分光光度計
【課題】可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能と、複数個の試料の測定が可能な機能を両立することができる小型の分光光度計を提供する。
【解決手段】試料を収納するセルに特定の波長の光を透過させ、該波長を一定または変化させながら試料で吸収あるいは透過した波長の光量を検知することで、試料の成分や、試料に含まれる成分量を測定する分光光度計であって、モータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、モータの回転軸の端部に他の軸を脱着可能とする受け部を設け、セルを備えたユニットが受け部で脱着可能である構成を有する。そして、ユニットは、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能を備えたユニットと、複数個の試料を回転するターレットに備えたユニットである。
【解決手段】試料を収納するセルに特定の波長の光を透過させ、該波長を一定または変化させながら試料で吸収あるいは透過した波長の光量を検知することで、試料の成分や、試料に含まれる成分量を測定する分光光度計であって、モータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、モータの回転軸の端部に他の軸を脱着可能とする受け部を設け、セルを備えたユニットが受け部で脱着可能である構成を有する。そして、ユニットは、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能を備えたユニットと、複数個の試料を回転するターレットに備えたユニットである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フローセル内の試料に特定の波長の光を透過させ、一定の波長または波長を変化させながら試料に吸収または透過される波長の光量を検知して、試料の成分の特定や、試料に含まれる成分量を測定する分光光度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
分光光度計のフローセルに液体試料を流す手法として、フローセルに液体試料の入口と出口を設け、それぞれに可撓性チューブを接続し、一方の可撓性チューブを回転するロータでしごいて液体試料を流すポンプの構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。一方、試料の品質管理の目的で分光光度計を使用する場合は、試料の目的物質のみを迅速に検知することと、複数個の試料の一度の準備だけで測定動作が終わるような使い方が求められており、試料を収納したセルを複数個設置できる構成の分光光度計が考えられている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
分光光度計のうち、品質管理に用いられるような小型で持ち運びが容易な大きさの分光光度計では、フローセルに流す液体試料は小流量でよいので、上記のような可撓性チューブを用いた簡単なポンプを用いた構成が適しているが、一方で、複数個の試料を一度に測定する機能も求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−９１０３９号公報
【特許文献２】特開平５−１７２８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能と、複数個の試料の測定が可能な機能を両立することができる小型の分光光度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の実施例は、試料を収納するセルに特定の波長の光を透過させ、該波長を一定または変化させながら試料で吸収あるいは透過した波長の光量を検知することで、試料の成分や、試料に含まれる成分量を測定する分光光度計であって、モータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、モータの回転軸の端部に他の軸を脱着可能とする受け部を設け、セルを備えたユニットが受け部で脱着可能である構成を有する。そして、ユニットは、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能を備えたユニットと、複数個の試料を回転するターレットに備えたユニットである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能と、複数個の試料の測定が可能な機能を両立する小型の分光光度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】分光光度計の基本的な構成の概要を示す構成図である。
【図２】分光光度計の一部の構成を示す平面図である。
【図３】分光光度計の一部の構成を示す側面図である。
【図４】分光光度計の一部の構成を示す平面図である。
【図５】分光光度計の一部の構成を示す側面図である。
【図６】モータ軸とターレット軸との接続部の一例を示す斜視図である。
【図７】ローラユニットをモータ軸へ取り付けたときの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【実施例】
【００１０】
図１は、分光光度計の基本的な構成の概要を示す構成図である。光源１から放射された矢印で示す光は、分光器２で分光されて特定の波長が取り出され、試料室３に設置されたセル６を透過する。セル６内には試料４が収納されている。試料４は液体試料、あるいは液体に混入された試料である。試料４を透過した光は光検知手段である検出器５で検出される。このとき、分光器２で、セル６へ入射する光の波長を変化させることで、試料４に吸収あるいは反射する光の波長を知ることができる。そして、例えば吸収の場合は、横軸を波長、縦軸を光強度とした吸収スペクトルを図示しない演算装置で作成して表示することで、ユーザーは試料の成分を知ることができる。
【００１１】
図２は、分光光度計の一部の構成の平面図である。複数の試料を一度の準備で測定するときに用いられるターレットが設置されている。円盤状のターレット８には複数個の保持部７が設けられ、試料４を収納した複数個のセル６が保持部７で固定される。セル６のひとつは、分光器２からの光が透過して検出器５で検出される位置に置かれている。図では、６個のセル６がターレット８に設置されているので、ターレット軸１３を中心として、ターレットが６分の１回転毎に回転と停止を繰り返しながら、試料４の成分の測定が行われる。このような構造によれば、複数個の試料を準備し、一つの測定動作で複数個の試料の成分を知ることができるので、効率のよい分光分析が可能である。
【００１２】
図３は、図２に示した分光光度計の一部の構成の側面図である。分光光度計の下方にモータ９が設置され、モータ制御部１０で回転が制御される。モータ９のモータ軸１２の端部に受け部が形成され、ターレットの中心に設けられたターレット軸１３の端部と接続される。受け部の構造は、例えば図に示すような凹凸形状の勘合により、モータ軸１２の回転がターレット軸１３に伝達できる。万一、セル６が保持部７からはずれて落下しても、分光光度計の内部に落下しないように、モータ９とターレット８との間にプレート１１が設けられている。
【００１３】
図４は、分光光度計の一部の構成を示す平面図であり、試料が液体の場合にフローセルに液体試料を流しながら成分を測定するポンプ機構の構成を示す。光が透過するフローセル１４に液体試料を流すため、入口側パイプ１５，出口側パイプ１６がフローセル１４に接続される。出口側パイプ１６は可撓性チューブとし、複数のローラ１７を有するローラユニット１８の外周をまわしてローラ１７に接するように張力を加える。そして、ローラユニット１８を図で反時計回り方向へ回転させると、出口側パイプ１６のローラ１７に接するつぶれた部分が反時計回り方向へ移動するので、出口側パイプ１６の内部の液体試料を反時計回り方向へ流すポンプ機能を与えることができる。
【００１４】
図５は、分光光度計の一部の構成を示す側面図であり、図４に示した構成を側面から見たものである。ローラユニット１８の中心にローラユニット軸１９が設けられ、モータ９のモータ軸１２の端部に形成された受け部に、ローラユニット軸１９の端部が接続され、モータ軸１２の回転がローラユニット軸１９に伝達される。
【００１５】
図６は、モータ軸１２とターレット軸１３との接続部の一例を示す斜視図である。ターレット軸１３のかわりに、ローラユニット軸１９でも同様である。図６（ａ）に示すように、モータ軸１２には、溝部１２ａが設けられ、対応するターレット軸１３の端部が勘合するようになっている。これだけでは回転中に軸ずれの可能性があるので、モータ軸１２にめねじ１２ｂを設け、ターレット軸１３の中心に開けられた穴におねじ２０を通し、図６（ｂ）に示すように、おねじ２０を締め付けることで、軸同士を固定する。この構造により、ユーザーは、おねじ２０を回すだけでターレット８とローラユニット１８を容易に交換できるので、一台の分光光度計で、複数個のセルの分析と、フローセルを用いた分析の両方を実施することができる。
【００１６】
図７は、図５に示したローラユニット１８をモータ軸１２へ取り付けたときの側面図である。フローセル１４は、実際には光を透過させるために固定をしておかなければならない。そこでモータ９の上部に設けられたプレート１１にフローセル１４を固定するための支持枠２１をねじ２２等で固定する。支持枠２１の上面部２２ａがローラユニット軸１９と干渉する場合は、支持枠２１の上面部２２ａに、ローラユニット軸１９が通る穴を開口して、ローラユニット軸１９とモータ軸１２とが接続できるようにする。
【００１７】
上述したように、本発明の実施例は、光源から放射された光を特定の波長に分光する分光器と、該分光器により分光された後に試料を収納したセルを透過した光を検知する光検知手段とを備え、該光検知手段で得られた光の強度に基づいて試料の分光スペクトルを生成する分光光度計において、回転軸を回転させるモータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、回転軸の一端に他の回転軸と接続するための受け部を有し、受け部は、セルを同心円状に複数個備えたターレットの回転軸、または、セルに試料を流すために接続されたパイプをローラでしごくポンプ機構のローラユニットの回転軸のいずれかが接続可能である構成を備えた分光光度計を提供するものである。
【００１８】
本発明の実施例によれば、複数セルの測定を行うためのターレットを回転させるモータと、フローセルに試料を流すためのポンプ機構を駆動するモータとを共用した構成としたことにより、一台で両方の分析が可能になるので、装置の部品の削減，小型化をはかることができる。
【符号の説明】
【００１９】
１ 光源
２ 分光器
３ 試料室
４ 試料
５ 検出器
６ セル
７ 保持部
８ ターレット
９ モータ
１０ モータ制御部
１１ プレート
１２ モータ軸
１３ ターレット軸
１４ フローセル
１５ 入口側パイプ
１６ 出口側パイプ
１７ ローラ
１８ ローラユニット
１９ ローラユニット軸
２０ おねじ
２１ 支持枠
２２ ねじ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フローセル内の試料に特定の波長の光を透過させ、一定の波長または波長を変化させながら試料に吸収または透過される波長の光量を検知して、試料の成分の特定や、試料に含まれる成分量を測定する分光光度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
分光光度計のフローセルに液体試料を流す手法として、フローセルに液体試料の入口と出口を設け、それぞれに可撓性チューブを接続し、一方の可撓性チューブを回転するロータでしごいて液体試料を流すポンプの構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。一方、試料の品質管理の目的で分光光度計を使用する場合は、試料の目的物質のみを迅速に検知することと、複数個の試料の一度の準備だけで測定動作が終わるような使い方が求められており、試料を収納したセルを複数個設置できる構成の分光光度計が考えられている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
分光光度計のうち、品質管理に用いられるような小型で持ち運びが容易な大きさの分光光度計では、フローセルに流す液体試料は小流量でよいので、上記のような可撓性チューブを用いた簡単なポンプを用いた構成が適しているが、一方で、複数個の試料を一度に測定する機能も求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−９１０３９号公報
【特許文献２】特開平５−１７２８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能と、複数個の試料の測定が可能な機能を両立することができる小型の分光光度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の実施例は、試料を収納するセルに特定の波長の光を透過させ、該波長を一定または変化させながら試料で吸収あるいは透過した波長の光量を検知することで、試料の成分や、試料に含まれる成分量を測定する分光光度計であって、モータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、モータの回転軸の端部に他の軸を脱着可能とする受け部を設け、セルを備えたユニットが受け部で脱着可能である構成を有する。そして、ユニットは、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能を備えたユニットと、複数個の試料を回転するターレットに備えたユニットである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、可撓性チューブをしごくことで小流量の試料をフローセルに流すポンプ機能と、複数個の試料の測定が可能な機能を両立する小型の分光光度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】分光光度計の基本的な構成の概要を示す構成図である。
【図２】分光光度計の一部の構成を示す平面図である。
【図３】分光光度計の一部の構成を示す側面図である。
【図４】分光光度計の一部の構成を示す平面図である。
【図５】分光光度計の一部の構成を示す側面図である。
【図６】モータ軸とターレット軸との接続部の一例を示す斜視図である。
【図７】ローラユニットをモータ軸へ取り付けたときの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【実施例】
【００１０】
図１は、分光光度計の基本的な構成の概要を示す構成図である。光源１から放射された矢印で示す光は、分光器２で分光されて特定の波長が取り出され、試料室３に設置されたセル６を透過する。セル６内には試料４が収納されている。試料４は液体試料、あるいは液体に混入された試料である。試料４を透過した光は光検知手段である検出器５で検出される。このとき、分光器２で、セル６へ入射する光の波長を変化させることで、試料４に吸収あるいは反射する光の波長を知ることができる。そして、例えば吸収の場合は、横軸を波長、縦軸を光強度とした吸収スペクトルを図示しない演算装置で作成して表示することで、ユーザーは試料の成分を知ることができる。
【００１１】
図２は、分光光度計の一部の構成の平面図である。複数の試料を一度の準備で測定するときに用いられるターレットが設置されている。円盤状のターレット８には複数個の保持部７が設けられ、試料４を収納した複数個のセル６が保持部７で固定される。セル６のひとつは、分光器２からの光が透過して検出器５で検出される位置に置かれている。図では、６個のセル６がターレット８に設置されているので、ターレット軸１３を中心として、ターレットが６分の１回転毎に回転と停止を繰り返しながら、試料４の成分の測定が行われる。このような構造によれば、複数個の試料を準備し、一つの測定動作で複数個の試料の成分を知ることができるので、効率のよい分光分析が可能である。
【００１２】
図３は、図２に示した分光光度計の一部の構成の側面図である。分光光度計の下方にモータ９が設置され、モータ制御部１０で回転が制御される。モータ９のモータ軸１２の端部に受け部が形成され、ターレットの中心に設けられたターレット軸１３の端部と接続される。受け部の構造は、例えば図に示すような凹凸形状の勘合により、モータ軸１２の回転がターレット軸１３に伝達できる。万一、セル６が保持部７からはずれて落下しても、分光光度計の内部に落下しないように、モータ９とターレット８との間にプレート１１が設けられている。
【００１３】
図４は、分光光度計の一部の構成を示す平面図であり、試料が液体の場合にフローセルに液体試料を流しながら成分を測定するポンプ機構の構成を示す。光が透過するフローセル１４に液体試料を流すため、入口側パイプ１５，出口側パイプ１６がフローセル１４に接続される。出口側パイプ１６は可撓性チューブとし、複数のローラ１７を有するローラユニット１８の外周をまわしてローラ１７に接するように張力を加える。そして、ローラユニット１８を図で反時計回り方向へ回転させると、出口側パイプ１６のローラ１７に接するつぶれた部分が反時計回り方向へ移動するので、出口側パイプ１６の内部の液体試料を反時計回り方向へ流すポンプ機能を与えることができる。
【００１４】
図５は、分光光度計の一部の構成を示す側面図であり、図４に示した構成を側面から見たものである。ローラユニット１８の中心にローラユニット軸１９が設けられ、モータ９のモータ軸１２の端部に形成された受け部に、ローラユニット軸１９の端部が接続され、モータ軸１２の回転がローラユニット軸１９に伝達される。
【００１５】
図６は、モータ軸１２とターレット軸１３との接続部の一例を示す斜視図である。ターレット軸１３のかわりに、ローラユニット軸１９でも同様である。図６（ａ）に示すように、モータ軸１２には、溝部１２ａが設けられ、対応するターレット軸１３の端部が勘合するようになっている。これだけでは回転中に軸ずれの可能性があるので、モータ軸１２にめねじ１２ｂを設け、ターレット軸１３の中心に開けられた穴におねじ２０を通し、図６（ｂ）に示すように、おねじ２０を締め付けることで、軸同士を固定する。この構造により、ユーザーは、おねじ２０を回すだけでターレット８とローラユニット１８を容易に交換できるので、一台の分光光度計で、複数個のセルの分析と、フローセルを用いた分析の両方を実施することができる。
【００１６】
図７は、図５に示したローラユニット１８をモータ軸１２へ取り付けたときの側面図である。フローセル１４は、実際には光を透過させるために固定をしておかなければならない。そこでモータ９の上部に設けられたプレート１１にフローセル１４を固定するための支持枠２１をねじ２２等で固定する。支持枠２１の上面部２２ａがローラユニット軸１９と干渉する場合は、支持枠２１の上面部２２ａに、ローラユニット軸１９が通る穴を開口して、ローラユニット軸１９とモータ軸１２とが接続できるようにする。
【００１７】
上述したように、本発明の実施例は、光源から放射された光を特定の波長に分光する分光器と、該分光器により分光された後に試料を収納したセルを透過した光を検知する光検知手段とを備え、該光検知手段で得られた光の強度に基づいて試料の分光スペクトルを生成する分光光度計において、回転軸を回転させるモータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、回転軸の一端に他の回転軸と接続するための受け部を有し、受け部は、セルを同心円状に複数個備えたターレットの回転軸、または、セルに試料を流すために接続されたパイプをローラでしごくポンプ機構のローラユニットの回転軸のいずれかが接続可能である構成を備えた分光光度計を提供するものである。
【００１８】
本発明の実施例によれば、複数セルの測定を行うためのターレットを回転させるモータと、フローセルに試料を流すためのポンプ機構を駆動するモータとを共用した構成としたことにより、一台で両方の分析が可能になるので、装置の部品の削減，小型化をはかることができる。
【符号の説明】
【００１９】
１ 光源
２ 分光器
３ 試料室
４ 試料
５ 検出器
６ セル
７ 保持部
８ ターレット
９ モータ
１０ モータ制御部
１１ プレート
１２ モータ軸
１３ ターレット軸
１４ フローセル
１５ 入口側パイプ
１６ 出口側パイプ
１７ ローラ
１８ ローラユニット
１９ ローラユニット軸
２０ おねじ
２１ 支持枠
２２ ねじ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を収納するセルに特定の波長の光を透過させ、該波長を一定または変化させながら前記試料で吸収あるいは透過した波長の光量を検知することで、前記試料の成分や、前記試料に含まれる成分量を測定する分光光度計において、
モータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、
前記モータの回転軸の端部に他の軸を脱着可能とする受け部を設け、前記セルを備えたユニットが該受け部で脱着可能であることを特徴とする分光光度計。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記ユニットは、前記試料を流すフローセルと、該フローセルに設けられた前記試料の入口に接続されたパイプと、該フローセルに設けられた前記試料の出口に接続された可撓性チューブと、該可撓性チューブをしごくことで前記試料を前記フローセル内に流すためのローラと、該ローラを可撓性チューブに対して回転させるとともにモータの回転軸の受け部に勘合するローラ側回転軸を有することを特徴とする分光光度計。
【請求項３】
請求項２の記載において、前記モータ制御部は、前記モータを連続回転させて、前記フローセルに前記試料を連続的に流すように制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項４】
請求項１の記載において、前記ユニットは、前記試料を収納する前記セルを同心円状に複数個配置したターレットと、該ターレットの中心に取り付けられたターレット回転軸とを備えたことを特徴とする分光光度計。
【請求項５】
請求項４の記載において、前記モータ制御部は、前記セルに前記分光された光が透過するように、前記ターレットの回転と停止を繰り返すように前記モータの回転を制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項６】
光源から放射された光を特定の波長に分光する分光器と、該分光器により分光された後に試料を収納したセルを透過した光を検知する光検知手段とを備え、該光検知手段で得られた光の強度に基づいて前記試料の分光スペクトルを生成する分光光度計において、
回転軸を回転させるモータと、
該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、
前記回転軸の一端に他の回転軸と接続するための受け部を有し、
該受け部は、前記セルを同心円状に複数個備えたターレットの回転軸、または、前記セルに前記試料を流すために接続されたパイプをローラでしごくポンプ機構のローラユニットの回転軸のいずれかが接続可能であることを特徴とする分光光度計。
【請求項７】
請求項６の記載において、前記モータ制御部は、前記ターレットの回転軸が接続されたとき、前記複数のセルを前記分光された光が透過するように回転と停止を繰り返すように前記モータの回転を制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項８】
請求項６の記載において、前記モータ制御部は、前記ポンプ機構のローラユニットの回転軸が接続されたとき、連続回転するように前記モータの回転を制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項１】
試料を収納するセルに特定の波長の光を透過させ、該波長を一定または変化させながら前記試料で吸収あるいは透過した波長の光量を検知することで、前記試料の成分や、前記試料に含まれる成分量を測定する分光光度計において、
モータと、該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、
前記モータの回転軸の端部に他の軸を脱着可能とする受け部を設け、前記セルを備えたユニットが該受け部で脱着可能であることを特徴とする分光光度計。
【請求項２】
請求項１の記載において、前記ユニットは、前記試料を流すフローセルと、該フローセルに設けられた前記試料の入口に接続されたパイプと、該フローセルに設けられた前記試料の出口に接続された可撓性チューブと、該可撓性チューブをしごくことで前記試料を前記フローセル内に流すためのローラと、該ローラを可撓性チューブに対して回転させるとともにモータの回転軸の受け部に勘合するローラ側回転軸を有することを特徴とする分光光度計。
【請求項３】
請求項２の記載において、前記モータ制御部は、前記モータを連続回転させて、前記フローセルに前記試料を連続的に流すように制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項４】
請求項１の記載において、前記ユニットは、前記試料を収納する前記セルを同心円状に複数個配置したターレットと、該ターレットの中心に取り付けられたターレット回転軸とを備えたことを特徴とする分光光度計。
【請求項５】
請求項４の記載において、前記モータ制御部は、前記セルに前記分光された光が透過するように、前記ターレットの回転と停止を繰り返すように前記モータの回転を制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項６】
光源から放射された光を特定の波長に分光する分光器と、該分光器により分光された後に試料を収納したセルを透過した光を検知する光検知手段とを備え、該光検知手段で得られた光の強度に基づいて前記試料の分光スペクトルを生成する分光光度計において、
回転軸を回転させるモータと、
該モータの回転を制御するモータ制御部とを備え、
前記回転軸の一端に他の回転軸と接続するための受け部を有し、
該受け部は、前記セルを同心円状に複数個備えたターレットの回転軸、または、前記セルに前記試料を流すために接続されたパイプをローラでしごくポンプ機構のローラユニットの回転軸のいずれかが接続可能であることを特徴とする分光光度計。
【請求項７】
請求項６の記載において、前記モータ制御部は、前記ターレットの回転軸が接続されたとき、前記複数のセルを前記分光された光が透過するように回転と停止を繰り返すように前記モータの回転を制御することを特徴とする分光光度計。
【請求項８】
請求項６の記載において、前記モータ制御部は、前記ポンプ機構のローラユニットの回転軸が接続されたとき、連続回転するように前記モータの回転を制御することを特徴とする分光光度計。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１３７７７８（Ｐ２０１１−１３７７７８Ａ）
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−３５（Ｐ２０１０−３５）
【出願日】平成２２年１月４日（２０１０．１．４）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月１４日（２０１１．７．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１月４日（２０１０．１．４）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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