発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置
【課題】低コストで廃棄物の量を抑制可能な発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置を提供する。
【解決手段】透光性の管１と、管１の内周に設けた、透光性の第１電極層１２ｂと、第１電極層の内周に設けた、電界を印加して発光する有機物層ＯＬと、有機物層ＯＬの内周に設けた第２電極層１２ｇと、管１の内周を気密に封止する、封止部１１０とを備えた発光装置の再生産方法であって、以下の工程を有する。封止部１１０を取外す。第２電極層１２ｇを除去して有機物層ＯＬを露出させる。有機物層ＯＬを除去して第１電極層１２ｂを露出させる。第１電極層１２ｂを表面処理する。表面処理された第１電極層１２ｂの内周に新たな有機物層ＯＬを成膜する。成膜された新たな有機物層ＯＬの内周に新たな第２電極層１２ｇを成膜する。成膜された新たな第２電極層１２ｇを含む管１の内周を封止部１１０で気密に封止する。
【解決手段】透光性の管１と、管１の内周に設けた、透光性の第１電極層１２ｂと、第１電極層の内周に設けた、電界を印加して発光する有機物層ＯＬと、有機物層ＯＬの内周に設けた第２電極層１２ｇと、管１の内周を気密に封止する、封止部１１０とを備えた発光装置の再生産方法であって、以下の工程を有する。封止部１１０を取外す。第２電極層１２ｇを除去して有機物層ＯＬを露出させる。有機物層ＯＬを除去して第１電極層１２ｂを露出させる。第１電極層１２ｂを表面処理する。表面処理された第１電極層１２ｂの内周に新たな有機物層ＯＬを成膜する。成膜された新たな有機物層ＯＬの内周に新たな第２電極層１２ｇを成膜する。成膜された新たな第２電極層１２ｇを含む管１の内周を封止部１１０で気密に封止する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置に関し、特に、管の内周に形成された有機物層を含む発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
照明器などの発光装置として、現在、電球および蛍光管が広く用いられている。これらの発光装置は、フィラメントの劣化やスパッタ現象に起因して、有限の寿命を有している。寿命に達した発光装置は全体が廃棄される。なお廃棄物の一部は、破砕された後に、ガラスカレットおよび金属材料として利用されることがある。すなわち廃棄物の一部は、原形をとどめない材料として再利用されることがある。
【０００３】
また複数のＬＥＤ(Light Emitting Diode)素子を有するＬＥＤ発光装置は、使用時間の経過とともに個々の素子の輝度が低下することに起因して、有限の寿命を有している。寿命に達したこのＬＥＤ発光装置も全体が廃棄される。ＬＥＤは資源として再利用することが困難であるため、通常、材料としての再利用も行なわれていない。
【０００４】
また近年、有機ＥＬ(Electro Luminescence)型の発光装置が提案されている。たとえば特開２００７−７３４０３号公報（特許文献１）によれば、面発光デバイス（発光装置）は、有機ＥＬ層が形成された透明基材と、口金とを有している。主に有機ＥＬ層が徐々に劣化することで、有機ＥＬ型の発光装置の劣化が生じる。劣化した有機ＥＬ型発光装置は、複数の部分に分解された後、廃棄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−７３４０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の発光装置では、装置全体が廃棄されるため、廃棄物の量が多くなる。このため、廃棄物が最終処分される場合、廃棄物の処理費用と環境負荷とが大きかった。特に蛍光管が廃棄される場合、水銀による環境汚染が生じることがあった。また廃棄物が材料として再利用される場合、分別、破砕および純化などを行う必要があるため、大きなコストが必要であった。
【０００７】
また劣化した発光装置と交換されることになる別の発光装置は、装置全体が新たに形成される必要があった。このため、発光装置が形成される際のコストが高くなるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、低コストで廃棄物の量を抑制可能な発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の発光装置の再生産方法は、透光性を有する管と、管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、有機物層の内周に設けられた第２電極層と、管の内周を気密に封止するように、管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産方法であって、以下の工程を有している。
【００１０】
封止部を取り外す。封止部が取り外された発光装置の第２電極層を除去して有機物層を露出させる。露出された有機物層を除去して第１電極層を露出させる。露出された第１電極層を表面処理する。表面処理された第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する。成膜された新たな有機物層の内周に新たな第２電極層を成膜する。成膜された新たな第２電極層を含む管の内周を封止部で気密に封止する。
【００１１】
本発明の発光装置の再生産方法によれば、有機物層および第２電極層が除去された管と、管に着脱可能であり、かつ管から取り外された封止部とが得られるので、この管の内周に有機物層および第２電極層を新たに形成した後に封止部が再度取り付けられることで、発光装置を再生産することができる。これにより、有機物層が劣化した発光装置の一部が廃棄されずに部品として再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置の一部が形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【００１２】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２電極層を除去する工程は、ハロゲンガス系プラズマおよび有機ガス系プラズマの少なくともいずれかで第２電極層をエッチングする工程と、酸溶液で第２電極層をエッチングする工程との少なくともいずれかを含んでいる。これにより、第２電極層がエッチングされる際に有機物層をエッチングストッパーとして用いることができる。
【００１３】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、有機物層を除去する工程は、酸素プラズマで有機物層をアッシングする工程と、炭化水素系溶剤および水の少なくともいずれかで有機物層をエッチングする工程と、光照射による加熱で有機物層を蒸発させる工程と、高温ガスによる加熱で有機物層を蒸発させる工程との少なくともいずれかを含んでいる。これにより、有機物層がエッチングされる際に第１電極層をエッチングストッパーとして用いることができる。
【００１４】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１電極層を表面処理する工程は、第１電極層の表面を酸素プラズマ中で表面処理する工程と、第１電極層の表面を酸素雰囲気中で加熱表面処理する工程と、第１電極層の表面を紫外線で表面処理する工程との少なくともいずれかを含んでいる。これにより、有機物層が除去される際に生じた第１電極層の表面荒れが取り除かれる。よって発光装置の再生産において、有機物層が新たに形成される面である第１電極層の表面を平滑にすることができる。
【００１５】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程は、管と新たな有機物層の原料の放出を行う第１の放出部とが互いに相対運動を行うように第１の放出部および管の少なくともいずれかを動かしながら放出を行うことにより、管の内周に新たな有機物層を成膜する工程を含んでいる。
【００１６】
これにより、管と放出部とが相対運動を行いながら管の内周に有機物層が形成されるので、管と放出部との相対的な位置関係が固定されている場合に比して管の内周に均一な厚みで成膜を行うことができる。よって、管の内周における発光特性の均一性を高めることができる。
【００１７】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１の放出部は、ノズルを有し、管の長さ方向を中心として自転する管の内周へ、原料として液体をノズルから放出して塗布する。これにより、真空蒸着法を用いた成膜が困難な高分子系の有機ＥＬ材料を用いた成膜を行うことができる。
【００１８】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１の放出部が複数の第１の放出部分を有する。これにより複数の第１の放出部分の各々を用いた成膜を連続して行うことができる。
【００１９】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程は、管の内部空間を管の一方端部より真空または減圧にし、加熱された新たな有機物層の気体状の原料を不活性ガスの放出により管の他方端部から流し、管を冷却することにより管の内周に新たな有機物層を成膜する工程を含んでいる。
【００２０】
これにより、管の外部から流される気体状の原料の種類を順次変更することで連続して異なる材質の膜を形成することができる。よって複数の互いに異なる膜が積層されて構成された有機ＥＬ素子を効率的に製造することができる。よって複数の互いに材質の異なる膜が積層されて構成された発光装置を効率的に製造することができる。
【００２１】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな第２電極層を成膜する工程は、管と新たな第２電極層の原料の放出を行う第２の放出部とが互いに相対運動を行うように第２の放出部および管の少なくともいずれかを動かしながら放出を行うことにより、管の内周に新たな第２電極層を成膜する工程を含んでいる。
【００２２】
これにより、管と放出部とが相対運動を行いながら管の内周に第２電極層が形成されるので、管と放出部との相対的な位置関係が固定されている場合に比して管の内周に均一な厚みで成膜を行うことができる。よって、管の内周における発光特性の均一性を高めることができる。
【００２３】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２の放出部が複数の第２の放出部分を有する。これにより複数の第２の放出部分の各々を用いた成膜を連続して行うことができる。
【００２４】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、封止部を取り外す工程と、管の内部を封止部で気密に封止する工程とは第１の気密容器内で行われ、第２電極層を除去する工程と、有機物層を除去する工程と、第１電極層を表面処理する工程とは第１の気密容器とは異なる第２の気密容器内で行われ、有機物層を成膜する工程と、第２電極層を成膜する工程とは第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器内で行われ、管が第１〜第３の気密容器に搬送手段によって搬送される。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００２５】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２電極層を除去する工程と、有機物層を除去する工程と、第１電極層を表面処理する工程と、新たな有機物層を成膜する工程と、新たな第２電極層を成膜する工程の各工程が管の内部空間を閉塞して行なわれる。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００２６】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２電極層を除去する工程と、有機物層を除去する工程と、第１電極層を表面処理する工程と、新たな有機物層を成膜する工程と、新たな第２電極層を成膜する工程が一つの気密容器内で行われ、管が一つの気密容器内で搬送手段によって搬送される。これにより、管を気密容器から取り出すことなしに、発光装置の再生産を連続して行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００２７】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程において、第１電極層に第１のマスクを設けて、第１のマスクが設けられた領域以外に新たな有機物層を成膜する。これにより、第１電極層の一部を残して、配線の接続に使用することができる。
【００２８】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな第２電極層を成膜する工程において、新たな有機物層に第２のマスクを設けて、第２のマスクが設けられた領域以外に新たな第２電極層を成膜する。これにより、第２電極層と第１電極層とが短絡することを防止することができる。
【００２９】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層の成膜後、新たな有機物層を光照射により蒸発させて、光照射により蒸発された領域以外に新たな有機物層を残存させる。これにより、ショート防止用スペースを形成することができる。
【００３０】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１電極層と有機物層と第２電極層とを含む有機発光素子は、可撓性フィルムに形成された状態で管の内周に配置される。このように可撓性フィルムを用いて、その可撓性フィルムの屈折率を適切に設定することにより発光装置における発光光の取り出し効率を高めることができる。
【００３１】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、可撓性フィルムは湾曲させた状態で管の内周に装着される。このように可撓性フィルムを湾曲させて管の内周側に配置することにより、製造における自由度が高くなる。
【００３２】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、封止部を取り外す工程と、有機物層を露出させる工程と、第１電極層を露出させる工程と、第１電極層を表面処理する工程と、新たな有機物層を成膜する工程と、新たな第２電極層を成膜する工程と、管の内周を封止部で気密に封止する工程との少なくとも１つの工程は、管が縦に保持された状態で行なわれる。これにより、製造過程において重力方向に落下したゴミが管の内周の面上に付着することを抑制することができる。
【００３３】
本発明の発光装置の再生産装置は、透光性を有する管と、管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、有機物層の内周に設けられた第２電極層と、管の内周を気密に封止するように、管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、以下の構成を備えている。
【００３４】
発光装置の封止部を取り外す封止着脱部と、封止着脱部で封止部が取り外された発光装置から第２電極層を除去する第２電極層除去部と、第２電極層が除去された発光装置から有機物層を除去する有機物層除去部と、有機物層が除去された発光装置の第１電極層を表面処理する第１電極層表面処理部と、表面処理された第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する有機物層成膜部と、新たな有機物層の内周に第２電極層を成膜する第２電極層成膜部とを備え、封止着脱部は、新たな有機物層および新たな第２電極層を含む管の内周を気密に封止するよう構成されている。
【００３５】
本発明の発光装置の再生産装置によれば、有機物層および第２電極層が除去された管と、管に着脱可能であり、かつ管から取り外された封止部とが得られるので、この管の内周に有機物層および第２電極層を新たに形成した後に封止部が再度取り付けられることで、発光装置を再生産することができる。これにより、有機物層が劣化した発光装置の一部が廃棄されずに部品として再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置の一部が形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【００３６】
上記の発光装置の再生産装置において好ましくは、封止着脱部を有する第１の気密容器と、第２電極層除去部と、有機物層除去部と、第１電極層表面処理部とを有する、第１の気密容器とは異なる第２の気密容器と、有機物層成膜部と、第２電極層成膜部とを有する、第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器とを備えている。管が第１〜３の気密容器に搬送手段によって搬送される。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００３７】
上記の発光装置の再生産装置において好ましくは、封止着脱部と、第２電極層除去部と、有機物層除去部と、第１電極層表面処理部と、有機物層成膜部と、第２電極層成膜部との少なくとも１つは、管を縦に保持できるように構成されている。これにより、製造過程において重力方向に落下したゴミが管の内周の面上に付着することを抑制することができる。
【００３８】
上記の発光装置の再生産装置において好ましくは、第２電極層除去部と、有機物層除去部と、第１電極層表面処理部と、有機物層成膜部と、第２電極層成膜部とが、管の内部空間を閉塞する結合器をさらに備えている。管の内部空間が結合器によって閉塞された気密状態において各除去部の処理が行なわれる。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００３９】
本発明の発光装置の再生産装置は、透光性を有する管と、管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、有機物層の内周に設けられた第２電極層と、有機物層と第２電極層とを含む管の内周を気密に封止するように、管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、管の内側に有機物層および第２電極層の少なくともいずれかを除去するエッチング液を供給する供給部と、管の長さ方向が重力方向に対して交差するように支持されかつ管の長さ方向を中心として自転するように発光装置を保持しかつエッチング液を排出するため発光装置を傾斜させる保持部とを備えている。
【００４０】
本発明の発光装置の再生産装置によれば、第２電極層および有機物層をウェットエッチングにより除去することができる。またウェットエッチングを簡易な構成により行うことができる。これらにより製造コストを含めた生産性を向上することができる。
【００４１】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程は、管内に有機物原料供給器によって新たな有機物層の原料である固体状の有機物原料を落下により供給する工程と、有機物原料供給器から落下により管内に供給された有機物原料を第１の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する。これにより、有機物原料が管内に落下により供給されるので、第１の放出部が有機物原料を貯蔵しなくてよいため、第１の放出部を小さくすることができる。よって、管が細い場合でも、容易に新たな有機物層を成膜することができる。また、有機物原料供給器において複数の有機物原料を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな有機物層を成膜することができる。
【００４２】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、固体状の有機物原料を落下により供給する工程は、有機物原料供給器から落下により管内に供給された有機物原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ計測の結果に基づき有機物原料の供給量を制御する工程を有する。これにより、有機物原料の供給量を正確に制御することにより、有機物層の厚さを正確に制御することができる。
【００４３】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな第２電極層を成膜する工程は、管内に第２電極原料供給器によって新たな第２電極層の原料である固体状の第２電極原料を落下により供給する工程と、第２電極原料供給器から落下により管内に供給された第２電極原料を第２の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する。これにより、第２電極原料が管内に落下により供給されるので、第２の放出部が第２電極材料を貯蔵しなくてよいため、第２の放出部を小さくすることができる。よって、管が細い場合でも、容易に新たな第２電極層を成膜することができる。また、第２電極原料供給器において複数の第２電極原料を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな第２電極層を成膜することができる。
【００４４】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、固体状の第２電極原料を落下により供給する工程は、第２電極原料供給器から落下により管内に供給された第２電極原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ計測の結果に基づき第２電極原料の供給量を制御する工程を有する。これにより、第２電極原料の供給量を正確に制御することにより、第２電極層の厚さを正確に制御することができる。
【００４５】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、複数の第１の放出部分が管の内側に配置される。これにより、より正確に有機物層を成膜することができる。
【００４６】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、複数の第２の放出部分が管の内側に配置される。これにより、より正確に第２電極層を成膜することができる。
【発明の効果】
【００４７】
以上説明したように本発明によれば、発光装置のほとんどが廃棄されずに再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置のほとんどが形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、発光装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１における発光装置の構成を概略的に示す外観図である。
【図２】本発明の実施の形態１における発光装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第１工程を示す概略的な断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第２工程を示す概略的な断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第３工程を示す概略的な断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第４工程を示す概略的な断面図である。
【図７】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第５工程を示す概略的な断面図である。
【図８】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産装置としての真空蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２における発光装置の再生産装置としてのウェットエッチング装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２における発光装置の再生産装置としてのウェットエッチング装置の変形例の構成を概略的に示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３における再生産装置の全体構成を示す概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態４における再生産装置の全体構成を示す概略上面図である。
【図１３】本発明の実施の形態４における再生産装置の全体構成を示す概略正面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４における再生産装置の全体構成を示す概略下面図である。
【図１５】本発明の実施の形態５における再生産装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態５における再生産装置の第１工程を示す概略的な平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態５における再生産装置の第２工程を示す概略的な平面図である。
【図１８】本発明の実施の形態１における再生産装置としての真空蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態６における発光装置の製造装置としての成膜装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態１における発光装置の製造方法を示す斜視図であって、可撓性フィルムに有機ＥＬ素子を形成する工程（Ａ）と、その可撓性フィルムを湾曲させて円筒体内に装着する工程（Ｂ）とを示す斜視図である。
【図２１】図１９に示す方法で製造された、湾曲させた可撓性フィルムを内部に装着された円筒管の構成を概略的に示す断面図である。
【図２２】本発明の実施の形態１におけるフレキシブル基板を有する発光装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態１における複数のフレキシブル基板を有する発光装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２４】本発明の実施の形態７における発光装置の再生産装置としての真空蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態８における発光装置の再生産装置としての真空蒸着装置における円筒管の近傍を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
（実施の形態１）
はじめに本発明の実施の形態１の発光装置の構成について説明する。
【００５０】
図１および図２を参照して、本実施の形態の発光装置は、円筒管１（管）と、有機ＥＬ素子（有機発光素子）１２と、封止部１１０と、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７、１２７と、バーコード１０３とを有している。
【００５１】
円筒管１は、長さ方向（図中ＬＤ方向）に延びる空洞部を有する管である。すなわち円筒管１は管形状を有している。また円筒管１は透光性を有している。具体的には円筒管１は、たとえばパイレックス（登録商標）ガラスにより形成された、直径７０ｍｍ、長さ５４０ｍｍ、厚さ２．４ｍｍの管である。
【００５２】
有機ＥＬ素子１２は、円筒管１の内面上に順に、保護層１２ａと、透明陽極層１２ｂ（第１電極層）と、有機物層ＯＬと、陰極層１２ｇ（第２電極層）とを有している。保護層１２ａは、アルカリ金属イオンの移動を防止する機能を有している。よって円筒管１の材質にパイレックス（登録商標）ガラスなどのアルカリ金属イオンを含む材質が用いられても、円筒管１から透明陽極層１２ｂへアルカリ金属イオンが移動することが防止される。保護層１２ａは、たとえば酸化シリコン（ＳｉＯ2）により形成された厚さ１０ｎｍの層である。
【００５３】
透明陽極層１２ｂは、透光性を有しており、かつ有機ＥＬ素子１２の陽極としての機能を有している。透明陽極層１２ｂは、導電性の酸化物層であり、たとえば酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ(Indium Zinc Oxide)）により形成された厚さ１μｍの層である。
【００５４】
陰極層１２ｇは、有機ＥＬ素子１２の陰極としての機能を有している。陰極層１２ｇは、金属層であり、たとえばアルミニウムにより形成された厚さ０．１μｍの層である。なお有機物層ＯＬ上の領域のうち円筒管１の長さ方向の両端側の領域は、陰極層１２ｇが形成されていない領域であるショート防止用スペースＳＰとなっている。ショート防止用スペースＳＰが設けられていることにより、陰極層１２ｇと透明陽極層１２ｂとが有機ＥＬ素子１２の端部において短絡することが防止されている。
【００５５】
封止部１１０は、封止部品１１０ａ、１１０ｂ、およびＯリング１２４、１２４を有している。封止部品１１０ａおよび１１０ｂのそれぞれは、発光装置の外部に向かって突出した電極１１２ａおよび１１２ｂを有している。封止部品１１０ａおよび１１０ｂの各々は、円筒管１の両端に、Ｏリング１２４により着脱可能に固定されている。封止部品１１０ａ、１１０ｂの材質は、たとえばガラスまたはアルミニウムである。各Ｏリング１２４は、エラストマーからなり、エラストマーの復元力により封止部品１１０ａおよび１１０ｂのいずれかと、円筒管１とに密着されている。これにより封止部１１０は、不活性ガスＩＧが充填された円筒管１内部を封止している。よって、有機ＥＬ素子１２が形成された領域、すなわち有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとを含む領域が、発光装置の外部から気密に封止されている。なおＯリング１２４による封止をより確実にするため、封止部１１０にＯリング１２４を締め付けるためのネジが取り付けられてもよい。
【００５６】
バーコード１０３は、封止部１１０の外面上に取り付けられており、個々の発光装置を識別するための識別情報を有している。この識別情報は、たとえば個々の発光装置に固有の数字情報である。なお個々の発光装置を識別するための識別情報を保持することができるものをバーコード１０３の代わりに用いることができる。たとえばＩＣタグが用いられてもよい。
【００５７】
有機物層ＯＬは第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆを有している。第１の層１２ｃは、たとえば下記の式（１）に示す有機材料（ＮＰＤ）から形成された厚さ４０ｎｍの層である。
【００５８】
【化１】
【００５９】
第２の層１２ｄは、たとえば、下記の式（２）に示す有機材料（Ｚｎｂｏｘ２）を主成分とし、かつ下記の式（３）に示すペリレン（Ｃ20Ｈ12）により１．５重量％のドーピングがなされた、厚さ７ｎｍの層である。
【００６０】
【化２】
【００６１】
【化３】
【００６２】
第３の層１２ｅは、たとえば、上記の式（２）に示す有機材料（Ｚｎｂｏｘ２）を主成分とし、かつ下記の式（４）に示す有機材料（ＤＣＭ１）により０．２５重量％のドーピングがなされた、厚さ２３ｎｍの層である。
【００６３】
【化４】
【００６４】
第４の層１２ｆは、たとえば、上記の式（２）に示す有機材料（Ｚｎｂｏｘ２）から形成された、厚さ３０ｎｍの層である。
【００６５】
なお上記の第１の層１２ｃはホール輸送層としての機能を有し、第４の層１２ｆは電子輸送層としての機能を有している。また第２の層１２ｄおよび第３の層１２ｅのそれぞれは、ドーパント色素としてペリレンおよびＤＣＭ１を含有することにより、発光層としての機能を有している。第２の層１２ｄおよび第３の層１２ｅのそれぞれにおいて青色およびオレンジ色の発光が生じ、これら２色の光が混合することで白色の光が得られる。
【００６６】
配線１１３ａの両端部は透明陽極層１２ｂに電気的に接続されており、配線１１３ａの中央部は電極１１２ａに電気的に接続されている。配線１１３ｂの両端部は陰極層１２ｇに電気的に接続されており、配線１１３ｂの中央部は電極１１２ｂに電気的に接続されている。また電極１１２ａ、１１２ｂの各々は封止部品１１０ａ、１１０ｂを貫通して形成されている。この構成により、円筒管１の封止領域の外に露出した電極１１２ａと電極１１２ｂとの間に電圧を印加することで、透明陽極層１２ｂと陰極層１２ｇとの間の有機物層ＯＬに電界が印加される。この電界により有機物層ＯＬの発光層における発光が生じる。
【００６７】
次に、本実施の形態の発光装置の使用方法について説明する。
上述したように、発光装置の電極１１２ａと電極１１２ｂとの間に電圧が印加されることで、発光装置から発光が生じる。有機物層ＯＬは、発光時間の経過により徐々に劣化していく。この劣化にともない、発光装置の輝度が低下していく。輝度が初期値の７０％まで低下した時点を寿命時間と定義すると、この寿命時間は、たとえば４０００時間である。寿命に到達した発光装置は、回収された後、以下に説明する発光装置の再生産に供される。
【００６８】
続いて、本実施の形態の発光装置の再生産方法について説明する。図３〜図８は、本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第１〜第６工程を順に示す概略的な断面図である。
【００６９】
図３を参照して、まず、図中矢印で示すように、円筒管１から封止部品１１０ａ、１１０ｂおよびＯリング１２４、１２４が取り外される。封止部１１０、すなわち封止部品１１０ａ、１１０ｂおよびＯリング１２４、１２４は、Ｏリング１２４の部分で円筒管１に固定されている。よって、封止部１１０および円筒管１を破壊することなしに、円筒管１から封止部１１０を容易に取り外すことができる。Ｏリング１２４がネジで締め付けられている場合は、このネジを緩めてから封止部１１０が取り外される。また封止部品１１０ａ、１１０ｂとともに、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７とが取り外される。乾燥剤１２７は脱水処理される。取り外された封止部１１０と、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７とは、部品として再利用されるために、一時的に保管される。
【００７０】
図４を参照して、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って円筒管１を囲うように、高周波コイル２０が設置される。高周波コイル２０には１３．５６ＭＨｚの高周波を発生する電源が接続される。円筒管１の両端のそれぞれに、ガス導入フランジ２１および真空排気フランジ２２のＯリング１２４が有機物層ＯＬに内接するように取り付けられる。ガス導入フランジ２１は、アルゴンガス導入口２３と、反応性ガス導入口２４とを有している。真空排気フランジ２２は、排気口２５を有している。排気口２５を通じた排気により円筒管１内が減圧状態とされつつ、アルゴンガス導入口２３および反応性ガス導入口２４のそれぞれからアルゴンガスおよびハロゲンガスが円筒管１内に導入される。
【００７１】
高周波コイル２０に高周波が印加されることで、円筒管１内にプラズマ２６が発生する。これにより陰極層１２ｇがプラズマエッチングにより除去される。陰極層１２ｇが除去されると有機物層ＯＬの陰極層１２ｇに被覆されていた部分が露出する。有機物からなる有機物層ＯＬは、このドライエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【００７２】
なお、ハロゲンガスによるハロゲンガス系プラズマの代わりに、ＣＨ4やＣＨ3ＯＨなどの有機ガスによる有機ガス系プラズマが用いられてもよい。
【００７３】
図５を参照して、アルゴンガス導入口２３および反応性ガス導入口２４のそれぞれからアルゴンガスおよび酸素ガスが円筒管１内に導入される。高周波コイル２０に高周波が印加されることで、円筒管１内に酸素プラズマ２７が発生する。これにより有機物層ＯＬが酸素プラズマアッシングにより除去される。有機物層ＯＬが除去されると透明陽極層１２ｂの有機物層ＯＬに被覆されていた部分が露出する。酸化物からなる透明陽極層１２ｂは、このドライエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【００７４】
なお、酸素プラズマアッシングの代わりに、光（たとえばレーザー）照射による加熱で有機物層ＯＬを蒸発させて、有機物層ＯＬを除去してもよい。また、酸素プラズマアッシングの代わりに、高温ガスによる加熱で有機物層ＯＬを蒸発させて、有機物層ＯＬを除去してもよい。
【００７５】
図６を参照して、上記のドライエッチングにより、保護層１２ａおよび透明陽極層１２ｂが内面に形成された円筒管１が得られる。次に透明陽極層１２ｂの表面が処理される。
【００７６】
図７を参照して、アルゴンガス導入口２３および反応性ガス導入口２４のそれぞれからアルゴンガスおよび酸素ガスが円筒管１内に導入される。高周波コイル２０に高周波が印加されることで、円筒管１内に酸素プラズマ２７が発生する。加熱ランプ２８によって、円筒管１を昇温する。これにより、酸化物からなる透明陽極層１２ｂの表面が処理される。また、透明陽極層１２ｂの表面処理は、上記の酸素プラズマ中で行われるものに限定されず、酸素雰囲気中で加熱表面処理されてもよく、また紫外線で表面処理されてもよい。
【００７７】
上記では、円筒管１は、縦に支持されている。つまり円筒管１は、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に沿うように支持されている。
【００７８】
主に図８を参照して、成膜装置１００Ｖが用いられた真空蒸着法により、表面が処理された透明陽極層１２ｂ（図７）上に、有機物層ＯＬおよび陰極層１２ｇ（図３）が成膜される。以下にこの工程について詳しく説明する。
【００７９】
まず成膜装置１００Ｖについて説明する。成膜装置１００Ｖは、主に、真空容器２９と、固定冶具３０と、坩堝３１と、冷却器３２と、回転導入器３３と、直線駆動機構３４とを有している。真空容器２９は、真空ポンプ３５により真空蒸着に適した圧力まで減圧されることができる。固定冶具３０は、真空容器２９内に円筒管１を支持するための冶具である。固定冶具３０は、図中の破線部Ｆで示すように、円筒管１の長さ方向ＬＤの一方端部（図中上側の端部）における縁部分を保持することで、円筒管１を支持することができる。坩堝３１は、ヒータ３６により加熱されることができる。これにより坩堝３１に入れられた固体原料３７を加熱することができる。また坩堝３１は、本体部分に加えてさらに上蓋３８を有している。上蓋３８は、本体部分との間に隙間ＧＰが設けられるように坩堝３１の本体部分に固定されている。坩堝３１の材質は、たとえば窒化ホウ素である。冷却器３２は、円筒管１の外面部分から熱を奪うことにより円筒管１を冷却することができるように構成されている。回転導入器３３は、固定冶具３０が円筒管１の長さ方向ＬＤを中心に回転することができるように固定冶具３０を支持している。また回転導入器３３は回転モータ３９の回転力を固定冶具３０に伝達することができるように構成されている。これにより円筒管１を円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転させることができる。円筒管１が自転する運動により、坩堝３１が原料を放出している際に、坩堝３１から見て円筒管１は円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する運動を行うことができる。すなわち坩堝３１と円筒管１とが相対運動を行うことができる。直線駆動機構３４は、円筒管１の中で坩堝３１を円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って直線的に変位させることができるように構成されている。この変位により、円筒管１と円筒管１の中に配置された坩堝３１とを円筒管１の長さ方向ＬＤに相対的に変位させることができる。すなわち坩堝３１と円筒管１とが相対運動を行うことができる。
【００８０】
円筒管１は、固定冶具３０によって、縦に支持されている。つまり円筒管１は、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に沿うように支持されている。
【００８１】
次に成膜装置１００Ｖが用いられた、有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとの成膜方法について説明する。
【００８２】
まず有機物層ＯＬの成膜方法について説明する。第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの真空蒸着に用いられる固体原料３７として、粉体の原料が準備される。また各原料ごとに坩堝３１が準備される。そして第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆのそれぞれ対応する固体原料３７が収められた複数の坩堝３１のひとつが真空容器２９内に取り付けられる。また円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｖに取り付けられる。真空ポンプ３５により真空容器２９内部が減圧される。冷却器３２の内部に冷媒が流されることにより、円筒管１の温度が５０℃以下に保たれる。回転モータ３９が駆動されることにより、円筒管１が長さ方向ＬＤを中心として自転する。この円筒管１が自転する運動により、坩堝３１から見て円筒管１は円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する運動を行う。自転速度は、たとえば３０ｒｐｍである。また直線駆動機構３４が駆動されることにより、坩堝３１が円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って円筒管１の中で往復するように変位する。変位速度は、たとえば２０ｍｍ／秒である。この変位により、円筒管１と円筒管１の中に配置された坩堝３１とが円筒管１の長さ方向ＬＤに相対的に変位する。すなわち坩堝３１と円筒管１とが相対運動を行う。ヒータ３６に直流電流が流されることにより固体原料３７が加熱されることで、固体原料３７が坩堝３１から隙間ＧＰを介して蒸発する。すなわち円筒管１の内部に配置された固体原料３７が、坩堝３１からその周囲に飛散する。飛散された固体原料３７の少なくとも一部が透明陽極層１２ｂ（図６）上へ付着することで、円筒管１の内面に真空蒸着による層の形成が行なわれる。異なる材質の固体原料３７が収められた複数の坩堝３１が順次用いられて真空蒸着が行なわれることで、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層構造、すなわち新たな有機物層ＯＬが得られる。
【００８３】
なお、透明陽極層１２ｂに有機物層ＯＬが真空蒸着される際に、図１８に示すように、透明陽極層１２ｂの一部に第１のマスク８１が設けられていてもよい。第１のマスク８１が設けられた領域以外に有機物層ＯＬが成膜される。残された透明陽極層１２ｂの一部が配線１１３ａ、１１３ｂの接続に使用される。
【００８４】
次に陰極層１２ｇの形成工程について説明する。固体原料３７としてアルミニウム材が収められた坩堝３１が真空容器２９内に取り付けられる。また有機物層ＯＬが形成された円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｖに取り付けられる。またショート防止用スペースＳＰ（図２）を設けるために、直線駆動機構３４の出発点と折り返し点を調節する。次に第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの形成工程と同様の真空蒸着が行なわれる。これにより新たな陰極層１２ｇが形成される。
【００８５】
なお、有機物層ＯＬに陰極層１２ｇが真空蒸着される際に、図１８に示すように、有機物層ＯＬの端部に第２のマスク８１が設けられていてもよい。第２のマスク８１が設けられた領域以外に陰極層１２ｇが成膜される。これにより、陰極層１２ｇと透明陽極層１２ｂとが有機物層ＯＬの端部において接触しないように形成される。ショート防止用スペースＳＰが設けられていることにより、陰極層１２ｇと透明陽極層１２ｂとが有機ＥＬ素子１２の端部において短絡することが防止されている。
【００８６】
これにより新たな有機物層ＯＬと新たな陰極層１２ｇとが成膜される。
再び図２を参照して、不活性ガス雰囲気中で、一時的に保管されていた封止部１１０と、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７とが、再び円筒管１に取り付けられる。このようにして封止部１１０が再使用されて円筒管１の内周が気密に封止される。配線１１３ａが透明陽極層１２ｂに接続され、配線１１３ｂが陰極層１２ｇに接続される。封止部１１０は、Ｏリング１２４を有しているので、容易に円筒管１に取り付けることができる。
【００８７】
以上により発光装置が再生産される。
上記の発光装置の再生産方法では、封止部１１０を取り外す工程と、有機物層ＯＬを露出させる工程と、透明陽極層１２ｂ（第１電極層）を露出させる工程と、透明陽極層１２ｂ（第１電極層）を表面処理する工程と、新たな有機物層ＯＬを成膜する工程と、新たな陰極層１２ｇ（第２電極層）を成膜する工程と、円筒管１の内周を封止部１１０で気密に封止する工程との全ては、円筒管１が縦に保持された状態で行なわれる。この場合には、各工程を行う装置の各部の全てが、円筒管１を縦に保持できるように構成されている。また、これらの各工程の少なくとも１つの工程が円筒管１が縦に保持された状態で行なわれてもよい。この場合には、各工程を行う装置の各部が、円筒管１を縦に保持できるように構成されている。
【００８８】
本実施の形態によれば、封止部１１０が円筒管１に着脱可能に固定されているので、封止部１１０は、取り外された後に再度取り付けられることができる。よって、有機物層ＯＬが劣化した発光装置の封止部１１０が取り外され、有機物層ＯＬおよび陰極層１２ｇが新たにされ、そして封止部１１０が再度取り付けられることで、発光装置を再生産することができる。これにより、装置の一部が廃棄されずに部品として再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置の一部が形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【００８９】
また陰極層１２ｇは金属層である。これにより、金属用のエッチャントを用いて陰極層１２ｇをエッチングすることができる。また金属用のエッチャントは有機物をエッチングしにくいので、陰極層１２ｇのエッチングの際に有機物層ＯＬをエッチングストッパーとして用いることができる。
【００９０】
また透明陽極層１２ｂは、酸化物層であるため、有機物用のエッチャントによりエッチングされにくい。このため有機物用のエッチャントによって有機物層ＯＬがエッチングされる際に、透明陽極層１２ｂをエッチングストッパーとして用いることができる。
【００９１】
また円筒管１は管形状を有している。これにより、封止部１１０が円筒管１の管形状の端部に取り付けられるだけで、有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとを含む領域を気密に封止することができる。よって、封止部１１０が円筒管１の広範囲に取り付けられる必要がないので、封止部１１０の着脱を容易に行うことができる。
【００９２】
また有機物層ＯＬが除去された後に、透明陽極層１２ｂの表面が処理される。これにより、有機物層ＯＬが除去される際に生じた透明陽極層１２ｂの表面残渣が取り除かれる。よって発光装置の再生産において有機物層ＯＬが新たに形成される面である透明陽極層１２ｂの表面を平滑にすることができる。
【００９３】
また円筒管１、保護層１２ａ、および透明陽極層１２ｂは酸化物などの劣化の少ない材料からなり、封止部１１０はガラスまたはアルミニウムなどの劣化の少ない材料からなる。また発光装置は発光素子として有機ＥＬ素子１２、すなわち電流注入により発光する素子を用いているので、熱または放電により発光する素子に比して、発光素子以外の部分を劣化させる程度が少ない。よって発光装置の一部を長期にわたって再使用することができる。再使用できる期間は、たとえば発光時間として８００００時間程度（１日１２時間の使用で２０年程度）である。
【００９４】
また有機物層ＯＬが不活性ガスＩＧ中に封止されるので、有機物層ＯＬの劣化を抑制することができる。よって１回の再生産当たりの発光装置の寿命を長くすることができる。
【００９５】
上記の発光装置においては、有機ＥＬ素子（有機発光素子）１２がフレキシブル基板１１５上に形成されてもよい。以下、その内容について説明する。
【００９６】
図２０（Ａ）を参照して、まずフレキシブル基板（可撓性フィルム）１１５が、たとえば透光性を有する厚さ７５μｍのＰＥＮ（Poly （ethylene naphthalate））フィルムから準備される。このフレキシブル基板１１５上に有機ＥＬ素子１２が形成される。
【００９７】
図２０（Ｂ）を参照して、この後、たとえばフレキシブル基板１１５が外周側、有機ＥＬ素子１２が内周側となるようにフレキシブル基板１１５が湾曲させられる。湾曲されたフレキシブル基板１１５は円筒管１内面に装着される。この状態の円筒管１内の構成は、図２１に示すような構成となっている。つまり、円筒管１の内周面にフレキシブル基板１１５を介在して有機ＥＬ素子１２が配置されている。
【００９８】
この後、図２２に示す封止部品１１０ａ、１１０ｂなどが円筒管１に取り付けられて発光装置が製造される。図２２に示す発光装置では、円筒管１の内面上に、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇとが順に積層されるように形成されている。この発光装置では、円筒管１の内面上にフレキシブル基板１１５が形成されているので、保護層１２ａは形成されていない。なお、フレキシブル基板１１５と円筒管１との間に保護層１２ａが形成されていてもよい。
【００９９】
また、図２３に示すように、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇとが複数（図２３では２層）積層されていてもよい。図２３に示す発光装置では、円筒管１の内面上に、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇと、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇとが順に積層されるように形成されている。
【０１００】
有機物層ＯＬとフレキシブル基板１１５との間に位置している陰極層１２ｇは透光性を有していることが好ましく、酸化インジウム錫などを用いることができる。補助電極１１４は、複数の透明陽極層１２ｂと配線１１３ａとを接続し、複数の陰極層１２ｇと配線１１３ｂとを接続している。
【０１０１】
上記のようにフレキシブル基板１１５を用いた場合には、フレキシブル基板１１５の屈折率を適切に設定することにより有機ＥＬ発光装置における光の取り出し効率を高めることができる。
【０１０２】
円筒管１が縦に保持されている。これにより、円筒管１は、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に沿うように支持されているので、製造過程において重力方向に落下したゴミが管の内周の面上に付着することを抑制することができる。
【０１０３】
なお本実施の形態においては封止部品１１０ａおよび１１０ｂの各々と円筒管１との間を封止するためにＯリング１２４が用いられたが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、Ｏリング１２４を使用しないで紫外線硬化接着剤やロウ付けを用いて封止されてもよい。
【０１０４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２の発光装置の再生産方法では、実施の形態１における陰極層１２ｇのドライエッチング工程（図４）および有機物層ＯＬのドライエッチング工程（図５）のそれぞれの代わりに、液体を使用した陰極層１２ｇのウェットエッチング工程および有機物層ＯＬのウェットアッシング工程が行なわれる。以下にこの工程について説明する。
【０１０５】
まずウェットエッチング装置８０について説明する。図９を参照して、ウェットエッチング装置８０は、回転導入フランジ４０と、回転排出フランジ４１と、軸受４２ａ，４２ｂと、回転モータ４３と、液体供給管（供給部）４４と、排出口４５と、傾斜台４６と、ランプヒータ４７と、駆動機構４８とを主に有している。図９においてはウェットエッチング装置に加えて円筒管が図示されている。
【０１０６】
傾斜台４６は、第１保持部材４６ａと、ヒンジ部４６ｂと、支持部４６ｃと、第２保持部材４６ｄと、第３保持部材４６ｅとからなっている。第１保持部材４６ａは、第１保持部材４６ａの一方端部において、ヒンジ部４６ｂによって支持部４６ｃに回転可能に取り付けられている。ヒンジ部４６ｂから第１保持部材４６ａの他方端部の方向に移動した位置に第２保持部材４６ｄが形成されている。また第１保持部材４６ａの他方端部には第３保持部材４６ｅが形成されている。
【０１０７】
第２保持部材４６ｄおよび第３保持部材４６ｅ上には、軸受４２ａ、４２ｂが取り付けられている。軸受４２ａの内周側には、回転導入フランジ４０が挿入されて、回転可能に保持されている。また、軸受４２ｂの内周側には、回転排出フランジ４１が挿入されて、回転可能に保持されている。回転導入フランジ４０は駆動機構４８を介して回転モータ４３に接続されている。これにより、回転モータ４３の駆動力が駆動機構４８を介して回転導入フランジ４０に伝達されることにより回転導入フランジ４０が回転する。
【０１０８】
回転導入フランジ４０の円周方向の中心部には孔が形成されている。当該孔から液体供給管４４が長さ方向ＬＤに沿った方向に回転導入フランジ４０の内側に挿入されている。この液体供給管４４から酸溶液、純水などが円筒管１内に供給されるように構成されている。回転排出フランジ４１の円周方向の中心部には排出口４５が形成されている。この排出口４５の円周方向の下端まで酸溶液、純水などが満たされている。傾斜台４６が傾くことにより排出口４５から酸溶液、純水などが排出される。円筒管１と傾斜台４６との間にはランプヒータ４７が配置されている。円筒管１の外周面とランプヒータ４７とが対向するようにランプヒータ４７は配置されている。
【０１０９】
回転導入フランジ４０と回転排出フランジ４１との間には円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に交差するように円筒管１が支持されている。円筒管１の両端部は、回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１の対向する面に接触している。また、回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１の対向する面にはそれぞれ凸部が設けられている。これらの凸部の外周面と円筒管１に形成されている有機物層ＯＬの内周面とがＯリング１２４を介在して接触している。このようにして、円筒管１が回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１によって支持されている。
【０１１０】
なお、上記では回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１のそれぞれの凸部の外周面と、円筒管１に形成されている有機物層ＯＬの内周面とがＯリング１２４を介在して接触して、円筒管１がウェットエッチング装置８０に取り付けられているが、図１０に示す変形例のように円筒管１がウェットエッチング装置８０に取り付けられていてもよい。図１０においてはウェットエッチング装置に加えて円筒管が図示されている。
【０１１１】
つまり、凸部が回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１のそれぞれの外周部に形成されている。そして、凸部の内周面と、円筒管１の外周面とがＯリング１２４を介して接触して、円筒管１がウェットエッチング装置８０に取り付けられていてもよい。
【０１１２】
次にウェットエッチング装置８０によるウェットエッチング処理について説明する。
図９を参照して、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に交差するように円筒管１が支持される。円筒管１の両端のそれぞれに、回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１が取り付けられる。回転モータ４３の駆動力が駆動機構４８を介して伝達されることにより回転導入フランジ４０が軸受４２ａに支持されながら回転する。これにより円筒管１が円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する。
【０１１３】
この状態において、液体供給管４４から円筒管１内へ酸溶液の導入が開始される。酸溶液は液面ＦＬが排出口４５の円周方向の下端まで供給される。この酸溶液は、金属に対するウェットエッチング液であり、たとえばリン酸と、硝酸と、酢酸との混合液である。この酸溶液により、アルミニウムなどの金属からなる陰極層１２ｇが溶かされる。すなわち陰極層１２ｇがウェットエッチングにより除去される。陰極層１２ｇが除去されると有機物層ＯＬの陰極層１２ｇに被覆されていた部分が露出する。有機物層ＯＬは有機物であるため酸溶液には溶けない。すなわち有機物層ＯＬはこのウェットエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【０１１４】
陰極層１２ｇの除去後、円筒管１の回転が停止されて傾斜台４６が傾斜されることにより、円筒管１内の酸溶液が排出口４５から排出される。つまり、傾斜台４６の第１保持部材４６ａが、ヒンジ部４６ｂによって第３保持部材４６ｅが第２保持部材４６ｄより低い位置となるように支持部４６ｃに対して回転される。これにより、第２保持部材４６ｅ側に配置された回転排出フランジ４１に形成された排出口４５が低い位置となるように傾斜台４６が傾斜される。これにより、円筒管１内の酸溶液が排出口４５から排出される。続いて、液体供給管４４から円筒管１内に純水が導入されることで、円筒管１内に付着している酸溶液が洗い流される。
【０１１５】
次に、傾斜台４６が水平状態に戻される。これにより再び円筒管１の長さ方向ＬＤが水平方向に沿った方向となるように円筒管１が配置される。そして再び円筒管１が回転される。この状態において液体供給管４４からから円筒管１内へ炭化水素系洗浄溶剤の導入が開始される。炭化水素系洗浄溶剤は液面ＦＬが排出口４５の円周方向の下端まで供給される。この炭化水素系洗浄溶剤は、有機物に対する非塩素系ウェットエッチング液であり、たとえば関東化学株式会社製の有機ＥＬ材料洗浄液「ＯＥＬ Ｃｌｅａｎシリーズ」（商標）である。
【０１１６】
この炭化水素系洗浄溶剤により、有機物層ＯＬが溶かされる。すなわち有機物層ＯＬがウェットエッチングにより除去される。有機物層ＯＬが除去されると透明陽極層１２ｂの有機物層ＯＬに被覆されていた部分が露出する。透明陽極層１２ｂは酸化物であるため、炭化水素系洗浄溶剤には溶けない。すなわち透明陽極層１２ｂはこのウェットエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【０１１７】
なお炭化水素系洗浄溶剤の代わりに、高温純水が用いられてもよい。
有機物層ＯＬの除去後、円筒管１の回転が停止されて上記と同様に傾斜台４６が傾斜されることにより円筒管１は傾斜されることにより、円筒管１内の炭化水素系洗浄溶剤が排出口４５から排出される。続いて、液体供給管４４から円筒管１内に非塩素系洗浄溶剤が導入されることで、円筒管１内に付着している炭化水素系洗浄溶剤が洗い流される。この非塩素系洗浄溶剤は、たとえば住友スリーエム株式会社製「ノベック」（商標）ＨＦＥ−７１００、または旭硝子株式会社製「アサヒクリン」（商標）ＡＥ−３０００である。 次に液体供給管４４から円筒管１内に純水が導入されることで、さらに洗浄が行なわれる。次に円筒管１がランプヒータ４７と対向する位置で回転モータ４３の駆動力によって回転される。これにより、ランプヒータ４７の熱によって効率よく円筒管１内が乾燥される。
【０１１８】
なお、本実施の形態の上記以外の再生産方法は、上述した実施の形態１とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０１１９】
本実施の形態によれば、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。また、本実施の形態によれば、陰極層１２ｇおよび有機物層ＯＬをウェットエッチングにより除去することができる。またウェットエッチング装置８０により陰極層１２ｇおよび有機物層ＯＬのウェットエッチングを簡易な構成により行うことができる。これらにより製造コストを含めた生産性を向上することができる。
【０１２０】
（実施の形態３）
はじめに本発明の実施の形態３の再生産装置の構成について説明する。
【０１２１】
図１１を参照して、本実施の形態の再生産装置１００Ｗは、搬入室５１と、開閉弁ＧＶ１〜ＧＶ７と、封止着脱室（封止着脱部）５２と、待機室５３と、搬送手段ＴＲ１、ＴＲ２と、真空搬送室５４と、エッチング室（第２電極層除去部、有機物層除去部、第１電極層表面処理部）５５と、中間室５６と、高真空搬送室５７と、有機物蒸着室（有機物層成膜部）５８と、陰極蒸着室（第２電極層成膜部）５９と、搬出室６０と、ポンプ６１，６２とを主に有している。各室は気密構造を有している。図１１においては再生装置に加えて円筒管が図示されている。また図１１においては図を見やすくするために再生産装置の上面側の構造が一部図示されていない。
【０１２２】
搬入室５１は、発光装置の種類をバーコード１３によって識別する図示しない識別装置を有している。搬入室５１は、大気圧から真空排気され、また窒素が導入されて大気圧にされるように構成されている。開閉弁ＧＶ１〜ＧＶ７は各室の間を開閉するように構成されている。封止着脱室５２は、発光装置の発光装置の封止部１１０（図２）を着脱する機能を有している。封止着脱室５２は、窒素が導入されるように構成されている。待機室５３は、真空排気されるように構成されている。
【０１２３】
真空搬送室５４は、真空にされるように構成されている。真空搬送室５４は、搬送手段ＴＲ１を有している。搬送手段ＴＲ１は、たとえば搬送ロボットであり、待機室５３からエッチング室５５に円筒管１を搬送することができる。
【０１２４】
エッチング室５５は、真空排気されるように構成されている。エッチング室５５は、円筒管１に図示しないエッチングマスクを取り付け、エッチングのための混合ガスを導入するように構成されている。またエッチング後、エッチングマスクが取り外されるように構成されている。またエッチング室５５は、高周波を印加してプラズマを発生させることにより陰極層１２ｇ（図２）および有機物層ＯＬ（図２）をエッチングするよう構成されている。さらにエッチング室５５は、円筒管１を加熱するための図示しない加熱ランプを有している。加熱ランプが円筒管１を加熱することにより透明陽極層１２ｂが表面処理されるように構成されている。中間室５６は高真空排気されるように構成されている。
【０１２５】
高真空搬送室５７は、高真空にされるように構成されている。高真空搬送室５７は、搬送手段ＴＲ２を有している。搬送手段ＴＲ２は、たとえば搬送ロボットであり、中間室５６から有機物蒸着室５８に円筒管１を搬送することができる。搬送手段ＴＲ２は、有機物層ＯＬの各層に対応する図示しない坩堝を備えたそれぞれの有機物蒸着室５８へ円筒管１を順に移動させるように構成されている。
【０１２６】
有機物蒸着室５８は、真空排気されるように構成されている。有機物蒸着室５８は図示しない有機物蒸着マスク（第１のマスク）を取り付けて、有機物層ＯＬ（図２）を蒸着した後、有機物蒸着マスクを取り外すように構成されている。
【０１２７】
陰極蒸着室５９は、高真空排気されるように構成されている。陰極蒸着室５９は、図示しない陰極蒸着マスク（第２のマスク）を取り付けて、陰極層１２ｇ（図２）を蒸着した後、陰極蒸着マスクを取り外すように構成されている。
【０１２８】
搬出室６０は、真空排気され、また窒素ガスが導入されて大気圧となるように構成されている。
【０１２９】
真空ポンプ６１は、たとえばターボ分子ポンプ６１からなっている。蒸着用の高真空ポンプ６２は、たとえばクライオポンプ６２からなっている。
【０１３０】
上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１３１】
続いて、本実施の形態の発光装置の再生産方法について説明する。
発光装置が搬入室５１に設置される。図示しない制御装置によって、発光装置の種類がバーコード１３により識別され、プロセスレシピが選択され、再生産作業が開始される。
【０１３２】
次に、搬入室５１は大気雰囲気から真空排気される。次に、搬入室５１に窒素が導入される。搬入室５１が大気圧にされたら開閉弁ＧＶ１が開かれて、発光装置が封止着脱室５２に移送される。発光装置の移送後、開閉弁ＧＶ１が閉じられる。
【０１３３】
次に、窒素雰囲気の封止着脱室５２において、発光装置の封止部１１０が取り外されて、円筒管１と分離される。次に、開閉弁ＧＶ２が開き、円筒管１が封止着脱室５２から待機室５３に移送される。円筒管１の移送終了後、開閉弁ＧＶ２が閉じられる。
【０１３４】
次に、待機室５３が真空排気される。次に、開閉弁ＧＶ３、ＧＶ４が開かれて、円筒管１が搬送手段ＴＲ１によって、待機室５３から真空搬送室５４を通ってエッチング室５５に真空中で搬送される。搬送終了後、開閉弁ＧＶ３、ＧＶ４が閉じられる。
【０１３５】
次に、エッチング室５５では、真空排気しながら円筒管１にエッチングマスクが取り付けられて、陰極層１２ｇだけが露出される。そして、アルゴンガスとハロゲンガスとの混合ガスがエッチング室５５に導入される。減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されることでプラズマ２６が発生する。プラズマ雰囲気中で陰極層１２ｇがエッチングされて有機物層ＯＬが露出される。エッチング終了後、真空排気してエッチングマスクが取り外される。
【０１３６】
次に、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガスがエッチング室５５に導入される。減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されることでプラズマ２７が発生する。プラズマ雰囲気中で有機物層ＯＬがエッチングされて透明陽極層１２ｂが露出される。
【０１３７】
次に、図示しない加熱ランプ２８によって円筒管１が加熱される。このように円筒管１が加熱されながらプラズマ２７によってエッチングされることで、酸化物からなる透明陽極層１２ｂの表面が処理される。エッチング終了後、エッチング室５５は真空排気される。
【０１３８】
次に、開閉弁ＧＶ４、ＧＶ５が開かれて、円筒管１が搬送手段ＴＲ１によって、エッチング室５５から真空搬送室５４を通って中間室５６に真空中で搬送される。搬送終了後、開閉弁ＧＶ４、ＧＶ５は閉じられる。真空搬送室５４は、たとえばターボ分子ポンプからなるポンプ６１により真空にされる。
【０１３９】
次に、中間室５６は高真空排気される。次に、開閉弁ＧＶ６が開かれて、円筒管１が搬送手段ＴＲ２によって、中間室５６から高真空搬送室５７を通って有機物蒸着室５８に搬送される。高真空搬送室５７は、たとえばクライオポンプ６２からなる蒸着用の高真空ポンプ６１により高真空排気される。
【０１４０】
次に、各有機物蒸着室５８では、真空排気しながら有機物蒸着マスクが取り付けられて、有機物層ＯＬの蒸着が行われる。蒸着終了後、有機物蒸着マスクは取り外される。有機物層ＯＬの各層に対応する複数の坩堝（図示しない）を備えたそれぞれの有機物蒸着室５８へ搬送手段ＴＲ２によって円筒管１を順に移動させることにより有機物層ＯＬが多層形成される。
【０１４１】
次に、円筒管１が搬送手段ＴＲ２によって有機物蒸着室５８から陰極蒸着室５９に高真空中で搬送される。次に、陰極蒸着室５９では、陰極蒸着マスクが取り付けられて、陰極層１２ｇの蒸着が行われる。蒸着終了後、陰極蒸着マスクは取り外される。
【０１４２】
次に、開閉弁ＧＶ６が開かれ、円筒管１は搬送手段ＴＲ２によって陰極蒸着室５９から中間室５６に高真空中で搬送される。搬送終了後、開閉弁ＧＶ６は閉じられる。
【０１４３】
次に、開閉弁ＧＶ３，ＧＶ５が開かれて、円筒管１は搬送手段ＴＲ１によって中間室５６から待機室５３に真空中で搬送する。搬送終了後、開閉弁ＧＶ３、ＧＶ５は閉じられる。
【０１４４】
次に、待機室５３に窒素が導入されて大気圧にされる。その後、開閉弁ＧＶ２が開かれて、円筒管１が封止着脱室５２に移送される。移送後、開閉弁ＧＶ２は閉じられる。
【０１４５】
次に、窒素雰囲気の封止着脱室５２で円筒管１に封止部１１０が取り付けられて、発光装置が組み立てられる。
【０１４６】
次に、開閉弁ＧＶ７が開かれて、発光装置は封止着脱室５２から搬出室６０に移送される。移送終了後、開閉弁ＧＶ７は閉じられる。
【０１４７】
次に、発光装置が搬出室６０から取り出される。発光装置が搬出室６０から取り出された後、搬出室６０は真空排気される。その後、窒素ガスが導入されて搬出室６０は大気圧にされる。
【０１４８】
発光装置は、連続して各室に搬送される。つまり各室の処理が終了し、１つの発光装置が再生産装置から搬出されると次の発光装置が搬入される。
【０１４９】
上記のように、封止部１１０を取り外す工程と、円筒管１の内部を封止部１１０で気密に封止する工程とを有する第１の工程は、封止着脱室（第１の気密容器）５２で行なわれる。陰極層１２ｇを除去する工程と、有機物層ＯＬを除去する工程と、透明陽極層１２ｂを表面処理する工程とを有する第２の工程は、エッチング室（第２の気密容器）５５で行われる。有機物層ＯＬを成膜する工程と、陰極層１２ｇを成膜する工程とを有する第３の工程は、高真空搬送室５７を通じて繋がっている有機物蒸着室５８および陰極蒸着室５９で行なわれる（第３の気密容器）。
【０１５０】
上記の再生産装置１００Ｗでは、封止着脱室（封止着脱部）５２と、エッチング室（第２電極層除去部、有機物層除去部、第１電極層表面処理部）５５と、有機物蒸着室（有機物層成膜部）５８と、陰極蒸着室（第２電極層成膜部）５９との全ては、円筒管１を縦に保持できるように構成されている。また、これらの各部の少なくとも１つが、円筒管１１を縦に保持できるように構成されていてもよい。
【０１５１】
本実施の形態の再生産装置によれば、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【０１５２】
（実施の形態４）
はじめに、本発明の実施の形態４の再生産装置の構成について説明する。
【０１５３】
図１２〜１４を参照して、本実施の形態の再生産装置１００Ｘは、気密室７０と、結合治具７１と、公転搬送手段７２と、エッチングフランジ７３と、自転モータ７４と、溶液コーティングフランジ７５と、溶液コーティングノズル７６と、陰極蒸着フランジ７７と、蒸着ルツボ７８とを主に有している。
【０１５４】
結合治具７１と、公転搬送手段７２と、エッチングフランジ７３とにより第２電極層除去部、有機物層除去部および第１電極層表面処理部が形成されている。結合治具７１と、公転搬送手段７２と、溶液コーティングフランジ７５とにより有機物層成膜部が形成されている。結合治具７１と、公転搬送手段７２と、陰極蒸着フランジ７７とにより有機物層成膜部が形成されている。結合治具７１と、公転搬送手段７２と、エッチングフランジ７３、溶液コーティングフランジ７５および陰極蒸着フランジ７７のいずれかを組み合わせて結合器が形成されている。円筒管（管）１の内周領域は、結合器によって気密状態に閉塞されている。
【０１５５】
図１２〜１４においては再生装置に加えて円筒管が図示されている。また図１２においては、図を見やすくするために再生産装置の上側のみを図示している。図１４においては、図を見やすくするために再生産装置の下側のみを図示している。
【０１５６】
図１２に示すように、気密室７０内の一方端部側には公転搬送手段７２が仮想の軸線Ｊを中心に回転可能に配置されている。他方端部側にはエッチングフランジ７３が公転搬送手段７２に対して前後移動可能に配置されている。
【０１５７】
図１３に示すように、側面視における右上側にエッチングフランジ７３が配置されている。側面視においてエッチングフランジ７３から仮想の軸線Ｊに対して９０度時計回りに移動した位置に溶液コーティングフランジ７５が配置されている。側面視において溶液コーティングフランジ７５から仮想の軸線Ｊに対して９０度時計回りに移動した位置に陰極蒸着フランジ７７が配置されている。
【０１５８】
図１４に示すように、気密室７０内の他方端部側には、溶液コーティングフランジ７５および陰極蒸着フランジ７７が公転搬送手段７２に対して前後移動可能に配置されている。
【０１５９】
図１２に示すように、公転搬送手段７２には円筒管１の一方側が取り付けられるための取付部７２ａが設けられている。また取付部７２ａはパーティクルの侵入を防止するためパージ窒素を供給するように構成されている。エッチングフランジ７３は、マスクＭ１を円筒管１内に取り付ける装置を有している。エッチングフランジ７３には自転モータ７４が取り付けられている。エッチングフランジ７３は、円筒管１内を真空排気するように構成されている。公転搬送手段７２の取付部７２ａとエッチングフランジ７３との間には、円筒管１を挟みこむように加熱ランプ２８が配置されている。
【０１６０】
溶液コーティングフランジ７５は、溶液コーティングノズル７６を有している。溶液コーティングフランジ７５には自転モータ７４が取り付けられている。公転搬送手段７２の取付部７２ａと溶液コーティングフランジ７５との間には、円筒管１に沿うように加熱ランプ２８が配置されている。陰極蒸着フランジ７７は、蒸着ルツボ７８を有している。陰極蒸着フランジ７７には自転モータ７４が取り付けられている。陰極蒸着フランジ７７は、円筒管１内を真空排気するように構成されている。
【０１６１】
上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１６２】
続いて、本実施の形態の発光装置の再生産方法について説明する。
図１２を参照して、窒素雰囲気の気密室７０内で、発光装置の封止部１１０が取り外される。そして、図中矢印Ｘ１で示すように、円筒管１の両端に結合治具７１が装着される。
【０１６３】
次に、図中矢印Ｘ２で示すように、円筒管１が公転搬送手段への取り付け位置に移動される。そして図中矢印Ｘ３で示すように、円筒管１の一方側は、結合治具７１を介在して公転搬送手段７２に装着される。公転搬送手段７２の取付部７２ａから円筒管１の内部にパーティクルの侵入を防止するためパージ窒素が供給される。
【０１６４】
次に、図１３に示すように、公転搬送手段７２は、図示しない回転モータによって、仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。
【０１６５】
次に、図１２および図１３を参照して、図中矢印Ｘ４で示すように、円筒管１の片側には、エッチングフランジ７３が連結されて、真空排気しながら円筒管１にエッチングマスクＭ１が取り付けられる。これにより、エッチングされる陰極層１２ｇだけが露出される。そして、自転モータ７４によって円筒管１が自転する。アルゴンガスとハロゲンガスの混合ガスが円筒管１に導入され、減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されて、プラズマ２６が発生する。プラズマ雰囲気中で陰極層１２ｇがエッチングされて有機物層ＯＬが露出される。エッチング終了後、真空排気してエッチングマスクＭ１が取り外される。
【０１６６】
次に、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガスが円筒管１に導入される。減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されることで酸素プラズマ２７が発生する。プラズマ雰囲気中で有機物層ＯＬがエッチングされて透明陽極層１２ｂを露出する。
【０１６７】
次に加熱ランプ２８によって円筒管１が加熱される。このように円筒管１が加熱されながらプラズマ２７によってエッチングされることで、酸化物からなる透明陽極層１２ｂの表面が処理される。エッチング終了後、円筒管１内は常圧にされる。
【０１６８】
次に、エッチングフランジ７３が外されて、公転搬送手段７２は、仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。
【０１６９】
次に、円筒管１の片側には、溶液コーティングフランジ７５が連結される。円筒管１は、加熱ランプ２８で加熱されながら自転モータ７４によって自転する。溶液コーティングノズル７６が円筒管１の内側に挿入され、有機物層ＯＬの塗布が行われる。その際、有機物層マスクが設けられていてもよい。
【０１７０】
次に、溶液コーティングフランジ７５が外されて、公転搬送手段７２は仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。
【０１７１】
次に、図１４を参照して、円筒管１の片側には、陰極蒸着フランジ７７が連結される。円筒管１は、真空排気されて、冷却されながら自転モータ７４によって自転する。蒸着ルツボ７８が円筒管１の内側に挿入され、陰極層１２ｇの真空蒸着が行われる。その際、陰極蒸着マスクが設けられていてもよい。
【０１７２】
次に、陰極蒸着フランジ７７が外されて、公転搬送手段７２は仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。このようにして円筒管１は、元の位置に戻り、公転搬送手段７２から取り外される。
【０１７３】
次に、円筒管１の両端の結合治具７１が外され、封止部１１０が取り付けられて、発光装置が組み立てられる。
【０１７４】
発光装置は連続して気密室７０に搬入される。つまり発光装置は、順次、公転搬送手段７２に装着される。各工程の処理が終了し、発光装置が搬出されると次の発光装置が気密室７０に搬入される。
【０１７５】
本実施の形態の再生産装置によれば、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。
発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【０１７６】
（実施の形態５）
はじめに、本発明の実施の形態５の再生産装置の構成について説明する。
【０１７７】
図１５および図１６を参照して、本実施の形態の発光装置の再生産装置としての成膜装置１００Ｐは、円筒管１と、円筒管１の内周に形成された有機ＥＬ素子１２とを含む発光装置の製造装置である。
【０１７８】
成膜装置１００Ｐは、主に、複数の固定冶具３０と、複数の坩堝３１（複数の放出部分）と、公転用テーブル８０ａ（搬送手段）と、駆動部とを有している。公転用テーブル８０ａは、真空容器（気密容器）２９内に設けられ、円板形状を有している。この公転用テーブル８０ａの一方の面の中心に、真空容器２９外に設けられた回転モータ３９が自公転機構８０Ａを介して取り付けられている。この回転モータ３９により、公転用テーブル８０ａは円板形状の中心を通る軸ＡＸを中心にして自転することができる。またこの公転用テーブル８０ａの他方の面の外周に沿って、複数の固定冶具３０が設けられている。
【０１７９】
この構成により、公転用テーブル８０ａは自身が自転することにより複数の固定冶具３０を公転用テーブル８０ａの円形形状の中心の周りに公転させることができる。駆動部の各々は、自転用伝達ベルト８０ｂと、直線駆動機構３４とを有する。固定冶具３０は自転用伝達ベルト８０ｂを介して回転モータ３９の駆動力を受けることにより自転することができる。直線駆動機構３４は複数の坩堝３１の各々に設けられている。
【０１８０】
なお成膜装置１００Ｐは、さらに封止着脱室５２と、待機室５３と、搬送手段ＴＲ３と、ゲートバルブＧＶ８とを有している。封止着脱室５２は待機室５３を介在して真空容器２９に接続されている。搬送手段ＴＲ３は封止着脱室５２と真空容器２９との間で円筒管１を搬送する機能を有している。ゲートバルブＧＶ８は待機室５３と真空容器２９との間を開閉することができる。
【０１８１】
上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１８２】
次に成膜装置１００Ｐを用いた有機ＥＬ素子１２の形成方法について説明する。図２および図１５を参照して、複数の坩堝３１のそれぞれに、有機ＥＬ素子１２の保護層１２ａ、透明陽極層１２ｂ、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆ、および陰極層１２ｇに対応する固体原料３７が収められる。
【０１８３】
図１６を参照して、ゲートバルブＧＶ８が閉じた状態で、封止着脱室５２内において搬送手段ＴＲ３に円筒管１が取り付けられる。
【０１８４】
図１５および図１７を参照して、ゲートバルブＧＶ８が開けられ、搬送手段ＴＲ３により円筒管１が真空容器２９内に移動される。そして円筒管１が固定冶具３０に取り付けられる。次に搬送手段ＴＲ３が元の位置に戻り、ゲートバルブＧＶ８が閉じる。
【０１８５】
成膜装置１００Ｖ（図８）を用いた成膜方法と同様の方法で、保護層１２ａの形成が行なわれる。すなわち長さ方向ＬＤを中心として自転する円筒管１の内面に保護層１２ａが形成される。なお、成膜中は仮想の軸線ＡＸを中心とする公転用テーブル８０ａの自転は行なわれない。
【０１８６】
保護層１２ａの形成が終了した時点で、坩堝３１は直線駆動機構３４により、図中下側（直線駆動機構３４の側）に移動されることで、円筒管１の外部に引き出される。シャッター７９により坩堝３１から蒸発する固体原料３７が遮られる。回転モータ３９により仮想の軸線ＡＸを中心に公転用テーブル８０ａが一定角度だけ回転される。これにより円筒管１は、仮想の軸線ＡＸを中心として一定角度だけ公転し、透明陽極層１２ｂに対応する固体原料３７が収められた坩堝３１の上方に至る。このようにして、円筒管１が複数の坩堝３１の各々に対応する位置へ順に移動させる。
【０１８７】
次に成膜装置１００Ｖ（図８）を用いた成膜方法と同様の方法で、保護層１２ａ上に透明陽極層１２ｂが形成される。同様にして、さらに第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆ、および陰極層１２ｇが形成されることで、有機ＥＬ素子１２が形成される。
【０１８８】
なお公転用テーブル８０ａが一定角度回転されるごとに、真空容器２９から封止着脱室５２を経由して有機ＥＬ素子１２が形成済みの円筒管１を１つ取り出し、有機ＥＬ素子１２が形成前の円筒管１の１つを封止着脱室５２を経由して真空容器２９に入れることにより、複数の円筒管１への成膜を１つの真空容器２９内で同時に行うことができる。
【０１８９】
また有機ＥＬ素子１２を構成する複数の層の少なくとも１層が、成膜装置１００Ｐ以外の装置である成膜装置１００Ｖ、成膜装置１００Ｙにより形成されてもよい。
【０１９０】
本実施の形態によれば、円筒管１を真空容器２９から取り出すことなく、連続して複数の層を形成することができるので、効率よく有機ＥＬ素子１２を形成することができる。
【０１９１】
（実施の形態６）
本実施の形態においては第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆはガス輸送法により形成される。ここでガス輸送法とは、ＯＶＰＤ（Organic Vapor Phase Deposition）法とも称され、以下の工程を含む成膜方法のことである。
【０１９２】
有機物からなる出発原料が加熱されることで昇華または蒸発される。昇華または蒸発された有機物がキャリヤガス（不活性ガス）に含められる。有機物が再固化しないように加熱を行ないながら、有機物を含んだキャリヤガスが成膜される領域まで輸送される。成膜される領域は冷却されており、この領域でキャリヤガス中の有機物が再固化されることで成膜が行なわれる。
【０１９３】
なお図１９においては成膜装置本体に加えて、円筒管および形成中の有機ＥＬ素子も図示されている。
【０１９４】
図１９を参照して、本実施の形態の発光装置の製造装置としての成膜装置１００Ｙは、固定冶具３０と、冷却器３２と、ヒータ３６と、回転モータ３９と、ガス輸送管８７と、気化器８２と、オーブン８３と、ガスボンベ８４と、質量流量計８５と、バルブ８６と、排気口８８と、ガス加熱器９０とを主に有している。
【０１９５】
円筒管１の一方端部（図中の上端部）は、固定冶具３０を通じてガス輸送管８７を経由してガスボンベ８４に接続されている。ガス輸送管８７は固定冶具３０に接続されている。固定冶具３０は、回転モータ３９によって自転するように構成されている。円筒管１の他方端部（図中の下端部）には排気口８８が取り付けられている。排気口８８は円筒管１の内部を真空または減圧するように構成されている。
【０１９６】
ガスボンベ８４はガス輸送法におけるキャリヤガスの供給源である。ガス輸送管８７の途中には、ガスボンベ８４側から順に、質量流量計８５と、ガス加熱器９０と、気化器８２とが設けられている。オーブン８３は、気化器８２を加熱することにより、気化器８２に収められた固体原料３７から蒸発原料（気体状の原料）を生じさせる機能を有している。ヒータ３６は、ガス輸送管８７を加熱する機能を有している。
【０１９７】
なお上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１９８】
次に成膜装置１００Ｇを用いたガス輸送法による第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆ（図１）の形成方法について説明する。図１９を参照して、第１の層１２ｃの材質からなる粉末状の固体原料３７と、円筒管１とが準備される。そして気化器８２内に固体原料３７が入れられる。
【０１９９】
質量流量計８５によりガスボンベ８４から円筒管１に不活性なキャリヤガスが導入される。ヒータ３６により、ガス輸送管８７は、固体原料３７からの蒸発原料が付着しないように加熱される。
【０２００】
円筒管１が固定冶具３０に取り付けられる。回転モータ３９が駆動されることにより、円筒管１が長さ方向を中心として自転する。円筒管１は冷却器７により冷却される。
【０２０１】
オーブン８３がオンされることにより固体原料３７が加熱されることで、気化器８２から蒸発原料が生じる。この蒸発原料は、キャリヤガスと共に、ガス輸送管８７を流され、固定冶具３０から円筒管１の内部へ吹き出される。吹き出された蒸発原料が円筒管１の内面上において冷却されることで、蒸発原料が再固化する。この再固化により、円筒管１の内面に第１の層１２ｃの形成が行なわれる。
【０２０２】
気化器８２およびオーブン８３の対が複数設けられ、各対がバルブ８６により選択的に固定冶具３０に蒸発原料を導入するように構成されているので、バルブ８６の開閉により、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの連続的な成膜が行われる。
【０２０３】
また固体原料３７の材質が第１の層１２ｃの材質から第２〜第４の層１２ｄ〜１２ｆの材質に順次入れ替えられて成膜が行なわれることにより、第１の層１２ｃ上に第２〜第４の層１２ｆが形成されてもよい。
【０２０４】
有機物層ＯＬは光（たとえばレーザー）８９の照射によって局部的に加熱され、蒸発される。このようにして、レーザー照射により蒸発された領域以外に新たな有機物層を残存させることができる。これにより、ショート防止用スペースＳＰが形成される。
【０２０５】
本実施の形態によれば、ガス輸送法を用いて実施の形態１と同様の効果を得ることができる。つまり、真空蒸着の代わりに低分子系有機ＥＬ材料が加熱して蒸発されて、加熱されたキャリヤガスに含まれることで発光装置の内側に供給され、冷却された円筒管１の内周に析出される。
【０２０６】
また複数の固体原料３７がそれぞれ独立して加熱されて、バルブ８６の切換えによって第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層膜を連続的に成膜することができる。また気化器８２内に入れられる固体原料３７の材質を変更することで、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層膜を連続的に形成することができる。
【０２０７】
また、キャリヤガスがマスクの裏面に回り込むため、有機物層ＯＬの成膜後、レーザーの照射によって有機物層ＯＬの一部を蒸発させることができる。これにより、ショート防止用スペースＳＰを形成することができる。
【０２０８】
（実施の形態７）
本発明の実施の形態７の成膜装置１００Ｑは、実施の形態１の成膜装置１００Ｖと比較して、加熱台（第１の放出部、第２の放出部）１５０と、原料供給器（有機物原料供給器、第２電極原料供給器）１５１と、レーザーパーティクルモニタ１５２とを備えている点で主に異なっている。
【０２０９】
図２４を参照して、本実施の形態の成膜装置１００Ｑは、円筒管１内に新たな有機物層ＯＬまたは第２電極層１２ｇの原料である固体状の原料（固体原料）３７を落下により供給するための原料供給器１５１を有している。原料供給器１５１には、新たな有機物層ＯＬを成膜する場合には有機物原料（固体原料）３７が貯蔵されており、また新たな第２電極層１２ｇを成膜する場合には第２電極原料（固体原料）３７が貯蔵されている。複数の原料供給器１５１に有機物原料３７と第２電極原料３７とがそれぞれ別個に貯蔵されてもよい。有機物原料３７を供給するための有機物原料供給器１５１は、有機物層ＯＬの各層にあわせて、複数載置されていてもよい。
【０２１０】
原料供給器１５１は、真空容器２９の上面に載置されている。原料供給器１５１の底面には孔１５１ａが形成されている。真空容器２９の上面には孔２９ａが形成されている。原料供給器１５１の底部の孔１５１ａと真空容器２９の上部の孔２９ａとが連通することにより、原料供給器１５１の固体原料３７が真空容器２９内に落下するように構成されている。
【０２１１】
原料供給器１５１の孔１５１ａおよび真空容器２９の孔２９ａは、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って配置されている。
【０２１２】
回転導入器３３は、固定冶具３０が円筒管１の長さ方向ＬＤを中心に回転可能に固定冶具３０を支持している。また回転導入器３３は回転モータ３９の回転力を固定冶具３０に伝達可能に構成されている。
【０２１３】
原料供給器１５１が円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って配置されているため、回転モータ３９は円筒管１の長さ方向ＬＤと平面視において重ならない位置に配置されている。そのため、回転導入器３３の回転モータ３９と連結する部分は、円筒管１の長さ方向ＬＤと平面視において重ならない位置に配置されている。回転導入器３３の固定冶具３０と連結する部分は、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って配置されている。回転導入器３３における、回転モータ３９と連結する部分と、固定冶具３０と連結する部分とは、たとえば複数の歯車で連結されている。これにより、回転モータ３９の駆動力が固定冶具３０を介して伝達されることにより、円筒管１を円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転させることができる。回転導入器３３の固定冶具３０と連結する部分は、円筒形状を有しており、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って固定冶具３０に固定されている。
【０２１４】
固定冶具３０は、回転導入器３３の固定冶具３０と連結する部分が平面視における中央部分を貫通することにより、固体原料３７が原料供給器１５１から真空容器２９内に円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って落下するように構成されている。
【０２１５】
成膜装置１００Ｑは、原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された固体原料３７を加熱することにより気化して放出するための加熱台１５０を有している。
【０２１６】
加熱台１５０は、ヒータ３６により加熱されるように構成されている。加熱台１５０は、本体部分に加えてさらに上蓋３８を有している。上蓋３８は、本体部分との間に隙間ＧＰが設けられるように加熱台１５０の本体部分に固定されている。上蓋３８は、落下した固体原料３７を通過させるための開口部１５３を有している。このようにして、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って、原料供給器１５１から円筒管１内に供給された固体原料３７が、開口部１５３を通って加熱台１５０に落下することにより、固体原料３７が加熱されるように加熱台１５０が構成されている。なお、加熱台１５０の材質は、たとえば窒化ホウ素である。
【０２１７】
レーザーパーティクルモニタ１５２は、原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された固体原料３７の供給量を計測し、計測の結果に基づき固体原料３７の供給量を制御するように構成されている。
【０２１８】
レーザーパーティクルモニタ１５２は、落下中にレーザーパーティクルモニタ１５２を通過した固体原料３７の供給量を算出することにより固体原料３７の供給量を計測するように構成されている。たとえば、レーザーパーティクルモニタ１５２は、落下中の固体原料３７の大きさ、数から固体原料３７の供給量を算出するように構成されている。レーザーパーティクルモニタ１５２は、固体原料３７の供給量の計測の結果に基づいて、原料供給器１５１から供給される固体原料３７の供給量を制御するように構成されている。
【０２１９】
次に成膜装置１００Ｑが用いられた、有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとの成膜方法について説明する。
【０２２０】
まず有機物層ＯＬの成膜方法について説明する。第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの真空蒸着に用いられる固体原料３７として、粉体の有機物原料３７が準備される。また各有機物原料３７ごとに有機物原料供給器１５１に貯蔵される。そして第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆのそれぞれ対応する有機物原料３７が収められた複数の原料供給器１５１がひとつの真空容器２９に載置される。
【０２２１】
また円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｑに取り付けられる。真空ポンプ３５により真空容器２９内部が減圧される。冷却器３２の内部に冷媒が流されることにより、円筒管１の温度が５０℃以下に保たれる。回転モータ３９が駆動されることにより、円筒管１が長さ方向ＬＤを中心として自転する。この円筒管１が自転する運動により、加熱台１５０から見て円筒管１は円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する運動を行う。自転速度は、たとえば３０ｒｐｍである。
【０２２２】
また直線駆動機構３４が駆動されることにより、加熱台１５０が円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って円筒管１の中で往復するように変位する。変位速度は、たとえば２０ｍｍ／秒である。この変位により、円筒管１と円筒管１の中に配置された加熱台１５０とが円筒管１の長さ方向ＬＤに相対的に変位する。すなわち加熱台１５０と円筒管１とが相対運動を行う。
【０２２３】
ヒータ３６に直流電流が流されることにより加熱台１５０が加熱されることで、原料供給器１５１から落下した有機物原料３７が加熱台１５０の開口部１５３を通過して内部で気化し隙間ＧＰを介して放出する。すなわち加熱台１５０の内部に落下した有機物原料３７が、加熱台１５０からその周囲に飛散する。飛散された有機物原料３７の少なくとも一部が透明陽極層１２ｂ（図６）上へ付着することで、円筒管１の内面に真空蒸着による層の形成が行なわれる。異なる材質の有機物原料３７が収められた複数の有機物原料供給器１５１が順次用いられて真空蒸着が行なわれることで、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層構造、すなわち新たな有機物層ＯＬが得られる。
【０２２４】
次に陰極層１２ｇの形成工程について説明する。第２電極原料３７としてアルミニウム材が収められた第２電極原料供給器１５１が真空容器２９に載置される。また有機物層ＯＬが形成された円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｑに取り付けられる。またショート防止用スペースＳＰ（図２）を設けるために、直線駆動機構３４の出発点と折り返し点を調節する。次に第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの形成工程と同様の真空蒸着が行なわれる。これにより新たな陰極層１２ｇが形成される。
【０２２５】
レーザーパーティクルモニタ１５２は、原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された固体原料３７の供給量を計測し、計測の結果に基づき固体原料３７の供給量を制御するように構成されている。レーザーパーティクルモニタ１５２は、落下中にレーザーパーティクルモニタ１５２を通過した固体原料３７の供給量を算出することにより固体原料３７の供給量を計測し、その計測の結果に基づいて、原料供給器１５１から供給される固体原料３７の供給量を制御する。
【０２２６】
なお、上記では、複数の原料供給器１５１に有機物原料３７と第２電極原料３７とがそれぞれ別個に貯蔵される場合について説明したが、これに限定されず、１つの原料供給器１５１に有機物原料３７、第２電極原料３７が順次貯蔵されてもよい。
【０２２７】
なお、上記では、加熱台１５０の隙間ＧＰが断面視において片方に形成されている場合について説明したが、これに限定されず、隙間ＧＰが断面視において両方に形成されていてもよい。
【０２２８】
なお、本実施の形態の上記以外の再生産方法は、上述した実施の形態１とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０２２９】
本実施の形態によれば、有機物原料３７が円筒管１内に落下により供給されるので、第１の放出部である加熱台１５０に有機物原料３７を貯蔵しなくてよいため、加熱台１５０を小さくすることができる。これにより、円筒管１が細い場合でも、容易に新たな有機物層ＯＬを成膜することができる。また、有機物原料供給器１５１において複数の有機物原料３７を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな有機物層ＯＬを成膜することができる。
【０２３０】
また、有機物原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された有機物原料３７の供給量をレーザーパーティクルモニタ１５２によって計測し、かつ計測の結果に基づき有機物原料３７の供給量を制御することにより、有機物原料３７の供給量を正確に制御することにより、有機物層ＯＬの厚さを正確に制御することができる。
【０２３１】
本実施の形態によれば、第２電極原料３７が円筒管１内に落下により供給されるので、第２の放出部である加熱台１５０に第２電極原料３７を貯蔵しなくてよいため、加熱台１５０を小さくすることができる。これにより、円筒管１が細い場合でも、容易に新たな第２電極層１２ｇを成膜することができる。また、第２電極原料供給器１５１において複数の第２電極原料３７を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな第２電極層１２ｇを成膜することができる。
【０２３２】
また、第２電極原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された第２電極原料３７の供給量をレーザーパーティクルモニタ１５２によって計測し、かつ計測の結果に基づき第２電極原料３７の供給量を制御することにより、第２電極原料３７の供給量を正確に制御することにより、第２電極層１２ｇの厚さを正確に制御することができる。
【０２３３】
（実施の形態８）
本発明の実施の形態８は、実施の形態１と比較して、複数の坩堝３１が円筒管１の内側に配置される点で主に異なっている。
【０２３４】
図２５を参照して、本実施の形態では、１つの円筒管１の内側に複数の坩堝３１が配置されている。新たな有機物層ＯＬを成膜する場合には、有機物層ＯＬの原料となる固体原料３７が複数の坩堝３１のそれぞれに入れられている。陰極層１２ｇを成膜する場合には、陰極層１２ｇの原料となる固体原料３７が複数の坩堝３１のそれぞれに入れられている。
【０２３５】
なお、本実施の形態の上記以外の再生産方法は、上述した実施の形態１とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０２３６】
本実施の形態によれば、複数の坩堝（第１の放出部分）３１が円筒管１の内側に配置されるので、より正確に有機物層ＯＬを成膜することができる。
【０２３７】
本実施の形態によれば、複数の坩堝（第２の放出部分）３１が円筒管１の内側に配置されるので、より正確に陰極層（第２電極層）１２ｇを成膜することができる。
【０２３８】
なお上記の各実施の形態においては管として円筒管１、すなわち管の長さ方向に垂直な断面形状が円形となるような管が用いられたが、本発明はこれに限定されるものではない。管の長さ方向に垂直な断面形状は、たとえば楕円形または多角形であってもよい。
【０２３９】
なお、実施の形態１と同様に、実施の形態２〜８においても可撓性フィルムに有機ＥＬ素子が形成されていてもよい。
【０２４０】
なお、第２電極層と有機物層とを除去する構成および方法ならびに新たな有機物と第２電極層とを成膜する構成および方法については、実施の形態１〜８の各構成が適時組み合わせられた構成であってもよい。
【０２４１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０２４２】
本発明は、管の内周に形成された有機物層を含む発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置に特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【０２４３】
１ 円筒管（管）、１２ 有機ＥＬ素子（有機発光素子）、１２ａ 保護層、１２ｂ 透明陽極層（第１電極層）、１２ｃ〜１２ｆ 有機物層の第１〜第４の層、ＯＬ 有機物層、１２ｇ 陰極層（第２電極層）、２０ 高周波コイル、２１ ガス導入フランジ、２２ 真空排気フランジ、２３ アルゴンガス導入口、２４ 反応性ガス導入口、２５ 排気口、２６ プラズマ、２７ 酸素プラズマ、２８ 加熱ランプ、２９ 真空容器、３０ 固定冶具、３１ 坩堝、３２ 冷却器、３３ 回転導入器、３４ 直線駆動機構、３５ 真空ポンプ、３６ ヒータ、３７ 固体原料、３８ 上蓋、３９ 回転モータ、４０ 回転導入フランジ、４１ 回転排出フランジ、４２ 軸受、４３ 回転モータ、４４ 液体供給管、４５ 排出口、４６ 傾斜台、４７ ランプヒータ、５１ 搬入室、ＧＶ１〜ＧＶ７ 開閉弁、５２ 封止着脱室、５３ 待機室、ＴＲ１，ＴＲ２，ＴＲ３ 搬送手段、５４ 真空搬送室、５５ エッチング室、５６ 中間室、５７ 高真空搬送室、５８ 有機物蒸着室、５９ 陰極蒸着室、６０ 搬出室、６１ ターボ分子ポンプ、６２ クライオポンプ、７０ 気密室、７１ 結合治具、７２ 公転搬送手段、７２ａ 取付部、７３ エッチングフランジ、７４ 自転モータ、７５ 溶液コーティングフランジ、７６ 溶液コーティングノズル、７７ 陰極蒸着フランジ、７８ 蒸着ルツボ、７９ シャッター、８０ ウェットエッチング装置、８０Ａ 自公転機構、８０ａ 公転用テーブル、８０ｂ 自転用伝達ベルト、８１ 第１,第２のマスク、８２ 気化器、８３ オーブン、８４ ガスボンベ、８５ 質量流量計、８６ バルブ、８７ ガス輸送管、８８ 排気口、８９ 光（レーザー）、１００Ｐ,１００Ｖ,１００Ｙ 成膜装置、１００Ｗ，１００Ｘ 再生産装置、１１０ 封止部、１１０ａ，１１０ｂ 封止部品、１１２ａ，１１２ｂ 電極、１１３ａ，１１３ｂ 配線、１１４ 補助電極、１１５ フレキシブル基板（可撓性フィルム）、１２４ Ｏリング、１５０ 加熱台、１５１ 原料供給器、１５２ レーザーパーティクルモニタ。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置に関し、特に、管の内周に形成された有機物層を含む発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
照明器などの発光装置として、現在、電球および蛍光管が広く用いられている。これらの発光装置は、フィラメントの劣化やスパッタ現象に起因して、有限の寿命を有している。寿命に達した発光装置は全体が廃棄される。なお廃棄物の一部は、破砕された後に、ガラスカレットおよび金属材料として利用されることがある。すなわち廃棄物の一部は、原形をとどめない材料として再利用されることがある。
【０００３】
また複数のＬＥＤ(Light Emitting Diode)素子を有するＬＥＤ発光装置は、使用時間の経過とともに個々の素子の輝度が低下することに起因して、有限の寿命を有している。寿命に達したこのＬＥＤ発光装置も全体が廃棄される。ＬＥＤは資源として再利用することが困難であるため、通常、材料としての再利用も行なわれていない。
【０００４】
また近年、有機ＥＬ(Electro Luminescence)型の発光装置が提案されている。たとえば特開２００７−７３４０３号公報（特許文献１）によれば、面発光デバイス（発光装置）は、有機ＥＬ層が形成された透明基材と、口金とを有している。主に有機ＥＬ層が徐々に劣化することで、有機ＥＬ型の発光装置の劣化が生じる。劣化した有機ＥＬ型発光装置は、複数の部分に分解された後、廃棄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−７３４０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の発光装置では、装置全体が廃棄されるため、廃棄物の量が多くなる。このため、廃棄物が最終処分される場合、廃棄物の処理費用と環境負荷とが大きかった。特に蛍光管が廃棄される場合、水銀による環境汚染が生じることがあった。また廃棄物が材料として再利用される場合、分別、破砕および純化などを行う必要があるため、大きなコストが必要であった。
【０００７】
また劣化した発光装置と交換されることになる別の発光装置は、装置全体が新たに形成される必要があった。このため、発光装置が形成される際のコストが高くなるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、その目的は、低コストで廃棄物の量を抑制可能な発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の発光装置の再生産方法は、透光性を有する管と、管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、有機物層の内周に設けられた第２電極層と、管の内周を気密に封止するように、管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産方法であって、以下の工程を有している。
【００１０】
封止部を取り外す。封止部が取り外された発光装置の第２電極層を除去して有機物層を露出させる。露出された有機物層を除去して第１電極層を露出させる。露出された第１電極層を表面処理する。表面処理された第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する。成膜された新たな有機物層の内周に新たな第２電極層を成膜する。成膜された新たな第２電極層を含む管の内周を封止部で気密に封止する。
【００１１】
本発明の発光装置の再生産方法によれば、有機物層および第２電極層が除去された管と、管に着脱可能であり、かつ管から取り外された封止部とが得られるので、この管の内周に有機物層および第２電極層を新たに形成した後に封止部が再度取り付けられることで、発光装置を再生産することができる。これにより、有機物層が劣化した発光装置の一部が廃棄されずに部品として再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置の一部が形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【００１２】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２電極層を除去する工程は、ハロゲンガス系プラズマおよび有機ガス系プラズマの少なくともいずれかで第２電極層をエッチングする工程と、酸溶液で第２電極層をエッチングする工程との少なくともいずれかを含んでいる。これにより、第２電極層がエッチングされる際に有機物層をエッチングストッパーとして用いることができる。
【００１３】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、有機物層を除去する工程は、酸素プラズマで有機物層をアッシングする工程と、炭化水素系溶剤および水の少なくともいずれかで有機物層をエッチングする工程と、光照射による加熱で有機物層を蒸発させる工程と、高温ガスによる加熱で有機物層を蒸発させる工程との少なくともいずれかを含んでいる。これにより、有機物層がエッチングされる際に第１電極層をエッチングストッパーとして用いることができる。
【００１４】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１電極層を表面処理する工程は、第１電極層の表面を酸素プラズマ中で表面処理する工程と、第１電極層の表面を酸素雰囲気中で加熱表面処理する工程と、第１電極層の表面を紫外線で表面処理する工程との少なくともいずれかを含んでいる。これにより、有機物層が除去される際に生じた第１電極層の表面荒れが取り除かれる。よって発光装置の再生産において、有機物層が新たに形成される面である第１電極層の表面を平滑にすることができる。
【００１５】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程は、管と新たな有機物層の原料の放出を行う第１の放出部とが互いに相対運動を行うように第１の放出部および管の少なくともいずれかを動かしながら放出を行うことにより、管の内周に新たな有機物層を成膜する工程を含んでいる。
【００１６】
これにより、管と放出部とが相対運動を行いながら管の内周に有機物層が形成されるので、管と放出部との相対的な位置関係が固定されている場合に比して管の内周に均一な厚みで成膜を行うことができる。よって、管の内周における発光特性の均一性を高めることができる。
【００１７】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１の放出部は、ノズルを有し、管の長さ方向を中心として自転する管の内周へ、原料として液体をノズルから放出して塗布する。これにより、真空蒸着法を用いた成膜が困難な高分子系の有機ＥＬ材料を用いた成膜を行うことができる。
【００１８】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１の放出部が複数の第１の放出部分を有する。これにより複数の第１の放出部分の各々を用いた成膜を連続して行うことができる。
【００１９】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程は、管の内部空間を管の一方端部より真空または減圧にし、加熱された新たな有機物層の気体状の原料を不活性ガスの放出により管の他方端部から流し、管を冷却することにより管の内周に新たな有機物層を成膜する工程を含んでいる。
【００２０】
これにより、管の外部から流される気体状の原料の種類を順次変更することで連続して異なる材質の膜を形成することができる。よって複数の互いに異なる膜が積層されて構成された有機ＥＬ素子を効率的に製造することができる。よって複数の互いに材質の異なる膜が積層されて構成された発光装置を効率的に製造することができる。
【００２１】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな第２電極層を成膜する工程は、管と新たな第２電極層の原料の放出を行う第２の放出部とが互いに相対運動を行うように第２の放出部および管の少なくともいずれかを動かしながら放出を行うことにより、管の内周に新たな第２電極層を成膜する工程を含んでいる。
【００２２】
これにより、管と放出部とが相対運動を行いながら管の内周に第２電極層が形成されるので、管と放出部との相対的な位置関係が固定されている場合に比して管の内周に均一な厚みで成膜を行うことができる。よって、管の内周における発光特性の均一性を高めることができる。
【００２３】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２の放出部が複数の第２の放出部分を有する。これにより複数の第２の放出部分の各々を用いた成膜を連続して行うことができる。
【００２４】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、封止部を取り外す工程と、管の内部を封止部で気密に封止する工程とは第１の気密容器内で行われ、第２電極層を除去する工程と、有機物層を除去する工程と、第１電極層を表面処理する工程とは第１の気密容器とは異なる第２の気密容器内で行われ、有機物層を成膜する工程と、第２電極層を成膜する工程とは第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器内で行われ、管が第１〜第３の気密容器に搬送手段によって搬送される。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００２５】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２電極層を除去する工程と、有機物層を除去する工程と、第１電極層を表面処理する工程と、新たな有機物層を成膜する工程と、新たな第２電極層を成膜する工程の各工程が管の内部空間を閉塞して行なわれる。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００２６】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第２電極層を除去する工程と、有機物層を除去する工程と、第１電極層を表面処理する工程と、新たな有機物層を成膜する工程と、新たな第２電極層を成膜する工程が一つの気密容器内で行われ、管が一つの気密容器内で搬送手段によって搬送される。これにより、管を気密容器から取り出すことなしに、発光装置の再生産を連続して行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００２７】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程において、第１電極層に第１のマスクを設けて、第１のマスクが設けられた領域以外に新たな有機物層を成膜する。これにより、第１電極層の一部を残して、配線の接続に使用することができる。
【００２８】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな第２電極層を成膜する工程において、新たな有機物層に第２のマスクを設けて、第２のマスクが設けられた領域以外に新たな第２電極層を成膜する。これにより、第２電極層と第１電極層とが短絡することを防止することができる。
【００２９】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層の成膜後、新たな有機物層を光照射により蒸発させて、光照射により蒸発された領域以外に新たな有機物層を残存させる。これにより、ショート防止用スペースを形成することができる。
【００３０】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、第１電極層と有機物層と第２電極層とを含む有機発光素子は、可撓性フィルムに形成された状態で管の内周に配置される。このように可撓性フィルムを用いて、その可撓性フィルムの屈折率を適切に設定することにより発光装置における発光光の取り出し効率を高めることができる。
【００３１】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、可撓性フィルムは湾曲させた状態で管の内周に装着される。このように可撓性フィルムを湾曲させて管の内周側に配置することにより、製造における自由度が高くなる。
【００３２】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、封止部を取り外す工程と、有機物層を露出させる工程と、第１電極層を露出させる工程と、第１電極層を表面処理する工程と、新たな有機物層を成膜する工程と、新たな第２電極層を成膜する工程と、管の内周を封止部で気密に封止する工程との少なくとも１つの工程は、管が縦に保持された状態で行なわれる。これにより、製造過程において重力方向に落下したゴミが管の内周の面上に付着することを抑制することができる。
【００３３】
本発明の発光装置の再生産装置は、透光性を有する管と、管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、有機物層の内周に設けられた第２電極層と、管の内周を気密に封止するように、管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、以下の構成を備えている。
【００３４】
発光装置の封止部を取り外す封止着脱部と、封止着脱部で封止部が取り外された発光装置から第２電極層を除去する第２電極層除去部と、第２電極層が除去された発光装置から有機物層を除去する有機物層除去部と、有機物層が除去された発光装置の第１電極層を表面処理する第１電極層表面処理部と、表面処理された第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する有機物層成膜部と、新たな有機物層の内周に第２電極層を成膜する第２電極層成膜部とを備え、封止着脱部は、新たな有機物層および新たな第２電極層を含む管の内周を気密に封止するよう構成されている。
【００３５】
本発明の発光装置の再生産装置によれば、有機物層および第２電極層が除去された管と、管に着脱可能であり、かつ管から取り外された封止部とが得られるので、この管の内周に有機物層および第２電極層を新たに形成した後に封止部が再度取り付けられることで、発光装置を再生産することができる。これにより、有機物層が劣化した発光装置の一部が廃棄されずに部品として再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置の一部が形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【００３６】
上記の発光装置の再生産装置において好ましくは、封止着脱部を有する第１の気密容器と、第２電極層除去部と、有機物層除去部と、第１電極層表面処理部とを有する、第１の気密容器とは異なる第２の気密容器と、有機物層成膜部と、第２電極層成膜部とを有する、第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器とを備えている。管が第１〜３の気密容器に搬送手段によって搬送される。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００３７】
上記の発光装置の再生産装置において好ましくは、封止着脱部と、第２電極層除去部と、有機物層除去部と、第１電極層表面処理部と、有機物層成膜部と、第２電極層成膜部との少なくとも１つは、管を縦に保持できるように構成されている。これにより、製造過程において重力方向に落下したゴミが管の内周の面上に付着することを抑制することができる。
【００３８】
上記の発光装置の再生産装置において好ましくは、第２電極層除去部と、有機物層除去部と、第１電極層表面処理部と、有機物層成膜部と、第２電極層成膜部とが、管の内部空間を閉塞する結合器をさらに備えている。管の内部空間が結合器によって閉塞された気密状態において各除去部の処理が行なわれる。これにより、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【００３９】
本発明の発光装置の再生産装置は、透光性を有する管と、管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、有機物層の内周に設けられた第２電極層と、有機物層と第２電極層とを含む管の内周を気密に封止するように、管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、管の内側に有機物層および第２電極層の少なくともいずれかを除去するエッチング液を供給する供給部と、管の長さ方向が重力方向に対して交差するように支持されかつ管の長さ方向を中心として自転するように発光装置を保持しかつエッチング液を排出するため発光装置を傾斜させる保持部とを備えている。
【００４０】
本発明の発光装置の再生産装置によれば、第２電極層および有機物層をウェットエッチングにより除去することができる。またウェットエッチングを簡易な構成により行うことができる。これらにより製造コストを含めた生産性を向上することができる。
【００４１】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな有機物層を成膜する工程は、管内に有機物原料供給器によって新たな有機物層の原料である固体状の有機物原料を落下により供給する工程と、有機物原料供給器から落下により管内に供給された有機物原料を第１の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する。これにより、有機物原料が管内に落下により供給されるので、第１の放出部が有機物原料を貯蔵しなくてよいため、第１の放出部を小さくすることができる。よって、管が細い場合でも、容易に新たな有機物層を成膜することができる。また、有機物原料供給器において複数の有機物原料を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな有機物層を成膜することができる。
【００４２】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、固体状の有機物原料を落下により供給する工程は、有機物原料供給器から落下により管内に供給された有機物原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ計測の結果に基づき有機物原料の供給量を制御する工程を有する。これにより、有機物原料の供給量を正確に制御することにより、有機物層の厚さを正確に制御することができる。
【００４３】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、新たな第２電極層を成膜する工程は、管内に第２電極原料供給器によって新たな第２電極層の原料である固体状の第２電極原料を落下により供給する工程と、第２電極原料供給器から落下により管内に供給された第２電極原料を第２の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する。これにより、第２電極原料が管内に落下により供給されるので、第２の放出部が第２電極材料を貯蔵しなくてよいため、第２の放出部を小さくすることができる。よって、管が細い場合でも、容易に新たな第２電極層を成膜することができる。また、第２電極原料供給器において複数の第２電極原料を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな第２電極層を成膜することができる。
【００４４】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、固体状の第２電極原料を落下により供給する工程は、第２電極原料供給器から落下により管内に供給された第２電極原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ計測の結果に基づき第２電極原料の供給量を制御する工程を有する。これにより、第２電極原料の供給量を正確に制御することにより、第２電極層の厚さを正確に制御することができる。
【００４５】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、複数の第１の放出部分が管の内側に配置される。これにより、より正確に有機物層を成膜することができる。
【００４６】
上記の発光装置の再生産方法において好ましくは、複数の第２の放出部分が管の内側に配置される。これにより、より正確に第２電極層を成膜することができる。
【発明の効果】
【００４７】
以上説明したように本発明によれば、発光装置のほとんどが廃棄されずに再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置のほとんどが形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、発光装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１における発光装置の構成を概略的に示す外観図である。
【図２】本発明の実施の形態１における発光装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第１工程を示す概略的な断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第２工程を示す概略的な断面図である。
【図５】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第３工程を示す概略的な断面図である。
【図６】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第４工程を示す概略的な断面図である。
【図７】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第５工程を示す概略的な断面図である。
【図８】本発明の実施の形態１における発光装置の再生産装置としての真空蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態２における発光装置の再生産装置としてのウェットエッチング装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２における発光装置の再生産装置としてのウェットエッチング装置の変形例の構成を概略的に示す断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３における再生産装置の全体構成を示す概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態４における再生産装置の全体構成を示す概略上面図である。
【図１３】本発明の実施の形態４における再生産装置の全体構成を示す概略正面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４における再生産装置の全体構成を示す概略下面図である。
【図１５】本発明の実施の形態５における再生産装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図１６】本発明の実施の形態５における再生産装置の第１工程を示す概略的な平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態５における再生産装置の第２工程を示す概略的な平面図である。
【図１８】本発明の実施の形態１における再生産装置としての真空蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図１９】本発明の実施の形態６における発光装置の製造装置としての成膜装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２０】本発明の実施の形態１における発光装置の製造方法を示す斜視図であって、可撓性フィルムに有機ＥＬ素子を形成する工程（Ａ）と、その可撓性フィルムを湾曲させて円筒体内に装着する工程（Ｂ）とを示す斜視図である。
【図２１】図１９に示す方法で製造された、湾曲させた可撓性フィルムを内部に装着された円筒管の構成を概略的に示す断面図である。
【図２２】本発明の実施の形態１におけるフレキシブル基板を有する発光装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２３】本発明の実施の形態１における複数のフレキシブル基板を有する発光装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２４】本発明の実施の形態７における発光装置の再生産装置としての真空蒸着装置の構成を概略的に示す断面図である。
【図２５】本発明の実施の形態８における発光装置の再生産装置としての真空蒸着装置における円筒管の近傍を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
（実施の形態１）
はじめに本発明の実施の形態１の発光装置の構成について説明する。
【００５０】
図１および図２を参照して、本実施の形態の発光装置は、円筒管１（管）と、有機ＥＬ素子（有機発光素子）１２と、封止部１１０と、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７、１２７と、バーコード１０３とを有している。
【００５１】
円筒管１は、長さ方向（図中ＬＤ方向）に延びる空洞部を有する管である。すなわち円筒管１は管形状を有している。また円筒管１は透光性を有している。具体的には円筒管１は、たとえばパイレックス（登録商標）ガラスにより形成された、直径７０ｍｍ、長さ５４０ｍｍ、厚さ２．４ｍｍの管である。
【００５２】
有機ＥＬ素子１２は、円筒管１の内面上に順に、保護層１２ａと、透明陽極層１２ｂ（第１電極層）と、有機物層ＯＬと、陰極層１２ｇ（第２電極層）とを有している。保護層１２ａは、アルカリ金属イオンの移動を防止する機能を有している。よって円筒管１の材質にパイレックス（登録商標）ガラスなどのアルカリ金属イオンを含む材質が用いられても、円筒管１から透明陽極層１２ｂへアルカリ金属イオンが移動することが防止される。保護層１２ａは、たとえば酸化シリコン（ＳｉＯ2）により形成された厚さ１０ｎｍの層である。
【００５３】
透明陽極層１２ｂは、透光性を有しており、かつ有機ＥＬ素子１２の陽極としての機能を有している。透明陽極層１２ｂは、導電性の酸化物層であり、たとえば酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ(Indium Zinc Oxide)）により形成された厚さ１μｍの層である。
【００５４】
陰極層１２ｇは、有機ＥＬ素子１２の陰極としての機能を有している。陰極層１２ｇは、金属層であり、たとえばアルミニウムにより形成された厚さ０．１μｍの層である。なお有機物層ＯＬ上の領域のうち円筒管１の長さ方向の両端側の領域は、陰極層１２ｇが形成されていない領域であるショート防止用スペースＳＰとなっている。ショート防止用スペースＳＰが設けられていることにより、陰極層１２ｇと透明陽極層１２ｂとが有機ＥＬ素子１２の端部において短絡することが防止されている。
【００５５】
封止部１１０は、封止部品１１０ａ、１１０ｂ、およびＯリング１２４、１２４を有している。封止部品１１０ａおよび１１０ｂのそれぞれは、発光装置の外部に向かって突出した電極１１２ａおよび１１２ｂを有している。封止部品１１０ａおよび１１０ｂの各々は、円筒管１の両端に、Ｏリング１２４により着脱可能に固定されている。封止部品１１０ａ、１１０ｂの材質は、たとえばガラスまたはアルミニウムである。各Ｏリング１２４は、エラストマーからなり、エラストマーの復元力により封止部品１１０ａおよび１１０ｂのいずれかと、円筒管１とに密着されている。これにより封止部１１０は、不活性ガスＩＧが充填された円筒管１内部を封止している。よって、有機ＥＬ素子１２が形成された領域、すなわち有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとを含む領域が、発光装置の外部から気密に封止されている。なおＯリング１２４による封止をより確実にするため、封止部１１０にＯリング１２４を締め付けるためのネジが取り付けられてもよい。
【００５６】
バーコード１０３は、封止部１１０の外面上に取り付けられており、個々の発光装置を識別するための識別情報を有している。この識別情報は、たとえば個々の発光装置に固有の数字情報である。なお個々の発光装置を識別するための識別情報を保持することができるものをバーコード１０３の代わりに用いることができる。たとえばＩＣタグが用いられてもよい。
【００５７】
有機物層ＯＬは第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆを有している。第１の層１２ｃは、たとえば下記の式（１）に示す有機材料（ＮＰＤ）から形成された厚さ４０ｎｍの層である。
【００５８】
【化１】
【００５９】
第２の層１２ｄは、たとえば、下記の式（２）に示す有機材料（Ｚｎｂｏｘ２）を主成分とし、かつ下記の式（３）に示すペリレン（Ｃ20Ｈ12）により１．５重量％のドーピングがなされた、厚さ７ｎｍの層である。
【００６０】
【化２】
【００６１】
【化３】
【００６２】
第３の層１２ｅは、たとえば、上記の式（２）に示す有機材料（Ｚｎｂｏｘ２）を主成分とし、かつ下記の式（４）に示す有機材料（ＤＣＭ１）により０．２５重量％のドーピングがなされた、厚さ２３ｎｍの層である。
【００６３】
【化４】
【００６４】
第４の層１２ｆは、たとえば、上記の式（２）に示す有機材料（Ｚｎｂｏｘ２）から形成された、厚さ３０ｎｍの層である。
【００６５】
なお上記の第１の層１２ｃはホール輸送層としての機能を有し、第４の層１２ｆは電子輸送層としての機能を有している。また第２の層１２ｄおよび第３の層１２ｅのそれぞれは、ドーパント色素としてペリレンおよびＤＣＭ１を含有することにより、発光層としての機能を有している。第２の層１２ｄおよび第３の層１２ｅのそれぞれにおいて青色およびオレンジ色の発光が生じ、これら２色の光が混合することで白色の光が得られる。
【００６６】
配線１１３ａの両端部は透明陽極層１２ｂに電気的に接続されており、配線１１３ａの中央部は電極１１２ａに電気的に接続されている。配線１１３ｂの両端部は陰極層１２ｇに電気的に接続されており、配線１１３ｂの中央部は電極１１２ｂに電気的に接続されている。また電極１１２ａ、１１２ｂの各々は封止部品１１０ａ、１１０ｂを貫通して形成されている。この構成により、円筒管１の封止領域の外に露出した電極１１２ａと電極１１２ｂとの間に電圧を印加することで、透明陽極層１２ｂと陰極層１２ｇとの間の有機物層ＯＬに電界が印加される。この電界により有機物層ＯＬの発光層における発光が生じる。
【００６７】
次に、本実施の形態の発光装置の使用方法について説明する。
上述したように、発光装置の電極１１２ａと電極１１２ｂとの間に電圧が印加されることで、発光装置から発光が生じる。有機物層ＯＬは、発光時間の経過により徐々に劣化していく。この劣化にともない、発光装置の輝度が低下していく。輝度が初期値の７０％まで低下した時点を寿命時間と定義すると、この寿命時間は、たとえば４０００時間である。寿命に到達した発光装置は、回収された後、以下に説明する発光装置の再生産に供される。
【００６８】
続いて、本実施の形態の発光装置の再生産方法について説明する。図３〜図８は、本発明の実施の形態１における発光装置の再生産方法の第１〜第６工程を順に示す概略的な断面図である。
【００６９】
図３を参照して、まず、図中矢印で示すように、円筒管１から封止部品１１０ａ、１１０ｂおよびＯリング１２４、１２４が取り外される。封止部１１０、すなわち封止部品１１０ａ、１１０ｂおよびＯリング１２４、１２４は、Ｏリング１２４の部分で円筒管１に固定されている。よって、封止部１１０および円筒管１を破壊することなしに、円筒管１から封止部１１０を容易に取り外すことができる。Ｏリング１２４がネジで締め付けられている場合は、このネジを緩めてから封止部１１０が取り外される。また封止部品１１０ａ、１１０ｂとともに、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７とが取り外される。乾燥剤１２７は脱水処理される。取り外された封止部１１０と、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７とは、部品として再利用されるために、一時的に保管される。
【００７０】
図４を参照して、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って円筒管１を囲うように、高周波コイル２０が設置される。高周波コイル２０には１３．５６ＭＨｚの高周波を発生する電源が接続される。円筒管１の両端のそれぞれに、ガス導入フランジ２１および真空排気フランジ２２のＯリング１２４が有機物層ＯＬに内接するように取り付けられる。ガス導入フランジ２１は、アルゴンガス導入口２３と、反応性ガス導入口２４とを有している。真空排気フランジ２２は、排気口２５を有している。排気口２５を通じた排気により円筒管１内が減圧状態とされつつ、アルゴンガス導入口２３および反応性ガス導入口２４のそれぞれからアルゴンガスおよびハロゲンガスが円筒管１内に導入される。
【００７１】
高周波コイル２０に高周波が印加されることで、円筒管１内にプラズマ２６が発生する。これにより陰極層１２ｇがプラズマエッチングにより除去される。陰極層１２ｇが除去されると有機物層ＯＬの陰極層１２ｇに被覆されていた部分が露出する。有機物からなる有機物層ＯＬは、このドライエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【００７２】
なお、ハロゲンガスによるハロゲンガス系プラズマの代わりに、ＣＨ4やＣＨ3ＯＨなどの有機ガスによる有機ガス系プラズマが用いられてもよい。
【００７３】
図５を参照して、アルゴンガス導入口２３および反応性ガス導入口２４のそれぞれからアルゴンガスおよび酸素ガスが円筒管１内に導入される。高周波コイル２０に高周波が印加されることで、円筒管１内に酸素プラズマ２７が発生する。これにより有機物層ＯＬが酸素プラズマアッシングにより除去される。有機物層ＯＬが除去されると透明陽極層１２ｂの有機物層ＯＬに被覆されていた部分が露出する。酸化物からなる透明陽極層１２ｂは、このドライエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【００７４】
なお、酸素プラズマアッシングの代わりに、光（たとえばレーザー）照射による加熱で有機物層ＯＬを蒸発させて、有機物層ＯＬを除去してもよい。また、酸素プラズマアッシングの代わりに、高温ガスによる加熱で有機物層ＯＬを蒸発させて、有機物層ＯＬを除去してもよい。
【００７５】
図６を参照して、上記のドライエッチングにより、保護層１２ａおよび透明陽極層１２ｂが内面に形成された円筒管１が得られる。次に透明陽極層１２ｂの表面が処理される。
【００７６】
図７を参照して、アルゴンガス導入口２３および反応性ガス導入口２４のそれぞれからアルゴンガスおよび酸素ガスが円筒管１内に導入される。高周波コイル２０に高周波が印加されることで、円筒管１内に酸素プラズマ２７が発生する。加熱ランプ２８によって、円筒管１を昇温する。これにより、酸化物からなる透明陽極層１２ｂの表面が処理される。また、透明陽極層１２ｂの表面処理は、上記の酸素プラズマ中で行われるものに限定されず、酸素雰囲気中で加熱表面処理されてもよく、また紫外線で表面処理されてもよい。
【００７７】
上記では、円筒管１は、縦に支持されている。つまり円筒管１は、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に沿うように支持されている。
【００７８】
主に図８を参照して、成膜装置１００Ｖが用いられた真空蒸着法により、表面が処理された透明陽極層１２ｂ（図７）上に、有機物層ＯＬおよび陰極層１２ｇ（図３）が成膜される。以下にこの工程について詳しく説明する。
【００７９】
まず成膜装置１００Ｖについて説明する。成膜装置１００Ｖは、主に、真空容器２９と、固定冶具３０と、坩堝３１と、冷却器３２と、回転導入器３３と、直線駆動機構３４とを有している。真空容器２９は、真空ポンプ３５により真空蒸着に適した圧力まで減圧されることができる。固定冶具３０は、真空容器２９内に円筒管１を支持するための冶具である。固定冶具３０は、図中の破線部Ｆで示すように、円筒管１の長さ方向ＬＤの一方端部（図中上側の端部）における縁部分を保持することで、円筒管１を支持することができる。坩堝３１は、ヒータ３６により加熱されることができる。これにより坩堝３１に入れられた固体原料３７を加熱することができる。また坩堝３１は、本体部分に加えてさらに上蓋３８を有している。上蓋３８は、本体部分との間に隙間ＧＰが設けられるように坩堝３１の本体部分に固定されている。坩堝３１の材質は、たとえば窒化ホウ素である。冷却器３２は、円筒管１の外面部分から熱を奪うことにより円筒管１を冷却することができるように構成されている。回転導入器３３は、固定冶具３０が円筒管１の長さ方向ＬＤを中心に回転することができるように固定冶具３０を支持している。また回転導入器３３は回転モータ３９の回転力を固定冶具３０に伝達することができるように構成されている。これにより円筒管１を円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転させることができる。円筒管１が自転する運動により、坩堝３１が原料を放出している際に、坩堝３１から見て円筒管１は円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する運動を行うことができる。すなわち坩堝３１と円筒管１とが相対運動を行うことができる。直線駆動機構３４は、円筒管１の中で坩堝３１を円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って直線的に変位させることができるように構成されている。この変位により、円筒管１と円筒管１の中に配置された坩堝３１とを円筒管１の長さ方向ＬＤに相対的に変位させることができる。すなわち坩堝３１と円筒管１とが相対運動を行うことができる。
【００８０】
円筒管１は、固定冶具３０によって、縦に支持されている。つまり円筒管１は、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に沿うように支持されている。
【００８１】
次に成膜装置１００Ｖが用いられた、有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとの成膜方法について説明する。
【００８２】
まず有機物層ＯＬの成膜方法について説明する。第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの真空蒸着に用いられる固体原料３７として、粉体の原料が準備される。また各原料ごとに坩堝３１が準備される。そして第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆのそれぞれ対応する固体原料３７が収められた複数の坩堝３１のひとつが真空容器２９内に取り付けられる。また円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｖに取り付けられる。真空ポンプ３５により真空容器２９内部が減圧される。冷却器３２の内部に冷媒が流されることにより、円筒管１の温度が５０℃以下に保たれる。回転モータ３９が駆動されることにより、円筒管１が長さ方向ＬＤを中心として自転する。この円筒管１が自転する運動により、坩堝３１から見て円筒管１は円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する運動を行う。自転速度は、たとえば３０ｒｐｍである。また直線駆動機構３４が駆動されることにより、坩堝３１が円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って円筒管１の中で往復するように変位する。変位速度は、たとえば２０ｍｍ／秒である。この変位により、円筒管１と円筒管１の中に配置された坩堝３１とが円筒管１の長さ方向ＬＤに相対的に変位する。すなわち坩堝３１と円筒管１とが相対運動を行う。ヒータ３６に直流電流が流されることにより固体原料３７が加熱されることで、固体原料３７が坩堝３１から隙間ＧＰを介して蒸発する。すなわち円筒管１の内部に配置された固体原料３７が、坩堝３１からその周囲に飛散する。飛散された固体原料３７の少なくとも一部が透明陽極層１２ｂ（図６）上へ付着することで、円筒管１の内面に真空蒸着による層の形成が行なわれる。異なる材質の固体原料３７が収められた複数の坩堝３１が順次用いられて真空蒸着が行なわれることで、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層構造、すなわち新たな有機物層ＯＬが得られる。
【００８３】
なお、透明陽極層１２ｂに有機物層ＯＬが真空蒸着される際に、図１８に示すように、透明陽極層１２ｂの一部に第１のマスク８１が設けられていてもよい。第１のマスク８１が設けられた領域以外に有機物層ＯＬが成膜される。残された透明陽極層１２ｂの一部が配線１１３ａ、１１３ｂの接続に使用される。
【００８４】
次に陰極層１２ｇの形成工程について説明する。固体原料３７としてアルミニウム材が収められた坩堝３１が真空容器２９内に取り付けられる。また有機物層ＯＬが形成された円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｖに取り付けられる。またショート防止用スペースＳＰ（図２）を設けるために、直線駆動機構３４の出発点と折り返し点を調節する。次に第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの形成工程と同様の真空蒸着が行なわれる。これにより新たな陰極層１２ｇが形成される。
【００８５】
なお、有機物層ＯＬに陰極層１２ｇが真空蒸着される際に、図１８に示すように、有機物層ＯＬの端部に第２のマスク８１が設けられていてもよい。第２のマスク８１が設けられた領域以外に陰極層１２ｇが成膜される。これにより、陰極層１２ｇと透明陽極層１２ｂとが有機物層ＯＬの端部において接触しないように形成される。ショート防止用スペースＳＰが設けられていることにより、陰極層１２ｇと透明陽極層１２ｂとが有機ＥＬ素子１２の端部において短絡することが防止されている。
【００８６】
これにより新たな有機物層ＯＬと新たな陰極層１２ｇとが成膜される。
再び図２を参照して、不活性ガス雰囲気中で、一時的に保管されていた封止部１１０と、配線１１３ａ、１１３ｂと、乾燥剤１２７とが、再び円筒管１に取り付けられる。このようにして封止部１１０が再使用されて円筒管１の内周が気密に封止される。配線１１３ａが透明陽極層１２ｂに接続され、配線１１３ｂが陰極層１２ｇに接続される。封止部１１０は、Ｏリング１２４を有しているので、容易に円筒管１に取り付けることができる。
【００８７】
以上により発光装置が再生産される。
上記の発光装置の再生産方法では、封止部１１０を取り外す工程と、有機物層ＯＬを露出させる工程と、透明陽極層１２ｂ（第１電極層）を露出させる工程と、透明陽極層１２ｂ（第１電極層）を表面処理する工程と、新たな有機物層ＯＬを成膜する工程と、新たな陰極層１２ｇ（第２電極層）を成膜する工程と、円筒管１の内周を封止部１１０で気密に封止する工程との全ては、円筒管１が縦に保持された状態で行なわれる。この場合には、各工程を行う装置の各部の全てが、円筒管１を縦に保持できるように構成されている。また、これらの各工程の少なくとも１つの工程が円筒管１が縦に保持された状態で行なわれてもよい。この場合には、各工程を行う装置の各部が、円筒管１を縦に保持できるように構成されている。
【００８８】
本実施の形態によれば、封止部１１０が円筒管１に着脱可能に固定されているので、封止部１１０は、取り外された後に再度取り付けられることができる。よって、有機物層ＯＬが劣化した発光装置の封止部１１０が取り外され、有機物層ＯＬおよび陰極層１２ｇが新たにされ、そして封止部１１０が再度取り付けられることで、発光装置を再生産することができる。これにより、装置の一部が廃棄されずに部品として再利用されるので、廃棄物の量を抑制することができる。また発光装置の一部が形状を保ったまま再利用されるので、装置全体が材料段階から再度形成される場合に比して、装置を生産するためのコストを抑制することができる。
【００８９】
また陰極層１２ｇは金属層である。これにより、金属用のエッチャントを用いて陰極層１２ｇをエッチングすることができる。また金属用のエッチャントは有機物をエッチングしにくいので、陰極層１２ｇのエッチングの際に有機物層ＯＬをエッチングストッパーとして用いることができる。
【００９０】
また透明陽極層１２ｂは、酸化物層であるため、有機物用のエッチャントによりエッチングされにくい。このため有機物用のエッチャントによって有機物層ＯＬがエッチングされる際に、透明陽極層１２ｂをエッチングストッパーとして用いることができる。
【００９１】
また円筒管１は管形状を有している。これにより、封止部１１０が円筒管１の管形状の端部に取り付けられるだけで、有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとを含む領域を気密に封止することができる。よって、封止部１１０が円筒管１の広範囲に取り付けられる必要がないので、封止部１１０の着脱を容易に行うことができる。
【００９２】
また有機物層ＯＬが除去された後に、透明陽極層１２ｂの表面が処理される。これにより、有機物層ＯＬが除去される際に生じた透明陽極層１２ｂの表面残渣が取り除かれる。よって発光装置の再生産において有機物層ＯＬが新たに形成される面である透明陽極層１２ｂの表面を平滑にすることができる。
【００９３】
また円筒管１、保護層１２ａ、および透明陽極層１２ｂは酸化物などの劣化の少ない材料からなり、封止部１１０はガラスまたはアルミニウムなどの劣化の少ない材料からなる。また発光装置は発光素子として有機ＥＬ素子１２、すなわち電流注入により発光する素子を用いているので、熱または放電により発光する素子に比して、発光素子以外の部分を劣化させる程度が少ない。よって発光装置の一部を長期にわたって再使用することができる。再使用できる期間は、たとえば発光時間として８００００時間程度（１日１２時間の使用で２０年程度）である。
【００９４】
また有機物層ＯＬが不活性ガスＩＧ中に封止されるので、有機物層ＯＬの劣化を抑制することができる。よって１回の再生産当たりの発光装置の寿命を長くすることができる。
【００９５】
上記の発光装置においては、有機ＥＬ素子（有機発光素子）１２がフレキシブル基板１１５上に形成されてもよい。以下、その内容について説明する。
【００９６】
図２０（Ａ）を参照して、まずフレキシブル基板（可撓性フィルム）１１５が、たとえば透光性を有する厚さ７５μｍのＰＥＮ（Poly （ethylene naphthalate））フィルムから準備される。このフレキシブル基板１１５上に有機ＥＬ素子１２が形成される。
【００９７】
図２０（Ｂ）を参照して、この後、たとえばフレキシブル基板１１５が外周側、有機ＥＬ素子１２が内周側となるようにフレキシブル基板１１５が湾曲させられる。湾曲されたフレキシブル基板１１５は円筒管１内面に装着される。この状態の円筒管１内の構成は、図２１に示すような構成となっている。つまり、円筒管１の内周面にフレキシブル基板１１５を介在して有機ＥＬ素子１２が配置されている。
【００９８】
この後、図２２に示す封止部品１１０ａ、１１０ｂなどが円筒管１に取り付けられて発光装置が製造される。図２２に示す発光装置では、円筒管１の内面上に、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇとが順に積層されるように形成されている。この発光装置では、円筒管１の内面上にフレキシブル基板１１５が形成されているので、保護層１２ａは形成されていない。なお、フレキシブル基板１１５と円筒管１との間に保護層１２ａが形成されていてもよい。
【００９９】
また、図２３に示すように、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇとが複数（図２３では２層）積層されていてもよい。図２３に示す発光装置では、円筒管１の内面上に、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇと、フレキシブル基板１１５と、透明陽極層（第１電極層）１２ｂと、有機物層ＯＬと、陰極層（第２電極層）１２ｇとが順に積層されるように形成されている。
【０１００】
有機物層ＯＬとフレキシブル基板１１５との間に位置している陰極層１２ｇは透光性を有していることが好ましく、酸化インジウム錫などを用いることができる。補助電極１１４は、複数の透明陽極層１２ｂと配線１１３ａとを接続し、複数の陰極層１２ｇと配線１１３ｂとを接続している。
【０１０１】
上記のようにフレキシブル基板１１５を用いた場合には、フレキシブル基板１１５の屈折率を適切に設定することにより有機ＥＬ発光装置における光の取り出し効率を高めることができる。
【０１０２】
円筒管１が縦に保持されている。これにより、円筒管１は、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に沿うように支持されているので、製造過程において重力方向に落下したゴミが管の内周の面上に付着することを抑制することができる。
【０１０３】
なお本実施の形態においては封止部品１１０ａおよび１１０ｂの各々と円筒管１との間を封止するためにＯリング１２４が用いられたが、本発明はこれに限定されるものではない。たとえば、Ｏリング１２４を使用しないで紫外線硬化接着剤やロウ付けを用いて封止されてもよい。
【０１０４】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２の発光装置の再生産方法では、実施の形態１における陰極層１２ｇのドライエッチング工程（図４）および有機物層ＯＬのドライエッチング工程（図５）のそれぞれの代わりに、液体を使用した陰極層１２ｇのウェットエッチング工程および有機物層ＯＬのウェットアッシング工程が行なわれる。以下にこの工程について説明する。
【０１０５】
まずウェットエッチング装置８０について説明する。図９を参照して、ウェットエッチング装置８０は、回転導入フランジ４０と、回転排出フランジ４１と、軸受４２ａ，４２ｂと、回転モータ４３と、液体供給管（供給部）４４と、排出口４５と、傾斜台４６と、ランプヒータ４７と、駆動機構４８とを主に有している。図９においてはウェットエッチング装置に加えて円筒管が図示されている。
【０１０６】
傾斜台４６は、第１保持部材４６ａと、ヒンジ部４６ｂと、支持部４６ｃと、第２保持部材４６ｄと、第３保持部材４６ｅとからなっている。第１保持部材４６ａは、第１保持部材４６ａの一方端部において、ヒンジ部４６ｂによって支持部４６ｃに回転可能に取り付けられている。ヒンジ部４６ｂから第１保持部材４６ａの他方端部の方向に移動した位置に第２保持部材４６ｄが形成されている。また第１保持部材４６ａの他方端部には第３保持部材４６ｅが形成されている。
【０１０７】
第２保持部材４６ｄおよび第３保持部材４６ｅ上には、軸受４２ａ、４２ｂが取り付けられている。軸受４２ａの内周側には、回転導入フランジ４０が挿入されて、回転可能に保持されている。また、軸受４２ｂの内周側には、回転排出フランジ４１が挿入されて、回転可能に保持されている。回転導入フランジ４０は駆動機構４８を介して回転モータ４３に接続されている。これにより、回転モータ４３の駆動力が駆動機構４８を介して回転導入フランジ４０に伝達されることにより回転導入フランジ４０が回転する。
【０１０８】
回転導入フランジ４０の円周方向の中心部には孔が形成されている。当該孔から液体供給管４４が長さ方向ＬＤに沿った方向に回転導入フランジ４０の内側に挿入されている。この液体供給管４４から酸溶液、純水などが円筒管１内に供給されるように構成されている。回転排出フランジ４１の円周方向の中心部には排出口４５が形成されている。この排出口４５の円周方向の下端まで酸溶液、純水などが満たされている。傾斜台４６が傾くことにより排出口４５から酸溶液、純水などが排出される。円筒管１と傾斜台４６との間にはランプヒータ４７が配置されている。円筒管１の外周面とランプヒータ４７とが対向するようにランプヒータ４７は配置されている。
【０１０９】
回転導入フランジ４０と回転排出フランジ４１との間には円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に交差するように円筒管１が支持されている。円筒管１の両端部は、回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１の対向する面に接触している。また、回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１の対向する面にはそれぞれ凸部が設けられている。これらの凸部の外周面と円筒管１に形成されている有機物層ＯＬの内周面とがＯリング１２４を介在して接触している。このようにして、円筒管１が回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１によって支持されている。
【０１１０】
なお、上記では回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１のそれぞれの凸部の外周面と、円筒管１に形成されている有機物層ＯＬの内周面とがＯリング１２４を介在して接触して、円筒管１がウェットエッチング装置８０に取り付けられているが、図１０に示す変形例のように円筒管１がウェットエッチング装置８０に取り付けられていてもよい。図１０においてはウェットエッチング装置に加えて円筒管が図示されている。
【０１１１】
つまり、凸部が回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１のそれぞれの外周部に形成されている。そして、凸部の内周面と、円筒管１の外周面とがＯリング１２４を介して接触して、円筒管１がウェットエッチング装置８０に取り付けられていてもよい。
【０１１２】
次にウェットエッチング装置８０によるウェットエッチング処理について説明する。
図９を参照して、円筒管１の長さ方向ＬＤが重力方向に交差するように円筒管１が支持される。円筒管１の両端のそれぞれに、回転導入フランジ４０および回転排出フランジ４１が取り付けられる。回転モータ４３の駆動力が駆動機構４８を介して伝達されることにより回転導入フランジ４０が軸受４２ａに支持されながら回転する。これにより円筒管１が円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する。
【０１１３】
この状態において、液体供給管４４から円筒管１内へ酸溶液の導入が開始される。酸溶液は液面ＦＬが排出口４５の円周方向の下端まで供給される。この酸溶液は、金属に対するウェットエッチング液であり、たとえばリン酸と、硝酸と、酢酸との混合液である。この酸溶液により、アルミニウムなどの金属からなる陰極層１２ｇが溶かされる。すなわち陰極層１２ｇがウェットエッチングにより除去される。陰極層１２ｇが除去されると有機物層ＯＬの陰極層１２ｇに被覆されていた部分が露出する。有機物層ＯＬは有機物であるため酸溶液には溶けない。すなわち有機物層ＯＬはこのウェットエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【０１１４】
陰極層１２ｇの除去後、円筒管１の回転が停止されて傾斜台４６が傾斜されることにより、円筒管１内の酸溶液が排出口４５から排出される。つまり、傾斜台４６の第１保持部材４６ａが、ヒンジ部４６ｂによって第３保持部材４６ｅが第２保持部材４６ｄより低い位置となるように支持部４６ｃに対して回転される。これにより、第２保持部材４６ｅ側に配置された回転排出フランジ４１に形成された排出口４５が低い位置となるように傾斜台４６が傾斜される。これにより、円筒管１内の酸溶液が排出口４５から排出される。続いて、液体供給管４４から円筒管１内に純水が導入されることで、円筒管１内に付着している酸溶液が洗い流される。
【０１１５】
次に、傾斜台４６が水平状態に戻される。これにより再び円筒管１の長さ方向ＬＤが水平方向に沿った方向となるように円筒管１が配置される。そして再び円筒管１が回転される。この状態において液体供給管４４からから円筒管１内へ炭化水素系洗浄溶剤の導入が開始される。炭化水素系洗浄溶剤は液面ＦＬが排出口４５の円周方向の下端まで供給される。この炭化水素系洗浄溶剤は、有機物に対する非塩素系ウェットエッチング液であり、たとえば関東化学株式会社製の有機ＥＬ材料洗浄液「ＯＥＬ Ｃｌｅａｎシリーズ」（商標）である。
【０１１６】
この炭化水素系洗浄溶剤により、有機物層ＯＬが溶かされる。すなわち有機物層ＯＬがウェットエッチングにより除去される。有機物層ＯＬが除去されると透明陽極層１２ｂの有機物層ＯＬに被覆されていた部分が露出する。透明陽極層１２ｂは酸化物であるため、炭化水素系洗浄溶剤には溶けない。すなわち透明陽極層１２ｂはこのウェットエッチングのエッチングストッパーとして機能する。
【０１１７】
なお炭化水素系洗浄溶剤の代わりに、高温純水が用いられてもよい。
有機物層ＯＬの除去後、円筒管１の回転が停止されて上記と同様に傾斜台４６が傾斜されることにより円筒管１は傾斜されることにより、円筒管１内の炭化水素系洗浄溶剤が排出口４５から排出される。続いて、液体供給管４４から円筒管１内に非塩素系洗浄溶剤が導入されることで、円筒管１内に付着している炭化水素系洗浄溶剤が洗い流される。この非塩素系洗浄溶剤は、たとえば住友スリーエム株式会社製「ノベック」（商標）ＨＦＥ−７１００、または旭硝子株式会社製「アサヒクリン」（商標）ＡＥ−３０００である。 次に液体供給管４４から円筒管１内に純水が導入されることで、さらに洗浄が行なわれる。次に円筒管１がランプヒータ４７と対向する位置で回転モータ４３の駆動力によって回転される。これにより、ランプヒータ４７の熱によって効率よく円筒管１内が乾燥される。
【０１１８】
なお、本実施の形態の上記以外の再生産方法は、上述した実施の形態１とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０１１９】
本実施の形態によれば、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。また、本実施の形態によれば、陰極層１２ｇおよび有機物層ＯＬをウェットエッチングにより除去することができる。またウェットエッチング装置８０により陰極層１２ｇおよび有機物層ＯＬのウェットエッチングを簡易な構成により行うことができる。これらにより製造コストを含めた生産性を向上することができる。
【０１２０】
（実施の形態３）
はじめに本発明の実施の形態３の再生産装置の構成について説明する。
【０１２１】
図１１を参照して、本実施の形態の再生産装置１００Ｗは、搬入室５１と、開閉弁ＧＶ１〜ＧＶ７と、封止着脱室（封止着脱部）５２と、待機室５３と、搬送手段ＴＲ１、ＴＲ２と、真空搬送室５４と、エッチング室（第２電極層除去部、有機物層除去部、第１電極層表面処理部）５５と、中間室５６と、高真空搬送室５７と、有機物蒸着室（有機物層成膜部）５８と、陰極蒸着室（第２電極層成膜部）５９と、搬出室６０と、ポンプ６１，６２とを主に有している。各室は気密構造を有している。図１１においては再生装置に加えて円筒管が図示されている。また図１１においては図を見やすくするために再生産装置の上面側の構造が一部図示されていない。
【０１２２】
搬入室５１は、発光装置の種類をバーコード１３によって識別する図示しない識別装置を有している。搬入室５１は、大気圧から真空排気され、また窒素が導入されて大気圧にされるように構成されている。開閉弁ＧＶ１〜ＧＶ７は各室の間を開閉するように構成されている。封止着脱室５２は、発光装置の発光装置の封止部１１０（図２）を着脱する機能を有している。封止着脱室５２は、窒素が導入されるように構成されている。待機室５３は、真空排気されるように構成されている。
【０１２３】
真空搬送室５４は、真空にされるように構成されている。真空搬送室５４は、搬送手段ＴＲ１を有している。搬送手段ＴＲ１は、たとえば搬送ロボットであり、待機室５３からエッチング室５５に円筒管１を搬送することができる。
【０１２４】
エッチング室５５は、真空排気されるように構成されている。エッチング室５５は、円筒管１に図示しないエッチングマスクを取り付け、エッチングのための混合ガスを導入するように構成されている。またエッチング後、エッチングマスクが取り外されるように構成されている。またエッチング室５５は、高周波を印加してプラズマを発生させることにより陰極層１２ｇ（図２）および有機物層ＯＬ（図２）をエッチングするよう構成されている。さらにエッチング室５５は、円筒管１を加熱するための図示しない加熱ランプを有している。加熱ランプが円筒管１を加熱することにより透明陽極層１２ｂが表面処理されるように構成されている。中間室５６は高真空排気されるように構成されている。
【０１２５】
高真空搬送室５７は、高真空にされるように構成されている。高真空搬送室５７は、搬送手段ＴＲ２を有している。搬送手段ＴＲ２は、たとえば搬送ロボットであり、中間室５６から有機物蒸着室５８に円筒管１を搬送することができる。搬送手段ＴＲ２は、有機物層ＯＬの各層に対応する図示しない坩堝を備えたそれぞれの有機物蒸着室５８へ円筒管１を順に移動させるように構成されている。
【０１２６】
有機物蒸着室５８は、真空排気されるように構成されている。有機物蒸着室５８は図示しない有機物蒸着マスク（第１のマスク）を取り付けて、有機物層ＯＬ（図２）を蒸着した後、有機物蒸着マスクを取り外すように構成されている。
【０１２７】
陰極蒸着室５９は、高真空排気されるように構成されている。陰極蒸着室５９は、図示しない陰極蒸着マスク（第２のマスク）を取り付けて、陰極層１２ｇ（図２）を蒸着した後、陰極蒸着マスクを取り外すように構成されている。
【０１２８】
搬出室６０は、真空排気され、また窒素ガスが導入されて大気圧となるように構成されている。
【０１２９】
真空ポンプ６１は、たとえばターボ分子ポンプ６１からなっている。蒸着用の高真空ポンプ６２は、たとえばクライオポンプ６２からなっている。
【０１３０】
上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１３１】
続いて、本実施の形態の発光装置の再生産方法について説明する。
発光装置が搬入室５１に設置される。図示しない制御装置によって、発光装置の種類がバーコード１３により識別され、プロセスレシピが選択され、再生産作業が開始される。
【０１３２】
次に、搬入室５１は大気雰囲気から真空排気される。次に、搬入室５１に窒素が導入される。搬入室５１が大気圧にされたら開閉弁ＧＶ１が開かれて、発光装置が封止着脱室５２に移送される。発光装置の移送後、開閉弁ＧＶ１が閉じられる。
【０１３３】
次に、窒素雰囲気の封止着脱室５２において、発光装置の封止部１１０が取り外されて、円筒管１と分離される。次に、開閉弁ＧＶ２が開き、円筒管１が封止着脱室５２から待機室５３に移送される。円筒管１の移送終了後、開閉弁ＧＶ２が閉じられる。
【０１３４】
次に、待機室５３が真空排気される。次に、開閉弁ＧＶ３、ＧＶ４が開かれて、円筒管１が搬送手段ＴＲ１によって、待機室５３から真空搬送室５４を通ってエッチング室５５に真空中で搬送される。搬送終了後、開閉弁ＧＶ３、ＧＶ４が閉じられる。
【０１３５】
次に、エッチング室５５では、真空排気しながら円筒管１にエッチングマスクが取り付けられて、陰極層１２ｇだけが露出される。そして、アルゴンガスとハロゲンガスとの混合ガスがエッチング室５５に導入される。減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されることでプラズマ２６が発生する。プラズマ雰囲気中で陰極層１２ｇがエッチングされて有機物層ＯＬが露出される。エッチング終了後、真空排気してエッチングマスクが取り外される。
【０１３６】
次に、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガスがエッチング室５５に導入される。減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されることでプラズマ２７が発生する。プラズマ雰囲気中で有機物層ＯＬがエッチングされて透明陽極層１２ｂが露出される。
【０１３７】
次に、図示しない加熱ランプ２８によって円筒管１が加熱される。このように円筒管１が加熱されながらプラズマ２７によってエッチングされることで、酸化物からなる透明陽極層１２ｂの表面が処理される。エッチング終了後、エッチング室５５は真空排気される。
【０１３８】
次に、開閉弁ＧＶ４、ＧＶ５が開かれて、円筒管１が搬送手段ＴＲ１によって、エッチング室５５から真空搬送室５４を通って中間室５６に真空中で搬送される。搬送終了後、開閉弁ＧＶ４、ＧＶ５は閉じられる。真空搬送室５４は、たとえばターボ分子ポンプからなるポンプ６１により真空にされる。
【０１３９】
次に、中間室５６は高真空排気される。次に、開閉弁ＧＶ６が開かれて、円筒管１が搬送手段ＴＲ２によって、中間室５６から高真空搬送室５７を通って有機物蒸着室５８に搬送される。高真空搬送室５７は、たとえばクライオポンプ６２からなる蒸着用の高真空ポンプ６１により高真空排気される。
【０１４０】
次に、各有機物蒸着室５８では、真空排気しながら有機物蒸着マスクが取り付けられて、有機物層ＯＬの蒸着が行われる。蒸着終了後、有機物蒸着マスクは取り外される。有機物層ＯＬの各層に対応する複数の坩堝（図示しない）を備えたそれぞれの有機物蒸着室５８へ搬送手段ＴＲ２によって円筒管１を順に移動させることにより有機物層ＯＬが多層形成される。
【０１４１】
次に、円筒管１が搬送手段ＴＲ２によって有機物蒸着室５８から陰極蒸着室５９に高真空中で搬送される。次に、陰極蒸着室５９では、陰極蒸着マスクが取り付けられて、陰極層１２ｇの蒸着が行われる。蒸着終了後、陰極蒸着マスクは取り外される。
【０１４２】
次に、開閉弁ＧＶ６が開かれ、円筒管１は搬送手段ＴＲ２によって陰極蒸着室５９から中間室５６に高真空中で搬送される。搬送終了後、開閉弁ＧＶ６は閉じられる。
【０１４３】
次に、開閉弁ＧＶ３，ＧＶ５が開かれて、円筒管１は搬送手段ＴＲ１によって中間室５６から待機室５３に真空中で搬送する。搬送終了後、開閉弁ＧＶ３、ＧＶ５は閉じられる。
【０１４４】
次に、待機室５３に窒素が導入されて大気圧にされる。その後、開閉弁ＧＶ２が開かれて、円筒管１が封止着脱室５２に移送される。移送後、開閉弁ＧＶ２は閉じられる。
【０１４５】
次に、窒素雰囲気の封止着脱室５２で円筒管１に封止部１１０が取り付けられて、発光装置が組み立てられる。
【０１４６】
次に、開閉弁ＧＶ７が開かれて、発光装置は封止着脱室５２から搬出室６０に移送される。移送終了後、開閉弁ＧＶ７は閉じられる。
【０１４７】
次に、発光装置が搬出室６０から取り出される。発光装置が搬出室６０から取り出された後、搬出室６０は真空排気される。その後、窒素ガスが導入されて搬出室６０は大気圧にされる。
【０１４８】
発光装置は、連続して各室に搬送される。つまり各室の処理が終了し、１つの発光装置が再生産装置から搬出されると次の発光装置が搬入される。
【０１４９】
上記のように、封止部１１０を取り外す工程と、円筒管１の内部を封止部１１０で気密に封止する工程とを有する第１の工程は、封止着脱室（第１の気密容器）５２で行なわれる。陰極層１２ｇを除去する工程と、有機物層ＯＬを除去する工程と、透明陽極層１２ｂを表面処理する工程とを有する第２の工程は、エッチング室（第２の気密容器）５５で行われる。有機物層ＯＬを成膜する工程と、陰極層１２ｇを成膜する工程とを有する第３の工程は、高真空搬送室５７を通じて繋がっている有機物蒸着室５８および陰極蒸着室５９で行なわれる（第３の気密容器）。
【０１５０】
上記の再生産装置１００Ｗでは、封止着脱室（封止着脱部）５２と、エッチング室（第２電極層除去部、有機物層除去部、第１電極層表面処理部）５５と、有機物蒸着室（有機物層成膜部）５８と、陰極蒸着室（第２電極層成膜部）５９との全ては、円筒管１を縦に保持できるように構成されている。また、これらの各部の少なくとも１つが、円筒管１１を縦に保持できるように構成されていてもよい。
【０１５１】
本実施の形態の再生産装置によれば、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【０１５２】
（実施の形態４）
はじめに、本発明の実施の形態４の再生産装置の構成について説明する。
【０１５３】
図１２〜１４を参照して、本実施の形態の再生産装置１００Ｘは、気密室７０と、結合治具７１と、公転搬送手段７２と、エッチングフランジ７３と、自転モータ７４と、溶液コーティングフランジ７５と、溶液コーティングノズル７６と、陰極蒸着フランジ７７と、蒸着ルツボ７８とを主に有している。
【０１５４】
結合治具７１と、公転搬送手段７２と、エッチングフランジ７３とにより第２電極層除去部、有機物層除去部および第１電極層表面処理部が形成されている。結合治具７１と、公転搬送手段７２と、溶液コーティングフランジ７５とにより有機物層成膜部が形成されている。結合治具７１と、公転搬送手段７２と、陰極蒸着フランジ７７とにより有機物層成膜部が形成されている。結合治具７１と、公転搬送手段７２と、エッチングフランジ７３、溶液コーティングフランジ７５および陰極蒸着フランジ７７のいずれかを組み合わせて結合器が形成されている。円筒管（管）１の内周領域は、結合器によって気密状態に閉塞されている。
【０１５５】
図１２〜１４においては再生装置に加えて円筒管が図示されている。また図１２においては、図を見やすくするために再生産装置の上側のみを図示している。図１４においては、図を見やすくするために再生産装置の下側のみを図示している。
【０１５６】
図１２に示すように、気密室７０内の一方端部側には公転搬送手段７２が仮想の軸線Ｊを中心に回転可能に配置されている。他方端部側にはエッチングフランジ７３が公転搬送手段７２に対して前後移動可能に配置されている。
【０１５７】
図１３に示すように、側面視における右上側にエッチングフランジ７３が配置されている。側面視においてエッチングフランジ７３から仮想の軸線Ｊに対して９０度時計回りに移動した位置に溶液コーティングフランジ７５が配置されている。側面視において溶液コーティングフランジ７５から仮想の軸線Ｊに対して９０度時計回りに移動した位置に陰極蒸着フランジ７７が配置されている。
【０１５８】
図１４に示すように、気密室７０内の他方端部側には、溶液コーティングフランジ７５および陰極蒸着フランジ７７が公転搬送手段７２に対して前後移動可能に配置されている。
【０１５９】
図１２に示すように、公転搬送手段７２には円筒管１の一方側が取り付けられるための取付部７２ａが設けられている。また取付部７２ａはパーティクルの侵入を防止するためパージ窒素を供給するように構成されている。エッチングフランジ７３は、マスクＭ１を円筒管１内に取り付ける装置を有している。エッチングフランジ７３には自転モータ７４が取り付けられている。エッチングフランジ７３は、円筒管１内を真空排気するように構成されている。公転搬送手段７２の取付部７２ａとエッチングフランジ７３との間には、円筒管１を挟みこむように加熱ランプ２８が配置されている。
【０１６０】
溶液コーティングフランジ７５は、溶液コーティングノズル７６を有している。溶液コーティングフランジ７５には自転モータ７４が取り付けられている。公転搬送手段７２の取付部７２ａと溶液コーティングフランジ７５との間には、円筒管１に沿うように加熱ランプ２８が配置されている。陰極蒸着フランジ７７は、蒸着ルツボ７８を有している。陰極蒸着フランジ７７には自転モータ７４が取り付けられている。陰極蒸着フランジ７７は、円筒管１内を真空排気するように構成されている。
【０１６１】
上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１６２】
続いて、本実施の形態の発光装置の再生産方法について説明する。
図１２を参照して、窒素雰囲気の気密室７０内で、発光装置の封止部１１０が取り外される。そして、図中矢印Ｘ１で示すように、円筒管１の両端に結合治具７１が装着される。
【０１６３】
次に、図中矢印Ｘ２で示すように、円筒管１が公転搬送手段への取り付け位置に移動される。そして図中矢印Ｘ３で示すように、円筒管１の一方側は、結合治具７１を介在して公転搬送手段７２に装着される。公転搬送手段７２の取付部７２ａから円筒管１の内部にパーティクルの侵入を防止するためパージ窒素が供給される。
【０１６４】
次に、図１３に示すように、公転搬送手段７２は、図示しない回転モータによって、仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。
【０１６５】
次に、図１２および図１３を参照して、図中矢印Ｘ４で示すように、円筒管１の片側には、エッチングフランジ７３が連結されて、真空排気しながら円筒管１にエッチングマスクＭ１が取り付けられる。これにより、エッチングされる陰極層１２ｇだけが露出される。そして、自転モータ７４によって円筒管１が自転する。アルゴンガスとハロゲンガスの混合ガスが円筒管１に導入され、減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されて、プラズマ２６が発生する。プラズマ雰囲気中で陰極層１２ｇがエッチングされて有機物層ＯＬが露出される。エッチング終了後、真空排気してエッチングマスクＭ１が取り外される。
【０１６６】
次に、アルゴンガスと酸素ガスとの混合ガスが円筒管１に導入される。減圧雰囲気で１３．５６ＭＨｚの高周波が印加されることで酸素プラズマ２７が発生する。プラズマ雰囲気中で有機物層ＯＬがエッチングされて透明陽極層１２ｂを露出する。
【０１６７】
次に加熱ランプ２８によって円筒管１が加熱される。このように円筒管１が加熱されながらプラズマ２７によってエッチングされることで、酸化物からなる透明陽極層１２ｂの表面が処理される。エッチング終了後、円筒管１内は常圧にされる。
【０１６８】
次に、エッチングフランジ７３が外されて、公転搬送手段７２は、仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。
【０１６９】
次に、円筒管１の片側には、溶液コーティングフランジ７５が連結される。円筒管１は、加熱ランプ２８で加熱されながら自転モータ７４によって自転する。溶液コーティングノズル７６が円筒管１の内側に挿入され、有機物層ＯＬの塗布が行われる。その際、有機物層マスクが設けられていてもよい。
【０１７０】
次に、溶液コーティングフランジ７５が外されて、公転搬送手段７２は仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。
【０１７１】
次に、図１４を参照して、円筒管１の片側には、陰極蒸着フランジ７７が連結される。円筒管１は、真空排気されて、冷却されながら自転モータ７４によって自転する。蒸着ルツボ７８が円筒管１の内側に挿入され、陰極層１２ｇの真空蒸着が行われる。その際、陰極蒸着マスクが設けられていてもよい。
【０１７２】
次に、陰極蒸着フランジ７７が外されて、公転搬送手段７２は仮想の軸線Ｊを中心に時計回りに９０度公転する。このようにして円筒管１は、元の位置に戻り、公転搬送手段７２から取り外される。
【０１７３】
次に、円筒管１の両端の結合治具７１が外され、封止部１１０が取り付けられて、発光装置が組み立てられる。
【０１７４】
発光装置は連続して気密室７０に搬入される。つまり発光装置は、順次、公転搬送手段７２に装着される。各工程の処理が終了し、発光装置が搬出されると次の発光装置が気密室７０に搬入される。
【０１７５】
本実施の形態の再生産装置によれば、発光装置の再生産を連続的に行うことができる。
発光装置の再生産を連続的に行うことができるので効率よく発光装置を再生産することができる。
【０１７６】
（実施の形態５）
はじめに、本発明の実施の形態５の再生産装置の構成について説明する。
【０１７７】
図１５および図１６を参照して、本実施の形態の発光装置の再生産装置としての成膜装置１００Ｐは、円筒管１と、円筒管１の内周に形成された有機ＥＬ素子１２とを含む発光装置の製造装置である。
【０１７８】
成膜装置１００Ｐは、主に、複数の固定冶具３０と、複数の坩堝３１（複数の放出部分）と、公転用テーブル８０ａ（搬送手段）と、駆動部とを有している。公転用テーブル８０ａは、真空容器（気密容器）２９内に設けられ、円板形状を有している。この公転用テーブル８０ａの一方の面の中心に、真空容器２９外に設けられた回転モータ３９が自公転機構８０Ａを介して取り付けられている。この回転モータ３９により、公転用テーブル８０ａは円板形状の中心を通る軸ＡＸを中心にして自転することができる。またこの公転用テーブル８０ａの他方の面の外周に沿って、複数の固定冶具３０が設けられている。
【０１７９】
この構成により、公転用テーブル８０ａは自身が自転することにより複数の固定冶具３０を公転用テーブル８０ａの円形形状の中心の周りに公転させることができる。駆動部の各々は、自転用伝達ベルト８０ｂと、直線駆動機構３４とを有する。固定冶具３０は自転用伝達ベルト８０ｂを介して回転モータ３９の駆動力を受けることにより自転することができる。直線駆動機構３４は複数の坩堝３１の各々に設けられている。
【０１８０】
なお成膜装置１００Ｐは、さらに封止着脱室５２と、待機室５３と、搬送手段ＴＲ３と、ゲートバルブＧＶ８とを有している。封止着脱室５２は待機室５３を介在して真空容器２９に接続されている。搬送手段ＴＲ３は封止着脱室５２と真空容器２９との間で円筒管１を搬送する機能を有している。ゲートバルブＧＶ８は待機室５３と真空容器２９との間を開閉することができる。
【０１８１】
上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１８２】
次に成膜装置１００Ｐを用いた有機ＥＬ素子１２の形成方法について説明する。図２および図１５を参照して、複数の坩堝３１のそれぞれに、有機ＥＬ素子１２の保護層１２ａ、透明陽極層１２ｂ、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆ、および陰極層１２ｇに対応する固体原料３７が収められる。
【０１８３】
図１６を参照して、ゲートバルブＧＶ８が閉じた状態で、封止着脱室５２内において搬送手段ＴＲ３に円筒管１が取り付けられる。
【０１８４】
図１５および図１７を参照して、ゲートバルブＧＶ８が開けられ、搬送手段ＴＲ３により円筒管１が真空容器２９内に移動される。そして円筒管１が固定冶具３０に取り付けられる。次に搬送手段ＴＲ３が元の位置に戻り、ゲートバルブＧＶ８が閉じる。
【０１８５】
成膜装置１００Ｖ（図８）を用いた成膜方法と同様の方法で、保護層１２ａの形成が行なわれる。すなわち長さ方向ＬＤを中心として自転する円筒管１の内面に保護層１２ａが形成される。なお、成膜中は仮想の軸線ＡＸを中心とする公転用テーブル８０ａの自転は行なわれない。
【０１８６】
保護層１２ａの形成が終了した時点で、坩堝３１は直線駆動機構３４により、図中下側（直線駆動機構３４の側）に移動されることで、円筒管１の外部に引き出される。シャッター７９により坩堝３１から蒸発する固体原料３７が遮られる。回転モータ３９により仮想の軸線ＡＸを中心に公転用テーブル８０ａが一定角度だけ回転される。これにより円筒管１は、仮想の軸線ＡＸを中心として一定角度だけ公転し、透明陽極層１２ｂに対応する固体原料３７が収められた坩堝３１の上方に至る。このようにして、円筒管１が複数の坩堝３１の各々に対応する位置へ順に移動させる。
【０１８７】
次に成膜装置１００Ｖ（図８）を用いた成膜方法と同様の方法で、保護層１２ａ上に透明陽極層１２ｂが形成される。同様にして、さらに第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆ、および陰極層１２ｇが形成されることで、有機ＥＬ素子１２が形成される。
【０１８８】
なお公転用テーブル８０ａが一定角度回転されるごとに、真空容器２９から封止着脱室５２を経由して有機ＥＬ素子１２が形成済みの円筒管１を１つ取り出し、有機ＥＬ素子１２が形成前の円筒管１の１つを封止着脱室５２を経由して真空容器２９に入れることにより、複数の円筒管１への成膜を１つの真空容器２９内で同時に行うことができる。
【０１８９】
また有機ＥＬ素子１２を構成する複数の層の少なくとも１層が、成膜装置１００Ｐ以外の装置である成膜装置１００Ｖ、成膜装置１００Ｙにより形成されてもよい。
【０１９０】
本実施の形態によれば、円筒管１を真空容器２９から取り出すことなく、連続して複数の層を形成することができるので、効率よく有機ＥＬ素子１２を形成することができる。
【０１９１】
（実施の形態６）
本実施の形態においては第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆはガス輸送法により形成される。ここでガス輸送法とは、ＯＶＰＤ（Organic Vapor Phase Deposition）法とも称され、以下の工程を含む成膜方法のことである。
【０１９２】
有機物からなる出発原料が加熱されることで昇華または蒸発される。昇華または蒸発された有機物がキャリヤガス（不活性ガス）に含められる。有機物が再固化しないように加熱を行ないながら、有機物を含んだキャリヤガスが成膜される領域まで輸送される。成膜される領域は冷却されており、この領域でキャリヤガス中の有機物が再固化されることで成膜が行なわれる。
【０１９３】
なお図１９においては成膜装置本体に加えて、円筒管および形成中の有機ＥＬ素子も図示されている。
【０１９４】
図１９を参照して、本実施の形態の発光装置の製造装置としての成膜装置１００Ｙは、固定冶具３０と、冷却器３２と、ヒータ３６と、回転モータ３９と、ガス輸送管８７と、気化器８２と、オーブン８３と、ガスボンベ８４と、質量流量計８５と、バルブ８６と、排気口８８と、ガス加熱器９０とを主に有している。
【０１９５】
円筒管１の一方端部（図中の上端部）は、固定冶具３０を通じてガス輸送管８７を経由してガスボンベ８４に接続されている。ガス輸送管８７は固定冶具３０に接続されている。固定冶具３０は、回転モータ３９によって自転するように構成されている。円筒管１の他方端部（図中の下端部）には排気口８８が取り付けられている。排気口８８は円筒管１の内部を真空または減圧するように構成されている。
【０１９６】
ガスボンベ８４はガス輸送法におけるキャリヤガスの供給源である。ガス輸送管８７の途中には、ガスボンベ８４側から順に、質量流量計８５と、ガス加熱器９０と、気化器８２とが設けられている。オーブン８３は、気化器８２を加熱することにより、気化器８２に収められた固体原料３７から蒸発原料（気体状の原料）を生じさせる機能を有している。ヒータ３６は、ガス輸送管８７を加熱する機能を有している。
【０１９７】
なお上記以外の構成については実施の形態１の成膜装置１００Ｖの構成とほぼ同じであるため、同一の要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１９８】
次に成膜装置１００Ｇを用いたガス輸送法による第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆ（図１）の形成方法について説明する。図１９を参照して、第１の層１２ｃの材質からなる粉末状の固体原料３７と、円筒管１とが準備される。そして気化器８２内に固体原料３７が入れられる。
【０１９９】
質量流量計８５によりガスボンベ８４から円筒管１に不活性なキャリヤガスが導入される。ヒータ３６により、ガス輸送管８７は、固体原料３７からの蒸発原料が付着しないように加熱される。
【０２００】
円筒管１が固定冶具３０に取り付けられる。回転モータ３９が駆動されることにより、円筒管１が長さ方向を中心として自転する。円筒管１は冷却器７により冷却される。
【０２０１】
オーブン８３がオンされることにより固体原料３７が加熱されることで、気化器８２から蒸発原料が生じる。この蒸発原料は、キャリヤガスと共に、ガス輸送管８７を流され、固定冶具３０から円筒管１の内部へ吹き出される。吹き出された蒸発原料が円筒管１の内面上において冷却されることで、蒸発原料が再固化する。この再固化により、円筒管１の内面に第１の層１２ｃの形成が行なわれる。
【０２０２】
気化器８２およびオーブン８３の対が複数設けられ、各対がバルブ８６により選択的に固定冶具３０に蒸発原料を導入するように構成されているので、バルブ８６の開閉により、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの連続的な成膜が行われる。
【０２０３】
また固体原料３７の材質が第１の層１２ｃの材質から第２〜第４の層１２ｄ〜１２ｆの材質に順次入れ替えられて成膜が行なわれることにより、第１の層１２ｃ上に第２〜第４の層１２ｆが形成されてもよい。
【０２０４】
有機物層ＯＬは光（たとえばレーザー）８９の照射によって局部的に加熱され、蒸発される。このようにして、レーザー照射により蒸発された領域以外に新たな有機物層を残存させることができる。これにより、ショート防止用スペースＳＰが形成される。
【０２０５】
本実施の形態によれば、ガス輸送法を用いて実施の形態１と同様の効果を得ることができる。つまり、真空蒸着の代わりに低分子系有機ＥＬ材料が加熱して蒸発されて、加熱されたキャリヤガスに含まれることで発光装置の内側に供給され、冷却された円筒管１の内周に析出される。
【０２０６】
また複数の固体原料３７がそれぞれ独立して加熱されて、バルブ８６の切換えによって第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層膜を連続的に成膜することができる。また気化器８２内に入れられる固体原料３７の材質を変更することで、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層膜を連続的に形成することができる。
【０２０７】
また、キャリヤガスがマスクの裏面に回り込むため、有機物層ＯＬの成膜後、レーザーの照射によって有機物層ＯＬの一部を蒸発させることができる。これにより、ショート防止用スペースＳＰを形成することができる。
【０２０８】
（実施の形態７）
本発明の実施の形態７の成膜装置１００Ｑは、実施の形態１の成膜装置１００Ｖと比較して、加熱台（第１の放出部、第２の放出部）１５０と、原料供給器（有機物原料供給器、第２電極原料供給器）１５１と、レーザーパーティクルモニタ１５２とを備えている点で主に異なっている。
【０２０９】
図２４を参照して、本実施の形態の成膜装置１００Ｑは、円筒管１内に新たな有機物層ＯＬまたは第２電極層１２ｇの原料である固体状の原料（固体原料）３７を落下により供給するための原料供給器１５１を有している。原料供給器１５１には、新たな有機物層ＯＬを成膜する場合には有機物原料（固体原料）３７が貯蔵されており、また新たな第２電極層１２ｇを成膜する場合には第２電極原料（固体原料）３７が貯蔵されている。複数の原料供給器１５１に有機物原料３７と第２電極原料３７とがそれぞれ別個に貯蔵されてもよい。有機物原料３７を供給するための有機物原料供給器１５１は、有機物層ＯＬの各層にあわせて、複数載置されていてもよい。
【０２１０】
原料供給器１５１は、真空容器２９の上面に載置されている。原料供給器１５１の底面には孔１５１ａが形成されている。真空容器２９の上面には孔２９ａが形成されている。原料供給器１５１の底部の孔１５１ａと真空容器２９の上部の孔２９ａとが連通することにより、原料供給器１５１の固体原料３７が真空容器２９内に落下するように構成されている。
【０２１１】
原料供給器１５１の孔１５１ａおよび真空容器２９の孔２９ａは、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って配置されている。
【０２１２】
回転導入器３３は、固定冶具３０が円筒管１の長さ方向ＬＤを中心に回転可能に固定冶具３０を支持している。また回転導入器３３は回転モータ３９の回転力を固定冶具３０に伝達可能に構成されている。
【０２１３】
原料供給器１５１が円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って配置されているため、回転モータ３９は円筒管１の長さ方向ＬＤと平面視において重ならない位置に配置されている。そのため、回転導入器３３の回転モータ３９と連結する部分は、円筒管１の長さ方向ＬＤと平面視において重ならない位置に配置されている。回転導入器３３の固定冶具３０と連結する部分は、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って配置されている。回転導入器３３における、回転モータ３９と連結する部分と、固定冶具３０と連結する部分とは、たとえば複数の歯車で連結されている。これにより、回転モータ３９の駆動力が固定冶具３０を介して伝達されることにより、円筒管１を円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転させることができる。回転導入器３３の固定冶具３０と連結する部分は、円筒形状を有しており、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って固定冶具３０に固定されている。
【０２１４】
固定冶具３０は、回転導入器３３の固定冶具３０と連結する部分が平面視における中央部分を貫通することにより、固体原料３７が原料供給器１５１から真空容器２９内に円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って落下するように構成されている。
【０２１５】
成膜装置１００Ｑは、原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された固体原料３７を加熱することにより気化して放出するための加熱台１５０を有している。
【０２１６】
加熱台１５０は、ヒータ３６により加熱されるように構成されている。加熱台１５０は、本体部分に加えてさらに上蓋３８を有している。上蓋３８は、本体部分との間に隙間ＧＰが設けられるように加熱台１５０の本体部分に固定されている。上蓋３８は、落下した固体原料３７を通過させるための開口部１５３を有している。このようにして、円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って、原料供給器１５１から円筒管１内に供給された固体原料３７が、開口部１５３を通って加熱台１５０に落下することにより、固体原料３７が加熱されるように加熱台１５０が構成されている。なお、加熱台１５０の材質は、たとえば窒化ホウ素である。
【０２１７】
レーザーパーティクルモニタ１５２は、原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された固体原料３７の供給量を計測し、計測の結果に基づき固体原料３７の供給量を制御するように構成されている。
【０２１８】
レーザーパーティクルモニタ１５２は、落下中にレーザーパーティクルモニタ１５２を通過した固体原料３７の供給量を算出することにより固体原料３７の供給量を計測するように構成されている。たとえば、レーザーパーティクルモニタ１５２は、落下中の固体原料３７の大きさ、数から固体原料３７の供給量を算出するように構成されている。レーザーパーティクルモニタ１５２は、固体原料３７の供給量の計測の結果に基づいて、原料供給器１５１から供給される固体原料３７の供給量を制御するように構成されている。
【０２１９】
次に成膜装置１００Ｑが用いられた、有機物層ＯＬと陰極層１２ｇとの成膜方法について説明する。
【０２２０】
まず有機物層ＯＬの成膜方法について説明する。第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの真空蒸着に用いられる固体原料３７として、粉体の有機物原料３７が準備される。また各有機物原料３７ごとに有機物原料供給器１５１に貯蔵される。そして第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆのそれぞれ対応する有機物原料３７が収められた複数の原料供給器１５１がひとつの真空容器２９に載置される。
【０２２１】
また円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｑに取り付けられる。真空ポンプ３５により真空容器２９内部が減圧される。冷却器３２の内部に冷媒が流されることにより、円筒管１の温度が５０℃以下に保たれる。回転モータ３９が駆動されることにより、円筒管１が長さ方向ＬＤを中心として自転する。この円筒管１が自転する運動により、加熱台１５０から見て円筒管１は円筒管１の長さ方向ＬＤを中心として自転する運動を行う。自転速度は、たとえば３０ｒｐｍである。
【０２２２】
また直線駆動機構３４が駆動されることにより、加熱台１５０が円筒管１の長さ方向ＬＤに沿って円筒管１の中で往復するように変位する。変位速度は、たとえば２０ｍｍ／秒である。この変位により、円筒管１と円筒管１の中に配置された加熱台１５０とが円筒管１の長さ方向ＬＤに相対的に変位する。すなわち加熱台１５０と円筒管１とが相対運動を行う。
【０２２３】
ヒータ３６に直流電流が流されることにより加熱台１５０が加熱されることで、原料供給器１５１から落下した有機物原料３７が加熱台１５０の開口部１５３を通過して内部で気化し隙間ＧＰを介して放出する。すなわち加熱台１５０の内部に落下した有機物原料３７が、加熱台１５０からその周囲に飛散する。飛散された有機物原料３７の少なくとも一部が透明陽極層１２ｂ（図６）上へ付着することで、円筒管１の内面に真空蒸着による層の形成が行なわれる。異なる材質の有機物原料３７が収められた複数の有機物原料供給器１５１が順次用いられて真空蒸着が行なわれることで、第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆからなる積層構造、すなわち新たな有機物層ＯＬが得られる。
【０２２４】
次に陰極層１２ｇの形成工程について説明する。第２電極原料３７としてアルミニウム材が収められた第２電極原料供給器１５１が真空容器２９に載置される。また有機物層ＯＬが形成された円筒管１が固定冶具３０により成膜装置１００Ｑに取り付けられる。またショート防止用スペースＳＰ（図２）を設けるために、直線駆動機構３４の出発点と折り返し点を調節する。次に第１〜第４の層１２ｃ〜１２ｆの形成工程と同様の真空蒸着が行なわれる。これにより新たな陰極層１２ｇが形成される。
【０２２５】
レーザーパーティクルモニタ１５２は、原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された固体原料３７の供給量を計測し、計測の結果に基づき固体原料３７の供給量を制御するように構成されている。レーザーパーティクルモニタ１５２は、落下中にレーザーパーティクルモニタ１５２を通過した固体原料３７の供給量を算出することにより固体原料３７の供給量を計測し、その計測の結果に基づいて、原料供給器１５１から供給される固体原料３７の供給量を制御する。
【０２２６】
なお、上記では、複数の原料供給器１５１に有機物原料３７と第２電極原料３７とがそれぞれ別個に貯蔵される場合について説明したが、これに限定されず、１つの原料供給器１５１に有機物原料３７、第２電極原料３７が順次貯蔵されてもよい。
【０２２７】
なお、上記では、加熱台１５０の隙間ＧＰが断面視において片方に形成されている場合について説明したが、これに限定されず、隙間ＧＰが断面視において両方に形成されていてもよい。
【０２２８】
なお、本実施の形態の上記以外の再生産方法は、上述した実施の形態１とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０２２９】
本実施の形態によれば、有機物原料３７が円筒管１内に落下により供給されるので、第１の放出部である加熱台１５０に有機物原料３７を貯蔵しなくてよいため、加熱台１５０を小さくすることができる。これにより、円筒管１が細い場合でも、容易に新たな有機物層ＯＬを成膜することができる。また、有機物原料供給器１５１において複数の有機物原料３７を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな有機物層ＯＬを成膜することができる。
【０２３０】
また、有機物原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された有機物原料３７の供給量をレーザーパーティクルモニタ１５２によって計測し、かつ計測の結果に基づき有機物原料３７の供給量を制御することにより、有機物原料３７の供給量を正確に制御することにより、有機物層ＯＬの厚さを正確に制御することができる。
【０２３１】
本実施の形態によれば、第２電極原料３７が円筒管１内に落下により供給されるので、第２の放出部である加熱台１５０に第２電極原料３７を貯蔵しなくてよいため、加熱台１５０を小さくすることができる。これにより、円筒管１が細い場合でも、容易に新たな第２電極層１２ｇを成膜することができる。また、第２電極原料供給器１５１において複数の第２電極原料３７を予め所定の割合で混合することにより、同様の割合の組成で新たな第２電極層１２ｇを成膜することができる。
【０２３２】
また、第２電極原料供給器１５１から落下により円筒管１内に供給された第２電極原料３７の供給量をレーザーパーティクルモニタ１５２によって計測し、かつ計測の結果に基づき第２電極原料３７の供給量を制御することにより、第２電極原料３７の供給量を正確に制御することにより、第２電極層１２ｇの厚さを正確に制御することができる。
【０２３３】
（実施の形態８）
本発明の実施の形態８は、実施の形態１と比較して、複数の坩堝３１が円筒管１の内側に配置される点で主に異なっている。
【０２３４】
図２５を参照して、本実施の形態では、１つの円筒管１の内側に複数の坩堝３１が配置されている。新たな有機物層ＯＬを成膜する場合には、有機物層ＯＬの原料となる固体原料３７が複数の坩堝３１のそれぞれに入れられている。陰極層１２ｇを成膜する場合には、陰極層１２ｇの原料となる固体原料３７が複数の坩堝３１のそれぞれに入れられている。
【０２３５】
なお、本実施の形態の上記以外の再生産方法は、上述した実施の形態１とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
【０２３６】
本実施の形態によれば、複数の坩堝（第１の放出部分）３１が円筒管１の内側に配置されるので、より正確に有機物層ＯＬを成膜することができる。
【０２３７】
本実施の形態によれば、複数の坩堝（第２の放出部分）３１が円筒管１の内側に配置されるので、より正確に陰極層（第２電極層）１２ｇを成膜することができる。
【０２３８】
なお上記の各実施の形態においては管として円筒管１、すなわち管の長さ方向に垂直な断面形状が円形となるような管が用いられたが、本発明はこれに限定されるものではない。管の長さ方向に垂直な断面形状は、たとえば楕円形または多角形であってもよい。
【０２３９】
なお、実施の形態１と同様に、実施の形態２〜８においても可撓性フィルムに有機ＥＬ素子が形成されていてもよい。
【０２４０】
なお、第２電極層と有機物層とを除去する構成および方法ならびに新たな有機物と第２電極層とを成膜する構成および方法については、実施の形態１〜８の各構成が適時組み合わせられた構成であってもよい。
【０２４１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０２４２】
本発明は、管の内周に形成された有機物層を含む発光装置の再生産方法および発光装置の再生産装置に特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【０２４３】
１ 円筒管（管）、１２ 有機ＥＬ素子（有機発光素子）、１２ａ 保護層、１２ｂ 透明陽極層（第１電極層）、１２ｃ〜１２ｆ 有機物層の第１〜第４の層、ＯＬ 有機物層、１２ｇ 陰極層（第２電極層）、２０ 高周波コイル、２１ ガス導入フランジ、２２ 真空排気フランジ、２３ アルゴンガス導入口、２４ 反応性ガス導入口、２５ 排気口、２６ プラズマ、２７ 酸素プラズマ、２８ 加熱ランプ、２９ 真空容器、３０ 固定冶具、３１ 坩堝、３２ 冷却器、３３ 回転導入器、３４ 直線駆動機構、３５ 真空ポンプ、３６ ヒータ、３７ 固体原料、３８ 上蓋、３９ 回転モータ、４０ 回転導入フランジ、４１ 回転排出フランジ、４２ 軸受、４３ 回転モータ、４４ 液体供給管、４５ 排出口、４６ 傾斜台、４７ ランプヒータ、５１ 搬入室、ＧＶ１〜ＧＶ７ 開閉弁、５２ 封止着脱室、５３ 待機室、ＴＲ１，ＴＲ２，ＴＲ３ 搬送手段、５４ 真空搬送室、５５ エッチング室、５６ 中間室、５７ 高真空搬送室、５８ 有機物蒸着室、５９ 陰極蒸着室、６０ 搬出室、６１ ターボ分子ポンプ、６２ クライオポンプ、７０ 気密室、７１ 結合治具、７２ 公転搬送手段、７２ａ 取付部、７３ エッチングフランジ、７４ 自転モータ、７５ 溶液コーティングフランジ、７６ 溶液コーティングノズル、７７ 陰極蒸着フランジ、７８ 蒸着ルツボ、７９ シャッター、８０ ウェットエッチング装置、８０Ａ 自公転機構、８０ａ 公転用テーブル、８０ｂ 自転用伝達ベルト、８１ 第１,第２のマスク、８２ 気化器、８３ オーブン、８４ ガスボンベ、８５ 質量流量計、８６ バルブ、８７ ガス輸送管、８８ 排気口、８９ 光（レーザー）、１００Ｐ,１００Ｖ,１００Ｙ 成膜装置、１００Ｗ，１００Ｘ 再生産装置、１１０ 封止部、１１０ａ，１１０ｂ 封止部品、１１２ａ，１１２ｂ 電極、１１３ａ，１１３ｂ 配線、１１４ 補助電極、１１５ フレキシブル基板（可撓性フィルム）、１２４ Ｏリング、１５０ 加熱台、１５１ 原料供給器、１５２ レーザーパーティクルモニタ。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、前記第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第２電極層と、前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産方法であって、
前記封止部を取り外す工程と、
前記封止部が取り外された前記発光装置の前記第２電極層を除去して前記有機物層を露出させる工程と、
露出された前記有機物層を除去して前記第１電極層を露出させる工程と、
露出された前記第１電極層を表面処理する工程と、
表面処理された前記第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する工程と、
成膜された前記新たな有機物層の内周に新たな第２電極層を成膜する工程と、
成膜された前記新たな第２電極層を含む前記管の内周を前記封止部で気密に封止する工程とを備えた、発光装置の再生産方法。
【請求項２】
前記第２電極層を除去する工程は、ハロゲンガス系プラズマおよび有機ガス系プラズマの少なくともいずれかで前記第２電極層をエッチングする工程と、酸溶液で前記第２電極層をエッチングする工程との少なくともいずれかを含む、請求項１に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項３】
前記有機物層を除去する工程は、酸素プラズマで前記有機物層をアッシングする工程と、炭化水素系溶剤および水の少なくともいずれかで前記有機物層をエッチングする工程と、光照射による加熱で前記有機物層を蒸発させる工程と、高温ガスによる加熱で前記有機物層を蒸発させる工程との少なくともいずれかを含む、請求項１または２に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項４】
前記第１電極層を表面処理する工程は、前記第１電極層の表面を酸素プラズマ中で表面処理する工程と、前記第１電極層の表面を酸素雰囲気中で加熱表面処理する工程と、前記第１電極層の表面を紫外線で表面処理する工程との少なくともいずれかを含む、請求項１〜３のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項５】
前記新たな有機物層を成膜する工程は、前記管と前記新たな有機物層の原料の放出を行う第１の放出部とが互いに相対運動を行うように前記第１の放出部および前記管の少なくともいずれかを動かしながら前記放出を行うことにより、前記管の内周に前記新たな有機物層を成膜する工程を含む、請求項１〜４のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項６】
前記第１の放出部は、ノズルを有し、前記管の長さ方向を中心として自転する前記管の内周へ、前記原料として液体を前記ノズルから放出して塗布する、請求項５に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項７】
前記第１の放出部が複数の第１の放出部分を有する、請求項５または６に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項８】
前記新たな有機物層を成膜する工程は、前記管の内部空間を前記管の一方端部より真空または減圧にし、加熱された前記新たな有機物層の気体状の原料を不活性ガスの放出により前記管の他方端部から流し、前記管を冷却することにより前記管の内周に前記新たな有機物層を成膜する工程を含む、請求項１〜４のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項９】
前記新たな第２電極層を成膜する工程は、前記管と前記新たな第２電極層の原料の放出を行う第２の放出部とが互いに相対運動を行うように前記第２の放出部および前記管の少なくともいずれかを動かしながら前記放出を行うことにより、前記管の内周に前記新たな第２電極層を成膜する工程を含む、請求項１〜７のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１０】
前記第２の放出部が複数の第２の放出部分を有する、請求項９に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１１】
前記封止部を取り外す工程と、前記管の内部を前記封止部で気密に封止する工程とは第１の気密容器内で行われ、
前記第２電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第１電極層を表面処理する工程とは前記第１の気密容器とは異なる第２の気密容器内で行われ、
前記有機物層を成膜する工程と、前記第２電極層を成膜する工程とは前記第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器内で行われ、
前記管が前記第１〜第３の気密容器に搬送手段によって搬送される、請求項１〜５、７、９〜１０のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１２】
前記第２電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第１電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第２電極層を成膜する工程の各工程が前記管の内部空間を閉塞して行なわれる、請求項１〜１０のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１３】
前記第２電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第１電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第２電極層を成膜する工程が一つの気密容器内で行われ、前記管が一つの気密容器内で搬送手段によって搬送される、請求項１〜５、７、９〜１０のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１４】
前記新たな有機物層を成膜する工程において、前記第１電極層に第１のマスクを設けて、前記第１のマスクが設けられた領域以外に前記新たな有機物層を成膜する、請求項１〜１３のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１５】
前記新たな第２電極層を成膜する工程において、前記新たな有機物層に第２のマスクを設けて、前記第２のマスクが設けられた領域以外に前記新たな第２電極層を成膜する、請求項１〜１４のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１６】
前記新たな有機物層の成膜後、前記新たな有機物層を光照射により蒸発させて、前記光照射により蒸発された領域以外に前記新たな有機物層を残存させる、請求項１〜１５のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１７】
前記第１電極層と前記有機物層と前記第２電極層とを含む有機発光素子は、可撓性フィルムに形成された状態で前記管の内周に配置される、請求項１〜１６のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１８】
前記可撓性フィルムは湾曲させた状態で前記管の内周に装着される、請求項１７に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１９】
前記封止部を取り外す工程と、前記有機物層を露出させる工程と、前記第１電極層を露出させる工程と、前記第１電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第２電極層を成膜する工程と、前記管の内周を前記封止部で気密に封止する工程との少なくとも１つの工程は、前記管が縦に保持された状態で行なわれる、請求項１に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２０】
透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、前記第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第２電極層と、前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、
前記発光装置の前記封止部を取り外す封止着脱部と、
前記封止着脱部で前記封止部が取り外された前記発光装置から前記第２電極層を除去する第２電極層除去部と、
前記第２電極層が除去された前記発光装置から前記有機物層を除去する有機物層除去部と、
前記有機物層が除去された前記発光装置の前記第１電極層を表面処理する第１電極層表面処理部と、
前記表面処理された第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する有機物層成膜部と、
前記新たな有機物層の内周に第２電極層を成膜する第２電極層成膜部とを備え、
前記封止着脱部は、前記新たな有機物層および前記新たな第２電極層を含む前記管の内周を気密に封止するよう構成されている、発光装置の再生産装置。
【請求項２１】
前記封止着脱部を有する第１の気密容器と、
前記第２電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第１電極層表面処理部とを有する、前記第１の気密容器とは異なる第２の気密容器と、
前記有機物層成膜部と、前記第２電極層成膜部とを有する、前記第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器とを備え、
前記管が前記第１〜３の気密容器に搬送手段によって搬送される、請求項２０に記載の発光装置の再生産装置。
【請求項２２】
前記封止着脱部と、前記第２電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第１電極層表面処理部と、前記有機物層成膜部と、前記第２電極層成膜部との少なくとも１つは、前記管を縦に保持できるように構成されている、請求項２０または２１に記載の発光装置の再生産装置。
【請求項２３】
前記第２電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第１電極層表面処理部と、前記有機物層成膜部と、前記第２電極層成膜部とが、前記管の内部空間を閉塞する結合器をさらに備え、
前記管の内部空間が前記結合器によって閉塞された気密状態において前記各除去部の処理が行なわれる、請求項２０に記載の発光装置の再生産装置。
【請求項２４】
透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、前記第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第２電極層と、前記有機物層と前記第２電極層とを含む前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、
前記管の内側に前記有機物層および前記第２電極層の少なくともいずれかを除去するエッチング液を供給する供給部と、
前記管の長さ方向が重力方向に対して交差するように支持されかつ前記管の長さ方向を中心として自転するように発光装置を保持しかつ前記エッチング液を排出するため前記発光装置を傾斜させる保持部とを備えた、発光装置の再生産装置。
【請求項２５】
前記新たな有機物層を成膜する工程は、前記管内に有機物原料供給器によって前記新たな有機物層の原料である固体状の有機物原料を落下により供給する工程と、
前記有機物原料供給器から落下により前記管内に供給された前記有機物原料を前記第１の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する、請求項５に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２６】
前記固体状の有機物原料を落下により供給する工程は、前記有機物原料供給器から落下により前記管内に供給された前記有機物原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ前記計測の結果に基づき前記有機物原料の供給量を制御する工程を有する、請求項２５に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２７】
前記新たな第２電極層を成膜する工程は、前記管内に第２電極原料供給器によって前記新たな第２電極層の原料である固体状の第２電極原料を落下により供給する工程と、
前記第２電極原料供給器から落下により前記管内に供給された前記第２電極原料を前記第２の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する、請求項９に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２８】
前記固体状の第２電極原料を落下により供給する工程は、前記第２電極原料供給器から落下により前記管内に供給された前記第２電極原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ前記計測の結果に基づき前記第２電極原料の供給量を制御する工程を有する、請求項２７に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２９】
複数の前記第１の放出部分が前記管の内側に配置される、請求項７に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項３０】
複数の前記第２の放出部分が前記管の内側に配置される、請求項１０に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１】
透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、前記第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第２電極層と、前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産方法であって、
前記封止部を取り外す工程と、
前記封止部が取り外された前記発光装置の前記第２電極層を除去して前記有機物層を露出させる工程と、
露出された前記有機物層を除去して前記第１電極層を露出させる工程と、
露出された前記第１電極層を表面処理する工程と、
表面処理された前記第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する工程と、
成膜された前記新たな有機物層の内周に新たな第２電極層を成膜する工程と、
成膜された前記新たな第２電極層を含む前記管の内周を前記封止部で気密に封止する工程とを備えた、発光装置の再生産方法。
【請求項２】
前記第２電極層を除去する工程は、ハロゲンガス系プラズマおよび有機ガス系プラズマの少なくともいずれかで前記第２電極層をエッチングする工程と、酸溶液で前記第２電極層をエッチングする工程との少なくともいずれかを含む、請求項１に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項３】
前記有機物層を除去する工程は、酸素プラズマで前記有機物層をアッシングする工程と、炭化水素系溶剤および水の少なくともいずれかで前記有機物層をエッチングする工程と、光照射による加熱で前記有機物層を蒸発させる工程と、高温ガスによる加熱で前記有機物層を蒸発させる工程との少なくともいずれかを含む、請求項１または２に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項４】
前記第１電極層を表面処理する工程は、前記第１電極層の表面を酸素プラズマ中で表面処理する工程と、前記第１電極層の表面を酸素雰囲気中で加熱表面処理する工程と、前記第１電極層の表面を紫外線で表面処理する工程との少なくともいずれかを含む、請求項１〜３のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項５】
前記新たな有機物層を成膜する工程は、前記管と前記新たな有機物層の原料の放出を行う第１の放出部とが互いに相対運動を行うように前記第１の放出部および前記管の少なくともいずれかを動かしながら前記放出を行うことにより、前記管の内周に前記新たな有機物層を成膜する工程を含む、請求項１〜４のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項６】
前記第１の放出部は、ノズルを有し、前記管の長さ方向を中心として自転する前記管の内周へ、前記原料として液体を前記ノズルから放出して塗布する、請求項５に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項７】
前記第１の放出部が複数の第１の放出部分を有する、請求項５または６に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項８】
前記新たな有機物層を成膜する工程は、前記管の内部空間を前記管の一方端部より真空または減圧にし、加熱された前記新たな有機物層の気体状の原料を不活性ガスの放出により前記管の他方端部から流し、前記管を冷却することにより前記管の内周に前記新たな有機物層を成膜する工程を含む、請求項１〜４のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項９】
前記新たな第２電極層を成膜する工程は、前記管と前記新たな第２電極層の原料の放出を行う第２の放出部とが互いに相対運動を行うように前記第２の放出部および前記管の少なくともいずれかを動かしながら前記放出を行うことにより、前記管の内周に前記新たな第２電極層を成膜する工程を含む、請求項１〜７のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１０】
前記第２の放出部が複数の第２の放出部分を有する、請求項９に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１１】
前記封止部を取り外す工程と、前記管の内部を前記封止部で気密に封止する工程とは第１の気密容器内で行われ、
前記第２電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第１電極層を表面処理する工程とは前記第１の気密容器とは異なる第２の気密容器内で行われ、
前記有機物層を成膜する工程と、前記第２電極層を成膜する工程とは前記第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器内で行われ、
前記管が前記第１〜第３の気密容器に搬送手段によって搬送される、請求項１〜５、７、９〜１０のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１２】
前記第２電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第１電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第２電極層を成膜する工程の各工程が前記管の内部空間を閉塞して行なわれる、請求項１〜１０のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１３】
前記第２電極層を除去する工程と、前記有機物層を除去する工程と、前記第１電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第２電極層を成膜する工程が一つの気密容器内で行われ、前記管が一つの気密容器内で搬送手段によって搬送される、請求項１〜５、７、９〜１０のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１４】
前記新たな有機物層を成膜する工程において、前記第１電極層に第１のマスクを設けて、前記第１のマスクが設けられた領域以外に前記新たな有機物層を成膜する、請求項１〜１３のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１５】
前記新たな第２電極層を成膜する工程において、前記新たな有機物層に第２のマスクを設けて、前記第２のマスクが設けられた領域以外に前記新たな第２電極層を成膜する、請求項１〜１４のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１６】
前記新たな有機物層の成膜後、前記新たな有機物層を光照射により蒸発させて、前記光照射により蒸発された領域以外に前記新たな有機物層を残存させる、請求項１〜１５のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１７】
前記第１電極層と前記有機物層と前記第２電極層とを含む有機発光素子は、可撓性フィルムに形成された状態で前記管の内周に配置される、請求項１〜１６のいずれかに記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１８】
前記可撓性フィルムは湾曲させた状態で前記管の内周に装着される、請求項１７に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項１９】
前記封止部を取り外す工程と、前記有機物層を露出させる工程と、前記第１電極層を露出させる工程と、前記第１電極層を表面処理する工程と、前記新たな有機物層を成膜する工程と、前記新たな第２電極層を成膜する工程と、前記管の内周を前記封止部で気密に封止する工程との少なくとも１つの工程は、前記管が縦に保持された状態で行なわれる、請求項１に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２０】
透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、前記第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第２電極層と、前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、
前記発光装置の前記封止部を取り外す封止着脱部と、
前記封止着脱部で前記封止部が取り外された前記発光装置から前記第２電極層を除去する第２電極層除去部と、
前記第２電極層が除去された前記発光装置から前記有機物層を除去する有機物層除去部と、
前記有機物層が除去された前記発光装置の前記第１電極層を表面処理する第１電極層表面処理部と、
前記表面処理された第１電極層の内周に新たな有機物層を成膜する有機物層成膜部と、
前記新たな有機物層の内周に第２電極層を成膜する第２電極層成膜部とを備え、
前記封止着脱部は、前記新たな有機物層および前記新たな第２電極層を含む前記管の内周を気密に封止するよう構成されている、発光装置の再生産装置。
【請求項２１】
前記封止着脱部を有する第１の気密容器と、
前記第２電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第１電極層表面処理部とを有する、前記第１の気密容器とは異なる第２の気密容器と、
前記有機物層成膜部と、前記第２電極層成膜部とを有する、前記第１および第２の気密容器とは異なる第３の気密容器とを備え、
前記管が前記第１〜３の気密容器に搬送手段によって搬送される、請求項２０に記載の発光装置の再生産装置。
【請求項２２】
前記封止着脱部と、前記第２電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第１電極層表面処理部と、前記有機物層成膜部と、前記第２電極層成膜部との少なくとも１つは、前記管を縦に保持できるように構成されている、請求項２０または２１に記載の発光装置の再生産装置。
【請求項２３】
前記第２電極層除去部と、前記有機物層除去部と、前記第１電極層表面処理部と、前記有機物層成膜部と、前記第２電極層成膜部とが、前記管の内部空間を閉塞する結合器をさらに備え、
前記管の内部空間が前記結合器によって閉塞された気密状態において前記各除去部の処理が行なわれる、請求項２０に記載の発光装置の再生産装置。
【請求項２４】
透光性を有する管と、前記管の内周に設けられ、透光性を有する第１電極層と、前記第１電極層の内周に設けられ、電界が印加されることにより発光することができる有機物層と、前記有機物層の内周に設けられた第２電極層と、前記有機物層と前記第２電極層とを含む前記管の内周を気密に封止するように、前記管に着脱可能に固定された封止部とを備えた発光装置の再生産装置であって、
前記管の内側に前記有機物層および前記第２電極層の少なくともいずれかを除去するエッチング液を供給する供給部と、
前記管の長さ方向が重力方向に対して交差するように支持されかつ前記管の長さ方向を中心として自転するように発光装置を保持しかつ前記エッチング液を排出するため前記発光装置を傾斜させる保持部とを備えた、発光装置の再生産装置。
【請求項２５】
前記新たな有機物層を成膜する工程は、前記管内に有機物原料供給器によって前記新たな有機物層の原料である固体状の有機物原料を落下により供給する工程と、
前記有機物原料供給器から落下により前記管内に供給された前記有機物原料を前記第１の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する、請求項５に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２６】
前記固体状の有機物原料を落下により供給する工程は、前記有機物原料供給器から落下により前記管内に供給された前記有機物原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ前記計測の結果に基づき前記有機物原料の供給量を制御する工程を有する、請求項２５に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２７】
前記新たな第２電極層を成膜する工程は、前記管内に第２電極原料供給器によって前記新たな第２電極層の原料である固体状の第２電極原料を落下により供給する工程と、
前記第２電極原料供給器から落下により前記管内に供給された前記第２電極原料を前記第２の放出部で加熱することにより気化して放出する工程とを有する、請求項９に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２８】
前記固体状の第２電極原料を落下により供給する工程は、前記第２電極原料供給器から落下により前記管内に供給された前記第２電極原料の供給量をレーザーパーティクルモニタによって計測し、かつ前記計測の結果に基づき前記第２電極原料の供給量を制御する工程を有する、請求項２７に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項２９】
複数の前記第１の放出部分が前記管の内側に配置される、請求項７に記載の発光装置の再生産方法。
【請求項３０】
複数の前記第２の放出部分が前記管の内側に配置される、請求項１０に記載の発光装置の再生産方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【公開番号】特開２０１０−２５１２８２（Ｐ２０１０−２５１２８２Ａ）
【公開日】平成２２年１１月４日（２０１０．１１．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１６８０９２（Ｐ２００９−１６８０９２）
【出願日】平成２１年７月１６日（２００９．７．１６）
【特許番号】特許第４５３３９６４号（Ｐ４５３３９６４）
【特許公報発行日】平成２２年９月１日（２０１０．９．１）
【出願人】（５０８０１６６６４）フジテック・インターナショナル株式会社 (7)
【出願人】（５９９０４８６６１）有限会社マイクロシステム (9)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月４日（２０１０．１１．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年７月１６日（２００９．７．１６）
【特許番号】特許第４５３３９６４号（Ｐ４５３３９６４）
【特許公報発行日】平成２２年９月１日（２０１０．９．１）
【出願人】（５０８０１６６６４）フジテック・インターナショナル株式会社 (7)
【出願人】（５９９０４８６６１）有限会社マイクロシステム (9)
【Ｆターム（参考）】
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