【課題】電気的な接続状態が良好ながらも製造が容易なマイクロフラックスゲートセンサ製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロフラックスゲートセンサの製造方法は、ウエハに励磁コイルおよび磁界検出用コイルの下部コイル部を形成するステップと、下部コイル部の両端に所定高さの接続部を形成するステップと、下部コイル部と接続部を覆うように第１絶縁層を形成するステップと、第１絶縁層に磁性コアを形成するステップと、磁性コアを覆うように第２絶縁層を形成した後、接続部と電気的に接続される上部コイル部を形成して励磁コイルと磁界検出用コイルを形成するステップと、上部コイル部を覆うように第３絶縁層を形成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】検出コイル信号の真のピーク値に対応するデジタル・ピーク値を求めることにより、入力磁界の測定精度の向上を図り、雑音電圧による影響を排除したフラックスゲート型磁気センサを提供する。
【解決手段】磁気コア１a、励磁コイル１b及び検出コイル１cでなる磁界検出部１と、励磁電圧Ｖ_２を出力する励磁回路２と、交流増幅器３a、ピーク・タイミング検出回路３bおよびＡ/Ｄ変換器３cを含む実ピーク値検出部３と、クロック発生器４と、検出コイル信号１０４のデジタル・ピーク値１０７を検波して、入力磁界Ｈinを示す磁気値１０９を出力するデジタル処理部５とを備えて構成される。ピーク・タイミング検出回路３bは、検出コイル信号１０４の真のピーク値が生じるピーク・タイミングを信号１０６で抽出し、Ａ/Ｄ変換器３cは、該ピーク・タイミングにおける真のデジタル・ピーク値１０７を生成する。 （もっと読む）

【課題】高い精度と安定性を有し、製造ばらつきが少なく小型化が可能な磁気センサの信号検出回路を提供する。
【解決手段】磁気センサ１１の検出コイル１１３の出力電圧が入力される差動増幅器３３と、差動増幅器３３の出力が入力されるヒステリシスコンパレータ３４と、ヒステリシスコンパレータ３４から出力されるデジタル信号に基づいて、出力電圧に含まれる隣接する２つのスパイク状電圧のそれぞれが出力される間におけるクロックのパルス数をカウントするカウンタ３５とを含む磁気センサの信号検出回路を提供する。 （もっと読む）

【課題】高い精度と安定性を有し、製造ばらつきが少なく小型化が可能な磁気センサの励磁コイル駆動回路を提供する。
【解決手段】Ｄ／Ａコンバータ２４と、その非反転入力端子にＤ／Ａコンバータ２４の出力信号が入力され、磁気センサ１１の励磁コイル１１２の一端に印加されるドライブ信号Ｐを出力する非反転増幅器２２と、その非反転入力端子にＤ／Ａコンバータ２４の出力信号が入力され、その反転入力端子に非反転増幅器２２の出力が入力され、励磁コイル１１２の一端に印加されるドライブ信号Ｎを出力する反転増幅器２３とを含む磁気センサの励磁コイル駆動回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】被測定導体の位置の如何にかかわらず安定した特性が得られるばかりでなく、帯磁しても出力にオフセット信号が現れないようにする上で有効なフラックスゲート素子および電流センサの提供。
【解決手段】大径磁気コア体４２と、該大径磁気コア体４２と同心状に配置される小径磁気コア体４６と、これら大径磁気コア体４２と小径磁気コア体４６との間の長さ方向に介在配置されるフラックスゲート素子１１とを少なくとも備え、大径磁気コア体４２と小径磁気コア体４６とを含む外周に巻回された帰還巻線６６を介して電気信号の検出を自在とした。 （もっと読む）

【課題】トルク・センサー用の磁力計を提供する。
【解決手段】磁力計は第２内側および外側コイルから軸方向に間隔を保つ第１内側および外側コイルを含む。内側および外側コイル間には複数の磁性片が介在する。これらの磁性片は磁界の非対称性を検知するために軸方向の明確な部分において内側および外側コイル内に配置されている。内側および外側コイルには交代磁界を発生させる駆動回路が接続されている。本発明の磁力計は人為的に強調された消磁域を発生させてセンサー組立体内のヒステリシスを軽減する。 （もっと読む）

【解決手段】外部磁界Ｈ_extを測定する直交フラックスゲート式センサーであって、励磁電流を送電する導電体と、前記の励磁電流により生成された磁界内にて飽和できる強磁性材と、前記の磁性材近辺の磁界の変化を検出するための少なくとも１つのピックアップコイルとを具備する。前記の励磁導電体は、励起ロッドを構成する、導電性の非磁性材のほぼ直線の伸長部からなる。前記の磁性材は、被覆体として励起ロッドを取り囲む。
【選択図面】 図１
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【課題】ベースライン長を小さく保ちながら、磁場を検出できる領域の長さを伸ばす。
【解決手段】レーストラック形状のコア１と、コア１にトロイダル状に巻回された励起コイル２と、コア１にピッチＬで交互に逆方向に巻回された差分巻線３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄからなる差分磁場検出コイル３と、コア１に均一な分布で一方向に巻回された共通磁場検出コイル４と、差分磁場検出コイル３からの差分磁場検出信号Ｂにフィードバック信号Ｄを負帰還する第１のフィードバック回路５と、共通磁場検出コイル４からの共通磁場検出信号Ｅにフィードバック信号Ｆを負帰還する第２のフィードバック回路６とを具備する。
【効果】ベースライン長はピッチＬとなり、磁場を検出できる領域の長さは「（２×Ｎ−１）×Ｌ」になる。つまり、磁場を検出できる領域の長さをベースライン長の「２×Ｎ−１」倍、最低でも３倍、に伸ばすことが出来る。 （もっと読む）

【課題】ｘ方向検出コイルとｙ方向検出コイルの高い直角度を容易に確保できるようにする。
【解決手段】互いに直交するｘ方向直線部（１１ｘ）およびｙ方向直線部（１１ｙ）を有するコア（１１）と、励磁コイル（１２）と、ｘ方向直線部（１１ｘ）を直接的に利用してコア（１１）の周囲に巻回されたｘ方向検出コイル（１３ｘ）と、ｙ方向直線部（１１ｙ）を間接的に利用してコア（１１）の周囲に巻回されたｙ方向検出コイル（１３ｙ）とを具備する。
【効果】ｘ方向検出コイル（１３ｘ）とｙ方向検出コイル（１３ｙ）の高い直角度を容易に確保できる。 （もっと読む）

【課題】回路が大型化し、消費電流の増大化を招くのを防止し得る、かつ各軸間の干渉を軽減しうる多軸フラックスゲート磁気検出器を提供する。
【解決手段】励振回路１１を、Ｘ軸センサ３Ｘ、Ｙ軸センサ３Ｙ、Ｚ軸センサ３Ｚの1つに切り替え選択して接続する切替回路１４と、受信回路１２を、Ｘ軸センサ３Ｘ、Ｙ軸センサ３Ｙ、Ｚ軸センサ３Ｚの1つに切り替え選択して接続する切替回路１５とを備え、1つの励振回路11で、Ｘ軸センサ３Ｘ、Ｙ軸センサ３Ｙ、Ｚ軸センサ３Ｚを順次励振し、1つの受信回路１２で、Ｘ軸センサ３Ｘ、Ｙ軸センサ３Ｙ、Ｚ軸センサ３Ｚからの磁気検出信号を順次受信する。 （もっと読む）