基板検査方法
【課題】一対のガラス基板の端面に形成された凹部をも検出することができ、一対のガラス基板の大きさによらず外形の異常を検出可能な基板検査方法を提供する。
【解決手段】本発明による基板検査方法は、所望の領域をＣＣＤカメラ２１によって撮像し、ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａと垂直に交差する直線Ｌ１〜５上の画像の明暗を測定する。そして、測定された明暗の中に含まれる暗部をカウントし、その結果、２個の暗部が含まれていれば、当該直線Ｌ１〜５上にガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａがずれていることを示すので、ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａの外形に異常があると判定する。
【解決手段】本発明による基板検査方法は、所望の領域をＣＣＤカメラ２１によって撮像し、ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａと垂直に交差する直線Ｌ１〜５上の画像の明暗を測定する。そして、測定された明暗の中に含まれる暗部をカウントし、その結果、２個の暗部が含まれていれば、当該直線Ｌ１〜５上にガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａがずれていることを示すので、ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａの外形に異常があると判定する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられる封着された一対のガラス基板の外形を検査するための基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等には封着された一対のガラス基板が用いられている。そしてこれらの一対のガラス基板を検査するための様々な検査方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
これらの検査方法の一つとして、封着された一対のガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法が知られている。例えば、一対のガラス基板の各辺の端面をＣＣＤカメラ等で撮像し、各辺の端面の長さと設定値の長さとを比較して外形の異常を検出する基板検査方法が知られている。
【０００４】
以下、上述した基板検査方法について図面を参照して具体的に説明する。図５は、検査対象である封着された一対のガラス基板からなる液晶パネルの平面図である。尚、図５において、液晶パネル５１を構成する一対のガラス基板５２、５３は、紙面垂直方向に積まれているものとする。また、設計上は、各ガラス基板５２、５３の４辺は直線状であるものとする。
【０００５】
図５に示す封着された一対のガラス基板５２、５３からなる液晶パネル５１の左側の端面５５ａを検査する場合には、まず、左側の端面５５ａの全体をＣＣＤカメラにより撮像する。そして、画像処理装置等により、撮像された画像に基づいて左側の端面５５ａの長さを測定し、その測定された長さと理想とする設定値の長さとを比較する。尚、設定値の長さとは、両ガラス基板５２、５３の左側の端面が設計どおり直線状に形成されている場合の長さのことである。
【０００６】
ここで、図５に示すように、下側のガラス基板５３の左側の端面は設計どおり直線状に形成されているが、上側のガラス基板５２の一部には、設計と異なり凸部５４が形成されているので、測定された長さは、設定値の長さよりも、凸部５４の円弧の長さだけ長くなる。このように、測定された端面５５ａの長さが設定値の長さとなる場合は、液晶パネル５１の左側の端面５５ａが設計と異なると判定されて、液晶パネル５１を構成するガラス基板５２、５３のいずれかの外形の異常が検出される。
【特許文献１】特開平５−３４０８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図５に示すように、下側のガラス基板５３は直線状に形成されているが、上側のガラス基板５２に凹部５６が形成された右側の端面５５ｂを上述の基板検査方法により検査する場合、凹部５６が形成されている領域では、上側のガラス基板５２の右側の端面５２ａのみならず、下側のガラス基板５３の右側の端面５３ａもＣＣＤカメラによって撮像されてしまう。
【０００８】
このため、液晶パネル５１の右側の端面５５ｂの長さを測定する場合、凹部５６が形成されている領域では下側のガラス基板５３の右側の端面５３ａが液晶パネル５１の端面５５ｂとして認識されるので、測定された長さと設定値の長さとが同じ長さになる。この結果、ガラス基板５２、５３に形成された凹部５６によるガラス基板５２、５３の外形の異常を検出できないといった問題がある。更に、この結果、ガラス基板５２、５３の外形の異常を目視に頼らざるを得ないので、人件費が増大するといった問題を引き起こしている。
【０００９】
また、ガラス基板５２、５３が大型化した場合、小型のガラス基板５２、５３に比べて、同じ大きさの凸部がその端面の長さに対して相対的に小さくなる。この結果、上述した基板検査方法では、ガラス基板５２、５３の端面の全体を撮像した画像によって、ガラス基板５２、５３の外形の異常を検出しているので、ガラス基板５２、５３が大型化した場合、小型のガラス基板５２、５３に比べて小さい凸部の検出が困難になるといった問題がある。
【００１０】
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、一対のガラス基板の端面に形成された凹部をも検出することができ、一対のガラス基板の大きさによらず外形の異常を検出可能な基板検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、封着された一対のガラス基板の外形を検査するための基板検査方法において、前記ガラス基板のいずれかの端面と交差すると共に前記端面位置を含む所定の長さの直線上の明暗を測定する明暗測定段階と、前記明暗測定段階において測定された明暗の中の暗部が１個所以外ならば、前記端面の外形に異常があると判定する外形判定段階とを備えたことを特徴とする基板検査方法である。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、前記明暗測定段階では、前記ガラス基板を透過させた透過光に基づいて明暗を測定することを特徴とする請求項１に記載の基板検査方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、一対のガラス基板のいずれかの端面と交差し端面位置を含む直線上の明暗を測定し、その測定された明暗の中に含まれる暗部の数によって、ガラス基板の端面の外形の異常を検出している。ここで、暗部は、ガラス基板の端面に対応するので、暗部が１個所でない場合は、一対のガラス基板の各端面がずれていることを意味する。従って、暗部が１個所以外の場合は、いずれかのガラス基板の端面の外形が異常であることがわかる。
【００１４】
このため、ガラス基板の端面に形成された凸部のみならず凹部においても、一対のガラス基板の端面がずれている以上、ガラス基板の端面の異常を検出することができる。更に、この結果、ガラス基板の外形の異常を目視に頼ることなく検出することが可能になるので、ガラス基板の検査を自動化し、検出精度を向上させることができると共に、人件費を削減することができる。
【００１５】
また、暗部の数によってガラス基板の外形の異常を判定するので、暗部の数をカウントするための明暗の測定領域を変更することによって、所望の大きさの凸部及び凹部を検出することができる。この結果、ガラス基板の大きさに関わらず、ガラス基板の外形の異常を検出することができる。
【００１６】
また、直線上に存在する明暗のデータを用いているので、検査に必要なデータをデジタル化することが容易である。この結果、従来のようにガラス基板の端面の長さによって外形の異常を判定した場合に比べて、ガラス基板の外形の異常をより正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を液晶パネルに用いられる一対のガラス基板の基板検査方法に適用した一実施形態を説明する。図１は、本実施形態による基板検査方法の検査対象である液晶パネルの斜視図である。図２は、本実施形態による基板検査方法に用いられる検査装置の構成図である。図３及び図４は、本実施形態によるガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【００１８】
図１に示すように、検査対象である液晶パネル１は、一対のガラス基板２、３を備えている。一対のガラス基板２、３は、封着材４によって封着され、封着材４によって囲まれた領域には画像を表示するための液晶を有する表示部５が形成されている。ここで、設計上では、液晶パネル１の４つの全て端面１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが直線状に形成される予定であったが、製造工程の途中で、誤って液晶パネル１の左側の端面１１ａに凸部１２が形成され、右側の端面１１ｃには凹部１４が形成されてしまったものとする。
【００１９】
図２に示すように、本実施形態による基板検査方法に用いられる基板検査装置２０は、ＣＣＤカメラ２１と、光源２２と、制御部２３とを備えている。
【００２０】
ＣＣＤカメラ２１と光源２２は、液晶パネル１を挟み、対向するように設けられている。また、ＣＣＤカメラ２１と光源２２は、液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄに沿って移動可能に構成されている。ＣＣＤカメラ２１は、光源２２からガラス基板２、３を透過した透過光によって、液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄの一部を含む平面像を撮像する。
【００２１】
制御部２３は、画像処理手段２５と、ＣＣＤカメラ２１を制御するためのＣＣＤカメラ制御手段２６と、光源２２を制御するための光源駆動手段２７とを備えている。画像処理手段２５は、ＣＣＤカメラ２１によって撮像された液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄの画像を解析処理するためのものである。
【００２２】
次に、上記液晶パネル１の一対のガラス基板２、３の端面１１ａ〜１１ｄの外形を検査するための基板検査方法について説明する。
【００２３】
まず、制御部２３により、液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄのいずれかの領域にＣＣＤカメラ２１及び光源２２を移動させて配置する。そして、光源２２からの光により、一対のガラス基板２、３の端面１１ａ〜１１ｄを含む領域をＣＣＤカメラ２１によって撮像し、その画像を画像処理手段に送る。
【００２４】
画像処理手段では、送られた画像内に端面１１ａ〜１１ｄに直交し、端面１１ａ〜１１ｄを含む所定の長さの直線を所定の間隔で設定する。そして、その各直線上の明暗を測定する。その結果、当該直線上に暗部が２個所ならば、当該直線上に端面１１ａ〜１１ｄが暗部の数だけ存在することになる。これは、ガラス基板２の端面とガラス基板３の端面とがずれていることを示すので、撮像された領域の端面１１ａ〜１１ｄが設計と異なり、外形が異常であると判定する。
【００２５】
以下、具体的に、一方のガラス基板２に凹部１４又は凸部１２が形成されている場合の基板検査方法について説明する。
【００２６】
まず、上側のガラス基板２に凹部１４が形成されている場合の基板検査方法について、図３を参照して説明する。図３の（ａ）は、ＣＣＤカメラによって撮像された検査領域近傍の液晶パネルの端面の画像の一部を示す。図３の（ｂ）〜（ｄ）は、直線Ｌ１〜Ｌ５上で測定された明暗を示す図である。尚、図３の（ｂ）〜（ｄ）のグラフの縦軸は明暗を示し、横軸は直線Ｌ１〜Ｌ５上の位置を示す。尚、検査領域は、検出したい凹部又は凸部の大きさに合わせて適宜変更可能である。
【００２７】
ＣＣＤカメラ２１から図３の（ａ）に示す画像が画像処理手段２５に送られると、画像処理手段２５は、液晶パネル１の端面１１ｃと直交する直線Ｌ１〜Ｌ５上の明暗を測定し、暗部の数をカウントする。例えば、両ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａが設計通りに形成されている領域の直線Ｌ１及びＬ５の場合、ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａと直線Ｌ１及びＬ５は、それぞれ位置Ｐ１、Ｐ５の１個所でしか交差しないので、図３の（ｂ）に示すように、直線Ｌ１及びＬ５上には暗部は１個所にしか現れない。
【００２８】
一方、上側のガラス基板２に凹部１４が形成されている領域の直線Ｌ３上の明暗を測定した場合、検査領域内において、直線Ｌ３は下側のガラス基板３の端面１６ａと位置Ｐ３の１個所でしか交差しないので、図３の（ｄ）に示すように、暗部が１個所にしか現れないが、凹部１４の端部の直線Ｌ２（Ｌ４）は、上側のガラス基板２の端面１５ａと位置Ｐ２１（Ｐ４１）で交差すると共に、下側のガラス基板３の端面１６ａと位置Ｐ２２（Ｐ４２）で交差する。
【００２９】
従って、図３の（ｃ）に示すように、直線Ｌ２（Ｌ４）上には、暗部が２個所に現れる。このように、暗部が２個所現れた場合には、ガラス基板２の端面１５ａとガラス基板３の端面１６ａとがずれていることを示しているので、当該直線Ｌ２（Ｌ４）と交差する液晶パネル１の端面１１ｃの外形が異常であると判定する。
【００３０】
尚、下側のガラス基板３に凹部が形成されている場合にも、ガラス基板２、３は光を透過可能に構成されているので、上述した場合と同様の光の明暗が測定される。従って、下側のガラス基板３に凹部が形成されている場合でも、外形の異常を検出することが可能である。
【００３１】
次に、上側のガラス基板２に凸部１２が形成されている場合の基板検査方法について図４を参照して説明する。図４の（ａ）は、ＣＣＤカメラによって撮像された画像の一部を示す。図４の（ｂ）〜（ｄ）は、直線Ｌ１１〜Ｌ１５上で測定された明暗を示す図である。尚、図４の（ｂ）〜（ｄ）のグラフの縦軸は明暗を示し、横軸は直線Ｌ１１〜Ｌ１５上の位置を示す。
【００３２】
ＣＣＤカメラ２１から図４の（ａ）に示す画像が画像処理手段２５に送られると、画像処理手段２５は、液晶パネル１の端面１１ａと直交する直線Ｌ１１〜Ｌ１５上の明暗を測定し、暗部の数をカウントする。例えば、両ガラス基板２、３の端面１５ｂ、１６ｂが設計通りに形成されている領域の直線Ｌ１１及びＬ１５の場合、端面１１ａと直線Ｌ１１及びＬ１５は、それぞれ位置Ｐ１１及びＰ１５の１個所でしか交差しないので、図４の（ｂ）に示すように、暗部は１個所にしか現れない。
【００３３】
一方、上側のガラス基板２に凸部１２が形成されている領域の直線Ｌ１３上の明暗を測定した場合、検査領域において、直線Ｌ１３は、下側のガラス基板３の端面１６ｂと位置Ｐ１３の１個所でしか交差しないので、図４の（ｄ）に示すように、暗部が１個所にしか現れないが、凸部１２の端部の直線Ｌ１２（Ｌ１４）は、上側のガラス基板２の端面１５ｂと位置Ｐ１２１（Ｐ１４１）で交差すると共に、下側のガラス基板３の端面１６ｂと位置Ｐ１２２（Ｐ１４２）で交差する。
【００３４】
従って、図４の（ｃ）に示すように、直線Ｌ１２（Ｌ１４）上には、暗部が２個所に現れる。このように、暗部が２個所現れた場合には、ガラス基板２の端面１５ｂとガラス基板３の端面１６ｂとがずれていることを示しているので、直線Ｌ１２（Ｌ１４）上の端面１１ａの外形が異常であると判定する。
【００３５】
尚、下側のガラス基板３に凸部が形成されている場合でも、ガラス基板２、３が光を透過可能なため、凸部を検出可能なことは明らかである。
【００３６】
上述したように、本実施形態に係る基板検査方法では、撮像された一対のガラス基板２、３の端面１１ａ〜１１ｄの画像を用いて、一対のガラス基板２、３の設計上の端面に対して垂直な直線Ｌ１〜Ｌ５及びＬ１１〜Ｌ１５上のいずれかの明暗を測定し、その結果、検出された暗部の数をカウントする。
【００３７】
ここで、この暗部は、当該直線Ｌｎ（ｎ＝１〜５又は１１〜１５）上に存在するガラス基板２、３の端面を意味するので、暗部が２個所である場合は、当該直線Ｌｎ上において、ガラス基板２の端面とガラス基板３の端面とがずれていることを示す。この結果、いずれかのガラス基板２、３の端面の外形が異常であると判定するので、ガラス基板２、３に形成された凸部１２のみならず凹部１４による外形の異常をも検出することができる。
【００３８】
これにより、ガラス基板２、３の外形の異常を目視に頼ることなく検出することができるので、基板検査を自動化することができる。この結果、検出精度を向上させると共に、人件費を削減することができる。
【００３９】
また、暗部の数によってガラス基板２、３の外形の異常を判定するので、暗部の数をカウントするための検査領域を所望の大きさに設定することによって、所望の大きさの凸部１２及び凹部１４を検出することができる。この結果、ガラス基板２、３の大きさに関わらず、確実にガラス基板２、３の外形の異常を検出することができる。
【００４０】
また、直線Ｌｎ上に存在する明暗のデータを用いているので、検査に必要なデータをデジタル化することが容易である。この結果、従来のようにガラス基板の端面の長さによって外形の異常を判定した場合に比べて、ガラス基板２、３の外形の異常をより正確に検出することができる。
【００４１】
また、透過光により撮像された画像によって明暗を測定しているので、反射光を使用した場合に比べて、より明暗を正確に測定することができる。
【００４２】
以上、上記実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。本発明は、特許請求の範囲の記載により定まる本発明の趣旨及び範囲内で変更して実施することができる。即ち、本明細書の記載は、一例であり、本発明を何ら限定的な意味に解釈させるものではない。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。
【００４３】
上述の実施形態では、ガラス基板２、３に形成された全ての凸部１２及び凹部１４を検出可能に構成したが、所定の大きさ以下の凸部１２及び凹部１４は検出しないように構成してもよい。例えば、明暗を測定するための各直線Ｌｎ上に検出された暗部と暗部との距離が所定の値よりも小さい場合は、これらの凸部１２及び凹部１４を平坦と見なし、検出しないように構成すること等が考えられる。尚、所定の値とは、ガラスの寸法誤差規格である０．２ｍｍ等を適用することができる。
【００４４】
また、上述の実施形態では、ＣＣＤカメラ２１と光源２２とをガラス基板２、３を挟み反対側に配置したが、ＣＣＤカメラ２１と光源２２とを同じ側に配置して、反射光によって上述した明暗を測定してもよい。
【００４５】
また、上述の実施形態では、直線Ｌｎをガラス基板２、３の端面に対して直交するように引いたが、直線Ｌｎは必ずしも端面に対して垂直でなくてもよく、当該直線は端面に対して傾斜していてもよい。
【００４６】
また、上述の実施形態では、暗部が２個所ある場合に、液晶パネル１の端面の外形に異常があると判定したが、暗部が２個所以外であっても外形が異常と判定するように構成してもよい。例えば、検査領域よりも大きい凸部が、上下のガラス基板２、３の同じ位置に形成された場合、暗部が０個所になる場合があるが、この場合にも液晶パネル１の端面の外形が異常であると判定するように構成することが考えられる。
【００４７】
また、上述の実施形態では、液晶パネル１を一例としてあげたが、プラズマディスプレイ、ＳＥＤディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等に用いられる一対のガラス基板に対して本発明の基板検査方法を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態による基板検査方法の検査対象である液晶パネルの斜視図である。
【図２】本実施形態による基板検査方法に用いられる検査装置の構成図である。
【図３】本実施形態によるガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【図４】本実施形態によるガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【図５】従来のガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４９】
１ 液晶パネル
２、３ ガラス基板
１１ａ〜１１ｄ 端面
１２ 凸部
１４ 凹部
１５ａ、１５ｂ 端面
１６ａ、１６ｂ 端面
２０ 基板検査装置
２１ ＣＣＤカメラ
２２ 光源
２３ 制御部
２５ 画像処理手段
２６ ＣＣＤカメラ制御手段
２７ 光源駆動手段
Ｌ１〜５ 直線
Ｌ１１〜１５ 直線
Ｐｎ 位置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられる封着された一対のガラス基板の外形を検査するための基板検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等には封着された一対のガラス基板が用いられている。そしてこれらの一対のガラス基板を検査するための様々な検査方法が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
これらの検査方法の一つとして、封着された一対のガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法が知られている。例えば、一対のガラス基板の各辺の端面をＣＣＤカメラ等で撮像し、各辺の端面の長さと設定値の長さとを比較して外形の異常を検出する基板検査方法が知られている。
【０００４】
以下、上述した基板検査方法について図面を参照して具体的に説明する。図５は、検査対象である封着された一対のガラス基板からなる液晶パネルの平面図である。尚、図５において、液晶パネル５１を構成する一対のガラス基板５２、５３は、紙面垂直方向に積まれているものとする。また、設計上は、各ガラス基板５２、５３の４辺は直線状であるものとする。
【０００５】
図５に示す封着された一対のガラス基板５２、５３からなる液晶パネル５１の左側の端面５５ａを検査する場合には、まず、左側の端面５５ａの全体をＣＣＤカメラにより撮像する。そして、画像処理装置等により、撮像された画像に基づいて左側の端面５５ａの長さを測定し、その測定された長さと理想とする設定値の長さとを比較する。尚、設定値の長さとは、両ガラス基板５２、５３の左側の端面が設計どおり直線状に形成されている場合の長さのことである。
【０００６】
ここで、図５に示すように、下側のガラス基板５３の左側の端面は設計どおり直線状に形成されているが、上側のガラス基板５２の一部には、設計と異なり凸部５４が形成されているので、測定された長さは、設定値の長さよりも、凸部５４の円弧の長さだけ長くなる。このように、測定された端面５５ａの長さが設定値の長さとなる場合は、液晶パネル５１の左側の端面５５ａが設計と異なると判定されて、液晶パネル５１を構成するガラス基板５２、５３のいずれかの外形の異常が検出される。
【特許文献１】特開平５−３４０８８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図５に示すように、下側のガラス基板５３は直線状に形成されているが、上側のガラス基板５２に凹部５６が形成された右側の端面５５ｂを上述の基板検査方法により検査する場合、凹部５６が形成されている領域では、上側のガラス基板５２の右側の端面５２ａのみならず、下側のガラス基板５３の右側の端面５３ａもＣＣＤカメラによって撮像されてしまう。
【０００８】
このため、液晶パネル５１の右側の端面５５ｂの長さを測定する場合、凹部５６が形成されている領域では下側のガラス基板５３の右側の端面５３ａが液晶パネル５１の端面５５ｂとして認識されるので、測定された長さと設定値の長さとが同じ長さになる。この結果、ガラス基板５２、５３に形成された凹部５６によるガラス基板５２、５３の外形の異常を検出できないといった問題がある。更に、この結果、ガラス基板５２、５３の外形の異常を目視に頼らざるを得ないので、人件費が増大するといった問題を引き起こしている。
【０００９】
また、ガラス基板５２、５３が大型化した場合、小型のガラス基板５２、５３に比べて、同じ大きさの凸部がその端面の長さに対して相対的に小さくなる。この結果、上述した基板検査方法では、ガラス基板５２、５３の端面の全体を撮像した画像によって、ガラス基板５２、５３の外形の異常を検出しているので、ガラス基板５２、５３が大型化した場合、小型のガラス基板５２、５３に比べて小さい凸部の検出が困難になるといった問題がある。
【００１０】
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、一対のガラス基板の端面に形成された凹部をも検出することができ、一対のガラス基板の大きさによらず外形の異常を検出可能な基板検査方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、封着された一対のガラス基板の外形を検査するための基板検査方法において、前記ガラス基板のいずれかの端面と交差すると共に前記端面位置を含む所定の長さの直線上の明暗を測定する明暗測定段階と、前記明暗測定段階において測定された明暗の中の暗部が１個所以外ならば、前記端面の外形に異常があると判定する外形判定段階とを備えたことを特徴とする基板検査方法である。
【００１２】
また、請求項２記載の発明は、前記明暗測定段階では、前記ガラス基板を透過させた透過光に基づいて明暗を測定することを特徴とする請求項１に記載の基板検査方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、一対のガラス基板のいずれかの端面と交差し端面位置を含む直線上の明暗を測定し、その測定された明暗の中に含まれる暗部の数によって、ガラス基板の端面の外形の異常を検出している。ここで、暗部は、ガラス基板の端面に対応するので、暗部が１個所でない場合は、一対のガラス基板の各端面がずれていることを意味する。従って、暗部が１個所以外の場合は、いずれかのガラス基板の端面の外形が異常であることがわかる。
【００１４】
このため、ガラス基板の端面に形成された凸部のみならず凹部においても、一対のガラス基板の端面がずれている以上、ガラス基板の端面の異常を検出することができる。更に、この結果、ガラス基板の外形の異常を目視に頼ることなく検出することが可能になるので、ガラス基板の検査を自動化し、検出精度を向上させることができると共に、人件費を削減することができる。
【００１５】
また、暗部の数によってガラス基板の外形の異常を判定するので、暗部の数をカウントするための明暗の測定領域を変更することによって、所望の大きさの凸部及び凹部を検出することができる。この結果、ガラス基板の大きさに関わらず、ガラス基板の外形の異常を検出することができる。
【００１６】
また、直線上に存在する明暗のデータを用いているので、検査に必要なデータをデジタル化することが容易である。この結果、従来のようにガラス基板の端面の長さによって外形の異常を判定した場合に比べて、ガラス基板の外形の異常をより正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明を液晶パネルに用いられる一対のガラス基板の基板検査方法に適用した一実施形態を説明する。図１は、本実施形態による基板検査方法の検査対象である液晶パネルの斜視図である。図２は、本実施形態による基板検査方法に用いられる検査装置の構成図である。図３及び図４は、本実施形態によるガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【００１８】
図１に示すように、検査対象である液晶パネル１は、一対のガラス基板２、３を備えている。一対のガラス基板２、３は、封着材４によって封着され、封着材４によって囲まれた領域には画像を表示するための液晶を有する表示部５が形成されている。ここで、設計上では、液晶パネル１の４つの全て端面１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが直線状に形成される予定であったが、製造工程の途中で、誤って液晶パネル１の左側の端面１１ａに凸部１２が形成され、右側の端面１１ｃには凹部１４が形成されてしまったものとする。
【００１９】
図２に示すように、本実施形態による基板検査方法に用いられる基板検査装置２０は、ＣＣＤカメラ２１と、光源２２と、制御部２３とを備えている。
【００２０】
ＣＣＤカメラ２１と光源２２は、液晶パネル１を挟み、対向するように設けられている。また、ＣＣＤカメラ２１と光源２２は、液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄに沿って移動可能に構成されている。ＣＣＤカメラ２１は、光源２２からガラス基板２、３を透過した透過光によって、液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄの一部を含む平面像を撮像する。
【００２１】
制御部２３は、画像処理手段２５と、ＣＣＤカメラ２１を制御するためのＣＣＤカメラ制御手段２６と、光源２２を制御するための光源駆動手段２７とを備えている。画像処理手段２５は、ＣＣＤカメラ２１によって撮像された液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄの画像を解析処理するためのものである。
【００２２】
次に、上記液晶パネル１の一対のガラス基板２、３の端面１１ａ〜１１ｄの外形を検査するための基板検査方法について説明する。
【００２３】
まず、制御部２３により、液晶パネル１の端面１１ａ〜１１ｄのいずれかの領域にＣＣＤカメラ２１及び光源２２を移動させて配置する。そして、光源２２からの光により、一対のガラス基板２、３の端面１１ａ〜１１ｄを含む領域をＣＣＤカメラ２１によって撮像し、その画像を画像処理手段に送る。
【００２４】
画像処理手段では、送られた画像内に端面１１ａ〜１１ｄに直交し、端面１１ａ〜１１ｄを含む所定の長さの直線を所定の間隔で設定する。そして、その各直線上の明暗を測定する。その結果、当該直線上に暗部が２個所ならば、当該直線上に端面１１ａ〜１１ｄが暗部の数だけ存在することになる。これは、ガラス基板２の端面とガラス基板３の端面とがずれていることを示すので、撮像された領域の端面１１ａ〜１１ｄが設計と異なり、外形が異常であると判定する。
【００２５】
以下、具体的に、一方のガラス基板２に凹部１４又は凸部１２が形成されている場合の基板検査方法について説明する。
【００２６】
まず、上側のガラス基板２に凹部１４が形成されている場合の基板検査方法について、図３を参照して説明する。図３の（ａ）は、ＣＣＤカメラによって撮像された検査領域近傍の液晶パネルの端面の画像の一部を示す。図３の（ｂ）〜（ｄ）は、直線Ｌ１〜Ｌ５上で測定された明暗を示す図である。尚、図３の（ｂ）〜（ｄ）のグラフの縦軸は明暗を示し、横軸は直線Ｌ１〜Ｌ５上の位置を示す。尚、検査領域は、検出したい凹部又は凸部の大きさに合わせて適宜変更可能である。
【００２７】
ＣＣＤカメラ２１から図３の（ａ）に示す画像が画像処理手段２５に送られると、画像処理手段２５は、液晶パネル１の端面１１ｃと直交する直線Ｌ１〜Ｌ５上の明暗を測定し、暗部の数をカウントする。例えば、両ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａが設計通りに形成されている領域の直線Ｌ１及びＬ５の場合、ガラス基板２、３の端面１５ａ、１６ａと直線Ｌ１及びＬ５は、それぞれ位置Ｐ１、Ｐ５の１個所でしか交差しないので、図３の（ｂ）に示すように、直線Ｌ１及びＬ５上には暗部は１個所にしか現れない。
【００２８】
一方、上側のガラス基板２に凹部１４が形成されている領域の直線Ｌ３上の明暗を測定した場合、検査領域内において、直線Ｌ３は下側のガラス基板３の端面１６ａと位置Ｐ３の１個所でしか交差しないので、図３の（ｄ）に示すように、暗部が１個所にしか現れないが、凹部１４の端部の直線Ｌ２（Ｌ４）は、上側のガラス基板２の端面１５ａと位置Ｐ２１（Ｐ４１）で交差すると共に、下側のガラス基板３の端面１６ａと位置Ｐ２２（Ｐ４２）で交差する。
【００２９】
従って、図３の（ｃ）に示すように、直線Ｌ２（Ｌ４）上には、暗部が２個所に現れる。このように、暗部が２個所現れた場合には、ガラス基板２の端面１５ａとガラス基板３の端面１６ａとがずれていることを示しているので、当該直線Ｌ２（Ｌ４）と交差する液晶パネル１の端面１１ｃの外形が異常であると判定する。
【００３０】
尚、下側のガラス基板３に凹部が形成されている場合にも、ガラス基板２、３は光を透過可能に構成されているので、上述した場合と同様の光の明暗が測定される。従って、下側のガラス基板３に凹部が形成されている場合でも、外形の異常を検出することが可能である。
【００３１】
次に、上側のガラス基板２に凸部１２が形成されている場合の基板検査方法について図４を参照して説明する。図４の（ａ）は、ＣＣＤカメラによって撮像された画像の一部を示す。図４の（ｂ）〜（ｄ）は、直線Ｌ１１〜Ｌ１５上で測定された明暗を示す図である。尚、図４の（ｂ）〜（ｄ）のグラフの縦軸は明暗を示し、横軸は直線Ｌ１１〜Ｌ１５上の位置を示す。
【００３２】
ＣＣＤカメラ２１から図４の（ａ）に示す画像が画像処理手段２５に送られると、画像処理手段２５は、液晶パネル１の端面１１ａと直交する直線Ｌ１１〜Ｌ１５上の明暗を測定し、暗部の数をカウントする。例えば、両ガラス基板２、３の端面１５ｂ、１６ｂが設計通りに形成されている領域の直線Ｌ１１及びＬ１５の場合、端面１１ａと直線Ｌ１１及びＬ１５は、それぞれ位置Ｐ１１及びＰ１５の１個所でしか交差しないので、図４の（ｂ）に示すように、暗部は１個所にしか現れない。
【００３３】
一方、上側のガラス基板２に凸部１２が形成されている領域の直線Ｌ１３上の明暗を測定した場合、検査領域において、直線Ｌ１３は、下側のガラス基板３の端面１６ｂと位置Ｐ１３の１個所でしか交差しないので、図４の（ｄ）に示すように、暗部が１個所にしか現れないが、凸部１２の端部の直線Ｌ１２（Ｌ１４）は、上側のガラス基板２の端面１５ｂと位置Ｐ１２１（Ｐ１４１）で交差すると共に、下側のガラス基板３の端面１６ｂと位置Ｐ１２２（Ｐ１４２）で交差する。
【００３４】
従って、図４の（ｃ）に示すように、直線Ｌ１２（Ｌ１４）上には、暗部が２個所に現れる。このように、暗部が２個所現れた場合には、ガラス基板２の端面１５ｂとガラス基板３の端面１６ｂとがずれていることを示しているので、直線Ｌ１２（Ｌ１４）上の端面１１ａの外形が異常であると判定する。
【００３５】
尚、下側のガラス基板３に凸部が形成されている場合でも、ガラス基板２、３が光を透過可能なため、凸部を検出可能なことは明らかである。
【００３６】
上述したように、本実施形態に係る基板検査方法では、撮像された一対のガラス基板２、３の端面１１ａ〜１１ｄの画像を用いて、一対のガラス基板２、３の設計上の端面に対して垂直な直線Ｌ１〜Ｌ５及びＬ１１〜Ｌ１５上のいずれかの明暗を測定し、その結果、検出された暗部の数をカウントする。
【００３７】
ここで、この暗部は、当該直線Ｌｎ（ｎ＝１〜５又は１１〜１５）上に存在するガラス基板２、３の端面を意味するので、暗部が２個所である場合は、当該直線Ｌｎ上において、ガラス基板２の端面とガラス基板３の端面とがずれていることを示す。この結果、いずれかのガラス基板２、３の端面の外形が異常であると判定するので、ガラス基板２、３に形成された凸部１２のみならず凹部１４による外形の異常をも検出することができる。
【００３８】
これにより、ガラス基板２、３の外形の異常を目視に頼ることなく検出することができるので、基板検査を自動化することができる。この結果、検出精度を向上させると共に、人件費を削減することができる。
【００３９】
また、暗部の数によってガラス基板２、３の外形の異常を判定するので、暗部の数をカウントするための検査領域を所望の大きさに設定することによって、所望の大きさの凸部１２及び凹部１４を検出することができる。この結果、ガラス基板２、３の大きさに関わらず、確実にガラス基板２、３の外形の異常を検出することができる。
【００４０】
また、直線Ｌｎ上に存在する明暗のデータを用いているので、検査に必要なデータをデジタル化することが容易である。この結果、従来のようにガラス基板の端面の長さによって外形の異常を判定した場合に比べて、ガラス基板２、３の外形の異常をより正確に検出することができる。
【００４１】
また、透過光により撮像された画像によって明暗を測定しているので、反射光を使用した場合に比べて、より明暗を正確に測定することができる。
【００４２】
以上、上記実施形態を用いて本発明を詳細に説明したが、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。本発明は、特許請求の範囲の記載により定まる本発明の趣旨及び範囲内で変更して実施することができる。即ち、本明細書の記載は、一例であり、本発明を何ら限定的な意味に解釈させるものではない。以下、上記実施形態を一部変更した変更形態について説明する。
【００４３】
上述の実施形態では、ガラス基板２、３に形成された全ての凸部１２及び凹部１４を検出可能に構成したが、所定の大きさ以下の凸部１２及び凹部１４は検出しないように構成してもよい。例えば、明暗を測定するための各直線Ｌｎ上に検出された暗部と暗部との距離が所定の値よりも小さい場合は、これらの凸部１２及び凹部１４を平坦と見なし、検出しないように構成すること等が考えられる。尚、所定の値とは、ガラスの寸法誤差規格である０．２ｍｍ等を適用することができる。
【００４４】
また、上述の実施形態では、ＣＣＤカメラ２１と光源２２とをガラス基板２、３を挟み反対側に配置したが、ＣＣＤカメラ２１と光源２２とを同じ側に配置して、反射光によって上述した明暗を測定してもよい。
【００４５】
また、上述の実施形態では、直線Ｌｎをガラス基板２、３の端面に対して直交するように引いたが、直線Ｌｎは必ずしも端面に対して垂直でなくてもよく、当該直線は端面に対して傾斜していてもよい。
【００４６】
また、上述の実施形態では、暗部が２個所ある場合に、液晶パネル１の端面の外形に異常があると判定したが、暗部が２個所以外であっても外形が異常と判定するように構成してもよい。例えば、検査領域よりも大きい凸部が、上下のガラス基板２、３の同じ位置に形成された場合、暗部が０個所になる場合があるが、この場合にも液晶パネル１の端面の外形が異常であると判定するように構成することが考えられる。
【００４７】
また、上述の実施形態では、液晶パネル１を一例としてあげたが、プラズマディスプレイ、ＳＥＤディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等に用いられる一対のガラス基板に対して本発明の基板検査方法を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態による基板検査方法の検査対象である液晶パネルの斜視図である。
【図２】本実施形態による基板検査方法に用いられる検査装置の構成図である。
【図３】本実施形態によるガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【図４】本実施形態によるガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【図５】従来のガラス基板の外形の異常を検出するための基板検査方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４９】
１ 液晶パネル
２、３ ガラス基板
１１ａ〜１１ｄ 端面
１２ 凸部
１４ 凹部
１５ａ、１５ｂ 端面
１６ａ、１６ｂ 端面
２０ 基板検査装置
２１ ＣＣＤカメラ
２２ 光源
２３ 制御部
２５ 画像処理手段
２６ ＣＣＤカメラ制御手段
２７ 光源駆動手段
Ｌ１〜５ 直線
Ｌ１１〜１５ 直線
Ｐｎ 位置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
封着された一対のガラス基板の外形を検査するための基板検査方法において、
前記ガラス基板のいずれかの端面と交差すると共に前記端面位置を含む所定の長さの直線上の明暗を測定する明暗測定段階と、
前記明暗測定段階において測定された明暗の中の暗部が１個所以外ならば、前記端面の外形に異常があると判定する外形判定段階とを備えたことを特徴とする基板検査方法。
【請求項２】
前記明暗測定段階では、前記ガラス基板を透過させた透過光に基づいて明暗を測定することを特徴とする請求項１に記載の基板検査方法。
【請求項１】
封着された一対のガラス基板の外形を検査するための基板検査方法において、
前記ガラス基板のいずれかの端面と交差すると共に前記端面位置を含む所定の長さの直線上の明暗を測定する明暗測定段階と、
前記明暗測定段階において測定された明暗の中の暗部が１個所以外ならば、前記端面の外形に異常があると判定する外形判定段階とを備えたことを特徴とする基板検査方法。
【請求項２】
前記明暗測定段階では、前記ガラス基板を透過させた透過光に基づいて明暗を測定することを特徴とする請求項１に記載の基板検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００７−３２２１４２（Ｐ２００７−３２２１４２Ａ）
【公開日】平成１９年１２月１３日（２００７．１２．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１４９５７９（Ｐ２００６−１４９５７９）
【出願日】平成１８年５月３０日（２００６．５．３０）
【出願人】（０００１１６０２４）ローム株式会社 (3,539)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月１３日（２００７．１２．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月３０日（２００６．５．３０）
【出願人】（０００１１６０２４）ローム株式会社 (3,539)
【Ｆターム（参考）】
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