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国際特許分類[H01L21/288]の内容

国際特許分類[H01L21/288]に分類される特許

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【課題】鉛を含まず、アルミニウム(Al)の仕事関数より電極配線としての見かけの仕事関数が小さくなるアルミニウム電極配線用のガラス組成物を提供する。
【解決手段】アルミニウムより仕事関数が小さい元素の酸化物から構成される。この酸化物は、バナジウム(V)の酸化物と、アルカリ土類金属の酸化物と、アルカリ金属の酸化物とから構成され、アルカリ土類金属の元素としてはカルシウム(Ca)、ストロンチウム(Sr)及びバリウム(Ba)の元素の内少なくともバリウムを含む1種以上の元素がなり、アルカリ金属の元素としてはナトリウム(Na)、カリウム(K)、ルビジウム(Rb)及びセシウム(Cs)の元素の内少なくとも1種以上の元素がなる。バナジウムの元素が五酸化バナジウム(V)として含まれているとした場合に、五酸化バナジウムを40〜70重量%含む。 (もっと読む)


【課題】ボイド、ディッシング、及びエロージョンの発生を抑制することのできる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁膜に幅の異なる複数の開口部36,37を形成し、次いで、絶縁膜の上面、及び幅の異なる複数の開口部内にシード層38を形成し、次いで、第1の成長速度により、シード層の表面を覆う第1のめっき膜71を形成し、次いで、第1の成長速度よりも速く、かつボイドを生じさせない第2の成長速度により、第1のめっき膜の表面に第2のめっき膜72を形成し、次いで、第2の成長速度よりも速い第3の成長速度により、第2のめっき膜上に第3のめっき膜73を形成し、その後、シード層及び第1乃至第3のめっき膜のうち、絶縁膜の上面よりも上方に形成された部分を研磨により除去することで、開口部内に少なくとも第1及び第2のめっき膜よりなる導電部を形成する。 (もっと読む)



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【課題】基板上に電極を形成する方法および装置において、互いに交わる電極の交点における凹凸を少なくする。
【解決手段】基板に多数本のフィンガー電極を形成した後に(ステップS102)、これらと交わる幅広のバス電極を塗布により形成する。電極材料および光硬化性樹脂を含む塗布液を基板に塗布した後(ステップS103)、所定時間が経過するのを待ってから塗布液にUV光を照射し塗布液を硬化させる(ステップS104)。塗布から光照射までの時間差tsについては、予め実験的に塗布した塗布液の高さの変化を測定した結果に基づいて設定しておく(ステップS101、S201〜S204)。 (もっと読む)



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【課題】導体パターン形成用インクを安定して吐出可能な液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式による導体パターンの形成に用いられ、金属粒子が水系分散媒に分散した導体パターン形成用のインクを吐出する液滴吐出装置であって、前記インクを貯留するインク貯留部と、前記インクを吐出する吐出部を備えた液滴吐出ヘッドと、前記インク貯留部から前記液滴吐出ヘッドに向かって前記インクを搬送する搬送路と、前記搬送路に設けられた気泡排出手段と、を有することを特徴とする。前記気泡排出手段は、前記搬送路から鉛直上方に分岐し、鉛直上方に向かって開口した開口部を有する管路と、前記管路の、前記開口部よりも前記搬送路側に設けられたバルブとを有し、前記バルブの開閉によって、前記開口部からの前記管路内の気体の排出を制御する (もっと読む)


【課題】接続導体との間のはんだ接合部の信頼性を確保する。
【解決手段】ジンケート法による無電解めっき法を用いて、半導体チップ1の表面側のAl電極3の上にNiめっき層5が形成される。Al電極3の上には、選択的にNiめっき層5が析出されるため、周辺耐圧構造4部分には、Niめっき層5は形成されない。また、形成されるNiめっき層5は、所定の厚さに均一に形成することができる。続いて、Niめっき層5の上にAuめっき層6が形成される。無電解めっき法を用いることによって、Auめっき層6もNiめっき層5と同様に、Niめっき層5の上に選択的、かつ均一に形成される。 (もっと読む)


【課題】インクジェット法により形成した微細な導電層の積層構造体、多層配線基板、アクティブマトリックス基板、画像表示装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】濡れ性変化材料を含む濡れ性変化層を形成し、その一部にエネルギーを付与して、低表面エネルギー部を隔て互いに近接した第1の領域43と第2の領域44を含む高表面エネルギー部を形成し、導電性材料を含有する機能液61を第1の領域43にインクジェット法を用いて選択的に滴下し、機能液61を乾燥させて高表面エネルギー部上に導電層を形成する。その際、第1の領域43の中心位置と機能液61の滴下中心位置の距離Xは、機能液の飛翔時の直径D、機能液の着弾位置ばらつきα、第1の領域の幅L、第1の領域と第2の領域との間隔Sとして、X<±(L+2S−D−2α)/2(但し、L+2S>D+2α)、及び、X<±(L+D−2α)/2(但し、L+2D>D+2α)で表される。 (もっと読む)


【課題】有機薄膜トランジスタを高い歩留まりで製造する製造方法を提供する。
【解決手段】基板上又は基板上における絶縁膜上にソース電極及びドレイン電極を形成する電極形成工程と、有機半導体インクが供給された際、前記ソース電極及び前記ドレイン電極上における前記有機半導体インクの接触角を前記基板上又は前記絶縁膜上における接触角よりも高くする電極処理工程と、形成された前記ソース電極及び前記ドレイン電極の間に前記有機半導体インクを供給することにより有機半導体層を形成する半導体層形成工程と、を有し、前記ソース電極と前記ドレイン電極とにより形成されるチャネルのチャネル幅をW、前記有機半導体インクが供給される際の液滴の液滴径をφ、前記液滴が供給される位置の誤差である着弾位置誤差幅をXとした場合、W>φ+Xを満たしていることを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法を提供することにより上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】スルーホールへのめっき性に優れる無電解めっき前処理剤を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)及び(2)で表されるイミダゾールアルコール化合物の1種又は2種以上と、パラジウム化合物とを含有する無電解めっき前処理剤。
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