【課題】固体物質資料の極表面の弾性率の評価方法を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡を用いた樹脂フィルム等の固体物質試料の極表面の弾性率の測定方法であって、原子間力顕微鏡の探針を、固体物質試料に塑性変形を与えることなく弾性変形を与える範囲内の固体物質試料の変位量である弾性変位量で接触させる。具体的には、探針が樹脂フィルムへ押し込まれる際の探針に負荷される押込荷重と、その際の樹脂フィルムの変位量である押込変位量との関係を測定する押込工程と、樹脂フィルムへ押し込まれた探針が荷重を弱めて離脱する際の離脱荷重と、その際の樹脂フィルムの変位量である離脱変位量と、の関係を測定する離脱工程とを対比して前記弾性変位量を決定する。 （もっと読む）

【課題】膜厚測定の対象測定領域内の絶縁性薄膜の膜厚の空間分布を得る。
【解決手段】試料と、カンチレバーに保持された探針との間に可変直流電圧を印加する原子間力顕微鏡を用いて、絶縁性薄膜の膜厚分布を測定する膜厚評価方法で、試料の測定領域に電圧を変化させて印加するとともに、発生電流および絶縁破壊電圧を測定し、前記測定領域のうち任意の１点の膜厚を基準値として、各測定点の絶縁破壊電圧および（１）式の関係に基づいて、前記測定領域内の相対膜厚の分布を求めることとする。
膜厚＝絶縁破壊電圧÷絶縁破壊電場強度 （１） （もっと読む）

【課題】熱ドリフト及びクリープの影響による探針と試料原子との相対位置のずれを抑制することができる原子位置固定装置及び原子位置固定方法を提供する。
【解決手段】探針１０又は試料表面の原子５０を試料表面と平行な２方向に振動させ、探針１０と原子５０との間に作用する原子間力に基づく探針１０の周波数の変化量を検出する。そして、検出した周波数の変化量の２方向の周波数成分がゼロとなるように探針１０又は原子５０の２方向の位置を制御する（第１の方法：図１（ａ））。または、探針１０又は試料表面の原子５０を試料表面と平行な平面で回転させ、探針１０と原子５０との間に作用する原子間力に基づく探針１０の周波数の変化量を検出する。そして、検出した周波数の変化量の平面と平行な方向の周波数成分がゼロとなるように探針１０又は原子５０の平面における位置を制御する（第２の方法：図１（ｂ））。 （もっと読む）

【課題】合成高分子の一本鎖の動態の観察が可能な高速走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 上部が開放され内部に有機溶媒を収容する溶液セルと、試料表面が下向きとなる状態で当該試料を前記有機溶媒に浸る位置で保持する試料ホルダと、前記溶液セルの内部において前記有機溶媒に浸る位置でかつ前記試料表面に対向する位置に配置される探針と、前記溶液セルを移動させずに前記試料ホルダを前記探針に対して移動させるアクチュエータとを備え、前記溶液セルと前記アクチュエータとが分離している。 （もっと読む）

【課題】導電膜と絶縁膜が交互に積層された積層体に形成されたコンタクトホールの異常を検出できる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る検査装置は、積層体に電子線を照射する電子線照射部と、積層体の端面に沿って上下方向に動作し、端面におけるトンネル電流値を計測する計測部と、計測部で計測されたトンネル電流値を所定の閾値と比較する比較部と、比較部での比較結果に基づいて、コンタクトホールの異常を判定する判定部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】測定に必要な干渉信号のＳ／Ｎを低下させることなく、高精度な光干渉測定を実行可能な光干渉測定装置を提供すること。
【解決手段】第一面１２Ａから内部を透過して第二面１２Ｂへ直角に入射される透過光の一部を反射して参照光５４にするとともに、反射しないで透過光を第二面１２Ｂから出射する参照鏡１２と、第二面１２Ｂからの透過光の進行方向に沿って変位自在で、透過光を反射する可変反射体３６と、可変反射体３６からの反射光のうち参照鏡１２を透過する光を測定光５６として、該測定光５６と参照光５４との干渉光５８を検出する干渉光検出手段３０とを備える。参照鏡１２と可変反射体３６との間に光減衰手段７６を配置する。光減衰手段７６は、参照鏡１２と可変反射体３６との間を往復する光を減衰させて、ここで生じる多重反射光７５による干渉ノイズを低減する。 （もっと読む）

【課題】 走査手段を液体で破損させることのない走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 カンチレバー１を支持するカンチレバー支持部２と、カンチレバー１の変位を測定する変位測定部３，４，５，６と、側壁１９と底面１８とを有し、内部に液体１０と試料Ｓとを収容する試料容器１１と、試料容器１１を載置する載置台４０と、載置台４０を移動させて走査を行う走査手段７とを備え、カンチレバー１を試料容器１１の内部に収容された液体１０中に配置した状態で、載置台４０を移動させながら、カンチレバー１の変位を測定する走査型プローブ顕微鏡３０であって、液体１０を吸収することが可能な材料で形成された環状の保護マット５０を備え、載置台４０の外周面には、保護マット５０の内周部が取り付け取り外し可能となる取付機構４３を形成する。 （もっと読む）

【課題】カンチレバーをＺ方向に高速に駆動した場合にも、光てこ法等の光を使った測定法でカンチレバーの試料との間の原子間力による相互作用量を正確に検出できる原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡１００は、カンチレバー１４を支持するカンチレバー支持具１３と、高さ方向を駆動方向としてカンチレバー支持具１３を駆動するＺスキャナ１２とを備えている。カンチレバー支持具１３は、Ｚスキャナ１２の駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有している。 （もっと読む）

【課題】 測定対象が変わっても測定対象の反射率などの光学特性、あるいは形状や機械的特性に依存せずに検出感度やノイズの割合が調整可能で、測定対象への照射光による測定対象の熱変形の影響が小さくでき、最適な条件下で測定精度を確保することが可能な光学式変位検出方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の増幅率で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光強度調整器２８と増幅率調整器２７を設けカンチレバー６への照射光強度や光検出器１６の増幅率を調整できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）