【課題】 加速度センサにおいて、検出対象の加速度に対する応答性を改善する。
【解決手段】 支持部と、前記支持部に一端が結合している板ばね形の可撓部と、前記可撓部の他端が結合している錘部と、前記可撓部の歪みを検出する歪み検出手段と、を備え、前記錘部に、前記可撓部の厚さ方向と平行でない面を有する凹部および凸部が形成され、前記支持部に、前記錘部に形成された凹部の内側において当該凹部と対向する凸部と、前記錘部に形成された凸部と内側において対向する凹部とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 強い衝撃を受けても破損しにくい加速度センサを提供する。
【解決手段】 枠部（Ｓ）と、前記枠部の内側に一端が結合している板ばね形の可撓部（Ｆ）と、前記可撓部の他端が結合している錘部（Ｍ）と、前記可撓部の歪みを検出する第一歪み検出手段（Ｐ１〜Ｐ４）と、前記枠部および前記可撓部および前記錘部のいずれかに設けられ前記錘部が予め設計された所定範囲より大きく変位することを抑制するダンパであって、前記錘部の運動方向に撓む板ばね形のダンパ（４０，４１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧縮機の製造工程を増加することなく、圧縮機に加速度センサを組み付けることを可能とする圧縮機用ターミナル保護カバーを提供する。
【解決手段】この発明に係る圧縮機用ターミナル保護カバー６０は、冷凍サイクルの一部を構成する圧縮機に設けられ、圧縮機に電力が供給されるターミナルを保護する圧縮機用ターミナル保護カバー６０であって、圧縮機用ターミナル保護カバー６０は、ターミナルを保護するターミナル保護部６３と、圧縮機の密閉容器２１に固定される足部６２と、ピエゾ抵抗効果を用いて圧縮機の３軸加速度を検出する加速度センサを実装した基板を有する基板組立７０とを備え、基板をターミナル保護部６３に埋設するように熱硬化性樹脂で一体に成形して製作されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウエハレベルパッケージを用いて、電極パッド近傍の信頼性を向上させることができる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ１００は、加速度検出素子と枠１１１に形成された電極パッド１１５とを接続するＡｌ配線１１６とからなるセンサ部１１０と、センサ部１１０に実装されてセンサ部１１０を密閉空間に収容するキャップ部１１７と、センサ部１１０とキャップ部１１７とを接合する接着層１１８とを備え、電極パッド１１５は、センサ部１１０の密閉空間の方向に拡張された拡張部１１５Ａを有し、キャップ部１１７は、拡張部１１５Ａの端部と積層される接着層１１８によりセンサ部１１０と接合する。 （もっと読む）

【課題】ウエハレベルパッケージを用いて、電極パッド近傍の信頼性を向上させることができる加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ１００は、加速度検出素子と枠１１１に形成された電極パッド１１５（１１５ａ〜１１５ｄ）とを接続するＡｌ配線１１６とからなるセンサ部１１０と、枠１１１上に形成されたＡｌ配線１１６と電極パッド１１５（１１５ａ〜１１５ｄ）の一部に積層される保護膜１１７と、センサ部１１０を覆って、センサ部１１０を密閉空間に収容するキャップ部１１８と、保護膜１１７上に積層され、センサ部１１０とキャップ部１１８とを接合する接着層１１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】オフセットの発生を抑制しつつ、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の加速度感度を調整できる、特性の良い３軸加速度センサを提供する。
【解決手段】Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の加速度検出用ピエゾ抵抗素子ｘ１〜ｘ４，ｙ１〜ｙ４，ｚ１〜ｚ４は、梁１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの長手方向に亘って形成されている。これに加えて、感度調整用ピエゾ抵抗素子２１〜２４が、梁１４ａ，１４ｃの長手方向に略直交する方向に亘って形成されており、感度調整用ピエゾ抵抗素子２１〜２４は、加速度検出用ピエゾ素子ｘ１〜ｘ４に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】電極へのウェハ溶着を無くして、ウェハ搬入・搬出時におけるウェハ破損を防止する。
【解決手段】例えば、ＭＥＭＳデバイスにおけるウェハの裏面エッチング方法では、加工されたウェハ２０の表面の全面にポジ形ホトレジストからなる保護膜（保護レジスト）２５を形成する保護膜形成工程と、前記保護レジスト２５をポストベークにより乾燥させて前記保護レジスト２５の表面を硬化する保護膜硬化工程と、前記ウェハ２０の表面側を下部電極３０上に載置し、プラズマエッチング法により、前記ウェハ２０の裏面を所定のパターンにエッチングするエッチング工程と、前記ウェハ２０の表面側を前記下部電極３０から剥がして前記ウェハ２０を回収するウェハ回収工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】支持部に対する錘部の移動に伴ってこれらの間の可撓部が変形する半導体センサにおいて、その応答時間を短く設定でき、かつ、検出可能な物理量の周波数帯域を拡大できるようにする。
【解決手段】一部が可撓性を有する可撓部Ｆとして構成される薄肉部１２と、薄肉部１２の一方の主面１２ｄから突出して薄肉部１２と共に錘部Ｍを構成する錘用突出部１１Ｂと、これとの間に間隙を空けるように薄肉部１２の一方の主面１２ｄから突出し、薄肉部１２と共に支持部Ｓを構成する支持用突出部１３とを備え、その突出方向の先端面１３ｄが外方に露出するように、薄肉部１２の両方の主面１２ｃ，１２ｄ側が可撓部Ｆよりも弾性率の小さい粘弾性体１５，１６によって埋設され、支持用突出部１３の先端面１３ｄをなす延長部１４の弾性率が、粘弾性体１５，１６よりも大きく、かつ、延長部１４を除く支持部Ｓの他の構成部分よりも小さい半導体センサ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、錘部の過剰な変位による衝突時の衝撃を緩和して可撓部の破損を防止するとともに金属配線の変形を防止して、検出信号の信頼性低下を防止する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係る力学量センサは、フレーム部と、前記フレーム部の内側に配置された錘部と、前記錘部と前記フレーム部とを接続する可撓部と、を備えた半導体基板と、前記可撓部に形成された複数のセンサ素子と、前記可撓部及び前記錘部の上側に形成され、前記複数のセンサ素子と複数の接続端子とを電気的に接続する複数の配線と、前記複数のセンサ素子と前記複数の配線が形成された前記可撓部及び前記錘部の上方を覆うキャップ基板と、前記錘部側と前記キャップ基板側の何れか一方又は双方に配置され、前記錘部の過剰変位に伴う衝撃を緩和する緩衝部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】重り部の強度を維持しつつ梁部を長くすることが可能な加速度センサ素子を提供する。
【解決手段】加速度センサ素子１は、開口部１３が形成された固定部３と、開口部１３内に配置される重り部７と、一方端が重り部７に連結され、他方端が固定部３に連結される梁部５と、梁部５に設けられ、梁部５の変形に伴って抵抗値が変化する抵抗素子９とを有する。重り部７は、梁部５の一方端が連結される主部１５と、主部１５に連結され、梁部５の重り部７側の端部よりも固定部３側に突出する付属部１７とを有する。付属部１７（非重なり部１９）は、開口部１３の開口方向に見て梁部５と重ならない位置において主部１５に連結されている。さらに、付属部１７（重なり部２１）は、梁部５よりも第２主面Ｓｂ側、且つ、開口方向に見て梁部５と重なる位置において主部１５に連結されている。 （もっと読む）