真空用モーター、真空用ロボット
【課題】真空排気装置に接続された空間に不純物ガスを放出しない真空用モーターと真空用ロボットを提供する。
【解決手段】
筒部材１１と、回転軸１２と、磁石１４と、コイル１５と、信号を生成する符号が、回転軸１２の中心軸線を中心とする円周に沿って表面に配置された回転板２１ａと、信号を検出できるセンサ２２ａとを有し、回転板２１ａが配置された空間は真空排気装置４２に接続されて真空排気される真空用モーター１０ａであって、内部にセンサ２２ａが配置されたセンサ室２４ａと、信号を透過する透過窓２３ａとを有し、透過窓２３ａはセンサ室２４ａの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４の内部空間は回転板２１ａが配置された空間から分離され、センサ２２ａから放出された不純物ガスは真空排気装置４２に接続された空間に放出されない。
【解決手段】
筒部材１１と、回転軸１２と、磁石１４と、コイル１５と、信号を生成する符号が、回転軸１２の中心軸線を中心とする円周に沿って表面に配置された回転板２１ａと、信号を検出できるセンサ２２ａとを有し、回転板２１ａが配置された空間は真空排気装置４２に接続されて真空排気される真空用モーター１０ａであって、内部にセンサ２２ａが配置されたセンサ室２４ａと、信号を透過する透過窓２３ａとを有し、透過窓２３ａはセンサ室２４ａの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４の内部空間は回転板２１ａが配置された空間から分離され、センサ２２ａから放出された不純物ガスは真空排気装置４２に接続された空間に放出されない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空用モーターと真空用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、真空排気された真空雰囲気中で基板を回転移動させるために、真空用ロボットがよく用いられている。
図８は従来の真空用ロボットの内部構成図である。
真空用ロボット１４０は、真空槽１４１と、真空排気装置１４２と、真空用モーター１１０と、腕部１４３とを有している。
【０００３】
真空用モーター１１０は、円筒形状の筒部材１１１と、筒部材１１１の内側に軸受１１９1、１１９2を介して筒部材１１１と同軸状に配置された回転軸１１２と、回転軸１１２の外周側面に設けられた磁石１１４と、磁石１１４の外側に磁石１１４と対向して配置されたコイル１１５と、回転板１２１とセンサ１２２とを有している。
【０００４】
筒部材１１１の一端は真空槽１４１の壁面に設けられた挿入口１４５に接続され、筒部材１１１のうち回転板１２１と磁石１１４とが配置された空間は挿入口１４５を介して真空槽１４１の内部空間と連通されている。
【０００５】
真空排気装置１４２により真空槽１４１内を真空排気すると、挿入口１４５を介して筒部材１１１のうち回転板１２１と磁石１１４とが配置された空間も真空排気される。
回転軸１１２の一端は挿入口１４５を通って真空槽１４１内に挿入されており、腕部１４３は回転軸１１２の前記一端に取り付けられている。
【０００６】
コイル１１５に電流を流して磁石１１４に回転力を与えると、腕部１４３と回転板１２１は回転軸１１２と一緒に回転する。このとき腕部１４３に保持された基板も回転軸１１２と一緒に回転移動する。
【０００７】
回転板１２１は金属の板であり、センサ１２２は磁気抵抗素子を有している。
センサ１２２は回転板１２１と同じ空間に回転板１２１の表面と対向して配置され、回転板１２１の表面の磁気信号を検出して回転角度を算出する。
【０００８】
回転軸１１２の回転中に、電流が流れたコイル１１５は発熱し、回転板１２１とセンサ１２２とがそれぞれ加熱される。
回転板１２１は金属製であり加熱されても不純物ガスを放出しないが、センサ１２２は磁気抵抗素子や磁気抵抗素子を封止するモールド樹脂で構成されており、加熱されると不純物ガスが放出される。
【０００９】
放出されたガスは挿入口１４５を通って真空排気装置１４２に接続された真空槽１４１内に拡散し、基板に付着したり、真空槽１４１の内壁面に付着するという問題があった。
特許文献１では、センサ１２２のモールド樹脂に発ガスの低いエポキシ樹脂を用いる技術が開示されているが、モールド樹脂からの発ガスをゼロにすることは困難であり、真空排気装置１４２に接続された空間には不純物ガスが放出されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−２８１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、真空排気装置に接続された空間に不純物ガスを放出しない真空用モーターと真空用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明は、円筒形状の筒部材と、前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転板と、前記回転板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、を有し、前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モーターであって、内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室と、前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、を有し、前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記符号は、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できる真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記センサは磁気抵抗素子を有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなる真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられた真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置された真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされた真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記透過窓はガラスである真空用モーターである。
本発明は、真空用モーターと、真空槽と、前記真空槽内を真空排気する真空排気装置と、基板を保持する腕部と、を有し、前記真空用モーターの前記筒部材の一端は前記真空槽に設けられた挿入口に接続され、前記回転軸の一端は前記挿入口を通って前記真空槽内に挿入され、前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられた真空用ロボットである。
【発明の効果】
【００１３】
真空排気装置に接続された空間と、センサが配置される空間とが分離されるので、真空排気装置に接続された空間に不純物ガスは放出されず、真空排気装置に接続された空間を清浄に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一例の真空用モーターの内部構成図
【図２】第一例の真空用モーターの回転板の平面図
【図３】本発明の真空用ロボットの内部構成図
【図４】本発明の第二例の真空用モーターの内部構成図
【図５】第二例の真空用モーターの回転板の平面図
【図６】本発明の第三例の真空用モーターの内部構成図
【図７】本発明の第四例の真空用モーターの内部構成図
【図８】従来の真空用ロボットの内部構成図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜第一例の真空用モーターの構造＞
本発明の第一例の真空用モーター１０ａの構造を説明する。
図１は第一例の真空用モーター１０ａの内部構成図である。
【００１６】
第一例の真空用モーター１０ａは、円筒形状の筒部材１１と、筒部材１１の内側に筒部材１１と同軸状に配置された回転軸１２と、回転軸１２の外周側面に設けられた磁石１４と、磁石１４の外側に磁石１４と対向して配置されたコイル１５とを有している。
【００１７】
本実施例では、筒部材１１の内周側面には回転軸１２側に突出する接触部１１1、１１2が設けられ、接触部１１1、１１2と回転軸１２との間には球状部材１９1、１９2が配置されている。回転軸１２は球状部材１９1、１９2を介して接触部１１1、１１2に支持されており、回転軸１２の中心軸線は筒部材１１の中心軸線からずれないようになっている。
【００１８】
回転軸１２に中心軸線を中心とする回転力が加わると、回転軸１２は中心軸線を中心に回転できるようになっている。各球状部材１９1、１９2は接触部１１1、１１2と回転軸１２とにそれぞれ点で接触されており、回転軸１２が中心軸線を中心に回転すると、各球状部材１９1、１９2は回転軸１２の中心軸線を中心に回転しながらそれぞれ自転して、接触部１１1、１１2と回転軸１２との間に摩擦がかからないようになっている。そのため、接触部１１1、１１2の表面と回転軸１２の表面とが摩耗して不純物（ダスト）が発生することが防止される。
【００１９】
磁石１４にはここでは表面がＮｉメッキされたものが用いられる。Ｎｉメッキにより磁石１４の表面が酸化又は腐食することが防止され、磁石１４の表面から不純物（ダスト）が発生しないようになっている。
【００２０】
磁石１４は回転軸１２の外周側面に固定されている。
磁石１４の外側にはコイル室１６が配置され、コイル１５はコイル室１６内に配置されている。
【００２１】
ここではコイル室１６は、椀状のコイル室蓋部材１７を有している。コイル室蓋部材１７の縁部は筒部材１１の内側側面に環状に密着して固定され、コイル室１６の内部空間は磁石１４が配置された空間から分離されている。
【００２２】
そのため、コイル１５が発熱して、コイル１５の導線の被膜や、コイル１５の導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出されても、放出されたガスは磁石１４が配置された空間に拡散しないようになっている。
【００２３】
コイル室蓋部材１７は非磁性体であり、ここではアルミニウムが用いられ、コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは１ｍｍ以下にされている。コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは薄い方が、コイル１５と磁石１４との間の間隔が狭くなり、相互の磁気結合力を大きくできるため好ましい。
【００２４】
コイル１５にはコイル用電源１８が電気的に接続されている。
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流すと、コイル１５が形成する磁力線が磁石１４を貫通して、磁石１４は回転力を受け、回転軸１２と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転するようになっている。
【００２５】
第一例の真空用モーター１０ａは、回転軸１２の回転角度を検知する回転検知部３０ａを有している。
回転検知部３０ａは、回転板２１ａとセンサ２２ａとを有している。
【００２６】
図２は回転板２１ａの一例の平面図である。
回転板２１ａはリング形状の板であり、表面には信号を生成する符号が回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
【００２７】
本実施例では、符号は、第一信号を生成する第一領域５１と第二信号を生成する第二領域５２とで構成されているが、第一〜第Ｎ信号を生成する第一〜第Ｎ領域（Ｎは３以上の自然数）で構成されている場合も本発明に含まれる。
【００２８】
ここでは回転板２１ａは厚み方向に磁化された磁性体の板であり、第一領域５１には開口が設けられ、第二領域５２は開口以外の遮蔽部分で構成されている。従って、第一領域５１はゼロの磁場（磁気信号）である第一信号を生成し、第二領域５２は厚み方向の磁場（磁気信号）である第二信号を生成する。
【００２９】
なお、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる二方向にそれぞれ磁化された部分であり、第一、第二信号は互いに向きが異なる磁場（磁気信号）であってもよい。
【００３０】
ここでは、第一領域５１と第二領域５２は、回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って交互に等間隔に配置されており、第一信号を第一の値とし、第二信号を第二の値とすると、第一、第二領域５１、５２で構成された符号は第一、第二の値を有し、第一の値と第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置されている。
【００３１】
図１を参照し、回転板２１ａのリングの穴には回転軸１２が挿通され、回転軸１２の中心軸線が回転板２１ａの表面が位置する平面に対して直角に向けられた状態で、回転板２１ａは回転軸１２に対して固定されている。回転板２１ａは回転軸１２と同軸状に配置されている。
筒部材１１のうち回転板２１ａが配置された空間は磁石１４が配置された空間と連通されている。
【００３２】
センサ２２ａは、回転板２１ａの表面と対向して配置され、第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
ここではセンサ２２ａは磁気抵抗素子３１を有している。磁気抵抗素子３１は、磁気信号を受けると抵抗値が磁気信号の強さや向きに応じた値に変化する素子である。
磁気抵抗素子３１はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００３３】
センサ２２ａにはセンサ用電源２７が電気的に接続されており、センサ２２ａは、第一、第二信号を受け取ると、第一、第二信号に応じて異なる電圧値の電気信号を出力するように構成されている。
【００３４】
センサ２２ａには制御装置２８が接続されている。
制御装置２８は、センサ２２ａが出力する電気信号を受け取ると、受け取った電気信号から回転板２１ａの回転角度を求めることができるように構成されている。
【００３５】
ここでは制御装置２８は、受け取った電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数え、隣り合う二つの第一領域５１の中心間の中心角又は隣り合う二つの第二領域５２の中心間の中心角に数えたカウント値を積算することにより、回転板２１ａの回転角度を算出するように構成されている。
【００３６】
また制御装置２８は、回転板２１ａの回転角度が所定角度になると、コイル用電源１８に制御信号を送信してコイル１５への電流供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させるように構成されている。
【００３７】
回転検知部３０ａは、内部にセンサ２２ａが配置され、センサ２２ａの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ａと、センサ室２４ａの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ａとを有している。
【００３８】
センサ室２４ａはここでは椀状のセンサ室蓋部材２６を有している。センサ室蓋部材２６の縁部は筒部材１１の内側側面と接触部１１1とに亘って環状に密着して固定されており、センサ室２４ａの開口はここでは接触部１１1に設けられている。
【００３９】
透過窓２３ａは加熱されてもガスを放出しない非磁性体からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ａにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない非磁性体であればガラスに限定されず、例えばアルミニウムを用いることもできる。
【００４０】
透過窓２３ａはセンサ室２４ａの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４ａの内部空間は回転板２１ａが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、センサ２２ａが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ａが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００４１】
＜真空用ロボットの構造＞
第一例の真空用モーター１０ａを用いた真空用ロボットの構造を説明する。
図３は真空用ロボット４０の内部構成図である。
【００４２】
真空用ロボット４０は、第一例の真空用モーター１０ａと、真空槽４１と、真空槽４１内を真空排気する真空排気装置４２と、基板を保持する腕部４３とを有している。
真空槽４１の壁面には挿入口４５が設けられている。
【００４３】
真空用モーター１０ａの筒部材１１の一端は、挿入口４５の外周を取り囲んで真空槽４１の壁面に環状に密着して固定され、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置される空間は挿入口４５を介して真空槽４１の内部空間と連通されている。
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気すると、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も一緒に真空排気されるようになっている。
【００４４】
回転軸１２の一端は挿入口４５を通って真空槽４１内に挿入されており、腕部４３は真空槽４１内に配置され、回転軸１２の前記一端に取り付けられている。回転軸１２を回転軸１２の中心軸線を中心に回転させると、腕部４３も回転軸１２と一緒に回転するようになっている。
【００４５】
＜真空用ロボットの使用方法＞
上述の真空用ロボット４０の使用方法を説明する。
【００４６】
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。このとき、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も真空排気され、真空雰囲気が形成される。以後、真空排気装置４２による真空排気を継続して、真空槽４１内の真空雰囲気と、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間の真空雰囲気とを維持する。
【００４７】
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽４１内に基板を搬入し、腕部４３上に配置する。
基板を回転移動させる回転角度をあらかじめ定めておく。
制御装置２８が受け取る電気信号のカウント値を初期化する（ここではゼロにする）。
【００４８】
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流し磁力線を発生させ、発生させた磁力線を貫通させて磁石１４に回転力を与え、回転軸１２を回転板２１ａと腕部４３と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転させる。腕部４３上の基板も回転軸１２の中心軸線を中心として回転移動する。
【００４９】
電流が流れたコイル１５と、磁力線が貫通した磁石１４はそれぞれ発熱し、コイル１５と磁石１４からの熱により回転板２１ａとセンサ２２ａとがそれぞれ加熱される。
磁石１４と回転板２１ａはガスを放出する部材を有しておらず、加熱されても磁石１４と回転板２１ａからガスは放出されない。
【００５０】
一方、コイル１５が加熱されると導線の被膜や導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出され、センサ２２ａが加熱されるとモールド樹脂３２からガスが放出されるが、コイル室１６とセンサ室２４ａは回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間から分離されており、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間内にガスは拡散しない。
そのため、挿入口４５を通って真空槽４１内に不純物であるガスが拡散することは起こらず、ガスが基板に付着したり、真空槽４１の内壁面に付着する問題は起こらない。
【００５１】
回転板２１ａが回転すると、回転板２１ａ表面の第一、第二領域５１、５２はセンサ２２ａと対面する位置を交互に通過する。
センサ２２ａは回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２と対面すると、第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力し、制御装置２８は電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数えて、数えたカウント値から回転板２１ａの回転角度を求める。
求めた回転板２１ａの回転角度が所定角度になったら、制御装置２８はコイル用電源１８に制御信号を送って、コイル１５への電力供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させる。
【００５２】
このようにして、腕部４３に保持された基板は、回転軸１２の中心軸線を中心に所定角度回転移動した後、静止される。
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら基板を真空槽４１の外側に搬出し、後工程に送る。
【００５３】
＜第二例の真空用モーターの構造＞
第二例の真空用モーターの構造を説明する。
図４は第二例の真空用モーター１０ｂの内部構成図である。第二例の真空用モーター１０ｂの構造のうち、第一例の真空用モーター１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第二例の真空用モーター１０ｂは、第一例の真空用モーター１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｂを有している。
【００５４】
第二例の真空用モーター１０ｂの回転検知部３０ｂの構造を説明する。
回転検知部３０ｂは、回転板２１ｂとセンサ２２ｂとを有している。
図５は回転板２１ｂの一例の平面図である。
回転板２１ｂの材質と、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａにおける前記材質、前記構造と同様であり、説明を省略する。
【００５５】
回転板２１ｂ表面での第一、第二領域５１、５２の配置を説明する。
回転板２１ｂの表面には互いに直径が異なる複数の円周Ｒ1〜Ｒ4が同心状に配置され、第一、第二領域５１、５２は各円周Ｒ1〜Ｒ4上に円周に沿って交互に配置されている。
【００５６】
回転板２１ｂの半径方向に沿った一組の第一、第二領域５１、５２で一の符号が構成されている。符号５３は一の符号を構成する第一、第二領域５１、５２の組を示している。
各符号は円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされている。
【００５７】
従って、回転板２１ｂの中心を始点とする一の半直線を基準線と呼び、基準線からの回転角度を絶対角度と呼ぶと、各符号から一の絶対角度が分かるようになっている。
図４を参照し、回転板２１ｂの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
【００５８】
センサ２２ｂは複数の磁気抵抗素子３１1〜３１4を有している。
各磁気抵抗素子３１1〜３１4はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１1〜３１4にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００５９】
センサ２２ｂは、回転板２１ｂの表面と対向して配置され、各磁気抵抗素子３１1〜３１4は回転板２１ｂのうち互いに異なる円周Ｒ1〜Ｒ4上に配置されている。従って、各磁気抵抗素子３１1〜３１4は、互いに異なる円周Ｒ1〜Ｒ4上の第一、第二領域５１、５２からの第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００６０】
制御装置２８には、符号と絶対角度との対応関係があらかじめ記憶されている。
制御装置２８は、各磁気抵抗素子３１1〜３１4が出力する電気信号を受け取ると、受け取った一組の電気信号から一の符号を構成し、あらかじめ記憶された対応関係に基づいて、回転板２１ｂの基準線からの回転角度（絶対角度）を求めるように構成されている。
回転板２１ｂを回転させる前後で第一、第二の絶対角度をそれぞれ求め、第二の絶対角度から第一の絶対角度を減算すると、回転板２１ｂの回転角度が算出される。
【００６１】
回転検知部３０ｂは、内部にセンサ２２ｂが配置され、センサ２２ｂの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｂと、センサ室２４ｂの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｂとを有している。
センサ室２４ｂと透過窓２３ｂの構造は、第一例の真空用モーター１０ａのセンサ室２４ａと透過窓２３ａの構造と同様であり、説明を省略する。
【００６２】
センサ室２４ｂの内部空間は回転板２１ｂが配置された空間から分離されており、センサ２２ｂが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｂが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００６３】
第二例の真空用モーター１０ｂは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モーター１０ａの代わりに用いることができる。第二例の真空用モーター１０ｂを有する真空用ロボットの使用方法は、上述の回転板２１ｂの角度算出方法以外は第一例の真空用モーター１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００６４】
第二例の真空用モーター１０ｂでは、第一例の真空用モーター１０ａと比較して、制御装置２８のカウンタ値を初期化する手間が不要になるという利点がある。また、算出した回転角度の正負の符号から回転板２１ｂの回転方向が分かるという利点がある。
【００６５】
＜第三例の真空用モーターの構造＞
第三例の真空用モーターの構造を説明する。
図６は第三例の真空用モーター１０ｃの内部構成図である。第三例の真空用モーター１０ｃの構造のうち、第一例の真空用モーター１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第三例の真空用モーター１０ｃは、第一例の真空用モーター１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｃを有している。
【００６６】
第三例の真空用モーター１０ｃの回転検知部３０ｃの構造を説明する。
回転検知部３０ｃは、回転板２１ｃとセンサ２２ｃと投光部２５ｃとを有している。
回転板２１ｃはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転板２１ｃの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
【００６７】
本実施例では、回転板２１ｃは表面が光を反射できるようにされた板であり、第一領域には開口が設けられ、第二領域は開口以外の反射部分で構成されている。従って、第一、第二領域に光が照射されると、第一領域は光を反射せずに強度がゼロの光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を反射して強度がゼロより大きい光信号である第二信号を生成するようになっている。
【００６８】
なお、第一、第二領域の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる反射率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。第一、第二領域は例えば反射率の異なるインクを塗布されて形成される。
【００６９】
ここでは回転板２１ｃの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置（図２参照）と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｃの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
【００７０】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃは、回転板２１ｃの表面と対向して配置され、投光部２５ｃは第一、第二領域に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二領域が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００７１】
投光部２５ｃは発光素子３５を有し、センサ２２ｃは受光素子３３を有している。発光素子３５は電圧を印加されると発光する素子であり、受光素子３３は光信号を受けると光信号の強度に応じた電圧値の電気信号を出力する素子である。
発光素子３５と受光素子３３はそれぞれ透明なモールド樹脂３６、３４で覆われて封止されており、発光素子３５と受光素子３３にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００７２】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃにはセンサ用電源２７がそれぞれ電気的に接続されている。投光部２５ｃは電圧を印加されると第一、第二領域５１、５２に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二信号を受け取ると第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力するようになっている。
【００７３】
回転検知部３０ｃは、内部に投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが配置され、投光部２５ｃの投光面とセンサ２２ｃの検知面とそれぞれ対向する部分に開口が設けられたセンサ室２４ｃと、センサ室２４ｃの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｃとを有している。
センサ室２４ｃの構造は第一例の真空用モーター１０ａのセンサ室２４ａの構造と同様であり、説明を省略する。
【００７４】
透過窓２３ｃは加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ｃにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
【００７５】
透過窓２３ｃはセンサ室２４ｃの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４ｃの内部空間は回転板２１ｃが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが加熱されて、モールド樹脂３６、３４からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｃが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００７６】
第三例の真空用モーター１０ｃは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モーター１０ａの代わりに用いることができる。第三例の真空用モーター１０ｃを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モーター１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００７７】
上述の説明では、回転板２１ｃの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図２参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モーター１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図５参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｃに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
【００７８】
また、投光部２５ｃに複数の発光素子を設け、センサ２２ｃに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００７９】
＜第四例の真空用モーターの構造＞
第四例の真空用モーターの構造を説明する。
図７は第四例の真空用モーター１０ｄの内部構成図である。第四例の真空用モーター１０ｄの構造のうち第一例の真空用モーター１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第四例の真空用モーター１０ｄは、第一例の真空用モーター１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｄを有している。
【００８０】
第四例の真空用モーター１０ｄの回転検知部３０ｄの構造を説明する。
回転検知部３０ｄは、回転板２１ｄとセンサ２２ｄと投光部２５ｄとを有している。
回転板２１ｄはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転軸１２の中心軸線を中心とする円周に沿って配置されている。
【００８１】
本実施例では、回転板２１ｄは光を遮断する板であり、第一領域には開口が設けられ、第二領域は開口以外の遮蔽部分で構成されている。従って、第一、第二領域の裏面側から光が照射されると、第一領域は光を透過して強度がゼロより大きい光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を遮断して強度がゼロの光信号である第二信号を生成する。
【００８２】
なお、第一、第二領域は上記構成に限定されず、互いに異なる光透過率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。例えば、回転板２１ｄは光を透過する板であり、第一領域又は第二領域には回転板２１ｄよりも光透過率の小さいインクが塗布されて形成される。
【００８３】
ここでは、回転板２１ｄの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｄの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
投光部２５ｄとセンサ２２ｄの構造は第三例の真空用モーター１０ｃの投光部２５ｃとセンサ２２ｃの構造とそれぞれ同様であり、説明を省略する。
【００８４】
センサ２２ｄは回転板２１ｄの表面と対向して配置され、投光部２５ｄは回転板２１ｄから見てセンサ２２ｄとは逆側に、回転板２１ｄの裏面と対向して配置されている。投光部２５ｄは第一、第二領域５１、５２の裏面側に光を照射し、センサ２２ｄは第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００８５】
回転検知部３０ｄは、内部にセンサ２２ｄが配置され、センサ２２ｄの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｄと、センサ室２４ｄの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｄとを有している。
センサ室２４ｄと透過窓２３ｄの構造は、第三例の真空用モーター１０ｃのセンサ室２４ｃと透過窓２３ｃの構造と同様であり、説明を省略する。
コイル１５や磁石１４の発熱により、センサ２２ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８６】
また、回転検知部３０ｄは、内部に投光部２５ｄが配置され、投光部２５ｄの投光面と対向する部分には開口が設けられた投光室２８と、投光室２８の開口に配置され、光を透過する副透過窓２７とを有している。
【００８７】
投光室２８はここでは椀状の投光室蓋部材２９を有している。投光室蓋部材２９の縁部は筒部材１１の内側面と環状に密着して固定されており、投光室２８の開口はここでは投光室蓋部材２９に設けられている。
【００８８】
副透過窓２７は加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、ここではガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
副透過窓２７は投光室２８の開口を塞ぐように設けられ、投光室２８の内部空間は回転板２１ｄが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８９】
第四例の真空用モーター１０ｄは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モーター１０ａの代わりに用いることができる。第四例の真空用モーター１０ｄを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モーター１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００９０】
上述の説明では、回転板２１ｄの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図２参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モーター１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図５参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｄに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
【００９１】
また、投光部２５ｄに複数の発光素子を設け、センサ２２ｄに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００９２】
上述の第一〜第四例の真空用モーター１０ａ〜１０ｄにおいて、回転軸１２を中心軸線に平行な方向に移動できるように構成してもよい。光信号は磁気信号に比べて到達距離が長いため、第三、第四例の真空用モーター１０ｃ、１０ｄでは、第一、第二例の真空用モーター１０ａ、１０ｂに比べて、回転軸１２の中心軸線に平行な方向の移動範囲を広くすることができる。
【符号の説明】
【００９３】
１０ａ〜１０ｄ……真空用モーター
１１……筒部材
１２……回転軸
１４……磁石
１５……コイル
２１ａ〜２１ｄ……回転板
２２ａ〜２２ｄ……センサ
２３ａ〜２３ｄ……透過窓
２４ａ〜２４ｄ……センサ室
５１……第一領域
５２……第二領域
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空用モーターと真空用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、真空排気された真空雰囲気中で基板を回転移動させるために、真空用ロボットがよく用いられている。
図８は従来の真空用ロボットの内部構成図である。
真空用ロボット１４０は、真空槽１４１と、真空排気装置１４２と、真空用モーター１１０と、腕部１４３とを有している。
【０００３】
真空用モーター１１０は、円筒形状の筒部材１１１と、筒部材１１１の内側に軸受１１９1、１１９2を介して筒部材１１１と同軸状に配置された回転軸１１２と、回転軸１１２の外周側面に設けられた磁石１１４と、磁石１１４の外側に磁石１１４と対向して配置されたコイル１１５と、回転板１２１とセンサ１２２とを有している。
【０００４】
筒部材１１１の一端は真空槽１４１の壁面に設けられた挿入口１４５に接続され、筒部材１１１のうち回転板１２１と磁石１１４とが配置された空間は挿入口１４５を介して真空槽１４１の内部空間と連通されている。
【０００５】
真空排気装置１４２により真空槽１４１内を真空排気すると、挿入口１４５を介して筒部材１１１のうち回転板１２１と磁石１１４とが配置された空間も真空排気される。
回転軸１１２の一端は挿入口１４５を通って真空槽１４１内に挿入されており、腕部１４３は回転軸１１２の前記一端に取り付けられている。
【０００６】
コイル１１５に電流を流して磁石１１４に回転力を与えると、腕部１４３と回転板１２１は回転軸１１２と一緒に回転する。このとき腕部１４３に保持された基板も回転軸１１２と一緒に回転移動する。
【０００７】
回転板１２１は金属の板であり、センサ１２２は磁気抵抗素子を有している。
センサ１２２は回転板１２１と同じ空間に回転板１２１の表面と対向して配置され、回転板１２１の表面の磁気信号を検出して回転角度を算出する。
【０００８】
回転軸１１２の回転中に、電流が流れたコイル１１５は発熱し、回転板１２１とセンサ１２２とがそれぞれ加熱される。
回転板１２１は金属製であり加熱されても不純物ガスを放出しないが、センサ１２２は磁気抵抗素子や磁気抵抗素子を封止するモールド樹脂で構成されており、加熱されると不純物ガスが放出される。
【０００９】
放出されたガスは挿入口１４５を通って真空排気装置１４２に接続された真空槽１４１内に拡散し、基板に付着したり、真空槽１４１の内壁面に付着するという問題があった。
特許文献１では、センサ１２２のモールド樹脂に発ガスの低いエポキシ樹脂を用いる技術が開示されているが、モールド樹脂からの発ガスをゼロにすることは困難であり、真空排気装置１４２に接続された空間には不純物ガスが放出されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−２８１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、真空排気装置に接続された空間に不純物ガスを放出しない真空用モーターと真空用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明は、円筒形状の筒部材と、前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転板と、前記回転板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、を有し、前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モーターであって、内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室と、前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、を有し、前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記符号は、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できる真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記センサは磁気抵抗素子を有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなる真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられた真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置された真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされた真空用モーターである。
本発明は真空用モーターであって、前記透過窓はガラスである真空用モーターである。
本発明は、真空用モーターと、真空槽と、前記真空槽内を真空排気する真空排気装置と、基板を保持する腕部と、を有し、前記真空用モーターの前記筒部材の一端は前記真空槽に設けられた挿入口に接続され、前記回転軸の一端は前記挿入口を通って前記真空槽内に挿入され、前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられた真空用ロボットである。
【発明の効果】
【００１３】
真空排気装置に接続された空間と、センサが配置される空間とが分離されるので、真空排気装置に接続された空間に不純物ガスは放出されず、真空排気装置に接続された空間を清浄に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一例の真空用モーターの内部構成図
【図２】第一例の真空用モーターの回転板の平面図
【図３】本発明の真空用ロボットの内部構成図
【図４】本発明の第二例の真空用モーターの内部構成図
【図５】第二例の真空用モーターの回転板の平面図
【図６】本発明の第三例の真空用モーターの内部構成図
【図７】本発明の第四例の真空用モーターの内部構成図
【図８】従来の真空用ロボットの内部構成図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜第一例の真空用モーターの構造＞
本発明の第一例の真空用モーター１０ａの構造を説明する。
図１は第一例の真空用モーター１０ａの内部構成図である。
【００１６】
第一例の真空用モーター１０ａは、円筒形状の筒部材１１と、筒部材１１の内側に筒部材１１と同軸状に配置された回転軸１２と、回転軸１２の外周側面に設けられた磁石１４と、磁石１４の外側に磁石１４と対向して配置されたコイル１５とを有している。
【００１７】
本実施例では、筒部材１１の内周側面には回転軸１２側に突出する接触部１１1、１１2が設けられ、接触部１１1、１１2と回転軸１２との間には球状部材１９1、１９2が配置されている。回転軸１２は球状部材１９1、１９2を介して接触部１１1、１１2に支持されており、回転軸１２の中心軸線は筒部材１１の中心軸線からずれないようになっている。
【００１８】
回転軸１２に中心軸線を中心とする回転力が加わると、回転軸１２は中心軸線を中心に回転できるようになっている。各球状部材１９1、１９2は接触部１１1、１１2と回転軸１２とにそれぞれ点で接触されており、回転軸１２が中心軸線を中心に回転すると、各球状部材１９1、１９2は回転軸１２の中心軸線を中心に回転しながらそれぞれ自転して、接触部１１1、１１2と回転軸１２との間に摩擦がかからないようになっている。そのため、接触部１１1、１１2の表面と回転軸１２の表面とが摩耗して不純物（ダスト）が発生することが防止される。
【００１９】
磁石１４にはここでは表面がＮｉメッキされたものが用いられる。Ｎｉメッキにより磁石１４の表面が酸化又は腐食することが防止され、磁石１４の表面から不純物（ダスト）が発生しないようになっている。
【００２０】
磁石１４は回転軸１２の外周側面に固定されている。
磁石１４の外側にはコイル室１６が配置され、コイル１５はコイル室１６内に配置されている。
【００２１】
ここではコイル室１６は、椀状のコイル室蓋部材１７を有している。コイル室蓋部材１７の縁部は筒部材１１の内側側面に環状に密着して固定され、コイル室１６の内部空間は磁石１４が配置された空間から分離されている。
【００２２】
そのため、コイル１５が発熱して、コイル１５の導線の被膜や、コイル１５の導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出されても、放出されたガスは磁石１４が配置された空間に拡散しないようになっている。
【００２３】
コイル室蓋部材１７は非磁性体であり、ここではアルミニウムが用いられ、コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは１ｍｍ以下にされている。コイル１５と磁石１４との間の部分の厚みは薄い方が、コイル１５と磁石１４との間の間隔が狭くなり、相互の磁気結合力を大きくできるため好ましい。
【００２４】
コイル１５にはコイル用電源１８が電気的に接続されている。
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流すと、コイル１５が形成する磁力線が磁石１４を貫通して、磁石１４は回転力を受け、回転軸１２と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転するようになっている。
【００２５】
第一例の真空用モーター１０ａは、回転軸１２の回転角度を検知する回転検知部３０ａを有している。
回転検知部３０ａは、回転板２１ａとセンサ２２ａとを有している。
【００２６】
図２は回転板２１ａの一例の平面図である。
回転板２１ａはリング形状の板であり、表面には信号を生成する符号が回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
【００２７】
本実施例では、符号は、第一信号を生成する第一領域５１と第二信号を生成する第二領域５２とで構成されているが、第一〜第Ｎ信号を生成する第一〜第Ｎ領域（Ｎは３以上の自然数）で構成されている場合も本発明に含まれる。
【００２８】
ここでは回転板２１ａは厚み方向に磁化された磁性体の板であり、第一領域５１には開口が設けられ、第二領域５２は開口以外の遮蔽部分で構成されている。従って、第一領域５１はゼロの磁場（磁気信号）である第一信号を生成し、第二領域５２は厚み方向の磁場（磁気信号）である第二信号を生成する。
【００２９】
なお、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる二方向にそれぞれ磁化された部分であり、第一、第二信号は互いに向きが異なる磁場（磁気信号）であってもよい。
【００３０】
ここでは、第一領域５１と第二領域５２は、回転板２１ａの中心を中心とする円周に沿って交互に等間隔に配置されており、第一信号を第一の値とし、第二信号を第二の値とすると、第一、第二領域５１、５２で構成された符号は第一、第二の値を有し、第一の値と第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置されている。
【００３１】
図１を参照し、回転板２１ａのリングの穴には回転軸１２が挿通され、回転軸１２の中心軸線が回転板２１ａの表面が位置する平面に対して直角に向けられた状態で、回転板２１ａは回転軸１２に対して固定されている。回転板２１ａは回転軸１２と同軸状に配置されている。
筒部材１１のうち回転板２１ａが配置された空間は磁石１４が配置された空間と連通されている。
【００３２】
センサ２２ａは、回転板２１ａの表面と対向して配置され、第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
ここではセンサ２２ａは磁気抵抗素子３１を有している。磁気抵抗素子３１は、磁気信号を受けると抵抗値が磁気信号の強さや向きに応じた値に変化する素子である。
磁気抵抗素子３１はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００３３】
センサ２２ａにはセンサ用電源２７が電気的に接続されており、センサ２２ａは、第一、第二信号を受け取ると、第一、第二信号に応じて異なる電圧値の電気信号を出力するように構成されている。
【００３４】
センサ２２ａには制御装置２８が接続されている。
制御装置２８は、センサ２２ａが出力する電気信号を受け取ると、受け取った電気信号から回転板２１ａの回転角度を求めることができるように構成されている。
【００３５】
ここでは制御装置２８は、受け取った電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数え、隣り合う二つの第一領域５１の中心間の中心角又は隣り合う二つの第二領域５２の中心間の中心角に数えたカウント値を積算することにより、回転板２１ａの回転角度を算出するように構成されている。
【００３６】
また制御装置２８は、回転板２１ａの回転角度が所定角度になると、コイル用電源１８に制御信号を送信してコイル１５への電流供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させるように構成されている。
【００３７】
回転検知部３０ａは、内部にセンサ２２ａが配置され、センサ２２ａの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ａと、センサ室２４ａの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ａとを有している。
【００３８】
センサ室２４ａはここでは椀状のセンサ室蓋部材２６を有している。センサ室蓋部材２６の縁部は筒部材１１の内側側面と接触部１１1とに亘って環状に密着して固定されており、センサ室２４ａの開口はここでは接触部１１1に設けられている。
【００３９】
透過窓２３ａは加熱されてもガスを放出しない非磁性体からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ａにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない非磁性体であればガラスに限定されず、例えばアルミニウムを用いることもできる。
【００４０】
透過窓２３ａはセンサ室２４ａの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４ａの内部空間は回転板２１ａが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、センサ２２ａが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ａが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００４１】
＜真空用ロボットの構造＞
第一例の真空用モーター１０ａを用いた真空用ロボットの構造を説明する。
図３は真空用ロボット４０の内部構成図である。
【００４２】
真空用ロボット４０は、第一例の真空用モーター１０ａと、真空槽４１と、真空槽４１内を真空排気する真空排気装置４２と、基板を保持する腕部４３とを有している。
真空槽４１の壁面には挿入口４５が設けられている。
【００４３】
真空用モーター１０ａの筒部材１１の一端は、挿入口４５の外周を取り囲んで真空槽４１の壁面に環状に密着して固定され、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置される空間は挿入口４５を介して真空槽４１の内部空間と連通されている。
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気すると、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も一緒に真空排気されるようになっている。
【００４４】
回転軸１２の一端は挿入口４５を通って真空槽４１内に挿入されており、腕部４３は真空槽４１内に配置され、回転軸１２の前記一端に取り付けられている。回転軸１２を回転軸１２の中心軸線を中心に回転させると、腕部４３も回転軸１２と一緒に回転するようになっている。
【００４５】
＜真空用ロボットの使用方法＞
上述の真空用ロボット４０の使用方法を説明する。
【００４６】
真空排気装置４２により真空槽４１内を真空排気し、真空雰囲気を形成する。このとき、筒部材１１のうち回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間も真空排気され、真空雰囲気が形成される。以後、真空排気装置４２による真空排気を継続して、真空槽４１内の真空雰囲気と、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間の真空雰囲気とを維持する。
【００４７】
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら、真空槽４１内に基板を搬入し、腕部４３上に配置する。
基板を回転移動させる回転角度をあらかじめ定めておく。
制御装置２８が受け取る電気信号のカウント値を初期化する（ここではゼロにする）。
【００４８】
コイル用電源１８からコイル１５に電流を流し磁力線を発生させ、発生させた磁力線を貫通させて磁石１４に回転力を与え、回転軸１２を回転板２１ａと腕部４３と一緒に回転軸１２の中心軸線を中心として回転させる。腕部４３上の基板も回転軸１２の中心軸線を中心として回転移動する。
【００４９】
電流が流れたコイル１５と、磁力線が貫通した磁石１４はそれぞれ発熱し、コイル１５と磁石１４からの熱により回転板２１ａとセンサ２２ａとがそれぞれ加熱される。
磁石１４と回転板２１ａはガスを放出する部材を有しておらず、加熱されても磁石１４と回転板２１ａからガスは放出されない。
【００５０】
一方、コイル１５が加熱されると導線の被膜や導線を固定しているワニスやモールド材からガスが放出され、センサ２２ａが加熱されるとモールド樹脂３２からガスが放出されるが、コイル室１６とセンサ室２４ａは回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間から分離されており、回転板２１ａと磁石１４とが配置された空間内にガスは拡散しない。
そのため、挿入口４５を通って真空槽４１内に不純物であるガスが拡散することは起こらず、ガスが基板に付着したり、真空槽４１の内壁面に付着する問題は起こらない。
【００５１】
回転板２１ａが回転すると、回転板２１ａ表面の第一、第二領域５１、５２はセンサ２２ａと対面する位置を交互に通過する。
センサ２２ａは回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２と対面すると、第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力し、制御装置２８は電気信号の電圧値の変化の立ち上がり又は立ち下がりの数を数えて、数えたカウント値から回転板２１ａの回転角度を求める。
求めた回転板２１ａの回転角度が所定角度になったら、制御装置２８はコイル用電源１８に制御信号を送って、コイル１５への電力供給を停止させ、回転軸１２の回転を停止させる。
【００５２】
このようにして、腕部４３に保持された基板は、回転軸１２の中心軸線を中心に所定角度回転移動した後、静止される。
真空槽４１内の真空雰囲気を維持しながら基板を真空槽４１の外側に搬出し、後工程に送る。
【００５３】
＜第二例の真空用モーターの構造＞
第二例の真空用モーターの構造を説明する。
図４は第二例の真空用モーター１０ｂの内部構成図である。第二例の真空用モーター１０ｂの構造のうち、第一例の真空用モーター１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第二例の真空用モーター１０ｂは、第一例の真空用モーター１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｂを有している。
【００５４】
第二例の真空用モーター１０ｂの回転検知部３０ｂの構造を説明する。
回転検知部３０ｂは、回転板２１ｂとセンサ２２ｂとを有している。
図５は回転板２１ｂの一例の平面図である。
回転板２１ｂの材質と、第一、第二領域５１、５２の個々の構造は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａにおける前記材質、前記構造と同様であり、説明を省略する。
【００５５】
回転板２１ｂ表面での第一、第二領域５１、５２の配置を説明する。
回転板２１ｂの表面には互いに直径が異なる複数の円周Ｒ1〜Ｒ4が同心状に配置され、第一、第二領域５１、５２は各円周Ｒ1〜Ｒ4上に円周に沿って交互に配置されている。
【００５６】
回転板２１ｂの半径方向に沿った一組の第一、第二領域５１、５２で一の符号が構成されている。符号５３は一の符号を構成する第一、第二領域５１、５２の組を示している。
各符号は円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされている。
【００５７】
従って、回転板２１ｂの中心を始点とする一の半直線を基準線と呼び、基準線からの回転角度を絶対角度と呼ぶと、各符号から一の絶対角度が分かるようになっている。
図４を参照し、回転板２１ｂの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
【００５８】
センサ２２ｂは複数の磁気抵抗素子３１1〜３１4を有している。
各磁気抵抗素子３１1〜３１4はモールド樹脂３２で覆われて封止されており、磁気抵抗素子３１1〜３１4にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００５９】
センサ２２ｂは、回転板２１ｂの表面と対向して配置され、各磁気抵抗素子３１1〜３１4は回転板２１ｂのうち互いに異なる円周Ｒ1〜Ｒ4上に配置されている。従って、各磁気抵抗素子３１1〜３１4は、互いに異なる円周Ｒ1〜Ｒ4上の第一、第二領域５１、５２からの第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００６０】
制御装置２８には、符号と絶対角度との対応関係があらかじめ記憶されている。
制御装置２８は、各磁気抵抗素子３１1〜３１4が出力する電気信号を受け取ると、受け取った一組の電気信号から一の符号を構成し、あらかじめ記憶された対応関係に基づいて、回転板２１ｂの基準線からの回転角度（絶対角度）を求めるように構成されている。
回転板２１ｂを回転させる前後で第一、第二の絶対角度をそれぞれ求め、第二の絶対角度から第一の絶対角度を減算すると、回転板２１ｂの回転角度が算出される。
【００６１】
回転検知部３０ｂは、内部にセンサ２２ｂが配置され、センサ２２ｂの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｂと、センサ室２４ｂの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｂとを有している。
センサ室２４ｂと透過窓２３ｂの構造は、第一例の真空用モーター１０ａのセンサ室２４ａと透過窓２３ａの構造と同様であり、説明を省略する。
【００６２】
センサ室２４ｂの内部空間は回転板２１ｂが配置された空間から分離されており、センサ２２ｂが加熱されて、モールド樹脂３２からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｂが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００６３】
第二例の真空用モーター１０ｂは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モーター１０ａの代わりに用いることができる。第二例の真空用モーター１０ｂを有する真空用ロボットの使用方法は、上述の回転板２１ｂの角度算出方法以外は第一例の真空用モーター１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００６４】
第二例の真空用モーター１０ｂでは、第一例の真空用モーター１０ａと比較して、制御装置２８のカウンタ値を初期化する手間が不要になるという利点がある。また、算出した回転角度の正負の符号から回転板２１ｂの回転方向が分かるという利点がある。
【００６５】
＜第三例の真空用モーターの構造＞
第三例の真空用モーターの構造を説明する。
図６は第三例の真空用モーター１０ｃの内部構成図である。第三例の真空用モーター１０ｃの構造のうち、第一例の真空用モーター１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第三例の真空用モーター１０ｃは、第一例の真空用モーター１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｃを有している。
【００６６】
第三例の真空用モーター１０ｃの回転検知部３０ｃの構造を説明する。
回転検知部３０ｃは、回転板２１ｃとセンサ２２ｃと投光部２５ｃとを有している。
回転板２１ｃはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転板２１ｃの中心を中心とする円周に沿って配置されている。
【００６７】
本実施例では、回転板２１ｃは表面が光を反射できるようにされた板であり、第一領域には開口が設けられ、第二領域は開口以外の反射部分で構成されている。従って、第一、第二領域に光が照射されると、第一領域は光を反射せずに強度がゼロの光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を反射して強度がゼロより大きい光信号である第二信号を生成するようになっている。
【００６８】
なお、第一、第二領域の個々の構造は上記構成に限定されず、互いに異なる反射率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。第一、第二領域は例えば反射率の異なるインクを塗布されて形成される。
【００６９】
ここでは回転板２１ｃの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置（図２参照）と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｃの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
【００７０】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃは、回転板２１ｃの表面と対向して配置され、投光部２５ｃは第一、第二領域に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二領域が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００７１】
投光部２５ｃは発光素子３５を有し、センサ２２ｃは受光素子３３を有している。発光素子３５は電圧を印加されると発光する素子であり、受光素子３３は光信号を受けると光信号の強度に応じた電圧値の電気信号を出力する素子である。
発光素子３５と受光素子３３はそれぞれ透明なモールド樹脂３６、３４で覆われて封止されており、発光素子３５と受光素子３３にゴミや水分が付着して劣化しないようになっている。
【００７２】
投光部２５ｃとセンサ２２ｃにはセンサ用電源２７がそれぞれ電気的に接続されている。投光部２５ｃは電圧を印加されると第一、第二領域５１、５２に光を照射し、センサ２２ｃは第一、第二信号を受け取ると第一、第二信号に応じた電圧値の電気信号を出力するようになっている。
【００７３】
回転検知部３０ｃは、内部に投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが配置され、投光部２５ｃの投光面とセンサ２２ｃの検知面とそれぞれ対向する部分に開口が設けられたセンサ室２４ｃと、センサ室２４ｃの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｃとを有している。
センサ室２４ｃの構造は第一例の真空用モーター１０ａのセンサ室２４ａの構造と同様であり、説明を省略する。
【００７４】
透過窓２３ｃは加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、第一、第二信号を透過できるようになっている。ここでは透過窓２３ｃにはガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
【００７５】
透過窓２３ｃはセンサ室２４ｃの開口を塞ぐように設けられ、センサ室２４ｃの内部空間は回転板２１ｃが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｃとセンサ２２ｃとが加熱されて、モールド樹脂３６、３４からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｃが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００７６】
第三例の真空用モーター１０ｃは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モーター１０ａの代わりに用いることができる。第三例の真空用モーター１０ｃを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モーター１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００７７】
上述の説明では、回転板２１ｃの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図２参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モーター１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図５参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｃに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
【００７８】
また、投光部２５ｃに複数の発光素子を設け、センサ２２ｃに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｃのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００７９】
＜第四例の真空用モーターの構造＞
第四例の真空用モーターの構造を説明する。
図７は第四例の真空用モーター１０ｄの内部構成図である。第四例の真空用モーター１０ｄの構造のうち第一例の真空用モーター１０ａの構造と同じ部分には同じ符号を付して説明を省略する。
第四例の真空用モーター１０ｄは、第一例の真空用モーター１０ａの回転検知部３０ａとは異なる構造の回転検知部３０ｄを有している。
【００８０】
第四例の真空用モーター１０ｄの回転検知部３０ｄの構造を説明する。
回転検知部３０ｄは、回転板２１ｄとセンサ２２ｄと投光部２５ｄとを有している。
回転板２１ｄはリング形状の板であり、表面には、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成された符号が、回転軸１２の中心軸線を中心とする円周に沿って配置されている。
【００８１】
本実施例では、回転板２１ｄは光を遮断する板であり、第一領域には開口が設けられ、第二領域は開口以外の遮蔽部分で構成されている。従って、第一、第二領域の裏面側から光が照射されると、第一領域は光を透過して強度がゼロより大きい光信号である第一信号を生成し、第二領域は光を遮断して強度がゼロの光信号である第二信号を生成する。
【００８２】
なお、第一、第二領域は上記構成に限定されず、互いに異なる光透過率の部分であり、第一、第二信号は互いに強度が異なる光信号であってもよい。例えば、回転板２１ｄは光を透過する板であり、第一領域又は第二領域には回転板２１ｄよりも光透過率の小さいインクが塗布されて形成される。
【００８３】
ここでは、回転板２１ｄの表面内での第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａにおける第一、第二領域５１、５２の配置と同様であり、説明を省略する。
また回転板２１ｄの筒部材１１内での配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの筒部材１１内での配置と同様であり、説明を省略する。
投光部２５ｄとセンサ２２ｄの構造は第三例の真空用モーター１０ｃの投光部２５ｃとセンサ２２ｃの構造とそれぞれ同様であり、説明を省略する。
【００８４】
センサ２２ｄは回転板２１ｄの表面と対向して配置され、投光部２５ｄは回転板２１ｄから見てセンサ２２ｄとは逆側に、回転板２１ｄの裏面と対向して配置されている。投光部２５ｄは第一、第二領域５１、５２の裏面側に光を照射し、センサ２２ｄは第一、第二領域５１、５２が生成する第一、第二信号を検出できるようになっている。
【００８５】
回転検知部３０ｄは、内部にセンサ２２ｄが配置され、センサ２２ｄの検知面と対向する部分には開口が設けられたセンサ室２４ｄと、センサ室２４ｄの開口に配置され、第一、第二信号を透過する透過窓２３ｄとを有している。
センサ室２４ｄと透過窓２３ｄの構造は、第三例の真空用モーター１０ｃのセンサ室２４ｃと透過窓２３ｃの構造と同様であり、説明を省略する。
コイル１５や磁石１４の発熱により、センサ２２ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８６】
また、回転検知部３０ｄは、内部に投光部２５ｄが配置され、投光部２５ｄの投光面と対向する部分には開口が設けられた投光室２８と、投光室２８の開口に配置され、光を透過する副透過窓２７とを有している。
【００８７】
投光室２８はここでは椀状の投光室蓋部材２９を有している。投光室蓋部材２９の縁部は筒部材１１の内側面と環状に密着して固定されており、投光室２８の開口はここでは投光室蓋部材２９に設けられている。
【００８８】
副透過窓２７は加熱されてもガスを放出しない光透過性部材からなり、ここではガラスが用いられるが、加熱されてもガスを放出しない光透過性部材であればガラスに限定されない。
副透過窓２７は投光室２８の開口を塞ぐように設けられ、投光室２８の内部空間は回転板２１ｄが配置された空間から分離されている。
そのため、コイル１５や磁石１４の発熱により、投光部２５ｄが加熱されて、モールド樹脂からガスが放出されても、放出されたガスは回転板２１ｄが配置された空間に拡散しないようになっている。
【００８９】
第四例の真空用モーター１０ｄは上述の真空用ロボット４０において第一例の真空用モーター１０ａの代わりに用いることができる。第四例の真空用モーター１０ｄを有する真空用ロボットの使用方法は第一例の真空用モーター１０ａを有する真空用ロボット４０の使用方法と同様であり、説明を省略する。
【００９０】
上述の説明では、回転板２１ｄの第一、第二領域の配置は、第一例の真空用モーター１０ａの回転板２１ａの第一、第二領域５１、５２の配置（図２参照）と同様に構成されていたが、第二例の真空用モーター１０ｂの回転板２１ｂの第一、第二領域５１、５２の配置（図５参照）と同様に構成されていてもよい。この場合には、センサ２２ｄに複数の受光素子を設け、各受光素子を回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置すればよい。
【００９１】
また、投光部２５ｄに複数の発光素子を設け、センサ２２ｄに発光素子と同数の複数の受光素子を設け、各発光素子と受光素子の一対ずつを回転板２１ｄのうち互いに異なる円周上に配置してもよい。
【００９２】
上述の第一〜第四例の真空用モーター１０ａ〜１０ｄにおいて、回転軸１２を中心軸線に平行な方向に移動できるように構成してもよい。光信号は磁気信号に比べて到達距離が長いため、第三、第四例の真空用モーター１０ｃ、１０ｄでは、第一、第二例の真空用モーター１０ａ、１０ｂに比べて、回転軸１２の中心軸線に平行な方向の移動範囲を広くすることができる。
【符号の説明】
【００９３】
１０ａ〜１０ｄ……真空用モーター
１１……筒部材
１２……回転軸
１４……磁石
１５……コイル
２１ａ〜２１ｄ……回転板
２２ａ〜２２ｄ……センサ
２３ａ〜２３ｄ……透過窓
２４ａ〜２４ｄ……センサ室
５１……第一領域
５２……第二領域
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状の筒部材と、
前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、
前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、
前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、
リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転板と、
前記回転板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、
を有し、
前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モーターであって、
内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室と、
前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、
を有し、
前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された真空用モーター。
【請求項２】
前記符号は、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できる請求項１記載の真空用モーター。
【請求項３】
前記センサは磁気抵抗素子を有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなる請求項２記載の真空用モーター。
【請求項４】
前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられた請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項５】
前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項６】
前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされた請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項７】
前記透過窓はガラスである請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の真空用モーターと、
真空槽と、
前記真空槽内を真空排気する真空排気装置と、
基板を保持する腕部と、
を有し、
前記真空用モーターの前記筒部材の一端は前記真空槽に設けられた挿入口に接続され、
前記回転軸の一端は前記挿入口を通って前記真空槽内に挿入され、
前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられた真空用ロボット。
【請求項１】
円筒形状の筒部材と、
前記筒部材の内側に前記筒部材と同軸状に配置された回転軸と、
前記回転軸の外周側面に設けられた磁石と、
前記磁石の外側に前記磁石と対向して配置されたコイルと、
リング形状の板であり、リングの穴には前記回転軸が挿通され、表面には信号を生成する符号が前記回転軸の中心軸線を中心とする円周に沿って配置された回転板と、
前記回転板の前記表面と対向して配置され、前記信号を検出できるセンサと、
を有し、
前記回転板が配置された空間は真空排気装置に接続されて真空排気される真空用モーターであって、
内部に前記センサが配置され、前記センサと対向する部分には開口が設けられたセンサ室と、
前記開口に配置され、前記信号を透過する透過窓と、
を有し、
前記透過窓は前記開口を塞ぐように設けられ、前記センサ室の内部空間は前記回転板が配置された空間から分離された真空用モーター。
【請求項２】
前記符号は、第一信号を生成する第一領域と第二信号を生成する第二領域とで構成され、前記センサは前記第一、第二信号を検出できる請求項１記載の真空用モーター。
【請求項３】
前記センサは磁気抵抗素子を有し、前記第一、第二信号は互いに向きが異なる磁気信号であり、前記透過窓は非磁性体からなる請求項２記載の真空用モーター。
【請求項４】
前記回転軸の中心軸線は、前記回転板の前記表面が位置する平面に対して直角に向けられた請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項５】
前記符号は第一、第二の値を有し、前記第一、第二の値は前記円周に沿って交互に等間隔に配置された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項６】
前記符号は前記円周に沿った位置毎に互いに異なる値にされた請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項７】
前記透過窓はガラスである請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の真空用モーター。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載の真空用モーターと、
真空槽と、
前記真空槽内を真空排気する真空排気装置と、
基板を保持する腕部と、
を有し、
前記真空用モーターの前記筒部材の一端は前記真空槽に設けられた挿入口に接続され、
前記回転軸の一端は前記挿入口を通って前記真空槽内に挿入され、
前記腕部は前記真空槽内に配置され、前記回転軸の前記一端に取り付けられた真空用ロボット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２３１６５２（Ｐ２０１２−２３１６５２Ａ）
【公開日】平成２４年１１月２２日（２０１２．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１０００１５（Ｐ２０１１−１０００１５）
【出願日】平成２３年４月２７日（２０１１．４．２７）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月２２日（２０１２．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月２７日（２０１１．４．２７）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
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