光学素子の成形部材、及び光学素子の製造方法
【課題】作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制でき、所望の性能を有する光学素子を製造できる成型部材を提供する。
【解決手段】成型部材は、光学素子を製造するための部材である。成型部材は、光学素子の表面の形状を定めるための第１面を有する第１モールド部と、第１モールド部と一体で、光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部とを備える。
【解決手段】成型部材は、光学素子を製造するための部材である。成型部材は、光学素子の表面の形状を定めるための第１面を有する第１モールド部と、第１モールド部と一体で、光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の成形部材、及び光学素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックレンズは、ガスケットの両端の開口のそれぞれにモールド部材（母型）を配置し、ガスケットと一対のモールド部材との間に形成される空間に、プラスチックレンズを製造するための材料であるモノマーを供給し、その後、そのモノマーを重合することによって製造される。下記特許文献には、ガスケットを用いてプラスチックレンズを製造する技術の一例が開示されている。
【特許文献１】特開平９−３００３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
プラスチックレンズの製造において、作業工程数の削減、作業の簡略化等が望まれる。作業工程数が増えたり、作業が複雑化したりすると、製造コストの低減を阻害する可能性がある。また、作業工程数が増えたり、作業が複雑化したりすると、プラスチックレンズが損傷し易くなったり、プラスチックレンズに異物が付着し易くなったり、プラスチックレンズの光学性能が低下したりする可能性がある。
【０００４】
本発明は、プラスチックレンズ等の光学素子を製造する際、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制でき、所望の性能を有する光学素子を製造できる成型部材、及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明を例示する第１の態様に従えば、光学素子を製造するための成型部材であって、光学素子の表面の形状を定めるための第１面を有する第１モールド部と、第１モールド部と一体で、光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部と、を備えた成型部材が提供される。
【０００６】
本発明を例示する第２の態様に従えば、第１の態様の成型部材を用いる光学素子の製造方法が提供される。
【０００７】
本発明を例示する第３の態様に従えば、光学素子の製造方法であって、光学素子の表面の形状を定めるための第１モールド部の第１面に、光学素子を製造するための材料を供給することと、第１面上に光学素子を形成した後、第１面と光学素子とを接触させた状態で、第１モールド部と一体な被保持部を、光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構で保持することと、保持機構で被保持部を保持した状態で、光学素子の裏面を加工することと、を含む光学素子の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光学素子を製造する際、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制でき、所望の性能を有する光学素子を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら例示的に説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１０】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係るプラスチックレンズを製造するための成型部材１００の一例を示す側断面図である。本実施形態において、成型部材１００は、例えばセミフィニッシュレンズと呼ばれる半製品レンズを製造可能（成型可能）である。以下の説明においては、成型部材１００で製造される光学素子を適宜、セミフィニッシュレンズ、と称する。
【００１１】
図１において、成型部材１００は、第１部材１と、第１部材１と別の第２部材２とを備えている。第１部材１は、セミフィニッシュレンズの表面（凸面）の形状を定めるための第１面３を有する第１モールド部４と、第１モールド部４と一体で、セミフィニッシュレンズの裏面（凹面）を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部５とを備えている。第２部材２は、セミフィニッシュレンズの裏面の形状を定めるための第２面６を有する第２モールド部７と、第２モールド部７と一体で、セミフィニッシュレンズの側面の形状を定めるための第３面８を有するガスケット部９とを備えている。
【００１２】
本実施形態において、第１モールド部４及び被保持部５を含む第１部材１は、合成樹脂製である。本実施形態においては、第１モールド部４及び被保持部５を含む第１部材１は、オレフィン系樹脂である。本実施形態において、オレフィン系樹脂は、例えばポリプロピレンを含む。
【００１３】
本実施形態において、第２モールド部７及びガスケット部９を含む第２部材２は、合成樹脂製である。本実施形態においては、第２モールド部７及びガスケット部９を含む第２部材２は、オレフィン系樹脂である。本実施形態において、オレフィン系樹脂は、例えばポリプロピレンを含む。なお、第２部材２が、例えばエラストマー製でもよい。
【００１４】
第１部材１の第１モールド部４は、製造されるセミフィニッシュレンズの表面の形状を規定することができる。図１において、第１モールド部４の第１面３は、中央部が周辺部に対して−Ｙ側に湾曲する形状である。第１面３は、凹面である。
【００１５】
第１部材１の被保持部５は、第１面３と反対側（−Ｙ側）の第１モールド部４の所定部位に接続されている。第１モールド部４と被保持部５とは一体である。本実施形態において、被保持部５は、軸部材である。図１において、被保持部５の中心軸ＡＸ１は、Ｙ軸と平行である。
【００１６】
本実施形態において、第１部材１は、被保持部５の周囲に支持面１０を有する。ＸＺ平面内において、支持面１０は、輪帯状である。本実施形態において、支持面１０は、ＸＺ平面とほぼ平行である。
【００１７】
第２部材２の第２モールド部７は、ガスケット部９の＋Ｙ側に配置されている。第２モールド部７とガスケット部９とは一体である。第２モールド部７は、製造されるセミフィニッシュレンズの裏面の形状を規定することができる。第２モールド部７の第２面６は、中央部が周辺部に対して−Ｙ側に湾曲する形状である。第２面６は、凸面である。
【００１８】
第２部材２のガスケット部９は、円筒状である。図１において、ガスケット部９の中心軸ＡＸ２は、Ｙ軸と平行である。ガスケット部９は、Ｙ軸と平行な中心軸ＡＸ２の周囲に配置される。ガスケット部９は、内周面１１を有する。内周面１１は、セミフィニッシュレンズの側面の形状を定めるための第３面８を含む。本実施形態において、ガスケット部９は、内周面１１の一部の領域において、セミフィニッシュレンズの側面の形状を規定することができる。すなわち、本実施形態においては、第３面８は、ガスケット部９の内周面１１の一部の領域である。
【００１９】
第２部材２は、ガスケット部９の−Ｙ側に、第１部材１の第１モールド部４を配置可能な開口１２を備えている。本実施形態において、開口１２の近傍のガスケット部９の内側に、第１モールド部４を支持可能な支持部１３が設けられている。支持部１３は、−Ｙ側を向いており、開口１２に配置された第１モールド部４の少なくとも一部を支持可能である。
【００２０】
本実施形態においては、第２部材２の開口１２に第１部材１の第１モールド部４が配置されて、支持部１３に支持されることによって、第１モールド部４の第１面３と、第２モールド部７の第２面６と、ガスケット部９の第３面８との間に、空間（キャビティ）１４が形成される。空間１４には、セミフィニッシュレンズ（光学素子）を製造するためのモノマーが供給される。
【００２１】
本実施形態において、第１部材１の第１モールド部４が、第２部材２の開口１２に配置されて、支持部１３に支持されたとき、第１部材１の被保持部５の中心軸ＡＸ１と、第２部材２のガスケット部９の中心軸ＡＸ２とは、ほぼ一致する。また、空間１４に形成されるセミフィニッシュレンズ（光学素子）の光軸は、Ｙ軸と平行である。
【００２２】
次に、上述の成型部材１００に関する処理の一例について、図２のフローチャートを参照しながら説明する。
【００２３】
まず、成型部材１００の第１部材１及び第２部材２が製造される。第１部材１は、射出成形によって形成される（ステップＳ１）。同様に、第２部材２も、射出成形によって形成される（ステップＳ２）。
【００２４】
次に、第１部材１と第２部材２とを組み合わせる処理が実行される（ステップＳ３）。すなわち、第２部材２の開口１２に、第１部材１が配置され、支持部１３に支持される。これにより、図３に示すように、第１面３と第２面６と第３面８との間に、空間１４が形成される。
【００２５】
本実施形態においては、第１部材１と第２部材２とを組み合わせる処理は、クリーンブースで実行される。これにより、第１面３、第２面６及び第３面８等に異物が付着することを抑制できる。
【００２６】
また、本実施形態においては、ばね機構を含む保持部材５０によって、第１部材１と第２部材２とが固定される。以下の説明において、保持部材５０を適宜、おさえばね５０、と称する。
【００２７】
次に、空間１４に、セミフィニッシュレンズを製造するためのモノマーが供給される（ステップＳ４）。本実施形態においては、例えば第２部材２の一部を撓ませて、空間１４と外部空間とを連通する通路を形成し、その通路にモノマーを供給可能な供給管を配置する。これにより、供給管を介して、空間１４にモノマーが供給される。空間１４に供給されたモノマーは、第１面３、第２面６及び第３面８のそれぞれに供給され、それら第１面３、第２面６及び第３面８のそれぞれと接触する。空間１４にモノマーが供給されることによって、空間１４がモノマーで満たされる。
【００２８】
なお、図４に示すように、第３面８の一部に、空間１４にモノマーを供給するための供給口１５を設けることができる。図４において、ガスケット部９の所定位置に、空間１４と外部空間とを接続する貫通孔１６が形成される。供給口１５は、空間１４側の貫通孔１６の端部に配置される。貫通孔１６は、外部空間に配置された、モノマーを供給可能な供給装置（不図示）と接続可能である。供給装置より貫通孔１６にモノマーが供給されることによって、そのモノマーは、貫通孔１６及び供給口１５を介して、空間１４に供給される。
【００２９】
空間１４がモノマーで満たされた後、空間１４に供給されたモノマーに対する重合処理（加熱処理）が実行される（ステップＳ５）。本実施形態において、モノマーは、例えばジエチレングリコールビスアリルカーボネート等のような熱重合性樹脂を含む。モノマーを所定の加熱条件で加熱することによって、そのモノマーが重合され、セミフィニッシュレンズ（光学素子）が生成される。モノマーの重合処理は、空間１４に満たされたモノマーを、第１部材１、第２部材２及びおさえばね５０とともに、例えば電気オーブン等の所定の加熱装置にセットする工程と、その加熱装置を用いて所定の加熱条件でモノマーを加熱処理する工程とを含む。
【００３０】
モノマーを重合させることによって、セミフィニッシュレンズが生成された後、そのセミフィニッシュレンズと第２部材２とが分離される（ステップＳ６）。
【００３１】
図５は、セミフィニッシュレンズと第２部材２とが分離された後の状態を示す図である。本実施形態においては、セミフィニッシュレンズＰが生成され、そのセミフィニッシュレンズＰと第２部材２とが分離された後においても、図５に示すように、第１部材１とセミフィニッシュレンズＰとは分離されない。セミフィニッシュレンズＰは、第１部材１の第１面３上に形成される。
【００３２】
第１部材１の第１面３上にセミフィニッシュレンズが形成された後、第１面３とセミフィニッシュレンズＰとは、接触した状態で、一緒に袋詰めされる（ステップＳ７）。第１部材１とセミフィニッシュレンズＰとは、接続された状態で、例えば加工工場に所定の流通経路で輸送される（ステップＳ８）。
【００３３】
第１部材１と接続された状態のセミフィニッシュレンズＰが加工工場に輸送された後、図６に示すように、セミフィニッシュレンズＰと接続された状態の第１部材１が、セミフィニッシュレンズを加工可能な加工装置３０の保持機構３１に保持される。本実施形態において、加工装置３０は、セミフィニッシュレンズＰの裏面（凹面）を加工可能である。
【００３４】
保持機構３１は、被保持部５を含む第１部材１の少なくとも一部を保持する。本実施形態において、保持機構３１は、真空チャック機構を含む。保持機構３１は、第１部材１の支持面１０と接触可能な接触面（シール面）３２と、被保持部５の少なくとも一部が配置可能な空間３３とを含む。第１部材１の支持面１０と保持機構３１の接触面３２とを接触させることによって、第１部材１と保持機構３１との間に、ほぼ密閉された空間３３が形成される。保持機構３１は、空間３３の気体を吸引する真空システム（不図示）を含み、第１部材１の支持面１０と保持機構３１の接触面３２とを接触させた状態で、空間３３の気体を吸引することによって、接触面３２で、第１部材１の支持面１０を吸着するように保持することができる。また、保持機構３１は、空間３３の内側面で、被保持部５を保持する。
【００３５】
そして、保持機構３１で第１部材１を保持した状態で、セミフィニッシュレンズＰの裏面が加工される（ステップＳ９）。加工装置３０は、例えば切削装置及び研磨装置の少なくとも一方を含む。セミフィニッシュレンズＰを加工することによって、図７に示すように、所定の形状を有する光学素子（プラスチックレンズ）ＰＦが形成される。
【００３６】
その後、光学素子ＰＦに対する第１部材１の保持が解除される。すなわち、光学素子ＰＦと第１部材１とが分離される（ステップＳ１０）。その後、光学素子ＰＦに対する洗浄処理が実行される（ステップＳ１１）。その後、例えば光学素子ＰＦに対して反射防止膜を形成する等、所定の後工程が実行される。
【００３７】
なお、本実施形態においては、ステップＳ６においてセミフィニッシュレンズから分離された第２部材２は、粉砕処理された後、再利用される（ステップＳ１２）。また、ステップＳ１０において光学素子ＰＦ分離された第１部材１は、粉砕処理された後、再利用される（ステップＳ１３）。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態によれば、第１モールド部４と被保持部５とが一体なので、例えば重合処理を実行した後、セミフィニッシュレンズＰと第１部材１とを分離することなく、その第１部材１を保持機構３１で保持して、第１部材１に支持されているセミフィニッシュレンズＰを加工することができる。したがって、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制して、光学素子ＰＦを製造することができる。
【００３９】
例えば重合処理を実行してセミフィニッシュレンズを形成した後、セミフィニッシュレンズと第１部材と分離し、そのセミフィニッシュレンズを所定の支持部材を介して加工装置の保持機構で保持する構成の場合、作業工程数が増す可能性がある。
【００４０】
また、セミフィニッシュレンズを所定の支持部材を介して加工装置の保持機構で保持する構成において、例えばセミフィニッシュレンズと支持部材との位置関係を所望状態にするための作業が必要となり、作業が複雑化する可能性がある。
【００４１】
また、セミフィニッシュレンズと支持部材との位置関係を所望状態にすることが困難な場合、位置ずれした状態でセミフィニッシュレンズを加工してしまう可能性がある。その結果、光学素子を所望の形状に形成することができず、所謂、プリズム不良が発生する等、光学素子が所望の光学性能を得られなくなる可能性がある。
【００４２】
また、例えば重合処理を実行してセミフィニッシュレンズを形成した後、セミフィニッシュレンズと第１部材と分離し、そのセミフィニッシュレンズを所定の支持部材を介して加工装置の保持機構で保持する構成の場合、セミフィニッシュレンズの表面が一旦露出することとなるので、セミフィニッシュレンズの表面に異物が付着したり、セミフィニッシュレンズの表面が損傷したりする可能性が高くなる。その結果、光学素子の光学性能が低下する可能性がある。また、セミフィニッシュレンズの表面を露出させた状態で、輸送（流通）する場合、セミフィニッシュレンズの表面が損傷する可能性が高くなる。輸送の際に、所定の保護部材でセミフィニッシュレンズの表面を覆うことも考えられるが、その分、作業工程が増えることとなる。
【００４３】
本実施形態によれば、重合処理を実行してセミフィニッシュレンズを製造した後においても、セミフィニッシュレンズと第１部材１とを分離することなく、重合処理後の処理を実行することができるので、上述したような不具合の発生を抑制することができる。したがって、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制して、所望の性能を有する光学素子ＰＦを製造することができる。
【００４４】
また、本実施形態によれば、第１部材１が合成樹脂製なので、その第１部材１にかかるコストを低減することができる。例えば、セミフィニッシュレンズの表面の形状を定めるための部材をガラス製にする場合に比べて、コストを十分に低減することができる。また、例えば、様々な形状を有する光学素子を製造しようとした場合、ガラス製の部材を多数用意する必要がある。本実施形態によれば、第１部材１を射出成形で製造できるので、コストの上昇を抑制しつつ、製造しようとする光学部材の形状に応じて、様々な形状の第１部材１を容易に製造できる。
【００４５】
また、ガラス製の部材を洗浄して再利用する場合、洗浄むらが発生したり、部材に異物が残留したりする可能性があることは否めない。また、ガラス製の部材は、損傷し易く、作業性が低下する可能性がある。本実施形態によれば、例えばセミフィニッシュレンズを製造する毎に、射出成形により、コストの上昇を抑制しつつ、第１部材１を製造することができる。したがって、作業性の低下、異物の混入等を抑制することができる。また、第１部材１の合成樹脂を再利用することによって、コストの上昇を抑制できる。
【００４６】
また、本実施形態によれば、第２部材２が合成樹脂製なので、第１部材１と同様、コストの上昇、作業性の低下、異物の混入等を抑制しつつ、様々な形状の第２部材２を容易に製造できる。
【００４７】
また、本実施形態によれば、第２モールド部７とガスケット部９とが一体なので、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制することができる。すなわち、セミフィニッシュレンズの裏面の形状を定めるための部材と、セミフィニッシュレンズの側面の形状を定める部材とが別の部材である場合、例えばモノマーを供給するための空間を形成する作業の作業性が低下する可能性がある。本実施形態によれば、第２モールド部７とガスケット部９とが一体なので、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制することができる。
【００４８】
また、本実施形態によれば、セミフィニッシュレンズの表面のほぼ全域を第１部材１の第１面３で支持した状態で、セミフィニッシュレンズを加工するので、例えば加工によりセミフィニッシュレンズが変形したり、セミフィニッシュレンズに所謂、びびり振動が発生したりすることを抑制できる。したがって、所望の性能を有する光学素子を製造することができる。
【００４９】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００５０】
図８は、第２実施形態に係る成型部材１００Ｂの一例を示す側断面図である。本実施形態の特徴的な部分は、第２部材２のガスケット部９に、第１部材１の第１モールド部４の少なくとも一部が嵌る溝１７が形成されている点にある。
【００５１】
図８において、溝１７は、ガスケット部９の内周面１１の一部に形成されている。本実施形態において、溝１７は、中心軸ＡＸ２に対する放射方向において、中心軸ＡＸ２に対して凹むように形成されている。
【００５２】
図９は、ガスケット部９に形成された溝１７に第１モールド部４の外縁を嵌めた状態を示す図である。ガスケット部９に形成された溝１７に第１モールド部４の外縁を嵌めることによって、第１面３と第２面６と第３面８との間に空間１４が形成される。上述の実施形態と同様、空間１４には、例えば供給管を介してモノマーが供給される。なお、図１０に示すように、ガスケット９の一部に貫通孔１６を形成し、その貫通孔１６（供給口１５）を介して、空間１４にモノマーを供給してもよい。
【００５３】
本実施形態においては、溝１７に第１モールド部４を嵌ることによって、第１部材１と第２部材２との位置関係を固定することができる。これにより、上述の実施形態で説明したようなおさえばね５０を省略することができる。本実施形態においては、溝１７に第１モールド部４の少なくとも一部を嵌めた状態で、空間１４にモノマーを供給する。また、溝１７に第１モールド部４の少なくとも一部を嵌めた状態で、空間１４に供給されたモノマーの加熱処理（重合処理）が実行される。
【００５４】
なお、上述の第１、第２実施形態においては、第２モールド部７とガスケット部９とが一体である場合を例にして説明したが、第２モールド部７とガスケット部９とが別の部材であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】第１実施形態に係る成型部材の一例を示す側断面図である。
【図２】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を示すフローチャートである。
【図３】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図４】第１実施形態に係る成型部材の変形例の一例を説明するための図である。
【図５】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図６】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図７】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図８】第２実施形態に係る成型部材の一例を示す側断面図である。
【図９】第２実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図１０】第２実施形態に係る成型部材の変形例の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…第１部材、２…第２部材、３…第１面、４…第１モールド部、５…被保持部、６…第２面、７…第２モールド部、８…第３面、９…ガスケット部、１２…開口、１４…空間、１５…供給口、１７…溝、３０…加工装置、３１…保持機構、１００…成型部材、Ｐ…セミフィニッシュレンズ、ＰＦ…光学素子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の成形部材、及び光学素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックレンズは、ガスケットの両端の開口のそれぞれにモールド部材（母型）を配置し、ガスケットと一対のモールド部材との間に形成される空間に、プラスチックレンズを製造するための材料であるモノマーを供給し、その後、そのモノマーを重合することによって製造される。下記特許文献には、ガスケットを用いてプラスチックレンズを製造する技術の一例が開示されている。
【特許文献１】特開平９−３００３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
プラスチックレンズの製造において、作業工程数の削減、作業の簡略化等が望まれる。作業工程数が増えたり、作業が複雑化したりすると、製造コストの低減を阻害する可能性がある。また、作業工程数が増えたり、作業が複雑化したりすると、プラスチックレンズが損傷し易くなったり、プラスチックレンズに異物が付着し易くなったり、プラスチックレンズの光学性能が低下したりする可能性がある。
【０００４】
本発明は、プラスチックレンズ等の光学素子を製造する際、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制でき、所望の性能を有する光学素子を製造できる成型部材、及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明を例示する第１の態様に従えば、光学素子を製造するための成型部材であって、光学素子の表面の形状を定めるための第１面を有する第１モールド部と、第１モールド部と一体で、光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部と、を備えた成型部材が提供される。
【０００６】
本発明を例示する第２の態様に従えば、第１の態様の成型部材を用いる光学素子の製造方法が提供される。
【０００７】
本発明を例示する第３の態様に従えば、光学素子の製造方法であって、光学素子の表面の形状を定めるための第１モールド部の第１面に、光学素子を製造するための材料を供給することと、第１面上に光学素子を形成した後、第１面と光学素子とを接触させた状態で、第１モールド部と一体な被保持部を、光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構で保持することと、保持機構で被保持部を保持した状態で、光学素子の裏面を加工することと、を含む光学素子の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光学素子を製造する際、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制でき、所望の性能を有する光学素子を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら例示的に説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。そして、水平面内の所定方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。
【００１０】
＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、第１実施形態に係るプラスチックレンズを製造するための成型部材１００の一例を示す側断面図である。本実施形態において、成型部材１００は、例えばセミフィニッシュレンズと呼ばれる半製品レンズを製造可能（成型可能）である。以下の説明においては、成型部材１００で製造される光学素子を適宜、セミフィニッシュレンズ、と称する。
【００１１】
図１において、成型部材１００は、第１部材１と、第１部材１と別の第２部材２とを備えている。第１部材１は、セミフィニッシュレンズの表面（凸面）の形状を定めるための第１面３を有する第１モールド部４と、第１モールド部４と一体で、セミフィニッシュレンズの裏面（凹面）を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部５とを備えている。第２部材２は、セミフィニッシュレンズの裏面の形状を定めるための第２面６を有する第２モールド部７と、第２モールド部７と一体で、セミフィニッシュレンズの側面の形状を定めるための第３面８を有するガスケット部９とを備えている。
【００１２】
本実施形態において、第１モールド部４及び被保持部５を含む第１部材１は、合成樹脂製である。本実施形態においては、第１モールド部４及び被保持部５を含む第１部材１は、オレフィン系樹脂である。本実施形態において、オレフィン系樹脂は、例えばポリプロピレンを含む。
【００１３】
本実施形態において、第２モールド部７及びガスケット部９を含む第２部材２は、合成樹脂製である。本実施形態においては、第２モールド部７及びガスケット部９を含む第２部材２は、オレフィン系樹脂である。本実施形態において、オレフィン系樹脂は、例えばポリプロピレンを含む。なお、第２部材２が、例えばエラストマー製でもよい。
【００１４】
第１部材１の第１モールド部４は、製造されるセミフィニッシュレンズの表面の形状を規定することができる。図１において、第１モールド部４の第１面３は、中央部が周辺部に対して−Ｙ側に湾曲する形状である。第１面３は、凹面である。
【００１５】
第１部材１の被保持部５は、第１面３と反対側（−Ｙ側）の第１モールド部４の所定部位に接続されている。第１モールド部４と被保持部５とは一体である。本実施形態において、被保持部５は、軸部材である。図１において、被保持部５の中心軸ＡＸ１は、Ｙ軸と平行である。
【００１６】
本実施形態において、第１部材１は、被保持部５の周囲に支持面１０を有する。ＸＺ平面内において、支持面１０は、輪帯状である。本実施形態において、支持面１０は、ＸＺ平面とほぼ平行である。
【００１７】
第２部材２の第２モールド部７は、ガスケット部９の＋Ｙ側に配置されている。第２モールド部７とガスケット部９とは一体である。第２モールド部７は、製造されるセミフィニッシュレンズの裏面の形状を規定することができる。第２モールド部７の第２面６は、中央部が周辺部に対して−Ｙ側に湾曲する形状である。第２面６は、凸面である。
【００１８】
第２部材２のガスケット部９は、円筒状である。図１において、ガスケット部９の中心軸ＡＸ２は、Ｙ軸と平行である。ガスケット部９は、Ｙ軸と平行な中心軸ＡＸ２の周囲に配置される。ガスケット部９は、内周面１１を有する。内周面１１は、セミフィニッシュレンズの側面の形状を定めるための第３面８を含む。本実施形態において、ガスケット部９は、内周面１１の一部の領域において、セミフィニッシュレンズの側面の形状を規定することができる。すなわち、本実施形態においては、第３面８は、ガスケット部９の内周面１１の一部の領域である。
【００１９】
第２部材２は、ガスケット部９の−Ｙ側に、第１部材１の第１モールド部４を配置可能な開口１２を備えている。本実施形態において、開口１２の近傍のガスケット部９の内側に、第１モールド部４を支持可能な支持部１３が設けられている。支持部１３は、−Ｙ側を向いており、開口１２に配置された第１モールド部４の少なくとも一部を支持可能である。
【００２０】
本実施形態においては、第２部材２の開口１２に第１部材１の第１モールド部４が配置されて、支持部１３に支持されることによって、第１モールド部４の第１面３と、第２モールド部７の第２面６と、ガスケット部９の第３面８との間に、空間（キャビティ）１４が形成される。空間１４には、セミフィニッシュレンズ（光学素子）を製造するためのモノマーが供給される。
【００２１】
本実施形態において、第１部材１の第１モールド部４が、第２部材２の開口１２に配置されて、支持部１３に支持されたとき、第１部材１の被保持部５の中心軸ＡＸ１と、第２部材２のガスケット部９の中心軸ＡＸ２とは、ほぼ一致する。また、空間１４に形成されるセミフィニッシュレンズ（光学素子）の光軸は、Ｙ軸と平行である。
【００２２】
次に、上述の成型部材１００に関する処理の一例について、図２のフローチャートを参照しながら説明する。
【００２３】
まず、成型部材１００の第１部材１及び第２部材２が製造される。第１部材１は、射出成形によって形成される（ステップＳ１）。同様に、第２部材２も、射出成形によって形成される（ステップＳ２）。
【００２４】
次に、第１部材１と第２部材２とを組み合わせる処理が実行される（ステップＳ３）。すなわち、第２部材２の開口１２に、第１部材１が配置され、支持部１３に支持される。これにより、図３に示すように、第１面３と第２面６と第３面８との間に、空間１４が形成される。
【００２５】
本実施形態においては、第１部材１と第２部材２とを組み合わせる処理は、クリーンブースで実行される。これにより、第１面３、第２面６及び第３面８等に異物が付着することを抑制できる。
【００２６】
また、本実施形態においては、ばね機構を含む保持部材５０によって、第１部材１と第２部材２とが固定される。以下の説明において、保持部材５０を適宜、おさえばね５０、と称する。
【００２７】
次に、空間１４に、セミフィニッシュレンズを製造するためのモノマーが供給される（ステップＳ４）。本実施形態においては、例えば第２部材２の一部を撓ませて、空間１４と外部空間とを連通する通路を形成し、その通路にモノマーを供給可能な供給管を配置する。これにより、供給管を介して、空間１４にモノマーが供給される。空間１４に供給されたモノマーは、第１面３、第２面６及び第３面８のそれぞれに供給され、それら第１面３、第２面６及び第３面８のそれぞれと接触する。空間１４にモノマーが供給されることによって、空間１４がモノマーで満たされる。
【００２８】
なお、図４に示すように、第３面８の一部に、空間１４にモノマーを供給するための供給口１５を設けることができる。図４において、ガスケット部９の所定位置に、空間１４と外部空間とを接続する貫通孔１６が形成される。供給口１５は、空間１４側の貫通孔１６の端部に配置される。貫通孔１６は、外部空間に配置された、モノマーを供給可能な供給装置（不図示）と接続可能である。供給装置より貫通孔１６にモノマーが供給されることによって、そのモノマーは、貫通孔１６及び供給口１５を介して、空間１４に供給される。
【００２９】
空間１４がモノマーで満たされた後、空間１４に供給されたモノマーに対する重合処理（加熱処理）が実行される（ステップＳ５）。本実施形態において、モノマーは、例えばジエチレングリコールビスアリルカーボネート等のような熱重合性樹脂を含む。モノマーを所定の加熱条件で加熱することによって、そのモノマーが重合され、セミフィニッシュレンズ（光学素子）が生成される。モノマーの重合処理は、空間１４に満たされたモノマーを、第１部材１、第２部材２及びおさえばね５０とともに、例えば電気オーブン等の所定の加熱装置にセットする工程と、その加熱装置を用いて所定の加熱条件でモノマーを加熱処理する工程とを含む。
【００３０】
モノマーを重合させることによって、セミフィニッシュレンズが生成された後、そのセミフィニッシュレンズと第２部材２とが分離される（ステップＳ６）。
【００３１】
図５は、セミフィニッシュレンズと第２部材２とが分離された後の状態を示す図である。本実施形態においては、セミフィニッシュレンズＰが生成され、そのセミフィニッシュレンズＰと第２部材２とが分離された後においても、図５に示すように、第１部材１とセミフィニッシュレンズＰとは分離されない。セミフィニッシュレンズＰは、第１部材１の第１面３上に形成される。
【００３２】
第１部材１の第１面３上にセミフィニッシュレンズが形成された後、第１面３とセミフィニッシュレンズＰとは、接触した状態で、一緒に袋詰めされる（ステップＳ７）。第１部材１とセミフィニッシュレンズＰとは、接続された状態で、例えば加工工場に所定の流通経路で輸送される（ステップＳ８）。
【００３３】
第１部材１と接続された状態のセミフィニッシュレンズＰが加工工場に輸送された後、図６に示すように、セミフィニッシュレンズＰと接続された状態の第１部材１が、セミフィニッシュレンズを加工可能な加工装置３０の保持機構３１に保持される。本実施形態において、加工装置３０は、セミフィニッシュレンズＰの裏面（凹面）を加工可能である。
【００３４】
保持機構３１は、被保持部５を含む第１部材１の少なくとも一部を保持する。本実施形態において、保持機構３１は、真空チャック機構を含む。保持機構３１は、第１部材１の支持面１０と接触可能な接触面（シール面）３２と、被保持部５の少なくとも一部が配置可能な空間３３とを含む。第１部材１の支持面１０と保持機構３１の接触面３２とを接触させることによって、第１部材１と保持機構３１との間に、ほぼ密閉された空間３３が形成される。保持機構３１は、空間３３の気体を吸引する真空システム（不図示）を含み、第１部材１の支持面１０と保持機構３１の接触面３２とを接触させた状態で、空間３３の気体を吸引することによって、接触面３２で、第１部材１の支持面１０を吸着するように保持することができる。また、保持機構３１は、空間３３の内側面で、被保持部５を保持する。
【００３５】
そして、保持機構３１で第１部材１を保持した状態で、セミフィニッシュレンズＰの裏面が加工される（ステップＳ９）。加工装置３０は、例えば切削装置及び研磨装置の少なくとも一方を含む。セミフィニッシュレンズＰを加工することによって、図７に示すように、所定の形状を有する光学素子（プラスチックレンズ）ＰＦが形成される。
【００３６】
その後、光学素子ＰＦに対する第１部材１の保持が解除される。すなわち、光学素子ＰＦと第１部材１とが分離される（ステップＳ１０）。その後、光学素子ＰＦに対する洗浄処理が実行される（ステップＳ１１）。その後、例えば光学素子ＰＦに対して反射防止膜を形成する等、所定の後工程が実行される。
【００３７】
なお、本実施形態においては、ステップＳ６においてセミフィニッシュレンズから分離された第２部材２は、粉砕処理された後、再利用される（ステップＳ１２）。また、ステップＳ１０において光学素子ＰＦ分離された第１部材１は、粉砕処理された後、再利用される（ステップＳ１３）。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態によれば、第１モールド部４と被保持部５とが一体なので、例えば重合処理を実行した後、セミフィニッシュレンズＰと第１部材１とを分離することなく、その第１部材１を保持機構３１で保持して、第１部材１に支持されているセミフィニッシュレンズＰを加工することができる。したがって、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制して、光学素子ＰＦを製造することができる。
【００３９】
例えば重合処理を実行してセミフィニッシュレンズを形成した後、セミフィニッシュレンズと第１部材と分離し、そのセミフィニッシュレンズを所定の支持部材を介して加工装置の保持機構で保持する構成の場合、作業工程数が増す可能性がある。
【００４０】
また、セミフィニッシュレンズを所定の支持部材を介して加工装置の保持機構で保持する構成において、例えばセミフィニッシュレンズと支持部材との位置関係を所望状態にするための作業が必要となり、作業が複雑化する可能性がある。
【００４１】
また、セミフィニッシュレンズと支持部材との位置関係を所望状態にすることが困難な場合、位置ずれした状態でセミフィニッシュレンズを加工してしまう可能性がある。その結果、光学素子を所望の形状に形成することができず、所謂、プリズム不良が発生する等、光学素子が所望の光学性能を得られなくなる可能性がある。
【００４２】
また、例えば重合処理を実行してセミフィニッシュレンズを形成した後、セミフィニッシュレンズと第１部材と分離し、そのセミフィニッシュレンズを所定の支持部材を介して加工装置の保持機構で保持する構成の場合、セミフィニッシュレンズの表面が一旦露出することとなるので、セミフィニッシュレンズの表面に異物が付着したり、セミフィニッシュレンズの表面が損傷したりする可能性が高くなる。その結果、光学素子の光学性能が低下する可能性がある。また、セミフィニッシュレンズの表面を露出させた状態で、輸送（流通）する場合、セミフィニッシュレンズの表面が損傷する可能性が高くなる。輸送の際に、所定の保護部材でセミフィニッシュレンズの表面を覆うことも考えられるが、その分、作業工程が増えることとなる。
【００４３】
本実施形態によれば、重合処理を実行してセミフィニッシュレンズを製造した後においても、セミフィニッシュレンズと第１部材１とを分離することなく、重合処理後の処理を実行することができるので、上述したような不具合の発生を抑制することができる。したがって、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制して、所望の性能を有する光学素子ＰＦを製造することができる。
【００４４】
また、本実施形態によれば、第１部材１が合成樹脂製なので、その第１部材１にかかるコストを低減することができる。例えば、セミフィニッシュレンズの表面の形状を定めるための部材をガラス製にする場合に比べて、コストを十分に低減することができる。また、例えば、様々な形状を有する光学素子を製造しようとした場合、ガラス製の部材を多数用意する必要がある。本実施形態によれば、第１部材１を射出成形で製造できるので、コストの上昇を抑制しつつ、製造しようとする光学部材の形状に応じて、様々な形状の第１部材１を容易に製造できる。
【００４５】
また、ガラス製の部材を洗浄して再利用する場合、洗浄むらが発生したり、部材に異物が残留したりする可能性があることは否めない。また、ガラス製の部材は、損傷し易く、作業性が低下する可能性がある。本実施形態によれば、例えばセミフィニッシュレンズを製造する毎に、射出成形により、コストの上昇を抑制しつつ、第１部材１を製造することができる。したがって、作業性の低下、異物の混入等を抑制することができる。また、第１部材１の合成樹脂を再利用することによって、コストの上昇を抑制できる。
【００４６】
また、本実施形態によれば、第２部材２が合成樹脂製なので、第１部材１と同様、コストの上昇、作業性の低下、異物の混入等を抑制しつつ、様々な形状の第２部材２を容易に製造できる。
【００４７】
また、本実施形態によれば、第２モールド部７とガスケット部９とが一体なので、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制することができる。すなわち、セミフィニッシュレンズの裏面の形状を定めるための部材と、セミフィニッシュレンズの側面の形状を定める部材とが別の部材である場合、例えばモノマーを供給するための空間を形成する作業の作業性が低下する可能性がある。本実施形態によれば、第２モールド部７とガスケット部９とが一体なので、作業工程数の増大、作業の複雑化等を抑制することができる。
【００４８】
また、本実施形態によれば、セミフィニッシュレンズの表面のほぼ全域を第１部材１の第１面３で支持した状態で、セミフィニッシュレンズを加工するので、例えば加工によりセミフィニッシュレンズが変形したり、セミフィニッシュレンズに所謂、びびり振動が発生したりすることを抑制できる。したがって、所望の性能を有する光学素子を製造することができる。
【００４９】
＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
【００５０】
図８は、第２実施形態に係る成型部材１００Ｂの一例を示す側断面図である。本実施形態の特徴的な部分は、第２部材２のガスケット部９に、第１部材１の第１モールド部４の少なくとも一部が嵌る溝１７が形成されている点にある。
【００５１】
図８において、溝１７は、ガスケット部９の内周面１１の一部に形成されている。本実施形態において、溝１７は、中心軸ＡＸ２に対する放射方向において、中心軸ＡＸ２に対して凹むように形成されている。
【００５２】
図９は、ガスケット部９に形成された溝１７に第１モールド部４の外縁を嵌めた状態を示す図である。ガスケット部９に形成された溝１７に第１モールド部４の外縁を嵌めることによって、第１面３と第２面６と第３面８との間に空間１４が形成される。上述の実施形態と同様、空間１４には、例えば供給管を介してモノマーが供給される。なお、図１０に示すように、ガスケット９の一部に貫通孔１６を形成し、その貫通孔１６（供給口１５）を介して、空間１４にモノマーを供給してもよい。
【００５３】
本実施形態においては、溝１７に第１モールド部４を嵌ることによって、第１部材１と第２部材２との位置関係を固定することができる。これにより、上述の実施形態で説明したようなおさえばね５０を省略することができる。本実施形態においては、溝１７に第１モールド部４の少なくとも一部を嵌めた状態で、空間１４にモノマーを供給する。また、溝１７に第１モールド部４の少なくとも一部を嵌めた状態で、空間１４に供給されたモノマーの加熱処理（重合処理）が実行される。
【００５４】
なお、上述の第１、第２実施形態においては、第２モールド部７とガスケット部９とが一体である場合を例にして説明したが、第２モールド部７とガスケット部９とが別の部材であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】第１実施形態に係る成型部材の一例を示す側断面図である。
【図２】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を示すフローチャートである。
【図３】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図４】第１実施形態に係る成型部材の変形例の一例を説明するための図である。
【図５】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図６】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図７】第１実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図８】第２実施形態に係る成型部材の一例を示す側断面図である。
【図９】第２実施形態に係る成型部材に関する処理の一例を説明するための図である。
【図１０】第２実施形態に係る成型部材の変形例の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５６】
１…第１部材、２…第２部材、３…第１面、４…第１モールド部、５…被保持部、６…第２面、７…第２モールド部、８…第３面、９…ガスケット部、１２…開口、１４…空間、１５…供給口、１７…溝、３０…加工装置、３１…保持機構、１００…成型部材、Ｐ…セミフィニッシュレンズ、ＰＦ…光学素子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子を製造するための成型部材であって、
前記光学素子の表面の形状を定めるための第１面を有する第１モールド部と、
前記第１モールド部と一体で、前記光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部と、を備えた成型部材。
【請求項２】
前記第１モールド部及び前記被保持部は、合成樹脂製である請求項１記載の成型部材。
【請求項３】
前記光学素子の裏面の形状を定めるための第２面を有する第２モールド部を備える請求項１又は２記載の成型部材。
【請求項４】
前記光学素子の側面の形状を定めるための第３面を有するガスケット部を備える請求項３記載の成型部材。
【請求項５】
前記光学素子の裏面の形状を定めるための第２面を有する第２モールド部と、
前記第２モールド部と一体で、前記光学素子の側面の形状を定めるための第３面を有するガスケット部と、を備える請求項１又は２記載の成型部材。
【請求項６】
前記第２モールド部及び前記ガスケット部は、合成樹脂製である請求項５記載の成型部材。
【請求項７】
前記第１面と前記第２面と前記第３面とで形成される空間に、前記光学素子を製造するための材料が供給される請求項４〜６のいずれか一項記載の成型部材。
【請求項８】
前記第３面の少なくとも一部に、前記空間に前記材料を供給するための供給口を備える請求項７記載の成型部材。
【請求項９】
前記ガスケット部に、前記第１モールド部の少なくとも一部が嵌る溝を有する請求項４〜８のいずれか一項記載の成型部材。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項記載の成型部材を用いる光学素子の製造方法。
【請求項１１】
光学素子の製造方法であって、
前記光学素子の表面の形状を定めるための第１モールド部の第１面に、前記光学素子を製造するための材料を供給することと、
前記第１面上に前記光学素子を形成した後、前記第１面と前記光学素子とを接触させた状態で、前記第１モールド部と一体な被保持部を、前記光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構で保持することと、
前記保持機構で前記被保持部を保持した状態で、前記光学素子の裏面を加工することと、を含む光学素子の製造方法。
【請求項１２】
前記第１面と、前記光学素子の裏面の形状を定めるための第２モールド部の第２面と、前記光学素子の側面の形状を定めるためのガスケット部の第３面とで形成された空間に、前記材料を供給する請求項１１記載の製造方法。
【請求項１３】
前記第２モールド部と前記ガスケット部とは、一体である請求項１２記載の製造方法。
【請求項１４】
前記ガスケット部に形成された溝に前記第１モールド部の少なくとも一部を嵌めた状態で、前記空間に前記材料を供給する請求項１２又は１３記載の製造方法。
【請求項１５】
前記溝に前記第１モールド部の少なくとも一部を嵌めた状態で、前記空間に供給された前記材料を加熱する請求項１４記載の製造方法。
【請求項１】
光学素子を製造するための成型部材であって、
前記光学素子の表面の形状を定めるための第１面を有する第１モールド部と、
前記第１モールド部と一体で、前記光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構に保持される被保持部と、を備えた成型部材。
【請求項２】
前記第１モールド部及び前記被保持部は、合成樹脂製である請求項１記載の成型部材。
【請求項３】
前記光学素子の裏面の形状を定めるための第２面を有する第２モールド部を備える請求項１又は２記載の成型部材。
【請求項４】
前記光学素子の側面の形状を定めるための第３面を有するガスケット部を備える請求項３記載の成型部材。
【請求項５】
前記光学素子の裏面の形状を定めるための第２面を有する第２モールド部と、
前記第２モールド部と一体で、前記光学素子の側面の形状を定めるための第３面を有するガスケット部と、を備える請求項１又は２記載の成型部材。
【請求項６】
前記第２モールド部及び前記ガスケット部は、合成樹脂製である請求項５記載の成型部材。
【請求項７】
前記第１面と前記第２面と前記第３面とで形成される空間に、前記光学素子を製造するための材料が供給される請求項４〜６のいずれか一項記載の成型部材。
【請求項８】
前記第３面の少なくとも一部に、前記空間に前記材料を供給するための供給口を備える請求項７記載の成型部材。
【請求項９】
前記ガスケット部に、前記第１モールド部の少なくとも一部が嵌る溝を有する請求項４〜８のいずれか一項記載の成型部材。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項記載の成型部材を用いる光学素子の製造方法。
【請求項１１】
光学素子の製造方法であって、
前記光学素子の表面の形状を定めるための第１モールド部の第１面に、前記光学素子を製造するための材料を供給することと、
前記第１面上に前記光学素子を形成した後、前記第１面と前記光学素子とを接触させた状態で、前記第１モールド部と一体な被保持部を、前記光学素子の裏面を加工可能な加工装置の保持機構で保持することと、
前記保持機構で前記被保持部を保持した状態で、前記光学素子の裏面を加工することと、を含む光学素子の製造方法。
【請求項１２】
前記第１面と、前記光学素子の裏面の形状を定めるための第２モールド部の第２面と、前記光学素子の側面の形状を定めるためのガスケット部の第３面とで形成された空間に、前記材料を供給する請求項１１記載の製造方法。
【請求項１３】
前記第２モールド部と前記ガスケット部とは、一体である請求項１２記載の製造方法。
【請求項１４】
前記ガスケット部に形成された溝に前記第１モールド部の少なくとも一部を嵌めた状態で、前記空間に前記材料を供給する請求項１２又は１３記載の製造方法。
【請求項１５】
前記溝に前記第１モールド部の少なくとも一部を嵌めた状態で、前記空間に供給された前記材料を加熱する請求項１４記載の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００９−１４３１８１（Ｐ２００９−１４３１８１Ａ）
【公開日】平成２１年７月２日（２００９．７．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３２５０７５（Ｐ２００７−３２５０７５）
【出願日】平成１９年１２月１７日（２００７．１２．１７）
【出願人】（３０００３５８７０）株式会社ニコン・エシロール (51)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年７月２日（２００９．７．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１２月１７日（２００７．１２．１７）
【出願人】（３０００３５８７０）株式会社ニコン・エシロール (51)
【Ｆターム（参考）】
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