液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法
【課題】カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、インク貯留槽と、液滴吐出ヘッドと、インク貯留槽から液滴吐出ヘッドへインクを送液するためのインク搬送路と、洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、洗浄液貯留槽から液滴吐出ヘッドへ洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、洗浄液中に気泡を混入させる気泡混入手段と、を有することを特徴とする。このような液滴吐出装置では、気泡を混入させた洗浄液をインクの流路に流すことにより、インクの流路を洗浄する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、インク貯留槽と、液滴吐出ヘッドと、インク貯留槽から液滴吐出ヘッドへインクを送液するためのインク搬送路と、洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、洗浄液貯留槽から液滴吐出ヘッドへ洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、洗浄液中に気泡を混入させる気泡混入手段と、を有することを特徴とする。このような液滴吐出装置では、気泡を混入させた洗浄液をインクの流路に流すことにより、インクの流路を洗浄する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造の過程で形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。その結果、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
【０００３】
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法では、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
このようなカラーフィルターの製造においては、通常、光の三原色（赤色、緑色、青色）に対応する３色のインク（カラーフィルター用インク）が用いられる。
【０００４】
ところで、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行うため、大量の液滴を長時間にわたって連続で吐出することが求められる。また、カラーフィルターの製造に用いるインク（産業用）では、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて、一般に、高粘度で、固形分の含有率が高いため、インクジェットヘッドの吐出部（ノズル）や吐出面に加え、インクの流路などにもインク（固形分）が残存しやすい。この結果、継続して吐出した場合、インクに含まれる成分が液滴吐出装置のインクの流路に付着し、液滴吐出ヘッドへのインクの供給が不安定になる。また、カラーフィルターの製造に用いるインク（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて組成に制限が多く、一旦析出した固形分の再分散性、再溶解性等の特性が十分ではなく、顔料粒子等の固形分が析出、あるいは凝集して、液滴吐出ヘッドの吐出部の目詰まりを起こしやすく、液滴の飛行曲がりによる混色や吐出の不安定性による液滴重量の変化を頻発させる。このような場合、カラーフィルター用インクを所望の部位に、所望の量だけ付与することが困難となり、得られるカラーフィルターを用いて表示される画像において、色むら、濃度むら等を生じてしまうという問題があった。
【０００５】
このため、例えば、液滴吐出装置のカラーフィルター製造用の基板のない部分で液滴を吐出することによる行う方法（つば吐き）により、液滴吐出ヘッドやインクの流路に存在する凝集物、付着物等を取り除き、インク等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法はプロセス時間とインクの消費を伴う上、この方法のみでは、十分に凝集物、付着物を取り除くことができず、再び液滴の吐出を行うと比較的短期間で、液滴の吐出量が不安定になったり、吐出部が再び目詰まりする問題があった。このような場合、液滴吐出ヘッドや他の部材を頻繁に交換する必要があり、カラーフィルターの生産性を極端に落とすものとなっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、
前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
当該液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、
前記洗浄液中に気泡を混入させる気泡混入手段と、を有することを特徴とする。
これにより、カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置が得られる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記気泡混入手段は、前記洗浄液搬送路に設置されていることが好ましい。
これにより、効率よく気泡を発生させ、洗浄液中に混入させることができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記気泡混入手段は、エアーレーション方式により前記洗浄液中に気泡を混入させるものであることが好ましい。
これにより、洗浄液の流れに応じて気体が巻き込まれ、これによって洗浄液中に気泡を簡単に混入させることができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記気泡混入手段は、前記洗浄液中に混入した気泡のバブル径を調整するバブル径調整手段を備えていることが好ましい。
これにより、大きな気泡しか発生させられない場合でも、その気泡を微細化し、汚れの除去に適した大きさに調整することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液中の気泡の平均バブル径は、５μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、気泡による汚れの除去作用を高めつつ、気泡がカラーフィルター用インクの流路に詰まってしまうのを防止することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液に対して脱気処理を施す脱気手段を有していることが好ましい。
これにより、カラーフィルター用インクの流路内に残留した気泡を確実に溶解・除去することができる。その結果、流路内に気泡が残留することに伴う、インクの吐出不良等の発生を防止することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液性媒体と相溶性を有する液体であることが好ましい。
これにより、インクの固形分が析出したとしても、再溶解または再分散により固形分を洗浄液中に取り込んで、洗い流すことができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体の主成分と同じ液体であることが好ましい。
これにより、洗浄液は、インクとの置換性が特に優れたものとなり、残存したインクと素早く混合させ、置換することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有することが好ましい。
【化１】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有することが好ましい。
【化２】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有することが好ましい。
【化３】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有することが好ましい。
【化４】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、液滴吐出装置によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置は、前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、を有し、
気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄することを特徴とする。
これにより、カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消することができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置の洗浄方法では、気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄した後、脱気処理を施した前記洗浄液を送液することが好ましい。
これにより、カラーフィルター用インクの流路内に残留した気泡を確実に溶解・除去することができる。その結果、流路内に気泡が残留することに伴う、インクの吐出不良等の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための模式図である。
【図３】液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図である。
【図４】図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）である。
【図５】カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【図６】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【図７】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【図８】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法》
まず、本発明の液滴吐出装置、および、当該液滴吐出装置を用いたカラーフィルターの製造方法の好適な実施形態について説明する。
図１は、液滴吐出装置（インクジェット装置）の好適な実施形態の一例を示す斜視図、図２は、図１の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の概略構成を説明するための模式図、図３は、液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図、図４は、図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）、図５は、カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【００２１】
図１〜図３に示す液滴吐出装置（インクジェット装置）１００は、顔料粒子等の着色剤が分散媒に分散したカラーフィルター用インク１を吐出することにより、カラーフィルター１０の着色部１２を形成するのに用いられる装置である。
まず、カラーフィルター１０の製造の概要について説明する。図５に示すように、カラーフィルター１０は、隔壁（遮光部）１３が設けられた基板１１を用意する基板用意工程（１ａ）と、図１〜図３に示す液滴吐出装置（インクジェット装置）１００を用いて、カラーフィルター用インク１を隔壁１３で囲まれた領域に付与するインク付与工程（１ｂ）と、カラーフィルター用インク１から分散媒を除去し、固形状の着色部１２とする着色部形成工程（１ｃ）とを有する方法を用いて製造することができる。このようにして製造されるカラーフィルター１０は、通常、複数色の着色部１２を有している。図５に示す構成では、互いに異なる色の第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃを有している。
【００２２】
図１および図３に示すように、液滴吐出装置１００は、図２に示す液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド。以下、単にヘッドと呼ぶ）１１０と、ベース１３０と、テーブル１４０と、インク貯留槽１５０と、洗浄液貯留槽１６０と、テーブル位置決め手段１７０と、ヘッド位置決め手段１８０と、制御装置１９０とを有している。
ベース１３０は、テーブル１４０、テーブル位置決め手段１７０、およびヘッド位置決め手段１８０等の液滴吐出装置１００の各構成部材を支持する台である。
【００２３】
テーブル１４０は、テーブル位置決め手段１７０を介してベース１３０に設置されている。また、テーブル１４０は、隔壁（遮光部）１３が設けられた基板１１（以下、単に基板１１ともいう）を載置するものである。
テーブル位置決め手段１７０は、第１移動手段１７１と、モーター１７２とを有している。テーブル位置決め手段１７０は、ベース１３０におけるテーブル１４０の位置を決定し、これにより、ベース１３０における基板１１の位置を決定する。
【００２４】
第１移動手段１７１は、Ｙ方向と略平行に設けられた２本のレールと、当該レール上を移動する支持台とを有している。第１移動手段１７１の支持台は、モーター１７２を介してテーブル１４０を支持している。そして、支持台がレール上を移動することにより、基板１１を載置するテーブル１４０は、Ｙ方向に移動および位置決めされる。
モーター１７２は、テーブル１４０を支持しており、θｚ方向にテーブル１４０を揺動および位置決めする。
【００２５】
ヘッド位置決め手段１８０は、第２移動手段１８１と、リニアモーター１８２と、モーター１８３、１８４、１８５とを有している。ヘッド位置決め手段１８０は、ヘッド１１０の位置を決定する。
第２移動手段１８１は、ベース１３０から立設する２本の支持柱と、当該支持柱同士の間に当該支持柱に支持されて設けられ、２本のレールを有するレール台と、レールに沿って移動可能でヘッド１１０を支持する支持部材（図示せず）とを有している。そして、支持部材がレールに沿って移動することにより、ヘッド１１０は、Ｘ方向に移動および位置決めされる。
【００２６】
リニアモーター１８２は、支持部材付近に設けられており、ヘッド１１０のＺ方向の移動および位置決めをすることができる。
モーター１８３、１８４、１８５は、ヘッド１１０を、それぞれα，β，γ方向に揺動および位置決めする。
以上のようなテーブル位置決め手段１７０およびヘッド位置決め手段１８０とにより、インクジェット装置１００は、ヘッド１１０のインク吐出面１１５Ｐと、テーブル１４０上の基板１１との相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
【００２７】
図２に示すように、ヘッド１１０は、インクジェット方式（液滴吐出方式）によってインク１をノズル（突出部）１１８から吐出するものである。本実施形態では、ヘッド１１０は、圧電体素子としてのピエゾ素子１１３を用いてインクを吐出させるピエゾ方式を用いている。ピエゾ方式は、インク１に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。
【００２８】
ヘッド１１０は、ヘッド本体１１１と、振動板１１２と、ピエゾ素子１１３とを有している。
ヘッド本体１１１は、本体１１４と、その下端面にノズルプレート１１５とを有している。そして、本体１１４を板状のノズルプレート１１５と振動板１１２とが挟み込むことにより、空間としてのリザーバー１１６およびリザーバー１１６から分岐した複数のインク室１１７が形成されている。
【００２９】
リザーバー１１６には、後述するインク貯留槽１５０よりインク１が供給される。リザーバー１１６は、各インク室１１７にインク１を供給するための流路を形成している。
また、ノズルプレート１１５は、本体１１４の下端面に装着されており、インク吐出面１１５Ｐを構成している。このノズルプレート１１５には、インク１を吐出する複数のノズル１１８が、各インク室１１７に対応して開口されている。そして、各インク室１１７から対応するノズル（吐出部）１１８に向かって、インク流路が形成されている。
【００３０】
振動板１１２は、ヘッド本体１１１の上端面に装着されており、各インク室１１７の壁面を構成している。振動板１１２は、ピエゾ素子１１３の振動に応じて振動可能となっている。
ピエゾ素子１１３は、その振動板１１２のヘッド本体１１１と反対側に、各インク室１１７に対応して設けられている。ピエゾ素子１１３は、水晶等の圧電材料を一対の電極（不図示）で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路１９１に接続されている。
【００３１】
そして、駆動回路１９１からピエゾ素子１１３に電気信号を入力すると、ピエゾ素子１１３が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子１１３が収縮変形すると、インク室１１７の圧力が低下して、リザーバー１１６からインク室１１７にインク１が流入する。また、ピエゾ素子１１３が膨張変形すると、インク室１１７の圧力が増加して、ノズル１１８からインク１が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子１１３への印加電圧を制御することにより、インク１の吐出条件を制御し得るようになっている。
【００３２】
制御装置１９０は、インクジェット装置１００の各部位を制御する。例えば、駆動回路１９１で生成する印加電圧の波形を調節してインク１の吐出条件を制御したり、ヘッド位置決め手段１８０およびテーブル位置決め手段１７０を制御することにより基板１１へのインク１の吐出位置を制御する。
インク貯留槽１５０は、インク１を貯留する。
【００３３】
インク貯留槽１５０は、図３に示すように、インク搬送路１５１を介して、ヘッド１１０（リザーバー１１６）に接続されている。
インク搬送路１５１には、インク貯留槽１５０側からヘッド１１０へ向かって順に、コック（分岐）１５２と、インク１の逆流を防止するための自己封止弁１５３とが設けられている。
【００３４】
インク貯留槽１５０に貯留されたインク１は、液滴吐出時等における必要に応じて、インク搬送路１５１に送られ、コック１５２、自己封止弁１５３を介して、リザーバー１１６に供給される。
洗浄液貯留槽１６０は、洗浄液を貯留する。洗浄液貯留槽１６０内の洗浄液は、洗浄液搬送路１６１によってインク流路に搬送され、インク流路内を洗浄する。
【００３５】
洗浄液搬送路１６１は、コック１５２においてインク搬送路１５１と接続されている。
また、洗浄液搬送路１６１の途中には、気泡発生器１６２が設けられている。気泡発生器１６２は、洗浄液搬送路１６１内を送液される洗浄液２中に気泡を混入させる。洗浄液２中に混入した気泡は、洗浄液２の流れとともに洗浄液搬送路１６１を介して、インク１の流路（インク搬送路１５１、ヘッド１１０等）に送液され、これにより液滴吐出装置１００内が洗浄される。洗浄液搬送路１６１の途中に気泡発生器１６２を設けることにより、効率よく気泡を発生させ、洗浄液２中に混入させることができる。
【００３６】
ここで、気泡を含む洗浄液２がインク１の流路を流れると、流路の内壁に付着した汚れに気泡が衝突する。これにより、汚れに衝撃力が加わり、それに基づいて汚れが脱落する。また、衝突しないまでも、汚れの近くを気泡が通過すると、それにより汚れ周辺の圧力が急激に変化する。この圧力変化によっても汚れを除去することができ、さらには洗浄液が効率よく攪拌されることで、汚れに対して常に洗浄力の高い洗浄液が接触するため洗浄効果が高まる。
【００３７】
一方、気泡が汚れに衝突したとき、気泡が破裂する場合もある。気泡が破裂すると、それにより圧力波が発生し、この圧力波が汚れを粉砕したり、あるいは脱落させる。
さらには、汚れに気泡が付着すると、その気泡に対して別の気泡が次々に付着し、気泡同士が合体する。これにより、気泡が成長し、洗浄液２の流れに対してより大きな抵抗力を受ける。このような状態になると、成長した気泡ごと、汚れが脱落し易くなる。
以上のようにして、インクの流路に付着した汚れを容易に脱落させることができる。
【００３８】
図４に示す気泡発生器１６２は、洗浄液２中に混入させる気体を貯留する気体貯留槽１６２１と、洗浄液搬送路１６１に設けられた分岐部１６２２と、分岐部１６２２と気体貯留槽１６２１とを接続する気体搬送路１６２３と、気体搬送路１６２３の途中に設けられた開閉弁１６２４とを備えている。気体貯留槽１６２１に貯留されている気体は、気体搬送路１６２３を介して洗浄液搬送路１６１中に供給され、洗浄液２中に混入される（エアーレーション方式）。具体的には、分岐部１６２２を通過する洗浄液２の流れによって圧力差が生じ、この圧力差に伴って気体搬送路１６２３中の気体が洗浄液２中に巻き込まれる。これにより、洗浄液２中に効率よく気泡を混入させることができる。
【００３９】
気体貯留槽１６２１に貯留される気体としては、例えば、空気、酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素等が挙げられる。
なお、気体の発生方式は、上記エアーレーション方式に限定されず、例えば、化学反応により気体を発生させる方法等を用いるようにしてもよい。
また、気体搬送路１６２３の下流端１６２３ａでは、内径が小さくなっている。この内径の大きさに応じて洗浄液２中に形成される気泡の大きさが決まるため、形成すべき気泡の大きさに応じて内径が調整されている。なお、下流端１６２３ａは、図４に示すキャピラリーのような単なる管体であってもよいが、内径部が多孔質体で充填された管体であってもよい。これにより、多孔質体を通過して洗浄液２中に気体が混入するため、多孔質体の気孔の大きさに応じた、より微細な気泡を混入させることができる。このような多孔質体としては、連続気孔を含む多孔質体であればよく、具体的には、いわゆるスポンジのような樹脂製多孔質体の他、セラミックス製多孔質体、金属製多孔質体、ガラス製多孔質体等が挙げられる。この他、パンチングメタル、メッシュ等であってもよい。
【００４０】
また、図４では、洗浄液搬送路１６１と気体搬送路１６２３との接続部である分岐部１６２２において、洗浄液搬送路１６１の内径が局所的に小さくなっている。これにより、洗浄液搬送路１６１を通過する洗浄液２の流速が、分岐部１６２２近傍において速くなるため、洗浄液２中に巻き込まれる気泡の混入量を増大させることができる。
なお、洗浄液中に混入させる気体が空気である場合、気体貯留槽１６２１を省略することができる。この場合、気体搬送路１６２３の上流端は、開放端とすればよい。
【００４１】
洗浄液２中に混入させる気泡の平均バブル径は、５μｍ以上１００μｍ以下程度であるのが好ましく、１０μｍ以上８０μｍ以下程度であるのがより好ましく、１５μｍ以上６０μｍ以下程度であるのがさらに好ましい。気泡の平均バブル径を前記範囲内とすることにより、気泡による汚れの除去作用を高めつつ、気泡がインク１の流路に詰まってしまうのを防止することができる。
【００４２】
なお、気泡の平均バブル径が前記下限値を下回った場合、気泡が発生させる衝撃力や圧力波が小さく、汚れの除去作用が低下するおそれがあり、また、微小な気泡はインク１の流路のインク流速が相対的に遅い部分などに付着・滞留しやすくなり排出が困難となる恐れがあり、インクの充填不良を引き起こす可能性がある。一方、気泡の平均バブル径が前記上限値を上回った場合、大きな気泡は流路の隅々まで行き渡らないため、洗浄の効果が低下して異物が残留するおそれがある。
このような洗浄液２中の気泡の平均バブル径は、例えば、光学顕微鏡等による光学観察、レーザービームの散乱・遮光などによる液中パーティクルカウンター等により測定することができる。
【００４３】
また、洗浄液２中の気泡の混入率は、特に限定されないが、１０個／ｍＬ以上５０００個／ｍＬ以下程度であるのが好ましく、１００個／ｍＬ以上３０００個／ｍＬ以下程度であるのがより好ましい。気泡の混入率を前記範囲内とすることにより、気泡による汚れの除去作用を高めつつ、洗浄液２の十分な流動性を確保することができる。
このような洗浄液２中の気泡の混入率は、例えば、光学顕微鏡等による光学観察、レーザービームの散乱・遮光などによる液中パーティクルカウンター等により測定することができる。
【００４４】
また、洗浄液搬送路１６１の下流側には、洗浄液２中の気泡のバブル径を調整するバブル径調整手段１６３が設けられている。このバブル径調整手段１６３は、洗浄液２中の気泡を微細化して小径化する。気泡発生器１６２は、その種類や方式によっては大きな気泡しか形成することができないため、バブル径調整手段１６３を用いることで、より小さな気泡に変化させることができる。これにより、気泡の平均バブル径を前記範囲内に調整することができ、上述したような優れた効果を享受することができる。
【００４５】
バブル径調整手段１６３としては、例えば、（１）キャビテーションにより気泡を微細化する手段、（２）二相流旋回方式や超高速旋回方式などの旋回方式またはベンチュリー管方式により気泡を微細化する手段、（３）旋回流により気泡を微細化する手段等が挙げられ、これらの手段の２つ以上を組み合わせた手段であってもよい。
このうち、（１）の手段は、洗浄液２を送液するポンプで構成される。このポンプに、気泡を混入させた洗浄液２を導入すると、ポンプ内でキャビテーションが生じて気泡が分裂する。これにより、より微細な気泡が形成される。
【００４６】
また、（２）の手段は、二相流旋回方式や超高速旋回方式などの旋回方式またはベンチュリー管方式により構成される。このベンチュリー管に、気泡を混入させた洗浄液２を導入すると、管内を洗浄液２が通過する際に発生する圧力差によって微細な気泡が発生する。
さらに、（３）の手段は、旋回するプロペラで構成される。この旋回するプロペラに、気泡を混入させた洗浄液２を導入すると、プロペラによる撹拌力で気泡が破壊され、より微細な気泡が形成される。
【００４７】
なお、上記のバブル径調整手段１６３は、気泡を微細化することができるが、通常、微細化可能な大きさの下限値が存在する。このため、これらのバブル径調整手段１６３にバブル径のバラツキが大きい気泡を導入したときには、気泡のバブル径を揃えることもできる。気泡のバブル径を揃えることにより、洗浄液２の流動性が均一になるため、インク１の流路に対して気泡が混入した洗浄液２を円滑に流すことができる。
【００４８】
本実施形態では、以上のような気泡発生器１６２およびバブル径調整手段１６３により、気泡混入手段が構成されている。なお、本実施形態では、洗浄液搬送路１６１の途中に気泡混入手段を設けた場合について説明したが、気泡混入手段の設置場所は、例えば洗浄液貯留槽１６０であってもよい。
なお、気泡発生器１６２、バブル径調整手段１６３およびコック１５２は、それぞれ、前述した制御装置１９０と電気的に接続されている。これにより、制御装置１９０によってインク１と洗浄液２の切り替えや、気泡発生の有無、気泡のバブル径等を制御することができる。
【００４９】
液滴吐出装置１００において用いる洗浄液２の温度は、特に限定されないものの、２０℃以上６０℃以下であるのが好ましく、２５℃以上５０℃以下であるのがより好ましい。これにより、より効果的にインク１の流路における汚れを除去することができる。
また、洗浄液２の送液速度は、自己封止弁１５３の下流部において、２０ｍＬ／ｍｉｎ以上２００ｍＬ／ｍｉｎ以下であるのが好ましく、５０ｍＬ／ｍｉｎ以上１５０ｍＬ／ｍｉｎ以下であるのがより好ましい。これにより、より効果的にインクの流路内の洗浄を行うことができる。
【００５０】
また、図３に示す液滴吐出装置は、ヘッド１１０の下方に設けられた吸引手段２００を有している。この吸引手段２００は、ヘッド１１０の下面と接触した状態でヘッド１１０内のインクや洗浄液２を吸引するよう構成されている。そして、吸引手段２００で吸引されたインクや洗浄液は、吸引手段２００の下方に設けられた回収タンク２１０に送液され、回収される。
【００５１】
また、吸引手段２００による吸引動作が終了した後、必要に応じて、インク吐出面１１５Ｐを拭き取る（ワイピング）操作を行うようにしてもよい。
ここで、液滴吐出装置１００の動作について説明する。
液滴吐出装置１００は、通常、ヘッド１１０のノズル１１８からインク１を吐出する動作を行うが、この動作を繰り返すうち、インク１の流路にインク１に含まれる固形分（汚れ）が付着する。
【００５２】
インク１の流路に洗浄液２を送液する動作は、この通常動作の開始前・終了後や通常動作の合間等に行われ、インク１の流路に付着した固形分を除去するために行われる。
具体的には、ヘッド１１０の下面と吸引手段２００の上面とが接するように、ヘッド１１０を移動させる。
次いで、洗浄液貯留槽１６０内の洗浄液２をインク１の流路に送液する。この際、気泡発生器１６２により洗浄液２中に気泡が混入させ、混入した気泡はバブル径調整手段１６３により微細化される。これにより、インク１の流路が気泡を含む洗浄液２により洗浄される。
以上、本発明の液滴吐出装置について、好適な実施形態について説明したが、これに限定されず、例えば、図６〜８に示すような液滴吐出装置であってもよい。
【００５３】
図６〜８は、本発明の液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
本実施形態では、上述した実施形態と異なる点について説明し、同様の構成については、その説明を省略する。
図６に示す気泡混入手段は、上述したバブル径調整手段１６３に代えて、洗浄液搬送路１６１の気泡発生器１６２より下流側に設けられたポンプ１６４を備えている。このポンプ１６４は、洗浄液搬送路１６１を流れる洗浄液を取り込み、強制的に下流側へ流すものであるが、この際、ポンプ１６４の下流側では上流側より圧力が上昇する。したがって、ポンプ１６４の下流側では洗浄液の圧力が上昇し、それに伴って洗浄液における気体の溶解度が上昇する。その結果、ポンプ１６４の下流側を流れる洗浄液中では、含まれていた気泡が洗浄液中に一部溶解し、気泡のサイズが小さくなる（過飽和状態）。
【００５４】
気泡のサイズが小さくなると、洗浄液は、大きな気泡を含む場合に比べて円滑に流れることができる。加圧された洗浄液は、洗浄液搬送路１６１およびインク搬送路１５１を介してヘッド１１０に送液される。この際、インク搬送路１５１には高圧の洗浄液が通過することになるため、汚れの除去作用を高めることができる。その後、洗浄液は、より広い空間であるヘッド１１０内のリザーバー１１６に達するが、この際、洗浄液に加わっていた圧力が急激に解放される。その結果、過飽和状態が解除され、溶解していた気体が気泡として現れる。その結果、洗浄液は気泡を含むものとなり、ヘッド１１０内の汚れを強力に除去する。しかもこの方法で発生する気泡は、バブル径が均一でかつ微細なものであるので、汚れの除去作用が特に高くなる。
【００５５】
また、ポンプ１６４を間欠的に動作させることにより、洗浄液搬送路１６１、インク搬送路１５１およびヘッド１１０内の圧力を高めたり低くしたりしてもよい。この際、汚れに対しても圧力変化が作用し、汚れを引き剥がし易くなる。図６に示す気泡混入手段によれば、これらの効果が相乗的に働き、汚れを確実に除去することができる。
以上のようなことから、気泡混入手段がポンプ１６４を備えていることにより、インク搬送路１５１中では洗浄液を円滑に流すことができ、一方、ヘッド１１０内においては確実に汚れを除去することができる。換言すれば、インク搬送路１５１等には汚れが付着し難く、ヘッド１１０内に汚れが付着し易い場合等に、図６に示す気泡混入手段は好適である。また、ポンプ１６４の動作を変えることで、汚れの除去作用を増強することもできる。
【００５６】
洗浄液を加圧する際、その圧力は大気圧以上であればよいが、好ましくは１．５気圧（０．１５ＭＰａ）以上１０気圧（１ＭＰａ）以下とされ、より好ましくは２気圧（０．２ＭＰａ）以上８気圧（０．８ＭＰａ）以下とされる。
なお、この場合、洗浄液に混入させる気体としては、洗浄液に対する溶解度の高いものが好ましく用いられる。これにより、洗浄液に加える圧力をそれほど高くしなくても、過飽和状態を形成することができる。なお、液体に対する溶解度が比較的高い気体としては、例えば、二酸化炭素、酸素等が挙げられる。
【００５７】
また、ポンプ１６４についても、前述した制御装置１９０と電気的に接続されている。これにより、制御装置１９０によってポンプ１６４の動作を制御することができる。
図７に示す液滴吐出装置は、複数の洗浄液貯留槽（図７では、３つの洗浄液貯留槽１６０１、１６０２、１６０３）を有している。また、洗浄液搬送路１６１の途中（気泡発生器１６２の上流側）には、洗浄液搬送路１６１を分岐させる３つの分岐部１６５１、１６５２、１６５３が設けられており、分岐部１６５１から分岐した分岐路１６１１には洗浄液貯留槽１６０１が、分岐部１６５２から分岐した分岐路１６１２には洗浄液貯留槽１６０２が、分岐部１６５３から分岐した分岐路１６１３には洗浄液貯留槽１６０３が、それぞれ接続されている。
【００５８】
ここで、３つの洗浄液貯留槽１６０１、１６０２、１６０３には、互いに異なる種類（組成）の洗浄液を貯留してもよく、同じ種類（組成）の洗浄液を貯留するようにしてもよい。
前者の場合、使用したインク１の種類に応じて最適な洗浄液を選択し、インク１の流路を洗浄することができる。なお、最適な洗浄液とは、例えば、インク１が含む固形分に対して溶解性または分散性が高く、かつ、インク１が含む液性媒体（分散媒）と相溶性を有する液体が挙げられる。
【００５９】
また、異なる種類の洗浄液を順次用いることにより、汚れの除去作用が高められたり、洗浄液によるヘッド１１０の変質・劣化が抑制されたりすることがある。図７に示す液滴吐出装置であれば、このような操作を、分岐部１６５１、１６５２、１６５３により洗浄液の流路を選択するのみで容易に行うことができる。
具体的には、インク１が含む液性媒体と同じ組成の洗浄液を洗浄液搬送路１６１に供給した後、汚れの除去効率に優れた洗浄液を洗浄液搬送路１６１に供給することにより、前者の洗浄液がインク１と高度に相溶し、後者の洗浄液が汚れに対して高い洗浄作用を示すことになるため、結果的に汚れを効率よく除去することができる。
【００６０】
これとは反対に、先に汚れの除去効率に優れた洗浄液を供給した後、次いで、インク１が含む液性媒体と同じ組成の洗浄液を供給するようにしてもよい。このようにすれば、インク１の流路がもともとインク１に対する優れた耐久性を有していることから、後者の洗浄液がインク１の流路に残留したとしても、インク１の流路の変質・劣化が抑制されることとなる。その結果、液滴吐出装置の耐久性を高めることができる。
【００６１】
また、インク１が含む着色剤や樹脂材料によっては、これらを同時に溶解または分散することができない場合もある。このような場合、着色剤と樹脂材料とを順次洗浄できるよう、それぞれを溶解または分散する２種類の洗浄液を各洗浄液貯留槽１６０１、１６０２に貯留しておき、これらを順次供給するようにすればよい。これにより、さらに確実な汚れの除去が可能になる。
【００６２】
さらには、気泡を含む洗浄液を供給した後、最後に、消泡剤を含む洗浄液を供給するようにしてもよい。このようにすれば、インク１の流路内に残留した洗浄液中の気泡に消泡剤が作用して、気泡を強制的に消滅させることができる。その結果、インク１の流路内に気泡が残留することに伴う、インク１の吐出不良等の発生を防止することができる。
なお、消泡剤としては、洗浄液に対して相溶性を有し、かつ、析出し難いものが好ましく用いられる。具体的には、例えば、ポリエーテル系、鉱物油系、高級アルコール系、シリコーン系の各消泡剤が挙げられる。
【００６３】
洗浄液２に対する消泡剤の添加量は、特に限定されないが、０．０１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下程度であるのが好ましく、０．１ｗｔ％以上３ｗｔ％以下程度であるのがより好ましい。
また、分岐部１６５１、１６５２、１６５３は、それぞれ制御装置１９０と電気的に接続され、その動作が制御されるよう構成されている。これにより、分岐部１６５１、１６５２、１６５３の各動作を協調的に制御することができるので、最適なタイミングで異なる種類の洗浄液を供給することができる。
【００６４】
一方、後者の場合、洗浄液の貯留量を増やすことができるので、洗浄液の補充頻度を少なくすることができる。
図８に示す液滴吐出装置では、洗浄液搬送路１６１が、気泡発生器１６２の上流側に設けられたコック（分岐）１６６において、第１の搬送路１６１ａと第２の搬送路１６１ｂとに一旦分岐し、その後、コック１５２に達する前に、再度合流している。また、図８に示す液滴吐出装置では、第２の搬送路１６１ｂの途中に脱気手段１６７が設けられている。
【００６５】
脱気手段１６７は、洗浄液２中に含まれる気体成分を除去するものであり、例えば、気液分離膜方式、減圧方式の脱気装置等で構成される。脱気手段１６７により洗浄液２中の気体成分を除去することで、洗浄液２は、新たに気体成分を溶解し得る潜在的な気体溶解能を有するものとなる。このため、先に第１の搬送路１６１ａを介してインク１の流路に気泡を含む洗浄液２を供給し、洗浄した後、次いで、第２の搬送路１６１ｂを介して脱気手段１６７を通過させた洗浄液２を供給することにより、インク１の流路内に残留した気泡を確実に溶解・除去することができる。その結果、インク１の流路内に気泡が残留することに伴う、インク１の吐出不良等の発生を防止することができる。
【００６６】
＜洗浄液＞
次に、本発明の洗浄方法（液滴吐出装置）に好適に適用することが可能な洗浄液について説明する。
本発明に適用される洗浄液（クリーニングインク）２は、カラーフィルターの製造に用いられるヘッド１１０の洗浄をするものであり、特に、後述するようなカラーフィルター用インク（以下単にインクともいう）による液滴吐出装置１００の汚れ、目詰まり等を好適に解消するものである。
【００６７】
本発明の洗浄方法に適用する洗浄液２は、前述したように、インク１が含む固形分に対する溶解性または分散性を有し、かつ、インク１が含む液性媒体（分散媒）と相溶性を有する液体が挙げられる。このような洗浄液２を用いることで、インク１が含む固形分が析出したとしても、汚れを洗浄液２中に取り込んで、洗い流すことができる。
また、洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクに含まれる分散媒（カラーフィルター用インク分散媒）と共通の成分を含むものであるのが好ましく、同じ組成ものであるのがより好ましい。これにより、インク１との置換性が特に優れたものとなり、残存したインク１と素早く混合、置換することができる。
【００６８】
また、洗浄液２には、カラーフィルター用インクに含まれる分散媒（液性媒体）中に５ｖｏｌ％以上の割合で含まれる成分のうち、最も低沸点の成分より沸点の高いものが好ましく用いられる。これにより、インク１に比べて洗浄液２の揮発性が低下するため、インク１と洗浄液２とが相溶したとき、インク１に含まれる固形分の析出が抑制される。すなわち、固形分が析出するまでにより長い時間がかかることになるため、本発明の洗浄方法を行う頻度を少なくしても、固形分の析出が抑えられ、ヘッド１１０を清浄状態で維持することができる。その結果、カラーフィルターの製造効率を高めることができる。
【００６９】
なお、洗浄液２の沸点とカラーフィルター用インクに含まれる分散媒（液性媒体）の低沸点成分の沸点との差は、２０℃以上１５０℃以下程度であるのが好ましく、３０℃以上１００℃以下程度であるのがより好ましい。
また、洗浄液２の沸点は、１９０℃以上３００℃以下程度であるのが好ましく、２００℃以上２８０℃以下程度であるのがより好ましい。
【００７０】
洗浄液２としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、〔１〕多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、〔２〕多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、〔３〕分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、〔４〕多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。分散媒として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシ−ｎ−ブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ブチルセロソルブアセテート等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７１】
＜化合物Ａ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものが好ましい。
【００７２】
【化５】
【００７３】
洗浄液２が化合物Ａを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ａが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有しているためであると思われる。また、特に、化合物Ａを含有する洗浄液２は、後述するＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（臭素化亜鉛フタロシアニン顔料）を含むインク１の固形分に対して強力に作用し、除去することを可能にする。
【００７４】
上記式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、それぞれ独立に、炭素数が１〜３のアルキル基であればよいが、いずれも、メチル基であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（１）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ａを含むものであってもよい。
【００７５】
洗浄液２中における化合物Ａの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ａの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ａの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ａを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ａの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ａを含むものである場合、化合物Ａの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００７６】
＜化合物Ｂ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものが好ましい。
【００７７】
【化６】
【００７８】
洗浄液２が化合物Ｂを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｂが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｂを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、気体（特に空気）の溶解性が高いことから、優れた脱気性を有し、洗浄作業の最後に気泡を除去するために流される洗浄液２として好適に用いられる。
【００７９】
上記式（２）中、Ｒは、炭素数が１〜４の炭化水素基であればよいが、メチル基であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（２）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｂを含むものであってもよい。
【００８０】
洗浄液２中における化合物Ｂの含有率は、特に限定されないが、１５ｗｔ％以上であるのが好ましく、３０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、４０ｗｔ％以上９０ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｂの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｂの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｂを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｂの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｂを含むものである場合、化合物Ｂの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００８１】
＜化合物Ｃ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有するものが好ましい。
【００８２】
【化７】
【００８３】
洗浄液２が化合物Ｃを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｃが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｃを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、気体（特に空気）の溶解性が高いことから、優れた脱気性を有し、洗浄作業の最後に気泡を除去するために流される洗浄液２として好適に用いられる。
【００８４】
上記式（３）中、Ｒは、炭素数が１〜６の炭化水素基であればよいが、Ｒの炭素数が１〜５であるのが好ましく、Ｒの炭素数が１〜４であるのがより好ましく、Ｒがプロピル基またはブチル基であるのがさらに好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（３）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｃを含むものであってもよい。
【００８５】
洗浄液２中における化合物Ｃの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｃの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｃの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｃを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｃの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｃを含むものである場合、化合物Ｃの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００８６】
＜化合物Ｄ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有するものが好ましい。
【００８７】
【化８】
【００８８】
洗浄液２が化合物Ｄを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｄが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｄを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、気体（特に空気）の溶解性が高いことから、優れた脱気性を有し、洗浄作業の最後に気泡を除去するために流される洗浄液２として好適に用いられる。また、ジエーテル構造のため粘度が低く、流路への洗浄液の充填および洗浄液の除去などが容易である。
【００８９】
上記式（４）中、Ｒは、炭素数が１〜４の炭化水素基であればよいが、Ｒの炭素数が１〜３であるのが好ましく、Ｒの炭素数が１〜２であるのがより好ましく、Ｒがメチル基であるのがさらに好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（４）中、ｎは、１〜３の数であればよいが、１〜２であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
【００９０】
また、上記式（４）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｄを含むものであってもよい。
洗浄液２中における化合物Ｄの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｄの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｄの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｄを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｄの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｄを含むものである場合、化合物Ｄの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００９１】
また、洗浄液２は、その他の成分を含んでいてもよい。
その他の成分としては、例えば、表面張力調整剤、エチレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，３−ブチレングリコール、プロピレングリコール等の多価アルコール、チオ尿素等が挙げられる。
また、上述したような洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクより２５℃での表面張力と同程度であるか、あるいは低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置１００の洗浄部位に好適に洗浄液２が濡れ広がることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
【００９２】
洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクより２５℃における粘度が低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置１００の洗浄部位に好適に洗浄液２が濡れ広がることができる。また、洗浄時において、洗浄液搬送路１６１やインク１の流路における洗浄液２の流速を早いものとすることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
なお、上記「同程度」とは、カラーフィルター用インクの表面張力の１倍以上１．３倍程度とされる。
【００９３】
以下、カラーフィルター用インクについて説明する。
《カラーフィルター用インク》
次に、本発明の洗浄方法に適用される液滴吐出装置から吐出されるカラーフィルター用インクについて説明する。
カラーフィルター用インクは、基板上に着色部を形成するのに用いるインクであり、特に、液滴吐出法によってカラーフィルターの着色部を形成するのに用いるインクである。
【００９４】
以下、カラーフィルター用インクの各構成成分について詳細に説明する。
［着色剤］
カラーフィルターは、通常、異なる複数色の着色部（一般に、ＲＧＢに対応する３色の着色部）を有している。着色剤は、通常、形成すべき着色部の色調に応じて選択される。カラーフィルター用インクを構成する着色剤としては、例えば、各種顔料、各種染料を用いることができる。
【００９５】
顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２１，２２，２３，３０，３１，３２，３７，３８，４０，４１，４２，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５３：１，５７，５７：１，５７：２，５８：２，５８：４，６０：１，６３：１，６３：２，６４：１，８１，８１：１，８３，８８，９０：１，９７，１０１，１０２，１０４，１０５，１０６，１０８，１０８：１，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５１，１６６，１６８，１７０，１７１，１７２，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１５，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４３，２４５，２５４，２５５，２６４，２６５；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，１５，１７，１８，１９，２６，５０，５８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１７：１，１８，６０，２７，２８，２９，３５，３６，６０，８０；Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，３，１２，１３，１４，１５，１６，１７，２０，２４，３１，３４，３５，３５：１，３７，３７：１，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６５，７１，７３，７４，８１，８３，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１６，１１７，１１９，１２０，１２６，１２７，１２８，１２９，１３８，１３９，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１５７，１６６，１６８，１７５，１８０，１８４，１８５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，３，１４，１６，１９，２３，２９，３２，３６，３８，５０；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１，５，１３，１４，１６，１７，２０，２０：１，２４，３４，３６，３８，４０，４３，４６，４９，５１，６１，６３，６４，７１，７３，１０４；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン７，１１，２３，２５，３３；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，７や、これらの誘導体等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００９６】
また、特に、カラーフィルター用インクが、顔料（緑色顔料）として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（臭素化亜鉛フタロシアニン顔料）を含むものであると、当該カラーフィルター用インク（緑色のカラーフィルター用インク）の発色性を特に優れたものとすることができる。また、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８は、明度に優れるという特徴を有しているものの、各種顔料の中でも、特に分散性の低い材料であるため、従来において液滴吐出に供するインクに適用する場合には、液滴吐出装置のインクの流路への付着、液滴吐出ヘッドの吐出部の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクがＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクがＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００９７】
カラーフィルター用インク中における顔料の含有率は、２ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。
カラーフィルター用インク中に含まれる顔料の平均粒径は、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であるのが好ましく、２０ｎｍ以上１８０ｎｍ以下であるのがより好ましい。これにより、カラーフィルター用インク中における顔料の分散安定性や、カラーフィルターインクの吐出安定性を十分に優れたものとしつつ、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターの耐久性（耐光性等）を十分に優れたものとし、カラーフィルターにおける発色性、コントラスト等を特に優れたものとすることができる。
【００９８】
一方、染料としては、例えば、アゾ染料、アントラキノン染料、縮合多環芳香族カルボニル染料、インジゴイド染料、カルボニウム染料、フタロシアニン染料、メチン，ポリメチン染料等が挙げられる。染料の具体例としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２，４，９，２３，２６，２８，３１，３９，６２，６３，７２，７５，７６，７９，８０，８１，８３，８４，８９，９２，９５，１１１，１７３，１８４，２０７，２１１，２１２，２１４，２１８，２２１，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２３２，２３３，２４０，２４１，２４２，２４３，２４７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３５，４２，５１，５２，５７，６２，８０，８２，１１１，１１４，１１８，１１９，１２７，１２８，１３１，１４３，１４５，１５１，１５４，１５７，１５８，２１１，２４９，２５４，２５７，２６１，２６３，２６６，２８９，２９９，３０１，３０５，３１９，３３６，３３７，３６１，３９６，３９７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド３，１３，１７，１９，２１，２２，２３，２４，２９，３５，３７，４０，４１，４３，４５，４９，５５、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１２，１３，１４，１５，１８，２２，２３，２４，２５，２７，２９，３５，３６，３８，３９，４５，４６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット７，９，４７，４８，５１，６６，９０，９３，９４，９５，９８，１００，１０１、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット５，９，１１，３４，４３，４７，４８，５１，７５，９０，１０３，１２６、Ｃ．Ｉ．リアクティブバイオレット１，３，４，５，６，７，８，９，１６，１７，２２，２３，２４，２６，２７，３３，３４、Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１，２，３，７，１０，１５，１６，２０，２１，２５，２７，２８，３５，３７，３９，４０，４８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー８，９，１１，１２，２７，２８，２９，３３，３５，３９，４１，４４，５０，５３，５８，５９，６８，８７，９３，９５，９６，９８，１００，１０６，１０８，１０９，１１０，１３０，１４２，１４４，１６１，１６３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１７，１９，２３，２５，３９，４０，４２，４４，４９，５０，６１，６４，７６，７９，１１０，１２７，１３５，１４３，１５１，１５９，１６９，１７４，１９０，１９５，１９６，１９７，１９９，２１８，２１９，２２２，２２７、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２，３，１３，１４，１５，１７，１８，２３，２４，２５，２６，２７，２９，３５，３７，４１，４２、Ｃ．Ｉ．ベーシックイエロー１，２，４，１１，１３，１４，１５，１９，２１，２３，２４，２５，２８，２９，３２，３６，３９，４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９，４５，８０，８３，９０，１８５、Ｃ．Ｉ．ベーシックオレンジ２１，２３等が挙げられる。
【００９９】
カラーフィルター用インク中における染料の含有率は、２ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。染料の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターにおいて、より高い色濃度を確保することができ、より鮮明な画像表示に用いることができる。また、所定の色濃度の着色部を形成するのに要するカラーフィルター用インクの量を少なくすることができ、省資源の観点から有利である。また、カラーフィルターの着色部を形成する際における溶剤の揮発量を抑制することができるため、環境に対する負荷を軽減することができる。
【０１００】
［分散媒］
分散媒（カラーフィルター用インク分散媒）としては、上述した、洗浄液と同様の液体を用いることができる。
カラーフィルター用インク中における分散媒の含有率は、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのが好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがより好ましく、６５ｗｔ％以上９３ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。
【０１０１】
［樹脂材料］
カラーフィルター用インクは、形成される着色部の基板に対する密着性向上等の目的で、通常、樹脂材料を含んでいる。
樹脂材料としては、硬化性樹脂を用いるのが好ましい。
カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含むものであると、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターの耐久性を特に優れたものとすることができる等の効果が得られるが、カラーフィルター用インクが顔料等の着色剤に加え、硬化性樹脂を含むものであると、従来においては、液滴吐出装置のインク１の流路への固形分の付着、ヘッド１１０のノズル１１８の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮され、固形分の生成等を考慮することなく、カラーフィルター用インクが含む樹脂材料の選択肢を拡大することができる。
【０１０２】
硬化性樹脂は、例えば、エポキシ構造を有するものであるのが好ましい。このような構造を有する硬化性樹脂を含むカラーフィルター用インクによれば、製造されるカラーフィルターの耐久性を特に優れたものとすることができる等の効果が得られるが、カラーフィルター用インクが顔料等の着色剤に加え、硬化性樹脂を含むものであると、従来においては、インク１の流路への固形分の付着、ヘッド１１０のノズル１１８の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクが上記のような構造を有する硬化性樹脂を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクが上記のような構造を有する硬化性樹脂を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮され、固形分の生成等を考慮することなく、カラーフィルター用インクが含む樹脂材料の選択肢を拡大することができる。
また、カラーフィルター用インク中における樹脂材料の含有率は、０．５ｗｔ％以上１８ｗｔ％以下であるのが好ましく、１．０ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのがより好ましく、３．０ｗｔ％以上１２ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。
【０１０３】
［分散剤］
カラーフィルター用インクは、分散剤を含むものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルター用インク中における顔料粒子等の着色剤の分散安定性を優れたものとすることができ、より長期間にわたって安定的な液滴吐出を行うことができる。分散剤としては、上述した、洗浄液の構成成分としての分散剤と同様の材料を用いることができる。
カラーフィルター用インク中における分散剤の含有率は、０．５ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのが好ましく、０．６ｗｔ％以上８．０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。
【０１０４】
［その他の成分］
カラーフィルター用インクは、上記以外の成分（その他の成分）を含むものであってもよい。
このような成分としては、例えば、各種架橋剤、熱酸発生剤、光酸発生剤、各種重合開始剤、酸架橋剤、界面活性剤、増感剤、光安定剤、各種染料、各種分散剤、発光材料、レベリング剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、接着性改良剤、各種重合促進剤、各種光安定化剤、ガラス、ジルコニア、アルミナ、酸化チタン等のセラミックス、密着促進剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を用いることができる。
【０１０５】
カラーフィルター用インクの２５℃における粘度（振動式粘度計を用いて測定される粘度）は、特に限定されないが、４ｍＰａ・ｓ以上１２ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、５ｍＰａ・ｓ以上１１ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。カラーフィルター用インクの粘度が前記範囲内の値であると、後述するようなインクジェット方式による液滴吐出において、吐出されるカラーフィルター用インクの液適量のばらつきを特に小さいものとしつつ、液滴吐出ヘッドにおける目詰まりの発生等をより確実に防止することができる。なお、カラーフィルター用インクの粘度の測定は、例えば、振動式粘度計を用いて行うことができ、特に、ＪＩＳ Ｚ８８０９に準拠して行うことができる。
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮する任意のものと置換、または、その他の構成を追加することもできる。
【実施例】
【０１０６】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
［１］洗浄液およびカラーフィルター用インクの調製
各実施例および各比較例における洗浄液およびカラーフィルター用インクは、以下のようにして製造した。
【０１０７】
［洗浄液の調製］
（洗浄液１）
洗浄液１としてジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを用意した。なお、洗浄液１の沸点は２４７℃であった。
（洗浄液２）
洗浄液２として１，３−ブチレングリコールジアセテートを用意した。なお、洗浄液２の沸点は２３２℃であった。
【０１０８】
（洗浄液３）
洗浄液３としてジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用意した。
（洗浄液４）
洗浄液４として下記式（５）で示される化合物Ａと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、３−エトキシプロピオン酸エチルとの混合物を用意した。
【０１０９】
【化９】
【０１１０】
（洗浄液５）
洗浄液５として下記式（６）で示される化合物Ｂと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合物を用意した。
【０１１１】
【化１０】
【０１１２】
（洗浄液６）
洗浄液６として下記式（７）で示される化合物Ｃと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルと、３−エトキシプロピオン酸エチルとを混合物を用意した。
【０１１３】
【化１１】
【０１１４】
（洗浄液７）
洗浄液７として下記式（８）で示される化合物Ｄと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルと、３−エトキシプロピオン酸エチルとを混合物を用意した。
【０１１５】
【化１２】
【０１１６】
表１に、用意した各洗浄液の組成を示す。なお、表中、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを「Ｓ１」、１，３−ブチレングリコールジアセテートを「Ｓ２」、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを「Ｓ３」、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルを「Ｓ４」で示した。３−エトキシプロピオン酸エチルを「Ｓ５」で示した。
【０１１７】
【表１】
【０１１８】
［カラーフィルター用インクの調製］
（カラーフィルター用インク１）
顔料としてのＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８と、分散媒としてのジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、分散剤としてのディスパービック１１１と、熱硬化性樹脂としての樹脂ａ１（エポキシ構造を有する熱硬化性樹脂）とを所定の割合で配合し、カラーフィルター用インク１（インク１）とした。
【０１１９】
樹脂ａ１の合成は以下のようにして行った。
まず、四つ口フラスコに、ｎ−ヘキサン：３２０重量部、メタアクリル酸：８６重量部、トリエチルアミン：１１１重量部を投入した後、この四つ口フラスコに、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口を取り付けた。この四つ口フラスコを、氷水で冷却しつつ、トリメチルクロルシラン：１２０重量部を滴下した。この際、反応系内の温度が２５℃以下となるようにした。その後、２５℃で１時間反応を続けた。次に、トリエチルアミンの塩酸塩を濾別し、得られたろ液から減圧下でｎ−ヘキサンを除去した後、減圧蒸留にて精製し、シリルアセテート構造を有するエチレン性不飽和単量体を得た。
【０１２０】
次に、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口が取り付けられ、溶媒としてのジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート：１００重量部を仕込んだ四つ口フラスコを用意した。この四つ口フラスコ内のジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを攪拌しつつ６０℃まで昇温した後、上記エチレン性不飽和単量体：２７重量部と、メタアクリル酸グリシジル：３０重量部と、スチレン：３８重量部と、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：６重量部との混合物を１時間かけて滴下した。滴下後６０℃にて１時間保持した後、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：０．０８重量部を加え、さらに６０℃で６時間反応させ、その後、未反応のモノマーを減圧処理により除去することにより、エポキシ構造とを有するエポキシ系樹脂としての樹脂ａ１を得た。
【０１２１】
（カラーフィルター用インク２〜９）
カラーフィルター用インクの各材料の種類および配合量を表１に示すように変更した以外は、前記カラーフィルター用インク１と同様にしてカラーフィルター用インク２〜９（インク２〜インク９）を得た。
表２に、製造した各カラーフィルター用インクの組成を示す。なお、表中、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を「ＰＧ５８」、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を「ＰＧ３６」、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を「ＰＲ２５４」、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７を「ＰＲ１７７」、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０を「ＰＹ１５０」、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を「ＰＢ１５：６」、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を「ＰＶ２３」、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを「Ｓ１」、１，３−ブチレングリコールジアセテートを「Ｓ２」、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを「Ｓ３」、ディスパービック１１１を「ＤＡ１」、ディスパービック１６６を「ＤＡ２」、ヒノアクトＴ８０００Ｅを「ＤＡ３」、樹脂ａ１を「ａ１」で示した。
【０１２２】
【表２】
【０１２３】
［液滴吐出装置に用いる洗浄液およびカラーフィルター用インクの選定］
（実施例１〜２７）
上記のように製造した各洗浄液および各カラーフィルター用インクのうち、表３または表４に示すように洗浄液およびカラーフィルター用インクをそれぞれ選定し、各実施例における洗浄液およびカラーフィルター用インクとした。
【０１２４】
（比較例１〜４）
上記のように製造した各洗浄液および各カラーフィルター用インクのうち、表４に示すように洗浄液およびカラーフィルター用インクをそれぞれ選定し、各比較例における洗浄液およびカラーフィルター用インクとした。
なお、前記各カラーフィルター用インクの２５℃における粘度（振動式粘度計を用いて測定される粘度）は、いずれも、５ｍＰａ・ｓ以上１１ｍＰａ・ｓ以下であった。
【０１２５】
また、前記の洗浄液とカラーフィルター用インクの組み合わせでは、いずれも、洗浄液の２５℃での表面張力が、カラーフィルター用インクの２５℃での表面張力と同程度か、あるいは低いものであった。
また、前記各実施例および前記各比較例では、いずれも、洗浄液の２５℃における粘度が、カラーフィルター用インクの２５℃における粘度よりも低いものであった。
【０１２６】
【表３】
【０１２７】
【表４】
【０１２８】
［３］液滴吐出の安定性評価（安定吐出性評価）
［３．１］洗浄操作
（実施例１〜１６）
室温２５℃、相対湿度５０％、クラス１００のクリーンルーム内に設置した図１〜３に示すようなインクジェット装置１００に、前記各実施例および各比較例のカラーフィルター用インクを充填し、ピエゾ素子の駆動波形を最適化した状態で、インクジェットヘッドの各ノズルから、２０００００発（２０００００滴）の液滴の連続吐出を行い、その後、６０分間、液滴の吐出を中断した（１シーケンス目）。その後、同様に、液滴の連続吐出、および、液滴の吐出の中断の操作を繰り返し行った。３０シーケンス目の液滴吐出の後、２０時間放置した。その後、前記各実施例の洗浄液にて、インクの流路を洗浄した。洗浄は、洗浄液貯留槽１６０から洗浄液２を供給するとともに、気泡発生器１６２により気泡を発生させ、さらにベンチュリー管で構成されたバブル径調整手段１６３を介してインク搬送路１５１へ投入し、表３で示した速度で洗浄液２を流すことにより行った。そして、この洗浄を１００秒間行った。なお、洗浄液の搬送速度、液中パーティクルカウンターで測定された平均バブル径および混入率を表３に示す。
その後、上記プロセスを１００回繰り返した。
【０１２９】
（実施例１７〜２０）
ベンチュリー管の設定を変更した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄を行った。なお、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表３に示す。
（実施例２１）
バブル径調整手段１６３を省略した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄を行った。なお、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表３に示す。
【０１３０】
（実施例２２）
図６に示すようなインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、ポンプによる洗浄液の加圧力は４気圧とした。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
【０１３１】
（実施例２３）
図７に示すようなインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、洗浄液として２種類を使用し、最初に洗浄液１を５０秒間送液した後、続いて洗浄液４を５０秒間送液するようにした。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
【０１３２】
（実施例２４）
図７に示すようなインクジェット装置と、図８に示すようなインクジェット装置とを組み合わせ、３つの洗浄液貯留槽を有するとともに、気液分離膜方式の脱気モジュールを設置したインクジェット装置を用意した。そして、この装置を用い、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、洗浄液として２種類を使用し、最初に洗浄液１を３０秒間送液した後、続いて洗浄液４を３０秒間送液し、最後に脱気モジュールを経由した洗浄液１を３０秒間送液するようにした。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
（実施例２５〜２７）
洗浄液として表４に示す３種類を順次使用するようにした以外は、実施例２４と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
【０１３３】
（比較例１）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
（比較例２）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例２２と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
【０１３４】
（比較例３）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例２３と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
（比較例４）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例２４と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
【０１３５】
［３．２］着弾位置精度評価
まず、上述したプロセスを１０回繰り返した時点で、インクジェット装置のインクの流路に同じインクを再び充填した。充填は、インクの流路内に、カラーフィルター用インクを１．０ｍｌ／ｍｉｎの流速で、３００秒間流すことによって行った。その後、引き続きインクジェットヘッドの各ノズルから、３０００００発（３０００００滴）の液滴の連続吐出を行った。そして、カラーフィルター用インクを充填した後の、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された３０００００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、これを以下の６段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が効果的に防止されていると言える。
【０１３６】
Ａ：ズレ量ｄの平均値が１μｍ未満。
Ｂ：ズレ量ｄの平均値が１μｍ以上、３μｍ未満。
Ｃ：ズレ量ｄの平均値が３μｍ以上、５μｍ未満。
Ｄ：ズレ量ｄの平均値が５μｍ以上、１０μｍ未満。
Ｅ：ズレ量ｄの平均値が１０μｍ以上、１５μｍ未満。
Ｆ：ズレ量ｄの平均値が１５μｍ以上。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
【０１３７】
その後、上述したプロセスを５０回および１００回繰り返した後に、再び、インクジェット装置のインクの流路に同じインクを充填した。そして、上述したのと同様にして３０００００発（３０００００滴）の液滴の連続吐出を行った。そして、カラーフィルター用インクを充填した後の、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された３０００００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、これを上記６段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が効果的に防止されていると言える。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
表３、４から明らかなように、本発明の液滴吐出装置では、インクの流路における汚れを容易に除去することができ、インクの吐出安定性に優れていた。これに対し、各比較例では、満足な結果が得られなかった。
【符号の説明】
【０１３８】
１…カラーフィルター用インク（インク） ２…洗浄液 １０…カラーフィルター １１…基板 １２…着色部 １２Ａ…第１の着色部 １２Ｂ…第２の着色部 １２Ｃ…第３の着色部 １３…隔壁（バンク、遮光部） １００…インクジェット装置（液滴吐出装置） １１０…インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド、ヘッド） １１１…ヘッド本体 １１２…振動板 １１３…ピエゾ素子 １１４…本体 １１５…ノズルプレート １１５Ｐ…インク吐出面 １１６…リザーバー １１７…インク室 １１８…ノズル（吐出部） １３０…ベース １４０…テーブル １５０…インク貯留槽 １５１…インク搬送路 １５２…コック １５３…自己封止弁 １６０、１６０１、１６０２、１６０３…洗浄液貯留槽 １６１…洗浄液搬送路 １６１ａ…第１の搬送路 １６１ｂ…第２の搬送路 １６１１、１６１２、１６１３…分岐路 １６２…気泡発生器 １６２１…気体貯留槽 １６２２…分岐部 １６２３…気体搬送路 １６２３ａ…下流端 １６２４…開閉弁 １６３…バブル径調整手段 １６４…ポンプ １６５１、１６５２、１６５３…分岐部 １６６…コック １６７…脱気手段 １７０…テーブル位置決め手段 １７１…第１移動手段 １７２…モーター １８０…ヘッド位置決め手段 １８１…第２移動手段 １８２…リニアモーター １８３、１８４、１８５…モーター １９０…制御装置 １９１…駆動回路 ２００…吸引手段 ２１０…回収タンク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー表示を行う液晶表示装置（ＬＣＤ）等には、一般に、カラーフィルターが用いられている。
カラーフィルターは、従来、着色剤、感光性樹脂、官能性モノマー、重合開始剤等を含む材料（着色層形成用組成物）で構成された塗膜を基板上に形成し、その後、フォトマスクを介して光を照射する感光処理、現像処理等を行う、いわゆるフォトリソグラフィー法を用いて製造されてきた。このような方法では、通常、基板のほぼ全面に、各色に対応する塗膜を形成し、その一部のみを硬化させ、それ以外の大部分を除去するという操作を繰り返すことにより、各色が重なり合わないようにカラーフィルターを製造する。このため、カラーフィルターの製造の過程で形成される塗膜は、最終的に得られるカラーフィルターには、その一部のみが着色層として残存するのみで、その大部分が製造工程において除去されることとなる。その結果、カラーフィルターの製造コストが上昇するばかりでなく、省資源の観点からも好ましくない。
【０００３】
一方、近年、インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を用いて、カラーフィルターの着色層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような方法では、着色層形成用の材料（着色層形成用組成物）の無駄を少なくすることができるため、環境への負荷を低減することができ、また、製造コストも抑制することができる。
このようなカラーフィルターの製造においては、通常、光の三原色（赤色、緑色、青色）に対応する３色のインク（カラーフィルター用インク）が用いられる。
【０００４】
ところで、カラーフィルターの製造に用いる液滴吐出装置（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）とは全く異なるものであり、例えば、大量生産を行うため、大量の液滴を長時間にわたって連続で吐出することが求められる。また、カラーフィルターの製造に用いるインク（産業用）では、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて、一般に、高粘度で、固形分の含有率が高いため、インクジェットヘッドの吐出部（ノズル）や吐出面に加え、インクの流路などにもインク（固形分）が残存しやすい。この結果、継続して吐出した場合、インクに含まれる成分が液滴吐出装置のインクの流路に付着し、液滴吐出ヘッドへのインクの供給が不安定になる。また、カラーフィルターの製造に用いるインク（産業用）は、プリンターに適用されるもの（民生用）で用いるインクに比べて組成に制限が多く、一旦析出した固形分の再分散性、再溶解性等の特性が十分ではなく、顔料粒子等の固形分が析出、あるいは凝集して、液滴吐出ヘッドの吐出部の目詰まりを起こしやすく、液滴の飛行曲がりによる混色や吐出の不安定性による液滴重量の変化を頻発させる。このような場合、カラーフィルター用インクを所望の部位に、所望の量だけ付与することが困難となり、得られるカラーフィルターを用いて表示される画像において、色むら、濃度むら等を生じてしまうという問題があった。
【０００５】
このため、例えば、液滴吐出装置のカラーフィルター製造用の基板のない部分で液滴を吐出することによる行う方法（つば吐き）により、液滴吐出ヘッドやインクの流路に存在する凝集物、付着物等を取り除き、インク等による汚れ、目詰まりの解消を行う。しかしながら、このような方法はプロセス時間とインクの消費を伴う上、この方法のみでは、十分に凝集物、付着物を取り除くことができず、再び液滴の吐出を行うと比較的短期間で、液滴の吐出量が不安定になったり、吐出部が再び目詰まりする問題があった。このような場合、液滴吐出ヘッドや他の部材を頻繁に交換する必要があり、カラーフィルターの生産性を極端に落とすものとなっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３７２６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置およびその洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、
前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
当該液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、
前記洗浄液中に気泡を混入させる気泡混入手段と、を有することを特徴とする。
これにより、カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消できる液滴吐出装置が得られる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記気泡混入手段は、前記洗浄液搬送路に設置されていることが好ましい。
これにより、効率よく気泡を発生させ、洗浄液中に混入させることができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記気泡混入手段は、エアーレーション方式により前記洗浄液中に気泡を混入させるものであることが好ましい。
これにより、洗浄液の流れに応じて気体が巻き込まれ、これによって洗浄液中に気泡を簡単に混入させることができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記気泡混入手段は、前記洗浄液中に混入した気泡のバブル径を調整するバブル径調整手段を備えていることが好ましい。
これにより、大きな気泡しか発生させられない場合でも、その気泡を微細化し、汚れの除去に適した大きさに調整することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液中の気泡の平均バブル径は、５μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましい。
これにより、気泡による汚れの除去作用を高めつつ、気泡がカラーフィルター用インクの流路に詰まってしまうのを防止することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液に対して脱気処理を施す脱気手段を有していることが好ましい。
これにより、カラーフィルター用インクの流路内に残留した気泡を確実に溶解・除去することができる。その結果、流路内に気泡が残留することに伴う、インクの吐出不良等の発生を防止することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液性媒体と相溶性を有する液体であることが好ましい。
これにより、インクの固形分が析出したとしても、再溶解または再分散により固形分を洗浄液中に取り込んで、洗い流すことができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体の主成分と同じ液体であることが好ましい。
これにより、洗浄液は、インクとの置換性が特に優れたものとなり、残存したインクと素早く混合させ、置換することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有することが好ましい。
【化１】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有することが好ましい。
【化２】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有することが好ましい。
【化３】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液は、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有することが好ましい。
【化４】
これにより、汚れをより好適に除去することができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置の洗浄方法は、液滴吐出装置によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置は、前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、を有し、
気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄することを特徴とする。
これにより、カラーフィルター用インクの流路における汚れを好適に解消することができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置の洗浄方法では、気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄した後、脱気処理を施した前記洗浄液を送液することが好ましい。
これにより、カラーフィルター用インクの流路内に残留した気泡を確実に溶解・除去することができる。その結果、流路内に気泡が残留することに伴う、インクの吐出不良等の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を説明するための模式図である。
【図３】液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図である。
【図４】図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）である。
【図５】カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【図６】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【図７】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【図８】液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
《液滴吐出装置および液滴吐出装置の洗浄方法》
まず、本発明の液滴吐出装置、および、当該液滴吐出装置を用いたカラーフィルターの製造方法の好適な実施形態について説明する。
図１は、液滴吐出装置（インクジェット装置）の好適な実施形態の一例を示す斜視図、図２は、図１の液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）の概略構成を説明するための模式図、図３は、液滴吐出装置の全体構成の一例を示した模式図、図４は、図３に示す液滴吐出装置の部分拡大図（縦断面図）、図５は、カラーフィルターの製造方法を示す断面図である。
【００２１】
図１〜図３に示す液滴吐出装置（インクジェット装置）１００は、顔料粒子等の着色剤が分散媒に分散したカラーフィルター用インク１を吐出することにより、カラーフィルター１０の着色部１２を形成するのに用いられる装置である。
まず、カラーフィルター１０の製造の概要について説明する。図５に示すように、カラーフィルター１０は、隔壁（遮光部）１３が設けられた基板１１を用意する基板用意工程（１ａ）と、図１〜図３に示す液滴吐出装置（インクジェット装置）１００を用いて、カラーフィルター用インク１を隔壁１３で囲まれた領域に付与するインク付与工程（１ｂ）と、カラーフィルター用インク１から分散媒を除去し、固形状の着色部１２とする着色部形成工程（１ｃ）とを有する方法を用いて製造することができる。このようにして製造されるカラーフィルター１０は、通常、複数色の着色部１２を有している。図５に示す構成では、互いに異なる色の第１の着色部１２Ａ、第２の着色部１２Ｂ、および第３の着色部１２Ｃを有している。
【００２２】
図１および図３に示すように、液滴吐出装置１００は、図２に示す液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド。以下、単にヘッドと呼ぶ）１１０と、ベース１３０と、テーブル１４０と、インク貯留槽１５０と、洗浄液貯留槽１６０と、テーブル位置決め手段１７０と、ヘッド位置決め手段１８０と、制御装置１９０とを有している。
ベース１３０は、テーブル１４０、テーブル位置決め手段１７０、およびヘッド位置決め手段１８０等の液滴吐出装置１００の各構成部材を支持する台である。
【００２３】
テーブル１４０は、テーブル位置決め手段１７０を介してベース１３０に設置されている。また、テーブル１４０は、隔壁（遮光部）１３が設けられた基板１１（以下、単に基板１１ともいう）を載置するものである。
テーブル位置決め手段１７０は、第１移動手段１７１と、モーター１７２とを有している。テーブル位置決め手段１７０は、ベース１３０におけるテーブル１４０の位置を決定し、これにより、ベース１３０における基板１１の位置を決定する。
【００２４】
第１移動手段１７１は、Ｙ方向と略平行に設けられた２本のレールと、当該レール上を移動する支持台とを有している。第１移動手段１７１の支持台は、モーター１７２を介してテーブル１４０を支持している。そして、支持台がレール上を移動することにより、基板１１を載置するテーブル１４０は、Ｙ方向に移動および位置決めされる。
モーター１７２は、テーブル１４０を支持しており、θｚ方向にテーブル１４０を揺動および位置決めする。
【００２５】
ヘッド位置決め手段１８０は、第２移動手段１８１と、リニアモーター１８２と、モーター１８３、１８４、１８５とを有している。ヘッド位置決め手段１８０は、ヘッド１１０の位置を決定する。
第２移動手段１８１は、ベース１３０から立設する２本の支持柱と、当該支持柱同士の間に当該支持柱に支持されて設けられ、２本のレールを有するレール台と、レールに沿って移動可能でヘッド１１０を支持する支持部材（図示せず）とを有している。そして、支持部材がレールに沿って移動することにより、ヘッド１１０は、Ｘ方向に移動および位置決めされる。
【００２６】
リニアモーター１８２は、支持部材付近に設けられており、ヘッド１１０のＺ方向の移動および位置決めをすることができる。
モーター１８３、１８４、１８５は、ヘッド１１０を、それぞれα，β，γ方向に揺動および位置決めする。
以上のようなテーブル位置決め手段１７０およびヘッド位置決め手段１８０とにより、インクジェット装置１００は、ヘッド１１０のインク吐出面１１５Ｐと、テーブル１４０上の基板１１との相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールできるようになっている。
【００２７】
図２に示すように、ヘッド１１０は、インクジェット方式（液滴吐出方式）によってインク１をノズル（突出部）１１８から吐出するものである。本実施形態では、ヘッド１１０は、圧電体素子としてのピエゾ素子１１３を用いてインクを吐出させるピエゾ方式を用いている。ピエゾ方式は、インク１に熱を加えないため、材料の組成に影響を与えないなどの利点を有する。
【００２８】
ヘッド１１０は、ヘッド本体１１１と、振動板１１２と、ピエゾ素子１１３とを有している。
ヘッド本体１１１は、本体１１４と、その下端面にノズルプレート１１５とを有している。そして、本体１１４を板状のノズルプレート１１５と振動板１１２とが挟み込むことにより、空間としてのリザーバー１１６およびリザーバー１１６から分岐した複数のインク室１１７が形成されている。
【００２９】
リザーバー１１６には、後述するインク貯留槽１５０よりインク１が供給される。リザーバー１１６は、各インク室１１７にインク１を供給するための流路を形成している。
また、ノズルプレート１１５は、本体１１４の下端面に装着されており、インク吐出面１１５Ｐを構成している。このノズルプレート１１５には、インク１を吐出する複数のノズル１１８が、各インク室１１７に対応して開口されている。そして、各インク室１１７から対応するノズル（吐出部）１１８に向かって、インク流路が形成されている。
【００３０】
振動板１１２は、ヘッド本体１１１の上端面に装着されており、各インク室１１７の壁面を構成している。振動板１１２は、ピエゾ素子１１３の振動に応じて振動可能となっている。
ピエゾ素子１１３は、その振動板１１２のヘッド本体１１１と反対側に、各インク室１１７に対応して設けられている。ピエゾ素子１１３は、水晶等の圧電材料を一対の電極（不図示）で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路１９１に接続されている。
【００３１】
そして、駆動回路１９１からピエゾ素子１１３に電気信号を入力すると、ピエゾ素子１１３が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子１１３が収縮変形すると、インク室１１７の圧力が低下して、リザーバー１１６からインク室１１７にインク１が流入する。また、ピエゾ素子１１３が膨張変形すると、インク室１１７の圧力が増加して、ノズル１１８からインク１が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子１１３の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子１１３への印加電圧を制御することにより、インク１の吐出条件を制御し得るようになっている。
【００３２】
制御装置１９０は、インクジェット装置１００の各部位を制御する。例えば、駆動回路１９１で生成する印加電圧の波形を調節してインク１の吐出条件を制御したり、ヘッド位置決め手段１８０およびテーブル位置決め手段１７０を制御することにより基板１１へのインク１の吐出位置を制御する。
インク貯留槽１５０は、インク１を貯留する。
【００３３】
インク貯留槽１５０は、図３に示すように、インク搬送路１５１を介して、ヘッド１１０（リザーバー１１６）に接続されている。
インク搬送路１５１には、インク貯留槽１５０側からヘッド１１０へ向かって順に、コック（分岐）１５２と、インク１の逆流を防止するための自己封止弁１５３とが設けられている。
【００３４】
インク貯留槽１５０に貯留されたインク１は、液滴吐出時等における必要に応じて、インク搬送路１５１に送られ、コック１５２、自己封止弁１５３を介して、リザーバー１１６に供給される。
洗浄液貯留槽１６０は、洗浄液を貯留する。洗浄液貯留槽１６０内の洗浄液は、洗浄液搬送路１６１によってインク流路に搬送され、インク流路内を洗浄する。
【００３５】
洗浄液搬送路１６１は、コック１５２においてインク搬送路１５１と接続されている。
また、洗浄液搬送路１６１の途中には、気泡発生器１６２が設けられている。気泡発生器１６２は、洗浄液搬送路１６１内を送液される洗浄液２中に気泡を混入させる。洗浄液２中に混入した気泡は、洗浄液２の流れとともに洗浄液搬送路１６１を介して、インク１の流路（インク搬送路１５１、ヘッド１１０等）に送液され、これにより液滴吐出装置１００内が洗浄される。洗浄液搬送路１６１の途中に気泡発生器１６２を設けることにより、効率よく気泡を発生させ、洗浄液２中に混入させることができる。
【００３６】
ここで、気泡を含む洗浄液２がインク１の流路を流れると、流路の内壁に付着した汚れに気泡が衝突する。これにより、汚れに衝撃力が加わり、それに基づいて汚れが脱落する。また、衝突しないまでも、汚れの近くを気泡が通過すると、それにより汚れ周辺の圧力が急激に変化する。この圧力変化によっても汚れを除去することができ、さらには洗浄液が効率よく攪拌されることで、汚れに対して常に洗浄力の高い洗浄液が接触するため洗浄効果が高まる。
【００３７】
一方、気泡が汚れに衝突したとき、気泡が破裂する場合もある。気泡が破裂すると、それにより圧力波が発生し、この圧力波が汚れを粉砕したり、あるいは脱落させる。
さらには、汚れに気泡が付着すると、その気泡に対して別の気泡が次々に付着し、気泡同士が合体する。これにより、気泡が成長し、洗浄液２の流れに対してより大きな抵抗力を受ける。このような状態になると、成長した気泡ごと、汚れが脱落し易くなる。
以上のようにして、インクの流路に付着した汚れを容易に脱落させることができる。
【００３８】
図４に示す気泡発生器１６２は、洗浄液２中に混入させる気体を貯留する気体貯留槽１６２１と、洗浄液搬送路１６１に設けられた分岐部１６２２と、分岐部１６２２と気体貯留槽１６２１とを接続する気体搬送路１６２３と、気体搬送路１６２３の途中に設けられた開閉弁１６２４とを備えている。気体貯留槽１６２１に貯留されている気体は、気体搬送路１６２３を介して洗浄液搬送路１６１中に供給され、洗浄液２中に混入される（エアーレーション方式）。具体的には、分岐部１６２２を通過する洗浄液２の流れによって圧力差が生じ、この圧力差に伴って気体搬送路１６２３中の気体が洗浄液２中に巻き込まれる。これにより、洗浄液２中に効率よく気泡を混入させることができる。
【００３９】
気体貯留槽１６２１に貯留される気体としては、例えば、空気、酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素等が挙げられる。
なお、気体の発生方式は、上記エアーレーション方式に限定されず、例えば、化学反応により気体を発生させる方法等を用いるようにしてもよい。
また、気体搬送路１６２３の下流端１６２３ａでは、内径が小さくなっている。この内径の大きさに応じて洗浄液２中に形成される気泡の大きさが決まるため、形成すべき気泡の大きさに応じて内径が調整されている。なお、下流端１６２３ａは、図４に示すキャピラリーのような単なる管体であってもよいが、内径部が多孔質体で充填された管体であってもよい。これにより、多孔質体を通過して洗浄液２中に気体が混入するため、多孔質体の気孔の大きさに応じた、より微細な気泡を混入させることができる。このような多孔質体としては、連続気孔を含む多孔質体であればよく、具体的には、いわゆるスポンジのような樹脂製多孔質体の他、セラミックス製多孔質体、金属製多孔質体、ガラス製多孔質体等が挙げられる。この他、パンチングメタル、メッシュ等であってもよい。
【００４０】
また、図４では、洗浄液搬送路１６１と気体搬送路１６２３との接続部である分岐部１６２２において、洗浄液搬送路１６１の内径が局所的に小さくなっている。これにより、洗浄液搬送路１６１を通過する洗浄液２の流速が、分岐部１６２２近傍において速くなるため、洗浄液２中に巻き込まれる気泡の混入量を増大させることができる。
なお、洗浄液中に混入させる気体が空気である場合、気体貯留槽１６２１を省略することができる。この場合、気体搬送路１６２３の上流端は、開放端とすればよい。
【００４１】
洗浄液２中に混入させる気泡の平均バブル径は、５μｍ以上１００μｍ以下程度であるのが好ましく、１０μｍ以上８０μｍ以下程度であるのがより好ましく、１５μｍ以上６０μｍ以下程度であるのがさらに好ましい。気泡の平均バブル径を前記範囲内とすることにより、気泡による汚れの除去作用を高めつつ、気泡がインク１の流路に詰まってしまうのを防止することができる。
【００４２】
なお、気泡の平均バブル径が前記下限値を下回った場合、気泡が発生させる衝撃力や圧力波が小さく、汚れの除去作用が低下するおそれがあり、また、微小な気泡はインク１の流路のインク流速が相対的に遅い部分などに付着・滞留しやすくなり排出が困難となる恐れがあり、インクの充填不良を引き起こす可能性がある。一方、気泡の平均バブル径が前記上限値を上回った場合、大きな気泡は流路の隅々まで行き渡らないため、洗浄の効果が低下して異物が残留するおそれがある。
このような洗浄液２中の気泡の平均バブル径は、例えば、光学顕微鏡等による光学観察、レーザービームの散乱・遮光などによる液中パーティクルカウンター等により測定することができる。
【００４３】
また、洗浄液２中の気泡の混入率は、特に限定されないが、１０個／ｍＬ以上５０００個／ｍＬ以下程度であるのが好ましく、１００個／ｍＬ以上３０００個／ｍＬ以下程度であるのがより好ましい。気泡の混入率を前記範囲内とすることにより、気泡による汚れの除去作用を高めつつ、洗浄液２の十分な流動性を確保することができる。
このような洗浄液２中の気泡の混入率は、例えば、光学顕微鏡等による光学観察、レーザービームの散乱・遮光などによる液中パーティクルカウンター等により測定することができる。
【００４４】
また、洗浄液搬送路１６１の下流側には、洗浄液２中の気泡のバブル径を調整するバブル径調整手段１６３が設けられている。このバブル径調整手段１６３は、洗浄液２中の気泡を微細化して小径化する。気泡発生器１６２は、その種類や方式によっては大きな気泡しか形成することができないため、バブル径調整手段１６３を用いることで、より小さな気泡に変化させることができる。これにより、気泡の平均バブル径を前記範囲内に調整することができ、上述したような優れた効果を享受することができる。
【００４５】
バブル径調整手段１６３としては、例えば、（１）キャビテーションにより気泡を微細化する手段、（２）二相流旋回方式や超高速旋回方式などの旋回方式またはベンチュリー管方式により気泡を微細化する手段、（３）旋回流により気泡を微細化する手段等が挙げられ、これらの手段の２つ以上を組み合わせた手段であってもよい。
このうち、（１）の手段は、洗浄液２を送液するポンプで構成される。このポンプに、気泡を混入させた洗浄液２を導入すると、ポンプ内でキャビテーションが生じて気泡が分裂する。これにより、より微細な気泡が形成される。
【００４６】
また、（２）の手段は、二相流旋回方式や超高速旋回方式などの旋回方式またはベンチュリー管方式により構成される。このベンチュリー管に、気泡を混入させた洗浄液２を導入すると、管内を洗浄液２が通過する際に発生する圧力差によって微細な気泡が発生する。
さらに、（３）の手段は、旋回するプロペラで構成される。この旋回するプロペラに、気泡を混入させた洗浄液２を導入すると、プロペラによる撹拌力で気泡が破壊され、より微細な気泡が形成される。
【００４７】
なお、上記のバブル径調整手段１６３は、気泡を微細化することができるが、通常、微細化可能な大きさの下限値が存在する。このため、これらのバブル径調整手段１６３にバブル径のバラツキが大きい気泡を導入したときには、気泡のバブル径を揃えることもできる。気泡のバブル径を揃えることにより、洗浄液２の流動性が均一になるため、インク１の流路に対して気泡が混入した洗浄液２を円滑に流すことができる。
【００４８】
本実施形態では、以上のような気泡発生器１６２およびバブル径調整手段１６３により、気泡混入手段が構成されている。なお、本実施形態では、洗浄液搬送路１６１の途中に気泡混入手段を設けた場合について説明したが、気泡混入手段の設置場所は、例えば洗浄液貯留槽１６０であってもよい。
なお、気泡発生器１６２、バブル径調整手段１６３およびコック１５２は、それぞれ、前述した制御装置１９０と電気的に接続されている。これにより、制御装置１９０によってインク１と洗浄液２の切り替えや、気泡発生の有無、気泡のバブル径等を制御することができる。
【００４９】
液滴吐出装置１００において用いる洗浄液２の温度は、特に限定されないものの、２０℃以上６０℃以下であるのが好ましく、２５℃以上５０℃以下であるのがより好ましい。これにより、より効果的にインク１の流路における汚れを除去することができる。
また、洗浄液２の送液速度は、自己封止弁１５３の下流部において、２０ｍＬ／ｍｉｎ以上２００ｍＬ／ｍｉｎ以下であるのが好ましく、５０ｍＬ／ｍｉｎ以上１５０ｍＬ／ｍｉｎ以下であるのがより好ましい。これにより、より効果的にインクの流路内の洗浄を行うことができる。
【００５０】
また、図３に示す液滴吐出装置は、ヘッド１１０の下方に設けられた吸引手段２００を有している。この吸引手段２００は、ヘッド１１０の下面と接触した状態でヘッド１１０内のインクや洗浄液２を吸引するよう構成されている。そして、吸引手段２００で吸引されたインクや洗浄液は、吸引手段２００の下方に設けられた回収タンク２１０に送液され、回収される。
【００５１】
また、吸引手段２００による吸引動作が終了した後、必要に応じて、インク吐出面１１５Ｐを拭き取る（ワイピング）操作を行うようにしてもよい。
ここで、液滴吐出装置１００の動作について説明する。
液滴吐出装置１００は、通常、ヘッド１１０のノズル１１８からインク１を吐出する動作を行うが、この動作を繰り返すうち、インク１の流路にインク１に含まれる固形分（汚れ）が付着する。
【００５２】
インク１の流路に洗浄液２を送液する動作は、この通常動作の開始前・終了後や通常動作の合間等に行われ、インク１の流路に付着した固形分を除去するために行われる。
具体的には、ヘッド１１０の下面と吸引手段２００の上面とが接するように、ヘッド１１０を移動させる。
次いで、洗浄液貯留槽１６０内の洗浄液２をインク１の流路に送液する。この際、気泡発生器１６２により洗浄液２中に気泡が混入させ、混入した気泡はバブル径調整手段１６３により微細化される。これにより、インク１の流路が気泡を含む洗浄液２により洗浄される。
以上、本発明の液滴吐出装置について、好適な実施形態について説明したが、これに限定されず、例えば、図６〜８に示すような液滴吐出装置であってもよい。
【００５３】
図６〜８は、本発明の液滴吐出装置の全体構成の他の一例を示した模式図である。
本実施形態では、上述した実施形態と異なる点について説明し、同様の構成については、その説明を省略する。
図６に示す気泡混入手段は、上述したバブル径調整手段１６３に代えて、洗浄液搬送路１６１の気泡発生器１６２より下流側に設けられたポンプ１６４を備えている。このポンプ１６４は、洗浄液搬送路１６１を流れる洗浄液を取り込み、強制的に下流側へ流すものであるが、この際、ポンプ１６４の下流側では上流側より圧力が上昇する。したがって、ポンプ１６４の下流側では洗浄液の圧力が上昇し、それに伴って洗浄液における気体の溶解度が上昇する。その結果、ポンプ１６４の下流側を流れる洗浄液中では、含まれていた気泡が洗浄液中に一部溶解し、気泡のサイズが小さくなる（過飽和状態）。
【００５４】
気泡のサイズが小さくなると、洗浄液は、大きな気泡を含む場合に比べて円滑に流れることができる。加圧された洗浄液は、洗浄液搬送路１６１およびインク搬送路１５１を介してヘッド１１０に送液される。この際、インク搬送路１５１には高圧の洗浄液が通過することになるため、汚れの除去作用を高めることができる。その後、洗浄液は、より広い空間であるヘッド１１０内のリザーバー１１６に達するが、この際、洗浄液に加わっていた圧力が急激に解放される。その結果、過飽和状態が解除され、溶解していた気体が気泡として現れる。その結果、洗浄液は気泡を含むものとなり、ヘッド１１０内の汚れを強力に除去する。しかもこの方法で発生する気泡は、バブル径が均一でかつ微細なものであるので、汚れの除去作用が特に高くなる。
【００５５】
また、ポンプ１６４を間欠的に動作させることにより、洗浄液搬送路１６１、インク搬送路１５１およびヘッド１１０内の圧力を高めたり低くしたりしてもよい。この際、汚れに対しても圧力変化が作用し、汚れを引き剥がし易くなる。図６に示す気泡混入手段によれば、これらの効果が相乗的に働き、汚れを確実に除去することができる。
以上のようなことから、気泡混入手段がポンプ１６４を備えていることにより、インク搬送路１５１中では洗浄液を円滑に流すことができ、一方、ヘッド１１０内においては確実に汚れを除去することができる。換言すれば、インク搬送路１５１等には汚れが付着し難く、ヘッド１１０内に汚れが付着し易い場合等に、図６に示す気泡混入手段は好適である。また、ポンプ１６４の動作を変えることで、汚れの除去作用を増強することもできる。
【００５６】
洗浄液を加圧する際、その圧力は大気圧以上であればよいが、好ましくは１．５気圧（０．１５ＭＰａ）以上１０気圧（１ＭＰａ）以下とされ、より好ましくは２気圧（０．２ＭＰａ）以上８気圧（０．８ＭＰａ）以下とされる。
なお、この場合、洗浄液に混入させる気体としては、洗浄液に対する溶解度の高いものが好ましく用いられる。これにより、洗浄液に加える圧力をそれほど高くしなくても、過飽和状態を形成することができる。なお、液体に対する溶解度が比較的高い気体としては、例えば、二酸化炭素、酸素等が挙げられる。
【００５７】
また、ポンプ１６４についても、前述した制御装置１９０と電気的に接続されている。これにより、制御装置１９０によってポンプ１６４の動作を制御することができる。
図７に示す液滴吐出装置は、複数の洗浄液貯留槽（図７では、３つの洗浄液貯留槽１６０１、１６０２、１６０３）を有している。また、洗浄液搬送路１６１の途中（気泡発生器１６２の上流側）には、洗浄液搬送路１６１を分岐させる３つの分岐部１６５１、１６５２、１６５３が設けられており、分岐部１６５１から分岐した分岐路１６１１には洗浄液貯留槽１６０１が、分岐部１６５２から分岐した分岐路１６１２には洗浄液貯留槽１６０２が、分岐部１６５３から分岐した分岐路１６１３には洗浄液貯留槽１６０３が、それぞれ接続されている。
【００５８】
ここで、３つの洗浄液貯留槽１６０１、１６０２、１６０３には、互いに異なる種類（組成）の洗浄液を貯留してもよく、同じ種類（組成）の洗浄液を貯留するようにしてもよい。
前者の場合、使用したインク１の種類に応じて最適な洗浄液を選択し、インク１の流路を洗浄することができる。なお、最適な洗浄液とは、例えば、インク１が含む固形分に対して溶解性または分散性が高く、かつ、インク１が含む液性媒体（分散媒）と相溶性を有する液体が挙げられる。
【００５９】
また、異なる種類の洗浄液を順次用いることにより、汚れの除去作用が高められたり、洗浄液によるヘッド１１０の変質・劣化が抑制されたりすることがある。図７に示す液滴吐出装置であれば、このような操作を、分岐部１６５１、１６５２、１６５３により洗浄液の流路を選択するのみで容易に行うことができる。
具体的には、インク１が含む液性媒体と同じ組成の洗浄液を洗浄液搬送路１６１に供給した後、汚れの除去効率に優れた洗浄液を洗浄液搬送路１６１に供給することにより、前者の洗浄液がインク１と高度に相溶し、後者の洗浄液が汚れに対して高い洗浄作用を示すことになるため、結果的に汚れを効率よく除去することができる。
【００６０】
これとは反対に、先に汚れの除去効率に優れた洗浄液を供給した後、次いで、インク１が含む液性媒体と同じ組成の洗浄液を供給するようにしてもよい。このようにすれば、インク１の流路がもともとインク１に対する優れた耐久性を有していることから、後者の洗浄液がインク１の流路に残留したとしても、インク１の流路の変質・劣化が抑制されることとなる。その結果、液滴吐出装置の耐久性を高めることができる。
【００６１】
また、インク１が含む着色剤や樹脂材料によっては、これらを同時に溶解または分散することができない場合もある。このような場合、着色剤と樹脂材料とを順次洗浄できるよう、それぞれを溶解または分散する２種類の洗浄液を各洗浄液貯留槽１６０１、１６０２に貯留しておき、これらを順次供給するようにすればよい。これにより、さらに確実な汚れの除去が可能になる。
【００６２】
さらには、気泡を含む洗浄液を供給した後、最後に、消泡剤を含む洗浄液を供給するようにしてもよい。このようにすれば、インク１の流路内に残留した洗浄液中の気泡に消泡剤が作用して、気泡を強制的に消滅させることができる。その結果、インク１の流路内に気泡が残留することに伴う、インク１の吐出不良等の発生を防止することができる。
なお、消泡剤としては、洗浄液に対して相溶性を有し、かつ、析出し難いものが好ましく用いられる。具体的には、例えば、ポリエーテル系、鉱物油系、高級アルコール系、シリコーン系の各消泡剤が挙げられる。
【００６３】
洗浄液２に対する消泡剤の添加量は、特に限定されないが、０．０１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下程度であるのが好ましく、０．１ｗｔ％以上３ｗｔ％以下程度であるのがより好ましい。
また、分岐部１６５１、１６５２、１６５３は、それぞれ制御装置１９０と電気的に接続され、その動作が制御されるよう構成されている。これにより、分岐部１６５１、１６５２、１６５３の各動作を協調的に制御することができるので、最適なタイミングで異なる種類の洗浄液を供給することができる。
【００６４】
一方、後者の場合、洗浄液の貯留量を増やすことができるので、洗浄液の補充頻度を少なくすることができる。
図８に示す液滴吐出装置では、洗浄液搬送路１６１が、気泡発生器１６２の上流側に設けられたコック（分岐）１６６において、第１の搬送路１６１ａと第２の搬送路１６１ｂとに一旦分岐し、その後、コック１５２に達する前に、再度合流している。また、図８に示す液滴吐出装置では、第２の搬送路１６１ｂの途中に脱気手段１６７が設けられている。
【００６５】
脱気手段１６７は、洗浄液２中に含まれる気体成分を除去するものであり、例えば、気液分離膜方式、減圧方式の脱気装置等で構成される。脱気手段１６７により洗浄液２中の気体成分を除去することで、洗浄液２は、新たに気体成分を溶解し得る潜在的な気体溶解能を有するものとなる。このため、先に第１の搬送路１６１ａを介してインク１の流路に気泡を含む洗浄液２を供給し、洗浄した後、次いで、第２の搬送路１６１ｂを介して脱気手段１６７を通過させた洗浄液２を供給することにより、インク１の流路内に残留した気泡を確実に溶解・除去することができる。その結果、インク１の流路内に気泡が残留することに伴う、インク１の吐出不良等の発生を防止することができる。
【００６６】
＜洗浄液＞
次に、本発明の洗浄方法（液滴吐出装置）に好適に適用することが可能な洗浄液について説明する。
本発明に適用される洗浄液（クリーニングインク）２は、カラーフィルターの製造に用いられるヘッド１１０の洗浄をするものであり、特に、後述するようなカラーフィルター用インク（以下単にインクともいう）による液滴吐出装置１００の汚れ、目詰まり等を好適に解消するものである。
【００６７】
本発明の洗浄方法に適用する洗浄液２は、前述したように、インク１が含む固形分に対する溶解性または分散性を有し、かつ、インク１が含む液性媒体（分散媒）と相溶性を有する液体が挙げられる。このような洗浄液２を用いることで、インク１が含む固形分が析出したとしても、汚れを洗浄液２中に取り込んで、洗い流すことができる。
また、洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクに含まれる分散媒（カラーフィルター用インク分散媒）と共通の成分を含むものであるのが好ましく、同じ組成ものであるのがより好ましい。これにより、インク１との置換性が特に優れたものとなり、残存したインク１と素早く混合、置換することができる。
【００６８】
また、洗浄液２には、カラーフィルター用インクに含まれる分散媒（液性媒体）中に５ｖｏｌ％以上の割合で含まれる成分のうち、最も低沸点の成分より沸点の高いものが好ましく用いられる。これにより、インク１に比べて洗浄液２の揮発性が低下するため、インク１と洗浄液２とが相溶したとき、インク１に含まれる固形分の析出が抑制される。すなわち、固形分が析出するまでにより長い時間がかかることになるため、本発明の洗浄方法を行う頻度を少なくしても、固形分の析出が抑えられ、ヘッド１１０を清浄状態で維持することができる。その結果、カラーフィルターの製造効率を高めることができる。
【００６９】
なお、洗浄液２の沸点とカラーフィルター用インクに含まれる分散媒（液性媒体）の低沸点成分の沸点との差は、２０℃以上１５０℃以下程度であるのが好ましく、３０℃以上１００℃以下程度であるのがより好ましい。
また、洗浄液２の沸点は、１９０℃以上３００℃以下程度であるのが好ましく、２００℃以上２８０℃以下程度であるのがより好ましい。
【００７０】
洗浄液２としては、例えば、エステル化合物、エーテル化合物、ヒドロキシケトン、炭酸ジエステル、環状アミド化合物等を用いることができ、中でも、〔１〕多価アルコール（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、グリセリン等）の縮合物としてのエーテル（多価アルコールエーテル）や、多価アルコールまたは多価アルコールエーテルのアルキルエーテル（例えば、メチルエーテル、エチルエーテル、ブチルエーテル、ヘキシルエーテル等）、エステル（例えば、ホルメート、アセテート、プロピオネート等）、〔２〕多価カルボン酸（例えば、こはく酸、グルタル酸等）のエステル（例えば、メチルエステル等）、〔３〕分子内に少なくとも１つの水酸基と少なくとも１つのカルボキシル基とを有する化合物（ヒドロキシ酸）のエーテル、エステル等、〔４〕多価アルコールとホスゲンとの反応で得られるような化学構造を有する炭酸ジエステルが好ましい。分散媒として用いることのできる化合物としては、例えば、２−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−１−メチルエチルアセテート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、４−メチル−１，３−ジオキソラン−２−オン、ビス（２−ブトキシエチル）エーテル、グルタル酸ジメチル、エチレングリコールジｎ−ブチレート、１，３−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、１，６−ジアセトキシヘキサン、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ブトキシプロパノール、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルブチルエーテル、トリエチレングリコールメチルエチルエーテル、トリエチレングリコールメチルブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、オクタン酸エチル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテル、酢酸シクロヘキシル、こはく酸ジエチル、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、４−ヒドロキシ−４−メチル−２−ペンタノン、こはく酸ジメチル、１−ブトキシ−２−プロパノール、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシ−ｎ−ブチルアセテート、ジアセチン、ジプロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ブチルグリコレート、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、ビス（２−プロポキシエチル）エーテル、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、ジエチレングリコールブチルエチルエーテル、ジエチレングリコールブチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールエチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールブチルエチルエーテル、トリエチレングリコールエチルメチルエーテル、トリエチレングリコールエチルプロピルエーテル、トリエチレングリコールメチルプロピルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ｎ−ノニルアルコール、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール２−エチルヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−２−エチルヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ブチルセロソルブアセテート等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００７１】
＜化合物Ａ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（１）で示される化合物Ａを含有するものが好ましい。
【００７２】
【化５】
【００７３】
洗浄液２が化合物Ａを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ａが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有しているためであると思われる。また、特に、化合物Ａを含有する洗浄液２は、後述するＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（臭素化亜鉛フタロシアニン顔料）を含むインク１の固形分に対して強力に作用し、除去することを可能にする。
【００７４】
上記式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は、それぞれ独立に、炭素数が１〜３のアルキル基であればよいが、いずれも、メチル基であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（１）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ａを含むものであってもよい。
【００７５】
洗浄液２中における化合物Ａの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ａの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ａの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ａを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ａの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ａを含むものである場合、化合物Ａの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００７６】
＜化合物Ｂ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有するものが好ましい。
【００７７】
【化６】
【００７８】
洗浄液２が化合物Ｂを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｂが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｂを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、気体（特に空気）の溶解性が高いことから、優れた脱気性を有し、洗浄作業の最後に気泡を除去するために流される洗浄液２として好適に用いられる。
【００７９】
上記式（２）中、Ｒは、炭素数が１〜４の炭化水素基であればよいが、メチル基であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（２）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｂを含むものであってもよい。
【００８０】
洗浄液２中における化合物Ｂの含有率は、特に限定されないが、１５ｗｔ％以上であるのが好ましく、３０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、４０ｗｔ％以上９０ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｂの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｂの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｂを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｂの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｂを含むものである場合、化合物Ｂの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００８１】
＜化合物Ｃ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有するものが好ましい。
【００８２】
【化７】
【００８３】
洗浄液２が化合物Ｃを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｃが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｃを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、気体（特に空気）の溶解性が高いことから、優れた脱気性を有し、洗浄作業の最後に気泡を除去するために流される洗浄液２として好適に用いられる。
【００８４】
上記式（３）中、Ｒは、炭素数が１〜６の炭化水素基であればよいが、Ｒの炭素数が１〜５であるのが好ましく、Ｒの炭素数が１〜４であるのがより好ましく、Ｒがプロピル基またはブチル基であるのがさらに好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（３）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｃを含むものであってもよい。
【００８５】
洗浄液２中における化合物Ｃの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｃの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｃの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｃを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｃの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｃを含むものである場合、化合物Ｃの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００８６】
＜化合物Ｄ＞
また、洗浄液２としては、特に、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有するものが好ましい。
【００８７】
【化８】
【００８８】
洗浄液２が化合物Ｄを含有することにより、汚れを好適に除去することができる。これは、洗浄液２中に含まれる化合物Ｄが、液滴吐出装置の構成部材に悪影響を及ぼすことなく、汚れと、汚れが付着している構成部材との密着性を低下させることができる機能を有することによるものと思われる。また、特に、化合物Ｄを含有する洗浄液２は、汚れに対して強力に作用する一方、気体（特に空気）の溶解性が高いことから、優れた脱気性を有し、洗浄作業の最後に気泡を除去するために流される洗浄液２として好適に用いられる。また、ジエーテル構造のため粘度が低く、流路への洗浄液の充填および洗浄液の除去などが容易である。
【００８９】
上記式（４）中、Ｒは、炭素数が１〜４の炭化水素基であればよいが、Ｒの炭素数が１〜３であるのが好ましく、Ｒの炭素数が１〜２であるのがより好ましく、Ｒがメチル基であるのがさらに好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
また、上記式（４）中、ｎは、１〜３の数であればよいが、１〜２であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
【００９０】
また、上記式（４）中、Ｘ１、Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４、Ｘ５は、それぞれ、独立に、水素原子またはハロゲン原子であればよいが、いずれも、水素原子であるのが好ましい。これにより、洗浄液による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。
なお、洗浄液２は、化学構造の異なる複数種の化合物Ｄを含むものであってもよい。
洗浄液２中における化合物Ｄの含有率は、特に限定されないが、４０ｗｔ％以上であるのが好ましく、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのがより好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。化合物Ｄの含有率が前記範囲内の値であると、洗浄液２による液滴吐出装置の洗浄の効率を特に優れたものとすることができる。これに対し、化合物Ｄの含有率が前記下限値未満であると、洗浄液２が化合物Ｄを含むことによる効果が十分に発揮されない可能性がある。また、化合物Ｄの含有率が前記上限値を超えると、後に詳述するような成分（インク（カラーフィルター用インク）の液性媒体を構成するのと同一の成分等）を十分な比率で含有することができず、当該成分を併用することによる効果を十分に発揮させることが困難となる。なお、洗浄液２が化学構造の異なる複数種の化合物Ｄを含むものである場合、化合物Ｄの含有率の値としては、これら複数の化合物の含有率の総和を採用するものとする。
【００９１】
また、洗浄液２は、その他の成分を含んでいてもよい。
その他の成分としては、例えば、表面張力調整剤、エチレングリコール、１，３−プロパンジオール、１，３−ブチレングリコール、プロピレングリコール等の多価アルコール、チオ尿素等が挙げられる。
また、上述したような洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクより２５℃での表面張力と同程度であるか、あるいは低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置１００の洗浄部位に好適に洗浄液２が濡れ広がることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
【００９２】
洗浄液２は、後述するカラーフィルター用インクより２５℃における粘度が低いものであることが好ましい。これにより、洗浄時において、液滴吐出装置１００の洗浄部位に好適に洗浄液２が濡れ広がることができる。また、洗浄時において、洗浄液搬送路１６１やインク１の流路における洗浄液２の流速を早いものとすることができる。このため、洗浄後における洗浄部位に残存する汚れが特に少ないものとなる。
なお、上記「同程度」とは、カラーフィルター用インクの表面張力の１倍以上１．３倍程度とされる。
【００９３】
以下、カラーフィルター用インクについて説明する。
《カラーフィルター用インク》
次に、本発明の洗浄方法に適用される液滴吐出装置から吐出されるカラーフィルター用インクについて説明する。
カラーフィルター用インクは、基板上に着色部を形成するのに用いるインクであり、特に、液滴吐出法によってカラーフィルターの着色部を形成するのに用いるインクである。
【００９４】
以下、カラーフィルター用インクの各構成成分について詳細に説明する。
［着色剤］
カラーフィルターは、通常、異なる複数色の着色部（一般に、ＲＧＢに対応する３色の着色部）を有している。着色剤は、通常、形成すべき着色部の色調に応じて選択される。カラーフィルター用インクを構成する着色剤としては、例えば、各種顔料、各種染料を用いることができる。
【００９５】
顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２１，２２，２３，３０，３１，３２，３７，３８，４０，４１，４２，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９：１，４９：２，５０：１，５２：１，５３：１，５７，５７：１，５７：２，５８：２，５８：４，６０：１，６３：１，６３：２，６４：１，８１，８１：１，８３，８８，９０：１，９７，１０１，１０２，１０４，１０５，１０６，１０８，１０８：１，１１２，１１３，１１４，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５１，１６６，１６８，１７０，１７１，１７２，１７４，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８５，１８７，１８８，１９０，１９３，１９４，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１５，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４３，２４５，２５４，２５５，２６４，２６５；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７，３６，１５，１７，１８，１９，２６，５０，５８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１７：１，１８，６０，２７，２８，２９，３５，３６，６０，８０；Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１，３，１２，１３，１４，１５，１６，１７，２０，２４，３１，３４，３５，３５：１，３７，３７：１，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６５，７１，７３，７４，８１，８３，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１６，１１７，１１９，１２０，１２６，１２７，１２８，１２９，１３８，１３９，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１５７，１６６，１６８，１７５，１８０，１８４，１８５；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１，３，１４，１６，１９，２３，２９，３２，３６，３８，５０；Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１，５，１３，１４，１６，１７，２０，２０：１，２４，３４，３６，３８，４０，４３，４６，４９，５１，６１，６３，６４，７１，７３，１０４；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン７，１１，２３，２５，３３；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１，７や、これらの誘導体等が挙げられ、これらから選択される１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００９６】
また、特に、カラーフィルター用インクが、顔料（緑色顔料）として、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８（臭素化亜鉛フタロシアニン顔料）を含むものであると、当該カラーフィルター用インク（緑色のカラーフィルター用インク）の発色性を特に優れたものとすることができる。また、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８は、明度に優れるという特徴を有しているものの、各種顔料の中でも、特に分散性の低い材料であるため、従来において液滴吐出に供するインクに適用する場合には、液滴吐出装置のインクの流路への付着、液滴吐出ヘッドの吐出部の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクがＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクがＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮される。
【００９７】
カラーフィルター用インク中における顔料の含有率は、２ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。
カラーフィルター用インク中に含まれる顔料の平均粒径は、１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であるのが好ましく、２０ｎｍ以上１８０ｎｍ以下であるのがより好ましい。これにより、カラーフィルター用インク中における顔料の分散安定性や、カラーフィルターインクの吐出安定性を十分に優れたものとしつつ、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターの耐久性（耐光性等）を十分に優れたものとし、カラーフィルターにおける発色性、コントラスト等を特に優れたものとすることができる。
【００９８】
一方、染料としては、例えば、アゾ染料、アントラキノン染料、縮合多環芳香族カルボニル染料、インジゴイド染料、カルボニウム染料、フタロシアニン染料、メチン，ポリメチン染料等が挙げられる。染料の具体例としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２，４，９，２３，２６，２８，３１，３９，６２，６３，７２，７５，７６，７９，８０，８１，８３，８４，８９，９２，９５，１１１，１７３，１８４，２０７，２１１，２１２，２１４，２１８，２２１，２２３，２２４，２２５，２２６，２２７，２３２，２３３，２４０，２４１，２４２，２４３，２４７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３５，４２，５１，５２，５７，６２，８０，８２，１１１，１１４，１１８，１１９，１２７，１２８，１３１，１４３，１４５，１５１，１５４，１５７，１５８，２１１，２４９，２５４，２５７，２６１，２６３，２６６，２８９，２９９，３０１，３０５，３１９，３３６，３３７，３６１，３９６，３９７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド３，１３，１７，１９，２１，２２，２３，２４，２９，３５，３７，４０，４１，４３，４５，４９，５５、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１２，１３，１４，１５，１８，２２，２３，２４，２５，２７，２９，３５，３６，３８，３９，４５，４６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトバイオレット７，９，４７，４８，５１，６６，９０，９３，９４，９５，９８，１００，１０１、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット５，９，１１，３４，４３，４７，４８，５１，７５，９０，１０３，１２６、Ｃ．Ｉ．リアクティブバイオレット１，３，４，５，６，７，８，９，１６，１７，２２，２３，２４，２６，２７，３３，３４、Ｃ．Ｉ．ベーシックバイオレット１，２，３，７，１０，１５，１６，２０，２１，２５，２７，２８，３５，３７，３９，４０，４８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー８，９，１１，１２，２７，２８，２９，３３，３５，３９，４１，４４，５０，５３，５８，５９，６８，８７，９３，９５，９６，９８，１００，１０６，１０８，１０９，１１０，１３０，１４２，１４４，１６１，１６３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１７，１９，２３，２５，３９，４０，４２，４４，４９，５０，６１，６４，７６，７９，１１０，１２７，１３５，１４３，１５１，１５９，１６９，１７４，１９０，１９５，１９６，１９７，１９９，２１８，２１９，２２２，２２７、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２，３，１３，１４，１５，１７，１８，２３，２４，２５，２６，２７，２９，３５，３７，４１，４２、Ｃ．Ｉ．ベーシックイエロー１，２，４，１１，１３，１４，１５，１９，２１，２３，２４，２５，２８，２９，３２，３６，３９，４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９，４５，８０，８３，９０，１８５、Ｃ．Ｉ．ベーシックオレンジ２１，２３等が挙げられる。
【００９９】
カラーフィルター用インク中における染料の含有率は、２ｗｔ％以上２５ｗｔ％以下であるのが好ましく、３ｗｔ％以上２０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。染料の含有率が前記範囲内の値であると、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターにおいて、より高い色濃度を確保することができ、より鮮明な画像表示に用いることができる。また、所定の色濃度の着色部を形成するのに要するカラーフィルター用インクの量を少なくすることができ、省資源の観点から有利である。また、カラーフィルターの着色部を形成する際における溶剤の揮発量を抑制することができるため、環境に対する負荷を軽減することができる。
【０１００】
［分散媒］
分散媒（カラーフィルター用インク分散媒）としては、上述した、洗浄液と同様の液体を用いることができる。
カラーフィルター用インク中における分散媒の含有率は、５０ｗｔ％以上９８ｗｔ％以下であるのが好ましく、５５ｗｔ％以上９５ｗｔ％以下であるのがより好ましく、６５ｗｔ％以上９３ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。
【０１０１】
［樹脂材料］
カラーフィルター用インクは、形成される着色部の基板に対する密着性向上等の目的で、通常、樹脂材料を含んでいる。
樹脂材料としては、硬化性樹脂を用いるのが好ましい。
カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含むものであると、カラーフィルター用インクを用いて製造されるカラーフィルターの耐久性を特に優れたものとすることができる等の効果が得られるが、カラーフィルター用インクが顔料等の着色剤に加え、硬化性樹脂を含むものであると、従来においては、液滴吐出装置のインク１の流路への固形分の付着、ヘッド１１０のノズル１１８の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクが硬化性樹脂を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮され、固形分の生成等を考慮することなく、カラーフィルター用インクが含む樹脂材料の選択肢を拡大することができる。
【０１０２】
硬化性樹脂は、例えば、エポキシ構造を有するものであるのが好ましい。このような構造を有する硬化性樹脂を含むカラーフィルター用インクによれば、製造されるカラーフィルターの耐久性を特に優れたものとすることができる等の効果が得られるが、カラーフィルター用インクが顔料等の着色剤に加え、硬化性樹脂を含むものであると、従来においては、インク１の流路への固形分の付着、ヘッド１１０のノズル１１８の目詰まり等の問題を特に生じ易かった。これに対し、本発明では、カラーフィルター用インクが上記のような構造を有する硬化性樹脂を含む場合であっても、上記のような問題を好適に解消することができる。すなわち、カラーフィルター用インクが上記のような構造を有する硬化性樹脂を含むものであると、本発明の効果がより顕著に発揮され、固形分の生成等を考慮することなく、カラーフィルター用インクが含む樹脂材料の選択肢を拡大することができる。
また、カラーフィルター用インク中における樹脂材料の含有率は、０．５ｗｔ％以上１８ｗｔ％以下であるのが好ましく、１．０ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのがより好ましく、３．０ｗｔ％以上１２ｗｔ％以下であるのがさらに好ましい。
【０１０３】
［分散剤］
カラーフィルター用インクは、分散剤を含むものであるのが好ましい。これにより、カラーフィルター用インク中における顔料粒子等の着色剤の分散安定性を優れたものとすることができ、より長期間にわたって安定的な液滴吐出を行うことができる。分散剤としては、上述した、洗浄液の構成成分としての分散剤と同様の材料を用いることができる。
カラーフィルター用インク中における分散剤の含有率は、０．５ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下であるのが好ましく、０．６ｗｔ％以上８．０ｗｔ％以下であるのがより好ましい。
【０１０４】
［その他の成分］
カラーフィルター用インクは、上記以外の成分（その他の成分）を含むものであってもよい。
このような成分としては、例えば、各種架橋剤、熱酸発生剤、光酸発生剤、各種重合開始剤、酸架橋剤、界面活性剤、増感剤、光安定剤、各種染料、各種分散剤、発光材料、レベリング剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、接着性改良剤、各種重合促進剤、各種光安定化剤、ガラス、ジルコニア、アルミナ、酸化チタン等のセラミックス、密着促進剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を用いることができる。
【０１０５】
カラーフィルター用インクの２５℃における粘度（振動式粘度計を用いて測定される粘度）は、特に限定されないが、４ｍＰａ・ｓ以上１２ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましく、５ｍＰａ・ｓ以上１１ｍＰａ・ｓ以下であるのがより好ましい。カラーフィルター用インクの粘度が前記範囲内の値であると、後述するようなインクジェット方式による液滴吐出において、吐出されるカラーフィルター用インクの液適量のばらつきを特に小さいものとしつつ、液滴吐出ヘッドにおける目詰まりの発生等をより確実に防止することができる。なお、カラーフィルター用インクの粘度の測定は、例えば、振動式粘度計を用いて行うことができ、特に、ＪＩＳ Ｚ８８０９に準拠して行うことができる。
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮する任意のものと置換、または、その他の構成を追加することもできる。
【実施例】
【０１０６】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。
［１］洗浄液およびカラーフィルター用インクの調製
各実施例および各比較例における洗浄液およびカラーフィルター用インクは、以下のようにして製造した。
【０１０７】
［洗浄液の調製］
（洗浄液１）
洗浄液１としてジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを用意した。なお、洗浄液１の沸点は２４７℃であった。
（洗浄液２）
洗浄液２として１，３−ブチレングリコールジアセテートを用意した。なお、洗浄液２の沸点は２３２℃であった。
【０１０８】
（洗浄液３）
洗浄液３としてジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用意した。
（洗浄液４）
洗浄液４として下記式（５）で示される化合物Ａと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、３−エトキシプロピオン酸エチルとの混合物を用意した。
【０１０９】
【化９】
【０１１０】
（洗浄液５）
洗浄液５として下記式（６）で示される化合物Ｂと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合物を用意した。
【０１１１】
【化１０】
【０１１２】
（洗浄液６）
洗浄液６として下記式（７）で示される化合物Ｃと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルと、３−エトキシプロピオン酸エチルとを混合物を用意した。
【０１１３】
【化１１】
【０１１４】
（洗浄液７）
洗浄液７として下記式（８）で示される化合物Ｄと、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルと、３−エトキシプロピオン酸エチルとを混合物を用意した。
【０１１５】
【化１２】
【０１１６】
表１に、用意した各洗浄液の組成を示す。なお、表中、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを「Ｓ１」、１，３−ブチレングリコールジアセテートを「Ｓ２」、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを「Ｓ３」、ジエチレングリコールモノノルマルブチルエーテルを「Ｓ４」で示した。３−エトキシプロピオン酸エチルを「Ｓ５」で示した。
【０１１７】
【表１】
【０１１８】
［カラーフィルター用インクの調製］
（カラーフィルター用インク１）
顔料としてのＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８と、分散媒としてのジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートと、分散剤としてのディスパービック１１１と、熱硬化性樹脂としての樹脂ａ１（エポキシ構造を有する熱硬化性樹脂）とを所定の割合で配合し、カラーフィルター用インク１（インク１）とした。
【０１１９】
樹脂ａ１の合成は以下のようにして行った。
まず、四つ口フラスコに、ｎ−ヘキサン：３２０重量部、メタアクリル酸：８６重量部、トリエチルアミン：１１１重量部を投入した後、この四つ口フラスコに、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口を取り付けた。この四つ口フラスコを、氷水で冷却しつつ、トリメチルクロルシラン：１２０重量部を滴下した。この際、反応系内の温度が２５℃以下となるようにした。その後、２５℃で１時間反応を続けた。次に、トリエチルアミンの塩酸塩を濾別し、得られたろ液から減圧下でｎ−ヘキサンを除去した後、減圧蒸留にて精製し、シリルアセテート構造を有するエチレン性不飽和単量体を得た。
【０１２０】
次に、温度計、還流冷却器、撹拌機および窒素ガス導入口が取り付けられ、溶媒としてのジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート：１００重量部を仕込んだ四つ口フラスコを用意した。この四つ口フラスコ内のジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを攪拌しつつ６０℃まで昇温した後、上記エチレン性不飽和単量体：２７重量部と、メタアクリル酸グリシジル：３０重量部と、スチレン：３８重量部と、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：６重量部との混合物を１時間かけて滴下した。滴下後６０℃にて１時間保持した後、２，２’−アゾビス−（２，４−ジメチルバレロニトリル）：０．０８重量部を加え、さらに６０℃で６時間反応させ、その後、未反応のモノマーを減圧処理により除去することにより、エポキシ構造とを有するエポキシ系樹脂としての樹脂ａ１を得た。
【０１２１】
（カラーフィルター用インク２〜９）
カラーフィルター用インクの各材料の種類および配合量を表１に示すように変更した以外は、前記カラーフィルター用インク１と同様にしてカラーフィルター用インク２〜９（インク２〜インク９）を得た。
表２に、製造した各カラーフィルター用インクの組成を示す。なお、表中、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を「ＰＧ５８」、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６を「ＰＧ３６」、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４を「ＰＲ２５４」、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７を「ＰＲ１７７」、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０を「ＰＹ１５０」、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を「ＰＢ１５：６」、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を「ＰＶ２３」、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテートを「Ｓ１」、１，３−ブチレングリコールジアセテートを「Ｓ２」、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを「Ｓ３」、ディスパービック１１１を「ＤＡ１」、ディスパービック１６６を「ＤＡ２」、ヒノアクトＴ８０００Ｅを「ＤＡ３」、樹脂ａ１を「ａ１」で示した。
【０１２２】
【表２】
【０１２３】
［液滴吐出装置に用いる洗浄液およびカラーフィルター用インクの選定］
（実施例１〜２７）
上記のように製造した各洗浄液および各カラーフィルター用インクのうち、表３または表４に示すように洗浄液およびカラーフィルター用インクをそれぞれ選定し、各実施例における洗浄液およびカラーフィルター用インクとした。
【０１２４】
（比較例１〜４）
上記のように製造した各洗浄液および各カラーフィルター用インクのうち、表４に示すように洗浄液およびカラーフィルター用インクをそれぞれ選定し、各比較例における洗浄液およびカラーフィルター用インクとした。
なお、前記各カラーフィルター用インクの２５℃における粘度（振動式粘度計を用いて測定される粘度）は、いずれも、５ｍＰａ・ｓ以上１１ｍＰａ・ｓ以下であった。
【０１２５】
また、前記の洗浄液とカラーフィルター用インクの組み合わせでは、いずれも、洗浄液の２５℃での表面張力が、カラーフィルター用インクの２５℃での表面張力と同程度か、あるいは低いものであった。
また、前記各実施例および前記各比較例では、いずれも、洗浄液の２５℃における粘度が、カラーフィルター用インクの２５℃における粘度よりも低いものであった。
【０１２６】
【表３】
【０１２７】
【表４】
【０１２８】
［３］液滴吐出の安定性評価（安定吐出性評価）
［３．１］洗浄操作
（実施例１〜１６）
室温２５℃、相対湿度５０％、クラス１００のクリーンルーム内に設置した図１〜３に示すようなインクジェット装置１００に、前記各実施例および各比較例のカラーフィルター用インクを充填し、ピエゾ素子の駆動波形を最適化した状態で、インクジェットヘッドの各ノズルから、２０００００発（２０００００滴）の液滴の連続吐出を行い、その後、６０分間、液滴の吐出を中断した（１シーケンス目）。その後、同様に、液滴の連続吐出、および、液滴の吐出の中断の操作を繰り返し行った。３０シーケンス目の液滴吐出の後、２０時間放置した。その後、前記各実施例の洗浄液にて、インクの流路を洗浄した。洗浄は、洗浄液貯留槽１６０から洗浄液２を供給するとともに、気泡発生器１６２により気泡を発生させ、さらにベンチュリー管で構成されたバブル径調整手段１６３を介してインク搬送路１５１へ投入し、表３で示した速度で洗浄液２を流すことにより行った。そして、この洗浄を１００秒間行った。なお、洗浄液の搬送速度、液中パーティクルカウンターで測定された平均バブル径および混入率を表３に示す。
その後、上記プロセスを１００回繰り返した。
【０１２９】
（実施例１７〜２０）
ベンチュリー管の設定を変更した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄を行った。なお、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表３に示す。
（実施例２１）
バブル径調整手段１６３を省略した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄を行った。なお、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表３に示す。
【０１３０】
（実施例２２）
図６に示すようなインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、ポンプによる洗浄液の加圧力は４気圧とした。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
【０１３１】
（実施例２３）
図７に示すようなインクジェット装置を用いるようにした以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、洗浄液として２種類を使用し、最初に洗浄液１を５０秒間送液した後、続いて洗浄液４を５０秒間送液するようにした。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
【０１３２】
（実施例２４）
図７に示すようなインクジェット装置と、図８に示すようなインクジェット装置とを組み合わせ、３つの洗浄液貯留槽を有するとともに、気液分離膜方式の脱気モジュールを設置したインクジェット装置を用意した。そして、この装置を用い、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。なお、洗浄液として２種類を使用し、最初に洗浄液１を３０秒間送液した後、続いて洗浄液４を３０秒間送液し、最後に脱気モジュールを経由した洗浄液１を３０秒間送液するようにした。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
（実施例２５〜２７）
洗浄液として表４に示す３種類を順次使用するようにした以外は、実施例２４と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度、洗浄液中の気泡の平均バブル径および混入率を表４に示す。
【０１３３】
（比較例１）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例１と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
（比較例２）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例２２と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
【０１３４】
（比較例３）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例２３と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
（比較例４）
気泡発生器１６２を停止した以外は、実施例２４と同様にしてインクの吐出とインクの流路の洗浄とを行った。また、洗浄液の搬送速度を表４に示す。
【０１３５】
［３．２］着弾位置精度評価
まず、上述したプロセスを１０回繰り返した時点で、インクジェット装置のインクの流路に同じインクを再び充填した。充填は、インクの流路内に、カラーフィルター用インクを１．０ｍｌ／ｍｉｎの流速で、３００秒間流すことによって行った。その後、引き続きインクジェットヘッドの各ノズルから、３０００００発（３０００００滴）の液滴の連続吐出を行った。そして、カラーフィルター用インクを充填した後の、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された３０００００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、これを以下の６段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が効果的に防止されていると言える。
【０１３６】
Ａ：ズレ量ｄの平均値が１μｍ未満。
Ｂ：ズレ量ｄの平均値が１μｍ以上、３μｍ未満。
Ｃ：ズレ量ｄの平均値が３μｍ以上、５μｍ未満。
Ｄ：ズレ量ｄの平均値が５μｍ以上、１０μｍ未満。
Ｅ：ズレ量ｄの平均値が１０μｍ以上、１５μｍ未満。
Ｆ：ズレ量ｄの平均値が１５μｍ以上。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
【０１３７】
その後、上述したプロセスを５０回および１００回繰り返した後に、再び、インクジェット装置のインクの流路に同じインクを充填した。そして、上述したのと同様にして３０００００発（３０００００滴）の液滴の連続吐出を行った。そして、カラーフィルター用インクを充填した後の、インクジェットヘッドの中央部付近の指定したノズルから吐出された３０００００発の液滴について、着弾した各液滴の中心位置の中心狙い位置からのズレ量ｄの平均値を求め、これを上記６段階の基準に従い、評価した。この値が小さいほど飛行曲がりの発生が効果的に防止されていると言える。
これらの結果を表３、４に合わせて示す。
表３、４から明らかなように、本発明の液滴吐出装置では、インクの流路における汚れを容易に除去することができ、インクの吐出安定性に優れていた。これに対し、各比較例では、満足な結果が得られなかった。
【符号の説明】
【０１３８】
１…カラーフィルター用インク（インク） ２…洗浄液 １０…カラーフィルター １１…基板 １２…着色部 １２Ａ…第１の着色部 １２Ｂ…第２の着色部 １２Ｃ…第３の着色部 １３…隔壁（バンク、遮光部） １００…インクジェット装置（液滴吐出装置） １１０…インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド、ヘッド） １１１…ヘッド本体 １１２…振動板 １１３…ピエゾ素子 １１４…本体 １１５…ノズルプレート １１５Ｐ…インク吐出面 １１６…リザーバー １１７…インク室 １１８…ノズル（吐出部） １３０…ベース １４０…テーブル １５０…インク貯留槽 １５１…インク搬送路 １５２…コック １５３…自己封止弁 １６０、１６０１、１６０２、１６０３…洗浄液貯留槽 １６１…洗浄液搬送路 １６１ａ…第１の搬送路 １６１ｂ…第２の搬送路 １６１１、１６１２、１６１３…分岐路 １６２…気泡発生器 １６２１…気体貯留槽 １６２２…分岐部 １６２３…気体搬送路 １６２３ａ…下流端 １６２４…開閉弁 １６３…バブル径調整手段 １６４…ポンプ １６５１、１６５２、１６５３…分岐部 １６６…コック １６７…脱気手段 １７０…テーブル位置決め手段 １７１…第１移動手段 １７２…モーター １８０…ヘッド位置決め手段 １８１…第２移動手段 １８２…リニアモーター １８３、１８４、１８５…モーター １９０…制御装置 １９１…駆動回路 ２００…吸引手段 ２１０…回収タンク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、
前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
当該液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、
前記洗浄液中に気泡を混入させる気泡混入手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記気泡混入手段は、前記洗浄液搬送路に設置されている請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記気泡混入手段は、エアーレーション方式により前記洗浄液中に気泡を混入させるものである請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記気泡混入手段は、前記洗浄液中に混入した気泡のバブル径を調整するバブル径調整手段を備えている請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記洗浄液中の気泡の平均バブル径は、５μｍ以上１００μｍ以下である請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記洗浄液に対して脱気処理を施す脱気手段を有している請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記洗浄液は、前記インクの固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液性媒体と相溶性を有する液体である請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体の主成分と同じ液体である請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化１】
【請求項１０】
前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化２】
【請求項１１】
前記洗浄液は、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化３】
【請求項１２】
前記洗浄液は、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化４】
【請求項１３】
液滴吐出装置によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置は、前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、を有し、
気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄することを特徴とする液滴吐出装置の洗浄方法。
【請求項１４】
気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄した後、脱気処理を施した前記洗浄液を送液する請求項１３に記載の液滴吐出装置の洗浄方法。
【請求項１】
液滴吐出方式によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置であって、
前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
当該液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、
前記洗浄液中に気泡を混入させる気泡混入手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記気泡混入手段は、前記洗浄液搬送路に設置されている請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記気泡混入手段は、エアーレーション方式により前記洗浄液中に気泡を混入させるものである請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記気泡混入手段は、前記洗浄液中に混入した気泡のバブル径を調整するバブル径調整手段を備えている請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記洗浄液中の気泡の平均バブル径は、５μｍ以上１００μｍ以下である請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記洗浄液に対して脱気処理を施す脱気手段を有している請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記洗浄液は、前記インクの固形分を溶解または分散可能であり、かつ、前記液性媒体と相溶性を有する液体である請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記洗浄液は、前記インクの前記液性媒体の主成分と同じ液体である請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記洗浄液は、下記式（１）で示される化合物Ａを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化１】
【請求項１０】
前記洗浄液は、下記式（２）で示される化合物Ｂを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化２】
【請求項１１】
前記洗浄液は、下記式（３）で示される化合物Ｃを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化３】
【請求項１２】
前記洗浄液は、下記式（４）で示される化合物Ｄを含有する請求項６に記載の液滴吐出装置。
【化４】
【請求項１３】
液滴吐出装置によるカラーフィルターの製造に用いられ、着色剤と樹脂材料と前記着色剤を溶解または分散する液性媒体とを含むカラーフィルター用インクを吐出する液滴吐出装置の洗浄方法であって、
前記液滴吐出装置は、前記インクを貯留するインク貯留槽と、
前記インク貯留槽から送液された前記インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記インク貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記インクを送液するためのインク搬送路と、
前記液滴吐出装置の洗浄に用いる洗浄液を貯留する洗浄液貯留槽と、
前記洗浄液貯留槽から前記液滴吐出ヘッドへ前記洗浄液を送液するための洗浄液搬送路と、を有し、
気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄することを特徴とする液滴吐出装置の洗浄方法。
【請求項１４】
気泡を混入させた前記洗浄液を前記液滴吐出ヘッドに送液することにより、前記液滴吐出装置内を洗浄した後、脱気処理を施した前記洗浄液を送液する請求項１３に記載の液滴吐出装置の洗浄方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−１０３３８９（Ｐ２０１２−１０３３８９Ａ）
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５０５５２（Ｐ２０１０−２５０５５２）
【出願日】平成２２年１１月９日（２０１０．１１．９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年５月３１日（２０１２．５．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月９日（２０１０．１１．９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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