課題】検出感度を高くできるバイオセンサーを提供する。
【解決手段】光導波路型バイオセンサー１０は、基板１と、クラッド２と、コア３と、開口部４とを備える。クラッド２は、基板１上に形成される。コア３は、マッハツェンダー型のコアからなり、クラッド２中に形成される。そして、コア３の一部の領域３２１は、抗体を含む。開口部４は、コア３のうち、抗体がドープされた一部の領域３２１に接してクラッド２に設けられる。その結果、一部の領域意３２１は、開口部４を介して外部に露出される。 （もっと読む）