有機エレクトロルミネッセンス素子及びそれを用いた露光装置並びに画像形成装置
【課題】簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することを目的とする。
【解決手段】陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、発光部及び隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えている構成としたものであり、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層８ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制でき、長寿命性に優れるという効果を有する。
【解決手段】陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、発光部及び隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えている構成としたものであり、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層８ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制でき、長寿命性に優れるという効果を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種々の装置において発光素子等に用いられる有機エレクトロルミネッセンス素子及びそれを用いた露光装置並びに画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、有機材料を正孔輸送層と発光層の２層に分けた機能分離型の積層構造を有する有機エレクトロルミネッセンス素子についての研究が盛んに行われている。特に、有機エレクトロルミネッセンス素子の実用化のためには不可欠である高効率化・長寿命化についても十分検討がなされており、近年、有機エレクトロルミネッセンス素子を用いたディスプレイ等が実現されている。
【０００３】
また、電子写真技術による画像形成装置には、一様に所定の電位に帯電した感光体に画像データに応じた露光光を照射してこの感光体上に静電潜像を書き込むための露光装置が設けられており、その光源として有機エレクトロルミネッセンス素子が利用されている。
【０００４】
ここで、従来の一般的な有機エレクトロルミネッセンス素子の構成について、図面を用いて説明する。
【０００５】
図８は従来のエレクトロルミネッセンス素子の構成を示す断面図であり、図９は従来のエレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【０００６】
図９に示すように、有機エレクトロルミネッセンス素子３０は、ガラス等で構成される基板３１上に、スパッタリング法や抵抗加熱蒸着法により形成されたＩＴＯ等の透明な導電性膜からなる陽極３２と、陽極３２上に同じく抵抗加熱蒸着法等により形成されたＮ，Ｎ'−ジフェニル−Ｎ，Ｎ'−ビス（３−メチルフェニル）−１，１'−ジフェニル−４，４'−ジアミン（以下、ＴＰＤと略称する。）等からなる正孔輸送層３３と、正孔輸送層３３上に抵抗加熱蒸着法により形成された８−Ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎｅ Ａｌｕｍｉｎｕｍ（以下、Ａｌｑ3と略称する。）等からなる発光層３４と、発光層３４上に抵抗加熱蒸着法等により形成された１００ｎｍ〜３００ｎｍ程度の膜厚の金属膜からなる陰極３５を備えている。
【０００７】
上記構成を有する有機エレクトロルミネッセンス素子３０の陽極３２にプラス、陰極３５にマイナスの直流電圧又は直流電流を印加すると、陽極３２から正孔輸送層３３を介して発光層３４に正孔が注入され、陰極３５から発光層３４に電子が注入される。発光層３４では正孔と電子の再結合が生じ、これに伴って生成される励起子が励起状態から基底状態へ移行する際に発光現象が起こる。
【０００８】
そして、このような有機エレクトロルミネッセンス素子３０において、通常、発光層３４中の蛍光体から放射される光は、蛍光体を中心とした全方位に出射され、正孔輸送層３３、陽極３２、基板３１を経由して空気中へ放射される。あるいは、一旦、光取り出し方向（基板３１方向）とは逆方向へ向かい、陰極３５により反射され、発光層３４、正孔輸送層３３、陽極３２、基板３１を経由して、空気中へ放射される。
【０００９】
なお、有機エレクトロルミネッセンス素子の構造については（特許文献１）や（特許文献２）等で開示されているものがある。
【００１０】
しかしながら、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する有機物は溶媒に侵され易く、また有機物に電子を注入するために通常使用される仕事関数の小さい金属は水分や酸素により劣化し易く、陰極を形成した後に、有機エレクトロルミネッセンス素子を複数の発光部に分離することは困難であり、微細な発光画素を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を作成することは困難であった。
【００１１】
そこで、図９に示すように、分離させたい発光部３８の間には陽極３２上にポリイミド等の絶縁層を成膜して形成した画素規制層３６を設け、さらに陽極３２上に形成される発光層３４及び陰極３５の表面よりも高く、底部の幅よりも頂部の幅が大きな隔壁３７を画素規制層３６上に形成し、発光層３４及び陰極３５の材料を真空蒸着することにより、隔壁３７の上下の形状の差によってできる影の部分に材料が蒸着されず、発光部３８が分離される有機エレクトロルミネッセンス素子３０の製造方法や、隔壁３７を直方体状などに形成し、発光層３４及び陰極３５の材料を斜方向から真空蒸着することにより、隔壁３７の影となる部分に材料が蒸着されず、発光部３８が分離される有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法等が提案されている（特許文献３、特許文献４、特許文献５）。
【特許文献１】米国特許第５９１７２８０号公報
【特許文献２】米国特許第５９３２８９５号公報
【特許文献３】特開平５−２７５１７２号公報
【特許文献４】特開平５−２５８８５９号公報
【特許文献５】特開平９−３３０７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら上記従来の技術では、以下のような課題を有していた。
【００１３】
（１）有機エレクトロルミネッセンス素子は作製後、時間と共に発光部の発光面積が発光端部から徐々に小さくなり、最終的には発光しなくなる（以後、発光エリア減少と称する）という素子寿命に関する課題を有していた。
【００１４】
（２）隔壁等で発光部を分離した場合、発光部周辺に電極の端部が存在するため、有機エレクトロルミネッセンス素子の周りに存在する水分や酸素等が電極とその下に形成されている有機膜との界面に発光画素（発光部）の周辺から徐々に浸入し、電極と有機膜とを劣化させ、発光エリア減少が起こり易くなるという課題を有していた。
【００１５】
（３）画像形成装置の露光装置等における光源として有機エレクトロルミネッセンス素子を用いることにより、従来の露光方式であるレーザビーム方式やＬＥＤアレイ方式に比べ、装置の小型化や低コスト化が図られているが、有機エレクトロルミネッセンス素子の各発光画素（発光部）は微細なため、たとえ微小な発光エリア減少であっても、その発光光量を大きく低下させてしまい、感光体上に結像するために必要な光量を得ることができなくなり、信頼性、長寿命性に欠けるという課題を有していた。
【００１６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子の提供、及びそれを用いた小型で長期に渡って十分な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れる露光装置並びに画像形成装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた構成を有している。
【００１８】
これにより、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制でき、長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００１９】
上記課題を解決するために本発明の露光装置は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備え、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００２０】
これにより、発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた露光装置を提供することができる。
【００２１】
上記課題を解決するために本発明の画像形成装置は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備え、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００２２】
これにより、発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた画像形成装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子及びそれを用いた露光装置並びに画像形成装置によれば、以下のような有利な効果が得られる。
【００２４】
請求項１に記載の発明によれば、
（１）発光部及び隣接する複数の発光部を電気的に分離する隔壁を含む表面全体に被覆層が覆設されているので、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２５】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１の効果に加え、
（１）被覆層が絶縁体で形成されているので、複数の発光部を確実に絶縁することができる信頼性に高品質で信頼性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２６】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２の効果に加え、
（１）被覆層が吸湿性を有する材料で形成されることにより、発光エリア減少の要因となる水分を被覆層で吸収することができるので、電極と発光層との界面に浸入する水分量を低減し、発光エリア減少を抑制できる長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２７】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１乃至３の内いずれか１項の効果に加え、
（１）隔壁の端部から隣接する発光部の端部までの距離を５μｍ〜１０μｍに形成することにより、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２８】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１乃至４の内いずれか１項の効果に加え、
（１）発光層の上面に形成される電極の面積を発光層の面積よりも小さな面積に形成することにより、最上部に形成される電極の端部を被覆層で確実に覆うことができるので、発光エリア減少の要因となる水分や酸素等の浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる信頼性、長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２９】
請求項６に記載の発明によれば、請求項１乃至４の内いずれか１項の効果に加え、
（１）隔壁が撥水性を有する材料で形成されることにより、発光層を湿式成膜法によって成膜するだけで発光層と隔壁とを離間させて形成することができ、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる量産性、長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００３０】
請求項７に記載の発明によれば、
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた露光装置を提供することができる。
【００３１】
請求項８に記載の発明によれば、
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明は、簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供するという目的を、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の発光部及び隔壁を含む表面全体に被覆層を覆設することにより実現した。
【００３３】
上記課題を解決するためになされた第１の発明は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた構成を有している。
【００３４】
この構成により、以下の作用を有する。
【００３５】
（１）発光部及び隣接する複数の発光部を電気的に分離する隔壁を含む表面全体に被覆層が覆設されているので、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる。
【００３６】
ここで、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光部が形成される基板としては、基板上に形成される各層を保持できる強度があればよい。基板側を光の取り出し面として用いる場合には、透明あるいは半透明の発光の視認を妨げない程度の透明性を有する材質で基板を形成する。基板側を光の取り出し面として用いない場合には、不透明の材質を用いることができる。
【００３７】
具体的には、透明または半透明な材質としては、ソーダ石灰ガラス，バリウム・ストロンチム含有ガラス，鉛ガラス，アルミノケイ酸ガラス，ホウケイ酸ガラス，バリウムホウケイ酸ガラス，石英ガラス等の無機酸化物ガラス、無機フッ化物ガラス等の無機ガラス、或いはポリエチレンテレフタレート，ポリカーボネート，ポリメチルメタクリレート，ポリエーテルスルフォン，ポリフッ化ビニル，ポリプロピレン，ポリエチレン，ポリアクリレート，非晶質ポリオレフィン，フッ素系樹脂等の高分子フィルム等、Ａｓ2Ｓ3，Ａｓ40Ｓ10，Ｓ40Ｇｅ10等のカルコゲノイドガラス、ＺｎＯ，Ｎｂ2Ｏ，Ｔａ2Ｏ5，ＳｉＯ，Ｓｉ3Ｎ4，ＨｆＯ2，ＴｉＯ2等の金属酸化物および窒化物等が好適に用いられる。
【００３８】
不透明な材質としては、シリコン，ゲルマニウム，炭化シリコン，ガリウム砒素，窒化ガリウム等の半導体材料、或いは、顔料等を含んだ前述の透明基板材料、表面に絶縁処理を施した金属材料等が好適に用いられる。また、前述の複数の基板材料を積層した積層基板を用いることもできる。
【００３９】
また、この基板表面、あるいは基板内部には、有機エレクトロルミネッセンス素子を駆動するための抵抗，コンデンサ，インダクタ，ダイオード，トランジスタ等からなる回路を形成していても良い。
【００４０】
さらに、用途によっては特定波長のみを透過する材料、光−光変換機能をもった特定の波長の光へ変換する材料などであってもよい。また、基板は絶縁性であることが好ましいが、特に限定されるものではなく、有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動を妨げない範囲、或いは用途によって、導電性を有していても良い。
【００４１】
陽極としては、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）、ＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物）、ＡＴＯ（ＳｂをドープしたＳｎＯ2）、ＡＺＯ（ＡｌをドープしたＺｎＯ）等を部材として、スパッタリングや抵抗加熱蒸着法等により形成されるものが好適に用いられる。
陰極の材質としては、仕事関数の低い金属もしくは合金が好ましく、Ａｌ、Ｉｎ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｔｉ等の金属、Ｍｇ−Ａｇ合金、Ｍｇ−Ｉｎ合金等のＭｇ合金、Ａｌ−Ｌｉ合金、Ａｌ−Ｃａ合金、Ａｌ−Ｓｒ合金、Ａｌ−Ｂａ合金等のＡｌ合金等が好適に用いられる。
有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層としては、可視領域で蛍光または燐光特性を有し、かつ成膜性の良いものが好ましく、Ａｌｑ3やＢｅ−ベンゾキノリノール（ＢｅＢｑ2）の他に、２，５−ビス（５，７−ジ−ｔ−ペンチル−２−ベンゾオキサゾリル）−１，３，４−チアジアゾ−ル、４，４'−ビス（５，７−ベンチル−２−ベンゾオキサゾリル）スチルベン、４，４'−ビス［５，７−ジ−（２−メチル−２−ブチル）−２−ベンゾオキサゾリル］スチルベン、２，５−ビス（５，７−ジ−ｔ−ベンチル−２−ベンゾオキサゾリル）チオフェン、２，５−ビス［（５−α，α−ジメチルベンジル）−２−ベンゾオキサゾリル］チオフェン、２，５−ビス〔５，７−ジ−（２−メチル−２−ブチル）−２−ベンゾオキサゾリル〕−３，４−ジフェニルチオフェン、２，５−ビス（５−メチル−２−ベンゾオキサゾリル）チオフェン、４，４’−ビス（２−ベンゾオキサイゾリル）ビフェニル、５−メチル−２−〔２−〔４−（５−メチル−２−ベンゾオキサイゾリル）フェニル〕ビニル〕ベンゾオキサイゾリル、２−〔２−（４−クロロフェニル）ビニル〕ナフト〔１，２−ｄ〕オキサゾール等のベンゾオキサゾール系、２，２’−（ｐ−フェニレンジビニレン）−ビスベンゾチアゾール等のベンゾチアゾール系、２−〔２−〔４−（２−ベンゾイミダゾリル）フェニル〕ビニル〕ベンゾイミダゾール、２−〔２−（４−カルボキシフェニル）ビニル〕ベンゾイミダゾール等のベンゾイミダゾール系等の蛍光増白剤、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、ビス（８−キノリノール）マグネシウム、ビス（ベンゾ〔ｆ〕−８−キノリノール）亜鉛、ビス（２−メチル−８−キノリノラート）アルミニウムオキシド、トリス（８−キノリノール）インジウム、トリス（５−メチル−８−キノリノール）アルミニウム、８−キノリノールリチウム、トリス（５−クロロ−８−キノリノール）ガリウム、ビス（５−クロロ−８−キノリノール）カルシウム、ポリ〔亜鉛−ビス（８−ヒドロキシ−５−キノリノニル）メタン〕等の８−ヒドロキシキノリン系金属錯体やジリチウムエピンドリジオン等の金属キレート化オキシノイド化合物、１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼン、１，４−（３−メチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス（４−メチルスチリル）ベンゼン、ジスチリルベンゼン、１，４−ビス（２−エチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス（３−エチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス（２−メチルスチリル）２−メチルベンゼン等のスチリルベンゼン系化合物や、２，５−ビス（４−メチルスチリル）ピラジン、２，５−ビス（４−エチルスチリル）ピラジン、２，５−ビス〔２−（１−ナフチル）ビニル〕ピラジン、２，５−ビス（４−メトキシスチリル）ピラジン、２，５−ビス〔２−（４−ビフェニル）ビニル〕ピラジン、２，５−ビス〔２−（１−ピレニル）ビニル〕ピラジン等のジスチルピラジン誘導体、ナフタルイミド誘導体、ペリレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アルダジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、クマリン系誘導体、芳香族ジメチリディン誘導体等が好適に用いられる。さらに、アントラセン、サリチル酸塩、ピレン、コロネン等も用いられる。
【００４２】
発光層は単層構造として陽極と陰極の間に挟むようにしてもよいし、発光層の陽極側に正孔輸送層を有する二層構造、発光層の陰極側に電子輸送層を有する二層構造、発光層の陽極側に正孔輸送層を有し、陰極側に電子輸送層を有する三層構造としてもよい。
【００４３】
正孔輸送層を有する場合、陽極からの正孔を発光層に効率よく運ぶことができ、電子輸送層を有する場合、電子を円滑に発光層に移動させることができると共に、発光層に入った正孔が電子輸送層に移動してくるのを防止できる。
【００４４】
正孔輸送層の材料としては、正孔移動度が高く、透明で成膜性の良いものが好ましく、ＴＰＤの他に、ポルフィリン、テトラフェニルポルフィリン銅、フタロシアニン、銅フタロシアニン、チタニウムフタロシアニンオキサイド等のポルフィリン化合物、１，１−ビス｛４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）フェニル｝シクロヘキサン、４，４'，４''−トリメチルトリフェニルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラキス（Ｐ−トリル）−Ｐ−フェニレンジアミン、１−（Ｎ，Ｎ−ジ−Ｐ−トリルアミノ）ナフタレン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）−２−２'−ジメチルトリフェニルメタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラフェニル−４，４'−ジアミノビフェニル、Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−Ｎ，Ｎ'−ジ−ｍ−トリル−４，４'−ジアミノビフェニル、Ｎ−フェニルカルバゾ−ル等の芳香族第三級アミン、４−ジ−Ｐ−トリルアミノスチルベン、４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）−４'−［４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）スチリル］スチルベン等のスチルベン化合物、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体やポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体やフェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、シラザン誘導体やポリシラン系アニリン系共重合体、高分子オリゴマー、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポリ３−メチルチオフェン等の有機材料が好適に用いられる。また、ポリカーボネート等の高分子中に低分子の正孔輸送用の有機材料を分散させた、高分子分散系の正孔輸送層も用いられる。さらに、これらの正孔輸送材料は正孔注入材料、あるいは電子ブロック材料としても用いることができる。
【００４５】
電子輸送層の材料としては、１，３−ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル−１，３，４−オキサジアゾリル）フェニレン（ＯＸＤ−７）等のオキサジアゾール誘導体、アントラセン誘導体、ジフェニルキノン誘導体等が好適に用いられる。また、これらの電子輸送材料は電子注入材料、あるいは正孔ブロック材料として用いることもできる。
【００４６】
有機エレクトロルミネッセンス素子の複数の発光部を電気的に分離し、画素を規制するために陽極上に画素規制層を形成する。画素規制層の無い窓となっている部分が発光部であり、発光素子として機能する。画素規制層を形成する材料としては、絶縁性を有するものであればよい。具体例としては、ＳｉＯ2、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の金属酸化物や金属窒化物、さらには炭化物、硫化物等を用いることができる。また、ポリイミド、アクリル、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等に代表される成膜パターニングが可能な樹脂を用いてもよい。
【００４７】
隔壁は発光部を分離形成できるものであれば如何なる構造であってもよく、その形状は従来提案されてきた隔壁構造、逆テーパー構造、オーバーハング構造、アンダーカット構造等が好適に用いられる。
【００４８】
隔壁の材料としては、絶縁性を有するネガ型レジスト、ポジ型レジスト、ネガ型レジストとポジ型レジストの組み合わせ、或いはレジストと無機薄膜の組み合わせ等が好適に用いられる。また、電極との短絡の危険性を回避できるのであれば、導電性の材料を使用してもよい。尚、隔壁の膜厚は、発光層及び発光層上に形成される電極の膜厚を合わせた厚さよりも厚く形成することが好ましい。これにより、発光層上に形成される電極を確実に分離することが可能となる。
【００４９】
被覆層を形成する材料としては、絶縁性を有しガスバリア性に優れているものであれば如何なるものであってもよい。
【００５０】
被覆層の成膜時にＡｒガス等の不活性ガスを入れることにより、平均自由行程（ミーン・フリー・パス）を短くしてステップカバレッジをよくすることができ、逆テーパー状等に形成される隔壁の根元部分や側面を被覆層で全て覆うことができる。これにより、電極の端部を被覆層で完全に覆うことができるので、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断して発光エリア減少の発生を抑制できる。
【００５１】
上記課題を解決するためになされた第２の発明は、第１の発明に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記被覆層が絶縁体で形成されて構成を有している。
【００５２】
この構成により、第１の発明の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００５３】
（１）被覆層が絶縁体で形成されているので、複数の発光部を確実に絶縁することができる。
【００５４】
ここで、被覆層を形成する材料としては、ＳｉＯ2、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の金属酸化物や金属窒化物、さらには炭化物、硫化物等が好適に用いられる。また、ポリイミド、アクリル、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等に代表される塗布可能な樹脂を用いることもできる。特に金属酸化物等は、発光層の上部に真空中で電極を形成後、大気圧に戻すことなく、比較的マイルドな条件で成膜することができるので好ましい。
【００５５】
上記課題を解決するためになされた第３の発明は、第１又は第２の発明に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記被覆層が吸湿性を有する材料で形成されている構成を有している。
【００５６】
この構成により、第１又は第２の発明の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００５７】
（１）被覆層が吸湿性を有する材料で形成されていることにより、発光エリア減少の要因となる水分を被覆層で吸収することができるので、電極と発光層との界面に浸入する水分量を低減でき、発光エリア減少を抑制できる。
【００５８】
ここで、被覆層の材質としては、酸化カルシウム等が好適に用いられる。
【００５９】
上記課題を解決するためになされた第４の発明は、第１乃至第３の発明の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記隔壁の端部から隣接する前記発光部の端部までの距離が、５μｍ〜１０μｍである構成を有している。
【００６０】
この構成により、第１乃至第３の発明の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００６１】
（１）隔壁の端部から隣接する発光部の端部までの距離を５μｍ〜１０μｍに形成することにより、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる。
。
【００６２】
ここで、隔壁の端部から隣接する発光部の端部までの距離が５μｍより短くなるにつれ、発光面積の減少が短時間で発生し易く、隔壁と発光部を離間させた効果が不十分になる傾向があり、距離が１０μｍより長くなるにつれ、発光部の面積が不足して光量が低下したり発光部のピッチが粗くなって解像度が低下したりする傾向があり、いずれも好ましくない。
【００６３】
上記課題を解決するためになされた第５の発明は、第１乃至第４の発明の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光層の上面に形成された前記陽極若しくは前記陰極のどちらか一方の電極が、前記発光層の面積よりも小さな面積を有する構成を有している。
【００６４】
この構成により、第１乃至第４の発明の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００６５】
（１）発光層の上面に形成された陽極若しくは陰極のどちらか一方の電極が、発光層の面積よりも小さな面積を有することにより、最上部に形成された電極の端部を被覆層で確実に覆うことができ、発光エリア減少の要因となる水分や酸素等の浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を効果的に抑制できる。
【００６６】
上記課題を解決するためになされた第６の発明は、第１乃至第５の発明の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記隔壁が撥水性を有する材料で形成されている構成を有している。
【００６７】
この構成により、第１乃至第５の発明の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００６８】
（１）隔壁が撥水性を有する材料で形成されているので、発光層を湿式成膜法により成膜するだけで発光層と隔壁とを離間させて形成することができ、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができ、量産性、長寿命性に優れる。
【００６９】
ここで、発光層をスピンコート法等の湿式成膜法により成膜した場合に、発光層は隔壁の根元にまで潜り込んで成膜されてしまうが、隔壁が撥水性を有することにより、発光層を発光部の内側に留めることが可能となる。また、画素規制層が撥水性を有する場合も同様の効果を得ることができる。
【００７０】
上記課題を解決するためになされた第７の発明は、露光装置であって、第１乃至第６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００７１】
この構成により、以下のような作用を有する。
【００７２】
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができ実用性、信頼性に優れる。
【００７３】
上記課題を解決するためになされた第８の発明は、画像形成装置であって、第１乃至第６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００７４】
この構成により、以下のような作用を有する。
【００７５】
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができ実用性、信頼性に優れる。
【００７６】
ここで、有機エレクトロルミネッセンス素子は画像形成装置の露光部に実装される。露光部のヘッド支持部材上に光源として実装される有機エレクトロルミネッセンス素子は封止材により気密封止され、ヘッド支持部材上などに配設されたドライバから画像データに対応した電圧を給電されて発光する。この有機エレクトロルミネッセンス素子からの照射光がプリズムで屈折され、ファイバアレイで集光され、さらにシリンドリカルレンズで副走査方向に絞り込まれて露光に用いられる。
【００７７】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子について図面に基づき説明する。
【００７８】
図１は本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【００７９】
図１中、１は本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子、２は透明なソーダガラスで形成された有機エレクトロルミネッセンス素子１の基板、３は基板２上にＩＴＯ等の透明導電性薄膜を成膜して形成した透明な陽極、４は陽極３上にポリイミド等の絶縁層を成膜して形成した画素規制層、５は画素規制層４上にネガ型レジストで形成され後述する陰極７を分離する隔壁、６は陽極３上，画素規制層４上の一部，隔壁５上に形成された有機エレクトロルミネッセンス素子１の発光層、７は発光層６上に真空蒸着法により成膜された陰極、８は隔壁５を含む有機エレクトロルミネッセンス素子１の表面全体にバリア層として覆設された被覆層、９は陽極３上に成膜された画素規制層４を部分的に取り除くことにより形成された有機エレクトロルミネッセンス素子１の発光部である。
【００８０】
本実施の形態では、発光部９の光は基板２側から取り出すようになっているが、基板２と反対面の陰極７側や基板２の側面から取り出すようにしてもよい。
【００８１】
以上のように構成された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法について説明する。
【００８２】
まず、スパッタ法により基板２上に膜厚が１５０ｎｍのＩＴＯ膜を成膜し、このＩＴＯ膜の上部にポジレジストをスピンコート等により塗布し、所定時間プリベークを行った後、所定のパターンに露光し、レジスト現像液に浸漬することにより現像を行う。その後、所定時間ポストベークを行った後、ＩＴＯエッチング液に所定時間浸漬することにより、エッチングを行って透明な導電性膜をパターニングし、レジスト剥離液を用いて、レジストをＩＴＯ膜上から剥離することで、所定のパターンに陽極３を形成した。
【００８３】
次に、陽極３上に絶縁層を画素規制層４として成膜した後、発光素子として機能させる部分だけ取り除き発光部９とする。本実施の形態では、感光性のポリイミドを、スピンコート法により成膜した。成膜後、所定時間ホットプレート上にてプリベークを行った後、所定のパターンに露光し、レジスト現像液に浸漬することにより現像を行った。その結果、発光素子として機能する発光部９が画素規制層４に囲まれた窓状に形成された。次に、後の工程で使用される、溶媒や試薬に侵されて、発光部９が変形しないように、高温で完全に硬化させるポストベークを行った。
【００８４】
次に、後に成膜される陰極７を分離するための隔壁５を画素規制層４上に形成した。本実施の形態では、ネガ型レジストを隔壁材料として用いた。まず、画素規制層４上にネガ型レジストをスピンコート法により成膜した。このときネガ型レジストの膜厚は、陽極３上に形成される発光層６及び陰極７の膜厚を合わせた厚さよりも厚くした。これにより後に形成される陰極７の分離が可能となる。ネガ型レジストを成膜した後、所定時間ホットプレート上にてプリベークを行い、所定のパターンに露光し、もう一度所定時間ホットプレート上にてプリベークを行うことで、硬化を促進させ、レジスト現像液に浸漬することにより現像を行った。この結果、絶縁性の逆テーパー形状を有する隔壁５が画素規制層４上に形成された。次に、後の工程で使用される、溶媒や試薬に侵されて、逆テーパー形状の隔壁５が変形しないように、高温で完全に硬化させるポストベークを行った。また、逆テーパー形状の底部の幅と頂部の幅との差は、プリベークの温度と時間、露光量、現像時間等に大きく影響される。特に温度は基板２全体に対して均一になるように制御することが好ましい。
【００８５】
尚、隔壁５と発光部９の端部との距離は、５μｍ〜１０μｍに形成した。隔壁５の端部から隣接する発光部９の端部までの距離が５μｍより短くなるにつれ、発光面積の減少が短時間で発生し易く、隔壁５と発光部９を離間させた効果が不十分になる傾向があり、距離が１０μｍより長くなるにつれ、発光部９の面積が不足して光量が低下したり発光部９のピッチが粗くなって解像度が低下したりする傾向があることがわかったためである。水分や酸素等の浸入経路である隔壁５と発光部９の端部との距離を５μｍ以上とすることで、発光エリア減少の成長速度（およそ０．０１μｍ／時間）に対して十分な距離を確保することができる。
【００８６】
次に、真空蒸着法やスピンコート法等の成膜方法により発光層６を形成し、真空蒸着法により陰極７を成膜した。陰極７を成膜するときにはＡｒガス等の不活性ガスを入れて成膜することが好ましい。これにより、平均自由行程（ミーン・フリー・パス）を短くすることができ、ステップカバレッジをよくすることができる。その結果、陰極７の端部が隔壁５の逆テーパー部分の陰（根元部）にまで潜り込み、発光部９の端部と陰極７の端部との距離が長くなるので、水分や酸素等の浸入経路を長くすることができ、発光エリア減少の発生を抑制する効果が得られる。
【００８７】
さらに、発光層６を真空蒸着法により成膜する場合に、それよりもミーン・フリー・パスを短くして陰極７を真空蒸着すると、発光層６自体を陰極７により完全に覆うことができ、発光層６を形成する有機膜がむき出しにならないので、水分や酸素等の浸入を抑制でき、発光エリア減少を抑制する効果が得られる。尚、発光層６の成膜に真空蒸着法を用いる場合は、真空を破らずに連続して陰極７を形成することが好ましい。
【００８８】
次に、大気圧に戻すことなく被覆層８をバリア層として成膜した。被覆層８は隔壁５の逆テーパー部分の陰や側面をも全て覆うように形成した。これにより、陰極７の端部を欠陥の無い被覆層８で完全に覆うことができ、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断して発光エリア減少の発生を抑制する効果が得られる。
【００８９】
本実施の形態では、被覆層８は、陰極７を真空蒸着法で形成後、大気圧に戻すことなく、比較的マイルドな真空蒸着法により成膜した。このとき、陰極７の成膜時と同様にＡｒガス等の不活性ガスを入れることにより、平均自由行程（ミーン・フリー・パス）を短くしてステップカバレッジをよくすることができ、隔壁５の逆テーパー部分の陰や側面を完全に覆うことができる。
【００９０】
尚、被覆層８の材質として吸水性を有する酸化カルシウム等を用いた場合、浸入してくる水分を捕獲することができ、より効果的に発光エリア減少の発生を抑制できる。
【００９１】
以上のように形成された実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置について説明する。
【００９２】
図２は本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置を示す要部模式断面図である。
【００９３】
図２中、１０はカラーの画像形成装置、１１は下から順にイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のトナー像を形成するための画像形成装置１０の４つの現像部、１２は各色の現像部１１のそれぞれに対応して配設された実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１を光源とする画像形成装置１０の露光部（露光装置）、１３は各色の現像部１１及び露光部１２のそれぞれに対応して配設された画像形成装置１０の感光部、１４は各色の現像部１１，露光部１２，感光部１３に対向する位置に配設され、各色の感光部１３の感光ドラム１３ａ上に顕像化された各色トナー像を記録媒体２０上に相互に重ね転写してカラートナー像を形成する画像形成装置１０の転写部、１４ａは各色の感光ドラム１３ａに対応して配設された転写部１４の転写ローラ、１４ｂは各々の転写ローラ１４ａを各色の感光ドラム１３ａに圧接する転写部１４のスプリング、１５は現像部１１，露光部１２，感光部１３を挟んで転写部１４の反対側に配設され記録媒体２０が収納される画像形成装置１０の給紙部、１６は給紙部１５から記録媒体２０を１枚ずつ取り出す給紙ローラ、１７は給紙部１５から転写部１４に至る用紙搬送路上に配設され、所定のタイミングで記録媒体２０を転写部１４に送るレジストローラ、１８は転写部１４でカラートナー像が形成された記録媒体２０が走行する用紙搬送路上に配置された画像形成装置１０の定着部、１８ａは押圧ローラ１８ｂと共に記録媒体２０を狭持回転し記録媒体２０上に転写されたカラー画像を加熱、圧着して定着させる定着部１８の加熱ローラ、１９はカラー画像形成が終了した記録媒体２０が排出される画像形成装置１０の排紙トレイである。
【００９４】
次に、画像形成装置１０の現像部１１の詳細について説明する。図３は画像形成装置の現像部を示す要部断面模式図である。
【００９５】
図３中、１１ａは露光部１２からの照射光によって外周面に静電潜像が形成された感光ドラム１３ａにトナーを付着させて静電潜像をトナー像として顕像化する現像ローラ（現像手段）、１１ｂはタンク内のトナー２１を撹拌する撹拌部材、１１ｃはトナー２１を撹拌しつつこれを現像ローラ１１ａへ供給するサプライローラ、１１ｄは現像ローラ１１ａへ供給されたトナー２１を所定の厚みに整えるとともに摩擦によりトナー２１を帯電させるドクターブレードである。
【００９６】
次に、画像形成装置１０の露光部１２の詳細について説明する。図４は画像形成装置の露光部を示す要部断面模式図である。
【００９７】
図４中、１２ａは露光部１２のヘッド支持部材、１２ｂはヘッド支持部材１２ａ上に光源として実装された実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１を気密封止する封止材、１２ｃはヘッド支持部材１２ａ上に配設され画像データに対応した電圧を有機エレクトロルミネッセンス素子１に給電してこれを発光させるドライバ、１２ｄは有機エレクトロルミネッセンス素子１からの照射光を屈折させるプリズム、１２ｅはプリズム１２ｄからの光を集めるファイバアレイ、１２ｆはファイバアレイ１２ｅからの光を副走査方向に絞り込むシリンドリカルレンズであり、矢印は光路を示している。
【００９８】
尚、有機エレクトロルミネッセンス素子１は直流駆動以外に、交流電圧または交流電流、あるいはパルス波で駆動してもよい。
【００９９】
次に、画像形成装置１０の感光部１３の詳細について説明する。図５は画像形成装置の感光部を示す要部断面模式図である。
【０１００】
図５中、１３ａは回転可能に配設された像担持体としての感光ドラム（感光体）、１３ｂは感光ドラム１３ａに圧接されて感光ドラム１３ａの表面を一様な電位に帯電させる帯電器（帯電手段）、１３ｃは画像転写後の感光ドラム１３ａに残留しているトナーを除去するクリーナである。
【０１０１】
各色に対応した感光部１３の感光ドラム１３ａは、回転中心軸が同一直線上に並ぶように一列に配置されている。また、感光ドラム１３ａに圧接された帯電器１３ｂは、感光ドラム１３ａの回転に従動して回転する。
【０１０２】
以上のように構成された画像形成装置１０の動作について説明する。
【０１０３】
イエローに対応した一番下の感光ドラム１３ａ上に画像情報のイエロー成分色の潜像が形成される。この潜像はイエロートナーを有する一番下の現像ローラ１１ａによりイエロートナー像として感光ドラム１３ａ上に可視像化される。その間、給紙ローラ１６により給紙部１５から取り出された記録媒体２０は、レジストローラ１７によりタイミングがとられて転写部１４に送り込まれる。そして、感光ドラム１３ａと転写ローラ１４ａとで挟持搬送され、このときに前述したイエロートナー像が感光ドラム１３ａから転写される。
【０１０４】
イエロートナー像が記録媒体２０に転写されている間に、続いてマゼンタ成分色の潜像が形成され、下から二番目の感光ドラム１３ａでマゼンタトナーによるマゼンタトナー像が顕像化される。そして、イエロートナー像が転写された記録媒体２０に対して、マゼンタトナー像がイエロートナー像と重ね転写される。
【０１０５】
以下、シアントナー像、ブラックトナー像についても同様にして画像形成および転写が行われ、記録媒体２０上に４色のトナー像の重ね合わせが終了する。
【０１０６】
その後、カラー画像の形成された記録媒体２０は定着部１８へと搬送される。定着部１８では、転写されたトナー像が記録媒体２０に加熱定着されて、記録媒体２０上にフルカラー画像が形成される。
【０１０７】
このようにして一連のカラー画像形成が終了した記録媒体２０は、その後、排紙トレイ２８上に排出される。
【０１０８】
尚、４色のトナー像の重ね合わせの順序は前述のものに限定されるものではなく、任意に選択することができ、現像色もイエロー、マゼンタ、シアンおよびブラックの４色に限定されるものではない。また、画像形成装置はフルカラーに対応したものに限らず、ブラックなどの単色の画像形成装置にも適用することができる。
【０１０９】
以上のように本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子によれば、以下のような作用を有する。
【０１１０】
（１）隣接する複数の発光部９を電気的に分離する隔壁５を含む表面全体に被覆層８が覆設されているので、有機エレクトロルミネッセンス素子１の最上面に形成された陰極７の端部が被覆層８ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子１内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる。
【０１１１】
（２）被覆層８が絶縁体で形成されているので、複数の発光部９を確実に絶縁することができる。
【０１１２】
（３）被覆層８が吸湿性を有することにより、発光エリア減少の要因となる水分を被覆層８で吸収することができるので、陰極７と発光層６との界面に浸入する水分量を低減でき、発光エリア減少を抑制できる。
【０１１３】
（４）隔壁５の端部から隣接する発光部９の端部までの距離を５μｍ〜１０μｍに形成することにより、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる。
【０１１４】
以上のように本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置によれば、以下のような作用を有する。
【０１１５】
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができ実用性、信頼性に優れる。
【０１１６】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子について図面に基づき説明する。
【０１１７】
図６は本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【０１１８】
図６において、実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子１ａが実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１と異なるのは、発光層６の端部が隣接する隔壁５の根元の端部近傍まで形成されている点と、発光層６の上面に形成された陰極７が発光層６の面積よりも小さな面積を有する点である。
【０１１９】
以上のように構成された実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子１ａの製造工程については、隔壁５の製造工程までは実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１の製造工程と同様であるので、それ以降の工程について説明する。
【０１２０】
隔壁５を形成した後、スピンコート法等の湿式成膜法により発光層６を形成した。このとき、発光層６の端部は逆テーパー状の隔壁５の根元部分にまで潜り込み、隔壁５の端部近傍まで成膜される。
【０１２１】
次に、真空蒸着法により陰極７を成膜した。この陰極７の形成については実施の形態１と同様に成膜時にＡｒガス等の不活性ガスを入れることで、陰極７の端部が隔壁５の逆テーパー部分の根元にまで潜り込ませることができる。発光部９の端部から陰極７の端部までの距離が長くなることで、実施の形態１と同様に発光エリア減少の発生を抑制する効果が得られる。
【０１２２】
発光層６の端部が隔壁５の端部近傍まで達しているため、陰極７の面積が発光層６の面積よりも小さな面積となり、発光層６を陰極７により完全に覆うことができない部分も発生するが、後工程で実施の形態１と同様に被覆層８を形成することにより、被覆層８で露出した発光層６の端部を直接覆うことができ、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断できる。
【０１２３】
以上のように本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子によれば、実施の形態１の作用に加え、以下のような作用を有する。
【０１２４】
（１）発光層６の上面に形成された陰極７が、発光層６の面積よりも小さな面積を有することにより、最上部に形成された陰極７の端部を被覆層８で確実に覆うことができ、発光エリア減少の要因となる水分や酸素等の浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を効果的に抑制できる。
【０１２５】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子について図面に基づき説明する。
【０１２６】
図７は本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【０１２７】
図７において、実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子１ｂが実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１と異なるのは、画素規制層４及び隔壁５の材料に撥水性を有する材料を用い、発光層６が陽極３上のみに形成されている点である。
【０１２８】
以上のように構成された実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子１ｂの製造工程については、画素規制層４及び隔壁５の材料が異なるだけで、隔壁５の製造工程までは実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１の製造工程と同様であるので、それ以降の工程について説明する。
【０１２９】
隔壁５を形成した後、実施の形態２と同様にスピンコート法等の湿式成膜法により発光層６を形成した。このとき、画素規制層４及び隔壁５が撥水性を有することにより、発光層６が形成される範囲は発光部９の内部に留まる。
【０１３０】
次に、実施の形態１及び２と同様に真空蒸着法により陰極７を成膜した。発光層６が陽極３上のみに形成され、その周囲が画素規制層４により囲まれていることから、陰極７を真空蒸着すると、発光層６自体を陰極７により完全に覆うことができ、発光層６がむき出しになることがなく、発光層６への水分や酸素等の浸入を効果的に抑制できる。
【０１３１】
さらに、実施の形態１及び２と同様に被覆層８を形成することにより、被覆層８で陰極７の全面を覆うことができ、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断できる。
【０１３２】
以上のように本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子によれば、実施の形態１及び２の作用に加え、以下のような作用を有する。
【０１３３】
（１）画素規制層４及び隔壁５が撥水性を有する材料で形成されているので、発光層６を湿式成膜法により成膜するだけで発光層６と隔壁５とを離間させて形成することができ、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができ、量産性、長寿命性に優れる。
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
本発明によれば、簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができ、種々の装置における発光素子として有用であり、特に露光装置や画像形成装置等の光源として用いることにより、装置を大型化することなく露光に必要な光量を得ることができ、実用性、信頼性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【０１３５】
【図１】本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【図２】本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置を示す要部模式断面図
【図３】画像形成装置の現像部を示す要部断面模式図
【図４】画像形成装置の露光部を示す要部断面模式図
【図５】画像形成装置の感光部を示す要部断面模式図
【図６】本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【図７】本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【図８】従来のエレクトロルミネッセンス素子の構成を示す断面図
【図９】従来のエレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【符号の説明】
【０１３６】
１，１ａ，１ｂ，３０，３０ａ 有機エレクトロルミネッセンス素子
２，３１ 基板
３，３２ 陽極
４，３６ 画素規制層
５，３７ 隔壁
６，３４ 発光層
７，３５ 陰極
８ 被覆層
９，３８ 発光部
１０ 画像形成装置
１１ 現像部
１１ａ 現像ローラ（現像手段）
１１ｂ 撹拌部材
１１ｃ サプライローラ
１１ｄ ドクターブレード
１２ 露光部
１２ａ ヘッド支持部材
１２ｂ 封止材
１２ｃ ドライバ
１２ｄ プリズム
１２ｅ ファイバアレイ
１２ｆ シリンドリカルレンズ
１３ 感光部
１３ａ 感光ドラム
１３ｂ 帯電器（帯電手段）
１３ｃ クリーナ
１４ 転写部
１４ａ 転写ローラ
１４ｂ スプリング
１５ 給紙部
１６ 給紙ローラ
１７ レジストローラ
１８ 定着部
１８ａ 加熱ローラ
１８ｂ 押圧ローラ
１９ 排紙トレイ
２０ 記録媒体
２１ トナー
３３ 正孔輸送層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種々の装置において発光素子等に用いられる有機エレクトロルミネッセンス素子及びそれを用いた露光装置並びに画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、有機材料を正孔輸送層と発光層の２層に分けた機能分離型の積層構造を有する有機エレクトロルミネッセンス素子についての研究が盛んに行われている。特に、有機エレクトロルミネッセンス素子の実用化のためには不可欠である高効率化・長寿命化についても十分検討がなされており、近年、有機エレクトロルミネッセンス素子を用いたディスプレイ等が実現されている。
【０００３】
また、電子写真技術による画像形成装置には、一様に所定の電位に帯電した感光体に画像データに応じた露光光を照射してこの感光体上に静電潜像を書き込むための露光装置が設けられており、その光源として有機エレクトロルミネッセンス素子が利用されている。
【０００４】
ここで、従来の一般的な有機エレクトロルミネッセンス素子の構成について、図面を用いて説明する。
【０００５】
図８は従来のエレクトロルミネッセンス素子の構成を示す断面図であり、図９は従来のエレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【０００６】
図９に示すように、有機エレクトロルミネッセンス素子３０は、ガラス等で構成される基板３１上に、スパッタリング法や抵抗加熱蒸着法により形成されたＩＴＯ等の透明な導電性膜からなる陽極３２と、陽極３２上に同じく抵抗加熱蒸着法等により形成されたＮ，Ｎ'−ジフェニル−Ｎ，Ｎ'−ビス（３−メチルフェニル）−１，１'−ジフェニル−４，４'−ジアミン（以下、ＴＰＤと略称する。）等からなる正孔輸送層３３と、正孔輸送層３３上に抵抗加熱蒸着法により形成された８−Ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎｅ Ａｌｕｍｉｎｕｍ（以下、Ａｌｑ3と略称する。）等からなる発光層３４と、発光層３４上に抵抗加熱蒸着法等により形成された１００ｎｍ〜３００ｎｍ程度の膜厚の金属膜からなる陰極３５を備えている。
【０００７】
上記構成を有する有機エレクトロルミネッセンス素子３０の陽極３２にプラス、陰極３５にマイナスの直流電圧又は直流電流を印加すると、陽極３２から正孔輸送層３３を介して発光層３４に正孔が注入され、陰極３５から発光層３４に電子が注入される。発光層３４では正孔と電子の再結合が生じ、これに伴って生成される励起子が励起状態から基底状態へ移行する際に発光現象が起こる。
【０００８】
そして、このような有機エレクトロルミネッセンス素子３０において、通常、発光層３４中の蛍光体から放射される光は、蛍光体を中心とした全方位に出射され、正孔輸送層３３、陽極３２、基板３１を経由して空気中へ放射される。あるいは、一旦、光取り出し方向（基板３１方向）とは逆方向へ向かい、陰極３５により反射され、発光層３４、正孔輸送層３３、陽極３２、基板３１を経由して、空気中へ放射される。
【０００９】
なお、有機エレクトロルミネッセンス素子の構造については（特許文献１）や（特許文献２）等で開示されているものがある。
【００１０】
しかしながら、有機エレクトロルミネッセンス素子を構成する有機物は溶媒に侵され易く、また有機物に電子を注入するために通常使用される仕事関数の小さい金属は水分や酸素により劣化し易く、陰極を形成した後に、有機エレクトロルミネッセンス素子を複数の発光部に分離することは困難であり、微細な発光画素を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を作成することは困難であった。
【００１１】
そこで、図９に示すように、分離させたい発光部３８の間には陽極３２上にポリイミド等の絶縁層を成膜して形成した画素規制層３６を設け、さらに陽極３２上に形成される発光層３４及び陰極３５の表面よりも高く、底部の幅よりも頂部の幅が大きな隔壁３７を画素規制層３６上に形成し、発光層３４及び陰極３５の材料を真空蒸着することにより、隔壁３７の上下の形状の差によってできる影の部分に材料が蒸着されず、発光部３８が分離される有機エレクトロルミネッセンス素子３０の製造方法や、隔壁３７を直方体状などに形成し、発光層３４及び陰極３５の材料を斜方向から真空蒸着することにより、隔壁３７の影となる部分に材料が蒸着されず、発光部３８が分離される有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法等が提案されている（特許文献３、特許文献４、特許文献５）。
【特許文献１】米国特許第５９１７２８０号公報
【特許文献２】米国特許第５９３２８９５号公報
【特許文献３】特開平５−２７５１７２号公報
【特許文献４】特開平５−２５８８５９号公報
【特許文献５】特開平９−３３０７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら上記従来の技術では、以下のような課題を有していた。
【００１３】
（１）有機エレクトロルミネッセンス素子は作製後、時間と共に発光部の発光面積が発光端部から徐々に小さくなり、最終的には発光しなくなる（以後、発光エリア減少と称する）という素子寿命に関する課題を有していた。
【００１４】
（２）隔壁等で発光部を分離した場合、発光部周辺に電極の端部が存在するため、有機エレクトロルミネッセンス素子の周りに存在する水分や酸素等が電極とその下に形成されている有機膜との界面に発光画素（発光部）の周辺から徐々に浸入し、電極と有機膜とを劣化させ、発光エリア減少が起こり易くなるという課題を有していた。
【００１５】
（３）画像形成装置の露光装置等における光源として有機エレクトロルミネッセンス素子を用いることにより、従来の露光方式であるレーザビーム方式やＬＥＤアレイ方式に比べ、装置の小型化や低コスト化が図られているが、有機エレクトロルミネッセンス素子の各発光画素（発光部）は微細なため、たとえ微小な発光エリア減少であっても、その発光光量を大きく低下させてしまい、感光体上に結像するために必要な光量を得ることができなくなり、信頼性、長寿命性に欠けるという課題を有していた。
【００１６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子の提供、及びそれを用いた小型で長期に渡って十分な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れる露光装置並びに画像形成装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた構成を有している。
【００１８】
これにより、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制でき、長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００１９】
上記課題を解決するために本発明の露光装置は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備え、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００２０】
これにより、発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた露光装置を提供することができる。
【００２１】
上記課題を解決するために本発明の画像形成装置は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備え、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００２２】
これにより、発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた画像形成装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子及びそれを用いた露光装置並びに画像形成装置によれば、以下のような有利な効果が得られる。
【００２４】
請求項１に記載の発明によれば、
（１）発光部及び隣接する複数の発光部を電気的に分離する隔壁を含む表面全体に被覆層が覆設されているので、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２５】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１の効果に加え、
（１）被覆層が絶縁体で形成されているので、複数の発光部を確実に絶縁することができる信頼性に高品質で信頼性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２６】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２の効果に加え、
（１）被覆層が吸湿性を有する材料で形成されることにより、発光エリア減少の要因となる水分を被覆層で吸収することができるので、電極と発光層との界面に浸入する水分量を低減し、発光エリア減少を抑制できる長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２７】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１乃至３の内いずれか１項の効果に加え、
（１）隔壁の端部から隣接する発光部の端部までの距離を５μｍ〜１０μｍに形成することにより、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２８】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１乃至４の内いずれか１項の効果に加え、
（１）発光層の上面に形成される電極の面積を発光層の面積よりも小さな面積に形成することにより、最上部に形成される電極の端部を被覆層で確実に覆うことができるので、発光エリア減少の要因となる水分や酸素等の浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる信頼性、長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２９】
請求項６に記載の発明によれば、請求項１乃至４の内いずれか１項の効果に加え、
（１）隔壁が撥水性を有する材料で形成されることにより、発光層を湿式成膜法によって成膜するだけで発光層と隔壁とを離間させて形成することができ、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる量産性、長寿命性に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００３０】
請求項７に記載の発明によれば、
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた露光装置を提供することができる。
【００３１】
請求項８に記載の発明によれば、
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができる実用性、信頼性に優れた画像形成装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明は、簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供するという目的を、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子の発光部及び隔壁を含む表面全体に被覆層を覆設することにより実現した。
【００３３】
上記課題を解決するためになされた第１の発明は、陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えた構成を有している。
【００３４】
この構成により、以下の作用を有する。
【００３５】
（１）発光部及び隣接する複数の発光部を電気的に分離する隔壁を含む表面全体に被覆層が覆設されているので、有機エレクトロルミネッセンス素子の最上面に形成された電極の端部が被覆層ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる。
【００３６】
ここで、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光部が形成される基板としては、基板上に形成される各層を保持できる強度があればよい。基板側を光の取り出し面として用いる場合には、透明あるいは半透明の発光の視認を妨げない程度の透明性を有する材質で基板を形成する。基板側を光の取り出し面として用いない場合には、不透明の材質を用いることができる。
【００３７】
具体的には、透明または半透明な材質としては、ソーダ石灰ガラス，バリウム・ストロンチム含有ガラス，鉛ガラス，アルミノケイ酸ガラス，ホウケイ酸ガラス，バリウムホウケイ酸ガラス，石英ガラス等の無機酸化物ガラス、無機フッ化物ガラス等の無機ガラス、或いはポリエチレンテレフタレート，ポリカーボネート，ポリメチルメタクリレート，ポリエーテルスルフォン，ポリフッ化ビニル，ポリプロピレン，ポリエチレン，ポリアクリレート，非晶質ポリオレフィン，フッ素系樹脂等の高分子フィルム等、Ａｓ2Ｓ3，Ａｓ40Ｓ10，Ｓ40Ｇｅ10等のカルコゲノイドガラス、ＺｎＯ，Ｎｂ2Ｏ，Ｔａ2Ｏ5，ＳｉＯ，Ｓｉ3Ｎ4，ＨｆＯ2，ＴｉＯ2等の金属酸化物および窒化物等が好適に用いられる。
【００３８】
不透明な材質としては、シリコン，ゲルマニウム，炭化シリコン，ガリウム砒素，窒化ガリウム等の半導体材料、或いは、顔料等を含んだ前述の透明基板材料、表面に絶縁処理を施した金属材料等が好適に用いられる。また、前述の複数の基板材料を積層した積層基板を用いることもできる。
【００３９】
また、この基板表面、あるいは基板内部には、有機エレクトロルミネッセンス素子を駆動するための抵抗，コンデンサ，インダクタ，ダイオード，トランジスタ等からなる回路を形成していても良い。
【００４０】
さらに、用途によっては特定波長のみを透過する材料、光−光変換機能をもった特定の波長の光へ変換する材料などであってもよい。また、基板は絶縁性であることが好ましいが、特に限定されるものではなく、有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動を妨げない範囲、或いは用途によって、導電性を有していても良い。
【００４１】
陽極としては、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）、ＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物）、ＡＴＯ（ＳｂをドープしたＳｎＯ2）、ＡＺＯ（ＡｌをドープしたＺｎＯ）等を部材として、スパッタリングや抵抗加熱蒸着法等により形成されるものが好適に用いられる。
陰極の材質としては、仕事関数の低い金属もしくは合金が好ましく、Ａｌ、Ｉｎ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｔｉ等の金属、Ｍｇ−Ａｇ合金、Ｍｇ−Ｉｎ合金等のＭｇ合金、Ａｌ−Ｌｉ合金、Ａｌ−Ｃａ合金、Ａｌ−Ｓｒ合金、Ａｌ−Ｂａ合金等のＡｌ合金等が好適に用いられる。
有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層としては、可視領域で蛍光または燐光特性を有し、かつ成膜性の良いものが好ましく、Ａｌｑ3やＢｅ−ベンゾキノリノール（ＢｅＢｑ2）の他に、２，５−ビス（５，７−ジ−ｔ−ペンチル−２−ベンゾオキサゾリル）−１，３，４−チアジアゾ−ル、４，４'−ビス（５，７−ベンチル−２−ベンゾオキサゾリル）スチルベン、４，４'−ビス［５，７−ジ−（２−メチル−２−ブチル）−２−ベンゾオキサゾリル］スチルベン、２，５−ビス（５，７−ジ−ｔ−ベンチル−２−ベンゾオキサゾリル）チオフェン、２，５−ビス［（５−α，α−ジメチルベンジル）−２−ベンゾオキサゾリル］チオフェン、２，５−ビス〔５，７−ジ−（２−メチル−２−ブチル）−２−ベンゾオキサゾリル〕−３，４−ジフェニルチオフェン、２，５−ビス（５−メチル−２−ベンゾオキサゾリル）チオフェン、４，４’−ビス（２−ベンゾオキサイゾリル）ビフェニル、５−メチル−２−〔２−〔４−（５−メチル−２−ベンゾオキサイゾリル）フェニル〕ビニル〕ベンゾオキサイゾリル、２−〔２−（４−クロロフェニル）ビニル〕ナフト〔１，２−ｄ〕オキサゾール等のベンゾオキサゾール系、２，２’−（ｐ−フェニレンジビニレン）−ビスベンゾチアゾール等のベンゾチアゾール系、２−〔２−〔４−（２−ベンゾイミダゾリル）フェニル〕ビニル〕ベンゾイミダゾール、２−〔２−（４−カルボキシフェニル）ビニル〕ベンゾイミダゾール等のベンゾイミダゾール系等の蛍光増白剤、トリス（８−キノリノール）アルミニウム、ビス（８−キノリノール）マグネシウム、ビス（ベンゾ〔ｆ〕−８−キノリノール）亜鉛、ビス（２−メチル−８−キノリノラート）アルミニウムオキシド、トリス（８−キノリノール）インジウム、トリス（５−メチル−８−キノリノール）アルミニウム、８−キノリノールリチウム、トリス（５−クロロ−８−キノリノール）ガリウム、ビス（５−クロロ−８−キノリノール）カルシウム、ポリ〔亜鉛−ビス（８−ヒドロキシ−５−キノリノニル）メタン〕等の８−ヒドロキシキノリン系金属錯体やジリチウムエピンドリジオン等の金属キレート化オキシノイド化合物、１，４−ビス（２−メチルスチリル）ベンゼン、１，４−（３−メチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス（４−メチルスチリル）ベンゼン、ジスチリルベンゼン、１，４−ビス（２−エチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス（３−エチルスチリル）ベンゼン、１，４−ビス（２−メチルスチリル）２−メチルベンゼン等のスチリルベンゼン系化合物や、２，５−ビス（４−メチルスチリル）ピラジン、２，５−ビス（４−エチルスチリル）ピラジン、２，５−ビス〔２−（１−ナフチル）ビニル〕ピラジン、２，５−ビス（４−メトキシスチリル）ピラジン、２，５−ビス〔２−（４−ビフェニル）ビニル〕ピラジン、２，５−ビス〔２−（１−ピレニル）ビニル〕ピラジン等のジスチルピラジン誘導体、ナフタルイミド誘導体、ペリレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アルダジン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、スチリルアミン誘導体、クマリン系誘導体、芳香族ジメチリディン誘導体等が好適に用いられる。さらに、アントラセン、サリチル酸塩、ピレン、コロネン等も用いられる。
【００４２】
発光層は単層構造として陽極と陰極の間に挟むようにしてもよいし、発光層の陽極側に正孔輸送層を有する二層構造、発光層の陰極側に電子輸送層を有する二層構造、発光層の陽極側に正孔輸送層を有し、陰極側に電子輸送層を有する三層構造としてもよい。
【００４３】
正孔輸送層を有する場合、陽極からの正孔を発光層に効率よく運ぶことができ、電子輸送層を有する場合、電子を円滑に発光層に移動させることができると共に、発光層に入った正孔が電子輸送層に移動してくるのを防止できる。
【００４４】
正孔輸送層の材料としては、正孔移動度が高く、透明で成膜性の良いものが好ましく、ＴＰＤの他に、ポルフィリン、テトラフェニルポルフィリン銅、フタロシアニン、銅フタロシアニン、チタニウムフタロシアニンオキサイド等のポルフィリン化合物、１，１−ビス｛４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）フェニル｝シクロヘキサン、４，４'，４''−トリメチルトリフェニルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラキス（Ｐ−トリル）−Ｐ−フェニレンジアミン、１−（Ｎ，Ｎ−ジ−Ｐ−トリルアミノ）ナフタレン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）−２−２'−ジメチルトリフェニルメタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラフェニル−４，４'−ジアミノビフェニル、Ｎ，Ｎ'−ジフェニル−Ｎ，Ｎ'−ジ−ｍ−トリル−４，４'−ジアミノビフェニル、Ｎ−フェニルカルバゾ−ル等の芳香族第三級アミン、４−ジ−Ｐ−トリルアミノスチルベン、４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）−４'−［４−（ジ−Ｐ−トリルアミノ）スチリル］スチルベン等のスチルベン化合物、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体やポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体、ピラゾロン誘導体やフェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、シラザン誘導体やポリシラン系アニリン系共重合体、高分子オリゴマー、スチリルアミン化合物、芳香族ジメチリディン系化合物、ポリ３−メチルチオフェン等の有機材料が好適に用いられる。また、ポリカーボネート等の高分子中に低分子の正孔輸送用の有機材料を分散させた、高分子分散系の正孔輸送層も用いられる。さらに、これらの正孔輸送材料は正孔注入材料、あるいは電子ブロック材料としても用いることができる。
【００４５】
電子輸送層の材料としては、１，３−ビス（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル−１，３，４−オキサジアゾリル）フェニレン（ＯＸＤ−７）等のオキサジアゾール誘導体、アントラセン誘導体、ジフェニルキノン誘導体等が好適に用いられる。また、これらの電子輸送材料は電子注入材料、あるいは正孔ブロック材料として用いることもできる。
【００４６】
有機エレクトロルミネッセンス素子の複数の発光部を電気的に分離し、画素を規制するために陽極上に画素規制層を形成する。画素規制層の無い窓となっている部分が発光部であり、発光素子として機能する。画素規制層を形成する材料としては、絶縁性を有するものであればよい。具体例としては、ＳｉＯ2、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の金属酸化物や金属窒化物、さらには炭化物、硫化物等を用いることができる。また、ポリイミド、アクリル、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等に代表される成膜パターニングが可能な樹脂を用いてもよい。
【００４７】
隔壁は発光部を分離形成できるものであれば如何なる構造であってもよく、その形状は従来提案されてきた隔壁構造、逆テーパー構造、オーバーハング構造、アンダーカット構造等が好適に用いられる。
【００４８】
隔壁の材料としては、絶縁性を有するネガ型レジスト、ポジ型レジスト、ネガ型レジストとポジ型レジストの組み合わせ、或いはレジストと無機薄膜の組み合わせ等が好適に用いられる。また、電極との短絡の危険性を回避できるのであれば、導電性の材料を使用してもよい。尚、隔壁の膜厚は、発光層及び発光層上に形成される電極の膜厚を合わせた厚さよりも厚く形成することが好ましい。これにより、発光層上に形成される電極を確実に分離することが可能となる。
【００４９】
被覆層を形成する材料としては、絶縁性を有しガスバリア性に優れているものであれば如何なるものであってもよい。
【００５０】
被覆層の成膜時にＡｒガス等の不活性ガスを入れることにより、平均自由行程（ミーン・フリー・パス）を短くしてステップカバレッジをよくすることができ、逆テーパー状等に形成される隔壁の根元部分や側面を被覆層で全て覆うことができる。これにより、電極の端部を被覆層で完全に覆うことができるので、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断して発光エリア減少の発生を抑制できる。
【００５１】
上記課題を解決するためになされた第２の発明は、第１の発明に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記被覆層が絶縁体で形成されて構成を有している。
【００５２】
この構成により、第１の発明の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００５３】
（１）被覆層が絶縁体で形成されているので、複数の発光部を確実に絶縁することができる。
【００５４】
ここで、被覆層を形成する材料としては、ＳｉＯ2、ＭｇＯ、Ａｌ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3等の金属酸化物や金属窒化物、さらには炭化物、硫化物等が好適に用いられる。また、ポリイミド、アクリル、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等に代表される塗布可能な樹脂を用いることもできる。特に金属酸化物等は、発光層の上部に真空中で電極を形成後、大気圧に戻すことなく、比較的マイルドな条件で成膜することができるので好ましい。
【００５５】
上記課題を解決するためになされた第３の発明は、第１又は第２の発明に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記被覆層が吸湿性を有する材料で形成されている構成を有している。
【００５６】
この構成により、第１又は第２の発明の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００５７】
（１）被覆層が吸湿性を有する材料で形成されていることにより、発光エリア減少の要因となる水分を被覆層で吸収することができるので、電極と発光層との界面に浸入する水分量を低減でき、発光エリア減少を抑制できる。
【００５８】
ここで、被覆層の材質としては、酸化カルシウム等が好適に用いられる。
【００５９】
上記課題を解決するためになされた第４の発明は、第１乃至第３の発明の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記隔壁の端部から隣接する前記発光部の端部までの距離が、５μｍ〜１０μｍである構成を有している。
【００６０】
この構成により、第１乃至第３の発明の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００６１】
（１）隔壁の端部から隣接する発光部の端部までの距離を５μｍ〜１０μｍに形成することにより、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる。
。
【００６２】
ここで、隔壁の端部から隣接する発光部の端部までの距離が５μｍより短くなるにつれ、発光面積の減少が短時間で発生し易く、隔壁と発光部を離間させた効果が不十分になる傾向があり、距離が１０μｍより長くなるにつれ、発光部の面積が不足して光量が低下したり発光部のピッチが粗くなって解像度が低下したりする傾向があり、いずれも好ましくない。
【００６３】
上記課題を解決するためになされた第５の発明は、第１乃至第４の発明の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光層の上面に形成された前記陽極若しくは前記陰極のどちらか一方の電極が、前記発光層の面積よりも小さな面積を有する構成を有している。
【００６４】
この構成により、第１乃至第４の発明の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００６５】
（１）発光層の上面に形成された陽極若しくは陰極のどちらか一方の電極が、発光層の面積よりも小さな面積を有することにより、最上部に形成された電極の端部を被覆層で確実に覆うことができ、発光エリア減少の要因となる水分や酸素等の浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を効果的に抑制できる。
【００６６】
上記課題を解決するためになされた第６の発明は、第１乃至第５の発明の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記隔壁が撥水性を有する材料で形成されている構成を有している。
【００６７】
この構成により、第１乃至第５の発明の内いずれか１項の作用に加え、以下のような作用を有する。
【００６８】
（１）隔壁が撥水性を有する材料で形成されているので、発光層を湿式成膜法により成膜するだけで発光層と隔壁とを離間させて形成することができ、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができ、量産性、長寿命性に優れる。
【００６９】
ここで、発光層をスピンコート法等の湿式成膜法により成膜した場合に、発光層は隔壁の根元にまで潜り込んで成膜されてしまうが、隔壁が撥水性を有することにより、発光層を発光部の内側に留めることが可能となる。また、画素規制層が撥水性を有する場合も同様の効果を得ることができる。
【００７０】
上記課題を解決するためになされた第７の発明は、露光装置であって、第１乃至第６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００７１】
この構成により、以下のような作用を有する。
【００７２】
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができ実用性、信頼性に優れる。
【００７３】
上記課題を解決するためになされた第８の発明は、画像形成装置であって、第１乃至第６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いた構成を有している。
【００７４】
この構成により、以下のような作用を有する。
【００７５】
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができ実用性、信頼性に優れる。
【００７６】
ここで、有機エレクトロルミネッセンス素子は画像形成装置の露光部に実装される。露光部のヘッド支持部材上に光源として実装される有機エレクトロルミネッセンス素子は封止材により気密封止され、ヘッド支持部材上などに配設されたドライバから画像データに対応した電圧を給電されて発光する。この有機エレクトロルミネッセンス素子からの照射光がプリズムで屈折され、ファイバアレイで集光され、さらにシリンドリカルレンズで副走査方向に絞り込まれて露光に用いられる。
【００７７】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子について図面に基づき説明する。
【００７８】
図１は本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【００７９】
図１中、１は本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子、２は透明なソーダガラスで形成された有機エレクトロルミネッセンス素子１の基板、３は基板２上にＩＴＯ等の透明導電性薄膜を成膜して形成した透明な陽極、４は陽極３上にポリイミド等の絶縁層を成膜して形成した画素規制層、５は画素規制層４上にネガ型レジストで形成され後述する陰極７を分離する隔壁、６は陽極３上，画素規制層４上の一部，隔壁５上に形成された有機エレクトロルミネッセンス素子１の発光層、７は発光層６上に真空蒸着法により成膜された陰極、８は隔壁５を含む有機エレクトロルミネッセンス素子１の表面全体にバリア層として覆設された被覆層、９は陽極３上に成膜された画素規制層４を部分的に取り除くことにより形成された有機エレクトロルミネッセンス素子１の発光部である。
【００８０】
本実施の形態では、発光部９の光は基板２側から取り出すようになっているが、基板２と反対面の陰極７側や基板２の側面から取り出すようにしてもよい。
【００８１】
以上のように構成された有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法について説明する。
【００８２】
まず、スパッタ法により基板２上に膜厚が１５０ｎｍのＩＴＯ膜を成膜し、このＩＴＯ膜の上部にポジレジストをスピンコート等により塗布し、所定時間プリベークを行った後、所定のパターンに露光し、レジスト現像液に浸漬することにより現像を行う。その後、所定時間ポストベークを行った後、ＩＴＯエッチング液に所定時間浸漬することにより、エッチングを行って透明な導電性膜をパターニングし、レジスト剥離液を用いて、レジストをＩＴＯ膜上から剥離することで、所定のパターンに陽極３を形成した。
【００８３】
次に、陽極３上に絶縁層を画素規制層４として成膜した後、発光素子として機能させる部分だけ取り除き発光部９とする。本実施の形態では、感光性のポリイミドを、スピンコート法により成膜した。成膜後、所定時間ホットプレート上にてプリベークを行った後、所定のパターンに露光し、レジスト現像液に浸漬することにより現像を行った。その結果、発光素子として機能する発光部９が画素規制層４に囲まれた窓状に形成された。次に、後の工程で使用される、溶媒や試薬に侵されて、発光部９が変形しないように、高温で完全に硬化させるポストベークを行った。
【００８４】
次に、後に成膜される陰極７を分離するための隔壁５を画素規制層４上に形成した。本実施の形態では、ネガ型レジストを隔壁材料として用いた。まず、画素規制層４上にネガ型レジストをスピンコート法により成膜した。このときネガ型レジストの膜厚は、陽極３上に形成される発光層６及び陰極７の膜厚を合わせた厚さよりも厚くした。これにより後に形成される陰極７の分離が可能となる。ネガ型レジストを成膜した後、所定時間ホットプレート上にてプリベークを行い、所定のパターンに露光し、もう一度所定時間ホットプレート上にてプリベークを行うことで、硬化を促進させ、レジスト現像液に浸漬することにより現像を行った。この結果、絶縁性の逆テーパー形状を有する隔壁５が画素規制層４上に形成された。次に、後の工程で使用される、溶媒や試薬に侵されて、逆テーパー形状の隔壁５が変形しないように、高温で完全に硬化させるポストベークを行った。また、逆テーパー形状の底部の幅と頂部の幅との差は、プリベークの温度と時間、露光量、現像時間等に大きく影響される。特に温度は基板２全体に対して均一になるように制御することが好ましい。
【００８５】
尚、隔壁５と発光部９の端部との距離は、５μｍ〜１０μｍに形成した。隔壁５の端部から隣接する発光部９の端部までの距離が５μｍより短くなるにつれ、発光面積の減少が短時間で発生し易く、隔壁５と発光部９を離間させた効果が不十分になる傾向があり、距離が１０μｍより長くなるにつれ、発光部９の面積が不足して光量が低下したり発光部９のピッチが粗くなって解像度が低下したりする傾向があることがわかったためである。水分や酸素等の浸入経路である隔壁５と発光部９の端部との距離を５μｍ以上とすることで、発光エリア減少の成長速度（およそ０．０１μｍ／時間）に対して十分な距離を確保することができる。
【００８６】
次に、真空蒸着法やスピンコート法等の成膜方法により発光層６を形成し、真空蒸着法により陰極７を成膜した。陰極７を成膜するときにはＡｒガス等の不活性ガスを入れて成膜することが好ましい。これにより、平均自由行程（ミーン・フリー・パス）を短くすることができ、ステップカバレッジをよくすることができる。その結果、陰極７の端部が隔壁５の逆テーパー部分の陰（根元部）にまで潜り込み、発光部９の端部と陰極７の端部との距離が長くなるので、水分や酸素等の浸入経路を長くすることができ、発光エリア減少の発生を抑制する効果が得られる。
【００８７】
さらに、発光層６を真空蒸着法により成膜する場合に、それよりもミーン・フリー・パスを短くして陰極７を真空蒸着すると、発光層６自体を陰極７により完全に覆うことができ、発光層６を形成する有機膜がむき出しにならないので、水分や酸素等の浸入を抑制でき、発光エリア減少を抑制する効果が得られる。尚、発光層６の成膜に真空蒸着法を用いる場合は、真空を破らずに連続して陰極７を形成することが好ましい。
【００８８】
次に、大気圧に戻すことなく被覆層８をバリア層として成膜した。被覆層８は隔壁５の逆テーパー部分の陰や側面をも全て覆うように形成した。これにより、陰極７の端部を欠陥の無い被覆層８で完全に覆うことができ、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断して発光エリア減少の発生を抑制する効果が得られる。
【００８９】
本実施の形態では、被覆層８は、陰極７を真空蒸着法で形成後、大気圧に戻すことなく、比較的マイルドな真空蒸着法により成膜した。このとき、陰極７の成膜時と同様にＡｒガス等の不活性ガスを入れることにより、平均自由行程（ミーン・フリー・パス）を短くしてステップカバレッジをよくすることができ、隔壁５の逆テーパー部分の陰や側面を完全に覆うことができる。
【００９０】
尚、被覆層８の材質として吸水性を有する酸化カルシウム等を用いた場合、浸入してくる水分を捕獲することができ、より効果的に発光エリア減少の発生を抑制できる。
【００９１】
以上のように形成された実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置について説明する。
【００９２】
図２は本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置を示す要部模式断面図である。
【００９３】
図２中、１０はカラーの画像形成装置、１１は下から順にイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の各色のトナー像を形成するための画像形成装置１０の４つの現像部、１２は各色の現像部１１のそれぞれに対応して配設された実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１を光源とする画像形成装置１０の露光部（露光装置）、１３は各色の現像部１１及び露光部１２のそれぞれに対応して配設された画像形成装置１０の感光部、１４は各色の現像部１１，露光部１２，感光部１３に対向する位置に配設され、各色の感光部１３の感光ドラム１３ａ上に顕像化された各色トナー像を記録媒体２０上に相互に重ね転写してカラートナー像を形成する画像形成装置１０の転写部、１４ａは各色の感光ドラム１３ａに対応して配設された転写部１４の転写ローラ、１４ｂは各々の転写ローラ１４ａを各色の感光ドラム１３ａに圧接する転写部１４のスプリング、１５は現像部１１，露光部１２，感光部１３を挟んで転写部１４の反対側に配設され記録媒体２０が収納される画像形成装置１０の給紙部、１６は給紙部１５から記録媒体２０を１枚ずつ取り出す給紙ローラ、１７は給紙部１５から転写部１４に至る用紙搬送路上に配設され、所定のタイミングで記録媒体２０を転写部１４に送るレジストローラ、１８は転写部１４でカラートナー像が形成された記録媒体２０が走行する用紙搬送路上に配置された画像形成装置１０の定着部、１８ａは押圧ローラ１８ｂと共に記録媒体２０を狭持回転し記録媒体２０上に転写されたカラー画像を加熱、圧着して定着させる定着部１８の加熱ローラ、１９はカラー画像形成が終了した記録媒体２０が排出される画像形成装置１０の排紙トレイである。
【００９４】
次に、画像形成装置１０の現像部１１の詳細について説明する。図３は画像形成装置の現像部を示す要部断面模式図である。
【００９５】
図３中、１１ａは露光部１２からの照射光によって外周面に静電潜像が形成された感光ドラム１３ａにトナーを付着させて静電潜像をトナー像として顕像化する現像ローラ（現像手段）、１１ｂはタンク内のトナー２１を撹拌する撹拌部材、１１ｃはトナー２１を撹拌しつつこれを現像ローラ１１ａへ供給するサプライローラ、１１ｄは現像ローラ１１ａへ供給されたトナー２１を所定の厚みに整えるとともに摩擦によりトナー２１を帯電させるドクターブレードである。
【００９６】
次に、画像形成装置１０の露光部１２の詳細について説明する。図４は画像形成装置の露光部を示す要部断面模式図である。
【００９７】
図４中、１２ａは露光部１２のヘッド支持部材、１２ｂはヘッド支持部材１２ａ上に光源として実装された実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１を気密封止する封止材、１２ｃはヘッド支持部材１２ａ上に配設され画像データに対応した電圧を有機エレクトロルミネッセンス素子１に給電してこれを発光させるドライバ、１２ｄは有機エレクトロルミネッセンス素子１からの照射光を屈折させるプリズム、１２ｅはプリズム１２ｄからの光を集めるファイバアレイ、１２ｆはファイバアレイ１２ｅからの光を副走査方向に絞り込むシリンドリカルレンズであり、矢印は光路を示している。
【００９８】
尚、有機エレクトロルミネッセンス素子１は直流駆動以外に、交流電圧または交流電流、あるいはパルス波で駆動してもよい。
【００９９】
次に、画像形成装置１０の感光部１３の詳細について説明する。図５は画像形成装置の感光部を示す要部断面模式図である。
【０１００】
図５中、１３ａは回転可能に配設された像担持体としての感光ドラム（感光体）、１３ｂは感光ドラム１３ａに圧接されて感光ドラム１３ａの表面を一様な電位に帯電させる帯電器（帯電手段）、１３ｃは画像転写後の感光ドラム１３ａに残留しているトナーを除去するクリーナである。
【０１０１】
各色に対応した感光部１３の感光ドラム１３ａは、回転中心軸が同一直線上に並ぶように一列に配置されている。また、感光ドラム１３ａに圧接された帯電器１３ｂは、感光ドラム１３ａの回転に従動して回転する。
【０１０２】
以上のように構成された画像形成装置１０の動作について説明する。
【０１０３】
イエローに対応した一番下の感光ドラム１３ａ上に画像情報のイエロー成分色の潜像が形成される。この潜像はイエロートナーを有する一番下の現像ローラ１１ａによりイエロートナー像として感光ドラム１３ａ上に可視像化される。その間、給紙ローラ１６により給紙部１５から取り出された記録媒体２０は、レジストローラ１７によりタイミングがとられて転写部１４に送り込まれる。そして、感光ドラム１３ａと転写ローラ１４ａとで挟持搬送され、このときに前述したイエロートナー像が感光ドラム１３ａから転写される。
【０１０４】
イエロートナー像が記録媒体２０に転写されている間に、続いてマゼンタ成分色の潜像が形成され、下から二番目の感光ドラム１３ａでマゼンタトナーによるマゼンタトナー像が顕像化される。そして、イエロートナー像が転写された記録媒体２０に対して、マゼンタトナー像がイエロートナー像と重ね転写される。
【０１０５】
以下、シアントナー像、ブラックトナー像についても同様にして画像形成および転写が行われ、記録媒体２０上に４色のトナー像の重ね合わせが終了する。
【０１０６】
その後、カラー画像の形成された記録媒体２０は定着部１８へと搬送される。定着部１８では、転写されたトナー像が記録媒体２０に加熱定着されて、記録媒体２０上にフルカラー画像が形成される。
【０１０７】
このようにして一連のカラー画像形成が終了した記録媒体２０は、その後、排紙トレイ２８上に排出される。
【０１０８】
尚、４色のトナー像の重ね合わせの順序は前述のものに限定されるものではなく、任意に選択することができ、現像色もイエロー、マゼンタ、シアンおよびブラックの４色に限定されるものではない。また、画像形成装置はフルカラーに対応したものに限らず、ブラックなどの単色の画像形成装置にも適用することができる。
【０１０９】
以上のように本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子によれば、以下のような作用を有する。
【０１１０】
（１）隣接する複数の発光部９を電気的に分離する隔壁５を含む表面全体に被覆層８が覆設されているので、有機エレクトロルミネッセンス素子１の最上面に形成された陰極７の端部が被覆層８ですべて覆われ、発光エリア減少の要因となっている水分や酸素等の有機エレクトロルミネッセンス素子１内部への浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を抑制できる。
【０１１１】
（２）被覆層８が絶縁体で形成されているので、複数の発光部９を確実に絶縁することができる。
【０１１２】
（３）被覆層８が吸湿性を有することにより、発光エリア減少の要因となる水分を被覆層８で吸収することができるので、陰極７と発光層６との界面に浸入する水分量を低減でき、発光エリア減少を抑制できる。
【０１１３】
（４）隔壁５の端部から隣接する発光部９の端部までの距離を５μｍ〜１０μｍに形成することにより、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができる。
【０１１４】
以上のように本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置によれば、以下のような作用を有する。
【０１１５】
（１）発光エリア減少を抑制した有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いることで、装置を大型化することなく長期にわたり露光に必要な光量を得ることができ実用性、信頼性に優れる。
【０１１６】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子について図面に基づき説明する。
【０１１７】
図６は本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【０１１８】
図６において、実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子１ａが実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１と異なるのは、発光層６の端部が隣接する隔壁５の根元の端部近傍まで形成されている点と、発光層６の上面に形成された陰極７が発光層６の面積よりも小さな面積を有する点である。
【０１１９】
以上のように構成された実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子１ａの製造工程については、隔壁５の製造工程までは実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１の製造工程と同様であるので、それ以降の工程について説明する。
【０１２０】
隔壁５を形成した後、スピンコート法等の湿式成膜法により発光層６を形成した。このとき、発光層６の端部は逆テーパー状の隔壁５の根元部分にまで潜り込み、隔壁５の端部近傍まで成膜される。
【０１２１】
次に、真空蒸着法により陰極７を成膜した。この陰極７の形成については実施の形態１と同様に成膜時にＡｒガス等の不活性ガスを入れることで、陰極７の端部が隔壁５の逆テーパー部分の根元にまで潜り込ませることができる。発光部９の端部から陰極７の端部までの距離が長くなることで、実施の形態１と同様に発光エリア減少の発生を抑制する効果が得られる。
【０１２２】
発光層６の端部が隔壁５の端部近傍まで達しているため、陰極７の面積が発光層６の面積よりも小さな面積となり、発光層６を陰極７により完全に覆うことができない部分も発生するが、後工程で実施の形態１と同様に被覆層８を形成することにより、被覆層８で露出した発光層６の端部を直接覆うことができ、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断できる。
【０１２３】
以上のように本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子によれば、実施の形態１の作用に加え、以下のような作用を有する。
【０１２４】
（１）発光層６の上面に形成された陰極７が、発光層６の面積よりも小さな面積を有することにより、最上部に形成された陰極７の端部を被覆層８で確実に覆うことができ、発光エリア減少の要因となる水分や酸素等の浸入経路を絶つことができ、発光エリア減少を効果的に抑制できる。
【０１２５】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子について図面に基づき説明する。
【０１２６】
図７は本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図である。
【０１２７】
図７において、実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子１ｂが実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１と異なるのは、画素規制層４及び隔壁５の材料に撥水性を有する材料を用い、発光層６が陽極３上のみに形成されている点である。
【０１２８】
以上のように構成された実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子１ｂの製造工程については、画素規制層４及び隔壁５の材料が異なるだけで、隔壁５の製造工程までは実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子１の製造工程と同様であるので、それ以降の工程について説明する。
【０１２９】
隔壁５を形成した後、実施の形態２と同様にスピンコート法等の湿式成膜法により発光層６を形成した。このとき、画素規制層４及び隔壁５が撥水性を有することにより、発光層６が形成される範囲は発光部９の内部に留まる。
【０１３０】
次に、実施の形態１及び２と同様に真空蒸着法により陰極７を成膜した。発光層６が陽極３上のみに形成され、その周囲が画素規制層４により囲まれていることから、陰極７を真空蒸着すると、発光層６自体を陰極７により完全に覆うことができ、発光層６がむき出しになることがなく、発光層６への水分や酸素等の浸入を効果的に抑制できる。
【０１３１】
さらに、実施の形態１及び２と同様に被覆層８を形成することにより、被覆層８で陰極７の全面を覆うことができ、水分や酸素等の浸入経路を確実に遮断できる。
【０１３２】
以上のように本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子によれば、実施の形態１及び２の作用に加え、以下のような作用を有する。
【０１３３】
（１）画素規制層４及び隔壁５が撥水性を有する材料で形成されているので、発光層６を湿式成膜法により成膜するだけで発光層６と隔壁５とを離間させて形成することができ、水分や酸素等の浸入による発光面積減少の発生を遅らせることができ、量産性、長寿命性に優れる。
【産業上の利用可能性】
【０１３４】
本発明によれば、簡便な構造で発光エリア減少の発生を改善でき、長寿命性、量産性に優れる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することができ、種々の装置における発光素子として有用であり、特に露光装置や画像形成装置等の光源として用いることにより、装置を大型化することなく露光に必要な光量を得ることができ、実用性、信頼性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【０１３５】
【図１】本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【図２】本発明の実施の形態１における有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた画像形成装置を示す要部模式断面図
【図３】画像形成装置の現像部を示す要部断面模式図
【図４】画像形成装置の露光部を示す要部断面模式図
【図５】画像形成装置の感光部を示す要部断面模式図
【図６】本発明の実施の形態２における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【図７】本発明の実施の形態３における有機エレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【図８】従来のエレクトロルミネッセンス素子の構成を示す断面図
【図９】従来のエレクトロルミネッセンス素子の構造を示す要部断面図
【符号の説明】
【０１３６】
１，１ａ，１ｂ，３０，３０ａ 有機エレクトロルミネッセンス素子
２，３１ 基板
３，３２ 陽極
４，３６ 画素規制層
５，３７ 隔壁
６，３４ 発光層
７，３５ 陰極
８ 被覆層
９，３８ 発光部
１０ 画像形成装置
１１ 現像部
１１ａ 現像ローラ（現像手段）
１１ｂ 撹拌部材
１１ｃ サプライローラ
１１ｄ ドクターブレード
１２ 露光部
１２ａ ヘッド支持部材
１２ｂ 封止材
１２ｃ ドライバ
１２ｄ プリズム
１２ｅ ファイバアレイ
１２ｆ シリンドリカルレンズ
１３ 感光部
１３ａ 感光ドラム
１３ｂ 帯電器（帯電手段）
１３ｃ クリーナ
１４ 転写部
１４ａ 転写ローラ
１４ｂ スプリング
１５ 給紙部
１６ 給紙ローラ
１７ レジストローラ
１８ 定着部
１８ａ 加熱ローラ
１８ｂ 押圧ローラ
１９ 排紙トレイ
２０ 記録媒体
２１ トナー
３３ 正孔輸送層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項２】
前記被覆層が絶縁体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項３】
前記被覆層が吸湿性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項４】
前記隔壁の端部から隣接する前記発光部の端部までの距離が、５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至３の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項５】
前記発光層の上面に形成された前記陽極若しくは前記陰極のどちらか一方の電極が、前記発光層の面積よりも小さな面積を有することを特徴とする請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項６】
前記隔壁が撥水性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項７】
請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いたことを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項１】
陽極と陰極との間に有機材料で形成された発光層を有する複数の発光部と、隣接する前記複数の発光部を電気的に分離する隔壁と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子であって、前記発光部及び前記隔壁を含む表面全体に覆設された被覆層を備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項２】
前記被覆層が絶縁体で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項３】
前記被覆層が吸湿性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項４】
前記隔壁の端部から隣接する前記発光部の端部までの距離が、５μｍ〜１０μｍであることを特徴とする請求項１乃至３の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項５】
前記発光層の上面に形成された前記陽極若しくは前記陰極のどちらか一方の電極が、前記発光層の面積よりも小さな面積を有することを特徴とする請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項６】
前記隔壁が撥水性を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項１乃至５の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項７】
請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いたことを特徴とする露光装置。
【請求項８】
請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を光源に用いたことを特徴とする画像形成装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００７−４２４８８（Ｐ２００７−４２４８８Ａ）
【公開日】平成１９年２月１５日（２００７．２．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２２６４５９（Ｐ２００５−２２６４５９）
【出願日】平成１７年８月４日（２００５．８．４）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年２月１５日（２００７．２．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年８月４日（２００５．８．４）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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