液体吐出ヘッド用オリフィスプレートおよびその製造方法
【課題】 吐出口のピッチ精度がよく、吐出口周辺にレーザ加工のアブレーションによる副生成物の付着のないオリフィスプレートを得る。
【解決手段】 オリフィスプレートの元材となる撥水処理したフィルム状樹脂に、粘着剤を塗布したフィルム基材から形成される剥離可能部材を、フィルム状樹脂にかかる張力よりも強い一定の張力をかけながらラミネートし、湾曲した内側をロール内側となるように巻き取り、吐出口の形成をラミネート方向と垂直にレーザ加工し、レーザ加工後に剥離可能部材を剥離し、オリフィスプレート形状に裁断してオリフィスプレートを製造する。
【解決手段】 オリフィスプレートの元材となる撥水処理したフィルム状樹脂に、粘着剤を塗布したフィルム基材から形成される剥離可能部材を、フィルム状樹脂にかかる張力よりも強い一定の張力をかけながらラミネートし、湾曲した内側をロール内側となるように巻き取り、吐出口の形成をラミネート方向と垂直にレーザ加工し、レーザ加工後に剥離可能部材を剥離し、オリフィスプレート形状に裁断してオリフィスプレートを製造する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射し飛翔液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッドと、液体を噴射する吐出口（以下、オリフィスともいう）の形成に関するものである。
【０００２】
また本発明は紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる発明である。
【０００３】
なお、本発明における［記録］とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも意味する。
【背景技術】
【０００４】
従来より、液体吐出ヘッドの吐出口から記録液（インク）を吐出することにより記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られている。
【０００５】
このインクジェット記録法については、これまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて商品化されたものもあれば現在実用化への努力が続けられているものもある。
【０００６】
この種の液体吐出ヘッドは、例えば図１に示すようにインクを吐出するための吐出口４１を有するオリフィスプレート４０と各吐出口４１に連通した流路６１を形成するための天板６０と、流路６１の一部を構成し、かつ吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子（以下ヒータ）５１を有する基板（以下ヒータボード）５０とによって構成されている。
【０００７】
オリフィスプレート４０はインクを吐出するための微細な吐出口４１を有し、この吐出口４１が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となっている。すなわち液体吐出ヘッドのオリフィスプレート４０は、微細な吐出口４１を設けるため、加工性がよく、また、インクに直接接触するため耐インク性がよいなどの性能が必要とされる。
【０００８】
近年の記録技術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、このため吐出口４１は、その大きさ（吐出口径）が微少で、かつ高密度に形成されるようになってきた。この結果、現在ではポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレン、ポリイミドなどの樹脂フィルム材にエキシマレーザアブレーションによる微細加工で吐出口を加工する方法が最も一般的に用いられている。
【０００９】
しかしながら、従来の加工では、樹脂の被加工物がエキシマレーザによるアブレーションで分解除去される際に炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が吐出口周辺部に付着する現象が見られた。
【００１０】
エキシマレーザで吐出口を穴加工する際にレーザにより除去されたものが吐出口周辺に付着すると、付着物のある部分とない部分での物理的な性質、特にインクに対する濡れが変化する。一方オリフィスプレート４０の表面は、不要なインク溜りが存在しないように均一である事が望ましいとされている。そのためある部分に付着物が存在しインク溜りとなると、液滴の飛翔方向が安定せず、良好な記録が行えなくなる。また、インクの溜りが大きくなると、液滴の吐出が不能になり記録が行えなくなる状態に陥る事があった。このため、従来レーザ光の照射後に二次加工工程として超音波洗浄や粘着テープなどを用いて、堆積したカーボン層や炭素あるいは炭化物からなる微少破片を除去していた。また特開２０００−２２９４１２では、吐出口形成部材の少なくとも一方の表面にあらかじめ剥離可能部材を貼ってから前記吐出口形成部材にレーザ光を照射して吐出口を形成し、その後に剥離可能部材を剥す方法が示されている。
【特許文献１】特開２０００−２２９４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年の記録技術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求されるようになり、このため、吐出口の数はより多くなり、その大きさが微少で、かつ高密度で高精細な形成が必要になった。また、あらかじめ作成しておいたヘッド本体にオリフィスプレートを接合する際に、本体側の液路とオリフィスプレートの吐出口ピッチがずれると、インクの吐出性能に影響が生じて印字品位が劣化する。
【００１２】
そのため、従来にも増して吐出口間のピッチ精度が要求されるようになった。
【００１３】
ところが、剥離可能部材をフィルム状樹脂に貼った状態で、フィルム状樹脂の剥離可能部材を貼っていない面からレーザ光を照射して複数の吐出口４１を形成し、その後に剥離可能部材を剥すと、剥離可能部材を剥す前と後とでフィルム状樹脂に形成された複数の吐出口間のピッチが変化する事があった。変化量が一定ならば、あらかじめ吐出口ピッチを補正する事も出来るが、変化量のばらつきが大きいと、吐出口ピッチ寸法の誤差になる。
【００１４】
また、相対張力が実質的に発生しないようにラミネートしても、巻き取った状態で保存することにより、双方のフィルムに異なった張力がかかり、巻き出し後のフィルムの相対張力が変化したり、剥離が起こる場合もあった。
【００１５】
本発明は、上述の問題点を解決し、吐出口周辺にアブレーション時の副生成物である炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が付着する事を防止し、信頼性およびピッチ精度が高く、印字品位の良好な液体吐出ヘッドを得る事にある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成する為に、本発明は液体を飛翔液滴として吐出させるためのエネルギーを発生させる複数のエネルギー発生素子と該複数のエネルギー発生素子の各々が配置された複数の流路とを備えたヘッド本体と、該ヘッド本体に接合され、前記流路にそれぞれ連通した複数の吐出口を有するオリフィスプレートとを備えた液体吐出ヘッドにおける該オリフィスプレートの製造方法において、長尺のフィルム状樹脂の吐出口形成面側に長尺のフィルム状の剥離可能部材をフィルム上樹脂にかかるより強い一定の張力をかけた状態でラミネートして長尺フィルムを製作する工程と、フィルム状樹脂の剥離可能部剤をラミネートしていない面からレーザを照射してフィルム状樹脂と剥離可能部剤を同時に加工して複数の吐出口を形成する工程と、該剥離可能部剤を該フィルム状樹脂から剥す工程と、オリフィスプレート形状に該フィルム状樹脂を裁断する工程とを有する事を特徴とする。
【００１７】
上記の発明では、剥離可能部材にフィルム状樹脂にかかる張力よりも強い一定の張力を常にかけながらラミネートするため、ラミネート後剥離可能部材の長手方向にはフィルムが縮む方向に張力がかかり、幅方向には微少ながら伸びる方向に張力がかかる。したがって、フィルム状樹脂には、長手方向には伸びる方向、幅方向には微少ながら縮む方向に一定の張力がかかった状態でラミネートされる。
【００１８】
また、本発明では、前記吐出口を該長尺フィルムのラミネート方向と垂直な方向に形成する事を特徴とする。
【００１９】
上記発明では、ラミネート方向と垂直な方向に吐出口を形成するので、剥離可能部材をフィルム状樹脂に貼った状態で剥離可能部材をラミネートしていない面からレーザを照射して複数の吐出口を形成し、その後に剥離可能部材を剥しても、剥離可能部材が常に同じ張力でラミネートされているため、剥離可能部材を剥す前後でフィルム状樹脂に形成された複数の吐出口間のピッチは常に同じ値で変化を起こす。
【００２０】
また、本発明では、ラミネートした長尺フィルムを巻き取る際、湾曲した内側をロール内側に巻き取ることを特徴とする。
【００２１】
上記の発明では、巻き取り方向をラミネート後のカール方向で行うことにより、巻き取り時のラミネート剥離や、フィルムのまき癖による吐出口ピッチ変化量のばらつきを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、剥離可能部材をフィルム状樹脂よりも強い一定の張力をかけた状態でラミネートすることにより、剥離可能部材は長手方向に対して伸びる方向、幅方向に対して縮む方向に張力が働く。その状態でフィルム状樹脂をラミネートすると、剥離可能部材は元の状態に戻ろうとする慣性力が働き、長手方向には縮む方向、幅方向には伸びる方向に張力が働く。一方、フィルム状樹脂には、長手方向には伸びる方向、幅方向には縮む方向に張力が働く。
【００２３】
この状態でラミネートしていない面からレーザ加工をし、ラミネート方向と垂直に複数の吐出口を形成し、剥離可能部材を剥離すると、剥離前後でフィルム状樹脂の吐出口のピッチは必ず縮んだ状態となる。
【００２４】
また、剥離可能部材により強い張力をかけてラミネートすると、ラミネートされたフィルム状樹脂は剥離可能部材を内側にしてカールした状態となり、その方向に巻き取ることにより、フィルム状樹脂に巻き癖がつきにくく、さらに巻き取り時にラミネートが剥離することを防ぐことができる。
【００２５】
また、剥離可能部材の粘着力が前記レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、前記フィルム状樹脂から粘着部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない程度に小さい値に調整されているので、レーザ照射時に剥離可能部材がフィルム状樹脂から剥がれてしまって、アブレーションで生成した炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が吐出口周辺部に付着してしまうということは起こらない。また、粘着力が調整されているので、フィルム状樹脂から剥離可能部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない。
【００２６】
以上から、吐出口のピッチ精度がよく、吐出口周囲にレーザアブレーション時の副生成物がないオリフィスプレートを得ることができる。
【００２７】
さらに、上記オリフィスプレートを用いる事で、信頼性が高く、印字品位の良好な液体吐出ヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態の吐出ヘッドの製造方法が適用される液体吐出ヘッドの斜視図である。オリフィスプレート４０を分離して示してある。５０は、シリコン基板上に複数配列されたエネルギー発生素子（吐出ヒータ）５１と、これに電力を供給するアルミニウムなどの電気配線とが成膜技術により形成されてなる基板である。６０は、複数の液路６１を各々区分するための隔壁や液路６１に供給するインクを収納するための共通液室などを設けた天板であり、インクはインクタンク（不図示）から供給される。
【００３０】
それぞれの液路６１にエネルギー発生素子５１が配置されるように基板５０と天板６０とを接合することにより、複数の液路６１および複数のエネルギー発生素子５１が備えられたヘッド本体が構成されている。このヘッド本体の前端面に、すなわち図２に示すように基板５０のオリフィスプレート４０との接合面４４ａ、および天板６０のオリフィスプレート４０との接合面４４ｂを含む面に、それぞれ液路６１の開口が配置されている。
【００３１】
一方、オリフィスプレート４０には、液路６１とそれぞれ連通した複数の吐出口４１が複数形成されている。また、オリフィスプレート４０の、ヘッド本体４６との接合面における吐出口４１の周囲には、吐出口４１ごとにそれぞれ独立した凸部４５が形成されており、凸部４５が液路６１に勘合した状態で、接合面４４ａ，４４ｂで接着樹脂４２によってヘッド本体４６とオリフィスプレート４０が接合されている。
【００３２】
この液体吐出ヘッドでは、エネルギー発生素子５１から発生した熱エネルギーが液路６１内のインクに作用する事でエネルギー発生素子５１上で気泡が発生し、その気泡の発生を利用して吐出口４１からインクが吐出される。
【００３３】
図３は、本発明の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に示す図である。図３に示される製造ラインは、図１に示したオリフィスプレート４０の元材となる長尺フィルム７５を製造するためのものである。この製造ラインでは、長尺フィルム状樹脂７４の吐出口形成面側に剥離可能部材７３をラミネートして長尺フィルム７５を製作する工程が行われる。図３に示すように、巻出しロールＡ７０から剥離可能部材のフィルム基材８３を連続的に巻きだしながら粘着剤７１を塗工し、乾燥炉７２で乾燥させる。今回の塗工はスロットダイコーティングヘッドを用いて行ったが、グラビアコーティング、スプレー塗布などの一般的に使用されている塗工方法を用いても構わない。ここでは剥離可能部材のフィルム基材８３として２０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（以下ＰＥＴフィルム）を用いた。ここでは、フィルム幅は３００ｍｍ、フィルム長さは２００ｍとしたが、装置や仕様に応じて任意に設定する事ができる。粘着剤７１は、アクリル系の粘着剤を１０μｍ塗布し、７０℃で乾燥させた。ラインスピードは１ｍ／ｍｉｎで行った。粘着剤７１のエージングは、乾燥炉７２の中で終了していても構わないし、フィルム状樹脂表面に付着物などの影響を及ぼさなければエージング終了がラミネート後になっても構わない。
【００３４】
粘着力は、レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、フィルム状樹脂７４から剥離可能部材７３を取り去る際にフィルム状樹脂７４が塑性変形をおこさない程度に小さい値に調整した。
【００３５】
次に、フィルム状樹脂の制作方法について説明する。フィルム状樹脂７４として、５０μｍ厚のポリサルフォンフィルム（住友ベークライト（株）製ＦＳ１２００）を用いた。
【００３６】
まず、一方の表面に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、旭硝子（株）製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィルム状樹脂の表面に撥水層を形成する際には、まず撥水剤塗工面をコロナ処理により親水化し、密着向上のためのシラン処理を施した後、マイクログラビアコータを用いてフィルム状樹脂７４を長手方向に巻きだしながら撥水剤を塗工し、連続して１５０℃３分間乾燥を行った。ラインスピードは１ｍ／ｍｉｎで行った。一旦巻き取った後１４０℃で５時間ポストベークを行った。このようにして製作したフィルム状樹脂７４を巻出しロールＢ８０から巻きだして、図５で示すようにラミネートロールＡ７６とラミネートロールＢ７７で剥離可能部材７３とラミネートし、図４で示すような構成の長尺フィルム７５を作成した。
【００３７】
次に、４０℃で３日間保持し、粘着剤のエージングを行った。
【００３８】
次に、エキシマレーザを用いて吐出口を形成した。長尺フィルムは、あらかじめ全長２００ｍにわたって３００ｍｍ幅を４８ｍｍ幅に分割カットした。
【００３９】
図７は、長尺フィルムに吐出口を形成するためのレーザ加工機を模式的に示す図である。図７に示されるレーザ加工機には、エキシマレーザ発振器１０とエキシマレーザ発振器１０から出射されたレーザ１３を集光させる集光レンズ１１、集光レンズ１１を透過したレーザ１３を長尺フィルム７５の所定の部分に照射させるためのマスク１２とが備えられている。エキシマレＰーザ発振器１０から出射されたレーザ１３は集光レンズ１１およびマスク１２を介して長尺フィルム７５に照射される。長尺フィルム７５はロール状に巻かれた状態で収納されており、ここでは、ロール状の長尺フィルムを巻き出す事により長尺フィルム７５の一部を平らにし、その平らな部分にレーザ１３を照射させる。長尺フィルム７５の剥離可能部材７３をラミネートしていない面からレーザを照射してフィルム状樹脂７４と剥離可能部材７３を同時に加工して、フィルム状樹脂７４の撥水層８１を形成した表面での開口寸法がφ２０μｍでピッチが４２．３μｍの吐出口４１を複数個形成した。吐出口列の形成方向は、図６に示すように、長尺フィルム７５のラミネート方向と垂直な方向に形成した。次に、長尺フィルム７５の剥離可能部材７３をラミネートしていない面からレーザ１３を照射して吐出口４１の周囲に図２の凸部４５に応じた形状を形成した。パルス数を調整して、凸部高さが１０μｍになるように周囲を除去加工した。
【００４０】
次に、剥離可能部材７３を長尺フィルム７５のフィルム状樹脂７４から連続的に巻き取りながら剥離した。ここでは、レーザ加工と別工程で行ったが、レーザ加工機に剥離可能部材巻き取り機を取り付け、レーザ加工直後に剥離して巻き取るようにしてもよい。
【００４１】
以上のような加工を行うと、エキシマレーザによる吐出口加工時の副生成物が観察されるが、この副生成物は剥離可能部材７３上に存在しているので、剥離可能部材７３を剥す事で、フィルム状樹脂７４の撥水層８１表面には全く存在することなく除去することが出来る。
【００４２】
次に、吐出口４１が形成されてロール状に巻かれた長尺フィルム７５を、一つの液体吐出ヘッドごとに必要な１インチサイズに裁断して、オリフィスプレート４０を製作した。
【００４３】
次に、オリフィスプレート４０を製作した後の、液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
【００４４】
オリフィスプレート４０を作成した後には、上述した工程とは別の工程で作成されたヘッド本体４６に、接着樹脂４２によってオリフィスプレート４０を接合する。ここで用いる接着樹脂４２として、紫外線を照射する事によりタック性を保持したままＢステージ（硬化中間状態）化し、その接着樹脂４２の硬化収縮を完了させてから、加熱圧着、または接着樹脂４２への更なる紫外線照射により部材同士を接着する事が可能なエポキシ系の接着剤を用いた。
【００４５】
接着樹脂として、Ｂステージ化せずに加熱圧着のみでも接着が可能な材料などを使用しても構わない。
【００４６】
まず、上記のようなエポキシ系の接着樹脂４２を転写法でヘッド本体４６の接合面４４ａ，４４ｂに転写し、紫外線を照射して接着樹脂４２のＢステージ化を行う。
【００４７】
次に、オリフィスプレート４０のそれぞれの凸部４５を、それぞれの凸部４５に対応する液路６１内に進入させて凸部４５を液路６１の先端部に勘合する。
【００４８】
次に、オリフィスプレート４０の、凸部４５を形成していない面からオリフィスプレート４０に１ｋｇ／ｃｍ2 の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッド本体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６０℃の温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０を加熱圧着し、接着樹脂の硬化を終了させた。
【００４９】
以上で説明した工程を経て、図１および図２に示した液体吐出ヘッドが製造される。
【００５０】
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法によれば、長尺のフィルム状に剥離可能部材を連続的にラミネートするので、個別フィルムでラミネートする場合に比べ、一定の条件でラミネートが可能であるし、エアのトラップによる気泡などの発生もない。
【００５１】
また、剥離可能部材をフィルム状樹脂よりも強い一定の張力をかけた状態でラミネートする場合、剥離可能部材は長手方向に対して伸びる方向、幅方向に対して縮む方向に張力が働く。その状態でフィルム状樹脂をラミネートすると、剥離可能部材は元の状態に戻ろうとする慣性力が働き、長手方向には縮む方向、幅方向には伸びる方向に張力が働く。一方、フィルム状樹脂には、長手方向には伸びる方向、幅方向には縮む方向に張力が働く。
【００５２】
この状態でラミネートしていない面からレーザ加工をし、ラミネート方向と垂直に複数の吐出口を形成し剥離可能部材を剥離すると、剥離前後でフィルム状樹脂の吐出口のピッチは必ず縮んだ状態となる。
【００５３】
また、剥離可能部材により強い張力をかけてラミネートすると、ラミネートされたフィルム状樹脂は剥離可能部材を内側にしてカールした状態となる。その方向に巻き取ることにより、フィルム状樹脂にまき癖がつきにくく、さらに巻き取り時にラミネートが剥離することを防ぐことができる。
【００５４】
また、剥離可能部材の粘着力が前記レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、前記フィルム状樹脂から粘着部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない程度に小さいように調整されているので、レーザ照射時に剥離可能部材がフィルム状樹脂から剥がれてしまって、アブレーションで生成した炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が吐出口周辺部に付着してしまうということは起こらない。また、粘着力が調整されているので、フィルム状樹脂から粘着部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない。
【００５５】
以上から、吐出口のピッチ精度がよく、吐出口周囲にレーザアブレーション時の副生成物がないオリフィスプレートを得ることができる。
【００５６】
さらに、上記オリフィスプレートを用いる事で、信頼性が高く、印字品位の良好な液体吐出ヘッドが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法が適用される液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図。
【図２】図１に示した液体吐出ヘッドの、流路方向にそった断面図。
【図３】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に示した図。
【図４】長尺フィルムの構成を示す図。
【図５】本発明の実施例の長尺フィルムのラミネート方向について説明するための図。
【図６】本発明の実施例の長尺フィルムの吐出口形成方法について説明するための図。
【図７】長尺フィルムに吐出口を形成するためのレーザ加工機を模式的に示す図。
【符号の説明】
【００５８】
１０ エキシマレーザ発振器
１１ 集光レンズ
１２ マスク
１３ レーザ
４０ オリフィスプレート
４１ 吐出口
４２ 接着樹脂
４４ａ 接合面
４４ｂ 接合面
４５ 凸部
４６ ヘッド本体
５０ 基板
５１ エネルギー発生素子
６０ 天板
６１ 液路
６２ 液室
６４ 供給口
６８ 巻き取りロール
６９ 粘着剤供給口
７０ 巻き出しロールＡ
７１ 粘着剤
７２ 乾燥炉
７３ 剥離可能部材
７４ フィルム状樹脂
７５ 長尺フィルム
７６ ラミネートロールＡ
７７ ラミネートロールＢ
７８ テンションロールＢ
７９ テンションロールＡ
８０ 巻き出しロールＢ
８１ 撥水層
８２ 粘着剤層
８３ フィルム基材層
８４ 張力Ａ
８５ 張力Ｂ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射し飛翔液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッドと、液体を噴射する吐出口（以下、オリフィスともいう）の形成に関するものである。
【０００２】
また本発明は紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒体に対し記録を行う、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる発明である。
【０００３】
なお、本発明における［記録］とは、文字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも意味する。
【背景技術】
【０００４】
従来より、液体吐出ヘッドの吐出口から記録液（インク）を吐出することにより記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点で優れた記録装置として知られている。
【０００５】
このインクジェット記録法については、これまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて商品化されたものもあれば現在実用化への努力が続けられているものもある。
【０００６】
この種の液体吐出ヘッドは、例えば図１に示すようにインクを吐出するための吐出口４１を有するオリフィスプレート４０と各吐出口４１に連通した流路６１を形成するための天板６０と、流路６１の一部を構成し、かつ吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子（以下ヒータ）５１を有する基板（以下ヒータボード）５０とによって構成されている。
【０００７】
オリフィスプレート４０はインクを吐出するための微細な吐出口４１を有し、この吐出口４１が液体吐出ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となっている。すなわち液体吐出ヘッドのオリフィスプレート４０は、微細な吐出口４１を設けるため、加工性がよく、また、インクに直接接触するため耐インク性がよいなどの性能が必要とされる。
【０００８】
近年の記録技術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求されるようになりつつあり、このため吐出口４１は、その大きさ（吐出口径）が微少で、かつ高密度に形成されるようになってきた。この結果、現在ではポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレン、ポリイミドなどの樹脂フィルム材にエキシマレーザアブレーションによる微細加工で吐出口を加工する方法が最も一般的に用いられている。
【０００９】
しかしながら、従来の加工では、樹脂の被加工物がエキシマレーザによるアブレーションで分解除去される際に炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が吐出口周辺部に付着する現象が見られた。
【００１０】
エキシマレーザで吐出口を穴加工する際にレーザにより除去されたものが吐出口周辺に付着すると、付着物のある部分とない部分での物理的な性質、特にインクに対する濡れが変化する。一方オリフィスプレート４０の表面は、不要なインク溜りが存在しないように均一である事が望ましいとされている。そのためある部分に付着物が存在しインク溜りとなると、液滴の飛翔方向が安定せず、良好な記録が行えなくなる。また、インクの溜りが大きくなると、液滴の吐出が不能になり記録が行えなくなる状態に陥る事があった。このため、従来レーザ光の照射後に二次加工工程として超音波洗浄や粘着テープなどを用いて、堆積したカーボン層や炭素あるいは炭化物からなる微少破片を除去していた。また特開２０００−２２９４１２では、吐出口形成部材の少なくとも一方の表面にあらかじめ剥離可能部材を貼ってから前記吐出口形成部材にレーザ光を照射して吐出口を形成し、その後に剥離可能部材を剥す方法が示されている。
【特許文献１】特開２０００−２２９４１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
近年の記録技術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求されるようになり、このため、吐出口の数はより多くなり、その大きさが微少で、かつ高密度で高精細な形成が必要になった。また、あらかじめ作成しておいたヘッド本体にオリフィスプレートを接合する際に、本体側の液路とオリフィスプレートの吐出口ピッチがずれると、インクの吐出性能に影響が生じて印字品位が劣化する。
【００１２】
そのため、従来にも増して吐出口間のピッチ精度が要求されるようになった。
【００１３】
ところが、剥離可能部材をフィルム状樹脂に貼った状態で、フィルム状樹脂の剥離可能部材を貼っていない面からレーザ光を照射して複数の吐出口４１を形成し、その後に剥離可能部材を剥すと、剥離可能部材を剥す前と後とでフィルム状樹脂に形成された複数の吐出口間のピッチが変化する事があった。変化量が一定ならば、あらかじめ吐出口ピッチを補正する事も出来るが、変化量のばらつきが大きいと、吐出口ピッチ寸法の誤差になる。
【００１４】
また、相対張力が実質的に発生しないようにラミネートしても、巻き取った状態で保存することにより、双方のフィルムに異なった張力がかかり、巻き出し後のフィルムの相対張力が変化したり、剥離が起こる場合もあった。
【００１５】
本発明は、上述の問題点を解決し、吐出口周辺にアブレーション時の副生成物である炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が付着する事を防止し、信頼性およびピッチ精度が高く、印字品位の良好な液体吐出ヘッドを得る事にある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成する為に、本発明は液体を飛翔液滴として吐出させるためのエネルギーを発生させる複数のエネルギー発生素子と該複数のエネルギー発生素子の各々が配置された複数の流路とを備えたヘッド本体と、該ヘッド本体に接合され、前記流路にそれぞれ連通した複数の吐出口を有するオリフィスプレートとを備えた液体吐出ヘッドにおける該オリフィスプレートの製造方法において、長尺のフィルム状樹脂の吐出口形成面側に長尺のフィルム状の剥離可能部材をフィルム上樹脂にかかるより強い一定の張力をかけた状態でラミネートして長尺フィルムを製作する工程と、フィルム状樹脂の剥離可能部剤をラミネートしていない面からレーザを照射してフィルム状樹脂と剥離可能部剤を同時に加工して複数の吐出口を形成する工程と、該剥離可能部剤を該フィルム状樹脂から剥す工程と、オリフィスプレート形状に該フィルム状樹脂を裁断する工程とを有する事を特徴とする。
【００１７】
上記の発明では、剥離可能部材にフィルム状樹脂にかかる張力よりも強い一定の張力を常にかけながらラミネートするため、ラミネート後剥離可能部材の長手方向にはフィルムが縮む方向に張力がかかり、幅方向には微少ながら伸びる方向に張力がかかる。したがって、フィルム状樹脂には、長手方向には伸びる方向、幅方向には微少ながら縮む方向に一定の張力がかかった状態でラミネートされる。
【００１８】
また、本発明では、前記吐出口を該長尺フィルムのラミネート方向と垂直な方向に形成する事を特徴とする。
【００１９】
上記発明では、ラミネート方向と垂直な方向に吐出口を形成するので、剥離可能部材をフィルム状樹脂に貼った状態で剥離可能部材をラミネートしていない面からレーザを照射して複数の吐出口を形成し、その後に剥離可能部材を剥しても、剥離可能部材が常に同じ張力でラミネートされているため、剥離可能部材を剥す前後でフィルム状樹脂に形成された複数の吐出口間のピッチは常に同じ値で変化を起こす。
【００２０】
また、本発明では、ラミネートした長尺フィルムを巻き取る際、湾曲した内側をロール内側に巻き取ることを特徴とする。
【００２１】
上記の発明では、巻き取り方向をラミネート後のカール方向で行うことにより、巻き取り時のラミネート剥離や、フィルムのまき癖による吐出口ピッチ変化量のばらつきを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように、本発明によれば、剥離可能部材をフィルム状樹脂よりも強い一定の張力をかけた状態でラミネートすることにより、剥離可能部材は長手方向に対して伸びる方向、幅方向に対して縮む方向に張力が働く。その状態でフィルム状樹脂をラミネートすると、剥離可能部材は元の状態に戻ろうとする慣性力が働き、長手方向には縮む方向、幅方向には伸びる方向に張力が働く。一方、フィルム状樹脂には、長手方向には伸びる方向、幅方向には縮む方向に張力が働く。
【００２３】
この状態でラミネートしていない面からレーザ加工をし、ラミネート方向と垂直に複数の吐出口を形成し、剥離可能部材を剥離すると、剥離前後でフィルム状樹脂の吐出口のピッチは必ず縮んだ状態となる。
【００２４】
また、剥離可能部材により強い張力をかけてラミネートすると、ラミネートされたフィルム状樹脂は剥離可能部材を内側にしてカールした状態となり、その方向に巻き取ることにより、フィルム状樹脂に巻き癖がつきにくく、さらに巻き取り時にラミネートが剥離することを防ぐことができる。
【００２５】
また、剥離可能部材の粘着力が前記レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、前記フィルム状樹脂から粘着部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない程度に小さい値に調整されているので、レーザ照射時に剥離可能部材がフィルム状樹脂から剥がれてしまって、アブレーションで生成した炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が吐出口周辺部に付着してしまうということは起こらない。また、粘着力が調整されているので、フィルム状樹脂から剥離可能部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない。
【００２６】
以上から、吐出口のピッチ精度がよく、吐出口周囲にレーザアブレーション時の副生成物がないオリフィスプレートを得ることができる。
【００２７】
さらに、上記オリフィスプレートを用いる事で、信頼性が高く、印字品位の良好な液体吐出ヘッドが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態の吐出ヘッドの製造方法が適用される液体吐出ヘッドの斜視図である。オリフィスプレート４０を分離して示してある。５０は、シリコン基板上に複数配列されたエネルギー発生素子（吐出ヒータ）５１と、これに電力を供給するアルミニウムなどの電気配線とが成膜技術により形成されてなる基板である。６０は、複数の液路６１を各々区分するための隔壁や液路６１に供給するインクを収納するための共通液室などを設けた天板であり、インクはインクタンク（不図示）から供給される。
【００３０】
それぞれの液路６１にエネルギー発生素子５１が配置されるように基板５０と天板６０とを接合することにより、複数の液路６１および複数のエネルギー発生素子５１が備えられたヘッド本体が構成されている。このヘッド本体の前端面に、すなわち図２に示すように基板５０のオリフィスプレート４０との接合面４４ａ、および天板６０のオリフィスプレート４０との接合面４４ｂを含む面に、それぞれ液路６１の開口が配置されている。
【００３１】
一方、オリフィスプレート４０には、液路６１とそれぞれ連通した複数の吐出口４１が複数形成されている。また、オリフィスプレート４０の、ヘッド本体４６との接合面における吐出口４１の周囲には、吐出口４１ごとにそれぞれ独立した凸部４５が形成されており、凸部４５が液路６１に勘合した状態で、接合面４４ａ，４４ｂで接着樹脂４２によってヘッド本体４６とオリフィスプレート４０が接合されている。
【００３２】
この液体吐出ヘッドでは、エネルギー発生素子５１から発生した熱エネルギーが液路６１内のインクに作用する事でエネルギー発生素子５１上で気泡が発生し、その気泡の発生を利用して吐出口４１からインクが吐出される。
【００３３】
図３は、本発明の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に示す図である。図３に示される製造ラインは、図１に示したオリフィスプレート４０の元材となる長尺フィルム７５を製造するためのものである。この製造ラインでは、長尺フィルム状樹脂７４の吐出口形成面側に剥離可能部材７３をラミネートして長尺フィルム７５を製作する工程が行われる。図３に示すように、巻出しロールＡ７０から剥離可能部材のフィルム基材８３を連続的に巻きだしながら粘着剤７１を塗工し、乾燥炉７２で乾燥させる。今回の塗工はスロットダイコーティングヘッドを用いて行ったが、グラビアコーティング、スプレー塗布などの一般的に使用されている塗工方法を用いても構わない。ここでは剥離可能部材のフィルム基材８３として２０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（以下ＰＥＴフィルム）を用いた。ここでは、フィルム幅は３００ｍｍ、フィルム長さは２００ｍとしたが、装置や仕様に応じて任意に設定する事ができる。粘着剤７１は、アクリル系の粘着剤を１０μｍ塗布し、７０℃で乾燥させた。ラインスピードは１ｍ／ｍｉｎで行った。粘着剤７１のエージングは、乾燥炉７２の中で終了していても構わないし、フィルム状樹脂表面に付着物などの影響を及ぼさなければエージング終了がラミネート後になっても構わない。
【００３４】
粘着力は、レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、フィルム状樹脂７４から剥離可能部材７３を取り去る際にフィルム状樹脂７４が塑性変形をおこさない程度に小さい値に調整した。
【００３５】
次に、フィルム状樹脂の制作方法について説明する。フィルム状樹脂７４として、５０μｍ厚のポリサルフォンフィルム（住友ベークライト（株）製ＦＳ１２００）を用いた。
【００３６】
まず、一方の表面に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、旭硝子（株）製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィルム状樹脂の表面に撥水層を形成する際には、まず撥水剤塗工面をコロナ処理により親水化し、密着向上のためのシラン処理を施した後、マイクログラビアコータを用いてフィルム状樹脂７４を長手方向に巻きだしながら撥水剤を塗工し、連続して１５０℃３分間乾燥を行った。ラインスピードは１ｍ／ｍｉｎで行った。一旦巻き取った後１４０℃で５時間ポストベークを行った。このようにして製作したフィルム状樹脂７４を巻出しロールＢ８０から巻きだして、図５で示すようにラミネートロールＡ７６とラミネートロールＢ７７で剥離可能部材７３とラミネートし、図４で示すような構成の長尺フィルム７５を作成した。
【００３７】
次に、４０℃で３日間保持し、粘着剤のエージングを行った。
【００３８】
次に、エキシマレーザを用いて吐出口を形成した。長尺フィルムは、あらかじめ全長２００ｍにわたって３００ｍｍ幅を４８ｍｍ幅に分割カットした。
【００３９】
図７は、長尺フィルムに吐出口を形成するためのレーザ加工機を模式的に示す図である。図７に示されるレーザ加工機には、エキシマレーザ発振器１０とエキシマレーザ発振器１０から出射されたレーザ１３を集光させる集光レンズ１１、集光レンズ１１を透過したレーザ１３を長尺フィルム７５の所定の部分に照射させるためのマスク１２とが備えられている。エキシマレＰーザ発振器１０から出射されたレーザ１３は集光レンズ１１およびマスク１２を介して長尺フィルム７５に照射される。長尺フィルム７５はロール状に巻かれた状態で収納されており、ここでは、ロール状の長尺フィルムを巻き出す事により長尺フィルム７５の一部を平らにし、その平らな部分にレーザ１３を照射させる。長尺フィルム７５の剥離可能部材７３をラミネートしていない面からレーザを照射してフィルム状樹脂７４と剥離可能部材７３を同時に加工して、フィルム状樹脂７４の撥水層８１を形成した表面での開口寸法がφ２０μｍでピッチが４２．３μｍの吐出口４１を複数個形成した。吐出口列の形成方向は、図６に示すように、長尺フィルム７５のラミネート方向と垂直な方向に形成した。次に、長尺フィルム７５の剥離可能部材７３をラミネートしていない面からレーザ１３を照射して吐出口４１の周囲に図２の凸部４５に応じた形状を形成した。パルス数を調整して、凸部高さが１０μｍになるように周囲を除去加工した。
【００４０】
次に、剥離可能部材７３を長尺フィルム７５のフィルム状樹脂７４から連続的に巻き取りながら剥離した。ここでは、レーザ加工と別工程で行ったが、レーザ加工機に剥離可能部材巻き取り機を取り付け、レーザ加工直後に剥離して巻き取るようにしてもよい。
【００４１】
以上のような加工を行うと、エキシマレーザによる吐出口加工時の副生成物が観察されるが、この副生成物は剥離可能部材７３上に存在しているので、剥離可能部材７３を剥す事で、フィルム状樹脂７４の撥水層８１表面には全く存在することなく除去することが出来る。
【００４２】
次に、吐出口４１が形成されてロール状に巻かれた長尺フィルム７５を、一つの液体吐出ヘッドごとに必要な１インチサイズに裁断して、オリフィスプレート４０を製作した。
【００４３】
次に、オリフィスプレート４０を製作した後の、液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
【００４４】
オリフィスプレート４０を作成した後には、上述した工程とは別の工程で作成されたヘッド本体４６に、接着樹脂４２によってオリフィスプレート４０を接合する。ここで用いる接着樹脂４２として、紫外線を照射する事によりタック性を保持したままＢステージ（硬化中間状態）化し、その接着樹脂４２の硬化収縮を完了させてから、加熱圧着、または接着樹脂４２への更なる紫外線照射により部材同士を接着する事が可能なエポキシ系の接着剤を用いた。
【００４５】
接着樹脂として、Ｂステージ化せずに加熱圧着のみでも接着が可能な材料などを使用しても構わない。
【００４６】
まず、上記のようなエポキシ系の接着樹脂４２を転写法でヘッド本体４６の接合面４４ａ，４４ｂに転写し、紫外線を照射して接着樹脂４２のＢステージ化を行う。
【００４７】
次に、オリフィスプレート４０のそれぞれの凸部４５を、それぞれの凸部４５に対応する液路６１内に進入させて凸部４５を液路６１の先端部に勘合する。
【００４８】
次に、オリフィスプレート４０の、凸部４５を形成していない面からオリフィスプレート４０に１ｋｇ／ｃｍ2 の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッド本体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６０℃の温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０を加熱圧着し、接着樹脂の硬化を終了させた。
【００４９】
以上で説明した工程を経て、図１および図２に示した液体吐出ヘッドが製造される。
【００５０】
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法によれば、長尺のフィルム状に剥離可能部材を連続的にラミネートするので、個別フィルムでラミネートする場合に比べ、一定の条件でラミネートが可能であるし、エアのトラップによる気泡などの発生もない。
【００５１】
また、剥離可能部材をフィルム状樹脂よりも強い一定の張力をかけた状態でラミネートする場合、剥離可能部材は長手方向に対して伸びる方向、幅方向に対して縮む方向に張力が働く。その状態でフィルム状樹脂をラミネートすると、剥離可能部材は元の状態に戻ろうとする慣性力が働き、長手方向には縮む方向、幅方向には伸びる方向に張力が働く。一方、フィルム状樹脂には、長手方向には伸びる方向、幅方向には縮む方向に張力が働く。
【００５２】
この状態でラミネートしていない面からレーザ加工をし、ラミネート方向と垂直に複数の吐出口を形成し剥離可能部材を剥離すると、剥離前後でフィルム状樹脂の吐出口のピッチは必ず縮んだ状態となる。
【００５３】
また、剥離可能部材により強い張力をかけてラミネートすると、ラミネートされたフィルム状樹脂は剥離可能部材を内側にしてカールした状態となる。その方向に巻き取ることにより、フィルム状樹脂にまき癖がつきにくく、さらに巻き取り時にラミネートが剥離することを防ぐことができる。
【００５４】
また、剥離可能部材の粘着力が前記レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、前記フィルム状樹脂から粘着部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない程度に小さいように調整されているので、レーザ照射時に剥離可能部材がフィルム状樹脂から剥がれてしまって、アブレーションで生成した炭素あるいは炭化物からなると思われる微少破片が吐出口周辺部に付着してしまうということは起こらない。また、粘着力が調整されているので、フィルム状樹脂から粘着部材を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない。
【００５５】
以上から、吐出口のピッチ精度がよく、吐出口周囲にレーザアブレーション時の副生成物がないオリフィスプレートを得ることができる。
【００５６】
さらに、上記オリフィスプレートを用いる事で、信頼性が高く、印字品位の良好な液体吐出ヘッドが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法が適用される液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図。
【図２】図１に示した液体吐出ヘッドの、流路方向にそった断面図。
【図３】本発明の液体吐出ヘッドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に示した図。
【図４】長尺フィルムの構成を示す図。
【図５】本発明の実施例の長尺フィルムのラミネート方向について説明するための図。
【図６】本発明の実施例の長尺フィルムの吐出口形成方法について説明するための図。
【図７】長尺フィルムに吐出口を形成するためのレーザ加工機を模式的に示す図。
【符号の説明】
【００５８】
１０ エキシマレーザ発振器
１１ 集光レンズ
１２ マスク
１３ レーザ
４０ オリフィスプレート
４１ 吐出口
４２ 接着樹脂
４４ａ 接合面
４４ｂ 接合面
４５ 凸部
４６ ヘッド本体
５０ 基板
５１ エネルギー発生素子
６０ 天板
６１ 液路
６２ 液室
６４ 供給口
６８ 巻き取りロール
６９ 粘着剤供給口
７０ 巻き出しロールＡ
７１ 粘着剤
７２ 乾燥炉
７３ 剥離可能部材
７４ フィルム状樹脂
７５ 長尺フィルム
７６ ラミネートロールＡ
７７ ラミネートロールＢ
７８ テンションロールＢ
７９ テンションロールＡ
８０ 巻き出しロールＢ
８１ 撥水層
８２ 粘着剤層
８３ フィルム基材層
８４ 張力Ａ
８５ 張力Ｂ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を飛翔液滴として吐出させるためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と該複数のエネルギー発生素子の各々が配置された複数の流路とを備えたヘッド本体と、該ヘッド本体に接続され、前記流路にそれぞれ連通した複数の吐出口を有するオリフィスプレートとを備えた液体吐出ヘッドにおける該オリフィスプレートの製造方法において、
長尺のフィルム状樹脂の吐出口形成面側に長尺のフィルム状の剥離可能部材をフィルム状樹脂にかかるより強い一定の張力をかけた状態でラミネートして長尺フィルムを製作する工程と、フィルム状樹脂の剥離可能部剤をラミネートしていない面からレーザを照射してフィルム状樹脂と剥離可能部剤を同時に加工して複数の吐出口を形成する工程と、該剥離可能部剤を該フィルム状樹脂から剥す工程と、オリフィスプレート形状に該フィルム状樹脂を裁断する工程とを有する事を特徴とする液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項２】
前記ラミネートした長尺フィルムを巻き取る際、湾曲した内側をロール内側に巻き取ることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項３】
前記吐出口の形成を、前記長尺フィルムのラミネート方向と垂直方向に形成することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項４】
前記剥離可能部剤の粘着力が、前記レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、前記フィルム状樹脂から剥離可能部剤を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない程度に小さい事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項５】
前記フィルム状樹脂の剥離可能部剤をラミネートする面の表面に撥水層を形成する事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項６】
前記レーザがエキシマレーザであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項７】
前記剥離可能部剤のフィルム基材層がエキシマレーザでアブレーション可能な材料で形成されている事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項８】
前記剥離可能部材の粘着剤層がエキシマレーザでアブレーション可能な材料で形成されている事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項９】
前記フィルム状樹脂がポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリイミドのいずれかの材料からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項１０】
請求項１、３、４、５、７、８、９のいずれか一つに記載の製造方法で製造された事を特徴とするオリフィスプレート製造用長尺フィルム。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか一つに記載の製造方法で製造された事を特徴とするオリフィスプレート。
【請求項１２】
請求項１１に記載のオリフィスプレートを用いて製造された液体吐出ヘッド。
【請求項１】
液体を飛翔液滴として吐出させるためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と該複数のエネルギー発生素子の各々が配置された複数の流路とを備えたヘッド本体と、該ヘッド本体に接続され、前記流路にそれぞれ連通した複数の吐出口を有するオリフィスプレートとを備えた液体吐出ヘッドにおける該オリフィスプレートの製造方法において、
長尺のフィルム状樹脂の吐出口形成面側に長尺のフィルム状の剥離可能部材をフィルム状樹脂にかかるより強い一定の張力をかけた状態でラミネートして長尺フィルムを製作する工程と、フィルム状樹脂の剥離可能部剤をラミネートしていない面からレーザを照射してフィルム状樹脂と剥離可能部剤を同時に加工して複数の吐出口を形成する工程と、該剥離可能部剤を該フィルム状樹脂から剥す工程と、オリフィスプレート形状に該フィルム状樹脂を裁断する工程とを有する事を特徴とする液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項２】
前記ラミネートした長尺フィルムを巻き取る際、湾曲した内側をロール内側に巻き取ることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項３】
前記吐出口の形成を、前記長尺フィルムのラミネート方向と垂直方向に形成することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項４】
前記剥離可能部剤の粘着力が、前記レーザ照射時に剥離しない程度に大きく、前記フィルム状樹脂から剥離可能部剤を取り去る際にフィルム状樹脂が塑性変形をおこさない程度に小さい事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項５】
前記フィルム状樹脂の剥離可能部剤をラミネートする面の表面に撥水層を形成する事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項６】
前記レーザがエキシマレーザであることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項７】
前記剥離可能部剤のフィルム基材層がエキシマレーザでアブレーション可能な材料で形成されている事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項８】
前記剥離可能部材の粘着剤層がエキシマレーザでアブレーション可能な材料で形成されている事を特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項９】
前記フィルム状樹脂がポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリイミドのいずれかの材料からなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおけるオリフィスプレートの製造方法。
【請求項１０】
請求項１、３、４、５、７、８、９のいずれか一つに記載の製造方法で製造された事を特徴とするオリフィスプレート製造用長尺フィルム。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか一つに記載の製造方法で製造された事を特徴とするオリフィスプレート。
【請求項１２】
請求項１１に記載のオリフィスプレートを用いて製造された液体吐出ヘッド。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００６−１９８８２８（Ｐ２００６−１９８８２８Ａ）
【公開日】平成１８年８月３日（２００６．８．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１１５４５（Ｐ２００５−１１５４５）
【出願日】平成１７年１月１９日（２００５．１．１９）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年８月３日（２００６．８．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１月１９日（２００５．１．１９）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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