説明

国際特許分類[H01L21/288]の内容

国際特許分類[H01L21/288]に分類される特許

131 - 140 / 1,357


【課題】本発明は酸化アンチモン(antimony oxide)を添加してボーイング(bowing)の減少、ビードの発生の抑制及び光電変換効率を向上させることができるアルミニウムペースト及びこれを利用した太陽電池を提供するものである。
【解決手段】本発明は、アルミニウム粉末、有機ビヒクル及び酸化アンチモンを含むと共に、前記酸化アンチモンが全体ペースト中0.001質量%以上1.0質量%未満含まれているアルミニウムペースト及びこれを利用した太陽電池に関するものであり、本発明のアルミニウムペーストを利用した太陽電池は、ボーイング現象が減少しビードが発生しなく、光電変換効率に優れた特性を示す。 (もっと読む)


【課題】処理雰囲気を適切に制御しつつ、金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切に形成する。
【解決手段】塗布処理装置の塗布ノズル70には、金属錯体と溶媒を供給する液供給装置71が接続されている。液供給装置71は、内部に金属錯体を貯留する金属供給源100と、内部に溶媒を貯留する溶媒供給源110と、金属供給源100と塗布ノズル70とを接続する金属供給管104と、溶媒供給源110と塗布ノズル70とを接続する溶媒供給管114と、内部に不活性ガスを貯留するガス供給源120と、ガス供給源120と金属供給管104とを接続する第1のガス供給管121と、ガス供給源120と溶媒供給管114とを接続する第2のガス供給管123と、を有している。塗布処理装置の内部を減圧する前に、液供給装置70から塗布ノズル70へ不活性ガスを供給する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、パターンの製造方法に関し、特に、レーザーを用いてパターンを製造する方法に関する。
【解決手段】パターンの製造方法は、基板上に金属有機インク層(20)を形成する第1の段階;前記金属有機インク層(20)を半固体状態に硬化させる第2の段階;前記半固体状態の金属有機インク層(20)にレーザー光を照射し、照射された部分が固体状態に硬化されてパターンが形成される第3の段階、および、前記半固体状態の金属有機インク層(20)を除去して、前記パターンだけを残す第4の段階を含む。 (もっと読む)


【課題】従来の電極方法であるフォトリソグラフィ、マスクスパッタリングは、工程の簡略化、材料使用効率、コスト、多様な基板サイズに対応において解決するには困難な課題があり、インクジェット方式では高精細度なパターンが得られないという課題がある。
【解決手段】感光性塗布型電極材料を用いて、所望の電極パターンニングを行う。本発明による電極作成工程において、コストメリットがある拡散光を光源とするランプを用いて第1の露光と第1の露光よりも大きい露光量をもった第2の露光を施すことで、所望の電極パターンを得ることができる。拡散光を用いた2回露光プロセスによって、例えばTFT作成において従来の方法では解決できない材料使用効率、コスト、多様な基板サイズに対応という課題かつ、インクジェット方式では解決できない高精細パターニングを解決するものである。 (もっと読む)


【課題】精確かつシャープな輪郭を有する平坦な構造体を、既存のジェット方法を用いて製造する方法を提供する。
【解決手段】基板2を準備するステップと、第1構造体3を基板2の上にジェット方法によって印刷するステップであって、該印刷された第1構造体3が少なくとも1つの第1角部5を含む、ステップと、第2構造体をジェット方法によって、第1構造体3の第1角部5から該第1構造体3の外側にある終点まで、第2構造体4が第1構造体とコンタクトするように印刷するステップであって、該印刷は、第2構造体4とコンタクトする第1構造体3の材料が少なくとも部分的に流体状態にある間に実施される、ステップと、第1構造体3および/または第2構造体4を電気的にコンタクトさせるステップ、とを有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】処理雰囲気を適切に制御しつつ、金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切に形成する。
【解決手段】金属膜形成装置1の処理容器10の内部は、不活性ガスの大気圧雰囲気又は減圧雰囲気に切り換え可能になっている。処理容器10の内部には、ウェハWを保持するスピンチャック20と、ウェハWの側方を囲むように設けられたカップ体31と、ウェハW上に金属混合液を吐出する塗布ノズル60と、ノズル駆動部65の動力を塗布ノズル60に伝達するノズル伝達部64と、塗布ノズル60を待機させるノズルバス66とが設けられている。処理容器10の外部には、水平方向より所定の角度で傾斜した方向に沿って、スピンチャック20とノズルバス66との間で塗布ノズル60を移動させるためのノズル駆動部65が設けられている。 (もっと読む)


【課題】有機薄膜トランジスタソース/ドレイン電極などに適する厚みが均一で高精細なパターン画像の形成方法を提供する。
【解決手段】特定の構造単位を有するポリイミド前駆体及び該ポリイミド前駆体を脱水閉環して得られるポリイミドからなる群より選ばれる少なくとも一種の重合体を含むパターン画像下層膜形成液を基板上に塗布し、乾燥、焼成することでパターン画像下層膜を得る工程と、
得られるパターン画像下層膜に紫外線を照射しパターン画像下層膜の濡れ性を変化させる工程と、
パターン画像形成液が付着したブレードと上記パターン画像下層膜とを相対的に移動させることにより、上記パターン画像下層膜の紫外線照射領域に上記パターン画像形成液を塗布させ、乾燥する工程と、
を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】面内均一性に優れためっき膜を被めっき基板に形成できるめっき方法を提供する。
【解決手段】被めっき基板90の外周部のカソード電極70が接触する箇所と、被めっき基板のめっき面92の製品領域130との間にダミーめっき領域140を配置した被めっき基板のカソード電極が接触する箇所にカソード電極を接触させ、被めっき基板のめっき面にめっき液を供給し、カソード電極とアノード電極間に前記めっき液を介して電流を流してめっき面にめっきを行う工程を備える。 (もっと読む)


【課題】、基材の表面を冷却したまま溶媒を除去しない場合に比べ、パターンが精度良く形成されるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】基材20を冷却する基材冷却手段22と、前記基材冷却手段によって冷却された前記基材の表面に、パターン形成材料、及び溶媒を含む組成物18を付与して該組成物のパターンを描画するパターン描画手段24と、前記基材の表面に描画された前記組成物のパターンから該基材を冷却したまま前記溶媒を除去する溶媒除去手段26と、を有するパターン形成装置10。溶媒除去後、加熱を行って分散剤を除去する加熱手段28を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】基材の表面にバルジを誘導するためのパターンを形成せずに組成物の液滴を付与して線状パターンを形成する場合に比べ、線状パターンに生じるバルジの方向が制御されるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に組成物の液滴を線状に付与して線状パターン12A,12Bを形成する線状パターン形成工程と、線状パターンを形成すると共に又は線状パターンを形成する前に、液滴を付与して、前記線状のパターンの幅方向における片側の縁で接触するバルジ誘導用パターン10A,10B,10Cを形成するバルジ誘導用パターン形成工程と、を含む。バルジ誘導用パターンを形成した後、線状パターンを形成することが望ましく、予めパターン形成領域外に組成物の液滴を付与してバルジ発生位置を確認するためのバルジ確認用パターンを形成する工程をさらに含んでもよい。 (もっと読む)


131 - 140 / 1,357