オキシム誘導体、感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法

【課題】光などのエネルギー線によりラジカルを発生し感光性組成物中の重合性化合物の重合を効率的に開始する高感度なラジカル発生剤として作用する新規なオキシム誘導体を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ａ）及び下記一般式（Ｂ）のいずれかで表される部分構造を有することを特徴とするオキシム誘導体。高感度であるとともに、保存安定性が極めて高く、パターンを高精細に効率よく形成できる感光性組成物として利用することができる。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ａ）及び下記一般式（Ｂ）のいずれかで表される部分構造を有することを特徴とするオキシム誘導体。
【化１】

【化２】

ただし、前記一般式（Ａ）及び前記一般式（Ｂ）中、Ａは、窒素原子と二重結合を少なくとも一つ有する複素環基を表し、Ａｒは、芳香族基、及び複素環基のいずれかを表し、Ｙ^１は、水素原子、及び一価の置換基のいずれかを表し、Ｙ^２は、水素原子、脂肪族基、芳香族基、複素環基、−ＣＯ−Ｙ^５、−ＣＯ_２−Ｙ^５、−ＳＯ−Ｙ^５、−ＳＯ_２−Ｙ^５、及び−ＣＯＮＹ^３Ｙ^４のいずれかを表す。Ｙ^５は、脂肪族基、芳香族基、及び複素環基のいずれかを表し、Ｙ^３及びＹ^４は、脂肪族基、及び芳香族基のいずれかを表し、ｍは１以上の整数を表す。
【請求項２】
Ａ−Ａｒの部分骨格を有するものが、蛍光増白剤核である請求項１に記載のオキシム誘導体。
【請求項３】
複素環基が、オキサゾール環基、チアゾール環基、イミダゾール環基、イミダゾリン環基、及びピラゾリン環基のいずれかである請求項１に記載のオキシム誘導体。
【請求項４】
複素環基が、ピラゾリン環基を有する請求項３に記載のオキシム誘導体。
【請求項５】
バインダー、重合性化合物、及び光重合開始系化合物を少なくとも含み、前記光重合開始系化合物が、請求項１から４のいずれかに記載のオキシム誘導体を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。
【請求項６】
熱架橋剤を、更に含む請求項５に記載の感光性組成物。
【請求項７】
増感剤を含み、該増感剤が、縮環系化合物、及び少なくとも芳香族炭化水素環及び芳香族複素環のいずれかで置換されたアミン系化合物から選択される少なくとも１種である請求項５から６いずれかに記載の感光性組成物。
【請求項８】
支持体と、該支持体上に請求項５から７のいずれかに記載の感光性組成物からなる感光層と、を少なくとも有することを特徴とするパターン形成材料。
【請求項９】
基体上に、請求項５から８のいずれかに記載の感光性組成物からなる感光層を有することを特徴とする感光性積層体。
【請求項１０】
感光層が、請求項８に記載のパターン形成材料により形成された請求項９に記載の感光性積層体。
【請求項１１】
請求項９から１０のいずれかに記載の感光性積層体を備えており、
光を照射可能な光照射手段と、該光照射手段からの光を変調し、前記感光性積層体における感光層に対して露光を行う光変調手段とを少なくとも有することを特徴とするパターン形成装置。
【請求項１２】
請求項９から１０のいずれかに記載の感光性積層体における感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項１３】
感光層に対し、光照射手段、及び前記光照射手段からの光を受光し出射するｎ個（ただし、ｎは２以上の自然数）の２次元状に配列された描素部を有し、パターン情報に応じて前記描素部を制御可能な光変調手段を備えた露光ヘッドであって、該露光ヘッドの走査方向に対し、前記描素部の列方向が所定の設定傾斜角度θをなすように配置された露光ヘッドを用い、
前記露光ヘッドについて、使用描素部指定手段により、使用可能な前記描素部のうち、Ｎ重露光（ただし、Ｎは２以上の自然数）に使用する前記描素部を指定し、
前記露光ヘッドについて、描素部制御手段により、前記使用描素部指定手段により指定された前記描素部のみが露光に関与するように、前記描素部の制御を行い、
前記感光層に対し、前記露光ヘッドを走査方向に相対的に移動させて行われる請求項１２に記載のパターン形成方法。
【請求項１４】
露光が行われた後、感光層の現像を行う請求項１２から１３いずれかに記載のパターン形成方法。
【請求項１５】
現像が行われた後、エッチング処理及びめっき処理の少なくともいずれかを行う請求項１４記載のパターン形成方法。
【請求項１６】
現像が行われた後、感光層に対して硬化処理を行う請求項１４に記載のパターン形成方法。
【請求項１７】
保護膜、層間絶縁膜、及びソルダーレジストパターンの少なくともいずれかを形成する請求項１６に記載のパターン形成方法。

【図２５】