【課題】精度良く且つ容易に加工を行うことが出来るにもかかわらず、シール効率を高めることができる、板状物用のシールユニットを提供する。
【解決手段】下側部材３０の上面３１を上側部材２０の下面２４に密着させ、且つ下側部材３０の背面３４を取り付け板１０の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットＳＵが組み立てられる。このとき、下側部材３０の凹部３２と、上側部材２０の下面２４とで囲われる空間が、帯金Ｗが通過する開口ＡＰとなる。 （もっと読む）

【課題】極高真空領域まで真空排気される真空容器のシール材としてエラストマー素材のシール材を使用することができる真空容器を提供する。
【解決手段】２分割される真空容器１２の合せ面にシール材２０を有して気密に保持される真空容器１２であって、合せ面の真空容器の内側にラビリンス形成装置を備え、ラビリンス形成装置２２は、凹部２３が形成された凹部材２３と、凹部２３ａの内面と僅かな隙間を有して配置される凸部２５を有する凸部材２５ａと、凹部材２３ａに凸部材２５ａを近づける方向に動作させる上下動機構２８とを有する。 （もっと読む）

【課題】 蓋の開閉に関しては、エアーシリンダーやボールネジによるものであったり、または配慮されていなかったりと、簡便的な方法によるものはなかった。 また、Ｏリングを圧縮するのに際して、Ｏリングに接している二つの面が、平行した面の状態であるように配慮されていなかった。
【解決手段】 本体１１と蓋１２より成り、本体１１と蓋１２の間をＯリング１５によって密閉している真空チャンバーであり、蓋１２は、一端を開閉手段１４によって本体１１と接続し、他端に蓋１２を持上げる取手１３を位置させたものであり、開閉手段１４は、蓋１２を閉じた時点で本体１１と蓋１２の間で平行な面を確保するものであり、更に本体１１内を真空引きした際には平行な面を確保しながらＯリング１５を圧縮した。 （もっと読む）

【課題】カソード等の重量物を搭載した蓋であってもシール部材に偏荷重をかけることがなく、真空装置の開閉部の気密を確実に保つことができる蓋開閉装置及びこの蓋開閉装置を備える真空装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の開口部１ｃに取付けられた蓋を開閉する蓋開閉装置は、開口部１ｃから蓋２を離間させる方向に直線運動させる蓋昇降装置と、開口部１ｃを開閉するように蓋２を回転させる蓋回転装置とを備えており、蓋昇降装置により蓋２を開口部から離間させた後に、蓋回転装置により蓋２を側方に回転させることができる。 （もっと読む）

【課題】可膨張式チャンバにおけるリークが生じた場合、可膨張式チャンバ内の流体が圧力により減圧チャンバ又は真空チャンバに流入することを防止しうる汎用的な装置を提供する。
【解決手段】本発明の閉塞装置は、可動に支持されている閉塞要素（１）と、貫通開口部（３）がチャンバウォールに適合するように構成されている基体（２）と、可膨張式チャンバ（６）を有し、閉位置において閉塞要素（１）とシート（４）との間に介在して閉塞用素（１）をシート（４）に対して密封する弾性シール部材（５）と、を備えている。弾性シール部材（５）が、可膨張式チャンバ（６）にリークが生じた場合に流体を受容する補助チャンバ（７）を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空装置を構成する部品間の真空シール、電気絶縁および間隔固定が同時に行われ、組立性および製造コストが従来例よりも改善できる真空シール用の接続構造を提供する。
【解決手段】真空シール用の接続構造１００Ｂは、真空装置を構成する導電性の部品２０、２１と、部品２０、２１間の気密性を確保できる環状のシール部１２と部品２０、２１間の間隔を固定できる環状のスペーサ部１１と、が一体に設けられた絶縁性のシール部材１０と、を備える。そして、シール部１２とスペーサ部１１との間において、環状の第１溝１３が、シール部材１０の主面に形成されている。更に、第１溝１３に連通する第２溝１４が、スペーサ部１１をスペーサ部１１の幅方向に貫通するよう、上記主面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れた圧力容器の密閉扉を得る。
【解決手段】可撓性を有する薄板部材９の片面に多数の梁部材１０が薄板部材９を横切る向きで隣接して並設されている圧力容器の密閉扉５において、薄板部材９に梁部材１０を中間部材を介すことなく固定して取り付けることにより、薄板部材９が減圧荷重を受けたとき、薄板部材９と梁部材１０との固定部分２０を挟んで生じる薄板部材９の変形を対称とさせ、薄板部材９と梁部材１０との固定部分２０の耐久性の向上を図れるようにした。 （もっと読む）

【課題】凹溝の内側面との確実な当接を維持させつつ、使用により摩耗しても気密性を保持できる圧力容器用パッキンを提供する。
【解決手段】容器本体に設けられた環状の凹溝に嵌挿され、凹溝の底部に付与される圧力に応じて進退が可能に設けられ、最も前進したとき扉に当接して圧力容器が気密となるよう構成された圧力容器用パッキン１が、容器本体に設けられた開口を閉止する扉に当接する前面２と、前面２の両側からそれぞれ後方に延出し幅方向に互いに離間している二つの側面３ａ，３ｂと、前面２に対向する後面４とを備え、側面３ａ，３ｂには後方に向けて所定のテーパ角ｂで拡幅して後面４に繋がり長手方向に延びるテーパ面３１が設けられており、後面４には後方に向けて所定のスリット角ａで開口し長手方向に延びるＶ溝４１が設けられており、凹溝に嵌挿されていない状態で、テーパ角ｂがスリット角ａよりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を新たに設けることなく、扉を安全に開くことができるようにすること。
【解決手段】この圧力容器１は、被処理物を入れる処理槽２と、その処理槽２を閉じる密閉扉３とを有し、大気圧を超える圧力または大気圧を下回る圧力にて所定の処理を行う。そして、処理槽２内の圧力を減圧させる減圧手段となる真空ポンプ４と、処理槽２内の圧力を復圧させる復圧手段となる無菌空気弁５と、密閉扉３の開操作を制御する制御部６と、を有し、制御部６は、この装置の運転が停止した状態において、減圧手段４を動作させ、処理槽２内が所定圧力まで減圧した、または減圧手段４が所定時間、動作した、のいずれか一方が満足したことを検出すると、復圧手段５によって処理槽２内を復圧させ、処理槽２内を大気圧状態にしてから、密閉扉３の開操作を可能にすることとなる扉開制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の開口部の前面となる環状の前板に設けられるパッキン溝の加工作業を容易にするとともに加工設備の小型化を可能とすることによりコストの低減を図り、また、パッキン溝に不良があったても、廃棄部材を最小に抑えられるようにした密閉容器の密閉構造を得る。
【解決手段】 容器本体１の開口部２の前面となる環状の前板５に設けられたパッキン溝８内に密閉扉１２に向かって突出するパッキン部材１４が嵌入されている気密容器の密閉構造において、前板５に設けられた前記パッキン溝８は、前記前板５に、パッキン溝８を形成した環状のパッキン溝部材９を溶接して固定することにより設けた。 （もっと読む）

【課題】複数の板部材が摩擦攪拌接合法によって接合されてなる圧力容器において、容器の寸法精度を大幅に低下させることなく、高い気密性を実現することができる構成を得る。
【解決手段】複数の板部材１１，１１には、それぞれ、板部材同士が接合された状態で壁部１２の側面外方側に凹溝部１ａを構成する切り欠き溝部１１ａを形成する。この切り欠き溝部１１ａにおいて、横断面視で少なくとも一つの角部分にＲ部１１ｂを形成する。上記凹溝部１１ａ内に該凹溝部１１ａの内壁面に密着するように形成された柱状のスペーサ部材１２，１３を配置した状態で、上記板部材１１，１１同士の境界部分と該板部材１１及びスペーサ部材１２，１３の境界部分とを、該板部材１１の側面外方側及び上下面側で上記摩擦攪拌接合法によって接合する。 （もっと読む）

本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアアセンブリに関する。スリットバルブの開口を密閉するためにチャンバに対して押し付けられるスリットバルブドアは、スリットバルブの開口が縮むとき、チャンバと共に移動するので、スリットバルブドアとチャンバの間で押し付けられるＯリングは、スリットバルブドア及びチャンバと共に移動できる。従って、チャンバに対するＯリングの摩擦は、ほとんど起こらないかもしれない。摩擦がほとんど無いので、粒子はほとんど発生しないかもしれず、Ｏリングの寿命が延びるかもしれない。Ｏリングのより長い寿命によって、基板のスループットは増加するかもしれない。
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【課題】 分析装置における真空容器の蓋体による密閉を好適に行え、かつ開口部から容器本体内へのアクセスを容易化する。
【解決手段】 斜め上向きに開口する開口部１ａを真空容器１０１の容器本体１に設け、その開口１ａ部に対して蓋体２が、シール部材３を押圧変形させて開口部１ａを完全に閉止する閉止位置Ｐ１及びその閉止位置Ｐ１よりも上方であってシール部材３に接触又は近接する準閉止位置Ｐ２の間では上下方向に移動するとともに、その準閉止位置Ｐ２及びそこから水平に一定距離離間した中間位置Ｐ３の間では水平にスライド移動し、その中間位置Ｐ３及びそこから前記スライド方向とは異なる方向に一定距離離間した開放位置Ｐ４の間では上下左右前後いずれかの方向に移動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】常圧での使用を前提とした作業用機器を真空容器内に収納し、作業用機器の目的作業を真空雰囲気で実行することにより、常圧では得られない作業効果を得る。
【解決手段】真空機構11に接続して内部を真空とする真空容器1内に、この真空容器1外に設けた動力源4との接続部3を形成し、真空容器1内に収納する作業用機器2を動力源4と接続可能とする。常圧での使用を前提とした作業用機器2を、上記真空容器1内に収納して動力源4と接続することにより、作業用機器2の目的作業を真空雰囲気で実行可能とする。 （もっと読む）

【課題】 真空封止によって気密封止空間を形成する部品に変形が生じてもレンズ系とデバイスの相対距離、もしくは相対角度を正確に所望の値に配置することにより、光学信号の劣化を抑え、歩留まりを向上させ安価な真空封止装置を提供する。
【解決手段】 光学素子１１を有するリッド１０と、デバイス３が実装されるダイアタッチ面4を有するパッケージと、を接合することによって形成される中空部２を、真空状態で気密封止する真空封止装置において中空部２内にリッド１０が変形することを抑制する変形抑制部材を配設する。 （もっと読む）

【課題】複合材料を製作する過程で、複合材料のガス抜き及び固化を行う間、複合材料を所定位置に保持する。
【解決手段】本発明の複合材料用の真空工具装置は、複合材料の周縁部を取り囲む大きさのフレームと、複合材料の上面及び下面と接触する大きさの一対のプランジャと、フレームに取付けられた閉込めシートであって、フレームと協働してプランジャ及び複合材料を収容する空洞を形成する閉込めシートと、空洞を真空排気すべく該空洞に連通されている少なくとも一つの真空排気ポートと、を有し、閉込めシートに加えられる大気圧及びプランジャの塊(mass)が前記真空排気の間前記複合材料を保持するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバにおいて、高い密閉性及び高真空性を維持しつつ軽量化を図る。
【解決手段】壁部材１３等で構成され、開口１３ａを有するチャンバ本体１０と、前記開口１３ａを閉塞可能な蓋部材２０と、を備えている。壁部材１３等及び蓋部材２０のうち少なくとも一方は、前記チャンバ本体１０の内外方向に延設された壁３０ｂ及びこの壁３０ｂによって仕切られた空洞部３０ａを有するハニカム構造材３０を備えている。ハニカム構造材３０の表面のうち、チャンバ本体１０の内面及び外面を覆う板部材３１、３２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、中空体（４２）の内壁上にコーティングするか、または、内壁に関して材料除去するためのプラズマ支援化学気相堆積方法に関する。
【解決手段】 その方法は、ガスランス（４４）を中空体（４２）内に導入すること、および、電気的無線周波数フィールドをＲＦ電極（４１）に印加することによって、キャビティプラズマ（４５）を形成して、ガスランスの先端に配置されたプラズマ雲を形成することを含む。 （もっと読む）

【課題】 複数の板材を接合することにより構成され、接合部の気密性が十分に確保された減圧容器を提供する。
【解決手段】 減圧容器において、底板７３の壁部７３ａと、側板７４ｃまたは側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊａｃ，Ｊａｄ、側板７４ｃと側板７４ｄとにより形成される接合部Ｊｃｄは、それぞれ両側の内壁面が略面一になるように形成されている。そして、シール部材８０を押え具９０により各接合部に押圧固定することにより、減圧容器の気密性が確保される。 （もっと読む）

【課題】デシケータ内部を二つの半球からなる完全な球状にすることで、乾燥効率を改善する。
【解決手段】
球状真空乾燥機は、二つのほぼ同一のシェルから成っており、シェルは係合領域において互いに連結される。受容部及び連結部が、各半球状シェルの係合領域に離間して配置されている。本発明のデシケータの組立てられた状態においては、各半球状シェルがもう一方のシェルに対して反転した位置に配置されており、一方の半球状シェルの連結部が、他方の受容部に互いに係合している。デシケータの内部に形成される作業チャンバはほぼ完全な球状になっているため、他の形状のデシケータと比較してより高い耐圧性を有し、その結果、乾燥効率の向上が実現する。 （もっと読む）