蒸着源、蒸着装置
【課題】蒸着材料の交換が容易で寿命が長い蒸着源を提供する。
【解決手段】本発明の蒸着源３では、棒状電極４０と蒸着材料３５が接触する面に、それぞれ雄ねじ４１と雌ねじ４２が形成され、棒状電極４０を取り付けた状態では、棒状電極４０と蒸着材料３５が螺合されている。棒状電極４０と蒸着材料３５は螺合することで互いに強く密着しているので、アーク放電を繰り返すことで蒸着材料３５が変形したときには、蒸着材料３５がキャップ３６から離間することはあっても、棒状電極４０に密着した状態が維持されるので、アーク放電の停止が起こらない。
【解決手段】本発明の蒸着源３では、棒状電極４０と蒸着材料３５が接触する面に、それぞれ雄ねじ４１と雌ねじ４２が形成され、棒状電極４０を取り付けた状態では、棒状電極４０と蒸着材料３５が螺合されている。棒状電極４０と蒸着材料３５は螺合することで互いに強く密着しているので、アーク放電を繰り返すことで蒸着材料３５が変形したときには、蒸着材料３５がキャップ３６から離間することはあっても、棒状電極４０に密着した状態が維持されるので、アーク放電の停止が起こらない。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は蒸着装置に関し、特に、ダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）や半導体の高誘電体薄膜、絶縁膜、銅薄膜、磁性薄膜、高融点金属薄膜に適した成膜装置。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）や半導体の高誘電体薄膜、絶縁膜、銅薄膜、磁性薄膜、高融点金属薄膜等の成膜形成する際には、蒸着装置が用いられている。
【０００３】
図６の符号１０１は従来の蒸着装置の一例であり、この蒸着装置１０１は真空槽１０２を有している。この真空槽１０２内部には、蒸着源１０３が配置されている。
【０００４】
蒸着源１０３は筒状のアノード電極部１３１と、棒状の放電部１３０とを有している。アノード電極部１３１と放電部１３０は、放電部１３０がアノード電極部１３１に挿通された状態で、取付部１３２によって真空槽１０２内の底壁にそれぞれ固定されている。
【０００５】
放電部１３０は蒸着材料部１３５と、トリガ電極１３７と、棒状電極１４０とを有している。取付部１３２の取り付け台１３３上には絶縁部材１３４が配置され、トリガ電極１３７はこの絶縁部材１３４上に配置され、蒸着材料部１３５は絶縁ワッシャ１３９を介してトリガ電極１３７上に配置されている。
【０００６】
蒸着材料部１３５とトリガ電極１３７と絶縁部材１３４と絶縁ワッシャ１３９はそれぞれリング状に形成されており、棒状電極１４０はトリガ電極１３７と蒸着材料部１３５と絶縁部材１３４と絶縁ワッシャ１３９にそれぞれ挿通された状態でその下端が取付部１３２に固定され、上端は蒸着材料部１３５と同じ材料で構成されたキャップ１３６によって覆われている。
【０００７】
蒸着材料部１３５と棒状電極１４０は電気的に接続され、他方トリガ電極１３７は棒状電極１４０と蒸着材料部１３５から絶縁されている。棒状電極１４０とトリガ電極１３７はトリガ電源１２５に接続されており、アノード電極部１３１と真空槽１０２を接地電位に接続した状態で、棒状電極１４０に負の電圧を印加し、トリガ電極１３７に正の電圧を印加すると、トリガ電極１３７と蒸着材料部１３５との間にトリガ放電が起こり、該トリガ放電によってアノード電極部１３１と蒸着材料部１３５との間にアーク放電が誘起され、大きなアーク電流が流れることにより、蒸着材料部１３５から蒸着材料の粒子が放出される。
【０００８】
蒸着材料の粒子のうち、電荷粒子比の小さい巨大荷電粒子や中性粒子は直進し、アノード電極部１３１の壁面に衝突するが、電荷質量比の大きな荷電粒子はアノード電極部１３１の開口から放出され、真空槽１０２内に配置された基板１１１に到達し、薄膜を成長させる。
【０００９】
ところで、上述した蒸着装置１０１で成膜を続けると、トリガ電極１３７と蒸着材料部１３５との間の絶縁ワッシャ１３９が徐々に汚れ、その絶縁抵抗が低下する。トリガ電極１３７と蒸着材料部１３５との間の絶縁抵抗が低下すると、充分なトリガ（電子やイオン）が発生しなくなり、アーク放電が誘発されなくなるため、結果として成膜が停止してしまう。
【００１０】
例えば、蒸着材料部１３５の蒸着材料として鉄（Ｆｅ）を用いた場合は、２００００発を超えるとアーク放電が誘発されなくなり、ハフニウム（Ｈｆ）やモリブデン（Ｍｏ）を蒸着材料として用いた場合、１００００発を超えるとアーク放電が誘発されなくなる。
【００１１】
従って、膜厚の大きい膜を形成する場合や、複数の基板１１１を連続して成膜する場合には、放電部１３０を交換する必要があり、放電部１３０の交換の毎に真空槽１０２内が大気に晒されるため、作業効率が悪い。
【００１２】
例えば、一つの真空槽１０２内に複数の蒸着源１０３を設け、一つの蒸着源１０３の成膜効率が低下したら、基板ホルダ１１９を他の蒸着源１０３上に移動させ、成膜を行うことも可能である。しかしながら、そのような蒸着装置は蒸着源１０３を複数設ける分、大型であり、また基板ホルダ１１９を移動可能にする分、製造コストが高くなる。
【００１３】
上述した問題を解決するための蒸着源の典型例が下記特許文献１には開示されている。この蒸着源は、アノード電極部と、アノード電極部の近傍に配置された放電部とを有する。放電部は棒状電極と、複数の略筒状蒸着材料部と、複数の略筒状トリガ電極と、略筒状トリガ電極及び略筒状蒸着材料部を交互に配列して、これらを挿通する棒状電極と、該棒状電極の一端に配設されるキャップとを有する。略筒状蒸着材料部と略筒状トリガ電極との間には、夫々に絶縁部材が配設されている。
【００１４】
これらの絶縁部材によって略筒状トリガ電極の夫々は棒状電極と筒状蒸着材料部とから電気的に絶縁されており、略筒状蒸着材料部は、キャップに接触したものを除いては、その内周面が棒状電極の外周面に接触していることによって棒状電極に電気的に接触されている。筒状蒸着材料部においてキャップに接触したものは、キャップを介して棒状電極に電気的に接続されている。
【００１５】
しかしながら、上述されたような蒸着源では、アーク放電を繰り返していると筒状蒸着材料部に変形がおこり、これによって棒状電極の外周面と略筒状蒸着材料部の内周面とが離間、或いはキャップと略筒状蒸着材料部の上面が離間してしまう。図７は筒状蒸着材料部１３５が変形して、棒状電極１４０の外周面からも、キャップ１３６の外周面からも離間した状態を示しており、これによって略筒状蒸着材料部１３５がカソード電位から絶縁されてしまいアーク放電が停止する恐れがある。
【００１６】
蒸着材料部１３５の変形は、アーク放電によって蒸着材料部１３５の温度が上昇するためにであり、特に低融点材料で蒸着材料部１３５を構成した場合にはアーク放電の停止が起こりやすかった。例えば、蒸着材料部１３５が錫（融点：２３１℃）の場合であると、コンデンサの容量が２２００μＦ、充電電圧１００Ｖ、アーク放電の周期が１Ｈｚの条件では、アーク放電の回数が２００〜３００発で放電が停止した。
【特許文献１】特開２００４−１９７１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明の目的は、交換が容易であって、アーク放電回数を増加させることができる蒸着源と、その蒸着源を用いた蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、互いに絶縁されたアノード電極と、トリガ電極と、棒状電極と、蒸着材料部とを有し、前記蒸着材料部はリング形状であって、前記棒状電極に装着されて前記棒状電極に接触した蒸着源であって、前記棒状電極と前記蒸着材料部とが接触する面には、それぞれ雄ねじと雌ねじが形成され、前記蒸着材料部と前記棒状電極とは螺合された蒸着源である。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の蒸着源であって、前記雄ねじと雌ねじの螺合深さＨは、０．３７９ｍｍ以上０．６７７ｍｍ以下の範囲にされた蒸着源である。
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の蒸着源であって、前記棒状電極は、インバー４２、インコネル、ステンレス、タングステン、又はタンタルのいずれかの材料が棒状にされて構成された蒸着源である。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源であって、前記雌ねじは前記蒸着材料部が有する蒸着材料に形成された蒸着源である。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源であって、前記蒸着材料部は装着部材を有し、前記雌ねじは前記装着部材に形成された蒸着源である。
請求項６記載の発明は、真空槽と、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の蒸着源を有し、前記真空槽内に前記蒸着材料部から蒸着材料の蒸気を放出できるように構成された蒸着装置である。
【００１９】
本発明は上記のように構成されており、アノード電極と棒状電極の間に電圧を印加した状態で、トリガ電極と蒸着材料の間に電圧を印加すると、蒸着材料とトリガ電極の間にトリガ放電が発生する。
蒸着材料部は蒸着材料を有しており、蒸着材料は蒸着材料部のリングの外周側面に露出している。
【００２０】
蒸着材料はトリガ電極の近傍位置で露出しており、従ってトリガ放電が発生すると蒸着材料部の外周側面から蒸着材料の蒸気が発生する。トリガ放電によって蒸気が発生すると、アノード電極と蒸着材料部の間にアーク放電が発生する。蒸着材料部は外周側面がアノード電極と対向しており、外周側面には蒸着材料が露出しているから、アーク放電によって蒸着材料の蒸気が発生する。
【００２１】
蒸着材料部は、蒸着材料で構成されている場合と、蒸着材料の他に装着部材等の他の部材を有する場合があるが、いずれの場合も蒸着材料部のリング外周側面には蒸着材料が露出しており、トリガ放電やアーク放電が発生すると、その外周側面から蒸着材料の蒸気が発生する。
【発明の効果】
【００２２】
互いのねじ山とねじ溝が噛み合っているので、少しの変形では離間せず、電気的接続が維持される。蒸着材料部と棒状電極はねじ止めされているだけなので、取り外しが容易であり、蒸着材料部の交換を簡単に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１の符号３は本発明の蒸着源であり、符号１はその蒸着源３が真空槽２内に配置された本発明の蒸着装置である。この蒸着源３は、アノード電極部３１と放電部３０とを有している。
【００２４】
アノード電極部３１は、円筒形、多角筒形等の筒状の金属板であり、一方の開口が真空槽内部に向けられ、他方の開口が真空槽２の底壁に密着して固定されている。アノード電極部３１と真空槽２とは電気的に接続されており、真空槽２が接地電位に接続されるとアノード電極部３１も接地電位に置かれるようになっている。
【００２５】
放電部３０は棒状であって、アノード電極部３１に挿通された状態で、取付部３２によって真空槽２の底壁に固定されている。取付部３２は板状であり、表面が真空槽２の内部空間と面するように真空槽２の底壁に取り付けられ、取付部３２の表面上には柱状の台座３３が立設されている。
【００２６】
放電部３０は蒸着材料部３５と、トリガ電極３７と、棒状電極４０とを有している。台座３３の上端には、それぞれリング形状をした絶縁部材３４とトリガ電極３７と絶縁ワッシャ３９と蒸着材料部３５とキャップ３６とが台座３３側からこの順序で配置されている。
【００２７】
台座３３の絶縁部材３４側の面には有底の凹部が形成され、絶縁部材３４と、トリガ電極３７と、絶縁ワッシャ３９と、蒸着材料部３５はそれらの中心軸線が一致して空洞ができ、その空洞が台座３３の凹部の内部空間と連結するようにされ、棒状の部材をその空洞に挿入すると、その部材の先端が凹部内に収容されるよう配置されている。
【００２８】
蒸着材料部３５のリングの内側、即ち蒸着材料部３５の内周面には、雌ねじ４２が設けられており、棒状電極４０の外周面には雄ねじ４１が設けられている。それらのねじが螺合するように、棒状電極４０を回転させながら、キャップ３６から台座３３の凹部に至る空洞に棒状電極４０をねじ込むと、棒状電極４０の先端が台座３３の凹部に収容される。
【００２９】
ここで、台座３３の凹部内周面にも雌ねじが設けられており、棒状電極４０の下端部分の雄ねじ４１と螺合するように構成されている。台座３３は取付部３２に固定されており、棒状電極４０は、台座３３にねじ止め固定されることによって、取付部３２を介して真空槽２に固定される。
【００３０】
絶縁部材３４とトリガ電極３７と絶縁ワッシャ３９と蒸着材料部３５の外周は略同一直径であり、絶縁部材３４とトリガ電極３７と絶縁ワッシャ３９とは、この順序で相互に固定されている。絶縁部材３４は台座３３に固定されており、従って、台座３３から絶縁ワッシャ３９に至る部材は取付部３２に固定されている。
【００３１】
棒状電極４０の上端はフランジ状に成形されており、蒸着材料部３５が棒状電極４０にねじ止め固定されるときに、キャップ３６はフランジ部分によって押圧され、蒸着材料部３５とキャップ３６も取付部３２に固定される。
【００３２】
蒸着材料部３５と棒状電極４０は、雄ねじ４１と雌ねじ４２が螺合することによって電気的にも接続されている。トリガ電極３７は絶縁部材３４と絶縁ワッシャ３９によって台座３３と蒸着材料部３５からそれぞれ絶縁されている。トリガ電極３７と棒状電極４０の間には絶縁部材は配置されていないが、所定距離で離間しており、トリガ電極３７と棒状電極４０の間の空間の絶縁破壊電圧よりも、絶縁ワッシャ３９の表面に沿面放電が生じる電圧が小さいため、トリガ電極３７と棒状電極４０の間に電圧が印加されると、トリガ電極３７と蒸着材料部３５の間にトリガ放電が発生するように構成されている。
【００３３】
真空槽２の外部にはアーク電源２７とトリガ電源２５が配置されている。棒状電極４０とアノード電極部３１はアーク電源２７に接続されており、トリガ電極３７と棒状電極４０はトリガ電源２５に接続されている。
【００３４】
真空槽２に接続された真空排気系９を動作させ、真空槽２内を真空排気した後、真空雰囲気を維持しながら成膜対象の基板を真空槽内に搬入し、真空槽２内に配置された基板ホルダ１９に保持させる。
【００３５】
図１の符号１１は、基板ホルダ１９に保持された状態の基板を示している。
この基板１１は、蒸着源３の真上に位置しており、基板１１の成膜面が蒸着源３に向けられている。
【００３６】
アーク電源２７とトリガ電源２５を起動し、アノード電極部３１と真空槽２を接地電位に接続した状態で、棒状電極４０に負の電圧を印加し、トリガ電極３７に正の電圧を印加すると、トリガ電極３７と蒸着材料部３５との間にトリガ放電が起こり、該トリガ放電によってアノード電極部３１と蒸着材料部３５との間にアーク放電が誘起され、大きなアーク電流が流れる。
ここでは、蒸着材料部３５は成膜目的物質である蒸着材料で構成されており、アーク電流が流れると蒸着材料部３５から蒸着材料の粒子が放出される。
【００３７】
キャップ３６の先端は棒状電極４０のフランジ部分よりも上方に突き出され、フランジ部分はキャップ３６の内周側面で取り囲まれている。従って、キャップ３６とアノード電極部３１の間でアーク放電が起こることはあっても、フランジ部分とアノード電極部３１の間ではアーク放電が起こらない。
【００３８】
キャップ３６は蒸着材料部３５の蒸着材料と同じ材料で構成されており、キャップ３６とアノード電極部３１の間でアーク放電が起こると、蒸着材料の粒子が放出される。結局、アノード電極部３１の内部には蒸着材料の粒子だけが放出される。
【００３９】
なお、アーク電源２７には不図示のコンデンサユニットが装備されており、アーク電流は、コンデンサユニットの放電によって供給されるから、アーク電流は、コンデンサユニットの放電時間だけ維持されるパルス状の波形になる。
【００４０】
大きなアーク電流が棒状電極４０を流れると、そのアーク電流がアノード電極部３１の内部に磁界を形成する。電子はその磁界によるローレンツ力によってアノード電極部３１の開口から真空槽２内に放出される。
【００４１】
蒸着材料部３５の側面からアノード電極部３１の内壁面に向けて放出された蒸着材料の粒子のうち、電荷質量比（電荷／質量）の大きい微小荷電粒子は、アーク電流が形成する磁界によって飛行方向が曲げられるが、電荷粒子比の小さい巨大荷電粒子や中性粒子はアーク電流により飛行方向が曲げられる率が少なく、アノード電極部３１の内壁に付着する。
【００４２】
電荷質量比の大きな荷電粒子は、電子に引き付けられ、アノード電極部３１の開口から原子状イオンやクラスタとなって放出される。その蒸気が基板ホルダ１９に保持された基板１１に到着すると、基板１１表面に薄膜が成長する。このように、基板１１には反応性の高い微小荷電粒子のみ達成するので、基板１１表面には膜質の良好な薄膜が形成される。
【００４３】
アーク放電の回数が増える程、薄膜の成長量が大きくなるが、アーク放電が繰り返し行われると蒸着材料部３５は昇温して熱膨張又は軟化し、その形状が変形することがある。
【００４４】
図２は蒸着材料部３５が変形した後の状態を示している。蒸着材料部３５が低融点材料（例えば錫、融点２３１℃）で構成されている場合は特に変形の度合いが大きいが、上述したように、本発明の棒状電極４０と蒸着材料部３５には雄ねじ４１と雌ねじ４２がそれぞれ形成されており、互いに強く密着されているため、蒸着材料部３５は変形して、キャップ３６から離間しても、内周壁面の少なくとも一部が棒状電極４０に密着した状態が維持される。即ち、蒸着材料部３５が棒状電極４０に電気的に接続された状態が維持されるので、アーク放電が停止しない。
【００４５】
図３は、蒸着材料部３５と棒状電極４０の螺合部分の拡大図である。
雄ねじ４１と雌ねじ４２が螺合することにより、蒸着材料部３５は棒状電極４０に密着しており、繰り返しアーク放電が誘起され、蒸着材料部３５が変形しても、棒状電極４０と蒸着材料部３５との間は離間せず、蒸着材料部３５と棒状電極４０の間の電気的接続が維持されるようになっている。
【００４６】
雄ねじ４１と雌ねじ４２の螺合の程度は深い程電気的接続を維持しやすいが、その螺合の程度が深すぎると少しの変形で交換ができなくなるという不都合が生じ得る。
【００４７】
図４は雄ねじ４１と雌ねじ４２が螺合した部分を更に拡大した拡大断面図であり、雄ねじ４１と雌ねじ４２の螺合深さＨを変え、アーク放電を発生できた回数、及び、アーク放電を生じなくなった棒状電極４０を取り外せたか否かを調査した。その結果を下記表１に示す。
【００４８】
【表１】
【００４９】
上記表１は、雄ねじと雌ねじの一方のねじ山が他方のねじ溝に挿入されるときに、雄ねじ側面と雌ねじ側面とが接触する直前の状態を螺合深さＨ＝ゼロとし、接触した部分のねじ山が形成されている円筒Ｃ側面に対して垂直な方向の長さである。即ち、螺合したときに互いのねじ山の接触しないねじ山先端部分Ａは螺合深さに算入しないものとした。
【００５０】
上記表１から、螺合深さＨは、
０．３７９ｍｍ≦Ｈ≦０．６７７ｍｍ
の範囲にあると、電気的接続の維持と取り外し性が両立することが分かる。
【００５１】
なお、前記棒状電極４０は、インバー４２、インコネル、ステンレス、タングステン、又はタンタルのいずれかによって構成すると、熱膨張を小さくすることができるので、蒸着材料部３５の交換時に、棒状電極４０を容易に取り外すことができる。
【００５２】
ここで、インバー４２とはニッケル鉄合金の一種であって、ＮｉとＣｏの合計含有量が４１重量％以上４２重量％以下であり、微量のＭｎ（０．１重量％以上１．２５重量％以下）を含み、残りがＦｅである。
【００５３】
以上は、棒状電極４０の外周面全部に雄ねじ４１を形成し、その雄ねじ４１を蒸着材料部３５と台座３３の雌ねじに螺合させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、雄ねじ４１は、棒状電極４０の少なくとも蒸着材料部３５の雌ねじ４２と螺合する部分にだけ設ければよい。
【００５４】
トリガ電源２５やアーク電源２７の設定も特に限定されないが、その一例について具体的に説明すると、アーク電源２７に接続されるコンデンサユニットは１つの容量が２２００μＦ（耐圧：１６０Ｖ）のコンデンサが４つ並列に接続されている。トリガ電源２５はパルストランスからなり、入力２００Ｖのμｓのパルス電圧を約１７倍に変圧して３．４ｋＶ（数μＡ）出力する。アーク電源２７は１００Ｖ、数Ａの容量の直流電源であり、前記８８００μＦのコンデンサユニットに充電している。充電時間は約１秒必要とするので、このシステムでは８８００μＦで放電を繰り返す場合の周期は１Ｈｚで行われる。
【００５５】
この条件で、錫からなる蒸着材料部３５を用いて蒸着を行ったところ、本発明の蒸着装置１では、５０００発以上安定的にアーク放電が継続されることが確認された。
【００５６】
以上は、蒸着材料部３５が蒸着材料で形成された場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図５の符号５５は本発明に用いる蒸着材料部の他の例を示しており、この蒸着材料部５５は蒸着材料５６の他に、蒸着材料５６とは異なる材料で構成された装着部材５７とを有している。
【００５７】
蒸着材料５６はリング状であって、装着部材５７は外周が蒸着材料５６のリングの内周と略等しい大きさのリング状であり、装着部材５７は外周側面が蒸着材料５６の内周側面と密着するように、蒸着材料５６の内部に配置されている。従って、蒸着材料部５５全体の形状もリング状になっている。
【００５８】
雌ねじ５２は装着部材５７の内周側面に形成されている。従って雌ねじ５２は蒸着材料部５５のリングの内周面に位置し、図３に示した蒸着材料部３５と同様に、雌ねじ５２によってこの蒸着材料部５５も容易に交換される。
【００５９】
装着部材５７は導電材料で構成されており、蒸着材料５６に密着することで、蒸着材料５６と電気的に接続されているから、雌ねじ５２を棒状電極４０の雄ねじ４１と螺合させると、装着部材５７を介して蒸着材料５６が棒状電極４０に電気的に接続される。
【００６０】
この蒸着材料部５５においても、雌ねじ５２と雄ねじ４１が螺合することで蒸着材料部５５と棒状電極４０が互いに強く密着されているため、蒸着材料５６が変形しても蒸着材料部５５と棒状電極４０との電気的接続が維持される。
【００６１】
装着部材５７を熱膨張係数の高い材料、又は融点が７００℃以下の低融点材料で構成すれば、蒸着材料５６が変形するときに装着部材５７も一緒に変形し、装着部材５７と蒸着材料５６が密着した状態が維持される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の蒸着装置を説明する断面図
【図２】蒸着材料が変形した蒸着源の拡大断面図
【図３】雄ねじと雌ねじの螺合部分の拡大断面図
【図４】螺合部分を更に拡大した拡大断面図
【図５】蒸着材料の他の例を説明する断面図
【図６】従来技術の蒸着装置を説明する断面図
【図７】蒸着材料が変形した従来技術の蒸着源の拡大断面図
【符号の説明】
【００６３】
１……蒸着装置 ２……真空槽 ３……蒸着源 ３１……アノード電極部 ３５……蒸着材料 ３７……トリガ電極 ４０……棒状電極 ４１……雄ねじ ４２……雌ねじ
【技術分野】
【０００１】
本発明は蒸着装置に関し、特に、ダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）や半導体の高誘電体薄膜、絶縁膜、銅薄膜、磁性薄膜、高融点金属薄膜に適した成膜装置。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）や半導体の高誘電体薄膜、絶縁膜、銅薄膜、磁性薄膜、高融点金属薄膜等の成膜形成する際には、蒸着装置が用いられている。
【０００３】
図６の符号１０１は従来の蒸着装置の一例であり、この蒸着装置１０１は真空槽１０２を有している。この真空槽１０２内部には、蒸着源１０３が配置されている。
【０００４】
蒸着源１０３は筒状のアノード電極部１３１と、棒状の放電部１３０とを有している。アノード電極部１３１と放電部１３０は、放電部１３０がアノード電極部１３１に挿通された状態で、取付部１３２によって真空槽１０２内の底壁にそれぞれ固定されている。
【０００５】
放電部１３０は蒸着材料部１３５と、トリガ電極１３７と、棒状電極１４０とを有している。取付部１３２の取り付け台１３３上には絶縁部材１３４が配置され、トリガ電極１３７はこの絶縁部材１３４上に配置され、蒸着材料部１３５は絶縁ワッシャ１３９を介してトリガ電極１３７上に配置されている。
【０００６】
蒸着材料部１３５とトリガ電極１３７と絶縁部材１３４と絶縁ワッシャ１３９はそれぞれリング状に形成されており、棒状電極１４０はトリガ電極１３７と蒸着材料部１３５と絶縁部材１３４と絶縁ワッシャ１３９にそれぞれ挿通された状態でその下端が取付部１３２に固定され、上端は蒸着材料部１３５と同じ材料で構成されたキャップ１３６によって覆われている。
【０００７】
蒸着材料部１３５と棒状電極１４０は電気的に接続され、他方トリガ電極１３７は棒状電極１４０と蒸着材料部１３５から絶縁されている。棒状電極１４０とトリガ電極１３７はトリガ電源１２５に接続されており、アノード電極部１３１と真空槽１０２を接地電位に接続した状態で、棒状電極１４０に負の電圧を印加し、トリガ電極１３７に正の電圧を印加すると、トリガ電極１３７と蒸着材料部１３５との間にトリガ放電が起こり、該トリガ放電によってアノード電極部１３１と蒸着材料部１３５との間にアーク放電が誘起され、大きなアーク電流が流れることにより、蒸着材料部１３５から蒸着材料の粒子が放出される。
【０００８】
蒸着材料の粒子のうち、電荷粒子比の小さい巨大荷電粒子や中性粒子は直進し、アノード電極部１３１の壁面に衝突するが、電荷質量比の大きな荷電粒子はアノード電極部１３１の開口から放出され、真空槽１０２内に配置された基板１１１に到達し、薄膜を成長させる。
【０００９】
ところで、上述した蒸着装置１０１で成膜を続けると、トリガ電極１３７と蒸着材料部１３５との間の絶縁ワッシャ１３９が徐々に汚れ、その絶縁抵抗が低下する。トリガ電極１３７と蒸着材料部１３５との間の絶縁抵抗が低下すると、充分なトリガ（電子やイオン）が発生しなくなり、アーク放電が誘発されなくなるため、結果として成膜が停止してしまう。
【００１０】
例えば、蒸着材料部１３５の蒸着材料として鉄（Ｆｅ）を用いた場合は、２００００発を超えるとアーク放電が誘発されなくなり、ハフニウム（Ｈｆ）やモリブデン（Ｍｏ）を蒸着材料として用いた場合、１００００発を超えるとアーク放電が誘発されなくなる。
【００１１】
従って、膜厚の大きい膜を形成する場合や、複数の基板１１１を連続して成膜する場合には、放電部１３０を交換する必要があり、放電部１３０の交換の毎に真空槽１０２内が大気に晒されるため、作業効率が悪い。
【００１２】
例えば、一つの真空槽１０２内に複数の蒸着源１０３を設け、一つの蒸着源１０３の成膜効率が低下したら、基板ホルダ１１９を他の蒸着源１０３上に移動させ、成膜を行うことも可能である。しかしながら、そのような蒸着装置は蒸着源１０３を複数設ける分、大型であり、また基板ホルダ１１９を移動可能にする分、製造コストが高くなる。
【００１３】
上述した問題を解決するための蒸着源の典型例が下記特許文献１には開示されている。この蒸着源は、アノード電極部と、アノード電極部の近傍に配置された放電部とを有する。放電部は棒状電極と、複数の略筒状蒸着材料部と、複数の略筒状トリガ電極と、略筒状トリガ電極及び略筒状蒸着材料部を交互に配列して、これらを挿通する棒状電極と、該棒状電極の一端に配設されるキャップとを有する。略筒状蒸着材料部と略筒状トリガ電極との間には、夫々に絶縁部材が配設されている。
【００１４】
これらの絶縁部材によって略筒状トリガ電極の夫々は棒状電極と筒状蒸着材料部とから電気的に絶縁されており、略筒状蒸着材料部は、キャップに接触したものを除いては、その内周面が棒状電極の外周面に接触していることによって棒状電極に電気的に接触されている。筒状蒸着材料部においてキャップに接触したものは、キャップを介して棒状電極に電気的に接続されている。
【００１５】
しかしながら、上述されたような蒸着源では、アーク放電を繰り返していると筒状蒸着材料部に変形がおこり、これによって棒状電極の外周面と略筒状蒸着材料部の内周面とが離間、或いはキャップと略筒状蒸着材料部の上面が離間してしまう。図７は筒状蒸着材料部１３５が変形して、棒状電極１４０の外周面からも、キャップ１３６の外周面からも離間した状態を示しており、これによって略筒状蒸着材料部１３５がカソード電位から絶縁されてしまいアーク放電が停止する恐れがある。
【００１６】
蒸着材料部１３５の変形は、アーク放電によって蒸着材料部１３５の温度が上昇するためにであり、特に低融点材料で蒸着材料部１３５を構成した場合にはアーク放電の停止が起こりやすかった。例えば、蒸着材料部１３５が錫（融点：２３１℃）の場合であると、コンデンサの容量が２２００μＦ、充電電圧１００Ｖ、アーク放電の周期が１Ｈｚの条件では、アーク放電の回数が２００〜３００発で放電が停止した。
【特許文献１】特開２００４−１９７１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明の目的は、交換が容易であって、アーク放電回数を増加させることができる蒸着源と、その蒸着源を用いた蒸着装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、互いに絶縁されたアノード電極と、トリガ電極と、棒状電極と、蒸着材料部とを有し、前記蒸着材料部はリング形状であって、前記棒状電極に装着されて前記棒状電極に接触した蒸着源であって、前記棒状電極と前記蒸着材料部とが接触する面には、それぞれ雄ねじと雌ねじが形成され、前記蒸着材料部と前記棒状電極とは螺合された蒸着源である。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の蒸着源であって、前記雄ねじと雌ねじの螺合深さＨは、０．３７９ｍｍ以上０．６７７ｍｍ以下の範囲にされた蒸着源である。
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の蒸着源であって、前記棒状電極は、インバー４２、インコネル、ステンレス、タングステン、又はタンタルのいずれかの材料が棒状にされて構成された蒸着源である。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源であって、前記雌ねじは前記蒸着材料部が有する蒸着材料に形成された蒸着源である。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源であって、前記蒸着材料部は装着部材を有し、前記雌ねじは前記装着部材に形成された蒸着源である。
請求項６記載の発明は、真空槽と、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の蒸着源を有し、前記真空槽内に前記蒸着材料部から蒸着材料の蒸気を放出できるように構成された蒸着装置である。
【００１９】
本発明は上記のように構成されており、アノード電極と棒状電極の間に電圧を印加した状態で、トリガ電極と蒸着材料の間に電圧を印加すると、蒸着材料とトリガ電極の間にトリガ放電が発生する。
蒸着材料部は蒸着材料を有しており、蒸着材料は蒸着材料部のリングの外周側面に露出している。
【００２０】
蒸着材料はトリガ電極の近傍位置で露出しており、従ってトリガ放電が発生すると蒸着材料部の外周側面から蒸着材料の蒸気が発生する。トリガ放電によって蒸気が発生すると、アノード電極と蒸着材料部の間にアーク放電が発生する。蒸着材料部は外周側面がアノード電極と対向しており、外周側面には蒸着材料が露出しているから、アーク放電によって蒸着材料の蒸気が発生する。
【００２１】
蒸着材料部は、蒸着材料で構成されている場合と、蒸着材料の他に装着部材等の他の部材を有する場合があるが、いずれの場合も蒸着材料部のリング外周側面には蒸着材料が露出しており、トリガ放電やアーク放電が発生すると、その外周側面から蒸着材料の蒸気が発生する。
【発明の効果】
【００２２】
互いのねじ山とねじ溝が噛み合っているので、少しの変形では離間せず、電気的接続が維持される。蒸着材料部と棒状電極はねじ止めされているだけなので、取り外しが容易であり、蒸着材料部の交換を簡単に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１の符号３は本発明の蒸着源であり、符号１はその蒸着源３が真空槽２内に配置された本発明の蒸着装置である。この蒸着源３は、アノード電極部３１と放電部３０とを有している。
【００２４】
アノード電極部３１は、円筒形、多角筒形等の筒状の金属板であり、一方の開口が真空槽内部に向けられ、他方の開口が真空槽２の底壁に密着して固定されている。アノード電極部３１と真空槽２とは電気的に接続されており、真空槽２が接地電位に接続されるとアノード電極部３１も接地電位に置かれるようになっている。
【００２５】
放電部３０は棒状であって、アノード電極部３１に挿通された状態で、取付部３２によって真空槽２の底壁に固定されている。取付部３２は板状であり、表面が真空槽２の内部空間と面するように真空槽２の底壁に取り付けられ、取付部３２の表面上には柱状の台座３３が立設されている。
【００２６】
放電部３０は蒸着材料部３５と、トリガ電極３７と、棒状電極４０とを有している。台座３３の上端には、それぞれリング形状をした絶縁部材３４とトリガ電極３７と絶縁ワッシャ３９と蒸着材料部３５とキャップ３６とが台座３３側からこの順序で配置されている。
【００２７】
台座３３の絶縁部材３４側の面には有底の凹部が形成され、絶縁部材３４と、トリガ電極３７と、絶縁ワッシャ３９と、蒸着材料部３５はそれらの中心軸線が一致して空洞ができ、その空洞が台座３３の凹部の内部空間と連結するようにされ、棒状の部材をその空洞に挿入すると、その部材の先端が凹部内に収容されるよう配置されている。
【００２８】
蒸着材料部３５のリングの内側、即ち蒸着材料部３５の内周面には、雌ねじ４２が設けられており、棒状電極４０の外周面には雄ねじ４１が設けられている。それらのねじが螺合するように、棒状電極４０を回転させながら、キャップ３６から台座３３の凹部に至る空洞に棒状電極４０をねじ込むと、棒状電極４０の先端が台座３３の凹部に収容される。
【００２９】
ここで、台座３３の凹部内周面にも雌ねじが設けられており、棒状電極４０の下端部分の雄ねじ４１と螺合するように構成されている。台座３３は取付部３２に固定されており、棒状電極４０は、台座３３にねじ止め固定されることによって、取付部３２を介して真空槽２に固定される。
【００３０】
絶縁部材３４とトリガ電極３７と絶縁ワッシャ３９と蒸着材料部３５の外周は略同一直径であり、絶縁部材３４とトリガ電極３７と絶縁ワッシャ３９とは、この順序で相互に固定されている。絶縁部材３４は台座３３に固定されており、従って、台座３３から絶縁ワッシャ３９に至る部材は取付部３２に固定されている。
【００３１】
棒状電極４０の上端はフランジ状に成形されており、蒸着材料部３５が棒状電極４０にねじ止め固定されるときに、キャップ３６はフランジ部分によって押圧され、蒸着材料部３５とキャップ３６も取付部３２に固定される。
【００３２】
蒸着材料部３５と棒状電極４０は、雄ねじ４１と雌ねじ４２が螺合することによって電気的にも接続されている。トリガ電極３７は絶縁部材３４と絶縁ワッシャ３９によって台座３３と蒸着材料部３５からそれぞれ絶縁されている。トリガ電極３７と棒状電極４０の間には絶縁部材は配置されていないが、所定距離で離間しており、トリガ電極３７と棒状電極４０の間の空間の絶縁破壊電圧よりも、絶縁ワッシャ３９の表面に沿面放電が生じる電圧が小さいため、トリガ電極３７と棒状電極４０の間に電圧が印加されると、トリガ電極３７と蒸着材料部３５の間にトリガ放電が発生するように構成されている。
【００３３】
真空槽２の外部にはアーク電源２７とトリガ電源２５が配置されている。棒状電極４０とアノード電極部３１はアーク電源２７に接続されており、トリガ電極３７と棒状電極４０はトリガ電源２５に接続されている。
【００３４】
真空槽２に接続された真空排気系９を動作させ、真空槽２内を真空排気した後、真空雰囲気を維持しながら成膜対象の基板を真空槽内に搬入し、真空槽２内に配置された基板ホルダ１９に保持させる。
【００３５】
図１の符号１１は、基板ホルダ１９に保持された状態の基板を示している。
この基板１１は、蒸着源３の真上に位置しており、基板１１の成膜面が蒸着源３に向けられている。
【００３６】
アーク電源２７とトリガ電源２５を起動し、アノード電極部３１と真空槽２を接地電位に接続した状態で、棒状電極４０に負の電圧を印加し、トリガ電極３７に正の電圧を印加すると、トリガ電極３７と蒸着材料部３５との間にトリガ放電が起こり、該トリガ放電によってアノード電極部３１と蒸着材料部３５との間にアーク放電が誘起され、大きなアーク電流が流れる。
ここでは、蒸着材料部３５は成膜目的物質である蒸着材料で構成されており、アーク電流が流れると蒸着材料部３５から蒸着材料の粒子が放出される。
【００３７】
キャップ３６の先端は棒状電極４０のフランジ部分よりも上方に突き出され、フランジ部分はキャップ３６の内周側面で取り囲まれている。従って、キャップ３６とアノード電極部３１の間でアーク放電が起こることはあっても、フランジ部分とアノード電極部３１の間ではアーク放電が起こらない。
【００３８】
キャップ３６は蒸着材料部３５の蒸着材料と同じ材料で構成されており、キャップ３６とアノード電極部３１の間でアーク放電が起こると、蒸着材料の粒子が放出される。結局、アノード電極部３１の内部には蒸着材料の粒子だけが放出される。
【００３９】
なお、アーク電源２７には不図示のコンデンサユニットが装備されており、アーク電流は、コンデンサユニットの放電によって供給されるから、アーク電流は、コンデンサユニットの放電時間だけ維持されるパルス状の波形になる。
【００４０】
大きなアーク電流が棒状電極４０を流れると、そのアーク電流がアノード電極部３１の内部に磁界を形成する。電子はその磁界によるローレンツ力によってアノード電極部３１の開口から真空槽２内に放出される。
【００４１】
蒸着材料部３５の側面からアノード電極部３１の内壁面に向けて放出された蒸着材料の粒子のうち、電荷質量比（電荷／質量）の大きい微小荷電粒子は、アーク電流が形成する磁界によって飛行方向が曲げられるが、電荷粒子比の小さい巨大荷電粒子や中性粒子はアーク電流により飛行方向が曲げられる率が少なく、アノード電極部３１の内壁に付着する。
【００４２】
電荷質量比の大きな荷電粒子は、電子に引き付けられ、アノード電極部３１の開口から原子状イオンやクラスタとなって放出される。その蒸気が基板ホルダ１９に保持された基板１１に到着すると、基板１１表面に薄膜が成長する。このように、基板１１には反応性の高い微小荷電粒子のみ達成するので、基板１１表面には膜質の良好な薄膜が形成される。
【００４３】
アーク放電の回数が増える程、薄膜の成長量が大きくなるが、アーク放電が繰り返し行われると蒸着材料部３５は昇温して熱膨張又は軟化し、その形状が変形することがある。
【００４４】
図２は蒸着材料部３５が変形した後の状態を示している。蒸着材料部３５が低融点材料（例えば錫、融点２３１℃）で構成されている場合は特に変形の度合いが大きいが、上述したように、本発明の棒状電極４０と蒸着材料部３５には雄ねじ４１と雌ねじ４２がそれぞれ形成されており、互いに強く密着されているため、蒸着材料部３５は変形して、キャップ３６から離間しても、内周壁面の少なくとも一部が棒状電極４０に密着した状態が維持される。即ち、蒸着材料部３５が棒状電極４０に電気的に接続された状態が維持されるので、アーク放電が停止しない。
【００４５】
図３は、蒸着材料部３５と棒状電極４０の螺合部分の拡大図である。
雄ねじ４１と雌ねじ４２が螺合することにより、蒸着材料部３５は棒状電極４０に密着しており、繰り返しアーク放電が誘起され、蒸着材料部３５が変形しても、棒状電極４０と蒸着材料部３５との間は離間せず、蒸着材料部３５と棒状電極４０の間の電気的接続が維持されるようになっている。
【００４６】
雄ねじ４１と雌ねじ４２の螺合の程度は深い程電気的接続を維持しやすいが、その螺合の程度が深すぎると少しの変形で交換ができなくなるという不都合が生じ得る。
【００４７】
図４は雄ねじ４１と雌ねじ４２が螺合した部分を更に拡大した拡大断面図であり、雄ねじ４１と雌ねじ４２の螺合深さＨを変え、アーク放電を発生できた回数、及び、アーク放電を生じなくなった棒状電極４０を取り外せたか否かを調査した。その結果を下記表１に示す。
【００４８】
【表１】
【００４９】
上記表１は、雄ねじと雌ねじの一方のねじ山が他方のねじ溝に挿入されるときに、雄ねじ側面と雌ねじ側面とが接触する直前の状態を螺合深さＨ＝ゼロとし、接触した部分のねじ山が形成されている円筒Ｃ側面に対して垂直な方向の長さである。即ち、螺合したときに互いのねじ山の接触しないねじ山先端部分Ａは螺合深さに算入しないものとした。
【００５０】
上記表１から、螺合深さＨは、
０．３７９ｍｍ≦Ｈ≦０．６７７ｍｍ
の範囲にあると、電気的接続の維持と取り外し性が両立することが分かる。
【００５１】
なお、前記棒状電極４０は、インバー４２、インコネル、ステンレス、タングステン、又はタンタルのいずれかによって構成すると、熱膨張を小さくすることができるので、蒸着材料部３５の交換時に、棒状電極４０を容易に取り外すことができる。
【００５２】
ここで、インバー４２とはニッケル鉄合金の一種であって、ＮｉとＣｏの合計含有量が４１重量％以上４２重量％以下であり、微量のＭｎ（０．１重量％以上１．２５重量％以下）を含み、残りがＦｅである。
【００５３】
以上は、棒状電極４０の外周面全部に雄ねじ４１を形成し、その雄ねじ４１を蒸着材料部３５と台座３３の雌ねじに螺合させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、雄ねじ４１は、棒状電極４０の少なくとも蒸着材料部３５の雌ねじ４２と螺合する部分にだけ設ければよい。
【００５４】
トリガ電源２５やアーク電源２７の設定も特に限定されないが、その一例について具体的に説明すると、アーク電源２７に接続されるコンデンサユニットは１つの容量が２２００μＦ（耐圧：１６０Ｖ）のコンデンサが４つ並列に接続されている。トリガ電源２５はパルストランスからなり、入力２００Ｖのμｓのパルス電圧を約１７倍に変圧して３．４ｋＶ（数μＡ）出力する。アーク電源２７は１００Ｖ、数Ａの容量の直流電源であり、前記８８００μＦのコンデンサユニットに充電している。充電時間は約１秒必要とするので、このシステムでは８８００μＦで放電を繰り返す場合の周期は１Ｈｚで行われる。
【００５５】
この条件で、錫からなる蒸着材料部３５を用いて蒸着を行ったところ、本発明の蒸着装置１では、５０００発以上安定的にアーク放電が継続されることが確認された。
【００５６】
以上は、蒸着材料部３５が蒸着材料で形成された場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図５の符号５５は本発明に用いる蒸着材料部の他の例を示しており、この蒸着材料部５５は蒸着材料５６の他に、蒸着材料５６とは異なる材料で構成された装着部材５７とを有している。
【００５７】
蒸着材料５６はリング状であって、装着部材５７は外周が蒸着材料５６のリングの内周と略等しい大きさのリング状であり、装着部材５７は外周側面が蒸着材料５６の内周側面と密着するように、蒸着材料５６の内部に配置されている。従って、蒸着材料部５５全体の形状もリング状になっている。
【００５８】
雌ねじ５２は装着部材５７の内周側面に形成されている。従って雌ねじ５２は蒸着材料部５５のリングの内周面に位置し、図３に示した蒸着材料部３５と同様に、雌ねじ５２によってこの蒸着材料部５５も容易に交換される。
【００５９】
装着部材５７は導電材料で構成されており、蒸着材料５６に密着することで、蒸着材料５６と電気的に接続されているから、雌ねじ５２を棒状電極４０の雄ねじ４１と螺合させると、装着部材５７を介して蒸着材料５６が棒状電極４０に電気的に接続される。
【００６０】
この蒸着材料部５５においても、雌ねじ５２と雄ねじ４１が螺合することで蒸着材料部５５と棒状電極４０が互いに強く密着されているため、蒸着材料５６が変形しても蒸着材料部５５と棒状電極４０との電気的接続が維持される。
【００６１】
装着部材５７を熱膨張係数の高い材料、又は融点が７００℃以下の低融点材料で構成すれば、蒸着材料５６が変形するときに装着部材５７も一緒に変形し、装着部材５７と蒸着材料５６が密着した状態が維持される。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の蒸着装置を説明する断面図
【図２】蒸着材料が変形した蒸着源の拡大断面図
【図３】雄ねじと雌ねじの螺合部分の拡大断面図
【図４】螺合部分を更に拡大した拡大断面図
【図５】蒸着材料の他の例を説明する断面図
【図６】従来技術の蒸着装置を説明する断面図
【図７】蒸着材料が変形した従来技術の蒸着源の拡大断面図
【符号の説明】
【００６３】
１……蒸着装置 ２……真空槽 ３……蒸着源 ３１……アノード電極部 ３５……蒸着材料 ３７……トリガ電極 ４０……棒状電極 ４１……雄ねじ ４２……雌ねじ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに絶縁されたアノード電極と、トリガ電極と、棒状電極と、蒸着材料部とを有し、
前記蒸着材料部はリング形状であって、前記棒状電極に装着されて前記棒状電極に接触した蒸着源であって、
前記棒状電極と前記蒸着材料部とが接触する面には、それぞれ雄ねじと雌ねじが形成され、前記蒸着材料部と前記棒状電極とは螺合された蒸着源。
【請求項２】
前記雄ねじと雌ねじの螺合深さＨは、０．３７９ｍｍ以上０．６７７ｍｍ以下の範囲にされた請求項１記載の蒸着源。
【請求項３】
前記棒状電極は、インバー４２、インコネル、ステンレス、タングステン、又はタンタルのいずれかの材料が棒状にされて構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の蒸着源。
【請求項４】
前記雌ねじは前記蒸着材料部が有する蒸着材料に形成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源。
【請求項５】
前記蒸着材料部は装着部材を有し、
前記雌ねじは前記装着部材に形成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源。
【請求項６】
真空槽と、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の蒸着源を有し、前記真空槽内に前記蒸着材料部から蒸着材料の蒸気を放出できるように構成された蒸着装置。
【請求項１】
互いに絶縁されたアノード電極と、トリガ電極と、棒状電極と、蒸着材料部とを有し、
前記蒸着材料部はリング形状であって、前記棒状電極に装着されて前記棒状電極に接触した蒸着源であって、
前記棒状電極と前記蒸着材料部とが接触する面には、それぞれ雄ねじと雌ねじが形成され、前記蒸着材料部と前記棒状電極とは螺合された蒸着源。
【請求項２】
前記雄ねじと雌ねじの螺合深さＨは、０．３７９ｍｍ以上０．６７７ｍｍ以下の範囲にされた請求項１記載の蒸着源。
【請求項３】
前記棒状電極は、インバー４２、インコネル、ステンレス、タングステン、又はタンタルのいずれかの材料が棒状にされて構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の蒸着源。
【請求項４】
前記雌ねじは前記蒸着材料部が有する蒸着材料に形成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源。
【請求項５】
前記蒸着材料部は装着部材を有し、
前記雌ねじは前記装着部材に形成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の蒸着源。
【請求項６】
真空槽と、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の蒸着源を有し、前記真空槽内に前記蒸着材料部から蒸着材料の蒸気を放出できるように構成された蒸着装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００７−２９１４２４（Ｐ２００７−２９１４２４Ａ）
【公開日】平成１９年１１月８日（２００７．１１．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１１８１１９（Ｐ２００６−１１８１１９）
【出願日】平成１８年４月２１日（２００６．４．２１）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月８日（２００７．１１．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年４月２１日（２００６．４．２１）
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
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