パターン形成材料及びパターン形成方法

【課題】バインダーとして、親水性のポリマーと疎水性のポリマーとを組み合わせることにより、高解像度及び良好な剥離性を保ちつつ、密着性が良好で、かつエッジフュージョンがないパターン形成材料及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】支持体と、該支持体上に、バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を有し、前記バインダーが、（Ａ）オキシアルキル(メタ)アクリレート類に由来する構造単位を有するポリマー及び（Ｂ）Ｉ／Ｏ値が０．３００〜０．６５０のポリマーを含むことを特徴とするパターン形成材料である。前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法である。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体と、該支持体上に、バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を有し、
前記バインダーが、（Ａ）オキシアルキル(メタ)アクリレート類に由来する構造単位を有するポリマー及び（Ｂ）Ｉ／Ｏ値が０．３００〜０．６５０のポリマーを含むことを特徴とするパターン形成材料。
【請求項２】
（Ａ）オキシアルキル(メタ)アクリレート類に由来する構造単位を有するポリマーが、更に、芳香族基を部分構造に持つ構造単位を有する請求項１に記載のパターン形成材料。
【請求項３】
（Ｂ）Ｉ／Ｏ値が０．３００〜０．６５０のポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）が、８０℃以上である請求項１から２のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項４】
（Ｂ）Ｉ／Ｏ値が０．３００〜０．６５０のポリマーが共重合体を含み、該共重合体がスチレン、スチレン誘導体、及びベンジル（メタ）アクリレートの少なくともいずれかに由来する構造単位を有する請求項１から３のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項５】
増感剤を含む請求項１から４のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項６】
長尺状であり、ロール状に巻かれてなる請求項１から５のいずれかに記載のパターン形成材料。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のパターン形成材料における感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法。
【請求項８】
感光層に対し、光照射手段、及び前記光照射手段からの光を受光し出射するｎ個（ただし、ｎは２以上の自然数）の２次元状に配列された描素部を有し、パターン情報に応じて前記描素部を制御可能な光変調手段を備えた露光ヘッドであって、該露光ヘッドの走査方向に対し、前記描素部の列方向が所定の設定傾斜角度θをなすように配置された露光ヘッドを用い、
前記露光ヘッドについて、使用描素部指定手段により、使用可能な前記描素部のうち、Ｎ重露光（ただし、Ｎは２以上の自然数）に使用する前記描素部を指定し、
前記露光ヘッドについて、描素部制御手段により、前記使用描素部指定手段により指定された前記描素部のみが露光に関与するように、前記描素部の制御を行い、
前記感光層に対し、前記露光ヘッドを走査方向に相対的に移動させて行われる請求項７に記載のパターン形成方法。

【図２５】