Oリングを可動合わせ部へ結合する溝付きTSSLドア
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアアセンブリに関する。スリットバルブの開口を密閉するためにチャンバに対して押し付けられるスリットバルブドアは、スリットバルブの開口が縮むとき、チャンバと共に移動するので、スリットバルブドアとチャンバの間で押し付けられるOリングは、スリットバルブドア及びチャンバと共に移動できる。従って、チャンバに対するOリングの摩擦は、ほとんど起こらないかもしれない。摩擦がほとんど無いので、粒子はほとんど発生しないかもしれず、Oリングの寿命が延びるかもしれない。Oリングのより長い寿命によって、基板のスループットは増加するかもしれない。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【0001】
(発明の分野)
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアに関する。
【0002】
(関連技術の説明)
基板をチャンバに導入するために、通常ドアが開けられ、基板は開口を通ってチャンバの内部容積内へ挿入される。その後、ドアは閉じられ、真空に引かれる。真空に引かれるとき、チャンバはそれ自体圧縮するかもしれず、それゆえ、開口はチャンバの動きによって縮まるかもしれない。チャンバが通気されると、チャンバは通常の状態に戻るかもしれない。
【0003】
チャンバが密閉されるとき、ドアはチャンバ壁の一部ではないので、静止を維持するかもしれない。密閉機構(通常、Oリング)は、ドアとチャンバ壁の間で圧縮される。その結果、チャンバは、圧縮又は通気するとき、ドア及びOリングに対して動き、Oリング及び潜在的にドアに対して擦れる。チャンバがOリングに擦れるので、Oリングは壊れるかもしれず、シール(密閉)が破られ、チャンバの真空保全を傷つけることになるかもしれない。更に、摩擦によって粒子が発生するかもしれない。
【0004】
従って、真空保全を維持しながら、粒子の発生を防ぐチャンバ及びドア装置に対する技術的必要性がある。
【発明の概要】
【0005】
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアアセンブリに関する。スリットバルブの開口を密閉するためにチャンバに対して押し付けられるスリットバルブドアは、スリットバルブの開口が縮むとき、チャンバと共に移動するので、スリットバルブドアとチャンバの間で押し付けられるOリングは、スリットバルブドア及びチャンバと共に移動できる。従って、チャンバに対するOリングの摩擦は、ほとんど起こらないかもしれない。摩擦がほとんど無いので、粒子はほとんど発生しないかもしれず、Oリングの寿命が延びるかもしれない。Oリングのより長い寿命によって、基板のスループットは増加するかもしれない。
【0006】
一実施形態では、スリットバルブドアは、第1本体、第2本体、及び第3本体を有するドア本体を含む。第2本体及び第3本体の夫々は、端部で第1本体と結合され、中央領域では第1本体から離れて配置されてもよい。また、スリットバルブドアは、第1本体と、第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間で結合される1以上のベローズを含んでもよく、これによって第2本体のシールと第3本体のシール間の距離は、スリットバルブドアの幅のどんな変化にも変化可能となる。
【0007】
別の一実施形態では、スリットバルブドアは、第1本体と、第1本体から隔てられる第2本体と、第2本体と第1本体の第1面との間で結合される第1ベローズとを含む。また、スリットバルブドアは、第2本体と第1本体の第2、第3、第4、第5面との間で結合される第2ベローズを含んでもよく、これによってエアポケットが第1本体と、第2本体と、第1ベローズと、第2ベローズの間に存在する。
別の一実施形態では、ロードロックチャンバはロードロックチャンバ本体を含む。少なくとも1つの開口が、ロードロックチャンバ本体の表面を貫通して形成されてもよい。また、ロードロックチャンバは、スリットバルブドアを含んでもよい。スリットバルブドアは、第1本体、第2本体、及び第3本体を有するドア本体を含んでもよい。第2本体及び第3本体の夫々は、端部で第1本体と結合され、中央領域では第1本体から離れて配置されてもよい。また、スリットバルブドアは、第1本体と第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間で結合される1以上のベローズと、スリットバルブドア及びチャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータとを含んでもよい。
【0008】
別の一実施形態では、ロードロックチャンバは、ロードロックチャンバ本体の表面を貫通して形成される少なくとも1つの開口を有するロードロックチャンバ本体を含む。また、ロードロックチャンバはスリットバルブドアを含む。スリットバルブドアは、第2面、第3面、第4面、第5面、第6面、及び第7面を有する第1本体を含む。また、スリットバルブドアは、第1本体から隔てられた第2本体と、第2本体と第7面との間で結合される第1ベローズとを含む。また、スリットバルブドアは、第2本体とロードロックチャンバ本体の第2、第3、第4、及び第5面との間で結合される第2ベローズを含み、これによって第1本体と、第2本体と、第1ベローズと、第2ベローズの間にエアポケットが存在する。また、ロードロックチャンバは、スリットバルブドア及びチャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータを含んでもよい。
【0009】
別の一実施形態では、スリットバルブドアが開示される。スリットバルブドアは、第1本体と、端部で第1本体と結合され、第1本体から隔てられる第2本体とを含み、これによって第1本体と第2本体の間に第1スリットが存在する。また、スリットバルブドアは、第1本体と第2本体の間で結合される第1ベアリングプレートと、第1本体と第2本体の間及び第1スリットの上方で結合される第1ベローズと、第1ベローズ、第1本体、及び第2本体に結合される第1クランプとを含む。
【0010】
別の一実施形態では、チャンバを排気する方法が開示される。この方法は、第1部分及び第2部分を有するスリットバルブドアとチャンバ本体との間でOリングを圧縮するステップと、チャンバ本体内を真空に引くステップと、チャンバ本体、Oリング、及び第1部分を第2部分に対して動かすステップを含む。
【図面の簡単な説明】
【0011】
本発明の上述した構成を詳細に理解することができるように、上記に簡単に要約した本発明のより具体的な説明を実施形態を参照して行う。実施形態のいくつかは添付図面に示されている。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施形態を示しているに過ぎず、従ってこの範囲を制限されていると解釈されるべきではなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を含み得ることに留意すべきである。
【0012】
【図1A】スリットバルブドアが取り外されている排気前のチャンバ100の概略前面図である。
【図1B】スリットバルブドアが取り外されている真空下における図1Aのチャンバ100の概略前面図である。
【図2A】〜
【図2F】チャンバ本体が真空下で反るとき、チャンバ本体と共に反るように使用されるかもしれないスリットバルブドアの概略断面図である。
【図3A】〜
【図3B】一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図3C】スリットバルブドア350の概略断面図である。
【図4A】チャンバを排気する前のスリットバルブドアの前面図である。
【図4B】チャンバを排気する前の別のスリットバルブドアの前面図である。
【図4C】容積のうちの1つを排気する前における2つの別々の容積を有する装置の断面図である。
【図4D】排気されたチャンバに結合されたスリットバルブドアの前面図である。
【図4E】排気されたチャンバに隣接するチャンバに結合されたスリットバルブドアの前面図である。
【図4F】大気用チャンバ容積に隣接する排気されたチャンバ容積を示すチャンバの概略断面図である。
【図5A】〜
【図5C】一実施形態に係るスリットバルブドアの断面図である。
【図5D】〜
【図5E】別の一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図5F】〜
【図5J】別の一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図6A】別の一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図6B】図6Aのスリットバルブドアの引き伸ばされた図である。
【図7】一実施形態に係るクラスタツールの概略上面図である。
【0013】
理解を促進するために、図面に共通する同一の要素を示す際には可能な限り同一の参照番号を使用している。一実施形態内において開示される要素を更なる説明なしに他の実施形態に有益に利用されてもよいと理解される。
【詳細な説明】
【0014】
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアアセンブリに関する。スリットバルブの開口を密閉するためにチャンバに対して押し付けられるスリットバルブドアは、スリットバルブの開口が縮むとき、チャンバと共に移動するので、スリットバルブドアとチャンバの間で押し付けられるOリングは、スリットバルブドア及びチャンバと共に移動できる。従って、チャンバに対するOリングの摩擦は、ほとんど起こらないかもしれない。摩擦がほとんど無いので、粒子はほとんど発生しないかもしれず、Oリングの寿命が延びるかもしれない。Oリングのより長い寿命によって、基板のスループットは増加するかもしれない。
【0015】
ロードロックドアの重大な問題のうちの1つは、ドアと関連するロードロックのシール面の相対運動である。合わせ面は、かなりの運動につながる真空サイクルを重ねるロードロックチャンバである。ドアはかなり堅く強硬であるので、そしてOリングはかなりの摩擦/浸食機構にかけられるので、短期間にシールを傷つけることにつながる多くの粒子が発生する可能性がある。本明細書内で議論される実施形態は、可動部と合うドアのOリング溝領域の可撓性を提供するので、相対運動は最小化される。可撓性は、ドアの長さを通して2つの長いスロットを提供することによって、そしてその後、真空保全を維持するためにフレキシブルなシーリングガスケット(ダイアフラム等)でスロットを覆うことによって達成される。ドアの機械的完全性を維持するために、フレキシブルな領域は、垂直運動を許容し、横運動を制限する一連のピン及びブッシングを介してドアの堅い部分に結合されてもよい。
【0016】
本明細書内で説明される実施形態は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社(Applied Materials Inc.)の子会社であるAKTアメリカ社(AKT America Inc.)から入手可能なトリプルスロットロードロックチャンバに関して以下で説明されるだろう。実施形態はロードロックチャンバに関して以下で説明されるが、実施形態は他のメーカーによって生産されたものを含む他の真空チャンバで実施されてもよいことが理解される。
【0017】
図1Aは、スリットバルブドアが取り外されている排気前のチャンバ100の概略前面図である。チャンバ100は、排気可能なロードロックチャンバ、処理チャンバ又はどんな一般的なチャンバであってもよい。チャンバ100は、チャンバ本体102の1以上の壁を貫通するスリットバルブ開口104を有するチャンバ本体102を含む。スリットバルブ開口104は、矢印「A」によって示される高さを有する。しかしながら、チャンバ100が排気されるとき、スリットバルブ開口104は縮むかもしれない。
【0018】
図1Bは、スリットバルブドアが取り外されている真空下における図1Aのチャンバ100の概略前面図である。図示されるように、チャンバ本体102は、線106、108、112、110によって示される通常位置から矢印「B」によって示される距離動くので、スリットバルブ開口104は、中央で狭まる。チャンバ本体102が真空下で反るとき、スリットバルブ開口104の中央領域にはサポートが無いので、チャンバ本体102はスリットバルブ開口104の中央でより狭まる。大面積チャンバ(約1平方メートルを超える面積を有する基板を処理する大きさに作られたチャンバ等)に対して、反りは極めて著しいかもしれない。もしもスリットバルブドアが動かないならば、チャンバは動くので、スリットバルブドア(図示せず)は、チャンバ本体102に対して擦れ、粒子を発生させるかもしれない。
【0019】
図2A〜2Fは、チャンバ本体が真空下で反るとき、チャンバ本体と共に反るように使用されるかもしれないスリットバルブドアの概略断面図である。図2Aに示される実施形態では、スリットバルブドア200は、その回転軸周りに回転ハンドル208を回転させることによって作動されてもよい。回転ハンドル208はカップリングハンドル210によってスリットバルブドア200の中央本体202に結合されてもよい。
【0020】
スリットバルブドア200は、第1本体202、第2本体204、第3本体206を含む。一実施形態では、第1本体202と第2及び第3本体204、206は、端部で共に結合され、中央領域で離れて配置される別々の部材を含む。別の一実施形態では、第1本体202と第2及び第3本体204、206は、中央領域で離れて配置される材料の単一部材を含む。ロッド214は、第2及び第3本体204、206の夫々と第1本体202との間で結合されてもよい。望まれるならば、キャップ部218が、ロッド214の上方の第2及び第3本体204、206に存在してもよい。ロッド214は第1本体202に固定して結合されてもよく、しかしながら第2及び第3本体204、206にはスライド可能に結合されてもよく、これによって第2及び第3本体204、206が第1本体202に対して動くとき、ロッド214は第2及び第3本体204、206に対して静止を維持する。第2及び第3本体204、206は、第1本体202に対してスライドし動くことができるので、チャンバ内が真空に引かれるとき、第2及び第3本体204、206は、第1本体202により近くに動く。第2及び第3本体204、206に結合されるOリング220が、チャンバを密閉するためにチャンバ壁に押し付けられるので、第2及び第3本体204、206はスライドするかもしれない。チャンバがその通常位置に対して動く又は反るとき、Oリング220も、それゆえ、チャンバ壁に結合される第2及び第3本体204、206も動く又は反るだろう。従って、ロッド214が静止を維持している間、第2及び第3本体204、206は、第1本体202に対して、及び第1本体202により近く又は第1本体202からより遠く離れてスライドし動く。図2Aは、第2及び第3本体204、206が第1本体202により近く圧縮されたスリットバルブドア200を示す。図2Dは、第2及び第3本体204、206が第3本体202により近く圧縮されないスリットバルブドア200を示す。ブッシング216は、第2及び第3本体204、206とロッド214との間に存在してもよく、これによって第2及び第3本体204、206は、可能な限り小さな摩擦で動くことができる。一実施形態では、ブッシング216は、ポリテトラフルオロエチレンを含んでもよい。ロッド214は、スリットバルブドア200に沿って隔てられてもよい。一実施形態では、第1本体202、第2及び第3本体204、206、ロッド214、及びキャップ218の夫々は、金属材料を含む。別の一実施形態では、第1本体202、第2及び第3本体204、206、ロッド214、及びキャップ218は、アルミニウムを含む。
【0021】
スリットバルブドア200が処理チャンバを確実に密閉できるように、ベローズ212が真空環境に向き合うスリットバルブドア200の側に存在してもよい。第2及び第3本体204、206が第1本体202により近く動くとき、ベローズ212は圧縮するかもしれない。同様に、第2及び第3本体204、206が第1本体202からより遠く離れて動くとき、ベローズ212は広がるかもしれない。ベローズ212は、真空を維持可能な真空ベローズであってもよく、これによって真空環境はベローズ212によって傷つけられない。真空側のベローズ212は、ロッド214及びブッシング216を真空環境から隔離し、その結果、ブッシング216及びロッド214の摩擦によって発生するいかなる粒子も真空環境に達すること及び潜在的に基板を汚染することから防止されるかもしれない。
【0022】
稼動中、スリットバルブドア200は、Oリング220に真空チャンバとの接触がもたらされるチャンバに対する場所内へ回転される。その後、真空チャンバ内は真空に引かれる。真空に引かれるとき、Oリング220とそれ故第2及び第3本体204、206は、第1本体に対して真空チャンバ本体と共に動く。そのように動く際に、第2及び第3本体204、206は、第1本体202及びロッド214に対して動くかもしれない。更に、ベローズ212は圧縮する。従って、第2及び第3本体204、206、ブッシング216、及びキャップ部218はすべて、第1本体202に対して動く。真空チャンバに通気するとき、第2及び第3本体204、206は、第1本体202及びロッド214に対して再び動く。しかしながら、通気の間、第2及び第3本体204、206、ブッシング216、及びキャップ部218はすべて、第1本体202及びロッド214から遠くに動く。更に、ベローズ212は広がる。その後、スリットバルブドア200は、真空チャンバから遠くに動かされてもよい。図2Bに示される実施形態では、ベローズ232、234は、スリットバルブドア230の真空側及び反対側の両方に存在する。図2Bは、第2及び第3本体が第1本体により近く圧縮されたスリットバルブドア230を示す。図2Eは、端部部材が第1本体により近く圧縮されないスリットバルブドア230を示す。
【0023】
図2Cにおいて、スリットバルブドア250の第1本体252は、スリットバルブドア250の両側にあるベローズ258、260によって作られるエアギャップ264によって、第2及び第3本体254、256から隔てられる。第2及び第3本体254、256が第1部材252に向かって圧縮するとき、エアギャップ264内に存在している空気は、フィルタ262を通ってエアギャップ264から外へ通気される。同様に、第2及び第3本体254、256が第1部材252から遠くへ広がるとき、フィルタ262は、空気がエアギャップ264に入るのを可能にする。図2Cは、第2及び第3本体254、256が第1本体252により近く圧縮されたスリットバルブドア250を示す。図2Fは、第2及び第3本体254、256が第1本体252により近く圧縮されないスリットバルブドア250を示す。
【0024】
図3A〜3Bは、一実施形態に係るスリットバルブドア300の等角図である。スリットバルブドア300は、シャフト302及びサポート/マウント304に結合される。シャフト302は、スリットバルブドア300を旋回させるためにその回転軸周りに回転する。カップリングハンドルは、シャフト302及びスリットバルブの第1本体306に結合される。従って、第2及び第3本体308、310が、第1本体306に向かって圧縮し、及び第1本体306から遠くへ広がるとき、サポート/マウント304は、中央本体306と共に静止を維持する。第2及び第3本体308、310は、端部312、314で第1本体306に結合され、これによって第1本体306と第2及び第3本体308、310は、1つの単一部品材料を含む。一実施形態では、1つの単一部品材料はアルミニウムを含む。第2及び第3本体308、310は、排気及び通気の間に第1本体306に対して圧縮する及び/又は膨張するかもしれない第2及び第3本体308、310の領域内の空間316、318によって、第1本体306から隔てられてもよい。スリットバルブドア300に沿って、いくつかのロッド318位置がある。
【0025】
図3Cは、チャンバ本体が反るとき、スリットバルブドア350の一部がチャンバ本体と共に動くのを可能にする上側及び下側スロット352を有するスリットバルブドア350の概略断面図である。ベローズ354は、スロット352の上に配置され、クランプ356によって適所に保持されてもよい。クランプ356及びベローズ354は、チャンバ内部の中へ又はチャンバ内部から外へ向いていてもよい。
【0026】
図4Aは、チャンバを排気する前のスリットバルブドア400の前面図である。図4Bは、チャンバを排気する前のスリットバルブドア416の前面図である。図4Cは、ロードロック装置404を排気する前の2つの分離され周囲から隔離された容積420、422を有するロードロックチャンバ404の断面図である。図4Dは、排気されたチャンバ容積420に結合されたスリットバルブドア400の前面図である。図4Eは、排気されたチャンバ容積420に隣接するチャンバ容積422に結合されたスリットバルブドア416の前面図である。図4Fは、容積420を排気した後の装置404の断面図である。図4Aに示されるように、中央部材と端部部材(即ち、中央部材から隔てられた部材)の間のギャップ402は、矢印「E」によって示される。ギャップ402は、全ギャップ402に対して、端部部材と中央部材の間に実質的に一定の距離を形成する。排気前に、ドア400用のベローズ414は中間位置にある。同様に、容積422を密閉するドア416用のベローズ418も中間位置にある。
【0027】
図4Bに示されるスリットバルブドア416は、図4Aに示されるスリットバルブドア400と同様である。端部部材と中央部材の間のギャップ424、426は、矢印「I」によって示される。ギャップ424、426は、ギャップ424、426の全体に対して、端部部材と中央部材の間に実質的に一定の距離を形成する。
【0028】
スリットバルブドア400が装置404に結合され、容積420が排気されるとき、ロードロックチャンバ404の壁406、408は、線「G」、「H」で示されるそれらの通常位置から圧縮され、矢印「F」によって示されるようにスリットバルブドア400のギャップ402が圧縮する原因となるので、端部部材と中央部材の間の距離は、ギャップ402の端部410からギャップ402の中央412まで徐々に減少する。ドア400のベローズ414は、図4Fに示されるように圧縮する。壁408が排気された容積420へ向かって反るので、その結果、ドア416は、図4Eで示されるように引き伸ばされた状態にベローズ418を広げる。
【0029】
大気圧の容積422に対して、スリットバルブドア416は、矢印「J」によって図示されるように、上部ギャップ424用のベローズ418を広げ、従って引き伸ばし、一方で、矢印「K」によって図示されるように、下部ギャップ426は、相対的に不変を維持する。しかしながら、ギャップ426は、ギャップ424と同じくらい引き伸ばされるかもしれない。一実施形態では、ギャップ426は、ギャップ424ほど引き伸ばされないかもしれない。一実施形態では、ギャップ426は不変を維持するので、ギャップ426は、矢印「I」によって表される距離に実質的に等しい、矢印「K」によって表される距離によって分離される。ギャップ424は反ったチャンバに直接隣接しており、一方ギャップ426は反らないかもしれない壁に直接隣接しているので、ギャップ424は広がる。ギャップ402、424、426の膨張又は圧縮は、端部部材が中央部材に対して動いていることを意味する。同様に、Oリング428、430、432、434は、中央部材に対して動く。Oリング428、430、432、434は、実質的にギャップ402、424、426と同一に形成されるが、わずかにより大きい。従って、Oリング428、430、432、434の形状は、ギャップ402、424、426の形状をまねている。また、最も多くの動きが起こるギャップ402、424、426の領域は、中央部材に対して最も多くの動きを有するOリング428、430、432、434の領域であるだろう。Oリング428、430、432、434は、反っているチャンバ壁及びスリットバルブドア400、416の可動部と共に動くので、Oリング428、430、432、434は、反っているチャンバ壁又はスリットバルブドア400、416の動く部分に対して動かない。従って、最少量の動き又は動きが起こらないギャップ402、424、426の位置は、Oリング428、430、432、434に対して最少量の動き又は動きが起こらないことを経験するだろう。別の方法では、Oリング428、430、432、434の長手側は動き、一方、Oリング428、430、432、434の短手側はほとんど又は全く動かないだろう。
【0030】
図5A〜5Cは、一実施形態に係るスリットバルブドア500の断面図である。スリットバルブドア500は、第1本体502及び第2本体504を含んでもよい。Oリング506は、スリットバルブドア500がチャンバを密閉可能にする第2本体504に結合されてもよい。第2本体504は、第1本体502に対して可動な第1本体502から分離する部材を含んでもよい。第2本体504は、チャンバに対して押し付けられると、チャンバと共に及び第1本体502に対して動くかもしれない。従って、Oリング506は、チャンバに対して静止を維持するかもしれず(しかしながら、第1本体に対して動く)、スリットバルブドア500及びチャンバのどの部分も、互いに擦れない。チャンバと共に第2本体504が動くため、基板を汚染するかもしれない発生粒子量が、削減されるかもしれない。
【0031】
第2本体504は、第2本体504と第1本体502の間に配置されるベアリング514に沿ってスライドしてもよい。一実施形態では、ベアリング514はポリエーテルエーテルケトンを含んでもよい。別の一実施形態では、ベアリング514はポリテトラフルオロエチレンを含んでもよい。
【0032】
可動第2本体504は、第1本体502に対して動くので、基板を汚染する可能性のある粒子を作り出すかもしれない。従って、可動部のため何らかの粒子が発生するかもしれないスリットバルブドア500の位置は、基板及び真空環境への曝露から密閉されてもよい。粒子が発生するかもしれないそのような領域の1つは、第2本体504とベアリング514の間の界面である。形成された粒子は、第2本体504と第1本体502の間の空洞518内に落ちるかもしれない。従って、ベローズ510は、第2本体504及び第1本体に固定されてもよく、これによってスリットバルブドア500の密閉側から空洞518を隔離する。ベローズ510は、1以上の固定機構516によって第2本体504及び第1本体502に結合されてもよい。
【0033】
第2本体504を第1本体502に追加的に結合するために、第2ベローズ508がスリットバルブドア500の上部に沿って第2本体504と第1本体502の間で結合されてもよい。1以上の固定機構512が、ベローズ508を第1本体502及び第2本体504と結合するために使用されてもよい。
【0034】
空洞518は、スリットバルブドア500の圧力側とほぼ同じ圧力に維持されてもよい。一実施形態では、スリットバルブドア500の圧力側の圧力は、大気圧であってもよい。空洞518をスリットバルブドア500の圧力側とほぼ同じ圧力に維持することによって、スリットバルブドア500が密封されるチャンバを通気する又は排気するときでさえ、第2本体504は第1本体502に対してその位置を維持するかもしれない。第2本体504における支配的な力は、チャンバのシール面とのOリング506接触からくるかもしれない。等しい圧力条件を達成するために、上部ベローズ508は、緻密な多孔性材料を含んでもよい。一実施形態では、小孔は約1マイクロメータであってもよい。小孔によって、可動部で発生する何らかの粒子を含みながら、空洞518は通気できるかもしれない。一実施形態では、上部ベローズ508は固体エラストマーを含んでもよいが、通気可能なフィルタプラグは圧力側から空洞518内に接続してもよい。
【0035】
図5Bは、ベアリング514を介して第2本体504を第1本体502に結合する固定機構520を示す。固定機構520は、第2本体504内に形成されるスロット522内に配置されてもよい。チャンバが排気され、角部材が動くとき、固定機構520は第2本体504に対して静止を維持し、スロット522は固定機構520に対して動く。図5Cは、置き換えられた状態における第2本体504を示す。図示されるように、スロット522は、固定機構520に対して動かされる。
【0036】
図5D及び5Eは、一実施形態に係るスリットバルブドア530の等角図である。図5Dは、シャフト532及びサポート/マウント534が位置するスリットバルブドア530の非密閉側を示す。スリットバルブドア530は、チャンバに対して及びチャンバから離れてスリットバルブドア530を配置するために、シャフト532の周りで回転させてもよい。サポート/マウント534は、第1本体536にシャフト532を結合する。
【0037】
図5Eは、スリットバルブドア530の密閉側を示す。図示されるように、第2本体538は、第1本体536側のかなりの長さに広がっていてもよい。第2本体538は、第1本体536側の全面に広がり得ることが理解される。更に、第2本体538は、チャンバが動くときにスリットバルブドア530が動くと予想される領域に広がることができる。図5Eから見ることができるように、Oリング540は、第2本体538及び第1本体536の両方を横切る。第2本体538が第1本体536側の全長ほど広がっていないとき、追加ベローズが、第2本体538及び第1本体536の垂直な界面に夫々必要かもしれない。一実施形態では、垂直な界面用のベローズは、単一ベローズである。
【0038】
図5F〜5Jは、別の一実施形態に係るスリットバルブドア550の等角図である。スリットバルブドア550は、シール面に対してOリング554を圧縮するためにロッド552の周りに回転又は旋回してもよい。スリットバルブドア550は、内部に形成される2つの実質的に平行なスリット578を有するドア本体576を含み、これによってスリットバルブドア550が密閉されるチャンバが動くとき、スリットバルブドア550の一部は動くことができる。一実施形態では、チャンバの内側に面する表面上のスリット578は、クランプ556、562によって適所に保持されるベローズ558、560で覆われている。上述のベローズと同様に、ベローズ558、560は、スリットバルブドア550の動きから発生するかもしれない粒子が、処理領域に入り、基板を汚染するのを防ぐ。
【0039】
また、スリットバルブ本体の上面580は、可動面の間でスロット582内のベアリングプレート568を保持するために、クランプ566によって覆われるベローズ564を有してもよい。ベアリングプレート568は、弓形を作るためにベアリングプレート568の端部から中央まで変化する厚みを有してもよい。スリットバルブドア550がチャンバに密閉されるとき、第2本体586は第1本体584に対して動き、ベアリングプレート568に沿って動く。第2本体586は、その端部で第1本体584に結合される。第1本体584は、多孔質媒体572を備える中央リングを覆うためのカバー570を有し、これによって粒子が発生するかもしれない経路574に空気又はガスを入れる又は出すことができる。粒子は空洞内で捕らえられるだろう。そして、空洞内の圧力はドアの圧力側と同じに保つことができる。これは、上述の通気性フィルタプラグの一例である。
【0040】
図6Aは、一実施形態に係るスリットバルブドア600の等角図である。図6Bは、図6Aのスリットバルブドア600の引き伸ばされた図である。スリットバルブドア600は、第1本体602と、第2本体608と第1本体602の間にベローズ604を結合するためのシールキャップ606と、スリットバルブドア600をチャンバへ密閉するためのOリング610と、第1本体602と第2本体608の間にベローズを結合するためのシールキャップ612と、チャンバが排気されるとき、第1本体602に対して第2本体608が動くことを可能にするスライドパッド616とを含む。一実施形態では、スライドパッド616は、ポリエーテルエーテルケトンを含んでもよい。別の一実施形態では、スライドパッド616は、ポリテトラフルオロエチレンを含んでもよい。1以上のスライドパッドは、第1本体602と第2本体608の間で隔てられてもよい。
【0041】
図7は、真空搬送チャンバ706の一実施形態、1以上のロードロックチャンバ704、及び複数の処理チャンバ708を有する例証的な処理システム700(線形又はクラスタツール等)の平面図である。ファクトリインタフェース702は、ロードロックチャンバ704によって搬送チャンバ706に結合され、複数の基板格納カセット714及び大気用ロボット712を含む。大気用ロボット712は、カセット714とロードロックチャンバ704の間で基板716の搬送を促進する。
【0042】
基板処理チャンバ708は、搬送チャンバ706に結合される。基板処理チャンバ708は、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、又は他のデバイスを製造するのに適した、化学気相成長プロセス、物理気相成長プロセス、エッチングプロセス、又は他の大面積基板製造プロセスのうちの少なくとも1つを実施するために構成されてもよい。概して、大面積基板は、少なくとも1平方メートルの面積を有し、ガラス又はポリマーシートでできていてもよい。
【0043】
概して、ロードロックチャンバ704は、1以上の基板格納スロットを内部に画定する周囲から隔離可能な少なくとも1つの空洞を含む。いくつかの実施形態では、周囲から隔離可能な複数の空洞が提供されてもよく、夫々は1以上の基板格納スロットを内部に画定する。ロードロックチャンバ704は、ファクトリインタフェース702の周囲又は大気環境と、搬送チャンバ706内で維持される真空環境の間に、基板716を搬送するために運転される。
【0044】
真空ロボット710は、ロードロックチャンバ704と処理チャンバ708の間における基板716の搬送を促進するために搬送チャンバ706内に配置される。真空ロボット710は、真空条件下で基板を搬送するのに適したどんなロボットであってもよい。図7に示される実施形態では、真空ロボット710は、一般に、エンドエフェクタ762の位置を制御するために利用される1以上のモーター(図示せず)を収容するロボットベース760を含む極座標ロボット又はフロッグレッグ(カエル脚型)ロボットである。エンドエフェクタ762は、リンク機構764によってベース760に結合される。本明細書内で議論されるロードロックチャンバドアは、搬送チャンバ710から及びファクトリインタフェース702からもロードロックチャンバ704を密閉するために使用されてもよい。
【0045】
本発明は垂直指向型スリットバルブドアによって示されてきたが、本発明は、密閉位置にあるとき実質的に地面と平行な水平指向型ドアにも等しく適用されることが理解されるべきである。
【0046】
チャンバが排気される及び/又は通気されるとき、スリットバルブドアの一部がチャンバと共に動くことができることによって、スリットバルブドアとチャンバの間で発生する粒子の量は減少するかもしれず、その結果、基板汚染は軽減するかもしれない。
【0047】
上記は本発明の実施形態を対象としているが、本発明の他の及び更なる実施形態は本発明の基本的範囲を逸脱することなく創作することができ、その範囲は以下の特許請求の範囲に基づいて定められる。
【発明の背景】
【0001】
(発明の分野)
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアに関する。
【0002】
(関連技術の説明)
基板をチャンバに導入するために、通常ドアが開けられ、基板は開口を通ってチャンバの内部容積内へ挿入される。その後、ドアは閉じられ、真空に引かれる。真空に引かれるとき、チャンバはそれ自体圧縮するかもしれず、それゆえ、開口はチャンバの動きによって縮まるかもしれない。チャンバが通気されると、チャンバは通常の状態に戻るかもしれない。
【0003】
チャンバが密閉されるとき、ドアはチャンバ壁の一部ではないので、静止を維持するかもしれない。密閉機構(通常、Oリング)は、ドアとチャンバ壁の間で圧縮される。その結果、チャンバは、圧縮又は通気するとき、ドア及びOリングに対して動き、Oリング及び潜在的にドアに対して擦れる。チャンバがOリングに擦れるので、Oリングは壊れるかもしれず、シール(密閉)が破られ、チャンバの真空保全を傷つけることになるかもしれない。更に、摩擦によって粒子が発生するかもしれない。
【0004】
従って、真空保全を維持しながら、粒子の発生を防ぐチャンバ及びドア装置に対する技術的必要性がある。
【発明の概要】
【0005】
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアアセンブリに関する。スリットバルブの開口を密閉するためにチャンバに対して押し付けられるスリットバルブドアは、スリットバルブの開口が縮むとき、チャンバと共に移動するので、スリットバルブドアとチャンバの間で押し付けられるOリングは、スリットバルブドア及びチャンバと共に移動できる。従って、チャンバに対するOリングの摩擦は、ほとんど起こらないかもしれない。摩擦がほとんど無いので、粒子はほとんど発生しないかもしれず、Oリングの寿命が延びるかもしれない。Oリングのより長い寿命によって、基板のスループットは増加するかもしれない。
【0006】
一実施形態では、スリットバルブドアは、第1本体、第2本体、及び第3本体を有するドア本体を含む。第2本体及び第3本体の夫々は、端部で第1本体と結合され、中央領域では第1本体から離れて配置されてもよい。また、スリットバルブドアは、第1本体と、第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間で結合される1以上のベローズを含んでもよく、これによって第2本体のシールと第3本体のシール間の距離は、スリットバルブドアの幅のどんな変化にも変化可能となる。
【0007】
別の一実施形態では、スリットバルブドアは、第1本体と、第1本体から隔てられる第2本体と、第2本体と第1本体の第1面との間で結合される第1ベローズとを含む。また、スリットバルブドアは、第2本体と第1本体の第2、第3、第4、第5面との間で結合される第2ベローズを含んでもよく、これによってエアポケットが第1本体と、第2本体と、第1ベローズと、第2ベローズの間に存在する。
別の一実施形態では、ロードロックチャンバはロードロックチャンバ本体を含む。少なくとも1つの開口が、ロードロックチャンバ本体の表面を貫通して形成されてもよい。また、ロードロックチャンバは、スリットバルブドアを含んでもよい。スリットバルブドアは、第1本体、第2本体、及び第3本体を有するドア本体を含んでもよい。第2本体及び第3本体の夫々は、端部で第1本体と結合され、中央領域では第1本体から離れて配置されてもよい。また、スリットバルブドアは、第1本体と第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間で結合される1以上のベローズと、スリットバルブドア及びチャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータとを含んでもよい。
【0008】
別の一実施形態では、ロードロックチャンバは、ロードロックチャンバ本体の表面を貫通して形成される少なくとも1つの開口を有するロードロックチャンバ本体を含む。また、ロードロックチャンバはスリットバルブドアを含む。スリットバルブドアは、第2面、第3面、第4面、第5面、第6面、及び第7面を有する第1本体を含む。また、スリットバルブドアは、第1本体から隔てられた第2本体と、第2本体と第7面との間で結合される第1ベローズとを含む。また、スリットバルブドアは、第2本体とロードロックチャンバ本体の第2、第3、第4、及び第5面との間で結合される第2ベローズを含み、これによって第1本体と、第2本体と、第1ベローズと、第2ベローズの間にエアポケットが存在する。また、ロードロックチャンバは、スリットバルブドア及びチャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータを含んでもよい。
【0009】
別の一実施形態では、スリットバルブドアが開示される。スリットバルブドアは、第1本体と、端部で第1本体と結合され、第1本体から隔てられる第2本体とを含み、これによって第1本体と第2本体の間に第1スリットが存在する。また、スリットバルブドアは、第1本体と第2本体の間で結合される第1ベアリングプレートと、第1本体と第2本体の間及び第1スリットの上方で結合される第1ベローズと、第1ベローズ、第1本体、及び第2本体に結合される第1クランプとを含む。
【0010】
別の一実施形態では、チャンバを排気する方法が開示される。この方法は、第1部分及び第2部分を有するスリットバルブドアとチャンバ本体との間でOリングを圧縮するステップと、チャンバ本体内を真空に引くステップと、チャンバ本体、Oリング、及び第1部分を第2部分に対して動かすステップを含む。
【図面の簡単な説明】
【0011】
本発明の上述した構成を詳細に理解することができるように、上記に簡単に要約した本発明のより具体的な説明を実施形態を参照して行う。実施形態のいくつかは添付図面に示されている。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施形態を示しているに過ぎず、従ってこの範囲を制限されていると解釈されるべきではなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を含み得ることに留意すべきである。
【0012】
【図1A】スリットバルブドアが取り外されている排気前のチャンバ100の概略前面図である。
【図1B】スリットバルブドアが取り外されている真空下における図1Aのチャンバ100の概略前面図である。
【図2A】〜
【図2F】チャンバ本体が真空下で反るとき、チャンバ本体と共に反るように使用されるかもしれないスリットバルブドアの概略断面図である。
【図3A】〜
【図3B】一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図3C】スリットバルブドア350の概略断面図である。
【図4A】チャンバを排気する前のスリットバルブドアの前面図である。
【図4B】チャンバを排気する前の別のスリットバルブドアの前面図である。
【図4C】容積のうちの1つを排気する前における2つの別々の容積を有する装置の断面図である。
【図4D】排気されたチャンバに結合されたスリットバルブドアの前面図である。
【図4E】排気されたチャンバに隣接するチャンバに結合されたスリットバルブドアの前面図である。
【図4F】大気用チャンバ容積に隣接する排気されたチャンバ容積を示すチャンバの概略断面図である。
【図5A】〜
【図5C】一実施形態に係るスリットバルブドアの断面図である。
【図5D】〜
【図5E】別の一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図5F】〜
【図5J】別の一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図6A】別の一実施形態に係るスリットバルブドアの等角図である。
【図6B】図6Aのスリットバルブドアの引き伸ばされた図である。
【図7】一実施形態に係るクラスタツールの概略上面図である。
【0013】
理解を促進するために、図面に共通する同一の要素を示す際には可能な限り同一の参照番号を使用している。一実施形態内において開示される要素を更なる説明なしに他の実施形態に有益に利用されてもよいと理解される。
【詳細な説明】
【0014】
本明細書内で開示される実施形態は、概して、チャンバ内の開口を密閉するためのスリットバルブドアアセンブリに関する。スリットバルブの開口を密閉するためにチャンバに対して押し付けられるスリットバルブドアは、スリットバルブの開口が縮むとき、チャンバと共に移動するので、スリットバルブドアとチャンバの間で押し付けられるOリングは、スリットバルブドア及びチャンバと共に移動できる。従って、チャンバに対するOリングの摩擦は、ほとんど起こらないかもしれない。摩擦がほとんど無いので、粒子はほとんど発生しないかもしれず、Oリングの寿命が延びるかもしれない。Oリングのより長い寿命によって、基板のスループットは増加するかもしれない。
【0015】
ロードロックドアの重大な問題のうちの1つは、ドアと関連するロードロックのシール面の相対運動である。合わせ面は、かなりの運動につながる真空サイクルを重ねるロードロックチャンバである。ドアはかなり堅く強硬であるので、そしてOリングはかなりの摩擦/浸食機構にかけられるので、短期間にシールを傷つけることにつながる多くの粒子が発生する可能性がある。本明細書内で議論される実施形態は、可動部と合うドアのOリング溝領域の可撓性を提供するので、相対運動は最小化される。可撓性は、ドアの長さを通して2つの長いスロットを提供することによって、そしてその後、真空保全を維持するためにフレキシブルなシーリングガスケット(ダイアフラム等)でスロットを覆うことによって達成される。ドアの機械的完全性を維持するために、フレキシブルな領域は、垂直運動を許容し、横運動を制限する一連のピン及びブッシングを介してドアの堅い部分に結合されてもよい。
【0016】
本明細書内で説明される実施形態は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社(Applied Materials Inc.)の子会社であるAKTアメリカ社(AKT America Inc.)から入手可能なトリプルスロットロードロックチャンバに関して以下で説明されるだろう。実施形態はロードロックチャンバに関して以下で説明されるが、実施形態は他のメーカーによって生産されたものを含む他の真空チャンバで実施されてもよいことが理解される。
【0017】
図1Aは、スリットバルブドアが取り外されている排気前のチャンバ100の概略前面図である。チャンバ100は、排気可能なロードロックチャンバ、処理チャンバ又はどんな一般的なチャンバであってもよい。チャンバ100は、チャンバ本体102の1以上の壁を貫通するスリットバルブ開口104を有するチャンバ本体102を含む。スリットバルブ開口104は、矢印「A」によって示される高さを有する。しかしながら、チャンバ100が排気されるとき、スリットバルブ開口104は縮むかもしれない。
【0018】
図1Bは、スリットバルブドアが取り外されている真空下における図1Aのチャンバ100の概略前面図である。図示されるように、チャンバ本体102は、線106、108、112、110によって示される通常位置から矢印「B」によって示される距離動くので、スリットバルブ開口104は、中央で狭まる。チャンバ本体102が真空下で反るとき、スリットバルブ開口104の中央領域にはサポートが無いので、チャンバ本体102はスリットバルブ開口104の中央でより狭まる。大面積チャンバ(約1平方メートルを超える面積を有する基板を処理する大きさに作られたチャンバ等)に対して、反りは極めて著しいかもしれない。もしもスリットバルブドアが動かないならば、チャンバは動くので、スリットバルブドア(図示せず)は、チャンバ本体102に対して擦れ、粒子を発生させるかもしれない。
【0019】
図2A〜2Fは、チャンバ本体が真空下で反るとき、チャンバ本体と共に反るように使用されるかもしれないスリットバルブドアの概略断面図である。図2Aに示される実施形態では、スリットバルブドア200は、その回転軸周りに回転ハンドル208を回転させることによって作動されてもよい。回転ハンドル208はカップリングハンドル210によってスリットバルブドア200の中央本体202に結合されてもよい。
【0020】
スリットバルブドア200は、第1本体202、第2本体204、第3本体206を含む。一実施形態では、第1本体202と第2及び第3本体204、206は、端部で共に結合され、中央領域で離れて配置される別々の部材を含む。別の一実施形態では、第1本体202と第2及び第3本体204、206は、中央領域で離れて配置される材料の単一部材を含む。ロッド214は、第2及び第3本体204、206の夫々と第1本体202との間で結合されてもよい。望まれるならば、キャップ部218が、ロッド214の上方の第2及び第3本体204、206に存在してもよい。ロッド214は第1本体202に固定して結合されてもよく、しかしながら第2及び第3本体204、206にはスライド可能に結合されてもよく、これによって第2及び第3本体204、206が第1本体202に対して動くとき、ロッド214は第2及び第3本体204、206に対して静止を維持する。第2及び第3本体204、206は、第1本体202に対してスライドし動くことができるので、チャンバ内が真空に引かれるとき、第2及び第3本体204、206は、第1本体202により近くに動く。第2及び第3本体204、206に結合されるOリング220が、チャンバを密閉するためにチャンバ壁に押し付けられるので、第2及び第3本体204、206はスライドするかもしれない。チャンバがその通常位置に対して動く又は反るとき、Oリング220も、それゆえ、チャンバ壁に結合される第2及び第3本体204、206も動く又は反るだろう。従って、ロッド214が静止を維持している間、第2及び第3本体204、206は、第1本体202に対して、及び第1本体202により近く又は第1本体202からより遠く離れてスライドし動く。図2Aは、第2及び第3本体204、206が第1本体202により近く圧縮されたスリットバルブドア200を示す。図2Dは、第2及び第3本体204、206が第3本体202により近く圧縮されないスリットバルブドア200を示す。ブッシング216は、第2及び第3本体204、206とロッド214との間に存在してもよく、これによって第2及び第3本体204、206は、可能な限り小さな摩擦で動くことができる。一実施形態では、ブッシング216は、ポリテトラフルオロエチレンを含んでもよい。ロッド214は、スリットバルブドア200に沿って隔てられてもよい。一実施形態では、第1本体202、第2及び第3本体204、206、ロッド214、及びキャップ218の夫々は、金属材料を含む。別の一実施形態では、第1本体202、第2及び第3本体204、206、ロッド214、及びキャップ218は、アルミニウムを含む。
【0021】
スリットバルブドア200が処理チャンバを確実に密閉できるように、ベローズ212が真空環境に向き合うスリットバルブドア200の側に存在してもよい。第2及び第3本体204、206が第1本体202により近く動くとき、ベローズ212は圧縮するかもしれない。同様に、第2及び第3本体204、206が第1本体202からより遠く離れて動くとき、ベローズ212は広がるかもしれない。ベローズ212は、真空を維持可能な真空ベローズであってもよく、これによって真空環境はベローズ212によって傷つけられない。真空側のベローズ212は、ロッド214及びブッシング216を真空環境から隔離し、その結果、ブッシング216及びロッド214の摩擦によって発生するいかなる粒子も真空環境に達すること及び潜在的に基板を汚染することから防止されるかもしれない。
【0022】
稼動中、スリットバルブドア200は、Oリング220に真空チャンバとの接触がもたらされるチャンバに対する場所内へ回転される。その後、真空チャンバ内は真空に引かれる。真空に引かれるとき、Oリング220とそれ故第2及び第3本体204、206は、第1本体に対して真空チャンバ本体と共に動く。そのように動く際に、第2及び第3本体204、206は、第1本体202及びロッド214に対して動くかもしれない。更に、ベローズ212は圧縮する。従って、第2及び第3本体204、206、ブッシング216、及びキャップ部218はすべて、第1本体202に対して動く。真空チャンバに通気するとき、第2及び第3本体204、206は、第1本体202及びロッド214に対して再び動く。しかしながら、通気の間、第2及び第3本体204、206、ブッシング216、及びキャップ部218はすべて、第1本体202及びロッド214から遠くに動く。更に、ベローズ212は広がる。その後、スリットバルブドア200は、真空チャンバから遠くに動かされてもよい。図2Bに示される実施形態では、ベローズ232、234は、スリットバルブドア230の真空側及び反対側の両方に存在する。図2Bは、第2及び第3本体が第1本体により近く圧縮されたスリットバルブドア230を示す。図2Eは、端部部材が第1本体により近く圧縮されないスリットバルブドア230を示す。
【0023】
図2Cにおいて、スリットバルブドア250の第1本体252は、スリットバルブドア250の両側にあるベローズ258、260によって作られるエアギャップ264によって、第2及び第3本体254、256から隔てられる。第2及び第3本体254、256が第1部材252に向かって圧縮するとき、エアギャップ264内に存在している空気は、フィルタ262を通ってエアギャップ264から外へ通気される。同様に、第2及び第3本体254、256が第1部材252から遠くへ広がるとき、フィルタ262は、空気がエアギャップ264に入るのを可能にする。図2Cは、第2及び第3本体254、256が第1本体252により近く圧縮されたスリットバルブドア250を示す。図2Fは、第2及び第3本体254、256が第1本体252により近く圧縮されないスリットバルブドア250を示す。
【0024】
図3A〜3Bは、一実施形態に係るスリットバルブドア300の等角図である。スリットバルブドア300は、シャフト302及びサポート/マウント304に結合される。シャフト302は、スリットバルブドア300を旋回させるためにその回転軸周りに回転する。カップリングハンドルは、シャフト302及びスリットバルブの第1本体306に結合される。従って、第2及び第3本体308、310が、第1本体306に向かって圧縮し、及び第1本体306から遠くへ広がるとき、サポート/マウント304は、中央本体306と共に静止を維持する。第2及び第3本体308、310は、端部312、314で第1本体306に結合され、これによって第1本体306と第2及び第3本体308、310は、1つの単一部品材料を含む。一実施形態では、1つの単一部品材料はアルミニウムを含む。第2及び第3本体308、310は、排気及び通気の間に第1本体306に対して圧縮する及び/又は膨張するかもしれない第2及び第3本体308、310の領域内の空間316、318によって、第1本体306から隔てられてもよい。スリットバルブドア300に沿って、いくつかのロッド318位置がある。
【0025】
図3Cは、チャンバ本体が反るとき、スリットバルブドア350の一部がチャンバ本体と共に動くのを可能にする上側及び下側スロット352を有するスリットバルブドア350の概略断面図である。ベローズ354は、スロット352の上に配置され、クランプ356によって適所に保持されてもよい。クランプ356及びベローズ354は、チャンバ内部の中へ又はチャンバ内部から外へ向いていてもよい。
【0026】
図4Aは、チャンバを排気する前のスリットバルブドア400の前面図である。図4Bは、チャンバを排気する前のスリットバルブドア416の前面図である。図4Cは、ロードロック装置404を排気する前の2つの分離され周囲から隔離された容積420、422を有するロードロックチャンバ404の断面図である。図4Dは、排気されたチャンバ容積420に結合されたスリットバルブドア400の前面図である。図4Eは、排気されたチャンバ容積420に隣接するチャンバ容積422に結合されたスリットバルブドア416の前面図である。図4Fは、容積420を排気した後の装置404の断面図である。図4Aに示されるように、中央部材と端部部材(即ち、中央部材から隔てられた部材)の間のギャップ402は、矢印「E」によって示される。ギャップ402は、全ギャップ402に対して、端部部材と中央部材の間に実質的に一定の距離を形成する。排気前に、ドア400用のベローズ414は中間位置にある。同様に、容積422を密閉するドア416用のベローズ418も中間位置にある。
【0027】
図4Bに示されるスリットバルブドア416は、図4Aに示されるスリットバルブドア400と同様である。端部部材と中央部材の間のギャップ424、426は、矢印「I」によって示される。ギャップ424、426は、ギャップ424、426の全体に対して、端部部材と中央部材の間に実質的に一定の距離を形成する。
【0028】
スリットバルブドア400が装置404に結合され、容積420が排気されるとき、ロードロックチャンバ404の壁406、408は、線「G」、「H」で示されるそれらの通常位置から圧縮され、矢印「F」によって示されるようにスリットバルブドア400のギャップ402が圧縮する原因となるので、端部部材と中央部材の間の距離は、ギャップ402の端部410からギャップ402の中央412まで徐々に減少する。ドア400のベローズ414は、図4Fに示されるように圧縮する。壁408が排気された容積420へ向かって反るので、その結果、ドア416は、図4Eで示されるように引き伸ばされた状態にベローズ418を広げる。
【0029】
大気圧の容積422に対して、スリットバルブドア416は、矢印「J」によって図示されるように、上部ギャップ424用のベローズ418を広げ、従って引き伸ばし、一方で、矢印「K」によって図示されるように、下部ギャップ426は、相対的に不変を維持する。しかしながら、ギャップ426は、ギャップ424と同じくらい引き伸ばされるかもしれない。一実施形態では、ギャップ426は、ギャップ424ほど引き伸ばされないかもしれない。一実施形態では、ギャップ426は不変を維持するので、ギャップ426は、矢印「I」によって表される距離に実質的に等しい、矢印「K」によって表される距離によって分離される。ギャップ424は反ったチャンバに直接隣接しており、一方ギャップ426は反らないかもしれない壁に直接隣接しているので、ギャップ424は広がる。ギャップ402、424、426の膨張又は圧縮は、端部部材が中央部材に対して動いていることを意味する。同様に、Oリング428、430、432、434は、中央部材に対して動く。Oリング428、430、432、434は、実質的にギャップ402、424、426と同一に形成されるが、わずかにより大きい。従って、Oリング428、430、432、434の形状は、ギャップ402、424、426の形状をまねている。また、最も多くの動きが起こるギャップ402、424、426の領域は、中央部材に対して最も多くの動きを有するOリング428、430、432、434の領域であるだろう。Oリング428、430、432、434は、反っているチャンバ壁及びスリットバルブドア400、416の可動部と共に動くので、Oリング428、430、432、434は、反っているチャンバ壁又はスリットバルブドア400、416の動く部分に対して動かない。従って、最少量の動き又は動きが起こらないギャップ402、424、426の位置は、Oリング428、430、432、434に対して最少量の動き又は動きが起こらないことを経験するだろう。別の方法では、Oリング428、430、432、434の長手側は動き、一方、Oリング428、430、432、434の短手側はほとんど又は全く動かないだろう。
【0030】
図5A〜5Cは、一実施形態に係るスリットバルブドア500の断面図である。スリットバルブドア500は、第1本体502及び第2本体504を含んでもよい。Oリング506は、スリットバルブドア500がチャンバを密閉可能にする第2本体504に結合されてもよい。第2本体504は、第1本体502に対して可動な第1本体502から分離する部材を含んでもよい。第2本体504は、チャンバに対して押し付けられると、チャンバと共に及び第1本体502に対して動くかもしれない。従って、Oリング506は、チャンバに対して静止を維持するかもしれず(しかしながら、第1本体に対して動く)、スリットバルブドア500及びチャンバのどの部分も、互いに擦れない。チャンバと共に第2本体504が動くため、基板を汚染するかもしれない発生粒子量が、削減されるかもしれない。
【0031】
第2本体504は、第2本体504と第1本体502の間に配置されるベアリング514に沿ってスライドしてもよい。一実施形態では、ベアリング514はポリエーテルエーテルケトンを含んでもよい。別の一実施形態では、ベアリング514はポリテトラフルオロエチレンを含んでもよい。
【0032】
可動第2本体504は、第1本体502に対して動くので、基板を汚染する可能性のある粒子を作り出すかもしれない。従って、可動部のため何らかの粒子が発生するかもしれないスリットバルブドア500の位置は、基板及び真空環境への曝露から密閉されてもよい。粒子が発生するかもしれないそのような領域の1つは、第2本体504とベアリング514の間の界面である。形成された粒子は、第2本体504と第1本体502の間の空洞518内に落ちるかもしれない。従って、ベローズ510は、第2本体504及び第1本体に固定されてもよく、これによってスリットバルブドア500の密閉側から空洞518を隔離する。ベローズ510は、1以上の固定機構516によって第2本体504及び第1本体502に結合されてもよい。
【0033】
第2本体504を第1本体502に追加的に結合するために、第2ベローズ508がスリットバルブドア500の上部に沿って第2本体504と第1本体502の間で結合されてもよい。1以上の固定機構512が、ベローズ508を第1本体502及び第2本体504と結合するために使用されてもよい。
【0034】
空洞518は、スリットバルブドア500の圧力側とほぼ同じ圧力に維持されてもよい。一実施形態では、スリットバルブドア500の圧力側の圧力は、大気圧であってもよい。空洞518をスリットバルブドア500の圧力側とほぼ同じ圧力に維持することによって、スリットバルブドア500が密封されるチャンバを通気する又は排気するときでさえ、第2本体504は第1本体502に対してその位置を維持するかもしれない。第2本体504における支配的な力は、チャンバのシール面とのOリング506接触からくるかもしれない。等しい圧力条件を達成するために、上部ベローズ508は、緻密な多孔性材料を含んでもよい。一実施形態では、小孔は約1マイクロメータであってもよい。小孔によって、可動部で発生する何らかの粒子を含みながら、空洞518は通気できるかもしれない。一実施形態では、上部ベローズ508は固体エラストマーを含んでもよいが、通気可能なフィルタプラグは圧力側から空洞518内に接続してもよい。
【0035】
図5Bは、ベアリング514を介して第2本体504を第1本体502に結合する固定機構520を示す。固定機構520は、第2本体504内に形成されるスロット522内に配置されてもよい。チャンバが排気され、角部材が動くとき、固定機構520は第2本体504に対して静止を維持し、スロット522は固定機構520に対して動く。図5Cは、置き換えられた状態における第2本体504を示す。図示されるように、スロット522は、固定機構520に対して動かされる。
【0036】
図5D及び5Eは、一実施形態に係るスリットバルブドア530の等角図である。図5Dは、シャフト532及びサポート/マウント534が位置するスリットバルブドア530の非密閉側を示す。スリットバルブドア530は、チャンバに対して及びチャンバから離れてスリットバルブドア530を配置するために、シャフト532の周りで回転させてもよい。サポート/マウント534は、第1本体536にシャフト532を結合する。
【0037】
図5Eは、スリットバルブドア530の密閉側を示す。図示されるように、第2本体538は、第1本体536側のかなりの長さに広がっていてもよい。第2本体538は、第1本体536側の全面に広がり得ることが理解される。更に、第2本体538は、チャンバが動くときにスリットバルブドア530が動くと予想される領域に広がることができる。図5Eから見ることができるように、Oリング540は、第2本体538及び第1本体536の両方を横切る。第2本体538が第1本体536側の全長ほど広がっていないとき、追加ベローズが、第2本体538及び第1本体536の垂直な界面に夫々必要かもしれない。一実施形態では、垂直な界面用のベローズは、単一ベローズである。
【0038】
図5F〜5Jは、別の一実施形態に係るスリットバルブドア550の等角図である。スリットバルブドア550は、シール面に対してOリング554を圧縮するためにロッド552の周りに回転又は旋回してもよい。スリットバルブドア550は、内部に形成される2つの実質的に平行なスリット578を有するドア本体576を含み、これによってスリットバルブドア550が密閉されるチャンバが動くとき、スリットバルブドア550の一部は動くことができる。一実施形態では、チャンバの内側に面する表面上のスリット578は、クランプ556、562によって適所に保持されるベローズ558、560で覆われている。上述のベローズと同様に、ベローズ558、560は、スリットバルブドア550の動きから発生するかもしれない粒子が、処理領域に入り、基板を汚染するのを防ぐ。
【0039】
また、スリットバルブ本体の上面580は、可動面の間でスロット582内のベアリングプレート568を保持するために、クランプ566によって覆われるベローズ564を有してもよい。ベアリングプレート568は、弓形を作るためにベアリングプレート568の端部から中央まで変化する厚みを有してもよい。スリットバルブドア550がチャンバに密閉されるとき、第2本体586は第1本体584に対して動き、ベアリングプレート568に沿って動く。第2本体586は、その端部で第1本体584に結合される。第1本体584は、多孔質媒体572を備える中央リングを覆うためのカバー570を有し、これによって粒子が発生するかもしれない経路574に空気又はガスを入れる又は出すことができる。粒子は空洞内で捕らえられるだろう。そして、空洞内の圧力はドアの圧力側と同じに保つことができる。これは、上述の通気性フィルタプラグの一例である。
【0040】
図6Aは、一実施形態に係るスリットバルブドア600の等角図である。図6Bは、図6Aのスリットバルブドア600の引き伸ばされた図である。スリットバルブドア600は、第1本体602と、第2本体608と第1本体602の間にベローズ604を結合するためのシールキャップ606と、スリットバルブドア600をチャンバへ密閉するためのOリング610と、第1本体602と第2本体608の間にベローズを結合するためのシールキャップ612と、チャンバが排気されるとき、第1本体602に対して第2本体608が動くことを可能にするスライドパッド616とを含む。一実施形態では、スライドパッド616は、ポリエーテルエーテルケトンを含んでもよい。別の一実施形態では、スライドパッド616は、ポリテトラフルオロエチレンを含んでもよい。1以上のスライドパッドは、第1本体602と第2本体608の間で隔てられてもよい。
【0041】
図7は、真空搬送チャンバ706の一実施形態、1以上のロードロックチャンバ704、及び複数の処理チャンバ708を有する例証的な処理システム700(線形又はクラスタツール等)の平面図である。ファクトリインタフェース702は、ロードロックチャンバ704によって搬送チャンバ706に結合され、複数の基板格納カセット714及び大気用ロボット712を含む。大気用ロボット712は、カセット714とロードロックチャンバ704の間で基板716の搬送を促進する。
【0042】
基板処理チャンバ708は、搬送チャンバ706に結合される。基板処理チャンバ708は、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、又は他のデバイスを製造するのに適した、化学気相成長プロセス、物理気相成長プロセス、エッチングプロセス、又は他の大面積基板製造プロセスのうちの少なくとも1つを実施するために構成されてもよい。概して、大面積基板は、少なくとも1平方メートルの面積を有し、ガラス又はポリマーシートでできていてもよい。
【0043】
概して、ロードロックチャンバ704は、1以上の基板格納スロットを内部に画定する周囲から隔離可能な少なくとも1つの空洞を含む。いくつかの実施形態では、周囲から隔離可能な複数の空洞が提供されてもよく、夫々は1以上の基板格納スロットを内部に画定する。ロードロックチャンバ704は、ファクトリインタフェース702の周囲又は大気環境と、搬送チャンバ706内で維持される真空環境の間に、基板716を搬送するために運転される。
【0044】
真空ロボット710は、ロードロックチャンバ704と処理チャンバ708の間における基板716の搬送を促進するために搬送チャンバ706内に配置される。真空ロボット710は、真空条件下で基板を搬送するのに適したどんなロボットであってもよい。図7に示される実施形態では、真空ロボット710は、一般に、エンドエフェクタ762の位置を制御するために利用される1以上のモーター(図示せず)を収容するロボットベース760を含む極座標ロボット又はフロッグレッグ(カエル脚型)ロボットである。エンドエフェクタ762は、リンク機構764によってベース760に結合される。本明細書内で議論されるロードロックチャンバドアは、搬送チャンバ710から及びファクトリインタフェース702からもロードロックチャンバ704を密閉するために使用されてもよい。
【0045】
本発明は垂直指向型スリットバルブドアによって示されてきたが、本発明は、密閉位置にあるとき実質的に地面と平行な水平指向型ドアにも等しく適用されることが理解されるべきである。
【0046】
チャンバが排気される及び/又は通気されるとき、スリットバルブドアの一部がチャンバと共に動くことができることによって、スリットバルブドアとチャンバの間で発生する粒子の量は減少するかもしれず、その結果、基板汚染は軽減するかもしれない。
【0047】
上記は本発明の実施形態を対象としているが、本発明の他の及び更なる実施形態は本発明の基本的範囲を逸脱することなく創作することができ、その範囲は以下の特許請求の範囲に基づいて定められる。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
スリットバルブドアであって、
第1本体と、
前記第1本体に端部で結合する第2本体とを含み、前記第2本体は前記第1本体から隔てられ、これによって前記第1本体と前記第2本体の間に第1スリットが存在し、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と前記第2本体の間で結合される第1ベアリングプレートと、
前記第1本体と前記第2本体の間、及び前記第1スリットの上で結合される第1ベローズと、
前記第1ベローズ、前記第1本体、及び前記第2本体に結合される第1クランプを更に含むスリットバルブドア。
【請求項2】
前記第1本体に端部で結合する第3本体を含み、前記第3本体は前記第1本体から隔てられ、これによって前記第1本体と前記第3本体の間に第2スリットが存在し、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と前記第3本体の間で結合される第2ベアリングプレートと、
前記第1本体と前記第3本体の間、及び前記第2スリットの上で結合される第2ベローズと、
前記第2ベローズ、前記第1本体、及び前記第3本体に結合される第2クランプを更に含む請求項1記載のスリットバルブドア。
【請求項3】
前記第1本体と前記第2本体の間、及び第3スリットの上で結合される第3ベローズを更に含み、前記第3スリットは、前記第1スリットに実質的に垂直であり、前記スリットバルブドアの上面に形成され、
前記スリットバルブドアは、前記第3ベローズ、前記第1本体、及び前記第2本体に結合される第3クランプを更に含む請求項2記載のスリットバルブドア。
【請求項4】
前記第1本体と前記第3本体の間、及び第4スリットの上で結合される第4ベローズを更に含み、前記第4スリットは、前記第2スリットに実質的に垂直であり、前記スリットバルブドアの底面に形成され、
前記スリットバルブドアは、前記第4ベローズ、前記第1本体、及び前記第3本体に結合される第4クランプを更に含む請求項3記載のスリットバルブドア。
【請求項5】
前記第1ベアリングプレート及び前記第2ベアリングプレートは、ポリエーテルエーテルケトンとポリテトラフルオロエチレンから成る群から選択される材料を夫々含み、前記第1本体は、内部に第1スリット及び第2スリットまで達する開口を有し、前記スリットバルブドアは、前記第1本体、前記第2本体、及び前記第3本体に結合されるOリングを更に含む請求項4記載のスリットバルブドア。
【請求項6】
ロードロックチャンバであって、
少なくとも1つの開口を有するロードロックチャンバ本体を含み、前記少なくとも1つの開口は、前記ロードロックチャンバ本体の第1面を貫通して形成され、
前記ロードロックチャンバは、スリットバルブドアを更に含み、
前記スリットバルブドアは、
第1本体と、第2本体及び第3本体のうちの1以上とを有するドア本体を含み、前記第2本体又は前記第3本体は、前記第1本体に端部で結合され、中央領域内の中央本体から離れて配置され、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と、前記第2本体及び前記第3本体のうちの少なくとも1以上との間でフレキシブルに結合される1以上のベローズを更に含み、
前記ロードロックチャンバは、前記スリットバルブドア及び前記チャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータを更に含むロードロックチャンバ。
【請求項7】
前記スリットバルブドアは、前記ロードロックチャンバ本体に接触する第1位置及び前記ロードロックチャンバ本体から隔てられる第2位置から前記ロードロックチャンバ本体に対して前記スリットバルブドアを旋回させる軸周りに回転可能である請求項6記載のチャンバ。
【請求項8】
前記スリットバルブドアに結合されるOリングを更に含む請求項6記載のチャンバ。
【請求項9】
前記1以上のベローズは、前記第1本体と、前記1以上の第2本体及び第3本体との間で結合される2つのベローズを含み、これによって前記ロードロックチャンバ本体の、前記第1本体と、前記2つのベローズのうちの少なくとも1つと、前記1以上の第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間でエアポケットが閉じ込められる請求項6記載のチャンバ。
【請求項10】
前記第1本体と前記第2本体の間に配置される1以上のベアリングを更に含む請求項6記載のチャンバ。
【請求項11】
前記1以上のベアリングは、ポリエーテルエーテルケトン及びポリテトラフルオロエチレンから成る群から選択される材料を含み、前記チャンバは、前記1以上のベローズ及び前記第1本体のうちの少なくとも1つに結合されるクランプを更に含む請求項10記載のチャンバ。
【請求項12】
前記1以上のベローズ及び前記第1本体のうちの少なくとも1つに結合されるクランプを更に含む請求項6記載のチャンバ。
【請求項13】
チャンバを排気する方法であって、
スリットバルブドアとチャンバ本体の間でOリングを圧縮するステップを含み、前記スリットバルブドアは、第1部分及び第2部分を有し、
前記方法は、前記スリットバルブドアの前記第1部分を前記スリットバルブドアの前記第2部分に対して動かしながら、前記チャンバ本体内を真空に引くステップを更に含み、これによって前記チャンバ本体に対して前記Oリングが擦れるのを防ぐ方法。
【請求項14】
前記スリットバルブドアの前記第1部分を前記スリットバルブドアの前記第2部分に対して動かしながら、前記チャンバ本体に通気するステップを更に含み、これによって前記チャンバ本体に対して前記Oリングが擦れるのを防ぎ、
前記方法は、前記チャンバ本体から離れるように前記スリットバルブドアを旋回させるステップを更に含み、これによって前記Oリングは、前記チャンバ本体から隔てられる請求項13記載の方法。
【請求項15】
前記スリットバルブドアは、前記第2部分と前記第1部分の間で結合されるベローズを含み、前記スリットバルブドアは、前記第1部分と前記第2部分の間で結合されるベアリングを有し、前記第2部分は、前記ベアリングに沿って動く請求項14記載の方法。
【請求項1】
スリットバルブドアであって、
第1本体と、
前記第1本体に端部で結合する第2本体とを含み、前記第2本体は前記第1本体から隔てられ、これによって前記第1本体と前記第2本体の間に第1スリットが存在し、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と前記第2本体の間で結合される第1ベアリングプレートと、
前記第1本体と前記第2本体の間、及び前記第1スリットの上で結合される第1ベローズと、
前記第1ベローズ、前記第1本体、及び前記第2本体に結合される第1クランプを更に含むスリットバルブドア。
【請求項2】
前記第1本体に端部で結合する第3本体を含み、前記第3本体は前記第1本体から隔てられ、これによって前記第1本体と前記第3本体の間に第2スリットが存在し、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と前記第3本体の間で結合される第2ベアリングプレートと、
前記第1本体と前記第3本体の間、及び前記第2スリットの上で結合される第2ベローズと、
前記第2ベローズ、前記第1本体、及び前記第3本体に結合される第2クランプを更に含む請求項1記載のスリットバルブドア。
【請求項3】
前記第1本体と前記第2本体の間、及び第3スリットの上で結合される第3ベローズを更に含み、前記第3スリットは、前記第1スリットに実質的に垂直であり、前記スリットバルブドアの上面に形成され、
前記スリットバルブドアは、前記第3ベローズ、前記第1本体、及び前記第2本体に結合される第3クランプを更に含む請求項2記載のスリットバルブドア。
【請求項4】
前記第1本体と前記第3本体の間、及び第4スリットの上で結合される第4ベローズを更に含み、前記第4スリットは、前記第2スリットに実質的に垂直であり、前記スリットバルブドアの底面に形成され、
前記スリットバルブドアは、前記第4ベローズ、前記第1本体、及び前記第3本体に結合される第4クランプを更に含む請求項3記載のスリットバルブドア。
【請求項5】
前記第1ベアリングプレート及び前記第2ベアリングプレートは、ポリエーテルエーテルケトンとポリテトラフルオロエチレンから成る群から選択される材料を夫々含み、前記第1本体は、内部に第1スリット及び第2スリットまで達する開口を有し、前記スリットバルブドアは、前記第1本体、前記第2本体、及び前記第3本体に結合されるOリングを更に含む請求項4記載のスリットバルブドア。
【請求項6】
ロードロックチャンバであって、
少なくとも1つの開口を有するロードロックチャンバ本体を含み、前記少なくとも1つの開口は、前記ロードロックチャンバ本体の第1面を貫通して形成され、
前記ロードロックチャンバは、スリットバルブドアを更に含み、
前記スリットバルブドアは、
第1本体と、第2本体及び第3本体のうちの1以上とを有するドア本体を含み、前記第2本体又は前記第3本体は、前記第1本体に端部で結合され、中央領域内の中央本体から離れて配置され、
前記スリットバルブドアは、前記第1本体と、前記第2本体及び前記第3本体のうちの少なくとも1以上との間でフレキシブルに結合される1以上のベローズを更に含み、
前記ロードロックチャンバは、前記スリットバルブドア及び前記チャンバ本体と結合されるスリットバルブドアアクチュエータを更に含むロードロックチャンバ。
【請求項7】
前記スリットバルブドアは、前記ロードロックチャンバ本体に接触する第1位置及び前記ロードロックチャンバ本体から隔てられる第2位置から前記ロードロックチャンバ本体に対して前記スリットバルブドアを旋回させる軸周りに回転可能である請求項6記載のチャンバ。
【請求項8】
前記スリットバルブドアに結合されるOリングを更に含む請求項6記載のチャンバ。
【請求項9】
前記1以上のベローズは、前記第1本体と、前記1以上の第2本体及び第3本体との間で結合される2つのベローズを含み、これによって前記ロードロックチャンバ本体の、前記第1本体と、前記2つのベローズのうちの少なくとも1つと、前記1以上の第2本体及び第3本体のうちの少なくとも1つとの間でエアポケットが閉じ込められる請求項6記載のチャンバ。
【請求項10】
前記第1本体と前記第2本体の間に配置される1以上のベアリングを更に含む請求項6記載のチャンバ。
【請求項11】
前記1以上のベアリングは、ポリエーテルエーテルケトン及びポリテトラフルオロエチレンから成る群から選択される材料を含み、前記チャンバは、前記1以上のベローズ及び前記第1本体のうちの少なくとも1つに結合されるクランプを更に含む請求項10記載のチャンバ。
【請求項12】
前記1以上のベローズ及び前記第1本体のうちの少なくとも1つに結合されるクランプを更に含む請求項6記載のチャンバ。
【請求項13】
チャンバを排気する方法であって、
スリットバルブドアとチャンバ本体の間でOリングを圧縮するステップを含み、前記スリットバルブドアは、第1部分及び第2部分を有し、
前記方法は、前記スリットバルブドアの前記第1部分を前記スリットバルブドアの前記第2部分に対して動かしながら、前記チャンバ本体内を真空に引くステップを更に含み、これによって前記チャンバ本体に対して前記Oリングが擦れるのを防ぐ方法。
【請求項14】
前記スリットバルブドアの前記第1部分を前記スリットバルブドアの前記第2部分に対して動かしながら、前記チャンバ本体に通気するステップを更に含み、これによって前記チャンバ本体に対して前記Oリングが擦れるのを防ぎ、
前記方法は、前記チャンバ本体から離れるように前記スリットバルブドアを旋回させるステップを更に含み、これによって前記Oリングは、前記チャンバ本体から隔てられる請求項13記載の方法。
【請求項15】
前記スリットバルブドアは、前記第2部分と前記第1部分の間で結合されるベローズを含み、前記スリットバルブドアは、前記第1部分と前記第2部分の間で結合されるベアリングを有し、前記第2部分は、前記ベアリングに沿って動く請求項14記載の方法。
【図1A】
【図1B】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図4E】
【図4F】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図5E】
【図5F】
【図5G】
【図5H】
【図5I】
【図5J】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【図1B】
【図2A】
【図2B】
【図2C】
【図2D】
【図2E】
【図2F】
【図3A】
【図3B】
【図3C】
【図4A】
【図4B】
【図4C】
【図4D】
【図4E】
【図4F】
【図5A】
【図5B】
【図5C】
【図5D】
【図5E】
【図5F】
【図5G】
【図5H】
【図5I】
【図5J】
【図6A】
【図6B】
【図7】
【公表番号】特表2012−501424(P2012−501424A)
【公表日】平成24年1月19日(2012.1.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−525196(P2011−525196)
【出願日】平成21年8月27日(2009.8.27)
【国際出願番号】PCT/US2009/055206
【国際公開番号】WO2010/025257
【国際公開日】平成22年3月4日(2010.3.4)
【出願人】(390040660)アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
【Fターム(参考)】
【公表日】平成24年1月19日(2012.1.19)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年8月27日(2009.8.27)
【国際出願番号】PCT/US2009/055206
【国際公開番号】WO2010/025257
【国際公開日】平成22年3月4日(2010.3.4)
【出願人】(390040660)アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド (1,346)
【氏名又は名称原語表記】APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
【Fターム(参考)】
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