【課題】基板の加工領域の位置に関する位置情報をアライメントマークに関連させて取り出し、アライメントと実際の加工とを切り離して基板を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】基板（５；４２）は、基板（５；４２）に対して固定されたアライメントマーク（６ａ、６ｂ；１２ａ…ｄ；４４ａ…ｃ）が設けられ、基板（５；４２）を加工する前に、基板（５；４２）の加工領域の位置に関する位置情報がアライメントマーク（６ａ、６ｂ；１２ａ…ｄ；４４ａ…ｃ）に関連させて取り出された場合に、アライメントと実際の加工とを切り離すことによって効率よく製造することができる。この場合に、アライメントは、加工時にアライメントマーク（６ａ、６ｂ；１２ａ…ｄ；４４ａ…ｃ）の位置を１回だけ再測定し、加工領域の位置に関する保存された位置情報を使用することにより行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構のスポット光の位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】直接ナノ粒子の表面粗さを精度よく測定する。
【解決手段】原子間力顕微鏡を用いてナノ粒子の表面粗さを測定する方法は、表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより基板上にナノ粒子を固定する工程１と、工程１でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する工程２と、工程２で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上に固定されたナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する工程３とを含む。 （もっと読む）

【課題】多探針を用いたＡＦＭナノプローバで、ステージ側のスキャンを行う構造にして、試料と探針の位置関係の補正を迅速に行い、探針同士の衝突を回避して、サブミクロン領域での電気測定を容易にできるようにする。
【解決手段】それぞれの探針によるＡＦＭイメージを同時に取得する。この際、重複領域があるようにする。ＡＦＭイメージから、その重複領域を探索し、それぞれの相対位置を見出し、さらに、それぞれの探針位置を導出する。また、その探針位置から、測定用にあらためて探針位置を設定し、被測定物に探針を圧接して電気的測定を行う。最初に探針間が近接していることを検出するようにして、探針が近接状態にあるところから開始することで、重複領域を小さくすることができ、迅速な測定を行うことができる。上記スキャンは、ラスタスキャンまたはスパイラルスキャンである。 （もっと読む）

【課題】形状の制約なしに３次元の立体形状を測定することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】カンチレバー１１と、カンチレバーホルダ１４と、サンプルホルダ８と、サンプル９表面の任意の２次元面内で探針１０を相対的に移動させる水平方向微動機構４と、２次元面に垂直な方向に探針１０とサンプル９を相対的に移動させる垂直方向微動機構１５と、カンチレバー１１の撓み量を検出するための変位検出機構２２を有する走査型プローブ顕微鏡において、変位検出機構をカンチレバー１１に組み込み、カンチレバー１１の長軸に直交し探針１０先端を通る軸が、２次元平面に直交する任意の平面内となるように前記カンチレバー１１を配置し、サンプル９表面の被測定面が、水平方向微動機構４の移動面と略平行になるようにサンプル９とカンチレバー１１の相対位置を規定する角度調整機構を含む位置決め機構（３、５，６，７，１７）を設けた。 （もっと読む）

【課題】剛性のない被測定物の形状を高精度に測定できる原子間力顕微鏡を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡１００は、先端に探針１４２を有するカンチレバー１３０と、カンチレバー１３０を支持する支持部１１０と、カンチレバー１３０に振動を与える振動発生部１２０とを備えている。カンチレバー１３０は、基端側に位置する基端側部１３２と、探針側に位置する探針側部１３６とを有している。探針側部１３６は基端側部１３２から屈折して延びている。基端側部１３２と探針側部１３６は、一方が他方に対して整数倍の固有振動数を有している。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭ測定方法及びＡＦＭ測定システムが提供される。
【解決手段】光源から入射光が照射される基板の上の複数個の地点にカンチレバーの先端を提供し、前記入射光によって前記カンチレバーの先端と前記基板との間で発生された散乱光の強度を測定し、前記散乱光の強度をデータ処理部へ入力して前記入射光の強度が最高である地点を探す。前記カンチレバーの先端を前記入射光の強度が最高である地点へ移動させる。 （もっと読む）

ナノ又はナノメートル以下の寸法の個別サンプルの幅広い物理的特性の測定を可能とした測定プローブを設ける。プローブは、プローブ本体と、プローブ本体に連結された基板と、基板の近くにあるチップとを備える。さらに、プローブは、電気入力部を有する粗圧電アクチュエーターを備える。粗ピエゾは、第１電気信号を電気入力部に供給するとチップ及び／又は基板を互いに対して移動させるように構成されている。さらに、プローブは、粗ピエゾの電気入力部と電気通信される低域通過フィルターを備える。さらに、プローブは、第２電気信号を電気入力部に供給するとチップ及び／又は基板を互いに対して移動させるように構成された電気入力部を有する細圧電アクチュエーターを備える。 （もっと読む）

先端部材のアレイに材料を負荷し、次にこの材料を先端部材から基板へ沈着させるための改良された方法を開示する。先端部材の負荷は制御された蒸着によって行うことができ、これにより、基板上への材料の非特異的な沈着の量が低減される。改良されたナノスケールおよびマイクロスケールの設計およびリソグラフィを実現することができる。用途としては、幹細胞研究および幹細胞分化制御をはじめとする、より優れた細胞研究が含まれる。

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古い世代のこれらの装置では徐々に提供不能になりつつある、迅速な測定結果を提供するモジュールＡＦＭ／ＳＰＭであって、より小さな力とより小さな移動を以てノイズ・アーチファクトのない小プローブを使用するモジュールＡＦＭ／ＳＰＭ。モジュールＡＦＭ／ＳＰＭは、シャーシ、機器のモジュールを支持する基盤、サンプルとプローブを観察するオプティックを提供するビュー・モジュール、光てこ機構用部品を提供すると共にこれらの部品を操舵しかつ合焦させるヘッド・モジュール、サンプルをそれらの次元で作動させるＸＹＺ並進ステージと係合機構を提供するスキャナ・モジュール、シャーシを収納して機器を遮音及び熱的分離状態にする隔離モジュール、及び別のコントローラと共に画像を獲得・処理すると共に機器の他の機能を制御する電子技術を提供する電子モジュールを備える。
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