ワーク搬送装置及びワーク搬送方法
【課題】搬送効率の良いワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送路に沿って配置された複数のステージにワークを搬送テーブルに載せて搬送するワーク搬送装置において、並存してワークを交互に保持して搬送する第１及び第２搬送機構と、第１及び第２搬送機構を制御する制御部と、を備え、第１搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルからなる第１搬送テーブル列を搬送方向において進退し、第２搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルからなる第２搬送テーブル列を搬送方向において進退し、制御部は、第１及び第２搬送機構を交互に進退させ、進退する第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、ワークの保持をこれから前進する搬送テーブル列側に切換える。
【解決手段】搬送路に沿って配置された複数のステージにワークを搬送テーブルに載せて搬送するワーク搬送装置において、並存してワークを交互に保持して搬送する第１及び第２搬送機構と、第１及び第２搬送機構を制御する制御部と、を備え、第１搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルからなる第１搬送テーブル列を搬送方向において進退し、第２搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルからなる第２搬送テーブル列を搬送方向において進退し、制御部は、第１及び第２搬送機構を交互に進退させ、進退する第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、ワークの保持をこれから前進する搬送テーブル列側に切換える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象となるワークを処理位置の内外の位置に移動するワーク搬送装置に関し、特にワークの搬送効率を高めたワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池基板、フラットディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、半導体ウエハ等のワークに加工、処理、組み立て等を施す場合（以下、単に「処理」と称する。）、ワークを搬入位置あるいは導入位置から加工装置が設けられた処理位置まで移動し、処理されたワークを搬出位置（次工程）に移動することが必要である。このワークの所定位置間の搬送を行うために搬送装置が使用される。
【０００３】
搬送装置には、例えば、ワークを載置するベルトコンベアやワークを載置する搬送テーブルなどが使用される。前者は連続的にワークを搬送することが出来るので単位時間当たりの搬送量（搬送効率）を上げやすいが、個々のワークの位置合せ精度を高くすることが難しい。後者は搬送テーブルにワークの保持機構を設けることが出来、また、搬送テーブル毎にワークや搬送テーブルの位置合せが可能で位置合せ精度を高くすることが可能であるが、搬送テーブルを所定の位置に空荷状態で戻す状態（工程）が生じるのでワークの搬送効率を上げにくい。
【０００４】
そこで、例えば、特開２０１０−１８３５６号公報に記載の発明（特許文献１）は、共用ネジ軸上に第１及び第２搬送機構（パレット）を直列（一列）に設けてワークの各ステーションへの投入と取り出しとを各搬送機構で分担するようにした搬送装置を提案している。また、特開２００７−２３８２３７号公報に記載の発明は、複数台のワーク処理装置に対してワークを選択的に搬送するために、ワークをテーブルに載置して搬送する搬送装置を上下方向に複数段配設したワーク搬送装置を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１８３５６号公報
【特許文献２】特開２００７−２３８２３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した第１及び第２搬送機構を直列に配置して各搬送機構の搬送テーブルを別々に動作させる場合であっても往復移動する各搬送テーブルの動作にはそれぞれ非搬送時間（空荷の戻り時間）が存在する。また、一方の搬送テーブルの位置（移動範囲）に他方の搬送テーブルの移動可能範囲（位置）が制約されるためシステムの制御が複雑である。
【０００７】
また、上述した上下方向に搬送装置を複数段配設した場合であっても各段の搬送機構の動作において往復移動する搬送テーブルの戻り時間（空荷）は存在する。
【０００８】
よって、本発明の第一の課題は、ワークの搬送効率の良いワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明の第二の課題は、上記第一の課題に加えて搬送機構が比較的に簡便であり、各種のプロセス対応やプロセス装置との組み合わせが容易なワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
かかる課題を解決する本発明のワーク搬送装置の態様の一つは、搬送路に沿って配置された複数のステージにワークを搬送テーブルに載せて搬送する搬送装置であって、並存して上記ワークを交互に保持して搬送する第１及び第２搬送機構と、上記第１及び第２搬送機構を制御する制御部と、を備え、上記第１搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第１搬送テーブル列を上記搬送方向において前進及び後退し、上記第２搬送機構は、上記搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第２搬送テーブル列を上記搬送方向において前進及び後退し、上記制御部は、上記第１及び第２搬送機構を交互に進退させ、進退する第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を一方の搬送テーブル列側から他方の搬送テーブル列側に切換える。
【００１１】
かかる構成とすることによって、ワークを一方向又はその逆方向に搬送することができる。第１（又は第２）の搬送機構の搬送テーブル列が搬送方向にワークを移動（前進）するときに、第２（又は第１）の搬送機構の搬送テーブル列が搬送方向と逆方向に移動（後退）する（搬送テーブルが戻る）ので、ワーク搬送における搬送テーブルの戻り時間のロスを実質的に解消することができ、ワークの搬送効率を向上することが出来る。
【００１２】
好ましくは、本発明のワーク搬送装置は、更に、上記第１搬送機構が、上記第１搬送テーブル列を上下動する第１上下動機構を含み、上記第２搬送機構が、上記第２搬送テーブル列を上下動する第２上下動機構を含み、上記制御部が、上記進退に際し、上記第１及び第２搬送機構のうちの一方の搬送機構の搬送テーブル列を他方の搬送機構の搬送テーブル列よりも相対的に上昇させる。
【００１３】
かかる構成とすることによって、一方の搬送テーブルに載置されたワークと、他方の相補的に（逆方向に）移動する搬送テーブルとの間で擦れることがなく、具合がよい。２つの搬送テーブル列に高さの差が出来れば良く、一方の搬送テーブル列のみが昇降する構成でも良い。ワークとの擦れが問題にならない場合には、上下動機構を省略可能である。
【００１４】
好ましくは、上記制御部は、上記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換える。それにより、上記ワークを搬送方向に移動することが出来る。
【００１５】
好ましくは、上記制御部は、上記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を後退した搬送テーブル列側から前進した搬送テーブル列側に切換える。それにより、上記ワークを逆搬送方向に移動することが出来る。
【００１６】
上記搬送テーブルは、載置された上記ワークを保持するワーク保持機構を含み、上記制御部は、上記ワーク保持機構を制御することが望ましい。それにより、一方の側の搬送テーブルから他方の側の搬送テーブルにワークの保持を切換える（ワークを移動する）ことが出来る。
【００１７】
上記ワーク保持機構が上記ワークを上記搬送テーブル上に吸引する吸引機構であることが望ましい。それにより、吸引を切り換えることによって簡単にワークの搬送テーブル間の移動が可能となって具合がよい。なお、保持（吸引、吸着）は、負圧を形成する空気（流体）による吸引、静電力による吸引、電磁力による吸引等であっても良い。
【００１８】
更に、上記第１搬送機構及び上記第２搬送機構が複数組配置され、上記制御部は、各組の一方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に前進させ、各組の他方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に後退させることが望ましい。それによって、複数のワーク搬送路を構成することができ、ワーク搬送効率を向上することができる。
【００１９】
上記各組の一方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結され、上記各組の他方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結さることが望ましい。それによって、複数の搬送テーブル列の動きが同じになる。
【００２０】
また、各搬送テーブル列における搬送テーブル相互間の距離が上記複数のステージの各ステージ相互間の距離に対応していることが望ましい。それによって、各ステージ位置で各列の搬送テーブルの停止位置が同期する。
【００２１】
上記第１及び第２搬送テーブル列の各々は、上記搬送方向に延在し、上記複数の搬送テーブルの位置に対応して複数の吸引孔が設けられた棒状の部材によって構成されることが望ましい。それにより、搬送テーブル列として一体的に動作する構造体が得られる。
【００２２】
上記第１及び第２搬送テーブル列の列上に上記ワークが保持される。それにより、ワークの下に第１及び第２搬送テーブルを並存させ、ワークを移動（変動）させることなくワークを交互に保持することが可能となる。
【００２３】
上記ステージは、搬入ステージ、アライメントステージ、印刷ステージ、搬出ステージのうち少なくともいずれかのステージを含むことが望ましい。それにより、ワーク搬送効率の良い印刷処理系統を構成することが出来る。
【００２４】
上記ステージには、上記搬送テーブルと面一になる作業テーブルが配置されることが望ましい。それにより、搬送テーブルと作業テーブルとを合わせてワークへの作業用スペースとすることができる。
【００２５】
また、本発明のワーク搬送方法の一態様は、ワークを交互に保持して搬送する２つの搬送テーブル列を搬送路に沿って並存し、上記２つの搬送テーブル列を該搬送テーブル列の搬送テーブル間隔に対応した距離で交互に進退させ、各搬送テーブル列が交互に前進するときに当該前進する搬送テーブル列に上記ワークを保持させて上記ワークを搬送する。ここで、交互に進退とは２つの搬送テーブル列間の動きにおいて相対的なものであればよい。
【００２６】
かかる方法によれば、交互に進退する２つの搬送テーブル列よりなる搬送路上をワークが一方向に向かって移動することになる。
【００２７】
また、上記交互に進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側（前進が終了してこれから後退を開始する搬送テーブル列側）から後退した搬送テーブル列側（後退が終了してこれから前進を開始する搬送テーブル列側）に切換える、ことが望ましい。それにより、ワークが２つの搬送テーブル列間を交互に移動して一方向（前進方向）に搬送される。ワークをこれから後退を開始する搬送テーブル列側に保持すれば、ワークは逆方向（後退方向）に搬送される。
【００２８】
上記２つの搬送テーブル列の進退において、前進する搬送テーブル列は後退する搬送テーブル列よりも相対的に高い位置を移動することが望ましい。それにより、搬送テーブルに保持されて前進するワークと後退する搬送テーブルとのこすれを回避することができる。
【００２９】
上記２つの搬送テーブル列が１つのワーク又は複数のワークの列を交互に保持して前進する、ことが望ましい。それにより、１つのワーク又は複数のワークの列が２つの搬送テーブル列で搬送される。
【００３０】
上記２つの搬送テーブル列が少なくとも１つのワークの下に存在して交互に進退することが望ましい。それにより、ワークを保持する搬送テーブルの切り換えに伴ってワークが位置変動することを回避することができ、ワークを直線的に移動（搬送）することが出来る。
【００３１】
上記ワークの交互の保持は上記２つの搬送テーブル列の一方の列の搬送テーブルと他方の列の搬送テーブルとで上記ワークを交互に吸引することによって行われることが望ましい。それにより、ワークの保持や保持の切換を容易に行うことができる。吸引（吸着）は、エア吸引、静電力吸引、磁気力吸引等が望ましい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、往復動（進退）する２つの搬送テーブル列により、ワークが交互に保持され、1つ又は複数のワークが一方向に導出される。一方の搬送テーブル列がワークを一方向に搬送するときに、同時に他方の搬送テーブル列が逆方向に戻る動作を、２つの搬送テーブル列の各々が交互に繰り返すので、搬送テーブルの戻り時間によるロスが実質的に生じない。
【００３３】
また、本発明によれば、同じ構成の搬送テーブル列のペアで基本となるワーク搬送機構を構成することができるので、装置構成が比較的に簡単で済む。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のワーク搬送装置の構成例を説明する説明図である。
【図２】本発明のワーク搬送装置の構成例（搬送テーブル列上昇の場合）を説明する説明図である。
【図３】本発明の２つの搬送テーブル列によるワーク搬送原理を説明する説明図である。
【図４】本発明の２つにグループ化された複数の搬送テーブル列による同時複数ワークの搬送例を説明する説明図である。
【図５】本発明のワーク搬送装置による２つ（複数）のワーク搬送を説明する説明図である。
【図６】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図７】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図８】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図９】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図１０】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図１１】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（直列２枚送り）を説明する説明図である。
【図１２】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（３ステージ）を説明する説明図である。
【図１３】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（並列２枚送り）を説明する説明図である。
【図１４】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（直並列４枚送り）を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、図面を参照しつつ、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせのすべてが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、以下の実施例では、本発明のワーク搬送装置を印刷システム（スクリーン印刷装置）に適用したものを例に説明するが、本発明のワーク搬送装置が適用されるものはこれに限られず、例えば、液晶表示器の製造装置、有機ＥＬ表示器の製造装置、プラズマ表示器の製造装置、半導体装置の製造装置、多色印刷装置等にも使用可能である。
【００３６】
本発明の実施形態においては、ワークを交互に保持して搬送する２つの搬送テーブル列を搬送路に沿って並存し、２つの搬送テーブル列の延在方向において一方の搬送テーブル列を他方の搬送テーブル列に対して相対的に前進し、他方の搬送テーブル列を一方の搬送テーブルに対して相対的に後退することを繰り返し、進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換えることを繰り返してワークを搬送する。
【００３７】
（実施例１）
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１及び図２は、本発明のワーク搬送装置の一態様の概略を示しており、図１（Ａ）はワーク搬送装置の上面図、同図（Ｂ）はワーク搬送装置の正面図である。図２は、図１の構成において、後述する第１搬送テーブル列２６を上昇した場合のワーク搬送装置の状態を示しており、図２（Ａ）は上面図、同図（Ｂ）は正面図である。この実施例においては、ワークＷが図示の左側から右側に向かって移動する例を示している。各図において対応する部分には同一符号を付している。
【００３８】
図１に示すように、ワーク搬送装置１は、大別して、ベース部１０、第１搬送機構２０、第２搬送機構３０、搬入（あるいは受取）ベルトコンベア４１、搬出ベルトコンベア４２、制御部７０等によって構成される。
【００３９】
ワーク搬送装置１のベース部１０は搬送機構を組み立てるフレーム１２を構成している。フレーム１２の内部には、エア吸引を行う吸入ポンプ、高圧エアを形成するエアポンプ、フィルタ、電磁弁、エア配管、配電盤、モータの制御装置などが設けられている。フレーム１２の上面に、図示の左側から右側に向かって、搬入ベルトコンベア４１、第１搬送機構２０及び第２搬送機構３０の組からなる搬送機構、搬出ベルトコンベア４２などによってワークＷの搬送路が１レーン分形成されている。後述のように、複数の搬送路（複数の搬送レーン）を並設してワークの搬送効率を上げることができる。
【００４０】
また、フレーム１２の上には、上記搬送路に沿って、例えば、ワーク搬入（あるいは受取り）ステージＡ、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、ワーク搬出ステージＤが配置される。図示しない前工程（外部）から供給されたワークＷは、搬入ベルトコンベア４１の２つの搬送ベルト４１ａ，４１ｂに載置されてワーク搬入ステージＡに搬送される。ステージＡに搬送されたワークＷは、以下に述べる第１搬送機構２０及び第２搬送機構３０による搬送機構によって、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、ワーク搬出ステージＤに順次搬送される。ステージＢにはワークＷの位置を調整するアライメント調整のためのアライメントテーブル１６（後ろアライメントテーブル１６ａ，前アライメントテーブル１６ｂ）と図示しない公知の位置調整機構が設けられている。ステージＣにはワークＷに印刷（処理）を施すためにワークＷを載置する印刷テーブル（作業テーブル）１８（後ろ印刷テーブル１８ａ，前印刷テーブル１８ｂ）と図示しない公知の印刷機構（所望の処理機構）が設けられている。印刷テーブル１８の上面と搬送テーブル２６ｃの上面は同じ高さであり、同一平面（平坦面）を形成する。実施例では、ワークＷとしての基板にスクリーン印刷によって電気配線や端子を形成している。ワーク搬出ステージＤに搬送されたワークＷは搬出ベルトコンベア４２の２つの搬送ベルト４２ａ，４２ｂに載置されて図示しない次工程に搬送される。
【００４１】
第１搬送機構２０は、フレーム１２の上面に配置されたレール２１、レール２１上を図１の左右方向に移動するスライダー２２、スライダー２２に設けられた昇降（上下動）機構２４ａ〜２４ｃ、昇降機構２４ａ〜２４ｃによって支持される搬送テーブル列（第１搬送テーブル列）２６を備えている。
【００４２】
なお、図１（Ｂ）では、昇降機構２４ｂ及び２４ｃは手前に存在する第２搬送機構３０の昇降機構３４ａ及び３４ｂの陰に存在している。
【００４３】
スライダー２２はリニアモータ、位置センサを内蔵し、スライダー２２とレール２１間に介在するするリニアガイド（図示せず）によってレール２１上を滑らかに移動する。リニアモータは公知の技術によって制御され、スライダー２２停止位置は所要の精度が確保されている。なお、送りネジ機構や往復動するベルトなどによってスライダー２２を移動制御しても良い。
【００４４】
昇降（上下動）機構２４ａ〜２４ｃは、例えば、既述高圧エアによってピストンロッドが上下方向に移動するエアシリンダ機構によって構成することが出来る。電磁石やネジ送り機構などによって構成しても良い。昇降機構２４ａ〜２４ｃは、制御部７０からの指令信号に応答して搬送テーブル列２６全体を上昇させ、あるいは下降させる。なお、搬送テーブルを個別に昇降する構成としても良い。
【００４５】
搬送テーブル列２６は、平坦な上面に保持手段としての複数の吸気孔２８が設けられた搬送テーブル２６ａ〜２６ｃ相互間を、結合部材を介して連結して構成されている（後述の図６参照）。実施例では、搬送テーブル列２６は棒状の搬送方向に延在する長手部材によって構成されているが、これに限定されるものではない。
【００４６】
搬送テーブル列２６（搬送テーブル２６ａ〜２６ｃ）は、スライダー２２によって左右方向に移動し、昇降（上下動）機構２４（２４ａ〜２４ｃ）によって上下方向に移動する。これ等の移動制御は制御部７０によって行われる。
【００４７】
上記第１搬送機構２０と並行して第２搬送機構３０が設けられる。搬送機構３０は搬送機構２０と同様に構成され、２つの搬送機構２０及び３０によって１つのワークＷを搬送する搬送路を形成する。
【００４８】
すなわち、第２搬送機構３０は、フレーム１２の上面に配置されたレール３１、レール３１上を図１の左右方向に移動するスライダー３２、スライダー３２に設けられた昇降（上下動）機構３４ａ〜３４ｃ、昇降機構３４ａ〜３４ｃによって支持される搬送テーブル列（第１搬送テーブル列）３６を備えている。
【００４９】
スライダー３２はリニアモータ、位置センサを内蔵し、スライダー３２とレール３１間に介在するするリニアガイド（図示せず）によってレール３１上を滑らかに移動する。リニアモータは公知の技術によって制御され、スライダー３２の停止位置は所要の精度が確保されている。なお、送りネジ機構や往復動するベルトなどによってスライダー３２の移動を制御しても良い。
【００５０】
昇降（上下動）機構３４ａ〜３４ｃは、例えば、既述高圧エアによってピストンロッドが上下方向に移動するエアシリンダ機構によって構成することが出来る。電磁石やネジ送り機構などによって構成しても良い。昇降機構３４ａ〜３４ｃは、制御部７０からの指令信号に応答して搬送テーブル列３６全体を上昇させ、あるいは下降させる。なお、搬送テーブルを個別に昇降する構成としても良い。
【００５１】
搬送テーブル列３６は、平坦な上面に保持手段としての複数の吸気孔３８が設けられた搬送テーブル３６ａ〜３６ｃの相互間を結合部材で連結して構成されている。実施例では、搬送テーブル列３６は棒状の搬送方向に延在する長手部材によって構成されているが、これに限定されるものではない。
搬送テーブル列３６（搬送テーブル３６ａ〜３６ｃ）は、スライダー３２によって左右方向に移動し、昇降（上下動）機構３４（３４ａ〜３４ｃ）によって上下方向に移動する。
【００５２】
図２は、図１の構成において搬送機構２０の搬送テーブル列２６全体を昇降機構２４（２４ａ〜２４ｃ）によって上昇させた例を示している。同図に示すように、搬送テーブル列２６を所定量ｙ上昇させることによってワークＷをベルトコンベア４１から搬送テーブル２６ａ上に移動する。搬送テーブル２６ａの吸気孔２８によってワークＷを吸着することによってワークＷが搬送テーブル２６ａに保持される。この状態で搬送テーブル列２６を次のステージに移動し、所定量ｙ下降することによって、ワークＷをアライメントテーブル上に移動することができる。上記所定上昇量及び下降量ｙは、部材相互間（ベルトコンベアと搬送テーブル間、搬送テーブルとアライメント／作業テーブル間、アライメント／作業テーブルと搬送テーブル間）のワークＷの移動に必要な距離に設定される。また、搬送テーブル列２０及び３０の相補的な移動（前進と後退）の際に搬送テーブルとワークＷとが接触しない距離に設定される。
【００５３】
次に、制御部７０による２つの搬送テーブル列の制御によってワークＷが各ステージ間を移動する理由について図３を参照して説明する。図３において、図１、図２と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
図３に示すように、既述４つのステージＡ〜Ｄに対応して搬送テーブル列２６及び３６の３つの搬送テーブル２６ａ〜２６ｃ、３６ａ〜３６ｃの各間隔が設定されている。また、各搬送テーブルの停止位置と各ステージの位置とは対応する（同期する）ように制御される。制御部７０は以下のように各部の動作を制御する。
【００５４】
まず、図３（Ａ）に示す初期状態において、制御部７０は、一方の搬送テーブル列２６を左側に移動し、その搬送テーブル２６ａをワーク搬入ステージＡに位置させている。ワーク搬入ステージＡには、ベルトコンベア４１によってワークＷが搬送されている。また、他方の搬送テーブル列３６を右側に移動させ、その搬送テーブル３６ｃをワーク搬出ステージＤに位置させている。
【００５５】
制御部７０は、この状態から搬送テーブル列２６を上昇させ、ワークＷを搬送テーブル２６ａ上に吸引してベルトコンベア４１のベルト４１ａ，４１ｂよりも上の位置に保持する。次に、一方の搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列２６全体を下降させてワークＷをアライメントテーブル１６上に載せ、図３（Ｂ）の状態とする。この位置で、ワークＷのアライメント調整が行われる。
【００５６】
アライメント調整終了後、制御部７０は、搬送テーブル列３６を上昇させ、ワークＷを搬送テーブル３６ｂ上に吸引してアライメントテーブル１６よりも上の位置に保持させる。次に、搬送テーブル列３６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時に他方の搬送テーブル列２６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列３６全体を下降させてワークＷを印刷テーブル１８上に載せ、図３（Ｃ）の状態とする。この位置で、ワークＷへの印刷が行われる。
【００５７】
印刷終了後、制御部７０は、搬送テーブル列２６を上昇させ、ワークＷを搬送テーブル２６ｃ上に吸引して印刷テーブル１８よりも上の位置に保持させる。次に、搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時に他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列２６全体を下降させて吸引を解除してワークＷを搬出ステージＤのベルトコンベア４２上に載せ、図３（Ｄ）の状態とする。ワークＷは外部に搬送される。
【００５８】
上記は説明の便宜上、１つのワークＷの搬送について説明したが、後述のようにワーク搬入ステージＡで搬送テーブル２６ａ及び３６ａが交互にワークＷを吸引することで、ワークＷを連続的に搬送することが出来る。
【００５９】
このように、本実施例によれば、往復動（進退）する２つの搬送テーブル列により、ワークが交互に保持され、1つ又は複数のワークが一方向に導出される。一方の搬送テーブル列がワークを一方向に搬送するときに、同時に他方の搬送テーブル列が逆方向に戻る動作を、２つの搬送テーブル列の各々が交互に繰り返すので、搬送テーブルの戻り時間によるロスが実質的に生じない。
【００６０】
また、本実施例によれば、ワークを保持して搬送する２つの搬送テーブル列２６及び３６を搬送路に沿って並存し、一方の搬送テーブル列と他方の搬送テーブル列とを相補的に移動（前進、後退）することを繰り返し、進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が当該ステージ位置で同期（一致）したときに、ワークＷの保持を、ワークＷを保持して前進した搬送テーブル列側から後退して次に前進する搬送テーブル列側に切換えることにより、ワークＷが２つの搬送テーブル列の搬送テーブルを交互に乗り換えて前方に移動し、搬送される。
【００６１】
（実施例２）
図４及び図５は、上述した２つの搬送テーブル列による搬送機構を複数レーン（実施例では２レーン）設置して、複数のワークＷを同時並列的に搬送する例を示す説明図である。同図において図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００６２】
図４に示すように、既述した搬送テーブル列２６は搬送テーブル列２６1と２６2で構成され、搬送テーブル列３６は搬送テーブル列３６1と３６2で構成される。平行に配置された２つの搬送機構の搬送テーブル列２６1と２６2とがそれらの各左端部で連結部材２６ｅによって連結されて、「コ」の字状に構成されている。それにより、搬送テーブル列２６1と２６2は同じ動きをする（動きが同期している）。また、平行に配置された２つの搬送機構の搬送テーブル列３６1と３６2とがそれらの各右端部で連結部材３６ｅによって連結されて、「コ」の字状に構成されている。それにより、搬送テーブル列３６1と３６2は同じ動きをする（動きが同期している）。
【００６３】
なお、スライダや昇降機構の個別の制御によって組となっている搬送テーブル列の動きを正確に同期させことが出来る場合には連結部材２６ｅ、３６ｅを用いなくとも良い。また、後述の実施例では、並存する複数の搬送レーンを同期させて動作させたり、非同期動作としたり、一部を動作させて他を停止したりすることができる（図１３、図１４を参照）。
【００６４】
上述した「コ」の字状の２つのグループの搬送機構はそれらの開放側で互いに対向し、いわゆる入れ子状の配置となっている。そして、一方のグループＸの搬送機構が右方向に移動したとき、他方のグループＹの搬送機構は左方向に移動する。また、一方のグループＸの搬送機構が左方向に移動したとき、他方のグループＹの搬送機構は右方向に移動する。このように、２つのグループＸ，Ｙの搬送機構は相補的に移動する。
【００６５】
この構成において、搬送テーブル列２６1及び３６1の組が１つのワークＷの搬送ルートを形成する。搬送テーブル列２６2及び３６2の組が１つのワークＷの搬送ルートを形成する。それにより、２つのワーク搬送ルートが形成されている。
【００６６】
なお、図しないが、２つのワーク搬送ルートに対応してワーク搬入のベルトコンベア、ワーク搬出のベルトコンベアも増設されている。
【００６７】
次に、上記２つのグループの搬送機構によるワークＷの搬送について説明する。
【００６８】
まず、図４（Ａ）に示す初期状態において、制御部７０は、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を左側に移動し、その搬送テーブル２６ａ、２６ａをワーク搬入ステージＡに位置させている。ワーク搬入ステージＡには、既述ベルトコンベア４１，４１などによってワークＷ，Ｗが搬送されている。また、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を右側に移動させ、それらの搬送テーブル３６ｃ，３６ｃをワーク搬出ステージＤに位置させている。
【００６９】
制御部７０は、この状態からグループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を上昇させ、ワークＷ，Ｗを搬送テーブル２６ａ，２６ａ上に吸引してベルトコンベア４１，４１の各ベルトよりも上の位置に保持する。次に、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を前進（右方に移動）させて右側に１ステージ分移動させ、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を後退（左方に移動）させて左側に１ステージ分移動させる。グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を下降させてワークＷ，Ｗを図示しない２つのアライメントテーブル１６，１６上に載せ、図４（Ｂ）の状態とする。この位置で、ワークＷ，Ｗのアライメント調整がそれぞれ行われる。
【００７０】
アライメント調整終了後、制御部７０は、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を上昇させ、ワークＷ，Ｗをそれぞれ搬送テーブル３６ｂ，３６ｂ上に吸引してアライメントテーブル１６，１６よりも上の位置に保持させる。次に、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時にグループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を後退させて左側に１ステージ分移動させる。グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を下降させてワークＷ，Ｗをそれぞれ印刷テーブル１８ａ乃至１８ｃ上に載せ、図５（Ａ）の状態とする。この位置で、図示しない印刷機によってワークＷ，Ｗへの印刷が行われる。
【００７１】
印刷終了後、制御部７０は、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を上昇させ、ワークＷ，Ｗをそれぞれ搬送テーブル２６ｃ，２６ｃ上に吸引して印刷テーブル１８ａ乃至１８ｃよりも上の位置に保持させる。次に、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時にグルーブＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を後退させて左側に１ステージ分移動させる。グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を下降させて吸引を解除してワークＷ，Ｗを搬出ステージＤの図示しないベルトコンベア４２，４２上に載せ、図５（Ｂ）の状態とする。ワークＷ，Ｗはベルトコンベアによって外部に搬送される。
【００７２】
このようにして、複数のワークが同時並行して搬送される。なお、上述の実施例では、２つの搬送ルートで同時に２つのワークＷを搬送する例を説明したが、同様にしてｎ個（複数）の搬送ルートを配置し、同時にｎ個のワークを搬送することが出来る。
【００７３】
上述したワーク搬送機構の説明では説明の便宜のため、１つ又は２つのワークを搬送する基本的な動作を例として説明したが、通常の使用状態ではワークは連続的に搬送され、ワークに連続的に処理が施される。
【００７４】
（実施例３）
図６乃至図１０は、図１に示したワーク搬送装置における連続的なワーク搬送動作を説明する説明図である。各図において図１乃至図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００７５】
図６（Ａ）に示すように、ワーク搬送路に沿ってワークの進行方向にワーク搬入ステージＡ、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、及びワーク搬出ステージＤが配置されている。ワーク搬送機構と特に関係のない部分の図示は省略されている。アライメント調整ステージＢでは、ワークの位置調整用のカメラＣＭ１、ＣＭ２のみが示されている。調整ピンなどによるアライメント調整機構などについては省略されている。また、印刷ステージＣにおいては、スクリーン印刷に使用されるスキージＳＫのみが示され、印刷機構における他の要素は省略されている。
【００７６】
まず、図６（Ａ）に示すように、制御部７０は、３つの搬送テーブル２６ａ乃至２６ｃを備える一方の搬送テーブル列２６を左側に移動（後退）し、その搬送テーブル２６ａをワーク搬入ステージＡに位置させている。ワーク搬入ステージＡには、ベルトコンベア４１によってワークＷ11が外部から搬送されてくる。また、他方の搬送テーブル列３６を右側に移動（前進）させ、その搬送テーブル３６ｃをワーク搬出ステージＤに位置させている。
【００７７】
次に、図６（Ｂ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を上昇させ、ワークＷ11をベルトコンベア４１のベルト４１ａ，４１ｂよりも上の位置に保持する。このとき、ワークＷ11は搬送テーブル２６ａの複数の吸気孔２８で吸引されて搬送テーブル２６ａ上に着脱可能に保持される。
【００７８】
図６（Ｃ）に示すように、制御部７０は、一方の搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、ワークＷ11をアライメントテーブル１６（後ろアライメントテーブル１６ａ，前アライメントテーブル１６ｂ）上に移動する。また、他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。
【００７９】
図７（Ａ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を下降させてワークＷ11をアライメントテーブル１６（１６ａ，１６ｂ）上に載せ、ワークＷ11の保持を解除する。ワークＷ11はアライメントテーブル１６上に設けられた複数の吸気孔２８により吸引されて適宜に保持される。この位置で、図示しないアライメント調整機構によってワークＷ11の位置調整が行われる。
図７（Ｂ）に示すように、ワークＷ11のアライメント調整中に後続のワークＷ12がベルトコンベア４１によってワーク搬入ステージＡに搬送される。
【００８０】
図７（Ｃ）に示すように、ワークＷ11のアライメント調整終了後、制御部７０は、ワークＷ11を搬送テーブル３６ｂ上に吸引し、アライメントテーブル１６の吸引を停止して、搬送テーブル列３６全体を上昇させ、アライメントテーブル１６よりも上の位置でワークＷ11を保持させる。また、この上昇のときに、ワークＷ12を搬送テーブル３６ａ上に吸引してベルトコンベア４１よりも高い位置に保持させる。
【００８１】
次に、図８（Ａ）に示すように、搬送テーブル列３６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、ワークＷ11及びＷ12をそれぞれ印刷テーブル１８及びアライメントテーブル１６の上方に搬送する。同時に他方の搬送テーブル列２６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列２６の搬送テーブル２６ａはワーク搬入ステージＡに戻る。
【００８２】
その後、図８（Ｂ）に示すように、搬送テーブル列３６全体を下降させてワークＷ１１及びＷ１２をそれぞれ印刷テーブル１８及びアライメントテーブル１６上に載せる。
【００８３】
図８（Ｃ）に示すように、外部からワーク搬入ステージＡにワークＷ13が搬送される。アライメント調整ステージＢではワークＷ12のアライメント調整が行われる。印刷ステージＣでは、ワークＷ11に印刷処理が行われる。
【００８４】
アライメント調整及び印刷処理の終了後、図９（Ａ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を上昇させる。ワークＷ１１、Ｗ１２、及びＷ１３はそれぞれ搬送テーブル２６ｃ、２６ｂ、及び２６ａ上に吸引されて印刷テーブル１８、アライメントテーブル１６、ベルトコンベア４１よりも上方の位置に保持される。
【００８５】
次に、図９（Ｂ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させる。それにより、ワークＷ11、Ｗ12、及びＷ13はそれぞれワーク搬出ステージＤ、印刷ステージＣ、及びアライメント調整ステージＢの上方に搬送される。また、同時に他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列３６の搬送テーブル３６ａはワーク搬入ステージＡに戻る。
【００８６】
図１０（Ａ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を下降させる。ワークＷ11、Ｗ12、及びＷ13はそれぞれ搬出ステージＤのベルトコンベア４２、印刷テーブル１８、及びアライメントテーブル１６上に載置される。ワークＷ12、Ｗ13は適宜に保持（吸引）され、ワークＷ11の保持（吸引）は解除される。
【００８７】
図１０（Ｂ）に示すように、外部からワーク搬入ステージＡにワークＷ14が搬送される。アライメント調整ステージＢではワークＷ13のアライメント調整が行われる。印刷ステージＣでは、ワークＷ12に印刷処理が行われる。ワークＷ１１はを搬出ステージＤのベルトコンベア４２によって外部（後工程）に搬送される。
【００８８】
図１０（Ｃ）に示すように、アライメント調整及び印刷処理の終了後、制御部７０は、搬送テーブル列３６全体を上昇させる。ワークＷ12、Ｗ13、及びＷ14はそれぞれ搬送テーブル３６ｃ、３６ｂ、及び３６ａ上に保持（吸引）されて印刷テーブル１８、アライメントテーブル１６、ベルトコンベア４１よりも上方の位置に保持される。
【００８９】
以後、図８（Ａ）乃至図１０（Ｃ）の過程を繰り返すことによって、ワークＷが、ステージＡ乃至Ｄに連続的に搬送され、ワーク搬入、アライメント調整、印刷処理、及びワーク搬出がなされる。
【００９０】
（実施例４）
本発明の他の実施の形態について図１１乃至図１４を参照して説明する。
各図において図１乃至図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００９１】
図１１は、同時に２つのワークを処理することができるワーク搬送装置の例を示している。同図のワーク搬送装置が既述図１のワーク搬送装置と異なる点は、図１の構成では各ステージ間を同時に搬送できるワークは１つであるのに対して、本実施例では、各ステージ間を同時に搬送できるワークＷは２つ（複数）である。
【００９２】
この実施例では、２つ（複数）のワークＷに対して同時に処理を行うため、ワーク搬入ステージＡ、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、及びワーク搬出ステージＤをそれぞれ搬送方向において直列に配置された２つ（複数）の機構によって同時処理が出来るように構成されている。これ等の各ステージに対応して搬送テーブル列２６，３６のテーブルには２つ（複数）の搬送テーブルが割り当てられている。
【００９３】
例えば、ワーク搬入ステージＡには、外部から２つのワークＷが搬入される。アライメント調整ステージＢは２つのアライメントテーブル（１６ａ1と１６ｂ1，１６ａ2と１６ｂ2）、図示しない２つのアライメント調整機構によって構成される。印刷ステージＣは２つのワークＷ分の大型の印刷テーブル１８（１８ａ，１８ｂ）と図示しない２つの印刷機構によって構成されてる。印刷は図示のように手前から奥方向にスキージを移動することによってなされる。ワーク搬出ステージＤでは、２つのワークＷが同時に外部（後工程）に搬出される。
なお、この実施例では、１つのステージに対して２つの搬送テーブルを備える例が示されているが、１つのステージに対して進行方向において直列な（あるいは連結された）ｎ（複数）個の搬送テーブルを備える構成とすることができることは明らかである。
【００９４】
本実施例によれば、搬送路が１レーン構成であっても、直列に配置された、１ステージにつき２つ（複数）の搬送テーブルを使用することによって各ステージ間を同時に２つ（複数）のワークを移動することが出来る。
【００９５】
（実施例５）
図１２は、図１１に示すワーク搬送装置の構成例において、ワーク搬入ステージＡ及びアライメント調整ステージＢを１つのステージであるワーク受取アライメント調整部ＡＢで構成した例を示している。ワーク受取アライメント調整部ＡＢは、外部から搬入されたワークＷの受け入れと、受け入れたワークＷの印刷用の位置合わせ調整とを行う。このため、アライメントテーブル１６の内側にベルトコンベア４１が入り込む構成となっている。他の印刷ステージＣ、及びワーク搬出ステージＤは同様の構成であり、動作も同様である。
【００９６】
この実施例の構成によれば、搬送テーブル列２６、３６の搬送テーブルを１ステージ分減らすことが出来る。
【００９７】
（実施例６）
次に、複数の搬送レーンを並存した例について説明する。実施例では、説明の便宜上２つの搬送レーンで説明しているが、複数の搬送レーンで構成することが出来ることは明らかである。
【００９８】
図１３に示すように、ワークＷを搬送する方向と直行する方向に２つ（複数）の搬送レーンが並べられている。１つのステージに対して２つの搬送レーンによって２つのワークＷ11とＷ12、Ｗ13とＷ14、…を並列的に供給する。
【００９９】
この例では、搬送レーン相互間は近接しており、印刷テーブル１８は、後ろ印刷テーブル１８ａ、前印刷テーブルｂ、中印刷テーブルｃ、によって構成されている。それにより、２台分の印刷テーブルとして機能する。印刷は横方向（図の左右方向）においてスキージを移動することによって行われる。
各搬送レーンは、相互に同期して動作しても良く、また、非同期で動作しても良い。また、複数の搬送レーンのうち一部を動作させ、他を停止することとしても良い。
【０１００】
この実施例の構成によれば、各搬送レーンを個別に制御することができるのでワーク処理量の増減に対応しやすい。また、図１２の構成と比べて搬送路の全長を短くすることが出来る利点がある。
【０１０１】
（実施例７）
この実施例では、図１４に示すように、ワーク搬送方向と直交する方に複数（ｎ個）の搬送レーンが並存している。更に、各搬送レーンの搬送テーブル列が１ステージ当たり複数（ｍ個）の搬送テーブルを備える。それにより、１つのステージに対して同時にｎ×ｍ個のワークＷを搬送する。
【０１０２】
この例では、ワーク搬入アライメント調整部ＡＢには４つのアライメント調整機構（図示せず）が設けられる。印刷部Ｃにも４つの印刷機構（図示せず）が設けられる。各ステージには同時に４つのワークＷ11〜Ｗ14、Ｗ15〜Ｗ18、…が搬送される。
【０１０３】
この実施例においても、図１３の場合と同様に、各搬送レーン相互間を同期した動作、非同期動作、各搬送レーン毎の個別動作などを選択することができる。
【０１０４】
この実施例によれば、同時に搬送するワークＷの数を増大してワーク処理の効率を高めることができる利点がある。
【０１０５】
以上説明したように、本発明の実施例においては、複数の搬送テーブルを備える２つの搬送テーブル列の各列部材を交互に移動（往復動）し、搬送方向に移動する搬送テーブルにワークの保持を切換えることによってワークを搬送方向に移動する。このため、一方の搬送テーブル列の部材がワークを搬送する（往動）ときに、他方の搬送テーブル列の部材が戻る（復動）ので、ワークを途切れなく（連続的に）搬送することでき、単位時間当たりのワーク搬送数（ワーク搬送効率）を高くすることができる。
【０１０６】
また、本発明の実施例によれば、複数の搬送レーンを配置し、各搬送レーンに１ステージ当たり複数の搬送テーブルを割り当てることによってワーク搬送量を増大することが可能となる。
【０１０７】
また、本発明の実施例によれば、１つ又は複数個のワークによる列が複数のステージ間を直線的に移動する（搬送される）ので、流れのガイドによるワークの経路変更等が必要なく、ワークエッジなどへのダメージがない。
【０１０８】
また、本発明の実施例の装置構成と、回転テーブル上にワークを載置してワークを搬送する装置（ターンテーブル型のワーク搬送装置）とを比較した場合、ワークの搬送路が直線的であるので生産ラインの設計・配置が容易である。ワーク搬送装置が専有する床面積（設置面積）が大幅に減少し、搬送装置を相対的に小型化することができる。印刷システムや製造システム等への組み込みが容易である。また、搬送機構の重量も少なくて済むので、装置の低消費電力化や動作制御が容易であり、搬送速度を速くすることが可能である。
【０１０９】
また、本発明の実施例の装置構成と、ターンテーブル型やベルトコンベア型のワーク搬送装置とを比べた場合、移動機構の慣性質量が少ないので、ワーク搬送における各ステージでの位置合せ精度を高くすることができ、好都合である。
【０１１０】
なお、実施例ではワークを搬送してワークに印刷を施す例で説明したが、特定の処理に限定されるものではない。また、ワークとして、太陽電池基板、フラットディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、半導体ウエハ等があげられるが、これ等のものに限定されるものではなく、本発明の機構によって搬送できるものであれば何でも良い。
【産業上の利用可能性】
【０１１１】
本発明によれば、往復動してワークを搬送するワーク搬送機構において、２つのワーク搬送機構を交互に動作させることにより、一方のワーク搬送機構が１つ又は複数のワークを保持して搬送するときに他方のワーク搬送機構を戻すことができ、途切れなくワークを搬送することができる。
【０１１２】
上述した発明の実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施例の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【０１１３】
１６ アライメントテーブル、１８ 印刷テーブル、２０ 第１搬送機構、２２ スライダ、２４、２４ａ〜２４ｃ 昇降機構、２６ 第１搬送テーブル列、２６ａ〜２６ｃ 搬送テーブル、２８ 吸気孔、３０ 第２搬送機構、３２ スライダ、３４ａ〜３４ｃ 昇降機構、３６ 第２搬送テーブル列、３６ａ〜３６ｃ 搬送テーブル、３８ 吸気孔、４１，４２ ベルトコンベア、制御部７０、ＣＭ1，ＣＭ2 カメラ、ＳＫ スキージ、Ａ ワーク搬入ステージ、Ｂ アライメント調整ステージ、Ｃ 印刷ステージ、Ｄ ワーク搬出ステージ、Ｗ，Ｗ11−Ｗ18 ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象となるワークを処理位置の内外の位置に移動するワーク搬送装置に関し、特にワークの搬送効率を高めたワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池基板、フラットディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、半導体ウエハ等のワークに加工、処理、組み立て等を施す場合（以下、単に「処理」と称する。）、ワークを搬入位置あるいは導入位置から加工装置が設けられた処理位置まで移動し、処理されたワークを搬出位置（次工程）に移動することが必要である。このワークの所定位置間の搬送を行うために搬送装置が使用される。
【０００３】
搬送装置には、例えば、ワークを載置するベルトコンベアやワークを載置する搬送テーブルなどが使用される。前者は連続的にワークを搬送することが出来るので単位時間当たりの搬送量（搬送効率）を上げやすいが、個々のワークの位置合せ精度を高くすることが難しい。後者は搬送テーブルにワークの保持機構を設けることが出来、また、搬送テーブル毎にワークや搬送テーブルの位置合せが可能で位置合せ精度を高くすることが可能であるが、搬送テーブルを所定の位置に空荷状態で戻す状態（工程）が生じるのでワークの搬送効率を上げにくい。
【０００４】
そこで、例えば、特開２０１０−１８３５６号公報に記載の発明（特許文献１）は、共用ネジ軸上に第１及び第２搬送機構（パレット）を直列（一列）に設けてワークの各ステーションへの投入と取り出しとを各搬送機構で分担するようにした搬送装置を提案している。また、特開２００７−２３８２３７号公報に記載の発明は、複数台のワーク処理装置に対してワークを選択的に搬送するために、ワークをテーブルに載置して搬送する搬送装置を上下方向に複数段配設したワーク搬送装置を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１８３５６号公報
【特許文献２】特開２００７−２３８２３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した第１及び第２搬送機構を直列に配置して各搬送機構の搬送テーブルを別々に動作させる場合であっても往復移動する各搬送テーブルの動作にはそれぞれ非搬送時間（空荷の戻り時間）が存在する。また、一方の搬送テーブルの位置（移動範囲）に他方の搬送テーブルの移動可能範囲（位置）が制約されるためシステムの制御が複雑である。
【０００７】
また、上述した上下方向に搬送装置を複数段配設した場合であっても各段の搬送機構の動作において往復移動する搬送テーブルの戻り時間（空荷）は存在する。
【０００８】
よって、本発明の第一の課題は、ワークの搬送効率の良いワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
本発明の第二の課題は、上記第一の課題に加えて搬送機構が比較的に簡便であり、各種のプロセス対応やプロセス装置との組み合わせが容易なワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
かかる課題を解決する本発明のワーク搬送装置の態様の一つは、搬送路に沿って配置された複数のステージにワークを搬送テーブルに載せて搬送する搬送装置であって、並存して上記ワークを交互に保持して搬送する第１及び第２搬送機構と、上記第１及び第２搬送機構を制御する制御部と、を備え、上記第１搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第１搬送テーブル列を上記搬送方向において前進及び後退し、上記第２搬送機構は、上記搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第２搬送テーブル列を上記搬送方向において前進及び後退し、上記制御部は、上記第１及び第２搬送機構を交互に進退させ、進退する第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を一方の搬送テーブル列側から他方の搬送テーブル列側に切換える。
【００１１】
かかる構成とすることによって、ワークを一方向又はその逆方向に搬送することができる。第１（又は第２）の搬送機構の搬送テーブル列が搬送方向にワークを移動（前進）するときに、第２（又は第１）の搬送機構の搬送テーブル列が搬送方向と逆方向に移動（後退）する（搬送テーブルが戻る）ので、ワーク搬送における搬送テーブルの戻り時間のロスを実質的に解消することができ、ワークの搬送効率を向上することが出来る。
【００１２】
好ましくは、本発明のワーク搬送装置は、更に、上記第１搬送機構が、上記第１搬送テーブル列を上下動する第１上下動機構を含み、上記第２搬送機構が、上記第２搬送テーブル列を上下動する第２上下動機構を含み、上記制御部が、上記進退に際し、上記第１及び第２搬送機構のうちの一方の搬送機構の搬送テーブル列を他方の搬送機構の搬送テーブル列よりも相対的に上昇させる。
【００１３】
かかる構成とすることによって、一方の搬送テーブルに載置されたワークと、他方の相補的に（逆方向に）移動する搬送テーブルとの間で擦れることがなく、具合がよい。２つの搬送テーブル列に高さの差が出来れば良く、一方の搬送テーブル列のみが昇降する構成でも良い。ワークとの擦れが問題にならない場合には、上下動機構を省略可能である。
【００１４】
好ましくは、上記制御部は、上記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換える。それにより、上記ワークを搬送方向に移動することが出来る。
【００１５】
好ましくは、上記制御部は、上記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を後退した搬送テーブル列側から前進した搬送テーブル列側に切換える。それにより、上記ワークを逆搬送方向に移動することが出来る。
【００１６】
上記搬送テーブルは、載置された上記ワークを保持するワーク保持機構を含み、上記制御部は、上記ワーク保持機構を制御することが望ましい。それにより、一方の側の搬送テーブルから他方の側の搬送テーブルにワークの保持を切換える（ワークを移動する）ことが出来る。
【００１７】
上記ワーク保持機構が上記ワークを上記搬送テーブル上に吸引する吸引機構であることが望ましい。それにより、吸引を切り換えることによって簡単にワークの搬送テーブル間の移動が可能となって具合がよい。なお、保持（吸引、吸着）は、負圧を形成する空気（流体）による吸引、静電力による吸引、電磁力による吸引等であっても良い。
【００１８】
更に、上記第１搬送機構及び上記第２搬送機構が複数組配置され、上記制御部は、各組の一方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に前進させ、各組の他方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に後退させることが望ましい。それによって、複数のワーク搬送路を構成することができ、ワーク搬送効率を向上することができる。
【００１９】
上記各組の一方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結され、上記各組の他方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結さることが望ましい。それによって、複数の搬送テーブル列の動きが同じになる。
【００２０】
また、各搬送テーブル列における搬送テーブル相互間の距離が上記複数のステージの各ステージ相互間の距離に対応していることが望ましい。それによって、各ステージ位置で各列の搬送テーブルの停止位置が同期する。
【００２１】
上記第１及び第２搬送テーブル列の各々は、上記搬送方向に延在し、上記複数の搬送テーブルの位置に対応して複数の吸引孔が設けられた棒状の部材によって構成されることが望ましい。それにより、搬送テーブル列として一体的に動作する構造体が得られる。
【００２２】
上記第１及び第２搬送テーブル列の列上に上記ワークが保持される。それにより、ワークの下に第１及び第２搬送テーブルを並存させ、ワークを移動（変動）させることなくワークを交互に保持することが可能となる。
【００２３】
上記ステージは、搬入ステージ、アライメントステージ、印刷ステージ、搬出ステージのうち少なくともいずれかのステージを含むことが望ましい。それにより、ワーク搬送効率の良い印刷処理系統を構成することが出来る。
【００２４】
上記ステージには、上記搬送テーブルと面一になる作業テーブルが配置されることが望ましい。それにより、搬送テーブルと作業テーブルとを合わせてワークへの作業用スペースとすることができる。
【００２５】
また、本発明のワーク搬送方法の一態様は、ワークを交互に保持して搬送する２つの搬送テーブル列を搬送路に沿って並存し、上記２つの搬送テーブル列を該搬送テーブル列の搬送テーブル間隔に対応した距離で交互に進退させ、各搬送テーブル列が交互に前進するときに当該前進する搬送テーブル列に上記ワークを保持させて上記ワークを搬送する。ここで、交互に進退とは２つの搬送テーブル列間の動きにおいて相対的なものであればよい。
【００２６】
かかる方法によれば、交互に進退する２つの搬送テーブル列よりなる搬送路上をワークが一方向に向かって移動することになる。
【００２７】
また、上記交互に進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、上記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側（前進が終了してこれから後退を開始する搬送テーブル列側）から後退した搬送テーブル列側（後退が終了してこれから前進を開始する搬送テーブル列側）に切換える、ことが望ましい。それにより、ワークが２つの搬送テーブル列間を交互に移動して一方向（前進方向）に搬送される。ワークをこれから後退を開始する搬送テーブル列側に保持すれば、ワークは逆方向（後退方向）に搬送される。
【００２８】
上記２つの搬送テーブル列の進退において、前進する搬送テーブル列は後退する搬送テーブル列よりも相対的に高い位置を移動することが望ましい。それにより、搬送テーブルに保持されて前進するワークと後退する搬送テーブルとのこすれを回避することができる。
【００２９】
上記２つの搬送テーブル列が１つのワーク又は複数のワークの列を交互に保持して前進する、ことが望ましい。それにより、１つのワーク又は複数のワークの列が２つの搬送テーブル列で搬送される。
【００３０】
上記２つの搬送テーブル列が少なくとも１つのワークの下に存在して交互に進退することが望ましい。それにより、ワークを保持する搬送テーブルの切り換えに伴ってワークが位置変動することを回避することができ、ワークを直線的に移動（搬送）することが出来る。
【００３１】
上記ワークの交互の保持は上記２つの搬送テーブル列の一方の列の搬送テーブルと他方の列の搬送テーブルとで上記ワークを交互に吸引することによって行われることが望ましい。それにより、ワークの保持や保持の切換を容易に行うことができる。吸引（吸着）は、エア吸引、静電力吸引、磁気力吸引等が望ましい。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、往復動（進退）する２つの搬送テーブル列により、ワークが交互に保持され、1つ又は複数のワークが一方向に導出される。一方の搬送テーブル列がワークを一方向に搬送するときに、同時に他方の搬送テーブル列が逆方向に戻る動作を、２つの搬送テーブル列の各々が交互に繰り返すので、搬送テーブルの戻り時間によるロスが実質的に生じない。
【００３３】
また、本発明によれば、同じ構成の搬送テーブル列のペアで基本となるワーク搬送機構を構成することができるので、装置構成が比較的に簡単で済む。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のワーク搬送装置の構成例を説明する説明図である。
【図２】本発明のワーク搬送装置の構成例（搬送テーブル列上昇の場合）を説明する説明図である。
【図３】本発明の２つの搬送テーブル列によるワーク搬送原理を説明する説明図である。
【図４】本発明の２つにグループ化された複数の搬送テーブル列による同時複数ワークの搬送例を説明する説明図である。
【図５】本発明のワーク搬送装置による２つ（複数）のワーク搬送を説明する説明図である。
【図６】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図７】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図８】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図９】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図１０】本発明のワーク搬送装置による連続的なワーク搬送を説明する説明図である。
【図１１】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（直列２枚送り）を説明する説明図である。
【図１２】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（３ステージ）を説明する説明図である。
【図１３】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（並列２枚送り）を説明する説明図である。
【図１４】本発明のワーク搬送装置の他の実施例（直並列４枚送り）を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、図面を参照しつつ、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせのすべてが発明の解決手段に必須であるとは限らない。なお、以下の実施例では、本発明のワーク搬送装置を印刷システム（スクリーン印刷装置）に適用したものを例に説明するが、本発明のワーク搬送装置が適用されるものはこれに限られず、例えば、液晶表示器の製造装置、有機ＥＬ表示器の製造装置、プラズマ表示器の製造装置、半導体装置の製造装置、多色印刷装置等にも使用可能である。
【００３６】
本発明の実施形態においては、ワークを交互に保持して搬送する２つの搬送テーブル列を搬送路に沿って並存し、２つの搬送テーブル列の延在方向において一方の搬送テーブル列を他方の搬送テーブル列に対して相対的に前進し、他方の搬送テーブル列を一方の搬送テーブルに対して相対的に後退することを繰り返し、進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換えることを繰り返してワークを搬送する。
【００３７】
（実施例１）
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１及び図２は、本発明のワーク搬送装置の一態様の概略を示しており、図１（Ａ）はワーク搬送装置の上面図、同図（Ｂ）はワーク搬送装置の正面図である。図２は、図１の構成において、後述する第１搬送テーブル列２６を上昇した場合のワーク搬送装置の状態を示しており、図２（Ａ）は上面図、同図（Ｂ）は正面図である。この実施例においては、ワークＷが図示の左側から右側に向かって移動する例を示している。各図において対応する部分には同一符号を付している。
【００３８】
図１に示すように、ワーク搬送装置１は、大別して、ベース部１０、第１搬送機構２０、第２搬送機構３０、搬入（あるいは受取）ベルトコンベア４１、搬出ベルトコンベア４２、制御部７０等によって構成される。
【００３９】
ワーク搬送装置１のベース部１０は搬送機構を組み立てるフレーム１２を構成している。フレーム１２の内部には、エア吸引を行う吸入ポンプ、高圧エアを形成するエアポンプ、フィルタ、電磁弁、エア配管、配電盤、モータの制御装置などが設けられている。フレーム１２の上面に、図示の左側から右側に向かって、搬入ベルトコンベア４１、第１搬送機構２０及び第２搬送機構３０の組からなる搬送機構、搬出ベルトコンベア４２などによってワークＷの搬送路が１レーン分形成されている。後述のように、複数の搬送路（複数の搬送レーン）を並設してワークの搬送効率を上げることができる。
【００４０】
また、フレーム１２の上には、上記搬送路に沿って、例えば、ワーク搬入（あるいは受取り）ステージＡ、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、ワーク搬出ステージＤが配置される。図示しない前工程（外部）から供給されたワークＷは、搬入ベルトコンベア４１の２つの搬送ベルト４１ａ，４１ｂに載置されてワーク搬入ステージＡに搬送される。ステージＡに搬送されたワークＷは、以下に述べる第１搬送機構２０及び第２搬送機構３０による搬送機構によって、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、ワーク搬出ステージＤに順次搬送される。ステージＢにはワークＷの位置を調整するアライメント調整のためのアライメントテーブル１６（後ろアライメントテーブル１６ａ，前アライメントテーブル１６ｂ）と図示しない公知の位置調整機構が設けられている。ステージＣにはワークＷに印刷（処理）を施すためにワークＷを載置する印刷テーブル（作業テーブル）１８（後ろ印刷テーブル１８ａ，前印刷テーブル１８ｂ）と図示しない公知の印刷機構（所望の処理機構）が設けられている。印刷テーブル１８の上面と搬送テーブル２６ｃの上面は同じ高さであり、同一平面（平坦面）を形成する。実施例では、ワークＷとしての基板にスクリーン印刷によって電気配線や端子を形成している。ワーク搬出ステージＤに搬送されたワークＷは搬出ベルトコンベア４２の２つの搬送ベルト４２ａ，４２ｂに載置されて図示しない次工程に搬送される。
【００４１】
第１搬送機構２０は、フレーム１２の上面に配置されたレール２１、レール２１上を図１の左右方向に移動するスライダー２２、スライダー２２に設けられた昇降（上下動）機構２４ａ〜２４ｃ、昇降機構２４ａ〜２４ｃによって支持される搬送テーブル列（第１搬送テーブル列）２６を備えている。
【００４２】
なお、図１（Ｂ）では、昇降機構２４ｂ及び２４ｃは手前に存在する第２搬送機構３０の昇降機構３４ａ及び３４ｂの陰に存在している。
【００４３】
スライダー２２はリニアモータ、位置センサを内蔵し、スライダー２２とレール２１間に介在するするリニアガイド（図示せず）によってレール２１上を滑らかに移動する。リニアモータは公知の技術によって制御され、スライダー２２停止位置は所要の精度が確保されている。なお、送りネジ機構や往復動するベルトなどによってスライダー２２を移動制御しても良い。
【００４４】
昇降（上下動）機構２４ａ〜２４ｃは、例えば、既述高圧エアによってピストンロッドが上下方向に移動するエアシリンダ機構によって構成することが出来る。電磁石やネジ送り機構などによって構成しても良い。昇降機構２４ａ〜２４ｃは、制御部７０からの指令信号に応答して搬送テーブル列２６全体を上昇させ、あるいは下降させる。なお、搬送テーブルを個別に昇降する構成としても良い。
【００４５】
搬送テーブル列２６は、平坦な上面に保持手段としての複数の吸気孔２８が設けられた搬送テーブル２６ａ〜２６ｃ相互間を、結合部材を介して連結して構成されている（後述の図６参照）。実施例では、搬送テーブル列２６は棒状の搬送方向に延在する長手部材によって構成されているが、これに限定されるものではない。
【００４６】
搬送テーブル列２６（搬送テーブル２６ａ〜２６ｃ）は、スライダー２２によって左右方向に移動し、昇降（上下動）機構２４（２４ａ〜２４ｃ）によって上下方向に移動する。これ等の移動制御は制御部７０によって行われる。
【００４７】
上記第１搬送機構２０と並行して第２搬送機構３０が設けられる。搬送機構３０は搬送機構２０と同様に構成され、２つの搬送機構２０及び３０によって１つのワークＷを搬送する搬送路を形成する。
【００４８】
すなわち、第２搬送機構３０は、フレーム１２の上面に配置されたレール３１、レール３１上を図１の左右方向に移動するスライダー３２、スライダー３２に設けられた昇降（上下動）機構３４ａ〜３４ｃ、昇降機構３４ａ〜３４ｃによって支持される搬送テーブル列（第１搬送テーブル列）３６を備えている。
【００４９】
スライダー３２はリニアモータ、位置センサを内蔵し、スライダー３２とレール３１間に介在するするリニアガイド（図示せず）によってレール３１上を滑らかに移動する。リニアモータは公知の技術によって制御され、スライダー３２の停止位置は所要の精度が確保されている。なお、送りネジ機構や往復動するベルトなどによってスライダー３２の移動を制御しても良い。
【００５０】
昇降（上下動）機構３４ａ〜３４ｃは、例えば、既述高圧エアによってピストンロッドが上下方向に移動するエアシリンダ機構によって構成することが出来る。電磁石やネジ送り機構などによって構成しても良い。昇降機構３４ａ〜３４ｃは、制御部７０からの指令信号に応答して搬送テーブル列３６全体を上昇させ、あるいは下降させる。なお、搬送テーブルを個別に昇降する構成としても良い。
【００５１】
搬送テーブル列３６は、平坦な上面に保持手段としての複数の吸気孔３８が設けられた搬送テーブル３６ａ〜３６ｃの相互間を結合部材で連結して構成されている。実施例では、搬送テーブル列３６は棒状の搬送方向に延在する長手部材によって構成されているが、これに限定されるものではない。
搬送テーブル列３６（搬送テーブル３６ａ〜３６ｃ）は、スライダー３２によって左右方向に移動し、昇降（上下動）機構３４（３４ａ〜３４ｃ）によって上下方向に移動する。
【００５２】
図２は、図１の構成において搬送機構２０の搬送テーブル列２６全体を昇降機構２４（２４ａ〜２４ｃ）によって上昇させた例を示している。同図に示すように、搬送テーブル列２６を所定量ｙ上昇させることによってワークＷをベルトコンベア４１から搬送テーブル２６ａ上に移動する。搬送テーブル２６ａの吸気孔２８によってワークＷを吸着することによってワークＷが搬送テーブル２６ａに保持される。この状態で搬送テーブル列２６を次のステージに移動し、所定量ｙ下降することによって、ワークＷをアライメントテーブル上に移動することができる。上記所定上昇量及び下降量ｙは、部材相互間（ベルトコンベアと搬送テーブル間、搬送テーブルとアライメント／作業テーブル間、アライメント／作業テーブルと搬送テーブル間）のワークＷの移動に必要な距離に設定される。また、搬送テーブル列２０及び３０の相補的な移動（前進と後退）の際に搬送テーブルとワークＷとが接触しない距離に設定される。
【００５３】
次に、制御部７０による２つの搬送テーブル列の制御によってワークＷが各ステージ間を移動する理由について図３を参照して説明する。図３において、図１、図２と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
図３に示すように、既述４つのステージＡ〜Ｄに対応して搬送テーブル列２６及び３６の３つの搬送テーブル２６ａ〜２６ｃ、３６ａ〜３６ｃの各間隔が設定されている。また、各搬送テーブルの停止位置と各ステージの位置とは対応する（同期する）ように制御される。制御部７０は以下のように各部の動作を制御する。
【００５４】
まず、図３（Ａ）に示す初期状態において、制御部７０は、一方の搬送テーブル列２６を左側に移動し、その搬送テーブル２６ａをワーク搬入ステージＡに位置させている。ワーク搬入ステージＡには、ベルトコンベア４１によってワークＷが搬送されている。また、他方の搬送テーブル列３６を右側に移動させ、その搬送テーブル３６ｃをワーク搬出ステージＤに位置させている。
【００５５】
制御部７０は、この状態から搬送テーブル列２６を上昇させ、ワークＷを搬送テーブル２６ａ上に吸引してベルトコンベア４１のベルト４１ａ，４１ｂよりも上の位置に保持する。次に、一方の搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列２６全体を下降させてワークＷをアライメントテーブル１６上に載せ、図３（Ｂ）の状態とする。この位置で、ワークＷのアライメント調整が行われる。
【００５６】
アライメント調整終了後、制御部７０は、搬送テーブル列３６を上昇させ、ワークＷを搬送テーブル３６ｂ上に吸引してアライメントテーブル１６よりも上の位置に保持させる。次に、搬送テーブル列３６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時に他方の搬送テーブル列２６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列３６全体を下降させてワークＷを印刷テーブル１８上に載せ、図３（Ｃ）の状態とする。この位置で、ワークＷへの印刷が行われる。
【００５７】
印刷終了後、制御部７０は、搬送テーブル列２６を上昇させ、ワークＷを搬送テーブル２６ｃ上に吸引して印刷テーブル１８よりも上の位置に保持させる。次に、搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時に他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列２６全体を下降させて吸引を解除してワークＷを搬出ステージＤのベルトコンベア４２上に載せ、図３（Ｄ）の状態とする。ワークＷは外部に搬送される。
【００５８】
上記は説明の便宜上、１つのワークＷの搬送について説明したが、後述のようにワーク搬入ステージＡで搬送テーブル２６ａ及び３６ａが交互にワークＷを吸引することで、ワークＷを連続的に搬送することが出来る。
【００５９】
このように、本実施例によれば、往復動（進退）する２つの搬送テーブル列により、ワークが交互に保持され、1つ又は複数のワークが一方向に導出される。一方の搬送テーブル列がワークを一方向に搬送するときに、同時に他方の搬送テーブル列が逆方向に戻る動作を、２つの搬送テーブル列の各々が交互に繰り返すので、搬送テーブルの戻り時間によるロスが実質的に生じない。
【００６０】
また、本実施例によれば、ワークを保持して搬送する２つの搬送テーブル列２６及び３６を搬送路に沿って並存し、一方の搬送テーブル列と他方の搬送テーブル列とを相補的に移動（前進、後退）することを繰り返し、進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が当該ステージ位置で同期（一致）したときに、ワークＷの保持を、ワークＷを保持して前進した搬送テーブル列側から後退して次に前進する搬送テーブル列側に切換えることにより、ワークＷが２つの搬送テーブル列の搬送テーブルを交互に乗り換えて前方に移動し、搬送される。
【００６１】
（実施例２）
図４及び図５は、上述した２つの搬送テーブル列による搬送機構を複数レーン（実施例では２レーン）設置して、複数のワークＷを同時並列的に搬送する例を示す説明図である。同図において図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００６２】
図４に示すように、既述した搬送テーブル列２６は搬送テーブル列２６1と２６2で構成され、搬送テーブル列３６は搬送テーブル列３６1と３６2で構成される。平行に配置された２つの搬送機構の搬送テーブル列２６1と２６2とがそれらの各左端部で連結部材２６ｅによって連結されて、「コ」の字状に構成されている。それにより、搬送テーブル列２６1と２６2は同じ動きをする（動きが同期している）。また、平行に配置された２つの搬送機構の搬送テーブル列３６1と３６2とがそれらの各右端部で連結部材３６ｅによって連結されて、「コ」の字状に構成されている。それにより、搬送テーブル列３６1と３６2は同じ動きをする（動きが同期している）。
【００６３】
なお、スライダや昇降機構の個別の制御によって組となっている搬送テーブル列の動きを正確に同期させことが出来る場合には連結部材２６ｅ、３６ｅを用いなくとも良い。また、後述の実施例では、並存する複数の搬送レーンを同期させて動作させたり、非同期動作としたり、一部を動作させて他を停止したりすることができる（図１３、図１４を参照）。
【００６４】
上述した「コ」の字状の２つのグループの搬送機構はそれらの開放側で互いに対向し、いわゆる入れ子状の配置となっている。そして、一方のグループＸの搬送機構が右方向に移動したとき、他方のグループＹの搬送機構は左方向に移動する。また、一方のグループＸの搬送機構が左方向に移動したとき、他方のグループＹの搬送機構は右方向に移動する。このように、２つのグループＸ，Ｙの搬送機構は相補的に移動する。
【００６５】
この構成において、搬送テーブル列２６1及び３６1の組が１つのワークＷの搬送ルートを形成する。搬送テーブル列２６2及び３６2の組が１つのワークＷの搬送ルートを形成する。それにより、２つのワーク搬送ルートが形成されている。
【００６６】
なお、図しないが、２つのワーク搬送ルートに対応してワーク搬入のベルトコンベア、ワーク搬出のベルトコンベアも増設されている。
【００６７】
次に、上記２つのグループの搬送機構によるワークＷの搬送について説明する。
【００６８】
まず、図４（Ａ）に示す初期状態において、制御部７０は、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を左側に移動し、その搬送テーブル２６ａ、２６ａをワーク搬入ステージＡに位置させている。ワーク搬入ステージＡには、既述ベルトコンベア４１，４１などによってワークＷ，Ｗが搬送されている。また、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を右側に移動させ、それらの搬送テーブル３６ｃ，３６ｃをワーク搬出ステージＤに位置させている。
【００６９】
制御部７０は、この状態からグループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を上昇させ、ワークＷ，Ｗを搬送テーブル２６ａ，２６ａ上に吸引してベルトコンベア４１，４１の各ベルトよりも上の位置に保持する。次に、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を前進（右方に移動）させて右側に１ステージ分移動させ、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を後退（左方に移動）させて左側に１ステージ分移動させる。グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を下降させてワークＷ，Ｗを図示しない２つのアライメントテーブル１６，１６上に載せ、図４（Ｂ）の状態とする。この位置で、ワークＷ，Ｗのアライメント調整がそれぞれ行われる。
【００７０】
アライメント調整終了後、制御部７０は、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を上昇させ、ワークＷ，Ｗをそれぞれ搬送テーブル３６ｂ，３６ｂ上に吸引してアライメントテーブル１６，１６よりも上の位置に保持させる。次に、グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時にグループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を後退させて左側に１ステージ分移動させる。グループＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を下降させてワークＷ，Ｗをそれぞれ印刷テーブル１８ａ乃至１８ｃ上に載せ、図５（Ａ）の状態とする。この位置で、図示しない印刷機によってワークＷ，Ｗへの印刷が行われる。
【００７１】
印刷終了後、制御部７０は、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を上昇させ、ワークＷ，Ｗをそれぞれ搬送テーブル２６ｃ，２６ｃ上に吸引して印刷テーブル１８ａ乃至１８ｃよりも上の位置に保持させる。次に、グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を前進させて右側に１ステージ分移動させ、同時にグルーブＹの搬送テーブル列３６1及び３６2を後退させて左側に１ステージ分移動させる。グループＸの搬送テーブル列２６1及び２６2を下降させて吸引を解除してワークＷ，Ｗを搬出ステージＤの図示しないベルトコンベア４２，４２上に載せ、図５（Ｂ）の状態とする。ワークＷ，Ｗはベルトコンベアによって外部に搬送される。
【００７２】
このようにして、複数のワークが同時並行して搬送される。なお、上述の実施例では、２つの搬送ルートで同時に２つのワークＷを搬送する例を説明したが、同様にしてｎ個（複数）の搬送ルートを配置し、同時にｎ個のワークを搬送することが出来る。
【００７３】
上述したワーク搬送機構の説明では説明の便宜のため、１つ又は２つのワークを搬送する基本的な動作を例として説明したが、通常の使用状態ではワークは連続的に搬送され、ワークに連続的に処理が施される。
【００７４】
（実施例３）
図６乃至図１０は、図１に示したワーク搬送装置における連続的なワーク搬送動作を説明する説明図である。各図において図１乃至図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００７５】
図６（Ａ）に示すように、ワーク搬送路に沿ってワークの進行方向にワーク搬入ステージＡ、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、及びワーク搬出ステージＤが配置されている。ワーク搬送機構と特に関係のない部分の図示は省略されている。アライメント調整ステージＢでは、ワークの位置調整用のカメラＣＭ１、ＣＭ２のみが示されている。調整ピンなどによるアライメント調整機構などについては省略されている。また、印刷ステージＣにおいては、スクリーン印刷に使用されるスキージＳＫのみが示され、印刷機構における他の要素は省略されている。
【００７６】
まず、図６（Ａ）に示すように、制御部７０は、３つの搬送テーブル２６ａ乃至２６ｃを備える一方の搬送テーブル列２６を左側に移動（後退）し、その搬送テーブル２６ａをワーク搬入ステージＡに位置させている。ワーク搬入ステージＡには、ベルトコンベア４１によってワークＷ11が外部から搬送されてくる。また、他方の搬送テーブル列３６を右側に移動（前進）させ、その搬送テーブル３６ｃをワーク搬出ステージＤに位置させている。
【００７７】
次に、図６（Ｂ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を上昇させ、ワークＷ11をベルトコンベア４１のベルト４１ａ，４１ｂよりも上の位置に保持する。このとき、ワークＷ11は搬送テーブル２６ａの複数の吸気孔２８で吸引されて搬送テーブル２６ａ上に着脱可能に保持される。
【００７８】
図６（Ｃ）に示すように、制御部７０は、一方の搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、ワークＷ11をアライメントテーブル１６（後ろアライメントテーブル１６ａ，前アライメントテーブル１６ｂ）上に移動する。また、他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。
【００７９】
図７（Ａ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を下降させてワークＷ11をアライメントテーブル１６（１６ａ，１６ｂ）上に載せ、ワークＷ11の保持を解除する。ワークＷ11はアライメントテーブル１６上に設けられた複数の吸気孔２８により吸引されて適宜に保持される。この位置で、図示しないアライメント調整機構によってワークＷ11の位置調整が行われる。
図７（Ｂ）に示すように、ワークＷ11のアライメント調整中に後続のワークＷ12がベルトコンベア４１によってワーク搬入ステージＡに搬送される。
【００８０】
図７（Ｃ）に示すように、ワークＷ11のアライメント調整終了後、制御部７０は、ワークＷ11を搬送テーブル３６ｂ上に吸引し、アライメントテーブル１６の吸引を停止して、搬送テーブル列３６全体を上昇させ、アライメントテーブル１６よりも上の位置でワークＷ11を保持させる。また、この上昇のときに、ワークＷ12を搬送テーブル３６ａ上に吸引してベルトコンベア４１よりも高い位置に保持させる。
【００８１】
次に、図８（Ａ）に示すように、搬送テーブル列３６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させ、ワークＷ11及びＷ12をそれぞれ印刷テーブル１８及びアライメントテーブル１６の上方に搬送する。同時に他方の搬送テーブル列２６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列２６の搬送テーブル２６ａはワーク搬入ステージＡに戻る。
【００８２】
その後、図８（Ｂ）に示すように、搬送テーブル列３６全体を下降させてワークＷ１１及びＷ１２をそれぞれ印刷テーブル１８及びアライメントテーブル１６上に載せる。
【００８３】
図８（Ｃ）に示すように、外部からワーク搬入ステージＡにワークＷ13が搬送される。アライメント調整ステージＢではワークＷ12のアライメント調整が行われる。印刷ステージＣでは、ワークＷ11に印刷処理が行われる。
【００８４】
アライメント調整及び印刷処理の終了後、図９（Ａ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を上昇させる。ワークＷ１１、Ｗ１２、及びＷ１３はそれぞれ搬送テーブル２６ｃ、２６ｂ、及び２６ａ上に吸引されて印刷テーブル１８、アライメントテーブル１６、ベルトコンベア４１よりも上方の位置に保持される。
【００８５】
次に、図９（Ｂ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を前進させて右側に１ステージ分移動させる。それにより、ワークＷ11、Ｗ12、及びＷ13はそれぞれワーク搬出ステージＤ、印刷ステージＣ、及びアライメント調整ステージＢの上方に搬送される。また、同時に他方の搬送テーブル列３６全体を後退させて左側に１ステージ分移動させる。搬送テーブル列３６の搬送テーブル３６ａはワーク搬入ステージＡに戻る。
【００８６】
図１０（Ａ）に示すように、制御部７０は、搬送テーブル列２６全体を下降させる。ワークＷ11、Ｗ12、及びＷ13はそれぞれ搬出ステージＤのベルトコンベア４２、印刷テーブル１８、及びアライメントテーブル１６上に載置される。ワークＷ12、Ｗ13は適宜に保持（吸引）され、ワークＷ11の保持（吸引）は解除される。
【００８７】
図１０（Ｂ）に示すように、外部からワーク搬入ステージＡにワークＷ14が搬送される。アライメント調整ステージＢではワークＷ13のアライメント調整が行われる。印刷ステージＣでは、ワークＷ12に印刷処理が行われる。ワークＷ１１はを搬出ステージＤのベルトコンベア４２によって外部（後工程）に搬送される。
【００８８】
図１０（Ｃ）に示すように、アライメント調整及び印刷処理の終了後、制御部７０は、搬送テーブル列３６全体を上昇させる。ワークＷ12、Ｗ13、及びＷ14はそれぞれ搬送テーブル３６ｃ、３６ｂ、及び３６ａ上に保持（吸引）されて印刷テーブル１８、アライメントテーブル１６、ベルトコンベア４１よりも上方の位置に保持される。
【００８９】
以後、図８（Ａ）乃至図１０（Ｃ）の過程を繰り返すことによって、ワークＷが、ステージＡ乃至Ｄに連続的に搬送され、ワーク搬入、アライメント調整、印刷処理、及びワーク搬出がなされる。
【００９０】
（実施例４）
本発明の他の実施の形態について図１１乃至図１４を参照して説明する。
各図において図１乃至図３と対応する部分には同一符号を付し、かかる部分の説明は省略する。
【００９１】
図１１は、同時に２つのワークを処理することができるワーク搬送装置の例を示している。同図のワーク搬送装置が既述図１のワーク搬送装置と異なる点は、図１の構成では各ステージ間を同時に搬送できるワークは１つであるのに対して、本実施例では、各ステージ間を同時に搬送できるワークＷは２つ（複数）である。
【００９２】
この実施例では、２つ（複数）のワークＷに対して同時に処理を行うため、ワーク搬入ステージＡ、アライメント調整ステージＢ、印刷ステージＣ、及びワーク搬出ステージＤをそれぞれ搬送方向において直列に配置された２つ（複数）の機構によって同時処理が出来るように構成されている。これ等の各ステージに対応して搬送テーブル列２６，３６のテーブルには２つ（複数）の搬送テーブルが割り当てられている。
【００９３】
例えば、ワーク搬入ステージＡには、外部から２つのワークＷが搬入される。アライメント調整ステージＢは２つのアライメントテーブル（１６ａ1と１６ｂ1，１６ａ2と１６ｂ2）、図示しない２つのアライメント調整機構によって構成される。印刷ステージＣは２つのワークＷ分の大型の印刷テーブル１８（１８ａ，１８ｂ）と図示しない２つの印刷機構によって構成されてる。印刷は図示のように手前から奥方向にスキージを移動することによってなされる。ワーク搬出ステージＤでは、２つのワークＷが同時に外部（後工程）に搬出される。
なお、この実施例では、１つのステージに対して２つの搬送テーブルを備える例が示されているが、１つのステージに対して進行方向において直列な（あるいは連結された）ｎ（複数）個の搬送テーブルを備える構成とすることができることは明らかである。
【００９４】
本実施例によれば、搬送路が１レーン構成であっても、直列に配置された、１ステージにつき２つ（複数）の搬送テーブルを使用することによって各ステージ間を同時に２つ（複数）のワークを移動することが出来る。
【００９５】
（実施例５）
図１２は、図１１に示すワーク搬送装置の構成例において、ワーク搬入ステージＡ及びアライメント調整ステージＢを１つのステージであるワーク受取アライメント調整部ＡＢで構成した例を示している。ワーク受取アライメント調整部ＡＢは、外部から搬入されたワークＷの受け入れと、受け入れたワークＷの印刷用の位置合わせ調整とを行う。このため、アライメントテーブル１６の内側にベルトコンベア４１が入り込む構成となっている。他の印刷ステージＣ、及びワーク搬出ステージＤは同様の構成であり、動作も同様である。
【００９６】
この実施例の構成によれば、搬送テーブル列２６、３６の搬送テーブルを１ステージ分減らすことが出来る。
【００９７】
（実施例６）
次に、複数の搬送レーンを並存した例について説明する。実施例では、説明の便宜上２つの搬送レーンで説明しているが、複数の搬送レーンで構成することが出来ることは明らかである。
【００９８】
図１３に示すように、ワークＷを搬送する方向と直行する方向に２つ（複数）の搬送レーンが並べられている。１つのステージに対して２つの搬送レーンによって２つのワークＷ11とＷ12、Ｗ13とＷ14、…を並列的に供給する。
【００９９】
この例では、搬送レーン相互間は近接しており、印刷テーブル１８は、後ろ印刷テーブル１８ａ、前印刷テーブルｂ、中印刷テーブルｃ、によって構成されている。それにより、２台分の印刷テーブルとして機能する。印刷は横方向（図の左右方向）においてスキージを移動することによって行われる。
各搬送レーンは、相互に同期して動作しても良く、また、非同期で動作しても良い。また、複数の搬送レーンのうち一部を動作させ、他を停止することとしても良い。
【０１００】
この実施例の構成によれば、各搬送レーンを個別に制御することができるのでワーク処理量の増減に対応しやすい。また、図１２の構成と比べて搬送路の全長を短くすることが出来る利点がある。
【０１０１】
（実施例７）
この実施例では、図１４に示すように、ワーク搬送方向と直交する方に複数（ｎ個）の搬送レーンが並存している。更に、各搬送レーンの搬送テーブル列が１ステージ当たり複数（ｍ個）の搬送テーブルを備える。それにより、１つのステージに対して同時にｎ×ｍ個のワークＷを搬送する。
【０１０２】
この例では、ワーク搬入アライメント調整部ＡＢには４つのアライメント調整機構（図示せず）が設けられる。印刷部Ｃにも４つの印刷機構（図示せず）が設けられる。各ステージには同時に４つのワークＷ11〜Ｗ14、Ｗ15〜Ｗ18、…が搬送される。
【０１０３】
この実施例においても、図１３の場合と同様に、各搬送レーン相互間を同期した動作、非同期動作、各搬送レーン毎の個別動作などを選択することができる。
【０１０４】
この実施例によれば、同時に搬送するワークＷの数を増大してワーク処理の効率を高めることができる利点がある。
【０１０５】
以上説明したように、本発明の実施例においては、複数の搬送テーブルを備える２つの搬送テーブル列の各列部材を交互に移動（往復動）し、搬送方向に移動する搬送テーブルにワークの保持を切換えることによってワークを搬送方向に移動する。このため、一方の搬送テーブル列の部材がワークを搬送する（往動）ときに、他方の搬送テーブル列の部材が戻る（復動）ので、ワークを途切れなく（連続的に）搬送することでき、単位時間当たりのワーク搬送数（ワーク搬送効率）を高くすることができる。
【０１０６】
また、本発明の実施例によれば、複数の搬送レーンを配置し、各搬送レーンに１ステージ当たり複数の搬送テーブルを割り当てることによってワーク搬送量を増大することが可能となる。
【０１０７】
また、本発明の実施例によれば、１つ又は複数個のワークによる列が複数のステージ間を直線的に移動する（搬送される）ので、流れのガイドによるワークの経路変更等が必要なく、ワークエッジなどへのダメージがない。
【０１０８】
また、本発明の実施例の装置構成と、回転テーブル上にワークを載置してワークを搬送する装置（ターンテーブル型のワーク搬送装置）とを比較した場合、ワークの搬送路が直線的であるので生産ラインの設計・配置が容易である。ワーク搬送装置が専有する床面積（設置面積）が大幅に減少し、搬送装置を相対的に小型化することができる。印刷システムや製造システム等への組み込みが容易である。また、搬送機構の重量も少なくて済むので、装置の低消費電力化や動作制御が容易であり、搬送速度を速くすることが可能である。
【０１０９】
また、本発明の実施例の装置構成と、ターンテーブル型やベルトコンベア型のワーク搬送装置とを比べた場合、移動機構の慣性質量が少ないので、ワーク搬送における各ステージでの位置合せ精度を高くすることができ、好都合である。
【０１１０】
なお、実施例ではワークを搬送してワークに印刷を施す例で説明したが、特定の処理に限定されるものではない。また、ワークとして、太陽電池基板、フラットディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板、半導体ウエハ等があげられるが、これ等のものに限定されるものではなく、本発明の機構によって搬送できるものであれば何でも良い。
【産業上の利用可能性】
【０１１１】
本発明によれば、往復動してワークを搬送するワーク搬送機構において、２つのワーク搬送機構を交互に動作させることにより、一方のワーク搬送機構が１つ又は複数のワークを保持して搬送するときに他方のワーク搬送機構を戻すことができ、途切れなくワークを搬送することができる。
【０１１２】
上述した発明の実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施例の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【０１１３】
１６ アライメントテーブル、１８ 印刷テーブル、２０ 第１搬送機構、２２ スライダ、２４、２４ａ〜２４ｃ 昇降機構、２６ 第１搬送テーブル列、２６ａ〜２６ｃ 搬送テーブル、２８ 吸気孔、３０ 第２搬送機構、３２ スライダ、３４ａ〜３４ｃ 昇降機構、３６ 第２搬送テーブル列、３６ａ〜３６ｃ 搬送テーブル、３８ 吸気孔、４１，４２ ベルトコンベア、制御部７０、ＣＭ1，ＣＭ2 カメラ、ＳＫ スキージ、Ａ ワーク搬入ステージ、Ｂ アライメント調整ステージ、Ｃ 印刷ステージ、Ｄ ワーク搬出ステージ、Ｗ，Ｗ11−Ｗ18 ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路に沿って配置された複数のステージにワークを搬送テーブルに載せて搬送する搬送装置であって、
並存して前記ワークを交互に保持して搬送する第１及び第２搬送機構と、
前記第１及び第２搬送機構を制御する制御部と、を備え、
前記第１搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第１搬送テーブル列を前記搬送方向において前進及び後退し、
前記第２搬送機構は、前記搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第２搬送テーブル列を前記搬送方向において前進及び後退し、
前記制御部は、前記第１及び第２搬送機構を交互に進退させ、進退する第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を一方の搬送テーブル列側から他方の搬送テーブル列側に切換える、ワーク搬送装置。
【請求項２】
更に、
前記第１搬送機構は、前記第１搬送テーブル列を上下動する第１上下動機構を含み、
前記第２搬送機構は、前記第２搬送テーブル列を上下動する第２上下動機構を含み、
前記制御部は、前記進退に際し、前記第１及び第２搬送機構のうちの一方の搬送機構の搬送テーブル列を他方の搬送機構の搬送テーブル列よりも相対的に上昇させる、請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換える、請求項１又は２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を後退した搬送テーブル列側から前進した搬送テーブル列側に切換える、請求項１又は２に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記搬送テーブルは、載置された前記ワークを保持するワーク保持機構を含み、
前記制御部は、前記ワーク保持機構を制御する、請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記ワーク保持機構が前記ワークを前記搬送テーブル上に吸引する吸引機構である、請求項５に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
更に、
前記第１搬送機構及び前記第２搬送機構が複数組配置され、
前記制御部は、各組の一方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に前進させ、各組の他方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に後退させる、請求項１乃至６のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記各組の一方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結され、前記各組の他方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結さる、請求項７に記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
各搬送テーブル列における搬送テーブル相互間の距離が前記複数のステージの各ステージ相互間の距離に対応している、請求項１乃至８のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２搬送テーブル列の各々は、前記搬送方向に延在し、前記複数の搬送テーブルの位置に対応して複数の吸引孔が設けられた棒状の部材によって構成される、請求項１乃至９のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２搬送テーブル列の列上に前記ワークが保持される、請求項１乃至９のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１２】
前記ステージは、搬入ステージ、アライメントステージ、印刷ステージ、搬出ステージのうち少なくともいずれかのステージを含む、請求項１乃至１１のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１３】
前記ステージには、前記搬送テーブルと面一になる作業テーブルが配置される、請求項１乃至１２のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１４】
ワークの搬送方法であって、
ワークを交互に保持して搬送する２つの搬送テーブル列を搬送路に沿って並存し、
前記２つの搬送テーブル列を該搬送テーブル列の搬送テーブル間隔に対応した距離で交互に進退させ、
各搬送テーブル列が交互に前進するときに当該前進する搬送テーブル列に前記ワークを保持させて前記ワークを搬送する、
ワークの搬送方法。
【請求項１５】
前記交互に進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換える、請求項１４に記載のワーク搬送方法。
【請求項１６】
前記２つの搬送テーブル列の進退において、前進する搬送テーブル列は後退する搬送テーブル列よりも相対的に高い位置を移動する、請求項１４又は１５に記載のワーク搬送方法。
【請求項１７】
前記２つの搬送テーブル列が１つのワーク又は複数のワークの列を交互に保持して前進する、請求項１４乃至１６のいずれかに記載のワーク搬送方法。
【請求項１８】
前記ワークの交互の保持は前記２つの搬送テーブル列の一方の列の搬送テーブルと他方の列の搬送テーブルとで前記ワークを交互に吸引することによって行われる、請求項１４乃至１７のいずれかに記載のワーク搬送方法。
【請求項１】
搬送路に沿って配置された複数のステージにワークを搬送テーブルに載せて搬送する搬送装置であって、
並存して前記ワークを交互に保持して搬送する第１及び第２搬送機構と、
前記第１及び第２搬送機構を制御する制御部と、を備え、
前記第１搬送機構は、搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第１搬送テーブル列を前記搬送方向において前進及び後退し、
前記第２搬送機構は、前記搬送方向に配置された複数の搬送テーブルを含む第２搬送テーブル列を前記搬送方向において前進及び後退し、
前記制御部は、前記第１及び第２搬送機構を交互に進退させ、進退する第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を一方の搬送テーブル列側から他方の搬送テーブル列側に切換える、ワーク搬送装置。
【請求項２】
更に、
前記第１搬送機構は、前記第１搬送テーブル列を上下動する第１上下動機構を含み、
前記第２搬送機構は、前記第２搬送テーブル列を上下動する第２上下動機構を含み、
前記制御部は、前記進退に際し、前記第１及び第２搬送機構のうちの一方の搬送機構の搬送テーブル列を他方の搬送機構の搬送テーブル列よりも相対的に上昇させる、請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換える、請求項１又は２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記第１及び第２搬送テーブル列相互間の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を後退した搬送テーブル列側から前進した搬送テーブル列側に切換える、請求項１又は２に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記搬送テーブルは、載置された前記ワークを保持するワーク保持機構を含み、
前記制御部は、前記ワーク保持機構を制御する、請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記ワーク保持機構が前記ワークを前記搬送テーブル上に吸引する吸引機構である、請求項５に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
更に、
前記第１搬送機構及び前記第２搬送機構が複数組配置され、
前記制御部は、各組の一方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に前進させ、各組の他方の搬送機構の搬送テーブル列を同時に後退させる、請求項１乃至６のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記各組の一方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結され、前記各組の他方の搬送テーブル列相互間が機械構造的手段によって連結さる、請求項７に記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
各搬送テーブル列における搬送テーブル相互間の距離が前記複数のステージの各ステージ相互間の距離に対応している、請求項１乃至８のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１０】
前記第１及び第２搬送テーブル列の各々は、前記搬送方向に延在し、前記複数の搬送テーブルの位置に対応して複数の吸引孔が設けられた棒状の部材によって構成される、請求項１乃至９のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２搬送テーブル列の列上に前記ワークが保持される、請求項１乃至９のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１２】
前記ステージは、搬入ステージ、アライメントステージ、印刷ステージ、搬出ステージのうち少なくともいずれかのステージを含む、請求項１乃至１１のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１３】
前記ステージには、前記搬送テーブルと面一になる作業テーブルが配置される、請求項１乃至１２のいずれかに記載のワーク搬送装置。
【請求項１４】
ワークの搬送方法であって、
ワークを交互に保持して搬送する２つの搬送テーブル列を搬送路に沿って並存し、
前記２つの搬送テーブル列を該搬送テーブル列の搬送テーブル間隔に対応した距離で交互に進退させ、
各搬送テーブル列が交互に前進するときに当該前進する搬送テーブル列に前記ワークを保持させて前記ワークを搬送する、
ワークの搬送方法。
【請求項１５】
前記交互に進退する２つの搬送テーブル列の搬送テーブル同士の位置が同期したときに、前記ワークの保持を前進した搬送テーブル列側から後退した搬送テーブル列側に切換える、請求項１４に記載のワーク搬送方法。
【請求項１６】
前記２つの搬送テーブル列の進退において、前進する搬送テーブル列は後退する搬送テーブル列よりも相対的に高い位置を移動する、請求項１４又は１５に記載のワーク搬送方法。
【請求項１７】
前記２つの搬送テーブル列が１つのワーク又は複数のワークの列を交互に保持して前進する、請求項１４乃至１６のいずれかに記載のワーク搬送方法。
【請求項１８】
前記ワークの交互の保持は前記２つの搬送テーブル列の一方の列の搬送テーブルと他方の列の搬送テーブルとで前記ワークを交互に吸引することによって行われる、請求項１４乃至１７のいずれかに記載のワーク搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−６７０５（Ｐ２０１２−６７０５Ａ）
【公開日】平成２４年１月１２日（２０１２．１．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１４３７３８（Ｐ２０１０−１４３７３８）
【出願日】平成２２年６月２４日（２０１０．６．２４）
【出願人】（５９３０３９８５６）マイクロ・テック株式会社 (21)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１月１２日（２０１２．１．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月２４日（２０１０．６．２４）
【出願人】（５９３０３９８５６）マイクロ・テック株式会社 (21)
【Ｆターム（参考）】
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