【課題】本発明の目的は、蓋を容易に取付け取外すことができ、かつ、試料を空気にさらすことなく試料室内に導入することを可能にする試料ホルダーを提供する。
【解決手段】開口部を有し内部で試料３９を保持する試料台３７と、試料台３７の開口部を閉塞する蓋３６と、試料台３７に設けられた蓋押さえ３８と、蓋押さえ３８に設けられた第一の突合せ部と、前記第一の突合せ部との嵌合により、試料台３７に蓋３６を押し付け、蓋３６と試料台３７で囲まれた空間を密閉する蓋３６に設けられた第二の突合せ部と、備える試料ホルダー１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】クロスコンタミネーションを抑制しつつ同一栓体に対する開栓処理および閉栓処理を行うことができる自動分析装置を提供する。
【解決手段】開口部１ａを栓体２により閉じた検体容器１を検体容器キャリア３に立位状態で保持し、搬送装置によって、検体容器１が保持された複数の検体容器キャリア３を保管する検体容器キャリア保管部と、検体容器１の開口部１ａから栓体２を取り除く開栓処理と、栓体２を保持する栓体保持と、検体容器１の開口部１ａに検体容器１から取り除いた元の栓体２を取り付ける閉栓処理とを行う開閉栓装置と、開栓処理が施された検体容器に対して所定の処理を行う処理装置の間で検体容器１を保持した検体容器キャリア３を搬送する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で静電チャックの吸着面に対するウェハの載置状態を判定する。
【解決手段】試料に対して一次荷電粒子線を照射する機能を備えた荷電粒子線装置において、試料を吸着させる静電チャックに、斜孔或いは切り欠きを設ける。また、当該斜孔或いは切り欠きを斜光した光軸が通過するように一対の投光器および受光器を配置する。さらに、受光器の出力信号を用いて静電チャックに対する試料の載置状態を判定する制御部を設ける。制御部は、試料が昇降部により下降し、光軸を試料が遮光した時の受光器の出力信号を用いて、試料の載置状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、真空ポンプの再生のためによる装置稼働率の低下を防止できる真空処理装置及び真空処理方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内を所定の真空度にし、該所定の真空度を維持し、前記所定の真空度を有する前記チャンバ内で所定の処理をする真空処理装置または真空処理方法であって、再生処理が必要な複数台の真空ポンプで前記所定の真空度を得、複数台の前記真空ポンプのうち少なくとも１台の第１の真空ポンプと前記真空チャンバとを隔離し、前記隔離された前記真空ポンプの再生処理を行ない、複数台の前記真空ポンプのうち前記第１の真空ポンプでない他の前記真空ポンプのうち少なくとも1台の第２の前記真空ポンプで前記真空チャンバの前記所定の真空度を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低プローブ電流であっても、反射電子と二次電子とを弁別検出できる低加速の走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子銃２９と、アパ−チャ２６と、試料台３と、電子線３１を試料２上に収束するための電子光学系４−１と、偏向手段１０と、二次電子検出器８、反射電子検出器９と、電子銃２９と試料２の間となる位置に筒状の電子輸送手段５を備え、反射電子検出器９は電子輸送手段５の内部であって、二次電子検出器８及び偏向手段１０よりも電子銃２９に対して遠方側に設置され、反射電子検出器９の感受面９−１は電子輸送手段５と同電位となるように電気的に配線されている。 （もっと読む）

【課題】
繰り返しパターンと非繰り返しパターンとが混在する被検査対象基板に対して、微小な異物または欠陥を高速で、しかも高精度に検査できる欠陥検査装置を実現する。
【解決手段】
異物付着防止手段１８０は、透明基板１８７が枠１８５を介して載置台３４の上に設置される。異物付着防止手段１８０はベース１８６上に固定された２本の支柱１８４に回転可能に支持されたシャフト１８１がカップリング１８３でモータ１８２に連結されている。そして、２本に支柱１８４の間で、枠１８５の一部にシャフト１８１が挿入され、枠１８５及び透明基板１８７がシャフト１８１を中心として回動できるように構成されている。つまり、枠１８５全体がシャフト１８１を軸としてＺ方向に開閉する構造になっており、枠１８５及び透明基板１８７により、載置台３４上のウェハ１を覆うことができる。 （もっと読む）

【課題】未知の濃度である試料（検体）の反応の妥当性を自動分析装置で測定したキャリブレーション反応曲線を元に、自動分析装置において本来あるべき理想反応曲線を算出することで、自動分析装置における反応の妥当性の証明をわかりやすく、また演算が難しい反応曲線の濃度演算を実現することができる自動分析装置を提供する。
【解決手段】自動分析装置において、試料の分析を行う分析部と、試料の分析に関する情報を表示するＣＲＴ２３と、分析部を制御し、試料の分析処理を行うマイクロコンピュータ１５とを備え、マイクロコンピュータ１５は、分析部で測定した試料の濃度に相当するキャリブレーションの反応過程を演算し、分析部で測定した分析結果と共に、ＣＲＴ２３に表示させる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ上を検査装置により検出した欠陥座標の観察と，ユーザにより指定された座標の検査を行う場合に，スループットの低下しない欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ上の座標であって、システマティック欠陥が発生し得る座標である危険点座標と検査結果から取得した半導体ウェハ上の座標である欠陥検査座標と、前記危険点座標と前記欠陥検査座標とを座標の種類を示す情報を付加した上でマージし、マージした座標の検査順序を決定し、マージした座標の種類を示す情報を用いて選択し、検査すべき座標ごとに複数の検査装置から検査方法を選択して検査を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】分注精度を悪化させることなく、プローブ移動時の試料の飛び出しを抑制することで、高速動作と分注精度の向上を実現する。
【解決手段】配管内の流体を引き込むことができる液位制御装置４０を追加することで、分注精度を悪化することなく、プローブ内の試料の液面位置を操作可能とする。試料の吸引動作後から吐出動作前までの間、液位操作器によって配管内の流体を引き込む。吐出前には引き込んだ流体を元に戻すことで、プローブ内の試料の液面位置を元に戻す。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線装置の収差を補正する収差補正器のテーブルデータを容易に取得できる多極子測定装置を提供する。
【解決手段】 光学系１０と収差補正器１１が挿入されるスペースと位置検出器７とを備えた多極子測定装置において、複数の点で行った一次荷電粒子線の収差補正器６への入射位置および角度と位置検出器７上での照射位置と多極子の関係について多極子場を励起した状態および励起しない状態で測定することにより、多極子場を励起した状態に含まれる多極子成分を抽出する。 （もっと読む）