回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベースに接続する方法
上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置を提供し、この回転可能なターゲットベース装置は、側面（３）と、中間部（１２）と、第１の端部領域（７）と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域（９）とを有するターゲットベースシリンダ（４）を含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、一般にスパッタリング装置に関する。より詳細には、回転可能なターゲットベース装置、回転可能なターゲット、コーティング装置、回転可能なターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及び回転可能なターゲットベース装置を接続する方法に関する。具体的には、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置、スパッタリング装置のための回転可能なターゲット、コーティング装置、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、真空チャンバ内でコーティング材料を気化させ又はスパッタリングするなどの多くの方法で、基板上の材料を薄膜蒸着させることができる。スパッタリングによる薄膜蒸着の典型例には、ソーラーウェハの製造又は半導体装置の生産におけるスパッタ蒸着の用途がある。
【０００３】
スパッタリングカソードを操作するとプラズマが生じ、このプラズマのイオンが、基板上に蒸着すべきコーティング材料のターゲット上へと加速する。このターゲットの衝撃によりコーティング材料の原子が放出され、スパッタリングカソードの下にある基板上に蒸着膜として蓄積する。蒸着速度を速めるために磁気的に強化されたカソードの使用が提案されてきたが、これをマグネトロンスパッタリングと呼ぶこともできる。
【０００４】
典型的な磁気的に強化されたスパッタリングカソードは、平らなターゲットプレートと、このターゲットプレートに対して固定位置に装着された一連の磁石とを含むことができる。磁石により提供される磁場が、ターゲットプレート材料のスパッタリングを生じる（単複の）経路又は領域を定める。
【０００５】
他の典型的な磁気的に強化されたスパッタリングカソードとして、外面にターゲット材料の層を施されたバッキングチューブなどのシリンダ状の回転可能なチューブが挙げられる。チューブ内部には、一連の磁石を含むことができる磁気的手段が配置されて磁場を提供する。このチューブは、チューブの縦軸を中心に回転できることにより、チューブが磁気的手段に対して回転して、チューブの外面上にあるターゲット材料の異なる部分又はセグメントを磁石と対向する位置に、及び磁場内に選択的に持ってくることができるようにする。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
回転可能なマグネトロンスパッタリングカソードの製造では、ターゲット材料を、例えばバッキングチューブの外面上に溶射することによって加えることができる。さらに、典型的なスパッタリングターゲットのターゲット材料は、１週間以内などのように急速に枯渇又は消費されることがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記に照らして、請求項１に記載の回転可能なターゲットベース装置と、請求項８に記載の回転可能なターゲットと、請求項１１に記載のコーティング装置と、請求項１２に記載の回転可能なターゲットを作成するための方法と、請求項１４に記載のターゲットベース接続手段とを提供する。
【０００８】
１つの実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置が提供され、この回転可能なターゲットベース装置は、側面を有するターゲットベースシリンダと、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【０００９】
別の実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた回転可能なターゲットベース装置を含むスパッタリング装置のための回転可能なターゲットが提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダの側面上に配置された固体ターゲットシリンダを有するとともに、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００１０】
さらなる実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた回転可能なターゲットベース装置を含むコーティング装置が提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００１１】
さらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法が提供され、この方法は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、固体ターゲットシリンダを提供するステップと、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面に配置するステップとを含み、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００１２】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、この手段は、ターゲットベース装置内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器と、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピング手段と、固定連結器に含まれて、ターゲットベース装置内の端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーとを含む。
【００１３】
従属クレーム、説明及び図面からは、さらなる特徴及び詳細が明らかとなる。
【００１４】
実施形態は、開示する方法を実施するための、及び説明する方法ステップを実施するための装置部品を含む装置にも関する。さらに、実施形態は、説明する装置を動作させる、又は説明する装置を製造する方法にも関する。この方法は、装置又は装置の製造部品の機能を実行するための方法ステップを含むことができる。方法ステップは、ハードウェア構成要素、ファームウェア、ソフトウェア、適当なソフトウェアによりプログラム設定されたコンピュータにより、これらのいずれかの組み合わせにより、又はその他のいずれかの態様で実施することができる。
【００１５】
上述した実施形態の特徴を詳細に理解できるように、上記簡潔に要約した本発明の実施形態のより詳細な説明を、典型的な実施形態を参照しながら行うことができる。添付図面は本発明の実施形態に関連し、以下これらについて説明する。以下の図面を参照しながら行う以下の典型的な実施形態の説明では、上述した実施形態のいくつかをより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】固体ターゲットシリンダを含むスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図２】図１に示す回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダの概略断面図である。
【図３ａ】ターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置を概略的に示す図である。
【図３ｂ】ターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置を概略的に示す図である。
【図３ｃ】上記ターゲットベース接続手段の断面図である。
【図３ｄ】上記ターゲットベース接続手段の平面図である。
【図３ｅ】上記ターゲットベース接続手段の平面図である。
【図３ｆ】本明細書で開示する実施形態によるクランピング手段を示す図である。
【図３ｇ】本明細書で開示する実施形態によるクランピング手段を示す図である。
【図４】別のターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図５】さらなるターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図６ａ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｂ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｃ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｄ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｅ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図７】本明細書で開示する１つの実施形態による回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダの概略断面図である。
【図８ａ】本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図８ｂ】本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図８ｃ】本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図９】図８に示す実施形態によるターゲットベース接続手段の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
１つの実施形態の要素は、これをさらに詳述することなく他の実施形態おいて有利に利用することができる。
【００１８】
以下、様々な実施形態を詳細に参照し、これらの１又はそれ以上を図に示す。個々の実施形態は説明を目的とするものであり、本発明を限定することを意味するものではない。
【００１９】
以下では、範囲を限定することなく、スパッタリングの用途を参照しながら、回転可能なターゲットベース装置、回転可能なターゲット、コーティング装置、回転可能なターゲットを作成するための方法、ターゲットベース接続手段、及び回転可能なターゲットベース装置を接続する方法の実施形態について説明する。典型的には、回転可能なターゲットベース装置及びターゲットベース接続手段は真空対応材料を含み、コーティング装置は真空コーティング装置である。本明細書で説明する実施形態の典型的な用途は、例えば、ソーラーウェハの製造又は半導体装置の生産における、ＬＣＤ、ＴＦＴディスプレイ及びＯＬＥＤ（有機発光ダイオード）などのディスプレイの生産におけるスパッタ蒸着用途である。
【００２０】
以下の図面の説明では、同じ参照番号が同じ構成要素を示す。一般には、個々の実施形態ごとの差異のみについて説明する。
【００２１】
以下では、範囲を限定することなく、回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダのことを、例えばバッキングシリンダ又はバッキングチューブと呼ぶ。回転可能なターゲットは、バッキングチューブ及び固体ターゲットシリンダなどを含む。
【００２２】
１つの実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置が提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【００２３】
ターゲットベース装置は、例えば、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダ上に同心状に配置するようになっている。さらに、固体ターゲットシリンダは、１つの中空シリンダ又はターゲットベースシリンダ上に交互に配置された複数の中空シリンダであってもよい。（単複の）固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダ上に配置することにより、通常は回転可能なターゲットが得られる。この回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するために、回転可能なターゲットベース装置を使用することができる。通常、ターゲットベースシリンダの側面は、シリンダバレル又はシリンダのマントルとして理解することができる。
【００２４】
本明細書で開示する実施形態は、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部からアクセスが可能であるため、固体ターゲット材料チューブなどの固体ターゲットシリンダとすることができるターゲットを、バッキングチューブなどのバッキングシリンダ上に提供できるようになる。これは、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部領域の最大外径が、実質的にバッキングシリンダの中間部の外径以下であるというバッキングシリンダの構造によるものである。従って、バッキングシリンダの中間部の外径に一致する内径を有するシリンダ状の固体ターゲットを、バッキングシリンダ上に容易に同心状に配置することができる。ターゲットは、結合又は非結合ターゲットとして使用できるように設計することができる。従って、いくつかの実施形態では、結合材料を必要とし得る結合により、スパッタリングカソードのバッキングチューブ上に固体ターゲットを提供することができる。さらに、溶射ターゲットのためのバッキングシリンダとは対照的に、本明細書で開示する実施形態を使用すれば、結合又は非結合ターゲットのための、チューブ状などの複数のシリンダ状の固体ターゲット又はターゲットスリーブをバッキングシリンダ上に配置できるようになる。さらに、本明細書で開示する実施形態による回転可能なターゲットベース装置及びバッキングシリンダは、それぞれ繰り返し使用できるとともに、シリンダ状のターゲットを交換するだけで回復することができる。このことは、コーティングの適用中に急速に枯渇するターゲット材料を有する回転可能なターゲットに特に適している。
【００２５】
図１は、スパッタリング装置のための回転可能なターゲット１の例を概略的に示す図である。通常、回転可能なターゲット１は、回転可能なターゲットベース装置２と、本明細書ではターゲット５とも呼ぶ固体ターゲットシリンダとしてのチューブ状固体ターゲット５とを含む。
【００２６】
本明細書で開示する実施形態では、固体ターゲットシリンダ５の内径を、実質的にターゲットベースシリンダの中間部の外径以上にすることができる。典型的には、ターゲット５の外径は、約１００ｍｍ〜約２００ｍｍ、より典型的には約１３０ｍｍ〜約１７０ｍｍ、最も典型的には約１４５ｍｍとすることができる。ターゲット５の内径は、約８０ｍｍ〜約１８０ｍｍ、より典型的には約１１０ｍｍ〜約１５０ｍｍ、最も典型的には約１３３ｍｍの範囲とすることができる。ターゲットの厚みは、約２ｍｍ〜約３０ｍｍの範囲とすることができる。典型的には、ターゲット５の厚みは、約３〜２０ｍｍ、より典型的には約５〜１７ｍｍ、最も典型的には約６〜１２ｍｍとすることができる。さらに、ターゲット５の長さは、約２４０ｍｍ〜約３５００ｍｍ、より典型的には約１３６０ｍｍ〜約１４００ｍｍ、約１５６０ｍｍ〜約１６００ｍｍ、約１６６０ｍｍ〜約１７００ｍｍ、約２０１０ｍｍ〜約２０５０ｍｍ、又は約２５００ｍｍ〜約２５４０ｍｍの範囲とすることができる。中間部１２における、すなわち側面３の領域におけるバッキングチューブの外径は、約８０ｍｍ〜約１８０ｍｍ、より典型的には約１１０ｍｍ〜約１５０ｍｍ、最も典型的には約１３３ｍｍの範囲とすることができる。バッキングチューブの内径は、約６０ｍｍ〜約１６０ｍｍ、より典型的には約９０ｍｍ〜約１３０ｍｍ、最も典型的には約１２５ｍｍの範囲とすることができる。典型的には、バッキングチューブの長さは、約３００ｍｍ〜約３６００ｍｍ、より典型的には約１４４０ｍｍ、約１６４０ｍｍ、約１７４０ｍｍ、約２０９０ｍｍ、約２２４０ｍｍ、約２５８０ｍｍ、又は約３６００ｍｍの範囲とすることができる。本明細書で開示するいくつかの実施形態では、バッキングチューブの中間部１２の外径及び／又は内径が、中間部１２の全長にわたって実質的に一定である。さらに、本明細書で開示するいくつかの実施形態では、固体ターゲットシリンダ５の外径及び／又は内径が、ターゲットの全長にわたって実質的に一定である。
【００２７】
図１に示す回転可能なターゲット１の、上部にターゲット５を配置していない回転可能なターゲットベース装置２を図２にさらに概略的に示す。回転可能なターゲットベース装置２はバッキングチューブ４を含む。本明細書で開示するいくつかの実施形態では、バッキングチューブの少なくとも一方の端部領域の最大外径が、実質的に中間部の外径以下である。
【００２８】
図１に示す例のバッキングチューブ４は、側面３を含む中間部１２を有するとともに、第１の端部領域７及び第２の端部領域９をさらに有する。第１の端部領域７及び第２の端部領域９の両方は、典型的にはバッキングチューブ４の側面３において、中間部の外径と実質的に等しい最大外径を有することができる。さらに、バッキングチューブ４は、個々の端部領域７及び９に開口部８０、１９を有することができる。さらに、バッキングチューブ４は、磁石装置及び冷却システムからなる群から選択された少なくとも１つの要素を収容するための内部空間６を含むことができる。
【００２９】
本明細書で開示する実施形態では、回転可能なターゲットベース装置が、ターゲットベースシリンダをターゲットベースに接続するのに適した少なくとも１つのターゲットベース接続手段を含む。従って、ターゲットベース装置の第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に少なくとも１つのターゲットベース接続手段を設けることができる。この実施形態の変形例では、ターゲットベース接続手段の少なくとも１つを取り外し可能とすることができる。
【００３０】
本明細書で開示する実施形態では、ターゲットベース装置のターゲットベースシリンダの一方又は両方の端部領域が、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有することができ、ここにターゲットベース接続手段を設けることができる。
【００３１】
この結果、たとえターゲットの内径が、バッキングチューブの外径と実質的に等しく又はこれよりもほんのわずかに大きくても、ターゲットをターゲットベース装置に容易に取り付けることができる。これは、最大外径がバッキングチューブの中間部の外径以下であるバッキングチューブの一方の端部にターゲットを取り付けるために、ターゲットベース接続手段を取り外すことができるからである。その後、ターゲットをバッキングチューブ４上に同心状に配置して、バッキングチューブの回転軸と平行に所望の位置に押し込むことができる。いくつかの実施形態では、バッキングチューブの縦中心軸がバッキングチューブの回転軸となる。
【００３２】
ターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている。本明細書で開示する１つの実施形態では、ターゲットベースシリンダを２つのターゲットベース支持体と接続するために、第１及び第２の端部領域の各々にターゲットベース接続手段を１つ提供することができる。さらなる実施形態では、ターゲットベース支持体の一方又は両方を、ターゲットベースシリンダの内部空間に冷却流体又は電源などをさらに供給できる回転ターゲットベース駆動システムの一部とすることができる。
【００３３】
典型的な実施形態によれば、ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方を、ターゲットベース接続手段の１つが提供されるように適合させることができる。
【００３４】
本明細書で開示する典型的な実施形態によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされたクランピング手段を含むことができる。より典型的には、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、固定連結器と、ターゲットベースシリンダに設けられた固定凹部とを含むことができ、固定連結器は、固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようになっている。さらに、クランピング手段を、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むように適合させることができる。ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、ターゲットベースシリンダの側面に設けられた１つの固定凹部を含むことができる。
【００３５】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、この手段は、ターゲットベース装置内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器と、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピング手段と、固定連結器に含まれて、ターゲットベース装置の端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーとからなる群から選択された少なくとも１つの要素を含む。
【００３６】
図２の例に示すように、本明細書ではバッキングチューブとも呼ぶターゲットベースシリンダ４は、個々の端部領域７及び９に凹部１０を含む。上述したように、本例では、第１の端部領域７及び第２の端部領域９の両方が、中間部の外径と実質的に等しい最大外径を有する。凹部１０は、バッキングチューブ４の側面３に設けられる。典型例によれば、凹部１０は環状である。
【００３７】
スパッタリング装置のためのターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するようにされた、本明細書で開示する実施形態によるクランピング手段、及びこのようなクランピング手段をターゲットベース接続手段として含む、本明細書で開示する実施形態の回転可能なターゲットベース装置は、コーティング装置及び／又はスパッタリング装置の回転可能な駆動システムなどのシステム内でターゲットバッキングシリンダをクランプするためにそれぞれ有用である。
【００３８】
図３ａ及び図３ｂは、図２に示す回転可能なターゲットベース装置２に２つのターゲットベース接続手段１１を提供した１つの例を示している。本例では、バッキングチューブ４の第１の端部領域７及び第２の端部領域９に、ターゲットベース接続手段１１が１つずつ提供される。通常、一方又は両方のターゲットベース接続手段１１を、バッキングチューブ４から取り外すことができる。本例では、個々のターゲットベース接続手段１１が取り外し可能であり、これらは、クランプ１７として形成された固定クランプを固定連結器として、及びクランピングシェル１８をクランピング手段として含む。
【００３９】
図３ａから図３ｇに示す例では、クランプ１７及びクランピングシェル１８は環状である。本明細書で開示する実施形態によれば、通常、ターゲットベースシリンダはチューブ状のベースシリンダであり、ターゲットベース接続手段、クランピング手段、固定凹部、及びターゲットベース支持接続手段からなる群から選択された少なくとも１つの要素を環状とすることができる。さらに、本明細書で開示する実施形態では、クランピング手段がセグメント構造を含むことができる。
【００４０】
図３ａは、バッキングチューブ４と、回転可能なターゲットベース装置２のターゲットベース接続手段１１とを組み立てた状態の典型例を示している。この例では、バッキングチューブ４の個々の端部領域が、ターゲットベース支持接続手段としての環状フランジ１６を有するターゲットベース支持体１５に接続される。回転可能なターゲット１のチューブ状固体ターゲット５は示していない。さらに、端部領域７及び９の各々において、１つの環状クランプ１７がバッキングチューブにクランプされる。個々のクランプ１７は、内部突起１９と、対応する環状クランプ１７の内部突起１９が個々の環状凹部１０に提供されるような内径とを有する。図３ｃの断面図は、環状クランプ１７の内部突起１９と、クランプ１７がターゲットベース支持体のフランジ１６に隣接できるクランプ１７の接触面１３とを示している。さらに、図３ａに示すような組み立てた状態では、クランプ１７の外径よりも大きな外径を有する１つの環状クランピングシェル１８が、クランプ１７の各々を覆って装着される。実施形態のクランピングシェル１８を図３ｆにさらに示しており、このクランピングシェル１８は、２つの環状スパン要素２７を各々の側に備えた外側リング２５を含む。クランピングシェル１８の幅、すなわちリング２５の幅は、ターゲットベース支持体１５のクランプ１７及びフランジ１６の幅の合計にわたるようにされる。従って、組み立てた状態では、２つの環状スパン要素２７が、真空シール（図示せず）を含むことができるクランプ１７及びフランジ１６を取り囲み、バッキングチューブ４及びターゲットベース支持体１５をクランピング張力により互いに固定する。これにより、２つのターゲットベース接続手段１１を使用して、バッキングチューブ４とターゲットベース支持体１５の各々との間に真空気密シールを提供することができる。
【００４１】
典型例では、リング２５の幅などのクランピングシェル１８の幅を、クランプ１７及びフランジ１６の幅の合計に等しく又はこれよりもわずかに小さくすることができる。これにより、クランピングシェル１８と、クランプ１７及びフランジ１６の組み合わせとの間に締まり嵌め又は圧入を実現することができる。この結果、クランピングシェル１８を、互いに隣接するクランプ１７及びフランジ１６に圧入固定によって固定することができる。
【００４２】
本例では、バッキングチューブ４上にクランプ１７を装着した場合、通常、クランプ１７の高さ、すなわちクランプ１７の環状カラーのバッキングチューブ４の縦軸に垂直な寸法がフランジ１６の環状カラーの高さに一致する。従って、クランプ１７及びフランジ１６は、これらの外周において整列することができる。例えば、クランプ１７の環状カラーの高さは、約１０ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲とすることができる。
【００４３】
典型的には、クランプは、複数のセグメント化クランプ要素を含むことができ、及び／又はクランピングシェルは、複数のセグメント化クランプシェルを含むことができる。より典型的には、クランプは、環状セグメント化クランプ要素を含むことができ、及び／又はクランピングシェルは、環状セグメント化クランプシェルを含むことができる。クランプ及びクランピングシェルは環状であってもよい。一般に、環状セグメント化要素は、互いに縦方向に揃えて見た場合に観察者にとって環が見えるような長さ及び半径を有する。最も典型的には、環状セグメント化クランプ要素及び／又は環状セグメント化クランプシェルを、本明細書では半円とも呼ぶ半環状とすることができる。さらに、セグメント化クランプ要素又は環状セグメント化クランプ要素を互いにヒンジ連結することができ、及び／又はセグメント化クランプシェル又は環状セグメント化クランプシェルを互いにヒンジ連結することができる。
【００４４】
本明細書で開示する実施形態によれば、クランピング手段を含むターゲットベース接続手段により、バッキングチューブなどのターゲットベース装置に取り付けられた結合又は非結合固体シリンダ状ターゲットを既存のコーティング装置のクランピングシステム内に固定できるようになる。１つの実施形態では、ターゲットベース接続手段が、複数のセグメント化クランピングシェルを含むクランピングシェルを含むことができる。しかしながら、いくつかの実施形態では、クランピングシェルを１つの部品で作成することができる。この部品は、ターゲットベース装置上に、及びターゲットベース装置上に取り付けられたカラー上にクランピングシェルを同心状に配置できるようにするために柔軟な構造を有することができる。
【００４５】
図示のように、本明細書で開示する実施形態のターゲットベース接続手段はバネを必要としない。従って、バッキングチューブとターゲットベース支持体を互いに隣接させた場合、本明細書で開示する実施形態のターゲットベース接続手段がこれらに容易に取り付けられる。また、本明細書で開示する実施形態のターゲットベース接続手段を使用する場合、バッキングチューブを含む回転可能なターゲットをコーティング装置内に取り付けるためにネジなどを使用してさらに固定する必要はない。さらに、ターゲットベース接続手段の実施形態のセグメント構造も、バッキングチューブをターゲットベース支持体に都合良く取り付けやすくする。
【００４６】
図３ａから図３ｇに示す例では、クランプ１７が、セグメント化クランプ要素２１として、互いにヒンジ２０により連結された２つの半円クランプ要素２１を有する。クランプ１７を示す図３ｄ及び図３ｅの平面図に示すように、セグメント化クランプ要素２１をリング状に閉じることができる。さらに、図３ｆ及び図３ｇに示すように、クランピングシェル１８は、セグメント化クランピングシェルとして２つの半円クランピングシェル２３を含む。半円クランピングシェル２３は、互いにヒンジ２４において連結され、これらをリング状に閉じて、例えばクランプカラーを形成することができる。本例によれば、締結具４５により半円クランピングシェル２３を互いに固定することができる。
【００４７】
本例によるクランプ１７のセグメント構造は、突起部１９を環状凹部１０内に位置させながら２つの半円クランプ要素２１がバッキングチューブ４の周囲で閉じられるようにする。例では、クランプ１７及び凹部１０を良好に適合させるために、閉じたクランプ１７の内径が適切に選択され、例えば、閉じたクランプ１７の内径が凹部１０の直径に実質的に等しく又はこれよりもわずかに大きくされる。
【００４８】
さらに、本明細書で説明する実施形態のクランピング手段は、ターゲットベース接続手段の固定連結器の周囲のクランピング手段と、ターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段との取り付けを可能にする寸法及び内径を有する。図３ｆ及び図３ｇに示す１つの実施形態では、クランピングシェル１８が、各々が外側半円要素２８を有する２つの半円クランピングシェル２３と、外側半円要素２８の側面に沿って取り付けられた２つの側方半円スパン要素２９とを含む。クランピングシェル１８を閉じた場合に外側半円要素２８により形成される外側リング２５は、クランプ１７の外径及びフランジ１６の外径よりも大きな内径を有することができる。さらに、図３ａに示すように、クランピングシェル１８を閉じた場合に側方半円スパン要素２９により形成される２つの環状スパン要素２７の内径は、フランジ１６が装着されるターゲットベース支持体１５のバッキングチューブ４及びフランジソケットの外径に一致し、又はこれよりも大きくすることができる。
【００４９】
本明細書で開示する１つの実施形態によれば、ターゲットベース接続手段及び／又はターゲットベース支持体が、面取りしたクランピング領域を含むことができる。例えば、コネクタリング又は環状カラーなどの、ターゲットベース支持体のコネクタは、面取りした外側クランピング領域を有することができる。さらに、クランピングシェル１８などの、ターゲットベース接続手段のクランピング手段は、面取りした内側クランピング領域を有することができる。図４に示すように、図３ａから図３ｇに示す例の変形例によれば、バッキングチューブ４上のクランプ１７及びターゲットベース支持体１５のフランジ１６が面取りした端部を有し、この結果、面取りした側面３０、３１をそれぞれ実現することができる。クランプ１７の面取りした側面３０は、クランプ１７の接触面１３に対向して位置する。さらに、フランジ１６の面取りした側面３１は、クランプ１７の接触面１３と接するようになるフランジ１６の接触面、すなわちフランジ側面に対向して配置される。さらに、クランピングシェル１８の環状スパン要素２７は、クランプ１７及びフランジ１６が隣接した際に、面取りした側面３０及び３１にわたるように対応して傾斜することができる。これにより、真空シール（図示せず）を含むことができるバッキングチューブ４５とフランジ１６に取り付けられたクランプ１７が互いに隣接し、これらを覆ってクランピングシェル１８をクランプした場合、環状スパン要素２７が、クランプ１７及びフランジ１６を真空気密法で固定することができる。
【００５０】
クランプ１７をバッキングチューブ４に取り付けた場合、クランプ１７の面取りした側面３０は、バッキングチューブ４の側面３に対して約１００°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができる。フランジ１６の面取りした側面３１は、ターゲットベース支持体１５のフランジソケットに対して約１００°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができる。クランピングシェル１８の環状スパン要素２７は、リング２５に対して、側面３０、３１の傾斜角に対応する又はこれよりもさらに小さな傾斜角を有することができる。これにより、互いに隣接するクランプ１７及びフランジ１６上にクランピングシェル１８を装着した際にクランピング張力を確立することができる。例えば、一方のスパン要素２７は、リング２５に対して約９５°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができ、他方のスパン要素２７も、リング２５に対して約９５°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができる。従って、クランピングシェル１８を、クランプ１７及びフランジ１６の組み合わせを覆って圧入固定によりクランプした場合、スパン要素２７の傾斜角が増加することができ、その後側面３０、３１の傾斜角に対応することによりクランピング張力を提供することができる。
【００５１】
この面取りしたクランピング領域により、ターゲットベース接続手段の取り付け状態を良くすることができる。例えば図４の例では、面取りした側面３０、３１及び面取りした環状スパン要素２７により、隣接するクランプ１７及びフランジ１６にクランピングシェル１８を押し付けることができるようになる。これにより、回転可能なターゲットベース装置２をターゲットベース支持体１５に都合良く固定できるようになる。
【００５２】
本明細書で開示する別の実施形態によれば、回転可能なターゲットベース装置の少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、任意に固定クランプに提供されるスペーサ手段となるターゲット固定手段を含むことができる。クランプ１７にスペーサ手段としてスペーサ４０を取り付けた点が図３ａから図３ｇの例とは異なるスペーサの例を図５に示す。図５に示すように、バッキングチューブ４とスペーサ４０を含む２つのクランプ１７とを組み立てた場合、スペーサ４０が、バッキングチューブ４の側面３に隣接して提供される。従って、側面３の中心にターゲット５を提供した場合、ターゲット５が、本例ではターゲット５を適所に固定する２つのスペーサ４０間に位置する。一方又は両方のスペーサ４０は環状とすることができる。代替例では、一方又は両方のスペーサ４０が、クランプの側面に沿って取り付けられた複数のスペーサ要素を各々含むことができる。別の実施形態によれば、一方又は両方のスペーサ４０を、（単複の）クランプ１７に加えて別個に提供されるスペーサリングとすることができる。スペーサ４０の幅、すなわち、上部にクランプ１７を装着したときのバッキングチューブ４の回転軸に平行な方向の幅は、約２ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲とすることができ、より典型的には、約２０ｍｍ〜約４０ｍｍの範囲とすることができる。スペーサ４０の高さ、すなわち、上部にクランプ１７を装着したときのスペーサの幅に垂直な、及びバッキングチューブ４の側面３に垂直な寸法は、約１５ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲とすることができる。
【００５３】
さらに、１又はそれ以上のスペーサ４０は、クランピングシェル１８とターゲット５の間に間隙を提供する。間隙は、典型的には約２ｍｍ〜約５０ｍｍの、より典型的には約２０ｍｍ〜約４０ｍｍの範囲の幅を有することができる。これにより、バッキングチューブ４の回転軸、すなわち本例では縦軸に平行なターゲット５の熱膨張が考えられるが、このような熱膨張の悪影響を避けることができる。さらに、回転可能なターゲット１の回転軸に平行なチューブ状固体ターゲット５の、中心位置などの最適位置を実現することができる。クランピングシェル１８とターゲット５の間に間隙が存在しても、スペーサ４０がターゲット５を固定位置に保持する。
【００５４】
本例の変形例では、バッキングチューブにおいてターゲット５を側面３上に配置した場合、スペーサ４０を有するクランプ１７を含む固定手段をバッキングチューブ４の一方の端部に１つだけ提供することができる。バッキングチューブ４の他方の端部領域には、例えばスペーサのないクランプ１７を取り付けることができる。これにより、ターゲット５と、バッキングチューブ４をターゲットベース支持体１５に接続する接続手段のクランピングシェル１８の一方との間に１つの間隙が存在するようになる。
【００５５】
例えば、典型例によれば、スパッタリング用途のためのコーティング装置に回転可能なターゲット１を垂直に装着した場合、バッキングチューブ４の、バッキングチューブ４とターゲット５を含む回転可能なターゲット１の底部に位置する端部領域に、スペーサ４０を含むクランプ１７の一方が提供される。スペーサ４０が、非結合ターゲットを適所に保持するための固定ショルダとして機能するので、このことは非結合ターゲットにとって特に有用である。より詳細には、非結合ターゲットを１又はそれ以上の結合リングとともに取り付けた場合、１又は複数のスペーサ４０により（単複の）結合リングを適所にそれぞれ保持することができる。
【００５６】
本明細書で開示する実施形態は、回転可能なターゲット１をスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するのに適している。１又は複数のスペーサ４０が、チューブ状固体ターゲット５の信頼できる配置、位置合わせ、中央寄せ、さらには固定をそれぞれ実現するので、このことは１又はそれ以上のスペーサ４０を含むターゲットベース接続手段の実施形態に特に当てはまる。
【００５７】
図５に示すターゲットベース接続手段の例のさらなる変形例では、図４に関して上述したように、スペーサ４０を含むクランプ１７とターゲットベース支持体１５のフランジ１６とが、面取りした側面を有することができる。さらに、フランジ１６及びクランプ１７が隣接したときに、クランピングシェル１８の環状スパン要素２７が、面取りした側面３０及び３１にわたるように対応して傾斜することができる。さらに、クランピングシェル１８を閉じたときに側方半円スパン要素２９により形成される２つの環状スパン要素２７の内径を対応して適合させることができる。例えば、組み立てた状態でターゲットの方を向くクランピングシェル１８のスパン要素２７の内径を、スペーサ４０の外径に一致させ又はこれよりも大きくすることができる。
【００５８】
本明細書で開示する実施形態において使用されるターゲット材料の典型例として、ターゲット５は、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）、又は５Ｎ又は３Ｎ品質などのシリコンを含むことができ、これらをＺ−６００などのホウ素でドープすることができる。
【００５９】
さらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法が提供され、この方法は、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、固体ターゲットシリンダを提供するステップと、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面に配置するステップとを含み、ターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面を含む中間部を有するとともに、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とをさらに有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。この方法は、例えば固体ターゲットシリンダを配置するステップの後に、ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を取り付けるステップをさらに含むことができる。回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされた取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００６０】
典型的には、固体ターゲットシリンダは、互いに隣接して提供される１又は複数の中空固体シリンダとすることができる。この１又は複数の固体ターゲットシリンダを、ターゲットベースシリンダ上に同心状に配置することができる。典型的には、上記のさらなる実施形態による固体ターゲットシリンダと（単複の）ターゲットベースシリンダとを組み合わせることにより、回転可能なターゲットが形成される。回転可能なターゲットは、スパッタリングターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するためのものとすることができる。
【００６１】
１つの例では、図２に示すバッキングチューブ４が提供される。次に、チューブ状固体ターゲット５が、第２の端部領域９上などに同心状に配置され、バッキングチューブ４の中心軸、すなわち本例では回転軸に平行に移動して、バッキングチューブ４上の中心に位置決めされる。次に、バッキングチューブ４の個々の端部領域７及び９に、２つのヒンジ連結された半円クランプ要素２１を含む１つのクランプ１７をターゲットベース接続手段として同心状に位置決めすることができる。この位置において、個々のクランプ１７の突起部１９が、バッキングチューブ４の凹部１０の１つを埋める。周囲クランプ１７及びターゲットベース支持体の隣接するフランジ１６の周囲でクランピングシェル１８の一方を閉じ、締結具４５によってクランピングシェル１８を締め付けることにより、個々のクランプ１７をバッキングチューブ４に固定することができる。この結果、チューブ状固体ターゲット５がクランプ１７間に位置して、回転可能なターゲット１を提供するようになる。
【００６２】
上記の例の変形例では、バッキングチューブ４の上部にチューブ状ターゲット５を同心状に配置した後に、バッキングチューブ４の一方の端部領域に一方の固定クランプ１７のみを取り付けることができる。これは、以下で説明するように、回転可能なターゲット１を回復させる際に、例えば枯渇したターゲット５を取り替えるために行うことができる。バッキングチューブ４の他方の端部領域に、ターゲットベース接続手段又はバッキングチューブ４の他方の端部領域に溶接されたフランジなどの他のいずれかの端部部品が既に与えられている場合にも、この方法の上記変形例を使用することができる。
【００６３】
さらに別の実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを回復させる方法を提供することができ、この方法は、実施形態によるスパッタリング装置のための回転可能なターゲットを提供するステップを含み、回転可能なターゲットは、側面を含む中間部を有するとともに、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とをさらに有するターゲットベースシリンダを含む回転可能なターゲットベース装置を含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダの側面上に配置された固体ターゲットシリンダと、少なくとも一方の端部領域上に配置されたターゲットベース接続手段とを有し、前記方法は、ターゲットベースシリンダの少なくとも一方の端部領域からターゲットベース接続手段を取り外すステップと、固体ターゲットシリンダを取り外すステップと、別の固体ターゲットシリンダを提供するステップと、別の固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面上に配置するステップと、ターゲットベースシリンダの少なくとも一方の端部領域にターゲットベース接続手段を取り付けるステップとをさらに含む。
【００６４】
例えば、バッキングチューブ４の第２の端部領域９は、実質的に中間部１２の外径以下の最大外径を有する。従って、例えば、バッキングチューブの中間部の外径よりもわずかに大きな内径を有することができるチューブ状固体ターゲット５を第２の端部領域９の上に同心状に配置することにより、これをバッキングチューブ４の側面３上に配置することができる。その後、チューブ状固体ターゲット５をバッキングチューブの回転軸、すなわち本例では縦軸に沿ってバッキングチューブ４上に移動させ又は押し込むことにより、これを所望の位置に位置決めすることができる。
【００６５】
さらに、実施形態の固体ターゲットシリンダは中空シリンダとすることができる。この固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダ上に中心に配置することができる。典型的には、上記さらに別の実施形態による実施形態の固体ターゲットシリンダ及びターゲットベースシリンダを処理して組み合わせることにより、回転可能なターゲットが回復する。
【００６６】
本明細書で開示する実施形態は、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部からアクセスが可能であるため、固体ターゲット材料チューブとすることができるシリンダ状ターゲットを、バッキングチューブなどのバッキングシリンダ上に提供できるようになる。これは、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部領域の最大外径が、実質的にバッキングシリンダの中間部の外径以下であるというバッキングシリンダの構造によるものである。ターゲットは、結合又は非結合ターゲットとして使用できるように設計することができる。本明細書で開示する実施形態では、中間部の側面の外径に一致する内径を有するシリンダ状又はチューブ状固体ターゲットを、バッキングシリンダ上に容易に配置することができる。この結果、いくつかの実施形態では、固体ターゲットをバッキングシリンダに結合することによる費用の発生を避けることができ、数多くの結合材料を使用する必要がなくなるのでさらに費用が削減される。他の実施形態では、結合により固体ターゲットをスパッタリングカソードのバッキングチューブ上に提供することができる。さらに、溶射ターゲットのためのバッキングチューブとは対照的に、本明細書で開示する実施形態を使用すれば、結合又は非結合ターゲットのための、複数のシリンダ状の又はチューブ状の固体ターゲット又はターゲットスリーブをバッキングチューブ上に配置できるようになる。さらに、本明細書で開示する実施形態による回転可能なターゲットベース装置及びバッキングチューブは、それぞれ繰り返し使用できるとともに、シリンダ状のターゲットを交換するだけで回復することができる。このことは、コーティングの適用中に急速に枯渇するターゲット材料を有する回転可能なターゲットには特に適している。さらに、回転可能なターゲットベース装置を使用して、回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着することができる。
【００６７】
さらに、いくつかの実施形態によれば、ターゲット固定手段を有する１又はそれ以上のターゲットベース接続手段が提供され、これらがシリンダ状固体ターゲットとターゲットベース接続手段との間の間隙を考慮するので、バッキングシリンダ材料とターゲット材料との間の熱膨張係数が異なるようにすることができる。また、ターゲットベース接続手段を含む実施形態では、ターゲットをバッキングシリンダに固定し、さらにバッキングシリンダ上の中心に置き、又は所望の位置に位置合わせすることができる。
【００６８】
１つの例によれば、ターゲットベース接続手段が、クランプリング状に閉じるようにされた複数の環状セグメント化クランプ要素を含む固定クランプと、クランプリング状に閉じられた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持リングとを取り囲むようにされた複数の環状セグメント化クランピングシェルを含むクランピング手段とを含むことができ、複数の環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つは、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するようにされた調整手段を含み、調整手段は、任意に環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つの外周に提供される。
【００６９】
例えば、図３ａから図３ｇに示すターゲットベース接続手段１１の例では、クランプ１７及びクランピングシェル１８の代わりに、固定クランプが、図６ａから図６ｅに示すクランプ１７０及びクランピングシェル１８０を含むことができる。調整手段として、図６ｂ及び図６ｃに示すように、一方のクランプ要素２１の端部間などの、クランプ１７０の一方の半円要素２１の外周に、典型的にはスパン要素２１の半円の中間にピン１７２を設けることができる。クランピングシェル１８０は、２つの半円クランピングシェル２３の自由端１８４に、個々の自由端１８４に１つずつの２つの開口部１８２を含むことができる。図６ｅにクランピングシェル１８０を断面図で示し、開口部１８２の位置を示している。図６ｄに示すように、開口部１８２は、その閉じた状態において、クランピングシェル１８０の自由端１８４の接触面に組み合わせ開口部１８３を形成する。クランピングシェル１８０がクランプ１７０の周囲で閉じたときに、開口部１８２を組み合わせた組み合わせ開口部１８３を埋めるようにピン１７２を形成することができる。
【００７０】
或いは、上記の例の変形例では、調整手段を、クランプ１７０の一方の半円要素２１の外周にピン１７２の代わりに配置されたカラードットなどのマーク（図示せず）とすることができる。クランピングシェル１８０が閉じたときに自由端１８４間に間隙を提供するようにクランピングシェル１８０を形成することもでき、例えばそのようにクランピングシェル２３の長さをとることができる。間隙は、クランピングシェル１８０がクランプ１７０の周囲で閉じているときに、マークがクランピングシェル１８０の間隙の下に位置しているかどうかをチェックするために、下にある半円要素２１の外周の光学検査を可能にする。
【００７１】
別の例では、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続する方法が提供され、この方法は、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、クランプリング状に閉じるようにされた複数の環状セグメント化クランプ要素と、クランプリング状に閉じた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持リングとを取り囲むようにされた複数の環状セグメント化クランピングシェルとを含む固定クランプ含むターゲットベース接続手段を提供するステップと、複数の環状セグメント化クランプ要素をクランプリング状に閉じることにより、回転可能なターゲットベース装置の第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を装着するステップと、クランプリングをターゲットベース支持体のターゲットベース支持リングに隣接させるステップと、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するステップとを含み、ターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、複数の環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つは、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するようにされた調整手段を任意に含み、調整手段は、任意に環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つの外周に提供される。
【００７２】
従って、図６ａから図６ｅに示す例によれば、バッキングチューブ４と、クランプ１７０及びクランピングシェル１８０を含むターゲットベース接続手段とを提供することができる。次に、バッキングチューブ４の凹部１０の周囲で半円クランプ要素２１を閉じることにより、クランプ１７０をバッキングチューブ４の第１及び第２の端部領域の一方に装着する。その後、クランプリング１７０を、ターゲットベース支持体１５のターゲットベース支持リング１６に隣接させる。クランピングシェル１８０の半円クランピングシェル２３を、閉じたクランプ１７０及び隣接するターゲットベース支持リング１６の周囲に、ピン１７２がクランピングシェル１８０の開口部１８３内に位置するように配置する。次に、締結具４５を使用して、閉じたクランプ１７０及び隣接するターゲットベース支持リング１６の周囲にクランピングシェル１８０を固定する。自由端１８４間の接触面の開口部１８３にピン１７２が位置するので、クランピングシェル１８の半円クランピング要素２３及びクランプ１７の半円要素２１を互いにオフセット円周位置に提供することができる。例えば、図６ｂに示すように、ピン１７２をクランプ要素２１の半円の中間に取り付けた場合、半円要素２３及び半円クランピング要素２１は、９０°の径方向オフセットを有することができる。すなわち、半円クランピングシェル２３間の接触面の下にある半円クランプ要素２１間の接触面を位置決めしなくて済む。これにより、クランプ圧を均一に分散させることができる。さらに、真空シール（図示せず）を含むことができる真空気密によりバッキングチューブ４をターゲットベース支持体１６に固定して、この固定場所における漏れを回避することができる。
【００７３】
調整手段としてマークを含む上記の例の変形例についても同じである。オフセットを実現するために、本例のバッキングチューブ４及びターゲットベース接続手段をターゲットベース支持体１５に取り付けるオペレータは、クランプ１７０の周囲にクランピングシェル１８０を取り付ける際に、閉じた半円クランピングシェル２３間の間隙内に確実にマークが見えるようにする必要がある。
【００７４】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、このターゲットベース接続手段は、ターゲットベース装置の端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む固定連結器を含む。さらに、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段を含むことができる。
【００７５】
図７は、本明細書で開示する１つの実施形態による回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダ２００の概略断面図である。この実施形態は、端部領域７が、凹部１０の代わりに端部領域１００の最外端に位置する凹部１００を含むという点で図２に示す例とは異なる。従って、凹部１００は環状であり、ターゲットベースシリンダ２００の最外端に設けられ、ターゲットベースシリンダ２００の開口部８０を取り囲む。凹部１００の外周には雄ネジ１０１が形成される。
【００７６】
図８ａ及び図８ｂは、本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。図８ａに示すように、本発明の実施形態のターゲットベース接続手段は、本明細書ではカラー２７０とも呼ぶ固定カラー２７０を含み、これをターゲットベースシリンダ２００の凹部１００に装着することができる。この目的のために、固定カラー２７０は、ターゲットベース装置２００の凹部１００内に形成された雄ネジ１０１に対応する雌ネジ２７１を有する。図８ｂに示すように、カラー２７０及びフランジ１６を互いに隣接させた場合、クランピング手段として図３ｆ及び図３ｇに示すクランピングシェル１８を、ターゲットベースシリンダ２００に取り付けられたカラー２７０とターゲットベース支持体１５のフランジ１６とを覆って装着することができる。本明細書で開示する実施形態では、カラー２７０及び凹部１００を良好に適合させるために、固定カラー２７０の内径が適切に選択され、例えば、内径が凹部１００の直径に実質的に等しく又はこれよりもわずかに大きくされる。さらに、クランピングシェル１８は、カラー２７０及びフランジ１６を互いに隣接させた場合、クランピングシェル１８をカラー２７０及びターゲットベース支持体１５のフランジ１６の周囲に取り付けることができるようになる寸法及び内径を有する。本発明の実施形態では、クランピングシェル１８が、各々が外側半円要素２８を有する２つの半円クランピングシェル２３と、外側半円要素２８の側面に沿って取り付けられた２つの面取りした側方半円スパン要素２９とを含む。クランピングシェル１８を閉じたときに外側半円要素２８により形成される外側リング２５は、カラー２７０の外径及びフランジ１６の外径よりも大きな内径を有することができる。さらに、クランピングシェル１８が閉じたときに側方半円スパン要素２９により形成される２つの環状スパン要素２７の内径は、フランジ１６がそれぞれ装着されるバッキングチューブ４及びターゲットベース支持体１５のフランジソケットの外径に一致し又はこれよりも大きいものとすることができる。
【００７７】
雌ネジ２７１を示す図９にも固定カラー２７０を示している。さらに、図４の例を参照しながら上述したように、固定カラー２７０は、面取りした側面３０及びスペーサ４０を有することができる。本発明の実施形態では、固定カラー２７０及びターゲットベース支持体１５のフランジ１６が面取りした端部を有し、この結果、面取りした側面３０、３１をそれぞれ実現することができる。固定カラー２７０の面取りした側面３０は、カラー２７０の接触面１３に対向して位置する。さらに、フランジ１６の面取りした側面３１は、カラー２７０の接触面１３と接するようになるフランジ１６の接触面、すなわちフランジ側面に対向して配置される。さらに、クランピングシェル１８の環状スパン要素２７は、カラー２７０及びフランジ１６を隣接させた際に、面取りした側面３０及び３１にわたるように対応して傾斜することができる。これにより、真空シール（図示せず）を含むことができるバッキングチューブ４５とフランジ１６に取り付けられたカラー２７０とが互いに隣接し、これらを覆ってクランピングシェル１８をクランプした場合、環状スパン要素２７が、カラー２７０及びフランジ１６を真空気密法で固定することができる。
【００７８】
図８ｃには、固定カラー２７０の変形例を示しており、この変形例は、固定カラー２７０の外周に設けられた複数のボア２７２などの１又はそれ以上の凹部２７２を含む。ボア２７２は、ターゲットベースシリンダ２００の凹部１００に固定カラー２７０を容易に装着するために、工具を係合できるようにするためのものである。
【００７９】
本明細書で開示する実施形態（図示せず）によれば、上述した固定カラー２７０には、面取りした側面３０及び／又はスペーサ４０が提供されないこともある。このような場合、図３ａに示すようなクランピングシェル１８が適しており、これを形成することができる。
【００８０】
さらに、いくつかの実施形態（図示せず）では、図７から図９の実施形態で使用するクランピング手段が、例えば、図３ｆ及び図３ｇを参照しながら説明し図示したような、固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェルを含むことができる。
【００８１】
さらなる実施形態（図示せず）では、図８ａから図８ｃ及び図９に示す固定カラー２７０が、例えば、図５に示すスペーサ４０を参照しながら上述したような構造及び効果を有する細長スペーサ４０を含むことができる。細長スペーサ４０は、例えば面取りした側面３０に隣接する、クランピングシェル１８を係合させるためのより小さな外径の領域を有することができる。
【００８２】
本明細書で説明する他の実施形態によれば、ターゲットベースシリンダの個々の端部領域７及び９に、上述したようなターゲットベース接続手段の１つを提供することができる。例えば、ターゲットベースシリンダの両端部領域に、凹部１００、固定カラー２７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０を提供することができる。さらなる実施形態では、ターゲットベースシリンダの一方の端部領域に、凹部１００、固定カラー２７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０提供し、他方の端部領域に凹部１０、固定クランプ１７又は１７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０を提供することができる。さらに別の実施形態では、ターゲットベースシリンダの一方の領域７又は９のみに、上述したような実施形態のターゲットベース接続手段の一方を提供することができる。例えば、ターゲットベースシリンダの一方の端部領域のみに、凹部１００、固定カラー２７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０を提供することができる。
【００８３】
さらに、本明細書で説明するいくつかの実施形態では、ターゲットシリンダを確実に支持するために、スペーサ４０が、ターゲットベースシリンダ４に装着されたときに、その自由端にターゲットベースシリンダ４の側面３に垂直な約１５ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲の高さ、すなわち寸法を有することができる。このことは、組み立てた回転可能なターゲットを実質的に垂直に装着し、スペーサ４０が、底部ターゲットベース支持体に接続された底部ターゲットベース接続手段の一部であり、例えば、ターゲットシリンダの真下又は底部ターゲットシリンダの下に位置する場合に特に望ましいものとなり得る。さらに、組み立てた回転可能なターゲットを垂直に装着した場合、ターゲットベースシリンダの上部端部領域を、第２のターゲットベース接続手段の上部ターゲットベース支持体に保持することができる。このような場合、ターゲットシリンダの上端又は最も上のターゲットシリンダとターゲットベース接続手段との間に間隙を設けることができる。
【００８４】
実施形態では、組み立て回転可能なターゲットが実質的に垂直に装着される。典型的には、実質的に垂直に装着した場合、本明細書で説明する実施形態による固定カラーを含むターゲットベース接続手段によって回転可能なターゲットの下端を保持することができ、本明細書で説明する例による固定クランプを含むターゲットベース接続手段によって回転可能なターゲットの上端を保持することができる。
【００８５】
１つの実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置が提供され、この回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【００８６】
上記１つの実施形態では、ターゲットベース装置が、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含む。
【００８７】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方が、ターゲットベース接続手段の１つを提供されるようになっている。
【００８８】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされたクランピング手段を含む。
【００８９】
上記１つの実施形態及びその修正例によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、固定連結器と、ターゲットベースシリンダに設けられた固定凹部とを含み、固定連結器は、固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようになっている。
【００９０】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段を含む。
【００９１】
上記１つの実施形態及びその修正例によれば、固定連結器が、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００９２】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方が、ターゲットベースシリンダの側面に設けられた１つの固定凹部を含む。
【００９３】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段が、１つの又は上記の固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピングシェルを有する１つの又は上記のクランピング手段と、１つの又は上記の固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェルを有する１つの又は上記のクランピング手段とを含む。
【００９４】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、複数のセグメント化クランプシェルが互いにヒンジ連結される。
【００９５】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベースシリンダがチューブ状ベースシリンダであり、ターゲットベース接続手段、クランピング手段、固定連結器、固定凹部、及びターゲットベース支持接続手段からなる群から選択された少なくとも１つの要素が環状である。
【００９６】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、任意に固定連結器、及びターゲットベース接続手段の固定カラーからなる群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段であるターゲット固定手段を含む。
【００９７】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、回転可能なターゲットベース装置が、回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するようにされる。
【００９８】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベースシリンダが、磁石装置及び冷却システムからなる群から選択された少なくとも１つの要素を収容するための内部空間を含む。
【００９９】
別の実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、実施形態による回転可能なターゲットベース装置を含むスパッタリング装置のための回転可能なターゲットが提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダの側面上に配置された固体ターゲットシリンダを有する。
【０１００】
上記別の実施形態の修正例によれば、回転可能なターゲットベース装置が、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に取り付けられたターゲットベース接続手段の少なくとも１つを有する。
【０１０１】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段のターゲット固定手段が、固体ターゲットシリンダとターゲットベース支持体との間に間隙を提供する。
【０１０２】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、固体ターゲットシリンダが環状であり、第１の端部領域と第２の端部領域の間に位置する。
【０１０３】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段の少なくとも１つがターゲット固定手段の少なくとも１つに隣接して位置することにより固体ターゲットシリンダが調整され、例えば中心に置かれる。
【０１０４】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、固体ターゲットシリンダの内径が、実質的にターゲットベースシリンダの中間部の外径以上である。
【０１０５】
さらなる実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、実施形態による回転可能なターゲットベース装置を含むコーティング装置が提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。この実施形態は、本明細書で開示する他のいずれかの実施形態又はこの修正例と組み合わせることができる。
【０１０６】
さらに別の実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法が提供され、この方法は、実施形態による回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、固体ターゲットシリンダを提供するステップと、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面に配置するステップとを含み、この固体ターゲットシリンダを配置するステップの後に、ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を取り付けるステップを任意に含み、回転可能なターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。この実施形態は、本明細書で開示する他のいずれかの実施形態又はこの修正例と組み合わせることができる。
【０１０７】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、この手段は、ターゲットベース装置内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器と、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピング手段と、固定連結器に含まれて、ターゲットベース装置の端部に設けられた固定凹部内に提供される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーをとからなる群から選択された少なくとも１つの要素を含む。
【０１０８】
固定連結器の固定クランプは、ターゲットベース装置に設けられた固定凹部を少なくとも部分的に埋めるように適合させることができる。ターゲットベース接続手段は、クランプ状に閉じるようになっている複数のセグメント化クランプ要素を有する固定クランプと、固定クランプとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピングシェルを有するクランピング手段と、固定クランプ状に閉じられた複数のセグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピングシェルを有するクランピング手段と、固定クランプとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっている複数のセグメント化クランピングシェルを有するクランピング手段と、固定クランプ状に閉じた複数のセグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっている複数のセグメント化クランピングシェルを有するクランピング手段と、固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピングシェルを有するクランピング手段と、固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっている複数のセグメント化クランピングシェルを有するクランピング手段とからなる群から選択された少なくとも１つの要素を含むことができる。
【０１０９】
固定クランプは、クランプリング状に閉じるようになっている複数の環状セグメント化クランプ要素を含むことができ、クランピング手段は、クランプリング状に閉じた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持コネクタリングとを取り囲むようになっている複数の環状セグメント化クランピングシェルを含むことができ、複数の環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つは、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するようになっている調整手段を含み、調整手段は、任意に環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つの外周に設けられる。
【０１１０】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、複数のセグメント化クランプシェル又は環状セグメント化クランプシェルが互いにヒンジ連結される。
【０１１１】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段が、任意に固定連結器及び固定カラーからなる群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段であるターゲット固定手段を含む。
【０１１２】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続する方法は、回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、クランプリング状に閉じるようにされた複数の環状セグメント化クランプ要素と、クランプリング状に閉じた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持リングとを取り囲むようになっている複数の環状セグメント化クランピングシェルとを含む固定クランプ含むターゲットベース接続手段を提供するステップと、複数の環状セグメント化クランプ要素をクランプリング状に閉じることにより、回転可能なターゲットベース装置の第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を装着するステップと、クランプリングをターゲットベース支持体のターゲットベース支持リングに隣接させるステップと、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するステップとを含み、ターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受けるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【０１１３】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、回転可能なターゲットベース装置が、回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するようにされる。
【０１１４】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベースシリンダが、磁石装置及び冷却システムからなる群から選択された少なくとも１つの要素を収容するための内部空間を含む。
【０１１５】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、固体ターゲットシリンダの内径が、実質的にターゲットベースシリンダの中間部の外径以上である。
【０１１６】
本明細書では、本発明を開示するために、さらに当業者が本発明を作成して使用できるようにするために、最良の形態を含む実施形態を使用している。様々な具体的な実施形態の観点から本発明について説明したが、当業者であれば、特許請求の思想及び範囲内で修正を行って本発明を実施できることを認識するであろう。特に、上述した実施形態又はこれらの修正例の互いに排他的でない特徴を互いに、及び任意に本明細書で説明した例の互いに排他的でない特徴と組み合わせることができる。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲により定められ、当業者が思いつく他の例を含むことができる。このような他の例は、特許請求の範囲に含まれることが意図される。
【０１１７】
上述した内容は本発明の実施形態に関するが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく本発明のその他の及びさらなる実施形態を考案することができ、本発明の範囲は以下の特許請求の範囲により決定される。
【符号の説明】
【０１１８】
２ ターゲットベース装置
３ 側面
４ バッキングチューブ
６ 内部空間
７ 第１の端部領域
９ 第２の端部領域
１０ 凹部
１２ 中間部
１９ 開口部
８０ 開口部
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、一般にスパッタリング装置に関する。より詳細には、回転可能なターゲットベース装置、回転可能なターゲット、コーティング装置、回転可能なターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及び回転可能なターゲットベース装置を接続する方法に関する。具体的には、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置、スパッタリング装置のための回転可能なターゲット、コーティング装置、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、真空チャンバ内でコーティング材料を気化させ又はスパッタリングするなどの多くの方法で、基板上の材料を薄膜蒸着させることができる。スパッタリングによる薄膜蒸着の典型例には、ソーラーウェハの製造又は半導体装置の生産におけるスパッタ蒸着の用途がある。
【０００３】
スパッタリングカソードを操作するとプラズマが生じ、このプラズマのイオンが、基板上に蒸着すべきコーティング材料のターゲット上へと加速する。このターゲットの衝撃によりコーティング材料の原子が放出され、スパッタリングカソードの下にある基板上に蒸着膜として蓄積する。蒸着速度を速めるために磁気的に強化されたカソードの使用が提案されてきたが、これをマグネトロンスパッタリングと呼ぶこともできる。
【０００４】
典型的な磁気的に強化されたスパッタリングカソードは、平らなターゲットプレートと、このターゲットプレートに対して固定位置に装着された一連の磁石とを含むことができる。磁石により提供される磁場が、ターゲットプレート材料のスパッタリングを生じる（単複の）経路又は領域を定める。
【０００５】
他の典型的な磁気的に強化されたスパッタリングカソードとして、外面にターゲット材料の層を施されたバッキングチューブなどのシリンダ状の回転可能なチューブが挙げられる。チューブ内部には、一連の磁石を含むことができる磁気的手段が配置されて磁場を提供する。このチューブは、チューブの縦軸を中心に回転できることにより、チューブが磁気的手段に対して回転して、チューブの外面上にあるターゲット材料の異なる部分又はセグメントを磁石と対向する位置に、及び磁場内に選択的に持ってくることができるようにする。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
回転可能なマグネトロンスパッタリングカソードの製造では、ターゲット材料を、例えばバッキングチューブの外面上に溶射することによって加えることができる。さらに、典型的なスパッタリングターゲットのターゲット材料は、１週間以内などのように急速に枯渇又は消費されることがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記に照らして、請求項１に記載の回転可能なターゲットベース装置と、請求項８に記載の回転可能なターゲットと、請求項１１に記載のコーティング装置と、請求項１２に記載の回転可能なターゲットを作成するための方法と、請求項１４に記載のターゲットベース接続手段とを提供する。
【０００８】
１つの実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置が提供され、この回転可能なターゲットベース装置は、側面を有するターゲットベースシリンダと、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【０００９】
別の実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた回転可能なターゲットベース装置を含むスパッタリング装置のための回転可能なターゲットが提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダの側面上に配置された固体ターゲットシリンダを有するとともに、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００１０】
さらなる実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた回転可能なターゲットベース装置を含むコーティング装置が提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００１１】
さらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法が提供され、この方法は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、固体ターゲットシリンダを提供するステップと、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面に配置するステップとを含み、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００１２】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、この手段は、ターゲットベース装置内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器と、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピング手段と、固定連結器に含まれて、ターゲットベース装置内の端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーとを含む。
【００１３】
従属クレーム、説明及び図面からは、さらなる特徴及び詳細が明らかとなる。
【００１４】
実施形態は、開示する方法を実施するための、及び説明する方法ステップを実施するための装置部品を含む装置にも関する。さらに、実施形態は、説明する装置を動作させる、又は説明する装置を製造する方法にも関する。この方法は、装置又は装置の製造部品の機能を実行するための方法ステップを含むことができる。方法ステップは、ハードウェア構成要素、ファームウェア、ソフトウェア、適当なソフトウェアによりプログラム設定されたコンピュータにより、これらのいずれかの組み合わせにより、又はその他のいずれかの態様で実施することができる。
【００１５】
上述した実施形態の特徴を詳細に理解できるように、上記簡潔に要約した本発明の実施形態のより詳細な説明を、典型的な実施形態を参照しながら行うことができる。添付図面は本発明の実施形態に関連し、以下これらについて説明する。以下の図面を参照しながら行う以下の典型的な実施形態の説明では、上述した実施形態のいくつかをより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】固体ターゲットシリンダを含むスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図２】図１に示す回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダの概略断面図である。
【図３ａ】ターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置を概略的に示す図である。
【図３ｂ】ターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置を概略的に示す図である。
【図３ｃ】上記ターゲットベース接続手段の断面図である。
【図３ｄ】上記ターゲットベース接続手段の平面図である。
【図３ｅ】上記ターゲットベース接続手段の平面図である。
【図３ｆ】本明細書で開示する実施形態によるクランピング手段を示す図である。
【図３ｇ】本明細書で開示する実施形態によるクランピング手段を示す図である。
【図４】別のターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図５】さらなるターゲットベース接続手段の例を備えた図１に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図６ａ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｂ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｃ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｄ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図６ｅ】別のターゲットベース接続手段の例の概略断面図である。
【図７】本明細書で開示する１つの実施形態による回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダの概略断面図である。
【図８ａ】本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図８ｂ】本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図８ｃ】本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。
【図９】図８に示す実施形態によるターゲットベース接続手段の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
１つの実施形態の要素は、これをさらに詳述することなく他の実施形態おいて有利に利用することができる。
【００１８】
以下、様々な実施形態を詳細に参照し、これらの１又はそれ以上を図に示す。個々の実施形態は説明を目的とするものであり、本発明を限定することを意味するものではない。
【００１９】
以下では、範囲を限定することなく、スパッタリングの用途を参照しながら、回転可能なターゲットベース装置、回転可能なターゲット、コーティング装置、回転可能なターゲットを作成するための方法、ターゲットベース接続手段、及び回転可能なターゲットベース装置を接続する方法の実施形態について説明する。典型的には、回転可能なターゲットベース装置及びターゲットベース接続手段は真空対応材料を含み、コーティング装置は真空コーティング装置である。本明細書で説明する実施形態の典型的な用途は、例えば、ソーラーウェハの製造又は半導体装置の生産における、ＬＣＤ、ＴＦＴディスプレイ及びＯＬＥＤ（有機発光ダイオード）などのディスプレイの生産におけるスパッタ蒸着用途である。
【００２０】
以下の図面の説明では、同じ参照番号が同じ構成要素を示す。一般には、個々の実施形態ごとの差異のみについて説明する。
【００２１】
以下では、範囲を限定することなく、回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダのことを、例えばバッキングシリンダ又はバッキングチューブと呼ぶ。回転可能なターゲットは、バッキングチューブ及び固体ターゲットシリンダなどを含む。
【００２２】
１つの実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置が提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【００２３】
ターゲットベース装置は、例えば、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダ上に同心状に配置するようになっている。さらに、固体ターゲットシリンダは、１つの中空シリンダ又はターゲットベースシリンダ上に交互に配置された複数の中空シリンダであってもよい。（単複の）固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダ上に配置することにより、通常は回転可能なターゲットが得られる。この回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するために、回転可能なターゲットベース装置を使用することができる。通常、ターゲットベースシリンダの側面は、シリンダバレル又はシリンダのマントルとして理解することができる。
【００２４】
本明細書で開示する実施形態は、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部からアクセスが可能であるため、固体ターゲット材料チューブなどの固体ターゲットシリンダとすることができるターゲットを、バッキングチューブなどのバッキングシリンダ上に提供できるようになる。これは、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部領域の最大外径が、実質的にバッキングシリンダの中間部の外径以下であるというバッキングシリンダの構造によるものである。従って、バッキングシリンダの中間部の外径に一致する内径を有するシリンダ状の固体ターゲットを、バッキングシリンダ上に容易に同心状に配置することができる。ターゲットは、結合又は非結合ターゲットとして使用できるように設計することができる。従って、いくつかの実施形態では、結合材料を必要とし得る結合により、スパッタリングカソードのバッキングチューブ上に固体ターゲットを提供することができる。さらに、溶射ターゲットのためのバッキングシリンダとは対照的に、本明細書で開示する実施形態を使用すれば、結合又は非結合ターゲットのための、チューブ状などの複数のシリンダ状の固体ターゲット又はターゲットスリーブをバッキングシリンダ上に配置できるようになる。さらに、本明細書で開示する実施形態による回転可能なターゲットベース装置及びバッキングシリンダは、それぞれ繰り返し使用できるとともに、シリンダ状のターゲットを交換するだけで回復することができる。このことは、コーティングの適用中に急速に枯渇するターゲット材料を有する回転可能なターゲットに特に適している。
【００２５】
図１は、スパッタリング装置のための回転可能なターゲット１の例を概略的に示す図である。通常、回転可能なターゲット１は、回転可能なターゲットベース装置２と、本明細書ではターゲット５とも呼ぶ固体ターゲットシリンダとしてのチューブ状固体ターゲット５とを含む。
【００２６】
本明細書で開示する実施形態では、固体ターゲットシリンダ５の内径を、実質的にターゲットベースシリンダの中間部の外径以上にすることができる。典型的には、ターゲット５の外径は、約１００ｍｍ〜約２００ｍｍ、より典型的には約１３０ｍｍ〜約１７０ｍｍ、最も典型的には約１４５ｍｍとすることができる。ターゲット５の内径は、約８０ｍｍ〜約１８０ｍｍ、より典型的には約１１０ｍｍ〜約１５０ｍｍ、最も典型的には約１３３ｍｍの範囲とすることができる。ターゲットの厚みは、約２ｍｍ〜約３０ｍｍの範囲とすることができる。典型的には、ターゲット５の厚みは、約３〜２０ｍｍ、より典型的には約５〜１７ｍｍ、最も典型的には約６〜１２ｍｍとすることができる。さらに、ターゲット５の長さは、約２４０ｍｍ〜約３５００ｍｍ、より典型的には約１３６０ｍｍ〜約１４００ｍｍ、約１５６０ｍｍ〜約１６００ｍｍ、約１６６０ｍｍ〜約１７００ｍｍ、約２０１０ｍｍ〜約２０５０ｍｍ、又は約２５００ｍｍ〜約２５４０ｍｍの範囲とすることができる。中間部１２における、すなわち側面３の領域におけるバッキングチューブの外径は、約８０ｍｍ〜約１８０ｍｍ、より典型的には約１１０ｍｍ〜約１５０ｍｍ、最も典型的には約１３３ｍｍの範囲とすることができる。バッキングチューブの内径は、約６０ｍｍ〜約１６０ｍｍ、より典型的には約９０ｍｍ〜約１３０ｍｍ、最も典型的には約１２５ｍｍの範囲とすることができる。典型的には、バッキングチューブの長さは、約３００ｍｍ〜約３６００ｍｍ、より典型的には約１４４０ｍｍ、約１６４０ｍｍ、約１７４０ｍｍ、約２０９０ｍｍ、約２２４０ｍｍ、約２５８０ｍｍ、又は約３６００ｍｍの範囲とすることができる。本明細書で開示するいくつかの実施形態では、バッキングチューブの中間部１２の外径及び／又は内径が、中間部１２の全長にわたって実質的に一定である。さらに、本明細書で開示するいくつかの実施形態では、固体ターゲットシリンダ５の外径及び／又は内径が、ターゲットの全長にわたって実質的に一定である。
【００２７】
図１に示す回転可能なターゲット１の、上部にターゲット５を配置していない回転可能なターゲットベース装置２を図２にさらに概略的に示す。回転可能なターゲットベース装置２はバッキングチューブ４を含む。本明細書で開示するいくつかの実施形態では、バッキングチューブの少なくとも一方の端部領域の最大外径が、実質的に中間部の外径以下である。
【００２８】
図１に示す例のバッキングチューブ４は、側面３を含む中間部１２を有するとともに、第１の端部領域７及び第２の端部領域９をさらに有する。第１の端部領域７及び第２の端部領域９の両方は、典型的にはバッキングチューブ４の側面３において、中間部の外径と実質的に等しい最大外径を有することができる。さらに、バッキングチューブ４は、個々の端部領域７及び９に開口部８０、１９を有することができる。さらに、バッキングチューブ４は、磁石装置及び冷却システムからなる群から選択された少なくとも１つの要素を収容するための内部空間６を含むことができる。
【００２９】
本明細書で開示する実施形態では、回転可能なターゲットベース装置が、ターゲットベースシリンダをターゲットベースに接続するのに適した少なくとも１つのターゲットベース接続手段を含む。従って、ターゲットベース装置の第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に少なくとも１つのターゲットベース接続手段を設けることができる。この実施形態の変形例では、ターゲットベース接続手段の少なくとも１つを取り外し可能とすることができる。
【００３０】
本明細書で開示する実施形態では、ターゲットベース装置のターゲットベースシリンダの一方又は両方の端部領域が、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有することができ、ここにターゲットベース接続手段を設けることができる。
【００３１】
この結果、たとえターゲットの内径が、バッキングチューブの外径と実質的に等しく又はこれよりもほんのわずかに大きくても、ターゲットをターゲットベース装置に容易に取り付けることができる。これは、最大外径がバッキングチューブの中間部の外径以下であるバッキングチューブの一方の端部にターゲットを取り付けるために、ターゲットベース接続手段を取り外すことができるからである。その後、ターゲットをバッキングチューブ４上に同心状に配置して、バッキングチューブの回転軸と平行に所望の位置に押し込むことができる。いくつかの実施形態では、バッキングチューブの縦中心軸がバッキングチューブの回転軸となる。
【００３２】
ターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている。本明細書で開示する１つの実施形態では、ターゲットベースシリンダを２つのターゲットベース支持体と接続するために、第１及び第２の端部領域の各々にターゲットベース接続手段を１つ提供することができる。さらなる実施形態では、ターゲットベース支持体の一方又は両方を、ターゲットベースシリンダの内部空間に冷却流体又は電源などをさらに供給できる回転ターゲットベース駆動システムの一部とすることができる。
【００３３】
典型的な実施形態によれば、ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方を、ターゲットベース接続手段の１つが提供されるように適合させることができる。
【００３４】
本明細書で開示する典型的な実施形態によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされたクランピング手段を含むことができる。より典型的には、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、固定連結器と、ターゲットベースシリンダに設けられた固定凹部とを含むことができ、固定連結器は、固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようになっている。さらに、クランピング手段を、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むように適合させることができる。ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、ターゲットベースシリンダの側面に設けられた１つの固定凹部を含むことができる。
【００３５】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、この手段は、ターゲットベース装置内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器と、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピング手段と、固定連結器に含まれて、ターゲットベース装置の端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーとからなる群から選択された少なくとも１つの要素を含む。
【００３６】
図２の例に示すように、本明細書ではバッキングチューブとも呼ぶターゲットベースシリンダ４は、個々の端部領域７及び９に凹部１０を含む。上述したように、本例では、第１の端部領域７及び第２の端部領域９の両方が、中間部の外径と実質的に等しい最大外径を有する。凹部１０は、バッキングチューブ４の側面３に設けられる。典型例によれば、凹部１０は環状である。
【００３７】
スパッタリング装置のためのターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するようにされた、本明細書で開示する実施形態によるクランピング手段、及びこのようなクランピング手段をターゲットベース接続手段として含む、本明細書で開示する実施形態の回転可能なターゲットベース装置は、コーティング装置及び／又はスパッタリング装置の回転可能な駆動システムなどのシステム内でターゲットバッキングシリンダをクランプするためにそれぞれ有用である。
【００３８】
図３ａ及び図３ｂは、図２に示す回転可能なターゲットベース装置２に２つのターゲットベース接続手段１１を提供した１つの例を示している。本例では、バッキングチューブ４の第１の端部領域７及び第２の端部領域９に、ターゲットベース接続手段１１が１つずつ提供される。通常、一方又は両方のターゲットベース接続手段１１を、バッキングチューブ４から取り外すことができる。本例では、個々のターゲットベース接続手段１１が取り外し可能であり、これらは、クランプ１７として形成された固定クランプを固定連結器として、及びクランピングシェル１８をクランピング手段として含む。
【００３９】
図３ａから図３ｇに示す例では、クランプ１７及びクランピングシェル１８は環状である。本明細書で開示する実施形態によれば、通常、ターゲットベースシリンダはチューブ状のベースシリンダであり、ターゲットベース接続手段、クランピング手段、固定凹部、及びターゲットベース支持接続手段からなる群から選択された少なくとも１つの要素を環状とすることができる。さらに、本明細書で開示する実施形態では、クランピング手段がセグメント構造を含むことができる。
【００４０】
図３ａは、バッキングチューブ４と、回転可能なターゲットベース装置２のターゲットベース接続手段１１とを組み立てた状態の典型例を示している。この例では、バッキングチューブ４の個々の端部領域が、ターゲットベース支持接続手段としての環状フランジ１６を有するターゲットベース支持体１５に接続される。回転可能なターゲット１のチューブ状固体ターゲット５は示していない。さらに、端部領域７及び９の各々において、１つの環状クランプ１７がバッキングチューブにクランプされる。個々のクランプ１７は、内部突起１９と、対応する環状クランプ１７の内部突起１９が個々の環状凹部１０に提供されるような内径とを有する。図３ｃの断面図は、環状クランプ１７の内部突起１９と、クランプ１７がターゲットベース支持体のフランジ１６に隣接できるクランプ１７の接触面１３とを示している。さらに、図３ａに示すような組み立てた状態では、クランプ１７の外径よりも大きな外径を有する１つの環状クランピングシェル１８が、クランプ１７の各々を覆って装着される。実施形態のクランピングシェル１８を図３ｆにさらに示しており、このクランピングシェル１８は、２つの環状スパン要素２７を各々の側に備えた外側リング２５を含む。クランピングシェル１８の幅、すなわちリング２５の幅は、ターゲットベース支持体１５のクランプ１７及びフランジ１６の幅の合計にわたるようにされる。従って、組み立てた状態では、２つの環状スパン要素２７が、真空シール（図示せず）を含むことができるクランプ１７及びフランジ１６を取り囲み、バッキングチューブ４及びターゲットベース支持体１５をクランピング張力により互いに固定する。これにより、２つのターゲットベース接続手段１１を使用して、バッキングチューブ４とターゲットベース支持体１５の各々との間に真空気密シールを提供することができる。
【００４１】
典型例では、リング２５の幅などのクランピングシェル１８の幅を、クランプ１７及びフランジ１６の幅の合計に等しく又はこれよりもわずかに小さくすることができる。これにより、クランピングシェル１８と、クランプ１７及びフランジ１６の組み合わせとの間に締まり嵌め又は圧入を実現することができる。この結果、クランピングシェル１８を、互いに隣接するクランプ１７及びフランジ１６に圧入固定によって固定することができる。
【００４２】
本例では、バッキングチューブ４上にクランプ１７を装着した場合、通常、クランプ１７の高さ、すなわちクランプ１７の環状カラーのバッキングチューブ４の縦軸に垂直な寸法がフランジ１６の環状カラーの高さに一致する。従って、クランプ１７及びフランジ１６は、これらの外周において整列することができる。例えば、クランプ１７の環状カラーの高さは、約１０ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲とすることができる。
【００４３】
典型的には、クランプは、複数のセグメント化クランプ要素を含むことができ、及び／又はクランピングシェルは、複数のセグメント化クランプシェルを含むことができる。より典型的には、クランプは、環状セグメント化クランプ要素を含むことができ、及び／又はクランピングシェルは、環状セグメント化クランプシェルを含むことができる。クランプ及びクランピングシェルは環状であってもよい。一般に、環状セグメント化要素は、互いに縦方向に揃えて見た場合に観察者にとって環が見えるような長さ及び半径を有する。最も典型的には、環状セグメント化クランプ要素及び／又は環状セグメント化クランプシェルを、本明細書では半円とも呼ぶ半環状とすることができる。さらに、セグメント化クランプ要素又は環状セグメント化クランプ要素を互いにヒンジ連結することができ、及び／又はセグメント化クランプシェル又は環状セグメント化クランプシェルを互いにヒンジ連結することができる。
【００４４】
本明細書で開示する実施形態によれば、クランピング手段を含むターゲットベース接続手段により、バッキングチューブなどのターゲットベース装置に取り付けられた結合又は非結合固体シリンダ状ターゲットを既存のコーティング装置のクランピングシステム内に固定できるようになる。１つの実施形態では、ターゲットベース接続手段が、複数のセグメント化クランピングシェルを含むクランピングシェルを含むことができる。しかしながら、いくつかの実施形態では、クランピングシェルを１つの部品で作成することができる。この部品は、ターゲットベース装置上に、及びターゲットベース装置上に取り付けられたカラー上にクランピングシェルを同心状に配置できるようにするために柔軟な構造を有することができる。
【００４５】
図示のように、本明細書で開示する実施形態のターゲットベース接続手段はバネを必要としない。従って、バッキングチューブとターゲットベース支持体を互いに隣接させた場合、本明細書で開示する実施形態のターゲットベース接続手段がこれらに容易に取り付けられる。また、本明細書で開示する実施形態のターゲットベース接続手段を使用する場合、バッキングチューブを含む回転可能なターゲットをコーティング装置内に取り付けるためにネジなどを使用してさらに固定する必要はない。さらに、ターゲットベース接続手段の実施形態のセグメント構造も、バッキングチューブをターゲットベース支持体に都合良く取り付けやすくする。
【００４６】
図３ａから図３ｇに示す例では、クランプ１７が、セグメント化クランプ要素２１として、互いにヒンジ２０により連結された２つの半円クランプ要素２１を有する。クランプ１７を示す図３ｄ及び図３ｅの平面図に示すように、セグメント化クランプ要素２１をリング状に閉じることができる。さらに、図３ｆ及び図３ｇに示すように、クランピングシェル１８は、セグメント化クランピングシェルとして２つの半円クランピングシェル２３を含む。半円クランピングシェル２３は、互いにヒンジ２４において連結され、これらをリング状に閉じて、例えばクランプカラーを形成することができる。本例によれば、締結具４５により半円クランピングシェル２３を互いに固定することができる。
【００４７】
本例によるクランプ１７のセグメント構造は、突起部１９を環状凹部１０内に位置させながら２つの半円クランプ要素２１がバッキングチューブ４の周囲で閉じられるようにする。例では、クランプ１７及び凹部１０を良好に適合させるために、閉じたクランプ１７の内径が適切に選択され、例えば、閉じたクランプ１７の内径が凹部１０の直径に実質的に等しく又はこれよりもわずかに大きくされる。
【００４８】
さらに、本明細書で説明する実施形態のクランピング手段は、ターゲットベース接続手段の固定連結器の周囲のクランピング手段と、ターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段との取り付けを可能にする寸法及び内径を有する。図３ｆ及び図３ｇに示す１つの実施形態では、クランピングシェル１８が、各々が外側半円要素２８を有する２つの半円クランピングシェル２３と、外側半円要素２８の側面に沿って取り付けられた２つの側方半円スパン要素２９とを含む。クランピングシェル１８を閉じた場合に外側半円要素２８により形成される外側リング２５は、クランプ１７の外径及びフランジ１６の外径よりも大きな内径を有することができる。さらに、図３ａに示すように、クランピングシェル１８を閉じた場合に側方半円スパン要素２９により形成される２つの環状スパン要素２７の内径は、フランジ１６が装着されるターゲットベース支持体１５のバッキングチューブ４及びフランジソケットの外径に一致し、又はこれよりも大きくすることができる。
【００４９】
本明細書で開示する１つの実施形態によれば、ターゲットベース接続手段及び／又はターゲットベース支持体が、面取りしたクランピング領域を含むことができる。例えば、コネクタリング又は環状カラーなどの、ターゲットベース支持体のコネクタは、面取りした外側クランピング領域を有することができる。さらに、クランピングシェル１８などの、ターゲットベース接続手段のクランピング手段は、面取りした内側クランピング領域を有することができる。図４に示すように、図３ａから図３ｇに示す例の変形例によれば、バッキングチューブ４上のクランプ１７及びターゲットベース支持体１５のフランジ１６が面取りした端部を有し、この結果、面取りした側面３０、３１をそれぞれ実現することができる。クランプ１７の面取りした側面３０は、クランプ１７の接触面１３に対向して位置する。さらに、フランジ１６の面取りした側面３１は、クランプ１７の接触面１３と接するようになるフランジ１６の接触面、すなわちフランジ側面に対向して配置される。さらに、クランピングシェル１８の環状スパン要素２７は、クランプ１７及びフランジ１６が隣接した際に、面取りした側面３０及び３１にわたるように対応して傾斜することができる。これにより、真空シール（図示せず）を含むことができるバッキングチューブ４５とフランジ１６に取り付けられたクランプ１７が互いに隣接し、これらを覆ってクランピングシェル１８をクランプした場合、環状スパン要素２７が、クランプ１７及びフランジ１６を真空気密法で固定することができる。
【００５０】
クランプ１７をバッキングチューブ４に取り付けた場合、クランプ１７の面取りした側面３０は、バッキングチューブ４の側面３に対して約１００°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができる。フランジ１６の面取りした側面３１は、ターゲットベース支持体１５のフランジソケットに対して約１００°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができる。クランピングシェル１８の環状スパン要素２７は、リング２５に対して、側面３０、３１の傾斜角に対応する又はこれよりもさらに小さな傾斜角を有することができる。これにより、互いに隣接するクランプ１７及びフランジ１６上にクランピングシェル１８を装着した際にクランピング張力を確立することができる。例えば、一方のスパン要素２７は、リング２５に対して約９５°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができ、他方のスパン要素２７も、リング２５に対して約９５°〜約１２０°の、典型的には約１０５°の範囲の傾斜角を有することができる。従って、クランピングシェル１８を、クランプ１７及びフランジ１６の組み合わせを覆って圧入固定によりクランプした場合、スパン要素２７の傾斜角が増加することができ、その後側面３０、３１の傾斜角に対応することによりクランピング張力を提供することができる。
【００５１】
この面取りしたクランピング領域により、ターゲットベース接続手段の取り付け状態を良くすることができる。例えば図４の例では、面取りした側面３０、３１及び面取りした環状スパン要素２７により、隣接するクランプ１７及びフランジ１６にクランピングシェル１８を押し付けることができるようになる。これにより、回転可能なターゲットベース装置２をターゲットベース支持体１５に都合良く固定できるようになる。
【００５２】
本明細書で開示する別の実施形態によれば、回転可能なターゲットベース装置の少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、任意に固定クランプに提供されるスペーサ手段となるターゲット固定手段を含むことができる。クランプ１７にスペーサ手段としてスペーサ４０を取り付けた点が図３ａから図３ｇの例とは異なるスペーサの例を図５に示す。図５に示すように、バッキングチューブ４とスペーサ４０を含む２つのクランプ１７とを組み立てた場合、スペーサ４０が、バッキングチューブ４の側面３に隣接して提供される。従って、側面３の中心にターゲット５を提供した場合、ターゲット５が、本例ではターゲット５を適所に固定する２つのスペーサ４０間に位置する。一方又は両方のスペーサ４０は環状とすることができる。代替例では、一方又は両方のスペーサ４０が、クランプの側面に沿って取り付けられた複数のスペーサ要素を各々含むことができる。別の実施形態によれば、一方又は両方のスペーサ４０を、（単複の）クランプ１７に加えて別個に提供されるスペーサリングとすることができる。スペーサ４０の幅、すなわち、上部にクランプ１７を装着したときのバッキングチューブ４の回転軸に平行な方向の幅は、約２ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲とすることができ、より典型的には、約２０ｍｍ〜約４０ｍｍの範囲とすることができる。スペーサ４０の高さ、すなわち、上部にクランプ１７を装着したときのスペーサの幅に垂直な、及びバッキングチューブ４の側面３に垂直な寸法は、約１５ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲とすることができる。
【００５３】
さらに、１又はそれ以上のスペーサ４０は、クランピングシェル１８とターゲット５の間に間隙を提供する。間隙は、典型的には約２ｍｍ〜約５０ｍｍの、より典型的には約２０ｍｍ〜約４０ｍｍの範囲の幅を有することができる。これにより、バッキングチューブ４の回転軸、すなわち本例では縦軸に平行なターゲット５の熱膨張が考えられるが、このような熱膨張の悪影響を避けることができる。さらに、回転可能なターゲット１の回転軸に平行なチューブ状固体ターゲット５の、中心位置などの最適位置を実現することができる。クランピングシェル１８とターゲット５の間に間隙が存在しても、スペーサ４０がターゲット５を固定位置に保持する。
【００５４】
本例の変形例では、バッキングチューブにおいてターゲット５を側面３上に配置した場合、スペーサ４０を有するクランプ１７を含む固定手段をバッキングチューブ４の一方の端部に１つだけ提供することができる。バッキングチューブ４の他方の端部領域には、例えばスペーサのないクランプ１７を取り付けることができる。これにより、ターゲット５と、バッキングチューブ４をターゲットベース支持体１５に接続する接続手段のクランピングシェル１８の一方との間に１つの間隙が存在するようになる。
【００５５】
例えば、典型例によれば、スパッタリング用途のためのコーティング装置に回転可能なターゲット１を垂直に装着した場合、バッキングチューブ４の、バッキングチューブ４とターゲット５を含む回転可能なターゲット１の底部に位置する端部領域に、スペーサ４０を含むクランプ１７の一方が提供される。スペーサ４０が、非結合ターゲットを適所に保持するための固定ショルダとして機能するので、このことは非結合ターゲットにとって特に有用である。より詳細には、非結合ターゲットを１又はそれ以上の結合リングとともに取り付けた場合、１又は複数のスペーサ４０により（単複の）結合リングを適所にそれぞれ保持することができる。
【００５６】
本明細書で開示する実施形態は、回転可能なターゲット１をスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するのに適している。１又は複数のスペーサ４０が、チューブ状固体ターゲット５の信頼できる配置、位置合わせ、中央寄せ、さらには固定をそれぞれ実現するので、このことは１又はそれ以上のスペーサ４０を含むターゲットベース接続手段の実施形態に特に当てはまる。
【００５７】
図５に示すターゲットベース接続手段の例のさらなる変形例では、図４に関して上述したように、スペーサ４０を含むクランプ１７とターゲットベース支持体１５のフランジ１６とが、面取りした側面を有することができる。さらに、フランジ１６及びクランプ１７が隣接したときに、クランピングシェル１８の環状スパン要素２７が、面取りした側面３０及び３１にわたるように対応して傾斜することができる。さらに、クランピングシェル１８を閉じたときに側方半円スパン要素２９により形成される２つの環状スパン要素２７の内径を対応して適合させることができる。例えば、組み立てた状態でターゲットの方を向くクランピングシェル１８のスパン要素２７の内径を、スペーサ４０の外径に一致させ又はこれよりも大きくすることができる。
【００５８】
本明細書で開示する実施形態において使用されるターゲット材料の典型例として、ターゲット５は、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）、又は５Ｎ又は３Ｎ品質などのシリコンを含むことができ、これらをＺ−６００などのホウ素でドープすることができる。
【００５９】
さらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法が提供され、この方法は、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、固体ターゲットシリンダを提供するステップと、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面に配置するステップとを含み、ターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面を含む中間部を有するとともに、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とをさらに有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。この方法は、例えば固体ターゲットシリンダを配置するステップの後に、ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を取り付けるステップをさらに含むことができる。回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされた取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含み、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器とを含み、固定連結器は、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００６０】
典型的には、固体ターゲットシリンダは、互いに隣接して提供される１又は複数の中空固体シリンダとすることができる。この１又は複数の固体ターゲットシリンダを、ターゲットベースシリンダ上に同心状に配置することができる。典型的には、上記のさらなる実施形態による固体ターゲットシリンダと（単複の）ターゲットベースシリンダとを組み合わせることにより、回転可能なターゲットが形成される。回転可能なターゲットは、スパッタリングターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するためのものとすることができる。
【００６１】
１つの例では、図２に示すバッキングチューブ４が提供される。次に、チューブ状固体ターゲット５が、第２の端部領域９上などに同心状に配置され、バッキングチューブ４の中心軸、すなわち本例では回転軸に平行に移動して、バッキングチューブ４上の中心に位置決めされる。次に、バッキングチューブ４の個々の端部領域７及び９に、２つのヒンジ連結された半円クランプ要素２１を含む１つのクランプ１７をターゲットベース接続手段として同心状に位置決めすることができる。この位置において、個々のクランプ１７の突起部１９が、バッキングチューブ４の凹部１０の１つを埋める。周囲クランプ１７及びターゲットベース支持体の隣接するフランジ１６の周囲でクランピングシェル１８の一方を閉じ、締結具４５によってクランピングシェル１８を締め付けることにより、個々のクランプ１７をバッキングチューブ４に固定することができる。この結果、チューブ状固体ターゲット５がクランプ１７間に位置して、回転可能なターゲット１を提供するようになる。
【００６２】
上記の例の変形例では、バッキングチューブ４の上部にチューブ状ターゲット５を同心状に配置した後に、バッキングチューブ４の一方の端部領域に一方の固定クランプ１７のみを取り付けることができる。これは、以下で説明するように、回転可能なターゲット１を回復させる際に、例えば枯渇したターゲット５を取り替えるために行うことができる。バッキングチューブ４の他方の端部領域に、ターゲットベース接続手段又はバッキングチューブ４の他方の端部領域に溶接されたフランジなどの他のいずれかの端部部品が既に与えられている場合にも、この方法の上記変形例を使用することができる。
【００６３】
さらに別の実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを回復させる方法を提供することができ、この方法は、実施形態によるスパッタリング装置のための回転可能なターゲットを提供するステップを含み、回転可能なターゲットは、側面を含む中間部を有するとともに、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とをさらに有するターゲットベースシリンダを含む回転可能なターゲットベース装置を含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダの側面上に配置された固体ターゲットシリンダと、少なくとも一方の端部領域上に配置されたターゲットベース接続手段とを有し、前記方法は、ターゲットベースシリンダの少なくとも一方の端部領域からターゲットベース接続手段を取り外すステップと、固体ターゲットシリンダを取り外すステップと、別の固体ターゲットシリンダを提供するステップと、別の固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面上に配置するステップと、ターゲットベースシリンダの少なくとも一方の端部領域にターゲットベース接続手段を取り付けるステップとをさらに含む。
【００６４】
例えば、バッキングチューブ４の第２の端部領域９は、実質的に中間部１２の外径以下の最大外径を有する。従って、例えば、バッキングチューブの中間部の外径よりもわずかに大きな内径を有することができるチューブ状固体ターゲット５を第２の端部領域９の上に同心状に配置することにより、これをバッキングチューブ４の側面３上に配置することができる。その後、チューブ状固体ターゲット５をバッキングチューブの回転軸、すなわち本例では縦軸に沿ってバッキングチューブ４上に移動させ又は押し込むことにより、これを所望の位置に位置決めすることができる。
【００６５】
さらに、実施形態の固体ターゲットシリンダは中空シリンダとすることができる。この固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダ上に中心に配置することができる。典型的には、上記さらに別の実施形態による実施形態の固体ターゲットシリンダ及びターゲットベースシリンダを処理して組み合わせることにより、回転可能なターゲットが回復する。
【００６６】
本明細書で開示する実施形態は、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部からアクセスが可能であるため、固体ターゲット材料チューブとすることができるシリンダ状ターゲットを、バッキングチューブなどのバッキングシリンダ上に提供できるようになる。これは、バッキングシリンダの少なくとも一方の端部領域の最大外径が、実質的にバッキングシリンダの中間部の外径以下であるというバッキングシリンダの構造によるものである。ターゲットは、結合又は非結合ターゲットとして使用できるように設計することができる。本明細書で開示する実施形態では、中間部の側面の外径に一致する内径を有するシリンダ状又はチューブ状固体ターゲットを、バッキングシリンダ上に容易に配置することができる。この結果、いくつかの実施形態では、固体ターゲットをバッキングシリンダに結合することによる費用の発生を避けることができ、数多くの結合材料を使用する必要がなくなるのでさらに費用が削減される。他の実施形態では、結合により固体ターゲットをスパッタリングカソードのバッキングチューブ上に提供することができる。さらに、溶射ターゲットのためのバッキングチューブとは対照的に、本明細書で開示する実施形態を使用すれば、結合又は非結合ターゲットのための、複数のシリンダ状の又はチューブ状の固体ターゲット又はターゲットスリーブをバッキングチューブ上に配置できるようになる。さらに、本明細書で開示する実施形態による回転可能なターゲットベース装置及びバッキングチューブは、それぞれ繰り返し使用できるとともに、シリンダ状のターゲットを交換するだけで回復することができる。このことは、コーティングの適用中に急速に枯渇するターゲット材料を有する回転可能なターゲットには特に適している。さらに、回転可能なターゲットベース装置を使用して、回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着することができる。
【００６７】
さらに、いくつかの実施形態によれば、ターゲット固定手段を有する１又はそれ以上のターゲットベース接続手段が提供され、これらがシリンダ状固体ターゲットとターゲットベース接続手段との間の間隙を考慮するので、バッキングシリンダ材料とターゲット材料との間の熱膨張係数が異なるようにすることができる。また、ターゲットベース接続手段を含む実施形態では、ターゲットをバッキングシリンダに固定し、さらにバッキングシリンダ上の中心に置き、又は所望の位置に位置合わせすることができる。
【００６８】
１つの例によれば、ターゲットベース接続手段が、クランプリング状に閉じるようにされた複数の環状セグメント化クランプ要素を含む固定クランプと、クランプリング状に閉じられた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持リングとを取り囲むようにされた複数の環状セグメント化クランピングシェルを含むクランピング手段とを含むことができ、複数の環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つは、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するようにされた調整手段を含み、調整手段は、任意に環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つの外周に提供される。
【００６９】
例えば、図３ａから図３ｇに示すターゲットベース接続手段１１の例では、クランプ１７及びクランピングシェル１８の代わりに、固定クランプが、図６ａから図６ｅに示すクランプ１７０及びクランピングシェル１８０を含むことができる。調整手段として、図６ｂ及び図６ｃに示すように、一方のクランプ要素２１の端部間などの、クランプ１７０の一方の半円要素２１の外周に、典型的にはスパン要素２１の半円の中間にピン１７２を設けることができる。クランピングシェル１８０は、２つの半円クランピングシェル２３の自由端１８４に、個々の自由端１８４に１つずつの２つの開口部１８２を含むことができる。図６ｅにクランピングシェル１８０を断面図で示し、開口部１８２の位置を示している。図６ｄに示すように、開口部１８２は、その閉じた状態において、クランピングシェル１８０の自由端１８４の接触面に組み合わせ開口部１８３を形成する。クランピングシェル１８０がクランプ１７０の周囲で閉じたときに、開口部１８２を組み合わせた組み合わせ開口部１８３を埋めるようにピン１７２を形成することができる。
【００７０】
或いは、上記の例の変形例では、調整手段を、クランプ１７０の一方の半円要素２１の外周にピン１７２の代わりに配置されたカラードットなどのマーク（図示せず）とすることができる。クランピングシェル１８０が閉じたときに自由端１８４間に間隙を提供するようにクランピングシェル１８０を形成することもでき、例えばそのようにクランピングシェル２３の長さをとることができる。間隙は、クランピングシェル１８０がクランプ１７０の周囲で閉じているときに、マークがクランピングシェル１８０の間隙の下に位置しているかどうかをチェックするために、下にある半円要素２１の外周の光学検査を可能にする。
【００７１】
別の例では、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続する方法が提供され、この方法は、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、クランプリング状に閉じるようにされた複数の環状セグメント化クランプ要素と、クランプリング状に閉じた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持リングとを取り囲むようにされた複数の環状セグメント化クランピングシェルとを含む固定クランプ含むターゲットベース接続手段を提供するステップと、複数の環状セグメント化クランプ要素をクランプリング状に閉じることにより、回転可能なターゲットベース装置の第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を装着するステップと、クランプリングをターゲットベース支持体のターゲットベース支持リングに隣接させるステップと、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するステップとを含み、ターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、複数の環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つは、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するようにされた調整手段を任意に含み、調整手段は、任意に環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つの外周に提供される。
【００７２】
従って、図６ａから図６ｅに示す例によれば、バッキングチューブ４と、クランプ１７０及びクランピングシェル１８０を含むターゲットベース接続手段とを提供することができる。次に、バッキングチューブ４の凹部１０の周囲で半円クランプ要素２１を閉じることにより、クランプ１７０をバッキングチューブ４の第１及び第２の端部領域の一方に装着する。その後、クランプリング１７０を、ターゲットベース支持体１５のターゲットベース支持リング１６に隣接させる。クランピングシェル１８０の半円クランピングシェル２３を、閉じたクランプ１７０及び隣接するターゲットベース支持リング１６の周囲に、ピン１７２がクランピングシェル１８０の開口部１８３内に位置するように配置する。次に、締結具４５を使用して、閉じたクランプ１７０及び隣接するターゲットベース支持リング１６の周囲にクランピングシェル１８０を固定する。自由端１８４間の接触面の開口部１８３にピン１７２が位置するので、クランピングシェル１８の半円クランピング要素２３及びクランプ１７の半円要素２１を互いにオフセット円周位置に提供することができる。例えば、図６ｂに示すように、ピン１７２をクランプ要素２１の半円の中間に取り付けた場合、半円要素２３及び半円クランピング要素２１は、９０°の径方向オフセットを有することができる。すなわち、半円クランピングシェル２３間の接触面の下にある半円クランプ要素２１間の接触面を位置決めしなくて済む。これにより、クランプ圧を均一に分散させることができる。さらに、真空シール（図示せず）を含むことができる真空気密によりバッキングチューブ４をターゲットベース支持体１６に固定して、この固定場所における漏れを回避することができる。
【００７３】
調整手段としてマークを含む上記の例の変形例についても同じである。オフセットを実現するために、本例のバッキングチューブ４及びターゲットベース接続手段をターゲットベース支持体１５に取り付けるオペレータは、クランプ１７０の周囲にクランピングシェル１８０を取り付ける際に、閉じた半円クランピングシェル２３間の間隙内に確実にマークが見えるようにする必要がある。
【００７４】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、このターゲットベース接続手段は、ターゲットベース装置の端部に設けられた固定凹部内に形成される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む固定連結器を含む。さらに、少なくとも１つのターゲットベース接続手段は、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段を含むことができる。
【００７５】
図７は、本明細書で開示する１つの実施形態による回転可能なターゲットベース装置のターゲットベースシリンダ２００の概略断面図である。この実施形態は、端部領域７が、凹部１０の代わりに端部領域１００の最外端に位置する凹部１００を含むという点で図２に示す例とは異なる。従って、凹部１００は環状であり、ターゲットベースシリンダ２００の最外端に設けられ、ターゲットベースシリンダ２００の開口部８０を取り囲む。凹部１００の外周には雄ネジ１０１が形成される。
【００７６】
図８ａ及び図８ｂは、本明細書で開示する実施形態によるターゲットベース接続手段を備えた図７に示す回転可能なターゲットベース装置の概略断面図である。図８ａに示すように、本発明の実施形態のターゲットベース接続手段は、本明細書ではカラー２７０とも呼ぶ固定カラー２７０を含み、これをターゲットベースシリンダ２００の凹部１００に装着することができる。この目的のために、固定カラー２７０は、ターゲットベース装置２００の凹部１００内に形成された雄ネジ１０１に対応する雌ネジ２７１を有する。図８ｂに示すように、カラー２７０及びフランジ１６を互いに隣接させた場合、クランピング手段として図３ｆ及び図３ｇに示すクランピングシェル１８を、ターゲットベースシリンダ２００に取り付けられたカラー２７０とターゲットベース支持体１５のフランジ１６とを覆って装着することができる。本明細書で開示する実施形態では、カラー２７０及び凹部１００を良好に適合させるために、固定カラー２７０の内径が適切に選択され、例えば、内径が凹部１００の直径に実質的に等しく又はこれよりもわずかに大きくされる。さらに、クランピングシェル１８は、カラー２７０及びフランジ１６を互いに隣接させた場合、クランピングシェル１８をカラー２７０及びターゲットベース支持体１５のフランジ１６の周囲に取り付けることができるようになる寸法及び内径を有する。本発明の実施形態では、クランピングシェル１８が、各々が外側半円要素２８を有する２つの半円クランピングシェル２３と、外側半円要素２８の側面に沿って取り付けられた２つの面取りした側方半円スパン要素２９とを含む。クランピングシェル１８を閉じたときに外側半円要素２８により形成される外側リング２５は、カラー２７０の外径及びフランジ１６の外径よりも大きな内径を有することができる。さらに、クランピングシェル１８が閉じたときに側方半円スパン要素２９により形成される２つの環状スパン要素２７の内径は、フランジ１６がそれぞれ装着されるバッキングチューブ４及びターゲットベース支持体１５のフランジソケットの外径に一致し又はこれよりも大きいものとすることができる。
【００７７】
雌ネジ２７１を示す図９にも固定カラー２７０を示している。さらに、図４の例を参照しながら上述したように、固定カラー２７０は、面取りした側面３０及びスペーサ４０を有することができる。本発明の実施形態では、固定カラー２７０及びターゲットベース支持体１５のフランジ１６が面取りした端部を有し、この結果、面取りした側面３０、３１をそれぞれ実現することができる。固定カラー２７０の面取りした側面３０は、カラー２７０の接触面１３に対向して位置する。さらに、フランジ１６の面取りした側面３１は、カラー２７０の接触面１３と接するようになるフランジ１６の接触面、すなわちフランジ側面に対向して配置される。さらに、クランピングシェル１８の環状スパン要素２７は、カラー２７０及びフランジ１６を隣接させた際に、面取りした側面３０及び３１にわたるように対応して傾斜することができる。これにより、真空シール（図示せず）を含むことができるバッキングチューブ４５とフランジ１６に取り付けられたカラー２７０とが互いに隣接し、これらを覆ってクランピングシェル１８をクランプした場合、環状スパン要素２７が、カラー２７０及びフランジ１６を真空気密法で固定することができる。
【００７８】
図８ｃには、固定カラー２７０の変形例を示しており、この変形例は、固定カラー２７０の外周に設けられた複数のボア２７２などの１又はそれ以上の凹部２７２を含む。ボア２７２は、ターゲットベースシリンダ２００の凹部１００に固定カラー２７０を容易に装着するために、工具を係合できるようにするためのものである。
【００７９】
本明細書で開示する実施形態（図示せず）によれば、上述した固定カラー２７０には、面取りした側面３０及び／又はスペーサ４０が提供されないこともある。このような場合、図３ａに示すようなクランピングシェル１８が適しており、これを形成することができる。
【００８０】
さらに、いくつかの実施形態（図示せず）では、図７から図９の実施形態で使用するクランピング手段が、例えば、図３ｆ及び図３ｇを参照しながら説明し図示したような、固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェルを含むことができる。
【００８１】
さらなる実施形態（図示せず）では、図８ａから図８ｃ及び図９に示す固定カラー２７０が、例えば、図５に示すスペーサ４０を参照しながら上述したような構造及び効果を有する細長スペーサ４０を含むことができる。細長スペーサ４０は、例えば面取りした側面３０に隣接する、クランピングシェル１８を係合させるためのより小さな外径の領域を有することができる。
【００８２】
本明細書で説明する他の実施形態によれば、ターゲットベースシリンダの個々の端部領域７及び９に、上述したようなターゲットベース接続手段の１つを提供することができる。例えば、ターゲットベースシリンダの両端部領域に、凹部１００、固定カラー２７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０を提供することができる。さらなる実施形態では、ターゲットベースシリンダの一方の端部領域に、凹部１００、固定カラー２７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０提供し、他方の端部領域に凹部１０、固定クランプ１７又は１７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０を提供することができる。さらに別の実施形態では、ターゲットベースシリンダの一方の領域７又は９のみに、上述したような実施形態のターゲットベース接続手段の一方を提供することができる。例えば、ターゲットベースシリンダの一方の端部領域のみに、凹部１００、固定カラー２７０及び／又はクランピングシェル１８又は１８０を提供することができる。
【００８３】
さらに、本明細書で説明するいくつかの実施形態では、ターゲットシリンダを確実に支持するために、スペーサ４０が、ターゲットベースシリンダ４に装着されたときに、その自由端にターゲットベースシリンダ４の側面３に垂直な約１５ｍｍ〜約５０ｍｍの範囲の高さ、すなわち寸法を有することができる。このことは、組み立てた回転可能なターゲットを実質的に垂直に装着し、スペーサ４０が、底部ターゲットベース支持体に接続された底部ターゲットベース接続手段の一部であり、例えば、ターゲットシリンダの真下又は底部ターゲットシリンダの下に位置する場合に特に望ましいものとなり得る。さらに、組み立てた回転可能なターゲットを垂直に装着した場合、ターゲットベースシリンダの上部端部領域を、第２のターゲットベース接続手段の上部ターゲットベース支持体に保持することができる。このような場合、ターゲットシリンダの上端又は最も上のターゲットシリンダとターゲットベース接続手段との間に間隙を設けることができる。
【００８４】
実施形態では、組み立て回転可能なターゲットが実質的に垂直に装着される。典型的には、実質的に垂直に装着した場合、本明細書で説明する実施形態による固定カラーを含むターゲットベース接続手段によって回転可能なターゲットの下端を保持することができ、本明細書で説明する例による固定クランプを含むターゲットベース接続手段によって回転可能なターゲットの上端を保持することができる。
【００８５】
１つの実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置が提供され、この回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【００８６】
上記１つの実施形態では、ターゲットベース装置が、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようになっている取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段をさらに含む。
【００８７】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方が、ターゲットベース接続手段の１つを提供されるようになっている。
【００８８】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされたクランピング手段を含む。
【００８９】
上記１つの実施形態及びその修正例によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、固定連結器と、ターゲットベースシリンダに設けられた固定凹部とを含み、固定連結器は、固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようになっている。
【００９０】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段を含む。
【００９１】
上記１つの実施形態及びその修正例によれば、固定連結器が、ターゲットベースシリンダの端部に設けられた固定凹部内に形成された雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーを含む。
【００９２】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方が、ターゲットベースシリンダの側面に設けられた１つの固定凹部を含む。
【００９３】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段が、１つの又は上記の固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピングシェルを有する１つの又は上記のクランピング手段と、１つの又は上記の固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェルを有する１つの又は上記のクランピング手段とを含む。
【００９４】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、複数のセグメント化クランプシェルが互いにヒンジ連結される。
【００９５】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベースシリンダがチューブ状ベースシリンダであり、ターゲットベース接続手段、クランピング手段、固定連結器、固定凹部、及びターゲットベース支持接続手段からなる群から選択された少なくとも１つの要素が環状である。
【００９６】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、任意に固定連結器、及びターゲットベース接続手段の固定カラーからなる群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段であるターゲット固定手段を含む。
【００９７】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、回転可能なターゲットベース装置が、回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するようにされる。
【００９８】
上記１つの実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベースシリンダが、磁石装置及び冷却システムからなる群から選択された少なくとも１つの要素を収容するための内部空間を含む。
【００９９】
別の実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、実施形態による回転可能なターゲットベース装置を含むスパッタリング装置のための回転可能なターゲットが提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有し、回転可能なターゲットベース装置は、ターゲットベースシリンダの側面上に配置された固体ターゲットシリンダを有する。
【０１００】
上記別の実施形態の修正例によれば、回転可能なターゲットベース装置が、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に取り付けられたターゲットベース接続手段の少なくとも１つを有する。
【０１０１】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段のターゲット固定手段が、固体ターゲットシリンダとターゲットベース支持体との間に間隙を提供する。
【０１０２】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、固体ターゲットシリンダが環状であり、第１の端部領域と第２の端部領域の間に位置する。
【０１０３】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段の少なくとも１つがターゲット固定手段の少なくとも１つに隣接して位置することにより固体ターゲットシリンダが調整され、例えば中心に置かれる。
【０１０４】
上記別の実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、固体ターゲットシリンダの内径が、実質的にターゲットベースシリンダの中間部の外径以上である。
【０１０５】
さらなる実施形態によれば、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、実施形態による回転可能なターゲットベース装置を含むコーティング装置が提供され、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。この実施形態は、本明細書で開示する他のいずれかの実施形態又はこの修正例と組み合わせることができる。
【０１０６】
さらに別の実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法が提供され、この方法は、実施形態による回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、固体ターゲットシリンダを提供するステップと、固体ターゲットシリンダをターゲットベースシリンダの側面に配置するステップとを含み、この固体ターゲットシリンダを配置するステップの後に、ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を取り付けるステップを任意に含み、回転可能なターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。この実施形態は、本明細書で開示する他のいずれかの実施形態又はこの修正例と組み合わせることができる。
【０１０７】
別のさらなる実施形態によれば、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段が提供され、この手段は、ターゲットベース装置内に設けられた固定凹部と、この固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器と、固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピング手段と、固定連結器に含まれて、ターゲットベース装置の端部に設けられた固定凹部内に提供される雄ネジに対応する雌ネジを有する固定カラーをとからなる群から選択された少なくとも１つの要素を含む。
【０１０８】
固定連結器の固定クランプは、ターゲットベース装置に設けられた固定凹部を少なくとも部分的に埋めるように適合させることができる。ターゲットベース接続手段は、クランプ状に閉じるようになっている複数のセグメント化クランプ要素を有する固定クランプと、固定クランプとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピングシェルを有するクランピング手段と、固定クランプ状に閉じられた複数のセグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピングシェルを有するクランピング手段と、固定クランプとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっている複数のセグメント化クランピングシェルを有するクランピング手段と、固定クランプ状に閉じた複数のセグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっている複数のセグメント化クランピングシェルを有するクランピング手段と、固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっているクランピングシェルを有するクランピング手段と、固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようになっている複数のセグメント化クランピングシェルを有するクランピング手段とからなる群から選択された少なくとも１つの要素を含むことができる。
【０１０９】
固定クランプは、クランプリング状に閉じるようになっている複数の環状セグメント化クランプ要素を含むことができ、クランピング手段は、クランプリング状に閉じた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持コネクタリングとを取り囲むようになっている複数の環状セグメント化クランピングシェルを含むことができ、複数の環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つは、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するようになっている調整手段を含み、調整手段は、任意に環状セグメント化クランプ要素の少なくとも１つの外周に設けられる。
【０１１０】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、複数のセグメント化クランプシェル又は環状セグメント化クランプシェルが互いにヒンジ連結される。
【０１１１】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベース接続手段が、任意に固定連結器及び固定カラーからなる群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段であるターゲット固定手段を含む。
【０１１２】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続する方法は、回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、クランプリング状に閉じるようにされた複数の環状セグメント化クランプ要素と、クランプリング状に閉じた複数の環状セグメント化クランプ要素とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持リングとを取り囲むようになっている複数の環状セグメント化クランピングシェルとを含む固定クランプ含むターゲットベース接続手段を提供するステップと、複数の環状セグメント化クランプ要素をクランプリング状に閉じることにより、回転可能なターゲットベース装置の第１及び第２の端部領域の少なくとも一方にターゲットベース接続手段を装着するステップと、クランプリングをターゲットベース支持体のターゲットベース支持リングに隣接させるステップと、複数の環状セグメント化クランピングシェルを隣接するクランプリング及びターゲットベース支持リング上に、環状セグメント化クランピングシェル及び環状セグメント化クランプ要素が互いにオフセット円周位置に提供されるように装着するステップとを含み、ターゲットベース装置は、上部に固体ターゲットシリンダを受けるようになっており、回転可能なターゲットベース装置は、側面と、中間部と、第１の端部領域と、第１の端部領域に対向する第２の端部領域とを有するターゲットベースシリンダを含み、第１及び第２の端部領域の少なくとも一方は、実質的に中間部の外径以下の最大外径を有する。
【０１１３】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、回転可能なターゲットベース装置が、回転可能なターゲットをスパッタリング装置内に実質的に垂直に装着するようにされる。
【０１１４】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、ターゲットベースシリンダが、磁石装置及び冷却システムからなる群から選択された少なくとも１つの要素を収容するための内部空間を含む。
【０１１５】
上記実施形態及びその修正例のいずれかの修正によれば、固体ターゲットシリンダの内径が、実質的にターゲットベースシリンダの中間部の外径以上である。
【０１１６】
本明細書では、本発明を開示するために、さらに当業者が本発明を作成して使用できるようにするために、最良の形態を含む実施形態を使用している。様々な具体的な実施形態の観点から本発明について説明したが、当業者であれば、特許請求の思想及び範囲内で修正を行って本発明を実施できることを認識するであろう。特に、上述した実施形態又はこれらの修正例の互いに排他的でない特徴を互いに、及び任意に本明細書で説明した例の互いに排他的でない特徴と組み合わせることができる。本発明の特許可能な範囲は、特許請求の範囲により定められ、当業者が思いつく他の例を含むことができる。このような他の例は、特許請求の範囲に含まれることが意図される。
【０１１７】
上述した内容は本発明の実施形態に関するが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく本発明のその他の及びさらなる実施形態を考案することができ、本発明の範囲は以下の特許請求の範囲により決定される。
【符号の説明】
【０１１８】
２ ターゲットベース装置
３ 側面
４ バッキングチューブ
６ 内部空間
７ 第１の端部領域
９ 第２の端部領域
１０ 凹部
１２ 中間部
１９ 開口部
８０ 開口部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置であって、
側面（３）と、中間部（１２）と、第１の端部領域（７）と、該第１の端部領域に対向する第２の端部領域（９）とを有するターゲットベースシリンダ（４）を備え、前記第１及び前記第２の端部領域の少なくとも一方が、実質的に前記中間部の外径以下の最大外径を有し、
前記ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされた取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段（２７０、１８）をさらに備え、
前記少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、前記ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部（１００）と、該固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようになっている固定連結器（２７０）とを含み、
前記固定連結器が、前記ターゲットベースシリンダ（４）の端部に設けられた前記固定凹部（１００）内に形成された雄ネジ（１０１）に対応する雌ネジ（２７１）を有する固定カラー（２７０）を含む、
ことを特徴とする回転可能なターゲットベース装置。
【請求項２】
前記固定凹部が、前記ターゲットベースシリンダの前記側面に設けられ、及び／又は前記少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、前記固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段（１８）を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項３】
前記ターゲットベース接続手段が、前記固定カラー（２７０）とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピングシェル（１８）を有する前記クランピング手段と、前記固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェル（２３）を有する前記クランピング手段とから選択された少なくとも１つの要素を含む、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項４】
前記ターゲットベースシリンダがチューブ状ベースシリンダであり、及び／又は前記ターゲットベース接続手段、前記クランピング手段、前記固定連結器、前記固定凹部、及び前記ターゲットベース支持接続手段からなる群から選択された少なくとも１つの要素が環状である、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項５】
前記複数のセグメント化クランプシェルが、互いにヒンジ連結される、
ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項６】
少なくとも１つのターゲットベース接続手段がターゲット固定手段を含む、
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項７】
前記ターゲット固定手段が、前記固定連結器及び前記固定カラーからなる前記群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段である、
ことを特徴とする請求項６に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項８】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットであって、前記ターゲットベースシリンダの前記側面上に配置された固体ターゲットシリンダを有する、請求項１から請求項７のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置を含む、
ことを特徴とするスパッタリング装置のための回転可能なターゲット。
【請求項９】
前記回転可能なターゲットベース装置が、前記第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に取り付けられた前記ターゲットベース接続手段の少なくとも１つを有し、及び／又は前記ターゲットベース接続手段の前記ターゲット固定手段が、前記固体ターゲットシリンダと前記ターゲットベース支持体との間に間隙を提供する、
ことを特徴とする請求項８に記載のスパッタリング装置のための回転可能なターゲット。
【請求項１０】
前記固体ターゲットシリンダがチューブ状であり、及び／又は前記第１の端部領域と前記第２の端部領域との間に位置し、及び／又は前記ターゲット固定手段の少なくとも１つに隣接して位置することにより、前記ターゲットベース接続手段の少なくとも１つによって調整される、
ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の回転可能なターゲット。
【請求項１１】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置を含む、
ことを特徴とするコーティング装置。
【請求項１２】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法であって、
請求項１から請求項７のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、
固体ターゲットシリンダを提供するステップと、
前記固体ターゲットシリンダを前記ターゲットベースシリンダの前記側面上に配置するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記固体ターゲットシリンダを配置するステップの後に、前記ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に前記ターゲットベース接続手段の１つを取り付けるステップを含む、
ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段であって、
ターゲットベース装置に設けられた固定凹部（１００）と、該固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器（２７０）と、
前記固定連結器に含まれて、前記ターゲットベース装置の端部に設けられた前記固定凹部（１００）内に形成された雄ネジ（１０１）に対応する雌ネジ（２７１）を有する固定カラー（２７０）と、
を含むことを特徴とするターゲットベース接続手段。
【請求項１５】
前記固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段（１８）を含む、
ことを特徴とする請求項１４に記載のターゲットベース接続手段。
【請求項１６】
前記固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピングシェルを有する前記クランピング手段と、前記固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェルを有する前記クランピング手段とから選択された少なくとも１つの要素を含む、
ことを特徴とする請求項１５に記載のターゲットベース接続手段。
【請求項１７】
前記複数のセグメント化クランプシェルが互いにヒンジ連結され、及び／又は前記ターゲットベース接続手段がターゲット固定手段を含み、及び／又は前記ターゲット固定手段が、前記固定連結器及び前記固定カラーからなる群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段である、
ことを特徴とする請求項１４から請求項１６に記載のターゲットベース接続手段。
【請求項１】
上部に固体ターゲットシリンダを受け入れるようにされた、スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置であって、
側面（３）と、中間部（１２）と、第１の端部領域（７）と、該第１の端部領域に対向する第２の端部領域（９）とを有するターゲットベースシリンダ（４）を備え、前記第１及び前記第２の端部領域の少なくとも一方が、実質的に前記中間部の外径以下の最大外径を有し、
前記ターゲットベースシリンダをターゲットベース支持体に接続するようにされた取り外し可能な少なくとも１つのターゲットベース接続手段（２７０、１８）をさらに備え、
前記少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、前記ターゲットベースシリンダ内に設けられた固定凹部（１００）と、該固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようになっている固定連結器（２７０）とを含み、
前記固定連結器が、前記ターゲットベースシリンダ（４）の端部に設けられた前記固定凹部（１００）内に形成された雄ネジ（１０１）に対応する雌ネジ（２７１）を有する固定カラー（２７０）を含む、
ことを特徴とする回転可能なターゲットベース装置。
【請求項２】
前記固定凹部が、前記ターゲットベースシリンダの前記側面に設けられ、及び／又は前記少なくとも１つのターゲットベース接続手段が、前記固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段（１８）を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項３】
前記ターゲットベース接続手段が、前記固定カラー（２７０）とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピングシェル（１８）を有する前記クランピング手段と、前記固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェル（２３）を有する前記クランピング手段とから選択された少なくとも１つの要素を含む、
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項４】
前記ターゲットベースシリンダがチューブ状ベースシリンダであり、及び／又は前記ターゲットベース接続手段、前記クランピング手段、前記固定連結器、前記固定凹部、及び前記ターゲットベース支持接続手段からなる群から選択された少なくとも１つの要素が環状である、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項５】
前記複数のセグメント化クランプシェルが、互いにヒンジ連結される、
ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項６】
少なくとも１つのターゲットベース接続手段がターゲット固定手段を含む、
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項７】
前記ターゲット固定手段が、前記固定連結器及び前記固定カラーからなる前記群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段である、
ことを特徴とする請求項６に記載の回転可能なターゲットベース装置。
【請求項８】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットであって、前記ターゲットベースシリンダの前記側面上に配置された固体ターゲットシリンダを有する、請求項１から請求項７のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置を含む、
ことを特徴とするスパッタリング装置のための回転可能なターゲット。
【請求項９】
前記回転可能なターゲットベース装置が、前記第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に取り付けられた前記ターゲットベース接続手段の少なくとも１つを有し、及び／又は前記ターゲットベース接続手段の前記ターゲット固定手段が、前記固体ターゲットシリンダと前記ターゲットベース支持体との間に間隙を提供する、
ことを特徴とする請求項８に記載のスパッタリング装置のための回転可能なターゲット。
【請求項１０】
前記固体ターゲットシリンダがチューブ状であり、及び／又は前記第１の端部領域と前記第２の端部領域との間に位置し、及び／又は前記ターゲット固定手段の少なくとも１つに隣接して位置することにより、前記ターゲットベース接続手段の少なくとも１つによって調整される、
ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の回転可能なターゲット。
【請求項１１】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置を含む、
ことを特徴とするコーティング装置。
【請求項１２】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットを作成する方法であって、
請求項１から請求項７のいずれかに記載の回転可能なターゲットベース装置を提供するステップと、
固体ターゲットシリンダを提供するステップと、
前記固体ターゲットシリンダを前記ターゲットベースシリンダの前記側面上に配置するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記固体ターゲットシリンダを配置するステップの後に、前記ターゲットベースシリンダの第１及び第２の端部領域の少なくとも一方に前記ターゲットベース接続手段の１つを取り付けるステップを含む、
ことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
スパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベース支持体に接続するためのターゲットベース接続手段であって、
ターゲットベース装置に設けられた固定凹部（１００）と、該固定凹部を少なくとも部分的に埋めるようにされた固定連結器（２７０）と、
前記固定連結器に含まれて、前記ターゲットベース装置の端部に設けられた前記固定凹部（１００）内に形成された雄ネジ（１０１）に対応する雌ネジ（２７１）を有する固定カラー（２７０）と、
を含むことを特徴とするターゲットベース接続手段。
【請求項１５】
前記固定連結器とターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピング手段（１８）を含む、
ことを特徴とする請求項１４に記載のターゲットベース接続手段。
【請求項１６】
前記固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされたクランピングシェルを有する前記クランピング手段と、前記固定カラーとターゲットベース支持体の隣接するターゲットベース支持接続手段とを取り囲むようにされた複数のセグメント化クランピングシェルを有する前記クランピング手段とから選択された少なくとも１つの要素を含む、
ことを特徴とする請求項１５に記載のターゲットベース接続手段。
【請求項１７】
前記複数のセグメント化クランプシェルが互いにヒンジ連結され、及び／又は前記ターゲットベース接続手段がターゲット固定手段を含み、及び／又は前記ターゲット固定手段が、前記固定連結器及び前記固定カラーからなる群から選択された少なくとも１つの要素に提供されるスペーサ手段である、
ことを特徴とする請求項１４から請求項１６に記載のターゲットベース接続手段。
【図１】
【図２】
【図３ａ】
【図３ｂ】
【図３ｃ】
【図３ｄ】
【図３ｅ】
【図３ｆ】
【図３ｇ】
【図４】
【図５】
【図６ａ】
【図６ｂ】
【図６ｃ】
【図６ｄ】
【図６ｅ】
【図７】
【図８ａ】
【図８ｂ】
【図８ｃ】
【図９】
【図２】
【図３ａ】
【図３ｂ】
【図３ｃ】
【図３ｄ】
【図３ｅ】
【図３ｆ】
【図３ｇ】
【図４】
【図５】
【図６ａ】
【図６ｂ】
【図６ｃ】
【図６ｄ】
【図６ｅ】
【図７】
【図８ａ】
【図８ｂ】
【図８ｃ】
【図９】
【公表番号】特表２０１２−５０６４８９（Ｐ２０１２−５０６４８９Ａ）
【公表日】平成２４年３月１５日（２０１２．３．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−５３２６５１（Ｐ２０１１−５３２６５１）
【出願日】平成２１年１０月２３日（２００９．１０．２３）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００９／０６４０１３
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／０４６４８５
【国際公開日】平成２２年４月２９日（２０１０．４．２９）
【出願人】（３９００４０６６０）アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２４年３月１５日（２０１２．３．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１０月２３日（２００９．１０．２３）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００９／０６４０１３
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／０４６４８５
【国際公開日】平成２２年４月２９日（２０１０．４．２９）
【出願人】（３９００４０６６０）アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】ＡＰＰＬＩＥＤ ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ，ＩＮＣＯＲＰＯＲＡＴＥＤ
【Ｆターム（参考）】
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