スクライブヘッド
【課題】スクライブヘッドにおいて昇降機構内にカレット等が混入しないようにして動作不良を防止すること。
【解決手段】ベースプレート１１の上下にトッププレート１２とボトムプレート１３を有し、トッププレート１２の上部にサーボモータ１４、トッププレートとボトムプレートの間に昇降機構部を設ける。トッププレート１２、ボトムプレート１３の側面にはＬ字形カバー３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂを設け、Ｌ字形カバーと共に段差部を形成する。この段差部に沿ってコ字形のメインカバー３５を挿入して固定する。これによりメインカバー３５で昇降機構部を覆うことができ、スクライブ時にカレット等の異物の混入を防止することができる。
【解決手段】ベースプレート１１の上下にトッププレート１２とボトムプレート１３を有し、トッププレート１２の上部にサーボモータ１４、トッププレートとボトムプレートの間に昇降機構部を設ける。トッププレート１２、ボトムプレート１３の側面にはＬ字形カバー３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂを設け、Ｌ字形カバーと共に段差部を形成する。この段差部に沿ってコ字形のメインカバー３５を挿入して固定する。これによりメインカバー３５で昇降機構部を覆うことができ、スクライブ時にカレット等の異物の混入を防止することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクライブ装置に用いられるスクライブヘッドに関し、特にスクライブ時のカレット等の混入を防止することができるスクライブヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルとなるように分断される。マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。ＦＰＤの製造では、一枚のマザー基板をスクライブして、ブレイク加工により複数個のパネル基板を取り出す。
【０００３】
スクライブ装置には、例えば特許文献１に示されるように、脆性材料基板を載置して保持するテーブルと、脆性材料基板に対して相対的に水平方向に移動することができ、上下方向にも移動自在のスクライブヘッドとが設けられている。スクライブヘッドの下端部には、チップホルダが取付けられている。チップホルダはその下端にスクライビングホイールを回転自在に保持するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２００８−１４９５１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるにこのような従来のスクライブ装置において、スクライブヘッドにはガラス等の脆性材料基板をスクライブしたり分断する際に、例えば微小なカレット等の異物が混入し易く、動作不良の原因となることがあるという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、カレット等の混入を防止できるようにしたスクライブヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、ベースプレートと、前記ベースプレートに対して垂直に取り付けられたトッププレート及びボトムプレートと、前記トッププレートとボトムプレートとの間に設けられ、前記チップホルダをその下端に保持し、チップホルダを昇降させる昇降機構と、を有するスクライブヘッドにおいて、前記トッププレートとボトムプレートの夫々の側壁に取り付けられて段差部を形成するＬ字形カバーと、前記トッププレートとボトムプレート及び前記Ｌ字形カバーに接して前記昇降機構を覆うメインカバーと、を具備するものである。
【０００８】
ここで前記昇降機構は、サーボモータと、前記サーボモータのモータ軸に連結するボールねじと、前記ボールねじによって上下動自在に前記ベースプレートに取り付けられるスライドブロックと、を具備するようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
このような特徴を有する本発明によれば、スクライブヘッドを用いてスクライブする際に脆性材料基板から生じるカレット等の微小な異物が昇降機構部に混入するのを防ぐことができる。そのため異物の混入に伴う動作不良を未然に防止することができ、スクライブ動作を安定させることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図である。
【図２】図２は本実施の形態によるスクライブヘッドの組立構成図である。
【図３】図３は本実施の形態によるメインカバーを取り付ける前のスクライブヘッドの正面図である。
【図４】図４は本実施の形態によるメインカバーを取り付ける前のスクライブヘッドの中央縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図であり、図２はその組立構成図である。又図３はこの実施の形態のメインカバーを取り付ける前のスクライブヘッドの正面図、図４はその中央縦断面図である。これらの図に示すようにスクライブヘッドは図示しないブリッジに垂直に取り付けられる長方形状のベースプレート１１を有している。ベースプレート１１の上部にトッププレート１２が水平に設けられ、ベースプレート１１の最下部にトッププレート１２と平行にボトムプレート１３が設けられる。トッププレート１２、及びボトムプレート１３はほぼ同一形状の十分厚い金属板であり、その厚さは同一とする。トッププレート１２の上部にはサーボモータ１４がその回転軸を下方に向けて固定されている。又サーボモータ１４の上部には、その回転角を検出するエンコーダ１５が設けられている。サーボモータ１４のモータ軸には、図４に示すようにカップリング１６を介してボールねじ１７のシャフト１７ａが取り付けられる。又ベースプレート１１にはトッププレート１２とボトムプレート１３の間にスライドブロック１８がリニアウェイ１９を介して上下動自在に取り付けられている。スライドブロック１８にはボールねじ１７のナット部１７ｂが取り付けられ、サーボモータ１４の回転に伴ってスライドブロック１８を上下動させることができる。スライドブロック１８の下方には、ボトムプレート１３を貫通して上ヘッドカバー２０の内側に下向きにチップホルダ２１が設けられている。チップホルダ２１はホルダ部の下端にホイールチップ２２を回転自在に保持するものである。ここでサーボモータ１４とカップリング１６、ボールねじ１７、スライドブロック１８及びリニアウェイ１９は、チップホルダ２１を昇降させる昇降機構を構成している。
【００１２】
さてこの実施の形態においては、図２，図３に示すようにトッププレート１２の側壁に正面の中央部分を除いて一対のＬ字形カバー３１ａ，３１ｂが取り付けられる。Ｌ字形カバー３１ａ，３１ｂは細長い平板をＬ字形に折り曲げたものであり、ねじ３２ａ，３２ｂによって固定される。このＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの幅はトッププレート１２の厚さよりも小さいものとし、トッププレート１２の上面とＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの上面とが一致するように取り付ける。こうすればトッププレート１２の側壁とＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの下端面によって段差部を形成することができる。
【００１３】
同様にしてボトムプレート１３の側壁にも正面の中央部分を除いて一対のＬ字形カバー３３ａ，３３ｂが取り付けられる。Ｌ字形カバー３３ａ，３３ｂは細長い平板をＬ字形に折り曲げたものであり、ねじ３４ａ，３４ｂによって固定される。このＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの幅はボトムプレート１３の厚さよりも小さいものとし、ボトムプレート１３の下面とＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの下面とが一致するように取り付ける。こうすればボトムプレート１３の側壁とＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの上端面によって段差部を形成することができる。
【００１４】
次に前述した昇降機構をカバーするためのメインカバー３５について説明する。メインカバー３５は図２に斜視図を示すように、平板をコ字状に折り曲げた部材であって、上部中央及び下部中央には図示のように突起部３５ａ，３５ｂが形成される。突起部３５ａ，３５ｂの幅はＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの間の幅及びＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの間の幅に相当するものとする。更に突起部３５ａ，３５ｂの中央部分には、夫々開口３６ａ，３６ｂが設けられている。メインカバー３５の厚さはＬ字形カバー３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂの厚さと等しいものとする。このメインカバー３５の内側の幅及び奥行きは、トッププレート１２及びボトムプレート１３の幅及び奥行きと夫々ほぼ等しいものとする。こうすれば図１に示すようにメインカバー３５を段差部に沿って挿入することによって、メインカバー３５とＬ字形カバー３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂとの表面をそろえてスクライブヘッドに隙間なく取り付けることができる。この状態でメインカバー３５の正面の開口３６ａ，３６ｂからねじ３７ａ，３７ｂを挿入してトッププレート１２、ボトムプレート１３に固定する。このときメインカバー３５はトッププレート１２とボトムプレート１３の左右に設けられたねじ３２ａ，３２ｂ，３４ａ，３４ｂによってその側壁の上下部分が保持されている。
【００１５】
このようにしてメインカバー３５をスクライブヘッドに取り付けると、脆性材料基板をスクライブしたときにカレット等が生じた場合であってもボールねじやスライドブロック等の昇降機構部には混入することはない。従って昇降機構部の故障の原因をなくすることができる。
【００１６】
尚この実施の形態においてはサーボモータとボールねじによる昇降機構をメインカバーより覆うようにしているが、本発明はエアーシリンダによってチップホルダを昇降させる昇降機構を有するスクライブヘッドにも適用することができる。
【００１７】
又本実施の形態においてはＬ字形カバーはトッププレートとボトムプレートの側面に取り付けるようにしているが、側壁にＬ字形カバーに相当する突出部分を有するトッププレートやボトムプレートを用いるようにしてもよい。又トッププレートの下面及びボトムプレートの上面にその稜線部より少し内側にＬ字形のカバーを固定して、これに沿ってメインカバーを挿入するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明はスクライブヘッドの昇降機構にカレット等の混入を防止することができ、スクライブ装置に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００１９】
１１ ベースプレート
１２ トッププレート
１３ ボトムプレート
１４ サーボモータ
１５ エンコーダ
１６ カップリング
１７ ボールねじ
１８ スライドブロック
１９ リニアウェイ
２０ 上ヘッドカバー
２１ チップホルダ
３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂ Ｌ字形カバー
３２ａ，３２ｂ，３４ａ，３４ｂ，３７ａ，３７ｂ ねじ
３５ メインカバー
３５ａ，３５ｂ 突起部
３６ａ，３６ｂ 開口
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクライブ装置に用いられるスクライブヘッドに関し、特にスクライブ時のカレット等の混入を防止することができるスクライブヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや液晶プロジェクタ基板等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等では、製造過程においてマザーガラス基板が貼り合わされた後に所定の大きさの単個のパネルとなるように分断される。マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断には、スクライブ工程とブレイク工程があり、スクライブ工程ではスクライブ装置が用いられる。ＦＰＤの製造では、一枚のマザー基板をスクライブして、ブレイク加工により複数個のパネル基板を取り出す。
【０００３】
スクライブ装置には、例えば特許文献１に示されるように、脆性材料基板を載置して保持するテーブルと、脆性材料基板に対して相対的に水平方向に移動することができ、上下方向にも移動自在のスクライブヘッドとが設けられている。スクライブヘッドの下端部には、チップホルダが取付けられている。チップホルダはその下端にスクライビングホイールを回転自在に保持するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ２００８−１４９５１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるにこのような従来のスクライブ装置において、スクライブヘッドにはガラス等の脆性材料基板をスクライブしたり分断する際に、例えば微小なカレット等の異物が混入し易く、動作不良の原因となることがあるという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、カレット等の混入を防止できるようにしたスクライブヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッドは、ベースプレートと、前記ベースプレートに対して垂直に取り付けられたトッププレート及びボトムプレートと、前記トッププレートとボトムプレートとの間に設けられ、前記チップホルダをその下端に保持し、チップホルダを昇降させる昇降機構と、を有するスクライブヘッドにおいて、前記トッププレートとボトムプレートの夫々の側壁に取り付けられて段差部を形成するＬ字形カバーと、前記トッププレートとボトムプレート及び前記Ｌ字形カバーに接して前記昇降機構を覆うメインカバーと、を具備するものである。
【０００８】
ここで前記昇降機構は、サーボモータと、前記サーボモータのモータ軸に連結するボールねじと、前記ボールねじによって上下動自在に前記ベースプレートに取り付けられるスライドブロックと、を具備するようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
このような特徴を有する本発明によれば、スクライブヘッドを用いてスクライブする際に脆性材料基板から生じるカレット等の微小な異物が昇降機構部に混入するのを防ぐことができる。そのため異物の混入に伴う動作不良を未然に防止することができ、スクライブ動作を安定させることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図である。
【図２】図２は本実施の形態によるスクライブヘッドの組立構成図である。
【図３】図３は本実施の形態によるメインカバーを取り付ける前のスクライブヘッドの正面図である。
【図４】図４は本実施の形態によるメインカバーを取り付ける前のスクライブヘッドの中央縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッドの一例を示す斜視図であり、図２はその組立構成図である。又図３はこの実施の形態のメインカバーを取り付ける前のスクライブヘッドの正面図、図４はその中央縦断面図である。これらの図に示すようにスクライブヘッドは図示しないブリッジに垂直に取り付けられる長方形状のベースプレート１１を有している。ベースプレート１１の上部にトッププレート１２が水平に設けられ、ベースプレート１１の最下部にトッププレート１２と平行にボトムプレート１３が設けられる。トッププレート１２、及びボトムプレート１３はほぼ同一形状の十分厚い金属板であり、その厚さは同一とする。トッププレート１２の上部にはサーボモータ１４がその回転軸を下方に向けて固定されている。又サーボモータ１４の上部には、その回転角を検出するエンコーダ１５が設けられている。サーボモータ１４のモータ軸には、図４に示すようにカップリング１６を介してボールねじ１７のシャフト１７ａが取り付けられる。又ベースプレート１１にはトッププレート１２とボトムプレート１３の間にスライドブロック１８がリニアウェイ１９を介して上下動自在に取り付けられている。スライドブロック１８にはボールねじ１７のナット部１７ｂが取り付けられ、サーボモータ１４の回転に伴ってスライドブロック１８を上下動させることができる。スライドブロック１８の下方には、ボトムプレート１３を貫通して上ヘッドカバー２０の内側に下向きにチップホルダ２１が設けられている。チップホルダ２１はホルダ部の下端にホイールチップ２２を回転自在に保持するものである。ここでサーボモータ１４とカップリング１６、ボールねじ１７、スライドブロック１８及びリニアウェイ１９は、チップホルダ２１を昇降させる昇降機構を構成している。
【００１２】
さてこの実施の形態においては、図２，図３に示すようにトッププレート１２の側壁に正面の中央部分を除いて一対のＬ字形カバー３１ａ，３１ｂが取り付けられる。Ｌ字形カバー３１ａ，３１ｂは細長い平板をＬ字形に折り曲げたものであり、ねじ３２ａ，３２ｂによって固定される。このＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの幅はトッププレート１２の厚さよりも小さいものとし、トッププレート１２の上面とＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの上面とが一致するように取り付ける。こうすればトッププレート１２の側壁とＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの下端面によって段差部を形成することができる。
【００１３】
同様にしてボトムプレート１３の側壁にも正面の中央部分を除いて一対のＬ字形カバー３３ａ，３３ｂが取り付けられる。Ｌ字形カバー３３ａ，３３ｂは細長い平板をＬ字形に折り曲げたものであり、ねじ３４ａ，３４ｂによって固定される。このＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの幅はボトムプレート１３の厚さよりも小さいものとし、ボトムプレート１３の下面とＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの下面とが一致するように取り付ける。こうすればボトムプレート１３の側壁とＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの上端面によって段差部を形成することができる。
【００１４】
次に前述した昇降機構をカバーするためのメインカバー３５について説明する。メインカバー３５は図２に斜視図を示すように、平板をコ字状に折り曲げた部材であって、上部中央及び下部中央には図示のように突起部３５ａ，３５ｂが形成される。突起部３５ａ，３５ｂの幅はＬ字形カバー３１ａ，３１ｂの間の幅及びＬ字形カバー３３ａ，３３ｂの間の幅に相当するものとする。更に突起部３５ａ，３５ｂの中央部分には、夫々開口３６ａ，３６ｂが設けられている。メインカバー３５の厚さはＬ字形カバー３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂの厚さと等しいものとする。このメインカバー３５の内側の幅及び奥行きは、トッププレート１２及びボトムプレート１３の幅及び奥行きと夫々ほぼ等しいものとする。こうすれば図１に示すようにメインカバー３５を段差部に沿って挿入することによって、メインカバー３５とＬ字形カバー３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂとの表面をそろえてスクライブヘッドに隙間なく取り付けることができる。この状態でメインカバー３５の正面の開口３６ａ，３６ｂからねじ３７ａ，３７ｂを挿入してトッププレート１２、ボトムプレート１３に固定する。このときメインカバー３５はトッププレート１２とボトムプレート１３の左右に設けられたねじ３２ａ，３２ｂ，３４ａ，３４ｂによってその側壁の上下部分が保持されている。
【００１５】
このようにしてメインカバー３５をスクライブヘッドに取り付けると、脆性材料基板をスクライブしたときにカレット等が生じた場合であってもボールねじやスライドブロック等の昇降機構部には混入することはない。従って昇降機構部の故障の原因をなくすることができる。
【００１６】
尚この実施の形態においてはサーボモータとボールねじによる昇降機構をメインカバーより覆うようにしているが、本発明はエアーシリンダによってチップホルダを昇降させる昇降機構を有するスクライブヘッドにも適用することができる。
【００１７】
又本実施の形態においてはＬ字形カバーはトッププレートとボトムプレートの側面に取り付けるようにしているが、側壁にＬ字形カバーに相当する突出部分を有するトッププレートやボトムプレートを用いるようにしてもよい。又トッププレートの下面及びボトムプレートの上面にその稜線部より少し内側にＬ字形のカバーを固定して、これに沿ってメインカバーを挿入するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明はスクライブヘッドの昇降機構にカレット等の混入を防止することができ、スクライブ装置に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００１９】
１１ ベースプレート
１２ トッププレート
１３ ボトムプレート
１４ サーボモータ
１５ エンコーダ
１６ カップリング
１７ ボールねじ
１８ スライドブロック
１９ リニアウェイ
２０ 上ヘッドカバー
２１ チップホルダ
３１ａ，３１ｂ，３３ａ，３３ｂ Ｌ字形カバー
３２ａ，３２ｂ，３４ａ，３４ｂ，３７ａ，３７ｂ ねじ
３５ メインカバー
３５ａ，３５ｂ 突起部
３６ａ，３６ｂ 開口
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースプレートと、
前記ベースプレートに対して垂直に取り付けられたトッププレート及びボトムプレートと、
前記トッププレートとボトムプレートとの間に設けられ、前記チップホルダをその下端に保持し、チップホルダを昇降させる昇降機構と、を有するスクライブヘッドにおいて、
前記トッププレートとボトムプレートの夫々の側壁に取り付けられて段差部を形成するＬ字形カバーと、
前記トッププレートとボトムプレート及び前記Ｌ字形カバーに接して前記昇降機構を覆うメインカバーと、を具備するスクライブヘッド。
【請求項２】
前記昇降機構は、サーボモータと、前記サーボモータのモータ軸に連結するボールねじと、前記ボールねじによって上下動自在に前記ベースプレートに取り付けられるスライドブロックと、を具備する請求項１記載のスクライブヘッド。
【請求項１】
ベースプレートと、
前記ベースプレートに対して垂直に取り付けられたトッププレート及びボトムプレートと、
前記トッププレートとボトムプレートとの間に設けられ、前記チップホルダをその下端に保持し、チップホルダを昇降させる昇降機構と、を有するスクライブヘッドにおいて、
前記トッププレートとボトムプレートの夫々の側壁に取り付けられて段差部を形成するＬ字形カバーと、
前記トッププレートとボトムプレート及び前記Ｌ字形カバーに接して前記昇降機構を覆うメインカバーと、を具備するスクライブヘッド。
【請求項２】
前記昇降機構は、サーボモータと、前記サーボモータのモータ軸に連結するボールねじと、前記ボールねじによって上下動自在に前記ベースプレートに取り付けられるスライドブロックと、を具備する請求項１記載のスクライブヘッド。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１２−２５５９５（Ｐ２０１２−２５５９５Ａ）
【公開日】平成２４年２月９日（２０１２．２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６２７５８（Ｐ２０１０−１６２７５８）
【出願日】平成２２年７月２０日（２０１０．７．２０）
【出願人】（３９００００６０８）三星ダイヤモンド工業株式会社 (383)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月９日（２０１２．２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２０日（２０１０．７．２０）
【出願人】（３９００００６０８）三星ダイヤモンド工業株式会社 (383)
【Ｆターム（参考）】
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