減圧容器、減圧処理装置および減圧容器の製造方法
【課題】 複数の板材を接合することにより構成され、接合部の気密性が十分に確保された減圧容器を提供する。
【解決手段】 減圧容器において、底板７３の壁部７３ａと、側板７４ｃまたは側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊａｃ，Ｊａｄ、側板７４ｃと側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊｃｄは、それぞれ両側の内壁面が略面一になるように形成されている。そして、シール部材８０を押え具９０により各接合部に押圧固定することにより、減圧容器の気密性が確保される。
【解決手段】 減圧容器において、底板７３の壁部７３ａと、側板７４ｃまたは側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊａｃ，Ｊａｄ、側板７４ｃと側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊｃｄは、それぞれ両側の内壁面が略面一になるように形成されている。そして、シール部材８０を押え具９０により各接合部に押圧固定することにより、減圧容器の気密性が確保される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧容器（真空容器も含む。以下同様の意味である）のシール技術に関し、例えば液晶表示装置（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板等に対して減圧下でドライエッチングや成膜、搬送、位置合わせ等の処理を施す際に使用される減圧容器のシール技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空容器は、大気圧に対する耐久性と気密性を確保する観点から、原料ブロックから機械加工によって容器を削り出す方法や、板材を溶接やろう付けによって接合する方法によって製造されてきた。しかし、機械による切削加工を行なう場合には、材料から容積相当分を削り出すため、加工に時間がかかり、材料の無駄も多いという問題があった。また、溶接やろう付けによる方法では、入熱による歪みを除去したり、仕上げ加工を行なったりする必要があるため、製作コストが増加するという問題があった。
【０００３】
ところで近年では、被処理基板の大型化に伴い処理チャンバ自体のサイズも大型化しつつある。例えば、ＦＰＤの製造過程では、長辺の長さが２ｍを超える矩形の大型ガラス基板を処理チャンバ内に収容し、真空状態でエッチングやアッシング、成膜などの処理が行なわれる。そして、このような大型ガラス基板に対して真空状態で処理を行なう真空容器においては、アルミニウムなどからなる金属製容器の内部を真空にした状態で大気圧に耐え得るだけの充分な剛性を確保しなければならない。
【０００４】
従来の機械加工や溶接等による一体型構造の真空容器では、剛性を高めるには容器の壁を充分に厚くしなければならないため、重量の増大を伴うとともに、大型機械による加工が必要になるので製造コストが増大してしまうという問題が生じていた。また、真空容器が所定のサイズを超えて大型化すると、その運搬に法令上の制約が課せられ、移送に伴う経費が増大するという問題もあった。
【０００５】
機械加工や溶接以外の加工方法により真空容器を作製する技術として、例えば構造ボルトによって箱状に強固に接合された複数の板材と、内側より各板材の接合線に沿って連続的に設けられたシール部材と、前記シール部材を前記接合線に向けて押付けて気密にシールするために締結ボルトにより取付けられた押え部材と、を用いる真空容器が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００６】
また、相互に端面を接合して周方向に閉じられた中空枠体を構成する４つ以上の側面部材と、この中空枠体の頂面および底面に配設され接合される天面部材および底面部材を、各々の部材の隣接する接合面相互間にシール部材を設けて一体化して容器を構成する技術も提案されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開平９−２０９１５０号公報（図４など）
【特許文献２】特開２００４−２８６１６５号公報（図１など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記特許文献１および特許文献２の真空容器は、板材とシール部材により構成されることから、設置場所での組立てが可能であり、運搬の際の制約も少ない。また、従来の機械加工や溶接等によって真空容器を作製する場合に比べて低コストを実現できるというメリットもある。
しかし、特許文献１のように板材を組み合わせて接合する構造の真空容器では、容器内部の隅部におけるシール性を確保することが難しいという問題があった。例えば、特許文献１では、隅部における３枚の板材の接合部分に、板材の接合線に沿って３方向に互いに直角に折曲された枝分かれ形状のシール部材を使用している。しかし、このような枝分かれ形状のシール部材は、その製造に立体金型を必要とするため、コストの増加が避けられない。
【０００８】
また、特許文献１のシール機構では、エラストマーを板材の接合線に対して一定の力で押圧することが必要である。しかし、３枚の板材により形成される隅部において、前記枝分かれ形状のシール部材を十分に押圧することは困難であり、最悪の場合には真空を維持できないおそれがある。
【０００９】
一方、特許文献２に記載のシール部材においては、各部材の隣接する接合面の間にシール部材を配設する構成であるため、シール部材を交換するためには容器を分解しなければならず、消耗品であるシール部材のメンテナンスが困難であるという課題があった。
【００１０】
従って本発明は、複数の板材を接合することにより構成され、接合部の気密性が十分に確保された減圧容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点は、複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記部材どうしの接合部は、前記減圧容器の隅から外れた位置に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器を提供する。
【００１２】
本発明の第２の観点は、複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記側板どうしを接合するすべての接合部において、該接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器を提供する。
【００１３】
本発明の第３の観点は、端部が折曲形成された板材と平板とを含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記端部が折曲形成された板材とこれに接合される前記平板とにより形成される隅を有するとともに、
互いに隣接する３つの部材により形成される接合部は、前記隅から外れた位置に形成され、
前記部材どうしを接合する接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器を提供する。
【００１４】
上記第１の観点から第３の観点において、前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板とを備えていてもよく、この場合、複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲形成されていることが好ましい。
【００１５】
本発明の第４の観点は、複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
底板と、
前記底板に接合される複数の側板と、
隣り合う前記側板どうし、および前記側板と前記底板との各接合部を内側からシールするシール部材と、
を備え、
前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
前記接合部を挟んで前記側板の内壁面と前記底板の壁体の内壁面が略面一に接合されている、減圧容器を提供する。
【００１６】
上記第４の観点において、前記側板に接合される上板をさらに備え、該上板には、前記減圧容器の側壁の上部を構成する壁体が一体的に設けられていてもよい。
また、複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有しており、前記減圧容器の隅と隅とを結ぶ角部から外れた位置に隣接する前記側板どうしの接合部が形成されていてもよい。
また、前記側板どうしおよび前記底板と前記側板とを接合するすべての接合部が、前記減圧容器の側部に形成されていることが好ましい。
【００１７】
また、上記第１〜第４の観点において、前記接合部に、前記シール部材を装着する溝が形成されていることが好ましい。
【００１８】
また、本発明の第５の観点は、上記第１〜第４の観点のいずれかの減圧容器を備えた、減圧処理装置を提供する。
【００１９】
また、本発明の第６の観点は、複数の部材を用い、前記部材どうしの接合部が、減圧容器の隅から外れた位置に形成され、かつ前記接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法を提供する。
【００２０】
上記第７の観点において、前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を用いるとともに、前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有していることが好ましい。
【００２１】
本発明の第８の観点は、端部が折曲形成された部材と平板とを含む複数の部材を用い、前記端部が折曲形成された部材と前記平板とにより隅を形成するとともに、互いに隣接する３つの部材により形成される接合部が前記隅から外れた位置に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の好適な態様では、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器において、前記部材どうしの接合部を、前記減圧容器の隅から外れた位置に形成した。これにより、シール部材によるシール性を確保することが困難な減圧容器の隅部でのシールを回避できる。
【００２３】
また、本発明の別の好適な態様では、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器において、前記側板どうしおよび前記底板と前記側板とを接合するすべての接合部を挟んでその両側の内壁面を略面一に形成した。これにより、減圧容器の隅部に接合部が形成されることを回避し、シール部材によるシール性を向上させることができる。
【００２４】
本発明のさらに別の好適な態様では、端部が折曲形成された板材とこれに接合される平板との２枚の板材によって減圧容器の隅を形成したので、３枚の板材の接合により隅が形成された従来構造の減圧容器に比べて当該隅におけるシール性を格段に向上させることできる。
また、互いに隣接する３つの部材により形成される接合部は、前記隅から外れた位置に形成されるので、Ｔ字型のシール部材を配備することにより確実にシールすることができる。
【００２５】
よって、本発明によれば、複数の板材を接合する組立て構造の減圧容器の気密性を格段に向上させることが可能になる。
また、本発明により、気密性に優れた組立て構造の減圧容器を製造できるので、機械加工や溶接などによる接合方法では限界があった減圧容器の大型化への対応も可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。ここでは、本発明のシール機構を適用可能な真空処理システムを例に挙げて説明を行なう。図１は本発明の一実施形態に係る真空チャンバを備えた真空処理システム１を概略的に示す斜視図であり、図２はその内部を概略的に示す水平断面図である。この真空処理システム１は、例えばＦＰＤ用ガラス基板（以下、単に「基板」と記す）Ｓに対してプラズマ処理を行なうためのマルチチャンバタイプの真空処理システムとして構成されている。ここで、ＦＰＤとしては、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイ、エレクトロルミネセンス（Electro Luminescence；ＥＬ）ディスプレイ、蛍光表示管（Vacuum Fluorescent Display；ＶＦＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等が例示される。
【００２７】
真空処理システム１においては、中央部に搬送室２０とロードロック室３０とが連設されている。さらに搬送室２０の周囲には、基板Ｓに対してエッチング等のプラズマ処理を行なう３つのプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃが配設されている。これら搬送室２０、ロードロック室３０、３つのプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、いずれも真空チャンバとして構成されている。搬送室２０とロードロック室３０との間、搬送室２０と各プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃとの間、およびロードロック室３０と外側の大気雰囲気とを連通する開口部には、これらの間を気密にシールし、かつ開閉可能に構成されたゲートバルブ２２がそれぞれ介挿されている。
【００２８】
ロードロック室３０の外側には、２つのカセットインデクサ４１が設けられており、その上にそれぞれ基板Ｓを収容するカセット４０が載置されている。これらカセット４０の一方には、例えば未処理基板を収容し、他方には処理済み基板を収容できる。これらカセット４０は、昇降機構４２により昇降可能となっている。
【００２９】
これら２つのカセット４０の間には、支持台４４上に搬送機構４３が設けられており、この搬送機構４３は上下２段に設けられたピック４５，４６、ならびにこれらを一体的に進出退避および回転可能に支持するベース４７を具備している。
【００３０】
前記プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、その内部空間が所定の減圧雰囲気例えば真空状態に保持されることが可能であり、その内部でプラズマ処理、例えばエッチング処理やアッシング処理が行なわれる。本実施形態では、３つのプロセスチャンバを有しているため、例えばそのうち２つのプロセスチャンバをエッチング処理室として構成し、残りの１つのプロセスチャンバをアッシング処理室として構成したり、３つのプロセスチャンバ全てを同一の処理を行なうエッチング処理室やアッシグ処理室として構成することができる。なお、プロセスチャンバの数は３つに限らず、４つ以上であってもよい。
【００３１】
搬送室２０は、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃと同様に所定の減圧雰囲気に保持することが可能であり、その中には、図２に示すように、上下２段のスライドピック５１３，５２３（上段のみ図示）を備えた搬送装置５０が配設されている。そして、この搬送装置５０により、ロードロック室３０および３つのプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃの間で基板Ｓが搬送される。
【００３２】
ロードロック室３０は、各プロセスチャンバ１０および搬送室２０と同様に所定の減圧雰囲気に保持されることが可能である。また、ロードロック室３０は、大気雰囲気にあるカセット４０と減圧雰囲気のプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃとの間で基板Ｓの授受を行うためのものであり、大気雰囲気と減圧雰囲気とを繰り返す関係上、極力その内容積が小さく構成されている。ロードロック室３０には基板収容部３１が上下２段に設けられており（図２では上段のみ図示）、各基板収容部３１には、基板Ｓを支持する複数のバッファ３２が設けられ、これらバッファ３２の間には、スライドピック５１３，５２３の逃げ溝３２ａが形成されている。また、ロードロック室３０内には、矩形状の基板Ｓの互いに対向する角部付近に当接して位置合わせを行なうポジショナー３３が設けられている。
【００３３】
真空処理システム１の各構成部は、制御部６０に接続されて制御される構成となっている（図１では図示を省略）。制御部６０の概要を図３に示す。制御部６０は、ＣＰＵを備えたプロセスコントローラ６１を備え、このプロセスコントローラ６１には、工程管理者が真空処理システム１を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、真空処理システム１の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなるユーザーインターフェース６２が接続されている。
【００３４】
また、制御部６０は、真空処理システム１で実行される各種処理をプロセスコントローラ６１の制御にて実現するための制御プログラム（ソフトウエア）や処理条件データ等が記録されたレシピが格納された記憶部６３を有しており、この記憶部６３はプロセスコントローラ６１に接続されている。
【００３５】
そして、必要に応じて、ユーザーインターフェース６２からの指示等にて任意のレシピを記憶部６３から呼び出してプロセスコントローラ６１に実行させることで、プロセスコントローラ６１の制御下で、真空処理システム１での所望の処理が行われる。
【００３６】
前記制御プログラムや処理条件データ等のレシピは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体、例えばＣＤ−ＲＯＭ、ハードディスク、フレキシブルディスク、フラッシュメモリなどに格納された状態のものを利用したり、あるいは、他の装置から、例えば専用回線を介して随時伝送させてオンラインで利用したりすることも可能である。
【００３７】
次に、以上のように構成された真空処理システム１の動作について説明する。
まず、搬送機構４３の２枚のピック４５、４６を進退駆動させて、未処理基板を収容した一方のカセット４０から２枚の基板Ｓをロードロック室３０の上下２段の基板収容部３１に１枚ずつ搬入する。
【００３８】
ピック４５，４６が退避した後、ロードロック室３０の大気側のゲートバルブ２２を閉じる。その後、ロードロック室３０内を排気して、内部を所定の真空度まで減圧する。真空引き終了後、ポジショナー３３により基板Ｓを押圧することにより基板Ｓの位置合わせを行なう。
【００３９】
以上のように位置合わせされた後、搬送室２０とロードロック室３０との間のゲートバルブ２２を開いて、搬送室２０内の搬送装置５０によりロードロック室３０の基板収容部３１に収容された基板Ｓを受け取る。そして、搬送装置５０のスライドピック５１３または５２３により、プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃのいずれかに基板Ｓを搬入する。そして、プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃでエッチング等の所定の処理が施された基板Ｓは、搬送装置５０によりプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃから搬出される。そして、基板Ｓは、前記とは逆の経路でロードロック室３０を経て、搬送機構４３によりカセット４０に収容される。このとき、基板Ｓを元のカセット４０に戻してもよいし、他方のカセット４０に収容するようにしてもよい。
【００４０】
次に、本発明のシール部材およびこれを用いたシール機構について説明を行なう。搬送室２０、ロードロック室３０およびプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃを構成する真空容器は、それぞれ内部を真空状態に保持できるように、シール部材を用いてシールされている。ここでは、搬送室２０におけるシール機構を例に挙げて説明を行なう。
【００４１】
図４は、搬送室２０の外観構成を示す斜視図であり、図５はその分解斜視図である。なお、搬送装置５０などの内部の機構は図示を省略している。搬送室２０は、主要な構成として、筐体７０と天板７１とを備えた真空容器である。筐体７０は、６枚の板材を接合することにより構成されている。すなわち、筐体７０は、上板７２、この上板７２に対向し、かつ平行に配置される底板７３、これら上板７２と底板７３に接合される４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄを有している。筐体７０を構成する各板材は、例えば螺子やボルト等の固定手段（図示せず）により接合され、一体となってその内部に基板Ｓを搬送する搬送空間を形成している。
【００４２】
上板７２は、図示のように中央に開口７５を有している。そして、天板７１を例えばクレーンなどを用いて上昇させた状態で、この開口７５を介して搬送室２０の内部に配置された搬送装置５０のメンテナンスなどを行えるようになっている。また、上板７２の開口７５の周囲には、図示しない細溝内にＯリングなどのシール部材７６が配備されている。そして、天板７１を螺子やボルト等の固定手段１０１で筐体７０に仮止めした状態で、搬送室２０の内部を減圧することにより、真空容器としての十分な気密性を確保できるようになっている。また、図示は省略するが、底板７３にも、搬送機構５０（図２参照）を設置するための開口が形成されている。
【００４３】
上板７２には、筐体７０の側壁の一部分（上部）を構成する壁部７２ａが設けられており、下面が開口した浅い箱形をなしている。このような形状の上板７２は、例えば切削加工によって形成することができる。
【００４４】
また、底板７３には、筐体７０の側壁の一部分（下部）を構成する壁部７３ａが設けられており、上面が開口した浅い箱形をなしている。このような形状の底板７３は、例えば切削加工によって形成することができる。
【００４５】
４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄには、それぞれに基板Ｓを搬入出するための搬送用開口が設けられている。筐体７０の短辺側の側板７４ａに形成された搬送用開口７７ａ，７７ｂは、ロードロック室３０（図１および図２参照）のバッファ３２との間で基板Ｓを搬入出可能な位置に形成されている。また、筐体７０の他の３辺に位置する側板７４ｂ〜７４ｄにそれぞれ形成された搬送用開口７８は、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃとの間で基板Ｓを搬入出する際に用いられる。各搬送用開口７７ａ，７７ｂ，７８には、それぞれゲートバルブ２２が装着され（図１参照）、各ゲートバルブ２２を介して隣接配置される各プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよびロードロック室３０との間で基板Ｓの受渡しが行なわれる。
【００４６】
また、４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄのうち、側板７４ａと側板７４ｃの両端部Ｅは、それぞれ直角に折曲して筐体７０の側壁の一部分を構成できるように形成されている。
【００４７】
以上のような上板７２および底板７３の形状によって、筐体７０を組立てた状態で全ての接合部は筐体７０の８つの隅部４００（図６参照）から外れた位置に形成される。これにより、シール性を確保することが困難な筐体７０の隅部４００をシールする必要性がなくなる。また、本実施形態では、４枚の側板７４ａ〜７４ｄのうち、側板７４ａと側板７４ｃの両端部Ｅが折曲した形状であることから、筐体７０を組立てた状態で、隣接する側板どうしの接合部は、筐体７０の内側において互いに隣り合う隅部４００と隅部４００とを結ぶ角部５００（図６参照）から外れた位置に形成される。これにより、隅部４００の次にシール性を確保することが困難な筐体７０の角部５００をシールする必要がなくなる。
【００４８】
このように、本実施形態に係る筐体７０では、構成部材である各板材の形状を工夫することにより、シールが難しい筐体７０の隅部４００や角部５００のシールを極力少なくして、減圧容器としての搬送室２０の気密性を向上させている。また、上記構成により、全ての接合部は、筐体７０の側壁部分（側面）に形成されることから、筐体７０の組立てが容易であり、シール部材８０（図８参照）の交換などのメンテナンスも容易に行なうことができる。
【００４９】
搬送室２０の天板７１と、筐体７０を構成する６枚の板材とは、例えばアルミニウム、ステンレス、鉄鋼材料などの金属材料により構成することができる。
【００５０】
搬送室２０の組立ては、以下の手順で行なうことができる。まず、上板７２，底板７３，側板７４ａ〜７４ｄを螺子やボルト等の固定手段により接合して筐体７０を形成する。この際、各板材を接合する順序は問わない。次に、本発明の一実施形態に係るシール機構により各板材の接合部を筐体７０の内側からシールし、真空状態に耐え得る気密性を確保する。このシール機構については後で詳述する。
【００５１】
次に、筐体７０に搬送機構５０などの内部機材やゲートバルブ２２を設置した後、天板７１を筐体７０の上部に配置し、Ｏリング等のシール部材７６を天板７１の下面に当接させる。そして、天板７１を筐体７０に螺子やボルト等の固定手段１０１で仮止めする。この状態で図示しない排気装置により搬送室２０の内部を減圧排気することにより、シール部材７６が天板７１の下面に圧接されて、気密性を確保した状態で内部を真空状態に維持することができる。
なお、天板７１および筐体７０を構成する各板材（上板７２，底板７３，側板７４ａ〜７４ｄ）を接合する際には、螺子やボルトに限らず任意の固定手段を採用することが可能である。
【００５２】
図６は、搬送室２０の内部の接合部のシール機構を示す要部斜視図である。また、図７（ａ）は、図６におけるＡ部の拡大図であり、図７（ｂ）は図６におけるＢ部の拡大図である。さらに、図８は、この実施形態に用いるシール部材８０の全体構成を示す斜視図である。本実施形態におけるシール機構では、筐体７０の内側の接合部に対応した形状のシール部材８０と、このシール部材８０を固定するための補助具（後述する押え具９０、角部押え具９１）を使用する。
【００５３】
本実施形態では、前記のように底板７３に、筐体７０の側壁の一部分を構成する壁部７３ａが設けられ、上面が開口した浅い箱形をなしている。これにより、図６に示すように、底板７３の壁部７３ａと側板７４ｃとの接合部Ｊａｃを挟んでその両側の内壁面（底板７３の壁部７３ａと側板７４ｃの内壁面）が略面一（同一平面）になるように形成されている。同様に、底板７３の壁部７３ａと側板７４ｄとの接合部Ｊａｄを挟んでその両側の内壁面（底板７３の壁部７３ａと側板７４ｄの内壁面）も略面一に形成されている。図６では図示をしていない側板７４ａ、７４ｂと底板７３の壁部７３ａとの接合部についても同様である。また、前記のように、４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄのうち、側板７４ａと側板７４ｃの両端部Ｅは、それぞれ直角に折曲形成されている。従って、例えば図６では側板７４ｃと側板７４ｄとを接合した状態で、両者の接合部Ｊｃｄを挟んでその両側の内壁面が略面一になるように形成されている。
【００５４】
前掲の従来技術のように、筐体の隅部に板材による接合部を設けた構成では、３方向に枝分かれした形状のシール部材を使用する必要があり、その交点部分で例えば直角に折曲させなければ隅部４００の接合部をシールすることができなかった。しかし、３方向に枝分かれした形状で、かつ折曲させた状態のシール部材を十分な圧力で隅部４００の接合線に押圧することは困難であり、筐体７０の隅部４００におけるシール性能が低下してリークが発生し、真空容器としての信頼性を損なうおそれがあった。
【００５５】
本実施形態では、筐体７０の内側の各接合部において、その両側の内壁面が略面一となるように形成され、筐体７０の隅部には接合部が形成されない構造となっている。それ故、筐体７０を構成する各板材の接合部のシールを平面的に行なうことが可能になり、優れたシール性を得ることができる。また、本実施形態では、シール部材８０として、図８に例示するような形状のシール部材８０を用いる。より具体的には、シール部材８０は、ループ状に形成された上下のループ部８０ａ，８０ｂが、４本の直線部８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆによって接続された形態をなしている。上下のループ部８０ａ，８０ｂに対し、４本の直線部８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆはそれぞれＴ字形をなして直角に接続されている。そして、シール部材８０における上側のループ部８０ａは、上板７２と各側板７４ａ〜７４ｄとの接合部をシールし、下側のループ部８０ｂは、底板７３と各側板７４ａ〜７４ｄとの接合部をシールする。また、シール部材８０における４本の直線部８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆは、それぞれ各側板７４ａ〜７４ｄ間の接合部をシールできるように構成されている。このようなシール部材８０を用いることにより、上板７２および底板７３と、側板７４ａ〜７４ｄとの接合部を確実にシールすることができる。
【００５６】
シール部材８０は、例えば直径２〜１０ｍｍ程度の紐状のエラストマーにより構成されている。シール部材８０の材質としては、通常のＯリングと同様に、例えばバイトン（商品名；デュポン社製）に代表されるフッ素系ゴムや、ブチル系ゴム、シリコーンなどのエラストマーを使用できる。
【００５７】
シール部材８０は、各板材の接合部に形成される接合線に沿って配置され、補助具により固定される。例えば底板７３と側板７４ｃ，７４ｄとにより形成される接合部Ｊａｃ，Ｊａｄや、側板７４ｃと側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊｃｄでは、押え具９０によりシール部材８０を接合線に押圧することにより固定し、気密性を確保することができる。また、側板７４ｃの角部５００においては、角部押え具９１により、シール部材８０を接合部Ｊａｃの接合線に押圧することにより固定し、気密性を確保することができる。なお、図６では図示を省略しているが、側板７４ｃと７４ｄとの接合部Ｊｃｄについても押え具９０が配備される。また、図６における符号２０２は、押え具９０，９１を螺子やボルトなどの固定手段１０２により固定する際のねじ穴であり、押え具９０の符号９０ａ、角部押え具９１の符号９１ａは、その際に固定手段１０２が挿入される孔部である。
【００５８】
図９および図１０は、接合部のシール構造の一例を示す断面図である。ここでは、底板７３の壁部７３ａと側板７４ｄとの接合部Ｊａｄについて例示する。
押え具９０は、筐体７０を構成する各板材と同様の材質により長板状に形成されている。そして、押え具９０により、シール部材８０を筐体７０における接合部Ｊａｄの内側の接合線に向けて押圧しつつ、螺子やボルトなどの固定手段１０２により固定する。この際、接合部Ｊａｄを挟んでその両側の壁面（側板７４ｄと底板７３の壁部７３ａの壁面）は略面一に形成されているので、押え具９０によりシール部材８０を均等かつ確実に押圧しやすい構造となっている。本実施形態では、接合部Ｊａｄに限らず、筐体７０を構成する全ての接合部において、該接合部を間に挟んでその両側の壁面が略面一に形成されているので、シール部材８０によるシール性能を十分に確保することが可能である。
【００５９】
また、接合部Ｊａｄにはシール溝７９が形成されており、図１０に示すようにこのシール溝７９内にシール部材８０（図９では下側のループ部８０ｂ）を嵌め込んでシールできるように構成されている。シール溝７９は、シール部材８０を位置決めする機能を有し、シール部材８０を接合部Ｊａｄに確実に圧接させるように作用する。よって、シール部材８０によるシール性を十分に確保することができる。なお、シール溝７９は、各接合部を形成する板材の縁を切除して段部を形成することにより設けることができる。この場合、図９および図１０では、接合部を構成する二枚の板材の一方の側板７４ｄに段部を形成しているが、底板７３の壁部７３ａの縁に段部を形成してもよく、あるいは二枚の板材のそれぞれの縁に段部を形成してもよい。
【００６０】
次に、図１１〜図１３を参照しながら、別の実施形態に係る減圧容器について説明する。前記のとおり、図４〜図６に記載した実施形態では、筐体７０を構成する上板７２と底板７３として、壁部７２ａ，７３ａを有する板材を用いることにより、互いに隣接する３枚の板材による接合部が筐体７０の隅部４００から外れた側壁部分に形成されるようにした。しかし、例えば図１１に示すように、平板状の上板３０１および平板状の底板３０２と、側板３０３ａ〜３０３ｄとを接合することにより、筐体３００を形成することもできる。なお、図１１において天板は図示を省略している。
【００６１】
搬送室２０を構成する筐体３００は、平板状の上板３０１、この上板３０１に対向し、かつ平行に配置される平板状の底板３０２、これら上板３０１と底板３０２に接合される４枚の側板３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄを有している。筐体３００を構成する各板材は、例えば螺子やボルト等の固定手段（図示せず）により接合され、一体となってその内部に基板Ｓを搬送する搬送空間を形成している。
【００６２】
上板３０１は、開口３０４を有している。そして、図示しない天板を例えばクレーンなどを用いて上昇させた状態で、この開口３０４を介して搬送室２０の内部に配置された搬送装置５０のメンテナンスなどを行えるようになっている。また、上板３０１の開口３０４の周囲には、図示しない細溝内にＯリングなどのシール部材３０５が配備されている。そして、図示しない天板を螺子やボルト等の固定手段で筐体３００に仮止めした状態で、搬送室２０の内部を減圧することにより、真空容器としての十分な気密性を確保できるようになっている。また、図示は省略するが、底板３０２にも、搬送機構５０（図２参照）を設置するための開口が形成されている。
【００６３】
４枚の側板３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄには、それぞれに基板Ｓを搬入出するための搬送用開口が設けられている。筐体３００の短辺側の側板３０３ａに形成された搬送用開口３０６ａ，３０６ｂは、ロードロック室３０（図１および図２参照）のバッファ３２との間で基板Ｓを搬入出可能な位置に形成されている。また、筐体３００の他の３辺に位置する側板３０３ｂ〜３０３ｄにそれぞれ形成された搬送用開口３０７は、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃとの間で基板Ｓを搬入出する際に用いられる。各搬送用開口３０６ａ，３０６ｂ，３０７には、それぞれゲートバルブ２２が装着され（図１参照）、各ゲートバルブ２２を介して隣接配置される各プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよびロードロック室３０との間で基板Ｓの受渡しが行なわれる。
【００６４】
また、４枚の側板３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄのうち、側板３０３ａと側板３０３ｃの両端部Ｅは、それぞれ直角に折曲して筐体３００の側壁の一部分を構成できるように形成されている。
【００６５】
本実施形態では、４枚の側板３０３ａ〜３０３ｄのうち、側板３０３ａ，３０３ｃの両側の端部Ｅが折曲した形状であることから、平板状に形成された上板３０１および底板３０２と、端部Ｅが折曲形成された側板３０３ａ，３０３ｃとを接合することにより筐体３００における８つの隅部４００を形成することができる。そして、筐体３００を組立てた状態で、隣接する側板どうしの接合部は、筐体３００の内側において互いに隣り合う隅部４００と隅部４００とを結ぶ角部５００から外れた位置に形成される。例えば、図１２に示すように、平板状の底板３０２と端部が折曲形成された側板３０３ｃとの２枚の板材によって筐体３００の隅部４００が形成されるので、３枚の板材の接合により隅部４００が形成された従来構造の減圧容器に比べて当該隅部４００におけるシール性を格段に向上させることできる。
【００６６】
また、側板３０３ｃと側板３０３ｄとの接合部３０８ａの両側の内壁面は略面一に形成されるので、ここでは図示しない押え具９０（図６参照）によって確実にシールすることができる。なお、底板３０２と、側板３０３ｃ，３０３ｄとの接合部３０８ｂは、筐体３００の角部５００に形成されることから、この部分では２つの内壁面が例えば直角になる。そこで、接合部３０８ｂでは、例えば図１３に示すように、断面Ｌ字型をした角部押え具９３を用いてシール部材８０を固定する。角部押え具９３には、その外周面にシール部材８０に当接する当接部９３ｂが形成されており、この当接部９３ｂによりシール部材８０を押圧固定することができる。なお、図１３において、符号９３ａは螺子やボルトなどの固定具１０２により角部押え具９３を固定するための孔部である。
【００６７】
以上の構成により、本実施形態では、互いに隣接する３つの板材例えば底板３０２と側板３０３ｃと側板３０３ｄにより形成される接合部３０９（つまり、接合部３０８ａと接合部３０８ｂとの交差部位）は、前記隅部４００から外れた位置に形成される。この接合部３０９におけるＴ字型の接合線は、Ｔ字型の接続部位を有するシール部材８０を配備することにより確実にシールすることができる。従って、気密性に優れた減圧容器を形成できる。
なお、図１１および図１２に示す実施形態の筐体３００においては、上板３０１および底板３０２が平板状である点を除き、基本的に図４から図６に示す実施形態に係る筐体７０と同様の構成を採用することが可能であり、シール部材８０も図８と同様の構成のものを使用できる。
【００６８】
このように、本実施形態に係る筐体３００においても、構成部材である各板材の形状を工夫することにより、シールが難しい筐体３００の隅部４００や角部５００のシールを極力少なくして、減圧容器としての搬送室２０の気密性を向上させている。
【００６９】
本発明では、上記の各実施形態に示されたシール構造を採用することにより、複数の板材を接合する組立て構造においても、気密性に優れた真空容器を作製することが容易になる。従って、設置場所において接合する組立て式の減圧容器として、従来の一体型真空容器に比較して素材コスト、加工コスト等の製作コストを削減できるだけでなく、運送コストも低減できる。
【００７０】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、被処理体としては、ＦＰＤ用のガラス基板に限られず、半導体ウエハであってもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、減圧容器を形成する筐体７０として平面視矩形の６面体を例に挙げたが、板材を接合して例えば８面体や１０面体などの形状にした減圧容器についても同様に本発明のシール機構を適用できる。図１４は、底板３１１および５枚の側板３１２ａ〜３１２ｅを接合して搬送チャンバとして利用可能な平面視５角形（７面体）の減圧容器３１０を構成した例である。なお、図１４では上板もしくは天板は図示を省略している。
【００７２】
また、減圧容器は、図４に例示するような筐体７０と天板７１を有するものに限定されない。例えば下部容器とこれに対向配置される上部容器によって一つのチャンバが構成され、上部容器を昇降、スライド・回転させることによりチャンバを開閉させる構造の減圧容器において、前記上部容器および下部容器を板材の接合によって作製する場合にも、本発明のシール機構を適用できる。
【００７３】
また、図４〜図６に示した実施形態では、筐体７０を構成する板材のうち、上板７２と底板７３にそれぞれ壁部７２ａ，７３ａを設けるとともに、側板７４ａ，７４ｃの端部に折曲部Ｅを設けて、筐体７０の８つの隅部４００に接合部が形成されることを回避した。しかし、例えば図１５に示すように、側板７４ｃ，７４ｄの端部を斜めに切断して傾斜面を形成するとともに、各側板７４ｃ，７４ｄの端部に山形の凸部Ｄを設ける構成を採用することもできる。この場合、二枚の板材７４ｃ，７４ｄの傾斜面を互いに接合することにより、二つの凸部Ｄが接合部Ｊｃｄを形成するように組み合わされ、筐体内側の角部が平坦化される。つまり、筐体の内側の角部においては、接合部Ｊｃｄを挟んでその両側の内壁面を面一に形成することが可能になる。この実施形態においても、ここでは図示しない押え具９０を使用してシール部材８０を確実に押圧固定することが可能である。
【００７４】
また、上記実施形態では、搬送チャンバ２０を例に挙げて説明したが、減圧容器であれば特に制限なく本発明の技術思想を適用することが可能である。例えば真空予備室であるロードロック室３０や、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃにも同様のシール機構を採用することができる。
【００７５】
また、上記実施形態では、基板Ｓを水平方向に保持した状態で搬送や処理を行なうチャンバを例に挙げて説明を行なったが、本発明の技術思想は、基板Ｓを縦に起立させた状態で搬送や処理を行なうように構成された、所謂縦型構造のチャンバにも適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、例えばＦＰＤ用ガラス基板等の基板に対して、その搬送やエッチングなどの各種処理を行なう際に使用される減圧容器を製造する際に好適に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明のシール機構を適用可能な真空処理システムを概略的に示す斜視図。
【図２】図１の真空処理システムの水平断面図。
【図３】制御部の概略構成を示すブロック図。
【図４】搬送室の外観構成を示す斜視図。
【図５】筐体の分解斜視図。
【図６】筐体内部の接合構造を示す要部斜視図。
【図７】筐体内部の接合構造を示す要部斜視図であり、（ａ）は図６におけるＡ部の拡大図、（ｂ）は同図Ｂ部の拡大図である。
【図８】シール部材の全体像を示す斜視図。
【図９】接合部の構造の説明に供する要部断面図。
【図１０】接合部におけるシール構造の説明に供する要部断面図であり、シール部材を固定した状態を示す。
【図１１】別の実施形態に係る筐体の分解斜視図。
【図１２】図１１の筐体の接合構造を示す要部斜視図。
【図１３】シール部材の固定方法の説明に供する要部斜視図。
【図１４】さらに別の実施形態に係る筐体の外観斜視図。
【図１５】別の実施形態に係る筐体の角部における接合構造を示す要部断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１；真空処理システム
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ；プロセスチャンバ
２０；搬送室
３０；ロードロック室
５０；搬送装置
６０；制御部
８０；シール部材
８０ａ，８０ｂ；ループ部
８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆ；直線部
９０；押え具
９１；角部押え具
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧容器（真空容器も含む。以下同様の意味である）のシール技術に関し、例えば液晶表示装置（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ等に代表されるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガラス基板等に対して減圧下でドライエッチングや成膜、搬送、位置合わせ等の処理を施す際に使用される減圧容器のシール技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空容器は、大気圧に対する耐久性と気密性を確保する観点から、原料ブロックから機械加工によって容器を削り出す方法や、板材を溶接やろう付けによって接合する方法によって製造されてきた。しかし、機械による切削加工を行なう場合には、材料から容積相当分を削り出すため、加工に時間がかかり、材料の無駄も多いという問題があった。また、溶接やろう付けによる方法では、入熱による歪みを除去したり、仕上げ加工を行なったりする必要があるため、製作コストが増加するという問題があった。
【０００３】
ところで近年では、被処理基板の大型化に伴い処理チャンバ自体のサイズも大型化しつつある。例えば、ＦＰＤの製造過程では、長辺の長さが２ｍを超える矩形の大型ガラス基板を処理チャンバ内に収容し、真空状態でエッチングやアッシング、成膜などの処理が行なわれる。そして、このような大型ガラス基板に対して真空状態で処理を行なう真空容器においては、アルミニウムなどからなる金属製容器の内部を真空にした状態で大気圧に耐え得るだけの充分な剛性を確保しなければならない。
【０００４】
従来の機械加工や溶接等による一体型構造の真空容器では、剛性を高めるには容器の壁を充分に厚くしなければならないため、重量の増大を伴うとともに、大型機械による加工が必要になるので製造コストが増大してしまうという問題が生じていた。また、真空容器が所定のサイズを超えて大型化すると、その運搬に法令上の制約が課せられ、移送に伴う経費が増大するという問題もあった。
【０００５】
機械加工や溶接以外の加工方法により真空容器を作製する技術として、例えば構造ボルトによって箱状に強固に接合された複数の板材と、内側より各板材の接合線に沿って連続的に設けられたシール部材と、前記シール部材を前記接合線に向けて押付けて気密にシールするために締結ボルトにより取付けられた押え部材と、を用いる真空容器が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００６】
また、相互に端面を接合して周方向に閉じられた中空枠体を構成する４つ以上の側面部材と、この中空枠体の頂面および底面に配設され接合される天面部材および底面部材を、各々の部材の隣接する接合面相互間にシール部材を設けて一体化して容器を構成する技術も提案されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開平９−２０９１５０号公報（図４など）
【特許文献２】特開２００４−２８６１６５号公報（図１など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記特許文献１および特許文献２の真空容器は、板材とシール部材により構成されることから、設置場所での組立てが可能であり、運搬の際の制約も少ない。また、従来の機械加工や溶接等によって真空容器を作製する場合に比べて低コストを実現できるというメリットもある。
しかし、特許文献１のように板材を組み合わせて接合する構造の真空容器では、容器内部の隅部におけるシール性を確保することが難しいという問題があった。例えば、特許文献１では、隅部における３枚の板材の接合部分に、板材の接合線に沿って３方向に互いに直角に折曲された枝分かれ形状のシール部材を使用している。しかし、このような枝分かれ形状のシール部材は、その製造に立体金型を必要とするため、コストの増加が避けられない。
【０００８】
また、特許文献１のシール機構では、エラストマーを板材の接合線に対して一定の力で押圧することが必要である。しかし、３枚の板材により形成される隅部において、前記枝分かれ形状のシール部材を十分に押圧することは困難であり、最悪の場合には真空を維持できないおそれがある。
【０００９】
一方、特許文献２に記載のシール部材においては、各部材の隣接する接合面の間にシール部材を配設する構成であるため、シール部材を交換するためには容器を分解しなければならず、消耗品であるシール部材のメンテナンスが困難であるという課題があった。
【００１０】
従って本発明は、複数の板材を接合することにより構成され、接合部の気密性が十分に確保された減圧容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点は、複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記部材どうしの接合部は、前記減圧容器の隅から外れた位置に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器を提供する。
【００１２】
本発明の第２の観点は、複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記側板どうしを接合するすべての接合部において、該接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器を提供する。
【００１３】
本発明の第３の観点は、端部が折曲形成された板材と平板とを含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記端部が折曲形成された板材とこれに接合される前記平板とにより形成される隅を有するとともに、
互いに隣接する３つの部材により形成される接合部は、前記隅から外れた位置に形成され、
前記部材どうしを接合する接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器を提供する。
【００１４】
上記第１の観点から第３の観点において、前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板とを備えていてもよく、この場合、複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲形成されていることが好ましい。
【００１５】
本発明の第４の観点は、複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
底板と、
前記底板に接合される複数の側板と、
隣り合う前記側板どうし、および前記側板と前記底板との各接合部を内側からシールするシール部材と、
を備え、
前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
前記接合部を挟んで前記側板の内壁面と前記底板の壁体の内壁面が略面一に接合されている、減圧容器を提供する。
【００１６】
上記第４の観点において、前記側板に接合される上板をさらに備え、該上板には、前記減圧容器の側壁の上部を構成する壁体が一体的に設けられていてもよい。
また、複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有しており、前記減圧容器の隅と隅とを結ぶ角部から外れた位置に隣接する前記側板どうしの接合部が形成されていてもよい。
また、前記側板どうしおよび前記底板と前記側板とを接合するすべての接合部が、前記減圧容器の側部に形成されていることが好ましい。
【００１７】
また、上記第１〜第４の観点において、前記接合部に、前記シール部材を装着する溝が形成されていることが好ましい。
【００１８】
また、本発明の第５の観点は、上記第１〜第４の観点のいずれかの減圧容器を備えた、減圧処理装置を提供する。
【００１９】
また、本発明の第６の観点は、複数の部材を用い、前記部材どうしの接合部が、減圧容器の隅から外れた位置に形成され、かつ前記接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法を提供する。
【００２０】
上記第７の観点において、前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を用いるとともに、前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有していることが好ましい。
【００２１】
本発明の第８の観点は、端部が折曲形成された部材と平板とを含む複数の部材を用い、前記端部が折曲形成された部材と前記平板とにより隅を形成するとともに、互いに隣接する３つの部材により形成される接合部が前記隅から外れた位置に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の好適な態様では、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器において、前記部材どうしの接合部を、前記減圧容器の隅から外れた位置に形成した。これにより、シール部材によるシール性を確保することが困難な減圧容器の隅部でのシールを回避できる。
【００２３】
また、本発明の別の好適な態様では、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器において、前記側板どうしおよび前記底板と前記側板とを接合するすべての接合部を挟んでその両側の内壁面を略面一に形成した。これにより、減圧容器の隅部に接合部が形成されることを回避し、シール部材によるシール性を向上させることができる。
【００２４】
本発明のさらに別の好適な態様では、端部が折曲形成された板材とこれに接合される平板との２枚の板材によって減圧容器の隅を形成したので、３枚の板材の接合により隅が形成された従来構造の減圧容器に比べて当該隅におけるシール性を格段に向上させることできる。
また、互いに隣接する３つの部材により形成される接合部は、前記隅から外れた位置に形成されるので、Ｔ字型のシール部材を配備することにより確実にシールすることができる。
【００２５】
よって、本発明によれば、複数の板材を接合する組立て構造の減圧容器の気密性を格段に向上させることが可能になる。
また、本発明により、気密性に優れた組立て構造の減圧容器を製造できるので、機械加工や溶接などによる接合方法では限界があった減圧容器の大型化への対応も可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施形態について説明する。ここでは、本発明のシール機構を適用可能な真空処理システムを例に挙げて説明を行なう。図１は本発明の一実施形態に係る真空チャンバを備えた真空処理システム１を概略的に示す斜視図であり、図２はその内部を概略的に示す水平断面図である。この真空処理システム１は、例えばＦＰＤ用ガラス基板（以下、単に「基板」と記す）Ｓに対してプラズマ処理を行なうためのマルチチャンバタイプの真空処理システムとして構成されている。ここで、ＦＰＤとしては、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイ、エレクトロルミネセンス（Electro Luminescence；ＥＬ）ディスプレイ、蛍光表示管（Vacuum Fluorescent Display；ＶＦＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等が例示される。
【００２７】
真空処理システム１においては、中央部に搬送室２０とロードロック室３０とが連設されている。さらに搬送室２０の周囲には、基板Ｓに対してエッチング等のプラズマ処理を行なう３つのプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃが配設されている。これら搬送室２０、ロードロック室３０、３つのプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、いずれも真空チャンバとして構成されている。搬送室２０とロードロック室３０との間、搬送室２０と各プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃとの間、およびロードロック室３０と外側の大気雰囲気とを連通する開口部には、これらの間を気密にシールし、かつ開閉可能に構成されたゲートバルブ２２がそれぞれ介挿されている。
【００２８】
ロードロック室３０の外側には、２つのカセットインデクサ４１が設けられており、その上にそれぞれ基板Ｓを収容するカセット４０が載置されている。これらカセット４０の一方には、例えば未処理基板を収容し、他方には処理済み基板を収容できる。これらカセット４０は、昇降機構４２により昇降可能となっている。
【００２９】
これら２つのカセット４０の間には、支持台４４上に搬送機構４３が設けられており、この搬送機構４３は上下２段に設けられたピック４５，４６、ならびにこれらを一体的に進出退避および回転可能に支持するベース４７を具備している。
【００３０】
前記プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、その内部空間が所定の減圧雰囲気例えば真空状態に保持されることが可能であり、その内部でプラズマ処理、例えばエッチング処理やアッシング処理が行なわれる。本実施形態では、３つのプロセスチャンバを有しているため、例えばそのうち２つのプロセスチャンバをエッチング処理室として構成し、残りの１つのプロセスチャンバをアッシング処理室として構成したり、３つのプロセスチャンバ全てを同一の処理を行なうエッチング処理室やアッシグ処理室として構成することができる。なお、プロセスチャンバの数は３つに限らず、４つ以上であってもよい。
【００３１】
搬送室２０は、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃと同様に所定の減圧雰囲気に保持することが可能であり、その中には、図２に示すように、上下２段のスライドピック５１３，５２３（上段のみ図示）を備えた搬送装置５０が配設されている。そして、この搬送装置５０により、ロードロック室３０および３つのプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃの間で基板Ｓが搬送される。
【００３２】
ロードロック室３０は、各プロセスチャンバ１０および搬送室２０と同様に所定の減圧雰囲気に保持されることが可能である。また、ロードロック室３０は、大気雰囲気にあるカセット４０と減圧雰囲気のプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃとの間で基板Ｓの授受を行うためのものであり、大気雰囲気と減圧雰囲気とを繰り返す関係上、極力その内容積が小さく構成されている。ロードロック室３０には基板収容部３１が上下２段に設けられており（図２では上段のみ図示）、各基板収容部３１には、基板Ｓを支持する複数のバッファ３２が設けられ、これらバッファ３２の間には、スライドピック５１３，５２３の逃げ溝３２ａが形成されている。また、ロードロック室３０内には、矩形状の基板Ｓの互いに対向する角部付近に当接して位置合わせを行なうポジショナー３３が設けられている。
【００３３】
真空処理システム１の各構成部は、制御部６０に接続されて制御される構成となっている（図１では図示を省略）。制御部６０の概要を図３に示す。制御部６０は、ＣＰＵを備えたプロセスコントローラ６１を備え、このプロセスコントローラ６１には、工程管理者が真空処理システム１を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、真空処理システム１の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなるユーザーインターフェース６２が接続されている。
【００３４】
また、制御部６０は、真空処理システム１で実行される各種処理をプロセスコントローラ６１の制御にて実現するための制御プログラム（ソフトウエア）や処理条件データ等が記録されたレシピが格納された記憶部６３を有しており、この記憶部６３はプロセスコントローラ６１に接続されている。
【００３５】
そして、必要に応じて、ユーザーインターフェース６２からの指示等にて任意のレシピを記憶部６３から呼び出してプロセスコントローラ６１に実行させることで、プロセスコントローラ６１の制御下で、真空処理システム１での所望の処理が行われる。
【００３６】
前記制御プログラムや処理条件データ等のレシピは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体、例えばＣＤ−ＲＯＭ、ハードディスク、フレキシブルディスク、フラッシュメモリなどに格納された状態のものを利用したり、あるいは、他の装置から、例えば専用回線を介して随時伝送させてオンラインで利用したりすることも可能である。
【００３７】
次に、以上のように構成された真空処理システム１の動作について説明する。
まず、搬送機構４３の２枚のピック４５、４６を進退駆動させて、未処理基板を収容した一方のカセット４０から２枚の基板Ｓをロードロック室３０の上下２段の基板収容部３１に１枚ずつ搬入する。
【００３８】
ピック４５，４６が退避した後、ロードロック室３０の大気側のゲートバルブ２２を閉じる。その後、ロードロック室３０内を排気して、内部を所定の真空度まで減圧する。真空引き終了後、ポジショナー３３により基板Ｓを押圧することにより基板Ｓの位置合わせを行なう。
【００３９】
以上のように位置合わせされた後、搬送室２０とロードロック室３０との間のゲートバルブ２２を開いて、搬送室２０内の搬送装置５０によりロードロック室３０の基板収容部３１に収容された基板Ｓを受け取る。そして、搬送装置５０のスライドピック５１３または５２３により、プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃのいずれかに基板Ｓを搬入する。そして、プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃでエッチング等の所定の処理が施された基板Ｓは、搬送装置５０によりプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃから搬出される。そして、基板Ｓは、前記とは逆の経路でロードロック室３０を経て、搬送機構４３によりカセット４０に収容される。このとき、基板Ｓを元のカセット４０に戻してもよいし、他方のカセット４０に収容するようにしてもよい。
【００４０】
次に、本発明のシール部材およびこれを用いたシール機構について説明を行なう。搬送室２０、ロードロック室３０およびプロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃを構成する真空容器は、それぞれ内部を真空状態に保持できるように、シール部材を用いてシールされている。ここでは、搬送室２０におけるシール機構を例に挙げて説明を行なう。
【００４１】
図４は、搬送室２０の外観構成を示す斜視図であり、図５はその分解斜視図である。なお、搬送装置５０などの内部の機構は図示を省略している。搬送室２０は、主要な構成として、筐体７０と天板７１とを備えた真空容器である。筐体７０は、６枚の板材を接合することにより構成されている。すなわち、筐体７０は、上板７２、この上板７２に対向し、かつ平行に配置される底板７３、これら上板７２と底板７３に接合される４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄを有している。筐体７０を構成する各板材は、例えば螺子やボルト等の固定手段（図示せず）により接合され、一体となってその内部に基板Ｓを搬送する搬送空間を形成している。
【００４２】
上板７２は、図示のように中央に開口７５を有している。そして、天板７１を例えばクレーンなどを用いて上昇させた状態で、この開口７５を介して搬送室２０の内部に配置された搬送装置５０のメンテナンスなどを行えるようになっている。また、上板７２の開口７５の周囲には、図示しない細溝内にＯリングなどのシール部材７６が配備されている。そして、天板７１を螺子やボルト等の固定手段１０１で筐体７０に仮止めした状態で、搬送室２０の内部を減圧することにより、真空容器としての十分な気密性を確保できるようになっている。また、図示は省略するが、底板７３にも、搬送機構５０（図２参照）を設置するための開口が形成されている。
【００４３】
上板７２には、筐体７０の側壁の一部分（上部）を構成する壁部７２ａが設けられており、下面が開口した浅い箱形をなしている。このような形状の上板７２は、例えば切削加工によって形成することができる。
【００４４】
また、底板７３には、筐体７０の側壁の一部分（下部）を構成する壁部７３ａが設けられており、上面が開口した浅い箱形をなしている。このような形状の底板７３は、例えば切削加工によって形成することができる。
【００４５】
４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄには、それぞれに基板Ｓを搬入出するための搬送用開口が設けられている。筐体７０の短辺側の側板７４ａに形成された搬送用開口７７ａ，７７ｂは、ロードロック室３０（図１および図２参照）のバッファ３２との間で基板Ｓを搬入出可能な位置に形成されている。また、筐体７０の他の３辺に位置する側板７４ｂ〜７４ｄにそれぞれ形成された搬送用開口７８は、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃとの間で基板Ｓを搬入出する際に用いられる。各搬送用開口７７ａ，７７ｂ，７８には、それぞれゲートバルブ２２が装着され（図１参照）、各ゲートバルブ２２を介して隣接配置される各プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよびロードロック室３０との間で基板Ｓの受渡しが行なわれる。
【００４６】
また、４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄのうち、側板７４ａと側板７４ｃの両端部Ｅは、それぞれ直角に折曲して筐体７０の側壁の一部分を構成できるように形成されている。
【００４７】
以上のような上板７２および底板７３の形状によって、筐体７０を組立てた状態で全ての接合部は筐体７０の８つの隅部４００（図６参照）から外れた位置に形成される。これにより、シール性を確保することが困難な筐体７０の隅部４００をシールする必要性がなくなる。また、本実施形態では、４枚の側板７４ａ〜７４ｄのうち、側板７４ａと側板７４ｃの両端部Ｅが折曲した形状であることから、筐体７０を組立てた状態で、隣接する側板どうしの接合部は、筐体７０の内側において互いに隣り合う隅部４００と隅部４００とを結ぶ角部５００（図６参照）から外れた位置に形成される。これにより、隅部４００の次にシール性を確保することが困難な筐体７０の角部５００をシールする必要がなくなる。
【００４８】
このように、本実施形態に係る筐体７０では、構成部材である各板材の形状を工夫することにより、シールが難しい筐体７０の隅部４００や角部５００のシールを極力少なくして、減圧容器としての搬送室２０の気密性を向上させている。また、上記構成により、全ての接合部は、筐体７０の側壁部分（側面）に形成されることから、筐体７０の組立てが容易であり、シール部材８０（図８参照）の交換などのメンテナンスも容易に行なうことができる。
【００４９】
搬送室２０の天板７１と、筐体７０を構成する６枚の板材とは、例えばアルミニウム、ステンレス、鉄鋼材料などの金属材料により構成することができる。
【００５０】
搬送室２０の組立ては、以下の手順で行なうことができる。まず、上板７２，底板７３，側板７４ａ〜７４ｄを螺子やボルト等の固定手段により接合して筐体７０を形成する。この際、各板材を接合する順序は問わない。次に、本発明の一実施形態に係るシール機構により各板材の接合部を筐体７０の内側からシールし、真空状態に耐え得る気密性を確保する。このシール機構については後で詳述する。
【００５１】
次に、筐体７０に搬送機構５０などの内部機材やゲートバルブ２２を設置した後、天板７１を筐体７０の上部に配置し、Ｏリング等のシール部材７６を天板７１の下面に当接させる。そして、天板７１を筐体７０に螺子やボルト等の固定手段１０１で仮止めする。この状態で図示しない排気装置により搬送室２０の内部を減圧排気することにより、シール部材７６が天板７１の下面に圧接されて、気密性を確保した状態で内部を真空状態に維持することができる。
なお、天板７１および筐体７０を構成する各板材（上板７２，底板７３，側板７４ａ〜７４ｄ）を接合する際には、螺子やボルトに限らず任意の固定手段を採用することが可能である。
【００５２】
図６は、搬送室２０の内部の接合部のシール機構を示す要部斜視図である。また、図７（ａ）は、図６におけるＡ部の拡大図であり、図７（ｂ）は図６におけるＢ部の拡大図である。さらに、図８は、この実施形態に用いるシール部材８０の全体構成を示す斜視図である。本実施形態におけるシール機構では、筐体７０の内側の接合部に対応した形状のシール部材８０と、このシール部材８０を固定するための補助具（後述する押え具９０、角部押え具９１）を使用する。
【００５３】
本実施形態では、前記のように底板７３に、筐体７０の側壁の一部分を構成する壁部７３ａが設けられ、上面が開口した浅い箱形をなしている。これにより、図６に示すように、底板７３の壁部７３ａと側板７４ｃとの接合部Ｊａｃを挟んでその両側の内壁面（底板７３の壁部７３ａと側板７４ｃの内壁面）が略面一（同一平面）になるように形成されている。同様に、底板７３の壁部７３ａと側板７４ｄとの接合部Ｊａｄを挟んでその両側の内壁面（底板７３の壁部７３ａと側板７４ｄの内壁面）も略面一に形成されている。図６では図示をしていない側板７４ａ、７４ｂと底板７３の壁部７３ａとの接合部についても同様である。また、前記のように、４枚の側板７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄのうち、側板７４ａと側板７４ｃの両端部Ｅは、それぞれ直角に折曲形成されている。従って、例えば図６では側板７４ｃと側板７４ｄとを接合した状態で、両者の接合部Ｊｃｄを挟んでその両側の内壁面が略面一になるように形成されている。
【００５４】
前掲の従来技術のように、筐体の隅部に板材による接合部を設けた構成では、３方向に枝分かれした形状のシール部材を使用する必要があり、その交点部分で例えば直角に折曲させなければ隅部４００の接合部をシールすることができなかった。しかし、３方向に枝分かれした形状で、かつ折曲させた状態のシール部材を十分な圧力で隅部４００の接合線に押圧することは困難であり、筐体７０の隅部４００におけるシール性能が低下してリークが発生し、真空容器としての信頼性を損なうおそれがあった。
【００５５】
本実施形態では、筐体７０の内側の各接合部において、その両側の内壁面が略面一となるように形成され、筐体７０の隅部には接合部が形成されない構造となっている。それ故、筐体７０を構成する各板材の接合部のシールを平面的に行なうことが可能になり、優れたシール性を得ることができる。また、本実施形態では、シール部材８０として、図８に例示するような形状のシール部材８０を用いる。より具体的には、シール部材８０は、ループ状に形成された上下のループ部８０ａ，８０ｂが、４本の直線部８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆによって接続された形態をなしている。上下のループ部８０ａ，８０ｂに対し、４本の直線部８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆはそれぞれＴ字形をなして直角に接続されている。そして、シール部材８０における上側のループ部８０ａは、上板７２と各側板７４ａ〜７４ｄとの接合部をシールし、下側のループ部８０ｂは、底板７３と各側板７４ａ〜７４ｄとの接合部をシールする。また、シール部材８０における４本の直線部８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆは、それぞれ各側板７４ａ〜７４ｄ間の接合部をシールできるように構成されている。このようなシール部材８０を用いることにより、上板７２および底板７３と、側板７４ａ〜７４ｄとの接合部を確実にシールすることができる。
【００５６】
シール部材８０は、例えば直径２〜１０ｍｍ程度の紐状のエラストマーにより構成されている。シール部材８０の材質としては、通常のＯリングと同様に、例えばバイトン（商品名；デュポン社製）に代表されるフッ素系ゴムや、ブチル系ゴム、シリコーンなどのエラストマーを使用できる。
【００５７】
シール部材８０は、各板材の接合部に形成される接合線に沿って配置され、補助具により固定される。例えば底板７３と側板７４ｃ，７４ｄとにより形成される接合部Ｊａｃ，Ｊａｄや、側板７４ｃと側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊｃｄでは、押え具９０によりシール部材８０を接合線に押圧することにより固定し、気密性を確保することができる。また、側板７４ｃの角部５００においては、角部押え具９１により、シール部材８０を接合部Ｊａｃの接合線に押圧することにより固定し、気密性を確保することができる。なお、図６では図示を省略しているが、側板７４ｃと７４ｄとの接合部Ｊｃｄについても押え具９０が配備される。また、図６における符号２０２は、押え具９０，９１を螺子やボルトなどの固定手段１０２により固定する際のねじ穴であり、押え具９０の符号９０ａ、角部押え具９１の符号９１ａは、その際に固定手段１０２が挿入される孔部である。
【００５８】
図９および図１０は、接合部のシール構造の一例を示す断面図である。ここでは、底板７３の壁部７３ａと側板７４ｄとの接合部Ｊａｄについて例示する。
押え具９０は、筐体７０を構成する各板材と同様の材質により長板状に形成されている。そして、押え具９０により、シール部材８０を筐体７０における接合部Ｊａｄの内側の接合線に向けて押圧しつつ、螺子やボルトなどの固定手段１０２により固定する。この際、接合部Ｊａｄを挟んでその両側の壁面（側板７４ｄと底板７３の壁部７３ａの壁面）は略面一に形成されているので、押え具９０によりシール部材８０を均等かつ確実に押圧しやすい構造となっている。本実施形態では、接合部Ｊａｄに限らず、筐体７０を構成する全ての接合部において、該接合部を間に挟んでその両側の壁面が略面一に形成されているので、シール部材８０によるシール性能を十分に確保することが可能である。
【００５９】
また、接合部Ｊａｄにはシール溝７９が形成されており、図１０に示すようにこのシール溝７９内にシール部材８０（図９では下側のループ部８０ｂ）を嵌め込んでシールできるように構成されている。シール溝７９は、シール部材８０を位置決めする機能を有し、シール部材８０を接合部Ｊａｄに確実に圧接させるように作用する。よって、シール部材８０によるシール性を十分に確保することができる。なお、シール溝７９は、各接合部を形成する板材の縁を切除して段部を形成することにより設けることができる。この場合、図９および図１０では、接合部を構成する二枚の板材の一方の側板７４ｄに段部を形成しているが、底板７３の壁部７３ａの縁に段部を形成してもよく、あるいは二枚の板材のそれぞれの縁に段部を形成してもよい。
【００６０】
次に、図１１〜図１３を参照しながら、別の実施形態に係る減圧容器について説明する。前記のとおり、図４〜図６に記載した実施形態では、筐体７０を構成する上板７２と底板７３として、壁部７２ａ，７３ａを有する板材を用いることにより、互いに隣接する３枚の板材による接合部が筐体７０の隅部４００から外れた側壁部分に形成されるようにした。しかし、例えば図１１に示すように、平板状の上板３０１および平板状の底板３０２と、側板３０３ａ〜３０３ｄとを接合することにより、筐体３００を形成することもできる。なお、図１１において天板は図示を省略している。
【００６１】
搬送室２０を構成する筐体３００は、平板状の上板３０１、この上板３０１に対向し、かつ平行に配置される平板状の底板３０２、これら上板３０１と底板３０２に接合される４枚の側板３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄを有している。筐体３００を構成する各板材は、例えば螺子やボルト等の固定手段（図示せず）により接合され、一体となってその内部に基板Ｓを搬送する搬送空間を形成している。
【００６２】
上板３０１は、開口３０４を有している。そして、図示しない天板を例えばクレーンなどを用いて上昇させた状態で、この開口３０４を介して搬送室２０の内部に配置された搬送装置５０のメンテナンスなどを行えるようになっている。また、上板３０１の開口３０４の周囲には、図示しない細溝内にＯリングなどのシール部材３０５が配備されている。そして、図示しない天板を螺子やボルト等の固定手段で筐体３００に仮止めした状態で、搬送室２０の内部を減圧することにより、真空容器としての十分な気密性を確保できるようになっている。また、図示は省略するが、底板３０２にも、搬送機構５０（図２参照）を設置するための開口が形成されている。
【００６３】
４枚の側板３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄには、それぞれに基板Ｓを搬入出するための搬送用開口が設けられている。筐体３００の短辺側の側板３０３ａに形成された搬送用開口３０６ａ，３０６ｂは、ロードロック室３０（図１および図２参照）のバッファ３２との間で基板Ｓを搬入出可能な位置に形成されている。また、筐体３００の他の３辺に位置する側板３０３ｂ〜３０３ｄにそれぞれ形成された搬送用開口３０７は、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃとの間で基板Ｓを搬入出する際に用いられる。各搬送用開口３０６ａ，３０６ｂ，３０７には、それぞれゲートバルブ２２が装着され（図１参照）、各ゲートバルブ２２を介して隣接配置される各プロセスチャンバ１０ａ，１０ｂ，１０ｃおよびロードロック室３０との間で基板Ｓの受渡しが行なわれる。
【００６４】
また、４枚の側板３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，３０３ｄのうち、側板３０３ａと側板３０３ｃの両端部Ｅは、それぞれ直角に折曲して筐体３００の側壁の一部分を構成できるように形成されている。
【００６５】
本実施形態では、４枚の側板３０３ａ〜３０３ｄのうち、側板３０３ａ，３０３ｃの両側の端部Ｅが折曲した形状であることから、平板状に形成された上板３０１および底板３０２と、端部Ｅが折曲形成された側板３０３ａ，３０３ｃとを接合することにより筐体３００における８つの隅部４００を形成することができる。そして、筐体３００を組立てた状態で、隣接する側板どうしの接合部は、筐体３００の内側において互いに隣り合う隅部４００と隅部４００とを結ぶ角部５００から外れた位置に形成される。例えば、図１２に示すように、平板状の底板３０２と端部が折曲形成された側板３０３ｃとの２枚の板材によって筐体３００の隅部４００が形成されるので、３枚の板材の接合により隅部４００が形成された従来構造の減圧容器に比べて当該隅部４００におけるシール性を格段に向上させることできる。
【００６６】
また、側板３０３ｃと側板３０３ｄとの接合部３０８ａの両側の内壁面は略面一に形成されるので、ここでは図示しない押え具９０（図６参照）によって確実にシールすることができる。なお、底板３０２と、側板３０３ｃ，３０３ｄとの接合部３０８ｂは、筐体３００の角部５００に形成されることから、この部分では２つの内壁面が例えば直角になる。そこで、接合部３０８ｂでは、例えば図１３に示すように、断面Ｌ字型をした角部押え具９３を用いてシール部材８０を固定する。角部押え具９３には、その外周面にシール部材８０に当接する当接部９３ｂが形成されており、この当接部９３ｂによりシール部材８０を押圧固定することができる。なお、図１３において、符号９３ａは螺子やボルトなどの固定具１０２により角部押え具９３を固定するための孔部である。
【００６７】
以上の構成により、本実施形態では、互いに隣接する３つの板材例えば底板３０２と側板３０３ｃと側板３０３ｄにより形成される接合部３０９（つまり、接合部３０８ａと接合部３０８ｂとの交差部位）は、前記隅部４００から外れた位置に形成される。この接合部３０９におけるＴ字型の接合線は、Ｔ字型の接続部位を有するシール部材８０を配備することにより確実にシールすることができる。従って、気密性に優れた減圧容器を形成できる。
なお、図１１および図１２に示す実施形態の筐体３００においては、上板３０１および底板３０２が平板状である点を除き、基本的に図４から図６に示す実施形態に係る筐体７０と同様の構成を採用することが可能であり、シール部材８０も図８と同様の構成のものを使用できる。
【００６８】
このように、本実施形態に係る筐体３００においても、構成部材である各板材の形状を工夫することにより、シールが難しい筐体３００の隅部４００や角部５００のシールを極力少なくして、減圧容器としての搬送室２０の気密性を向上させている。
【００６９】
本発明では、上記の各実施形態に示されたシール構造を採用することにより、複数の板材を接合する組立て構造においても、気密性に優れた真空容器を作製することが容易になる。従って、設置場所において接合する組立て式の減圧容器として、従来の一体型真空容器に比較して素材コスト、加工コスト等の製作コストを削減できるだけでなく、運送コストも低減できる。
【００７０】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、被処理体としては、ＦＰＤ用のガラス基板に限られず、半導体ウエハであってもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、減圧容器を形成する筐体７０として平面視矩形の６面体を例に挙げたが、板材を接合して例えば８面体や１０面体などの形状にした減圧容器についても同様に本発明のシール機構を適用できる。図１４は、底板３１１および５枚の側板３１２ａ〜３１２ｅを接合して搬送チャンバとして利用可能な平面視５角形（７面体）の減圧容器３１０を構成した例である。なお、図１４では上板もしくは天板は図示を省略している。
【００７２】
また、減圧容器は、図４に例示するような筐体７０と天板７１を有するものに限定されない。例えば下部容器とこれに対向配置される上部容器によって一つのチャンバが構成され、上部容器を昇降、スライド・回転させることによりチャンバを開閉させる構造の減圧容器において、前記上部容器および下部容器を板材の接合によって作製する場合にも、本発明のシール機構を適用できる。
【００７３】
また、図４〜図６に示した実施形態では、筐体７０を構成する板材のうち、上板７２と底板７３にそれぞれ壁部７２ａ，７３ａを設けるとともに、側板７４ａ，７４ｃの端部に折曲部Ｅを設けて、筐体７０の８つの隅部４００に接合部が形成されることを回避した。しかし、例えば図１５に示すように、側板７４ｃ，７４ｄの端部を斜めに切断して傾斜面を形成するとともに、各側板７４ｃ，７４ｄの端部に山形の凸部Ｄを設ける構成を採用することもできる。この場合、二枚の板材７４ｃ，７４ｄの傾斜面を互いに接合することにより、二つの凸部Ｄが接合部Ｊｃｄを形成するように組み合わされ、筐体内側の角部が平坦化される。つまり、筐体の内側の角部においては、接合部Ｊｃｄを挟んでその両側の内壁面を面一に形成することが可能になる。この実施形態においても、ここでは図示しない押え具９０を使用してシール部材８０を確実に押圧固定することが可能である。
【００７４】
また、上記実施形態では、搬送チャンバ２０を例に挙げて説明したが、減圧容器であれば特に制限なく本発明の技術思想を適用することが可能である。例えば真空予備室であるロードロック室３０や、真空処理室であるプロセスチャンバ１０ａ〜１０ｃにも同様のシール機構を採用することができる。
【００７５】
また、上記実施形態では、基板Ｓを水平方向に保持した状態で搬送や処理を行なうチャンバを例に挙げて説明を行なったが、本発明の技術思想は、基板Ｓを縦に起立させた状態で搬送や処理を行なうように構成された、所謂縦型構造のチャンバにも適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、例えばＦＰＤ用ガラス基板等の基板に対して、その搬送やエッチングなどの各種処理を行なう際に使用される減圧容器を製造する際に好適に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明のシール機構を適用可能な真空処理システムを概略的に示す斜視図。
【図２】図１の真空処理システムの水平断面図。
【図３】制御部の概略構成を示すブロック図。
【図４】搬送室の外観構成を示す斜視図。
【図５】筐体の分解斜視図。
【図６】筐体内部の接合構造を示す要部斜視図。
【図７】筐体内部の接合構造を示す要部斜視図であり、（ａ）は図６におけるＡ部の拡大図、（ｂ）は同図Ｂ部の拡大図である。
【図８】シール部材の全体像を示す斜視図。
【図９】接合部の構造の説明に供する要部断面図。
【図１０】接合部におけるシール構造の説明に供する要部断面図であり、シール部材を固定した状態を示す。
【図１１】別の実施形態に係る筐体の分解斜視図。
【図１２】図１１の筐体の接合構造を示す要部斜視図。
【図１３】シール部材の固定方法の説明に供する要部斜視図。
【図１４】さらに別の実施形態に係る筐体の外観斜視図。
【図１５】別の実施形態に係る筐体の角部における接合構造を示す要部断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１；真空処理システム
１０ａ，１０ｂ，１０ｃ；プロセスチャンバ
２０；搬送室
３０；ロードロック室
５０；搬送装置
６０；制御部
８０；シール部材
８０ａ，８０ｂ；ループ部
８０ｃ，８０ｄ，８０ｅ，８０ｆ；直線部
９０；押え具
９１；角部押え具
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記部材どうしの接合部は、前記減圧容器の隅から外れた位置に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器。
【請求項２】
複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記部材どうしを接合するすべての接合部において、該接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器。
【請求項３】
端部が折曲形成された板材と平板とを含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記端部が折曲形成された板材とこれに接合される前記平板とにより形成される隅を有するとともに、
互いに隣接する３つの部材により形成される接合部は、前記隅から外れた位置に形成され、
前記部材どうしを接合する接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器。
【請求項４】
前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板とを備えた、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項５】
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲形成されている、請求項４に記載の減圧容器。
【請求項６】
複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
底板と、
前記底板に接合される複数の側板と、
隣り合う前記側板どうし、および前記側板と前記底板との各接合部を内側からシールするシール部材と、
を備え、
前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
前記接合部を挟んで前記側板の内壁面と前記底板の壁体の内壁面が略面一に接合されている、減圧容器。
【請求項７】
前記側板に接合される上板をさらに備え、該上板には、前記減圧容器の側壁の上部を構成する壁体が一体的に設けられている、請求項６に記載の減圧容器。
【請求項８】
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有しており、前記減圧容器の隅と隅とを結ぶ角部から外れた位置に隣接する前記側板どうしの接合部が形成されている、請求項６または請求項７に記載の減圧容器。
【請求項９】
前記側板どうしおよび前記底板と前記側板とを接合するすべての接合部が、前記減圧容器の側部に形成されている、請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１０】
前記接合部に、前記シール部材を装着する溝が形成されている、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の減圧容器を備えた、減圧処理装置。
【請求項１２】
複数の部材を用い、前記部材どうしの接合部が、減圧容器の隅から外れた位置に形成され、かつ前記接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法。
【請求項１３】
前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を用いるとともに、
前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有している、請求項１２に記載の減圧容器の製造方法。
【請求項１４】
端部が折曲形成された部材と平板とを含む複数の部材を用い、前記端部が折曲形成された部材と前記平板とにより隅を形成するとともに、互いに隣接する３つの部材により形成される接合部が前記隅から外れた位置に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法。
【請求項１】
複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記部材どうしの接合部は、前記減圧容器の隅から外れた位置に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器。
【請求項２】
複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記部材どうしを接合するすべての接合部において、該接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されており、前記接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器。
【請求項３】
端部が折曲形成された板材と平板とを含む複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
前記端部が折曲形成された板材とこれに接合される前記平板とにより形成される隅を有するとともに、
互いに隣接する３つの部材により形成される接合部は、前記隅から外れた位置に形成され、
前記部材どうしを接合する接合部が前記減圧容器の内側からシール部材によってシールされている、減圧容器。
【請求項４】
前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板とを備えた、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項５】
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲形成されている、請求項４に記載の減圧容器。
【請求項６】
複数の部材を接合することにより構成される減圧容器であって、
底板と、
前記底板に接合される複数の側板と、
隣り合う前記側板どうし、および前記側板と前記底板との各接合部を内側からシールするシール部材と、
を備え、
前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
前記接合部を挟んで前記側板の内壁面と前記底板の壁体の内壁面が略面一に接合されている、減圧容器。
【請求項７】
前記側板に接合される上板をさらに備え、該上板には、前記減圧容器の側壁の上部を構成する壁体が一体的に設けられている、請求項６に記載の減圧容器。
【請求項８】
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有しており、前記減圧容器の隅と隅とを結ぶ角部から外れた位置に隣接する前記側板どうしの接合部が形成されている、請求項６または請求項７に記載の減圧容器。
【請求項９】
前記側板どうしおよび前記底板と前記側板とを接合するすべての接合部が、前記減圧容器の側部に形成されている、請求項６から請求項８のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１０】
前記接合部に、前記シール部材を装着する溝が形成されている、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の減圧容器。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の減圧容器を備えた、減圧処理装置。
【請求項１２】
複数の部材を用い、前記部材どうしの接合部が、減圧容器の隅から外れた位置に形成され、かつ前記接合部を挟んでその両側の内壁面が略面一に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法。
【請求項１３】
前記部材として、少なくとも底板と、該底板に接合される複数の側板と、を用いるとともに、
前記底板には、前記減圧容器の側壁の下部を構成する壁体が一体的に設けられており、
複数の前記側板の全部または一部は、その端部が折曲した形状を有している、請求項１２に記載の減圧容器の製造方法。
【請求項１４】
端部が折曲形成された部材と平板とを含む複数の部材を用い、前記端部が折曲形成された部材と前記平板とにより隅を形成するとともに、互いに隣接する３つの部材により形成される接合部が前記隅から外れた位置に形成されるように各部材を接合して筐体を組立てる工程と、
前記筐体の内側において、前記接合部をシールする工程と、
を含む、減圧容器の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２００７−３０９３８２（Ｐ２００７−３０９３８２Ａ）
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１３７７０９（Ｐ２００６−１３７７０９）
【出願日】平成１８年５月１７日（２００６．５．１７）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月１７日（２００６．５．１７）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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