【課題】参照ミラーを移動させる駆動機構が不要で、構成が極めて簡易でありながら、干渉信号の振幅検出を正確に行なうことのできる断層映像装置を得る。
【解決手段】干渉計装置部は、被検体231と参照ミラー242に対する光照射光学系部と、分波した信号光および参照光の２系統の導光部と、２つのヤング干渉計部と、２つの多画素撮像素子252A,Bと、両多画素撮像素子により得られた光強度分布信号の差分を求める光強度分布差分手段282とからなり、バランス検波の手法を導入し光源の揺らぎも含めたバイアス成分を相殺する。 （もっと読む）

【課題】調整やメンテナンスの負担が小さく、自ら振動を生じさせることなく外部からの振動が測定器に伝達するのを抑制することができる除振装置及びこれを備えた測定装置を提供すること。
【解決手段】設置面Ｔ上に設置される第一金属板２と、第一金属板２の上に設けられた第二金属板４と、第一金属板２と第二金属板４との間に挟持され、第一金属板２からの振動を受けて弾性変形可能な防振ゴム３と、第二金属板４上に設けられ、その上面に測定器６の少なくとも一部が載置されるとともに、第二金属板４からの振動に応じて少なくとも一部が弾性変形することにより、前記振動を吸収することが可能な除振台５とを備え、第一金属板２、防振ゴム３及び第二金属板４により吸収される振動の周波数の帯域と、前記除振台により吸収される振動の周波数の帯域とが異なるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 光ビームの波面を解析するための方法、位相格子および装置を提供すること。
【解決手段】 本発明は、光源（Ｓ）からレンズ（Ｏ_１）の焦点までの光ビーム（Ｆ）の波面を解析するための方法に関する。ビーム（Ｆ）は、解析平面（Ｐ_Ｄ）上で欠陥（Ｄ_１）を有したサンプル（ＬＡ）を照射する。平面（Ｐ_Ｃ）の回折格子（ＧＲ）は、合焦系（Ｏ_２、Ｏ_３、Ｏ_４）によって解析平面（Ｐ_Ｄ）と共役な位置に配置になる。画像が、格子平面（ＧＲ）から距離（ｄ）にある平面（Ｐ_Ｓ）中に形成され、処理手段（ＵＴ）によって解析される。本発明は、解析されるビームを光ペンシル・ビームの形で伝達する有効領域のメッシングを画定する第１の排除機能と、排除格子に隣接したメッシュから出射する２つの光ペンシル・ビーム間に、位相の対立状態を生成する第２の位相基本機能と、の２つの位相機能の合成から生じる位相機能によって、この格子（ＧＲ）をエンコードする。 （もっと読む）

【課題】隣接する細胞等の観察対象を別個の観察対象として正確に判別する。
【解決手段】入力された観察対象集合体の２次元的な位相差分布に基づいて、該位相差がピークをとる位置を観察対象候補Ｐ１，Ｐ２として特定する候補特定部と、該候補特定部により特定された隣接する２つの観察対象候補Ｐ１，Ｐ２が同一の観察対象Ａに属するか否かを、該観察対象候補Ｐ１，Ｐ２を結ぶ直線Ｅ上における位相差に基づいて判定する同一性判定部とを備える観察対象判別装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】非常に強化された深度即ちＺ方向の分解能を提供する３次元光学顕微鏡法のための方法及び装置を提供する。
【解決手段】標本（９４）についてデュアル対向対物レンズ（７０、７２）及び拡張インコヒーレント照明（８４）を用いて向上された深度分解能を提供する３次元光学顕微鏡法のための方法及び装置が開示される。両対物レンズからの観察光は画像検出器（１２８）に入射され、ここで光路長調節器（１３８）によって干渉させられる。 （もっと読む）

【課題】フロ−セルを流れる流体に含まれる検査対象物の位相像を高スループットで観察することができる観察装置を提供する。
【解決手段】観察装置１Ａは、光源部１０、撮像部２０、解析部３０、表示部４０およびフローセル９０等を備える。光源部１０は、コヒーレンス長が短い白色光を出力する。撮像部２０は、ハーフミラーＨＭ_１２から出力される干渉光のうち干渉縞に直交する方向について限定された範囲の干渉光の像を取得する。解析部３０は、撮像部２０により得られる像におけるフロ−セル９０における流体の流れの方向に直交する第１方向の各位置について、この第１方向に直交する第２方向の干渉縞の強度分布に対して１次元空間的フーリエ変換を行って、フロ−セル９０を流れる流体に含まれる検査対象物の位相像を得る。 （もっと読む）

【課題】投影光学系の複屈折を、露光装置上で短時間、且つ、高精度に測定することができる露光装置を提供する。
【解決手段】第１のステージに保持されたレチクルのパターンを第２のステージに保持された基板に投影する投影光学系を備える露光装置であって、前記投影光学系を通過した光を撮像素子に入射させる結像光学系を含み、前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定する測定部と、前記測定部の校正時において、前記結像光学系の複屈折を測定するために前記投影光学系の物体面側に配置され、前記測定部からの光を反射して前記投影光学系を介さずに前記測定部に戻す校正部と、前記測定部によって前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定した結果から前記投影光学系の物体面側に前記校正部を配置して前記測定部によって測定した前記結像光学系の複屈折を分離して、前記投影光学系の複屈折を算出する算出部と、を有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 気体の屈折率を高精度に計測すること。
【解決手段】 光源１２からのレーザビーム１００を測定ビーム１０２と参照ビーム１０４に分岐させ、合成ビーム１０６を出射する台形型偏光ビームスプリッタ１４と、台形型偏光ビームスプリッタ１４に相対向して配置された再帰ミラー１８と、台形型偏光ビームスプリッタ１４と再帰ミラー１８とを連結し、参照ビーム１０４の光路を形成する真空容器１６と、測定ビーム１０２と参照ビーム１０４の干渉に伴う測定を行う計測器２０を備え、第１の半透過部２６ａと第２の半透過部２６ｂとを結ぶ光路のうち測定ビーム１０２の光路と参照ビーム１０４の光路が同一の光路長に設定されている。 （もっと読む）

【課題】干渉計デバイス及び干渉法を開示する。
【解決手段】一実施形態において、デバイスは、第１の平均波長λ_LEの放射線を放射する電磁放射線源と、第１のアスペクト比を持つ位相格子と、第２のアスペクト比を持つ吸収格子と、検出器と、を備えている。電磁放射線源、位相格子、吸収格子、及び検出器は、放射線に関して互いに連結されている。吸収格子は、検出器と位相格子との間に配置されており、電磁放射線源は線源格子の前方に配置されており、位相格子は、放射された放射線において、Πよりも小さい位相シフトを生じさせるよう設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された多層膜の界面のナノスケールの粗さを光学的に非破壊・非接触で観察すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る多層膜構造観察装置１００は、基板上に形成された多層膜の観察対象界面を観察するための多層膜構造観察装置であって、多層膜の観察対象界面以外の界面からの反射光と、当該反射光により生じる干渉光とが打ち消しあう波長の光を選択する波長選択部２２と、波長選択部２２で選択された波長の光を、多層膜に出射する光源１１とを備える。 （もっと読む）