固体撮像素子検査装置
【課題】 ＤＳＰ７によるインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理が不要で、固体撮像素子の良否検査を高速に行うことができる固体撮像素子検査装置を提供すること。
【解決手段】 固体撮像素子の出力画像データを格納するデータメモリから画像データ処理を行うために画像データを格納する画像処理メモリに画像データを転送するとともにインターレース方式とノンインターレース方式の相互間で画像データの並び替えを行い、所定方式の画像データに基づき固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置であって、
インターレース方式とノンインターレース方式の相互間における画像データの並び替えおよび画像データの転送処理を同時に行う並び替え転送手段を設けたことを特徴とするもの。
【解決手段】 固体撮像素子の出力画像データを格納するデータメモリから画像データ処理を行うために画像データを格納する画像処理メモリに画像データを転送するとともにインターレース方式とノンインターレース方式の相互間で画像データの並び替えを行い、所定方式の画像データに基づき固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置であって、
インターレース方式とノンインターレース方式の相互間における画像データの並び替えおよび画像データの転送処理を同時に行う並び替え転送手段を設けたことを特徴とするもの。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固体撮像素子検査装置に関するものであり、詳しくは、測定した画像データの転送に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、カラー固体撮像素子の検査を短時間で行うことができる装置の構成が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２―２７５０６（段落番号０００７、図２）
【０００４】
ＣＣＤ，ＣＭＯＳなどの固体撮像素子は、例えばデジタルカメラの撮像素子として用いられているが、表示解像度の高分解能化の要求に伴って高集積化が進んでいる。また、デジタルスキャナやファクシミリの撮像素子としては、光源とレンズと固体撮像素子を密着一体化したＣＩＳ(Contact Image Sensor)が用いられている。
【０００５】
図５は、固体撮像素子とその良否検査を行う検査方法を説明するための概念構成例図である。図において、ＣＣＤ撮像素子１は、カラーフィルタ１１、光電変換部１２から構成される。カラーフィルタ１１は、複数のＧｂカラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタから構成されている。Ｇｂカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタは、緑色の光を透過するが、特性が異なっているため、区別される。Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタは、それぞれ青色、赤色の光を透過する。光電変換部１２は、Ｇｂカラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタに対向配置して、光電変換素子ＰＤHV（Ｈ，Ｖ：整数）を設ける。この光電変換素子ＰＤHVは、Ｇｂカラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタにより、色覚を持ったセンサとなる。光源２は、一定照度で均一白色の光をカラーフィルタ１１に照射する。
【０００６】
このような構成において、光源２が一定照度で均一白色の光を一定時間でわたって照射すると、光電変換部１２の光電変換素子ＰＤHVに蓄積される電荷量は一定とならず、光電変換素子ＰＤHVの上に装着されるカラーフィルタ１１の各カラー毎に異なる。これは装着されているカラーフィルタ１１の各カラー毎の分光透過特性が異なるためであり、光電変換素子ＰＤHVで変換される電荷量はカラーフィルタの分光特性に依存した量となる。
【０００７】
ここで、このような固体撮像素子の良否検査には、各カラー毎に分離して行う方法と全てのカラーを混在させたグレー画像として行う方法がある。各カラー毎に分離した特性検査が必要な場合には、特許文献１に記載されているように、ＣＣＤ撮像素子１より得た画像データをカラー別に振り分けて、カラーフィルタに対応する光電変換素子ＰＤHV毎に演算処理を行う。
【０００８】
これに対し、グレー画像として扱う場合には、図６に示すように、ＣＣＤ撮像素子１より得た全画像データをカラー別に振り分けることなく、画像演算処理の対象とする。
【０００９】
図６において、ＣＣＤ撮像素子１から出力されるインターレース方式の画像データは、Ａ／Ｄ変換器３によりデジタルデータに変換される。Ａ／Ｄ変換器３で変換されたデジタルデータは、データの並びがインターレース方式のままでデータメモリ４に格納される。データメモリ４に格納された画像データは、ＤＭＡＣ(ダイレクトメモリアクセスコントローラ)５を介して、画像処理メモリ６に転送される。ＤＳＰ７は、画像処理メモリ６に転送された画像データに基づいて所定の画像演算処理を行う。ここで、画像処理メモリ６とＤＳＰ７は、画像データ処理装置８を構成する。
【００１０】
図７は、図６における画像データの並びの説明図である。ＤＭＡＣ５は、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データ（Ａ）を画像処理メモリ６に転送するのにあたり、（Ｂ）に示すようにデータメモリ４に格納された並び通りのインターレース方式とする。そこで、ＤＳＰ７は、画像処理メモリ６に格納されている画像データの画像処理の実行に先立ち、画像処理メモリ６に格納されている（Ｂ）に示すインターレース方式の画像データを、画像処理しやすいように（Ｃ）に示す奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式の実画像状態への並べ替えを行って画像処理メモリ６に格納しなおす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、このような従来の構成によれば、ＤＳＰ７はインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理を実行しなければならず、そのための処理時間が必要になる。このようなインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理時間は、固体撮像素子検査装置における固体撮像素子の良否検査を高速に行うためには好ましくない。
【００１２】
本発明は、このような従来の問題点を解決するものであり、その目的は、ＤＳＰ７によるインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理が不要で、固体撮像素子の良否検査を高速に行うことができる固体撮像素子検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
固体撮像素子の出力画像データを格納するデータメモリから画像データ処理を行うために画像データを格納する画像処理メモリに画像データを転送するとともにインターレース方式とノンインターレース方式の相互間で画像データの並び替えを行い、所定方式の画像データに基づき固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置であって、
インターレース方式とノンインターレース方式の相互間における画像データの並び替えおよび画像データの転送処理を同時に行う並び替え転送手段、
を設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
前記並び替え転送手段は、ＦＩＦＯメモリであることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の固体撮像素子検査装置において、
前記ＦＩＦＯメモリは、前記データメモリの読み出し側に実装されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の固体撮像素子検査装置において、
前記ＦＩＦＯメモリは、前記画像処理メモリの書き込み側に実装されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
前記並び替え転送手段は、前記データメモリの読み出しアドレスと前記画像処理メモリの書き込みアドレスを設定するアドレス制御手段であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
固体撮像素子の出力画像データは、カラー画像、グレー画像、白黒画像のいずれかであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、インターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理は、画像データの転送処理と同時に行われることになり、従来のような画像データの並び替え処理のための時間は不要になるので、検査装置全体の画像データ処理に要する時間を短縮できて検査の高速化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、図５と共通する部分には同一の符号を付けている。図１において、データメモリ４とＤＭＡＣ５との間には、ＦＩＦＯライトコントローラ９とＦＩＦＯメモリ１０が直列接続されている。
【００２１】
このような構成において、ＦＩＦＯライトコントローラ９は、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データをＦＩＦＯメモリ１０に転送するのにあたり、奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式への並べ替えを行う。
【００２２】
図２は、図１におけるＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送説明図である。ＦＩＦＯライトコントローラ９は、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データ（Ａ）をＦＩＦＯメモリ１０に転送するのにあたり、（Ｂ）に示すように奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式の実画像状態への並べ替えを行う。このようにしてＦＩＦＯメモリ１０に転送格納されたノンインターレース方式の画像データを、（Ｃ）に示すようにそのまま画像処理メモリ６に転送格納する。
【００２３】
そして、ＤＳＰ７は、画像処理メモリ６に転送格納されているノンインターレース方式の実画像状態の画像データに対して、固体撮像素子の良否検査を行うための所定の画像演算処理を行う。
【００２４】
図３は、ＦＩＦＯライトコントローラ９の画像データ転送に関連する部分の具体例を示すブロック図である。ＦＩＦＯライトコントローラ９の画像データ転送関連部分は、1ラインのデータ数を設定するラインデータ数設定レジスタ８１、インターレース数(例えば最大８)を設定するインターレース数設定レジスタ８２、データメモリ４に格納されたインターレースデータのそれぞれの開始アドレスを設定するエリア転送開始アドレス設定レジスタ８３、転送データの総データ数を設定する転送データサイズ設定レジスタ８４、ラインデータ数設定レジスタ８１の値が設定されるラインデータカウンタ８５、インターレース数設定レジスタ８２の値が設定されるエリアカウンタ８６、エリアＸ転送開始アドレス設定レジスタ８３の値が設定されるエリアＸアドレスカウンタ８７、転送データサイズ設定レジスタ８４の値が設定される転送データカウンタ８８などで構成されている。
【００２５】
ＦＩＦＯライトコントローラ９は、これら４つのカウンタ８５〜８８を連係動作させることによりデータメモリ４から所望の画像データを読み出すためのアドレスを生成し、読み出した画像データをＦＩＦＯメモリ１０に転送する。
【００２６】
図４は、ＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送動作の流れを示すフローチャートである。はじめに、ラインデータ数設定レジスタ８１からラインデータカウンタ８５に、1ラインのデータ数を設定する（ＳＰ１）。続いて、インターレース数設定レジスタ８２からエリアカウンタ８６に、インターレース数(例えば最大８)を設定する（ＳＰ２）。続いて、エリアＸ転送開始アドレス設定レジスタ８３からエリアＸアドレスカウンタ８７に、インターレースデータのそれぞれの開始アドレスを設定する（ＳＰ３）。ここで、エリアＸのＸは、
Ｘ＝インターレース数設定レジスタ８２の値―エリアカウンタ８６の値＋１
で表すことができ、インターレース数が例えば最大８の場合には１〜８になる。そして、転送データサイズ設定レジスタ８４から転送データカウンタ８８に、転送データの総データ数を設定する（ＳＰ４）。
【００２７】
次に、エリアＸアドレスカウンタ８７の値をアドレスにして、データメモリ４から画像データを読み出し、ＦＩＦＯメモリ１０に転送格納する（ＳＰ５）。そして、エリアＸアドレスカウンタ８７をカウントアップし（ＳＰ６）、ラインデータカウンタ８５および転送データカウンタ８８をカウントダウンする（ＳＰ７）。
【００２８】
転送データカウンタ８８のカウント値が０か否かを判断し（ＳＰ８）、０であれば転送終了とするが、０でなければ続いてラインデータカウンタ８５のカウント値が０か否かを判断する（ＳＰ９）。
【００２９】
ラインデータカウンタ８５のカウント値が０でなければＳＰ５以降の処理を繰り返して実行し、０であればエリアカウンタ８６をカウントダウンする（ＳＰ１０）。
【００３０】
そして、エリアカウンタ８６のカウント値が０か否かを判断する（ＳＰ１１）。０でなければラインデータカウンタ８５にラインデータ数設定レジスタ８１の値を設定した後（ＳＰ１２）ＳＰ５以降の処理を繰り返して実行し、０であればエリアカウンタ８６にインターレース数設定レジスタ８２の値を設定した後（ＳＰ１３）、ＳＰ１２の処理に移行する。
【００３１】
図４に示した一連の処理を実行することにより、図２に示すように、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データ（Ａ）を、（Ｂ）に示すように奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式の実画像状態への並べ替えを行いながらＦＩＦＯメモリ１０に転送できる。
【００３２】
ＦＩＦＯメモリ１０に転送格納された画像データを読み出して画像処理メモリ６に転送格納する動作は、ＤＭＡＣ５の制御に基づき行われるが、ＦＩＦＯメモリ１０に読み出し可能な画像データがある限り、ＦＩＦＯメモリ１０への画像データの書き込み動作に並行して実行される。
【００３３】
これにより、インターレース方式からノンインターレース方式への画像データの並び替え処理は、画像データの転送処理と同時に行われることから、従来のような画像データの並び替え処理のための時間は不要になり、検査装置全体の画像データ処理に要する時間を短縮できて検査の高速化が実現できる。
【００３４】
なお、上記実施例では、ＦＩＦＯライトコントローラ９のアドレス制御に基づき、データメモリ４から所望の画像データを読み出してＦＩＦＯメモリ１０に転送する際にインターレース方式からノンインターレース方式への画像データの並び替えを行っているが、この部分を例えばＣＰＵに置き換えて、データメモリ４の読み出しアドレスと画像処理メモリ６の書き込みアドレスをプログラムにより設定できるようにすれば、同様の機能が実現できる。
【００３５】
また、上記実施例では、データメモリ４の読み出し側にＦＩＦＯメモリ１０を実装しているが、画像処理メモリ６の書き込み側にこの機能を実装することでも実現できる。
【００３６】
また、上記実施例では、インターレースエリア数は「８」まで可変で設定できるようにしているが、設定できるエリア数の上限はレジスタの構成により変更可能である。
【００３７】
また、上記実施例では、全てのカラーを混在させたグレー画像の場合について説明しているが、各カラー毎に分離して行う場合や、白黒画像にも適用可能である。
【００３８】
さらに、上記実施例では、インターレース方式からノンインターレース方式に変換する場合を説明しているが、ノンインターレース方式からインターレース方式に変換する場合にもアドレスを制御することによって適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１におけるＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送説明図である。
【図３】ＦＩＦＯライトコントローラ９の画像データ転送に関連する部分の具体例を示すブロック図である。
【図４】ＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送動作の流れを示すフローチャートである。
【図５】固体撮像素子とその良否検査を行う検査方法を説明するための概念構成例図である。
【図６】従来の固体撮像素子検査装置の一例を示すブロック図である。
【図７】図６における画像データの並びの説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１ ＣＣＤ撮像素子
２ 光源
３ Ａ／Ｄ変換器
４ データメモリ
５ ＤＭＡＣ(ダイレクトメモリアクセスコントローラ)
６ 画像処理メモリ
７ ＤＳＰ
８ 画像データ処理装置
９ ＦＩＦＯライトコントローラ
１０ ＦＩＦＯメモリ
【技術分野】
【０００１】
本発明は固体撮像素子検査装置に関するものであり、詳しくは、測定した画像データの転送に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、カラー固体撮像素子の検査を短時間で行うことができる装置の構成が開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２―２７５０６（段落番号０００７、図２）
【０００４】
ＣＣＤ，ＣＭＯＳなどの固体撮像素子は、例えばデジタルカメラの撮像素子として用いられているが、表示解像度の高分解能化の要求に伴って高集積化が進んでいる。また、デジタルスキャナやファクシミリの撮像素子としては、光源とレンズと固体撮像素子を密着一体化したＣＩＳ(Contact Image Sensor)が用いられている。
【０００５】
図５は、固体撮像素子とその良否検査を行う検査方法を説明するための概念構成例図である。図において、ＣＣＤ撮像素子１は、カラーフィルタ１１、光電変換部１２から構成される。カラーフィルタ１１は、複数のＧｂカラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタから構成されている。Ｇｂカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタは、緑色の光を透過するが、特性が異なっているため、区別される。Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタは、それぞれ青色、赤色の光を透過する。光電変換部１２は、Ｇｂカラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタに対向配置して、光電変換素子ＰＤHV（Ｈ，Ｖ：整数）を設ける。この光電変換素子ＰＤHVは、Ｇｂカラーフィルタ、Ｂカラーフィルタ、Ｒカラーフィルタ、Ｇｒカラーフィルタにより、色覚を持ったセンサとなる。光源２は、一定照度で均一白色の光をカラーフィルタ１１に照射する。
【０００６】
このような構成において、光源２が一定照度で均一白色の光を一定時間でわたって照射すると、光電変換部１２の光電変換素子ＰＤHVに蓄積される電荷量は一定とならず、光電変換素子ＰＤHVの上に装着されるカラーフィルタ１１の各カラー毎に異なる。これは装着されているカラーフィルタ１１の各カラー毎の分光透過特性が異なるためであり、光電変換素子ＰＤHVで変換される電荷量はカラーフィルタの分光特性に依存した量となる。
【０００７】
ここで、このような固体撮像素子の良否検査には、各カラー毎に分離して行う方法と全てのカラーを混在させたグレー画像として行う方法がある。各カラー毎に分離した特性検査が必要な場合には、特許文献１に記載されているように、ＣＣＤ撮像素子１より得た画像データをカラー別に振り分けて、カラーフィルタに対応する光電変換素子ＰＤHV毎に演算処理を行う。
【０００８】
これに対し、グレー画像として扱う場合には、図６に示すように、ＣＣＤ撮像素子１より得た全画像データをカラー別に振り分けることなく、画像演算処理の対象とする。
【０００９】
図６において、ＣＣＤ撮像素子１から出力されるインターレース方式の画像データは、Ａ／Ｄ変換器３によりデジタルデータに変換される。Ａ／Ｄ変換器３で変換されたデジタルデータは、データの並びがインターレース方式のままでデータメモリ４に格納される。データメモリ４に格納された画像データは、ＤＭＡＣ(ダイレクトメモリアクセスコントローラ)５を介して、画像処理メモリ６に転送される。ＤＳＰ７は、画像処理メモリ６に転送された画像データに基づいて所定の画像演算処理を行う。ここで、画像処理メモリ６とＤＳＰ７は、画像データ処理装置８を構成する。
【００１０】
図７は、図６における画像データの並びの説明図である。ＤＭＡＣ５は、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データ（Ａ）を画像処理メモリ６に転送するのにあたり、（Ｂ）に示すようにデータメモリ４に格納された並び通りのインターレース方式とする。そこで、ＤＳＰ７は、画像処理メモリ６に格納されている画像データの画像処理の実行に先立ち、画像処理メモリ６に格納されている（Ｂ）に示すインターレース方式の画像データを、画像処理しやすいように（Ｃ）に示す奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式の実画像状態への並べ替えを行って画像処理メモリ６に格納しなおす。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、このような従来の構成によれば、ＤＳＰ７はインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理を実行しなければならず、そのための処理時間が必要になる。このようなインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理時間は、固体撮像素子検査装置における固体撮像素子の良否検査を高速に行うためには好ましくない。
【００１２】
本発明は、このような従来の問題点を解決するものであり、その目的は、ＤＳＰ７によるインターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理が不要で、固体撮像素子の良否検査を高速に行うことができる固体撮像素子検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
固体撮像素子の出力画像データを格納するデータメモリから画像データ処理を行うために画像データを格納する画像処理メモリに画像データを転送するとともにインターレース方式とノンインターレース方式の相互間で画像データの並び替えを行い、所定方式の画像データに基づき固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置であって、
インターレース方式とノンインターレース方式の相互間における画像データの並び替えおよび画像データの転送処理を同時に行う並び替え転送手段、
を設けたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
前記並び替え転送手段は、ＦＩＦＯメモリであることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の固体撮像素子検査装置において、
前記ＦＩＦＯメモリは、前記データメモリの読み出し側に実装されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の固体撮像素子検査装置において、
前記ＦＩＦＯメモリは、前記画像処理メモリの書き込み側に実装されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
前記並び替え転送手段は、前記データメモリの読み出しアドレスと前記画像処理メモリの書き込みアドレスを設定するアドレス制御手段であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項１記載の固体撮像素子検査装置において、
固体撮像素子の出力画像データは、カラー画像、グレー画像、白黒画像のいずれかであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、インターレース画像データからノンインターレース画像データへの並べ替え処理は、画像データの転送処理と同時に行われることになり、従来のような画像データの並び替え処理のための時間は不要になるので、検査装置全体の画像データ処理に要する時間を短縮できて検査の高速化が図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示すブロック図であり、図５と共通する部分には同一の符号を付けている。図１において、データメモリ４とＤＭＡＣ５との間には、ＦＩＦＯライトコントローラ９とＦＩＦＯメモリ１０が直列接続されている。
【００２１】
このような構成において、ＦＩＦＯライトコントローラ９は、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データをＦＩＦＯメモリ１０に転送するのにあたり、奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式への並べ替えを行う。
【００２２】
図２は、図１におけるＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送説明図である。ＦＩＦＯライトコントローラ９は、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データ（Ａ）をＦＩＦＯメモリ１０に転送するのにあたり、（Ｂ）に示すように奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式の実画像状態への並べ替えを行う。このようにしてＦＩＦＯメモリ１０に転送格納されたノンインターレース方式の画像データを、（Ｃ）に示すようにそのまま画像処理メモリ６に転送格納する。
【００２３】
そして、ＤＳＰ７は、画像処理メモリ６に転送格納されているノンインターレース方式の実画像状態の画像データに対して、固体撮像素子の良否検査を行うための所定の画像演算処理を行う。
【００２４】
図３は、ＦＩＦＯライトコントローラ９の画像データ転送に関連する部分の具体例を示すブロック図である。ＦＩＦＯライトコントローラ９の画像データ転送関連部分は、1ラインのデータ数を設定するラインデータ数設定レジスタ８１、インターレース数(例えば最大８)を設定するインターレース数設定レジスタ８２、データメモリ４に格納されたインターレースデータのそれぞれの開始アドレスを設定するエリア転送開始アドレス設定レジスタ８３、転送データの総データ数を設定する転送データサイズ設定レジスタ８４、ラインデータ数設定レジスタ８１の値が設定されるラインデータカウンタ８５、インターレース数設定レジスタ８２の値が設定されるエリアカウンタ８６、エリアＸ転送開始アドレス設定レジスタ８３の値が設定されるエリアＸアドレスカウンタ８７、転送データサイズ設定レジスタ８４の値が設定される転送データカウンタ８８などで構成されている。
【００２５】
ＦＩＦＯライトコントローラ９は、これら４つのカウンタ８５〜８８を連係動作させることによりデータメモリ４から所望の画像データを読み出すためのアドレスを生成し、読み出した画像データをＦＩＦＯメモリ１０に転送する。
【００２６】
図４は、ＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送動作の流れを示すフローチャートである。はじめに、ラインデータ数設定レジスタ８１からラインデータカウンタ８５に、1ラインのデータ数を設定する（ＳＰ１）。続いて、インターレース数設定レジスタ８２からエリアカウンタ８６に、インターレース数(例えば最大８)を設定する（ＳＰ２）。続いて、エリアＸ転送開始アドレス設定レジスタ８３からエリアＸアドレスカウンタ８７に、インターレースデータのそれぞれの開始アドレスを設定する（ＳＰ３）。ここで、エリアＸのＸは、
Ｘ＝インターレース数設定レジスタ８２の値―エリアカウンタ８６の値＋１
で表すことができ、インターレース数が例えば最大８の場合には１〜８になる。そして、転送データサイズ設定レジスタ８４から転送データカウンタ８８に、転送データの総データ数を設定する（ＳＰ４）。
【００２７】
次に、エリアＸアドレスカウンタ８７の値をアドレスにして、データメモリ４から画像データを読み出し、ＦＩＦＯメモリ１０に転送格納する（ＳＰ５）。そして、エリアＸアドレスカウンタ８７をカウントアップし（ＳＰ６）、ラインデータカウンタ８５および転送データカウンタ８８をカウントダウンする（ＳＰ７）。
【００２８】
転送データカウンタ８８のカウント値が０か否かを判断し（ＳＰ８）、０であれば転送終了とするが、０でなければ続いてラインデータカウンタ８５のカウント値が０か否かを判断する（ＳＰ９）。
【００２９】
ラインデータカウンタ８５のカウント値が０でなければＳＰ５以降の処理を繰り返して実行し、０であればエリアカウンタ８６をカウントダウンする（ＳＰ１０）。
【００３０】
そして、エリアカウンタ８６のカウント値が０か否かを判断する（ＳＰ１１）。０でなければラインデータカウンタ８５にラインデータ数設定レジスタ８１の値を設定した後（ＳＰ１２）ＳＰ５以降の処理を繰り返して実行し、０であればエリアカウンタ８６にインターレース数設定レジスタ８２の値を設定した後（ＳＰ１３）、ＳＰ１２の処理に移行する。
【００３１】
図４に示した一連の処理を実行することにより、図２に示すように、データメモリ４に格納されている奇数ラインデータ群と偶数ラインデータ群よりなるインターレース方式の並びの画像データ（Ａ）を、（Ｂ）に示すように奇数ラインデータと偶数ラインデータが交互に順番に連続するノンインターレース方式の実画像状態への並べ替えを行いながらＦＩＦＯメモリ１０に転送できる。
【００３２】
ＦＩＦＯメモリ１０に転送格納された画像データを読み出して画像処理メモリ６に転送格納する動作は、ＤＭＡＣ５の制御に基づき行われるが、ＦＩＦＯメモリ１０に読み出し可能な画像データがある限り、ＦＩＦＯメモリ１０への画像データの書き込み動作に並行して実行される。
【００３３】
これにより、インターレース方式からノンインターレース方式への画像データの並び替え処理は、画像データの転送処理と同時に行われることから、従来のような画像データの並び替え処理のための時間は不要になり、検査装置全体の画像データ処理に要する時間を短縮できて検査の高速化が実現できる。
【００３４】
なお、上記実施例では、ＦＩＦＯライトコントローラ９のアドレス制御に基づき、データメモリ４から所望の画像データを読み出してＦＩＦＯメモリ１０に転送する際にインターレース方式からノンインターレース方式への画像データの並び替えを行っているが、この部分を例えばＣＰＵに置き換えて、データメモリ４の読み出しアドレスと画像処理メモリ６の書き込みアドレスをプログラムにより設定できるようにすれば、同様の機能が実現できる。
【００３５】
また、上記実施例では、データメモリ４の読み出し側にＦＩＦＯメモリ１０を実装しているが、画像処理メモリ６の書き込み側にこの機能を実装することでも実現できる。
【００３６】
また、上記実施例では、インターレースエリア数は「８」まで可変で設定できるようにしているが、設定できるエリア数の上限はレジスタの構成により変更可能である。
【００３７】
また、上記実施例では、全てのカラーを混在させたグレー画像の場合について説明しているが、各カラー毎に分離して行う場合や、白黒画像にも適用可能である。
【００３８】
さらに、上記実施例では、インターレース方式からノンインターレース方式に変換する場合を説明しているが、ノンインターレース方式からインターレース方式に変換する場合にもアドレスを制御することによって適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１におけるＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送説明図である。
【図３】ＦＩＦＯライトコントローラ９の画像データ転送に関連する部分の具体例を示すブロック図である。
【図４】ＦＩＦＯライトコントローラ９による画像データの転送動作の流れを示すフローチャートである。
【図５】固体撮像素子とその良否検査を行う検査方法を説明するための概念構成例図である。
【図６】従来の固体撮像素子検査装置の一例を示すブロック図である。
【図７】図６における画像データの並びの説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１ ＣＣＤ撮像素子
２ 光源
３ Ａ／Ｄ変換器
４ データメモリ
５ ＤＭＡＣ(ダイレクトメモリアクセスコントローラ)
６ 画像処理メモリ
７ ＤＳＰ
８ 画像データ処理装置
９ ＦＩＦＯライトコントローラ
１０ ＦＩＦＯメモリ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体撮像素子の出力画像データを格納するデータメモリから画像データ処理を行うために画像データを格納する画像処理メモリに画像データを転送するとともにインターレース方式とノンインターレース方式の相互間で画像データの並び替えを行い、所定方式の画像データに基づき固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置であって、
インターレース方式とノンインターレース方式の相互間における画像データの並び替えおよび画像データの転送処理を同時に行う並び替え転送手段、
を設けたことを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項２】
前記並び替え転送手段は、ＦＩＦＯメモリであることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項３】
前記ＦＩＦＯメモリは、前記データメモリの読み出し側に実装されていることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項４】
前記ＦＩＦＯメモリは、前記画像処理メモリの書き込み側に実装されていることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項５】
前記並び替え転送手段は、前記データメモリの読み出しアドレスと前記画像処理メモリの書き込みアドレスを設定するアドレス制御手段であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項６】
固体撮像素子の出力画像データは、カラー画像、グレー画像、白黒画像のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項１】
固体撮像素子の出力画像データを格納するデータメモリから画像データ処理を行うために画像データを格納する画像処理メモリに画像データを転送するとともにインターレース方式とノンインターレース方式の相互間で画像データの並び替えを行い、所定方式の画像データに基づき固体撮像素子の検査を行う固体撮像素子検査装置であって、
インターレース方式とノンインターレース方式の相互間における画像データの並び替えおよび画像データの転送処理を同時に行う並び替え転送手段、
を設けたことを特徴とする固体撮像素子検査装置。
【請求項２】
前記並び替え転送手段は、ＦＩＦＯメモリであることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項３】
前記ＦＩＦＯメモリは、前記データメモリの読み出し側に実装されていることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項４】
前記ＦＩＦＯメモリは、前記画像処理メモリの書き込み側に実装されていることを特徴とする請求項２記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項５】
前記並び替え転送手段は、前記データメモリの読み出しアドレスと前記画像処理メモリの書き込みアドレスを設定するアドレス制御手段であることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査装置。
【請求項６】
固体撮像素子の出力画像データは、カラー画像、グレー画像、白黒画像のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００６−３３５４４（Ｐ２００６−３３５４４Ａ）
【公開日】平成１８年２月２日（２００６．２．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２１０９９６（Ｐ２００４−２１０９９６）
【出願日】平成１６年７月２０日（２００４．７．２０）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年２月２日（２００６．２．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年７月２０日（２００４．７．２０）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
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