【課題】半導体デバイスの膜の特性をインラインで測定して、定期的なモニタリング作業を不要にした半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１上に複数の膜を積層して成膜する。この基板１上に形成され上記基板１上の特定エリアを示すパターンを認識し、この特定エリアのみの上記複数の膜に、Ｘ線をマイクロ化されたスポット径で照射して、Ｘ線反射率測定によって、上記各膜の特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】ガスに含まれる複数の分子成分を互いに同時にＰＩ法によるイオン化対象とする。例えば、ある瞬間に発生したガスに含まれる複数の分子成分をＰＩ法に基づいてリアルタイムで正確に分析する。
【解決手段】試料室Ｒ０内の試料Ｓで発生したガスを分析室Ｒ１へ搬送するガス搬送装置４と、ガスをイオン化するイオン化装置１９と、イオンを質量電荷比ごとに分離する四重極フィルタ２１と、分離されたイオンを検出するイオン検出装置２２とを有するガス分析装置である。イオン化装置１９は、ガス搬送装置４のガス排出口の近傍に設けられたイオン化領域と、そのイオン化領域へ光を照射するランプ３３Ａとを有する。ランプ３３Ａは、光の指向性がレーザ光よりも低くて広がって進む光を放射するので、イオン化装置１９内のイオン化領域へ入ったガスは広い範囲で光の照射を受け、その内部の複数のガス成分が同時にイオン化される。 （もっと読む）

【課題】 測定データファイルに対し、ユーザの好みや必要性等に応じて任意のファイル名を自動的に付与できるようにする。
【解決手段】 あらかじめ記憶されている情報のうちから任意の情報をユーザの指定に応じて選択し、当該選択情報に基づいてファイル名フォーマットを設定する。そして、保存される測定データファイルに対し、あらかじめ設定しておいたファイル名フォーマットに基づきファイル名を自動的に生成して付与する。 （もっと読む）

【課題】ＥＩ及びＰＩの双方が可能であって、小型に構成でき、ＰＩの際に広い範囲にわたって試料分子に対し一様に光を照射することにより検出効率及び感度の向上が可能なイオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン化装置２は、試料分子Ａをイオン化するためのイオン化空間２ｂを有するイオン化室２ａと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに電子衝撃を与えて試料分子Ａをイオン化するためのフィラメント２３ａ，２３ｂと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに紫外光を照射して試料分子Ａをイオン化するための放電管２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】配向密度分布関数に適切な周期性をもたせて，かつ，回折面の対称性を考慮することで，傾斜角度φが大きいところでも，多結晶材料の配向性の定量評価の信頼性を高める。
【解決手段】 回折面法線分布関数Ｐ（φ）として，配向密度分布関数を周期化し，かつ，重ね合わせたものを用いることにより，この回折面法線密度分布関数Ｐに基づいて理論的な回折Ｘ線強度分布を計算すると，そのロッキングカーブは，現実の回折現象を良く反映したものになる。そのようにして得られた理論ロッキングカーブを測定ロッキングカーブにフィッティングさせて特性パラメータを求めれば，多結晶材料の配向性の定量評価の信頼性が向上する。 （もっと読む）

【課題】情報記憶能力を持ったチップを用いたＸ線測定装置においてその情報記憶能力を有効に活用して、測定結果データと検体との関係を極めて正確に認識できるようにする。
【解決手段】Ｘ線源から発生したＸ線を測定位置に置かれた検体４に照射すると共に検体４を透過したＸ線をＸ線検出器によって検出するＸ線測定装置５と、検体に固定されると共に検体４に関する情報が蓄積されるチップ６と、チップ６に対して信号の授受を行うリーダライタ７と、データを記憶する記憶媒体２６と、Ｘ線測定装置５を用いた測定によって得られた測定結果データ及びその測定結果データに対応する測定関連データを、チップ６内のデータ記憶部に記憶された検体識別データに関連させて記憶媒体２６に記憶させると共に、チップ６内のデータ書込み領域に測定関連データを書き込む処理を行う制御部２とを有するＸ線測定装置である。 （もっと読む）

【課題】 カメラ長を短くし、もって、多くのラウエ斑点を観察することが可能であり、かつ、その分解能にも優れた背面反射Ｘ線回折像観察装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管１０からのＸ線を試料４０に投射して得られる反射Ｘ線回折像を、Ｘ線回折像を可視光像に変換する蛍光板を備えた暗箱２０を介してCCD素子３１に導いて背面反射Ｘ線回折像を観察する背面反射Ｘ線回折像観察装置は、暗箱の一面にコリメータ１５を垂直に取り付け、それに対向する面には透過型の蛍光板を設け、更に、その内部には、透過型蛍光板上に形成された可視光像を暗箱のその他の面に取り付けたCCD素子に導くための鏡面を配置しており、コリメータは第１のピンホールＰ１と第２のピンホールＰ２を備えると共に、蛍光板上に設けられた第３のピンホールＰ３（２７）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ノイズ信号の計数値分布に基づいて異常診断をする。
【解決手段】 異常診断をするときは，放射線検出器２２には放射線が入力されない状態にあり，前置増幅器２４から出力されるものはノイズ信号だけである。このノイズ信号が観測電圧Ｖｏｂｓとなり，これが分岐回路２６を経て，二つの比較器２８，３０の観測電圧入力端子に入力される。比較器２８，３０では，ノイズ信号４６からなる観測電圧と，階段状に変化するスキャン参照電圧４８とが比較され，ノイズ信号の計数値分布曲線（観測曲線）が得られる。二つの比較器で得られる観測曲線について，それぞれ，オフセット補正をしてから，それらの曲線をオペレータが眺めることで，異常診断ができる。あるいは，各観測曲線を，異常のない基準曲線と比較することで，異常の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】 撮像倍率や分解能を容易に変更でき、しかも簡易に重量バランスを調整できるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】
ガイドアーム３に搭載したＸ線源６およびＸ線検出器７が試料Ｓに対し接離する方向へ移動自在である。この移動に対し、ガイドアーム３に搭載された各構成要素を含む全体の重心が、重量バランス調整機構によって回転軸上に保たれている。重量バランス調整機構は、ガイドアーム３へ移動自在に搭載された可動ウエイト１２を含む。この可動ウエイト１２は、回転軸Ｏまわりの回転モーメントの総和がほぼ零となるように移動制御される。この可動ウエイト１２の移動経路は、Ｘ線源６またはＸ線検出器７の移動方向と平行で、かつ回転軸Ｏを通らない任意の直線上に設定されている。 （もっと読む）

【課題】結晶サイズの異なる各種の試料に対しても精度の高い測定が可能となるＸ線結晶構造解析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線結晶構造解析装置は、発生するＸ線を所定の位置において点状に絞り込む集光ミラー１１を備えており、Ｘ線発生装置１０から発生したＸ線を、ゴニオメータ２０に備えた試料ホルダ上に保持された試料Ｓに照射してその結晶構造を解析するが、更に、Ｘ線発生装置１０とゴニオメータ２０との間の相対的な距離を可変するための手段として、距離可変手段を移動用レール（ガイド）１５，２４を、その一方又は双方に設け、低分子の大きな結晶を含む各種の試料に対しても精度の高い測定を可能にした。 （もっと読む）