【課題】試料と検出器とにおける所望の検出条件を変えることなく、試料に対する一次イオンの入射角度を変更することが可能となる二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】本二次イオン質量分析装置は、照射方向可変イオン照射装置と試料台と質量分析器とを含んでなる。この照射方向可変イオン照射装置は、固定されたイオン銃と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃に近い方の第一の偏向板と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃から遠い方の第二の偏向板とを含んでなり、第一の偏向板と第二の偏向板とが、それぞれ独立に、ある点を中心にして回転し得る機構を有する。 （もっと読む）

【課題】イオン移動度分析計を含む装置
【解決手段】第１のチャンバ（１０）と第２のチャンバ（５）とを含むマススペクトロメータが開示される。第２のチャンバ（５）は、第１のチャンバ（１０）の下流に位置し、２つのチャンバ（５，１０）間には、チャンバ間アパーチャ（１２）が提供される。第１のチャンバ（１０）内には、イオンガイド（１３）が位置し、第２のチャンバ（５）内には、イオン移動度分析計（６）が位置する。第１のチャンバ（１０）に、ヘリウムガスが提供される。イオンは、比較的低圧の領域からイオン移動度分析計（６）に向かって加速されるに際し、先ず、第１のチャンバ（１０）内に入る。第１のチャンバ（１０）内に提供されるヘリウムガスは、イオンが比較的高圧の領域内へと加速される際のイオンフラグメンテーション効果およびイオン識別効果を最小限に抑える。イオンは、次いで、イオンガイド（１３）によって伝送され、引き続き、第２のチャンバ（５）内に位置するイオン移動度分析計（６）へと伝送される。 （もっと読む）

線形イオントラップを動作させるための方法及び装置を提供する。従来の３分割した線形イオントラップと比較して、機能においてさらなる汎用性が見込まれる線形イオントラップの構成を提供する。線形イオントラップは複数のセグメントを備え、動作中、これらのセグメントが、最初のイオン集団を少なくとも空間的に第１及び第２のイオン集団に分割する。個々のセグメントは効果的に独立しており、第１のイオン集団に相当するイオンを第２のイオン集団に相当するイオンとは無関係に操作することができ、これらのイオンは、同じ条件下のイオン源により発生したものである。その後、イオンをイオントラップから放出することができる。 （もっと読む）

使用時にイオンが移送されるアパーチャを有する複数の電極を含む質量分析器（２）が提供される。複数の擬ポテンシャル波形が質量分析器（２）の軸に沿って生成される。擬ポテンシャル波形の振幅または深さは、イオンの質量電荷比に反比例する。イオンを質量分析器（２）の長さに沿って推進するために１つ以上の過渡ＤＣ電圧が質量分析器（２）の電極に印加される。電極に印加される過渡ＤＣ電圧の振幅は、時間とともに増加され、イオンは、質量電荷比の逆順に質量分析器（２）から射出される。２つのＡＣまたはＲＦ電圧が電極に印加される。第１のＡＣまたはＲＦ電圧は、最適な擬ポテンシャル波形を形成するように構成され、他方、第２のＡＣまたはＲＦ電圧は、質量分析器２内へのイオンの軸方向の最適な閉じ込めを実現するように構成される。 （もっと読む）

【課題】磁場作用によりイオンビームの軌道をイオン質量に応じて湾曲させ、導入イオンビームに含まれる一または複数種のイオン種を分離する質量分離装置において、イオンビーム電流量を低下させることなく質量分離性能を向上させる。
【解決手段】磁場作用によりイオンビームの軌道をイオン質量に応じて湾曲させ、イオンビームに含まれる一または複数種のイオン種を分離させる質量分離装置１３０において、イオンビームを質量分離装置１３０のイオンビーム入射面１３０ａに対して垂直方向から傾斜させて入射させることにより、イオンビーム電流を大きく低減させることなく質量分離性能を向上させて、より高精度に質量分離されたイオンビームを発生させることが可能となる。 （もっと読む）

第一および第二端を伴う第一イオンガイドを有し、異極性の第一イオン群と第二イオン群を第一イオンガイドに導入し、第一および第二イオン群を第一イオンガイド内に半径方向に閉じ込めるために、ＲＦ電位を第一イオンガイドに印加する、イオンを分析する方法が提供される。第一イオン群を第一イオンガイド内にトラップするために、第一トラップ障壁が第一イオンガイドの第一端に提供され、第二イオン群を第一イオンガイド内にトラップするために、第二トラップ障壁が第一イオンガイドの第二端に提供され、第一イオン群を第一トラップ障壁に向かって押し、第二イオン群を第二トラップ障壁に向かって押すために、軸方向電場が提供される。
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【課題】簡単な構造かつ低コストで不要イオンの入射がもたらす悪影響を回避することのできる飛行時間型質量分析方法および装置を提供する。
【解決手段】複数の積層電場で構成されたらせん軌道を用いてイオンの質量電荷比を測定する飛行時間型質量分析方法において、検出器の上流に置かれたイオンゲートにより、所定の質量電荷比を有するイオンのみを選択的に排除するようにした。 （もっと読む）

衝突またはフラグメンテーションセル（８）の上流に配置されるイオン移動度分光計またはセパレータ（６）を含む質量分析計が開示される。イオン移動度分光計またはセパレータ（６）において、イオンがそのイオン移動度にしたがって分離される。イオンが衝突またはフラグメンテーションセル（８）に入射する際のイオンのフラグメンテーションエネルギーを最適化するために、イオン移動度分光計またはセパレータ（６）を出射するイオンの運動エネルギーを実質的に時間とともに直線的に増加させる。イオン移動度分光計またはセパレータ（６）のポテンシャルを変化させる期間中、イオン源（１）、イオンガイド（２）、四重極質量フィルタ（３）、必要に応じて設けられる第２の衝突またはフラグメンテーションセル（４）およびイオントラップデバイス（５）などのイオン移動度分光計またはセパレータ（６）の上流のイオン光学部品のポテンシャルは一定に保たれる。 （もっと読む）

【課題】本発明は飛行時間型質量分析計に関し、加速電圧を高くしてイオンをより効率的に引き出すことを目的としている。
【解決手段】イオン源から出射されたイオンがイオン加速部で加速され、反射電場を経て検出器３で検出されるように構成された飛行時間型質量分析計において、加速部開始位置と加速部終了位置の電位が接地電位をはさみ、正負両極の電源により供給されると共に、前記反射電場の電位が入射側と出射側で異なるように構成される。このように構成することにより加速電圧を高くすることができ、イオンをより効率的に引き出すことができる。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガスや大気中ガスの成分組成を測定する際に、被測定ガス中の特定注目分子をオンサイトで連続的にかつ高感度で定量分析できるガス分析用可搬型Ｊｅｔ−ＲＥＭＰＩ装置を提供する。
【解決手段】ガス導入系およびイオン光学系を一体型の構造とし、単一真空排気系を備えて差動排気するとともに、イオン化室に、被測定ガスを飛行時間型質量分析計の方向に噴射するためのオリフィスノズルを内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の対向電極と、イオンを通過させるためのピンホールを有する仕切板を内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の引き出し電極を有し、かつ前記引き出し電極の先端から前記仕切板までの範囲の電極部材の一部または全てをメッシュ構造とするガス分析用可搬型Ｊｅｔ−ＲＥＭＰＩ装置。 （もっと読む）