【課題】安価に製造可能でかつ長寿命化が図られたスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】超硬合金からなり、平板部と、その一方主面から突出する複数の突出部とを有し、各突出部から平板部の他方主面へと貫通する複数の第１の貫通孔が設けられてなる第１の母材を用意し、それぞれが中央部に第２の貫通孔を備える複数のダイヤモンド板を、各突出部を第２の貫通孔に挿通する態様にて第１の母材の接合材が塗布された箇所に積層配置し、超硬合金からなり、第１の母材における突出部と同じ間隔にて配置されてなる複数の第３の貫通孔を備える第２の母材を、各突出部を第３の貫通孔に挿通する態様にてダイヤモンド板の上に積層配置し、得られた積層体を加熱した後、単位積層体に分断し、それぞれの単位積層体の外周部分を研削することにより、単結晶刃先を有しピンの挿入孔が超硬合金によって形成されたスクライビングホイールを得る。 （もっと読む）

【課題】硬脆材からなる被削材の振動を抑えて精度良く切削加工を行うことができる硬脆材用切削加工工具を提供する。
【解決手段】硬脆材用切削加工工具１００は、シャンク１０１の先端部に錐状に突出した形状で焼結ダイヤモンド製の刃部１１０を備えている。刃部１１０は、シャンク１０１の先端部からシャンク１０１の軸方向（長手方向）側に立ち上る第１壁面１１１、第２壁面１１２および第３壁面１１３と、第１壁面１１１と第２壁面１１２とで形成される稜線上に形成される切れ刃１１４と、第１壁面１１１、第２壁面１１２および第３壁面１１３の各先端部に形成される先端面１１５とで構成されている。切れ刃１１４は、シャンク１０１側からシャンク１０１の径方向の内側に向って凹状に凹んで形成された凹状部１１４ａと、この凹状部１１４ａに連続的に形成されてシャンク１０１の軸線方向側に直線状に延びた軸方向部１１４ｂとで構成されている。 （もっと読む）

【課題】安価に製造可能でかつ長寿命化が図られたスクライビングホイールを提供する。
【解決手段】スクライビングホイールが、超硬合金からなり、円板状の平板部とその一方主面から突出する突出部とを有し、かつ、突出部から平板部の他方主面へと貫通し、スクライビングホイールを回転自在に保持するピンを挿入する挿入孔が設けられた基部と、単結晶ダイヤモンドからなり、円板状をなすとともに外周部分が断面視三角形状の刃先をなしている刃先部と、超硬合金からなり、円板状をなすキャップ部と、を備え、突出部が刃先部とキャップ部のそれぞれに設けられた貫通孔に挿通されてなるとともに、刃先部が平板部とキャップ部とに挟み込まれた状態で、刃先が平板部およびキャップ部の外周部分よりも突出してなるようにする。 （もっと読む）

【課題】切断中にブレードの変位を安定的に抑制でき、これにより切断されたインゴットブロックやウェーハの切断面の品質を安定して保つことができ、ブレードの寿命を延長でき、切断速度を向上できるバンドソー切断装置及びインゴットの切断方法を提供する。
【解決手段】周回駆動されたブレードを静圧パッドによって案内しながら、ブレードをインゴットの上方から相対的に下方に送り出すことによってインゴットを切断するバンドソー切断装置であって、さらに、静圧パッドをブレードの周回方向に対して前後方向に移動させる駆動部と、該駆動部による静圧パッドの移動距離及び移動速度を制御する制御部とを有し、静圧パッドを制御部で移動制御しながらインゴットを切断するものであることを特徴とするバンドソー切断装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ照射によって生じる脆性基板内の熱拡散による基板の変形を防止する。
【解決手段】脆性基板加工装置は、レーザ光を脆性基板表面上の加工予定ラインに従って所定速度で移動させながら照射し、レーザ光移動後の加熱位置に冷却媒体を吹き付ける。このレーザ加工中に脆性基板の加工予定ラインの両側を押圧手段で押圧することによって、加工時のレーザ照射による発熱を割断ライン付近で吸収すると共に拡散する熱による脆性基板の変形を防止する。ヘッド位置調整手段によって移動時における加工ヘッドの基板に対する間隔をほぼ同一高さに制御する。脆性基板をエアの吹き出しと吸引によりバランスさせて浮上させるエア浮上ステージ手段にて保持する。冷却手段は、液体である冷却媒体とキャリアガスを混合したものを脆性基板表面に適量吹き付ける。 （もっと読む）

【課題】災害後に建物内に到達するために、補強コンクリート壁に迅速に開口部を形成し、かつ、携帯可能な制御所毛木救出ツールを提供する。
【解決手段】衝撃要素１０はピストンヘッド２２にはたらく力によって外部要素へと駆動可能な単一本体４０を含む。該単一本体は、頭部、および該頭部と一体的に連結される第１端部、第１端部と対向する第２端部および第１端部と第２端部との間に介装される中央部を有するシャフトを含む。該シャフトの第２端部がピストンヘッドと連動連結され、頭部から離れて配置されるジョイント４６を定義する。該シャフトの第１端部は、中央部と同等の直径を有する末尾部分、頭部の後端と同等の直径を有する先頭部分、および末尾部分から先頭部分へのテーパーを有する。 （もっと読む）

【課題】うねりの小さい基板を容易に製造できるようにした切断装置及び基板の製造方法、半導体ウエハを提供する。
【解決手段】一対のローラー１０間にワイヤー２０が巻き掛けられてワイヤー列２１が構成され、ワイヤー列２１を一対のローラー１０間で移動させながら当該ワイヤー列２１にインゴット１を押し当てて該インゴット１を切断するワイヤーソー１００であって、補助ローラー６０を備える。この補助ローラー６０は、ワイヤー列２１に対しインゴット１からの負荷がない状態で、ワイヤー列２１に当接してその張力を増加させる。 （もっと読む）

【課題】焼結セラミックシートを迅速に複雑な形状に加工する裁断焼結セラミックシートの製造方法と前記方法で製造した裁断焼結セラミックシートを提供する。
【解決手段】セラミックグリーンシートを成形する第一工程と、成形セラミックグリーンシートを焼成する第二工程と、焼結セラミックシートの少なくとも片面に粘着剤が塗布された可撓性樹脂フィルムを貼着してフィルム貼着セラミックシートを得る第三工程と、前記フィルム貼着セラミックシートをせん断する第四工程と、からなる裁断焼結セラミックシートの製造方法において、前記第四工程は、前記フィルム貼着セラミックシートを上下金型の当接面に対して第一又は第二押圧手段により直接又は間接的に押圧しながら前記上下金型の当接面にあるエッジ間でせん断する操作を含む裁断焼結セラミックシートの製造方法と、前記方法で製造した裁断焼結セラミックシートを提供する。 （もっと読む）

【課題】加工精度に優れ、かつワイヤー１６の張り渡し作業が容易であるワイヤーソーのローラ１２の提供。
【解決手段】ワイヤーソーのローラ１２は、その外周面に多数の溝２０を備えている。それぞれの溝２０は、周方向に延在している。この溝２０は、主部２４と案内部２６とを備えている。案内部２６は、主部２４の半径方向外側に位置している。案内部２６は、その内側端２８において主部２４と連続している。案内部２６は、その外側端３０において、ランド２２と連続している。主部２４は、実質的に「Ｕ」字状である断面形状を有している。案内部２６は、半径方向外側に向かって徐々に幅が広がる断面形状を有している。案内部２６の開き角度θは、４０°以上１００°以下である。 （もっと読む）

【課題】スクライビングホイールの側壁面とホルダーの支持部との間にカレットが巻き込まれ難くすると共に、ピンが回転し易くしたホルダー、ホルダーユニット及びスクライブ装置の提供。
【解決手段】ホルダーユニット１０のホルダー１１は、ホルダー溝１４によって形成された互いに平行な対向する面を有する一対の支持部１５、１６と、支持部１５、１６にそれぞれ同軸に貫通するように形成された一対のピン孔１７、１８及びディスク状のスクライビングホイール１２の貫通孔に回転自在に挿入され、ホルダー溝１４内でスクライビングホイール１２を回転自在に保持するピン１９と、を有し、ホルダー溝１４は、スクライビングホイール１２の一部が挿入される狭幅部１４ａと、ホルダー１１の切断端側に形成された狭幅部１４ａよりも幅広の広幅部１４ｂとからなり、ピン孔１７、１８はホルダー溝１４の広幅部１４ｂに対応する位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 被加工物に発生するクラックを低減することのできる被加工物の切断方法を提供すること。
【解決手段】 第１メインローラ５ａと、これから所定距離を隔てて配置された第２メインローラ５ｂと、これらメインローラ間で複数列に平面状に張られた、表面に砥粒が固着されているワイヤー３とを備えており、第１メインローラ５ａにワイヤー３を供給しながら、第２メインローラ５ｂからワイヤー３を送出するワイヤーソー装置Ｓを用いて、被加工物１の切断開始時に、無負荷状態における複数列のワイヤー３を含む仮想平面１２に対して、被加工物１の第１メインローラ５ａ側に位置する第１面１ａの第１端部２１が仮想平面１２から上方へ離れる方向に第１面１ａを傾斜させるとともに、被加工物１の第２メインローラ５ｂ側に位置する第１面１ａの第２端部２２をワイヤー３に最初に接触させて切断を行なう被加工物の切断方法とする。 （もっと読む）

【課題】 加工困難な強化ガラス製のガラス基板であっても、内切りで確実にスクライブラインを形成することができるスクライブ方法を提供する。
【解決手段】 基板Ｍの一端縁より内側に入り込んだ位置で、点状の尖端または線状の尖端を有するけがき部材１１を、基板Ｍに対し上方から下降するようにして衝突させて衝突痕を形成することで基板Ｍ表面の圧縮応力層を剥離し、当該衝突痕をスクライブの起点となるトリガ溝Ｔ_１として形成する剥離工程と、カッターホイール１２をトリガ溝に当接して圧接転動させることによりスクライブラインＳを形成するスクライブ工程とによるスクライブを行う。 （もっと読む）

【課題】ウエハソーイングシステムおよびウエハソーイングシステム内でインゴットを鋸で切る方法を提供すること。
【解決手段】システムは、インゴット入力モジュール、インゴット出力モジュール、２つ以上のワイヤソーイングチャンバであって、それぞれが２つのワイヤガイドシリンダ、ワイヤガイドシリンダの両方にわたって配設される少なくとも１つのワイヤ、単一のインゴットを受けるように構成される支持テーブル、および支持テーブル上に配設される単一のインゴットを少なくとも１つのワイヤに対して付勢するように構成されるインゴット位置決めシステムを備えるワイヤソーイングチャンバ、ならびにインゴット入力モジュール、２つ以上のワイヤソーイングチャンバのうちの少なくとも１つ、およびインゴット出力チャンバの間で単一のインゴットを移送するように構成されるロボットを含む。 （もっと読む）

【課題】重量的に作業労力が大きくならず、作業現場の条件に合わせて切削溝の同時溝入れ条数と、切削溝同士の間隔を適宜変更することができるディスクグラインダーに用いられる多層重ね合わせダイヤモンドカッターを提供する。
【解決手段】筒状のスリーブ上部胴体部を有する中空凸状形状をしたフランジスリーブ３と、フランジスリーブ３のスリーブ上部胴体部に挿入されるダイヤモンドカッター４と、フランジスリーブ３のスリーブ上部胴体部に複数枚挿入されたダイヤモンドカッター４を間にそれぞれ挟挿されるスペーサリング６と、フランジスリーブ３のスリーブ上部胴体部内に挿入される筒状のナット下部胴体部が設けられ、ナット下部胴体部の内周にディスクグラインダー１の回転軸に形成された雄螺子と螺合する雌螺子が形成された中空凸状形状をした締付けナット５が設けられた多層重ね合わせダイヤモンドカッターとした。 （もっと読む）

【課題】スクライブ装置等において基板までの距離を検出する場合にスクライブヘッドの上部位置を原点とすると、スクライブ装置毎に原点位置が異なり、共通したレシピテーブルを作成できないという欠点があった。
【解決手段】非接触センサを用いてテーブルまでの距離ｄ１を算出し、基準ブロックまでの距離ｄ２を算出し、その差Δｄを保持すると共に、スクライブヘッドを降下し基準ブロックに当接させて刃先とテーブルとの差を検出し、テーブルの上面を零点の位置としてスクライブヘッドの位置を表現できるようにする。これによってテーブルの上面を零点として基板の厚さを含むスクライブ方法を記述したレシピテーブルを作成しておくことで、スクライブ装置の種類にかかわらず同一種類の脆性材料基板に対してスクライブ加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハを切断するためのワイヤソーの円筒形ワイヤガイドに連結するための、クランプアセンブリを開示すること。
【解決手段】シャフト側コネクタが開示され、シャフト側コネクタは、ワイヤソーのシャフトに連結するようになされ、シャフトが回転軸を有する。シャフト側コネクタは、軸に直角でワイヤガイドの相補的なコネクタの相補的な外側表面に当接するようになされる外側表面を備える。円錐表面が外側表面と軸との間に位置し、円錐表面は、軸の周りに対称的に配設され、ワイヤガイドの相補的な表面に当接するようになされる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の厚さ方向に付与する力が比較的弱くてもガラス基板を割断可能なガラス基板割断装置を提供する。
【解決手段】本発明によるガラス基板割断装置（１００）は、主面（Ｇａ）およびスクライブ線（Ｓ）の形成された主面（Ｇｂ）を有するガラス基板（Ｇ）のうちの主面（Ｇａ）に力を付与する折割部材（１０）と、ガラス基板（Ｇ）に引張応力を付与する引張応力付与部材（２０）とを備える。折割部材（１０）は、引張応力付与部材（２０）によってガラス基板（Ｇ）に引張応力が付与された状態でガラス基板（Ｇ）の主面（Ｇａ）に力を付与することにより、ガラス基板（Ｇ）を割断する。 （もっと読む）

【課題】切断部位に注水してカッタの冷却若しくは切断粉の飛散防止を図るための注水タンクを備えた注水カッタが提供されている。従来、ハンドル部に対するタンク本体の位置によりその重量バランスが損なわれる問題があった。本発明では、この重量バランスの問題を解消する。
【解決手段】平面視でタンク本体２１をハンドル部１０に対して鋸刃とは反対側に配置する。また、平面視でタンク本体２１をハンドル軸線Ｈに対して傾斜配置することにより、その重心位置を従来の平行配置よりもハンドル部１０に接近した位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】鉄筋コンクリート構造物に対する回転と打撃を併用して削孔するドリルによる削孔を、大掛かりな冶具や機械、仮設を不要にしながら、狭隘なスペースでも可能にする。
【解決手段】鉄筋コンクリート構造物１に固定するスタンド５に沿って移動可能に組み付けた回転と打撃を併用して削孔するドリル４により、鉄筋コンクリート構造物１に対し削孔する。具体的には、回転と打撃を併用して削孔するドリル４をスタンド５に沿って後退させてスタンド５の先端部で一体的に回転させた後、削孔より削孔ロッドを抜き出してから、削孔にスタンド５より長い長尺の削孔ロッドを挿入して、その長尺の削孔ロッドを回転と打撃を併用して削孔するドリル４に装着し、回転と打撃を併用して削孔するドリル４に装着した長尺の削孔ロッドにより、削孔をスタンド５の長さ以上に深く削孔する。 （もっと読む）