【課題】印刷効率の向上を図るとともに印字性能を長期的に維持することを可能とし、製品性能の高い液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッドは、流路形成基板２２と、流路形成基板２２上に設けられた複数の圧電素子２３と、流路形成基板２２の複数の圧電素子２３側に設けられたリザーバ形成基板２５と、リザーバ形成基板２５上に設けられた複数のドライバＩＣ２６と、リザーバ形成基板２５の開口部６０に露出している圧電素子２３のリード電極４７の各々に対して、少なくとも２つのドライバＩＣ２６を接続するフレキシブル基板２７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 インク供給源を挟んで対向するノズル列同士の配列密度が異なるインクジェット記録ヘッドにおいて、各ノズルのヒータを配列密度に応じた最適な形状に近付ける。
【解決手段】 ヒータを駆動するスイッチ（MOSトランジスタ）のオン抵抗を配列密度の低い側よりも配列密度の高い側の方が高くなるようにする。それによって、配列密度の低い側のヒータにおいて、縦横アスペクト比を１に近付ける形状にすることができ、配列密度の高い側のヒータにおいて、縦横アスペクト比をノズル配列方向が極力短くなる形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】製造工程の初期に形成されて後工程に大きな影響を及ぼす基板の変形を、圧電素子の形成工程での影響を最小限に抑制する状態に制御するアクチュエータ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】弾性膜５０（二酸化シリコン膜５１）上に、ジルコニウム層を熱酸化して酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５を形成し、その後、ジルコニウム層を熱酸化する際の最高温度以下の温度で、絶縁体膜５５をアニール処理する。アニール処理における温度及び時間等の条件を変化させることにより、初期工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を調整し、圧電素子を形成する工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を所望の範囲に誘導（抑制）する。また、初期工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を調整し、インク流路のエッチング工程での流路形成基板用ウエハ１１０の変形を所望の範囲に誘導（抑制）する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの基板温度の測定精度を向上させること。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板は、それぞれが異なる出力電圧特性を持つ複数種の基板温度検出素子として、ダイオードセンサ１，２とアルミニウムセンサ３，４を有している。ダイオードセンサ１，２は、当該センサに定電流を印加したときに、温度上昇に伴い出力電圧が降下する特性を有している。アルミニウムセンサ３，４は、当該センサに定電流を印加したときに、温度上昇に伴い出力電圧が上昇する特性を有している。ダイオードセンサ１，２とアルミニウムセンサ３，４は、入出力パッド５６，５７からの距離においてダイオードセンサ１，２の方が入出力パッド５６，５７に近い位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】より高密度、高解像度で、高耐久かつ低コストの回路基板を実現する。
【解決手段】抵抗体１６上に所定の間隔をおいて対向する一対の電極を抵抗体に接して設け、抵抗層のこれらの電極間に位置する部分を抵抗部とした発熱素子の複数と、各発熱素子の有する一対の電極間に通電するための第一及び第二の配線層１２，１５と、を有する回路が基板１０上に設けられた回路基板において、基板はSi基板、第一の配線層は少なくともSiを含む金属材料からなり、第一の配線層は基板と電気的に接続され、第二の配線層は第一の配線層の上層に、Si拡散を防止する金属膜１４を介して設けられ、第二の配線層の上層に抵抗体を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体素子を収納する封止ケース内の雰囲気を長期間にわたり低湿度環境に保ち、水分による圧電体素子のリーク電流の発生を抑え、圧電体素子の絶縁破壊を防ぎ、長期にわたって安定的に駆動が可能なインクジェットヘッド、およびこのインクジェットヘッドを用いたインクジェット式記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】インクを吐出する圧力を生成する圧電体素子と、この圧電体素子を収納する封止ケース２１と、この封止ケース２１と連結され、封止ケース２１内を乾燥させる着脱可能な乾燥ユニット２４とを有し、封止ケース２１と乾燥ユニット２４を連結した際に、封止ケース２１および乾燥ユニット２４の内部圧力が大気圧よりも低くなるように構成した。 （もっと読む）

【課題】吐出液が保護膜を浸食して下地のシリコンが溶出することがない、シリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、ノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面と反対側の面１ｂまで耐吐出液保護膜Ａが連続して形成され、耐吐出液保護膜Ａは陽極酸化により形成された酸化膜１２である。シリコン製ノズル基板１の製造方法は、シリコン基材１００に凹部１１０を形成する工程と、凹部１１０よりも大きい径の貫通孔５０ａを有する支持基板５０を凹部１１０と貫通孔５０ａとが同軸上になるようにして貼り合わせる工程と、凹部を形成した側の面と反対側の面１００ｃを薄板化して凹部１１０を開口させる工程と、シリコン基材１００を陽極酸化して連続した酸化膜１２を形成する工程と、支持基板５０を剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】生産性良くフレキシブル基板を配置することができる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル２から液滴２３を吐出する液滴吐出ヘッド１にかかわる。ノズル２に連通する圧力室１１が形成された流路形成基板４と、流路形成基板４の一面側に振動板５を介して配置され、圧力室１１に圧力変化を生じさせる駆動素子１３と、駆動素子１３と電気的に接続するフレキシブル基板９と、振動板５の強度を補強する補強部材６と、を備え、フレキシブル基板９は駆動素子１３を覆って配置され、振動板５とフレキシブル基板９と補強部材６とにおける各部の少なくとも一部がこの順に配置される。 （もっと読む）

【課題】発熱素子への電源配線が、配線幅の微細化にともない、配線の加工精度のバラツキが相対的に大きくなってきている。
【解決手段】複数の発熱素子１２と、複数の群に分けられた複数の発熱素子の各発熱素子群の一方の端部に共通接続されたブロック配線１−１〜１−ｎと、を有する回路が、基板上に設けられた回路基板において、ブロック配線の少なくとも一部が、回路基板上の端子から一端、２本以上の配線に分離したのち合流して該発熱素子群へ電気的に接続されている。回路基板の発熱素子１２により発生した熱を利用して液体を吐出させて液体吐出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】微小な貫通孔が接着剤で塞がれることを抑制しつつ気泡の排出性を高めることが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口８や供給口２０などの微小な第１貫通孔の第１の大きさよりも大きい第２の大きさに設定され、これらの第１貫通孔に連通してインク流路の一部を構成する第２貫通孔、即ち、第１連通口２４、リザーバ２３、及び供給側連通口１４の内周面の接着剤に対する親和性を、少なくとも第１貫通孔の開口周囲の接着剤に対する親和性よりも高く設定し、プレート部材の接合時にプレート部材間から流れ出た接着剤を第２貫通孔の内周面に積極的に導くように構成した。 （もっと読む）

【課題】配線基板を圧電ユニットから剥がれにくくする。
【解決手段】配線基板３の端子部形成領域Ｂを露出させるよう配線基板３に被覆層４４を形成する工程と、端子部形成領域Ｂと被覆層４４の端部４４ａとを覆って未硬化の合成樹脂層５２を形成する工程と、配線基板３を圧電ユニット５に重ね、圧電ユニット５の駆動電極６上に設けられたバンプ５１を未硬化の合成樹脂層５２を貫通させて端子部４３ａと接触させ、且つ、被覆層４４の端部４４ａに塗布された未硬化の合成樹脂層５２を圧電ユニット５の表面に接触させる工程と、未硬化の合成樹脂層５２を硬化させる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルからインク滴が吐出されることなくメニスカスを揺動させることが可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクが充填された加圧室と、この加圧室に連通してこのインクのメニスカスが形成されるノズルと、この加圧室を加圧する圧電素子とを備える。また、印字時に該インクの吐出を行うとともに非印字時に該インクの固有振動周期と略同期間、該圧電素子に印加している電圧をオフすることで上記メニスカスの揺動を行う基本パルスの形成動作を行う駆動回路を備える。そして、上記非印字時に、上記駆動回路が上記基本パルスの形成動作を行う際に、その前後のいずれかに少なくとも一回以上、この基本パルスによる揺動電圧の立ち上がり時間と略同期間、上記圧電素子に印加している電圧をオフする付加パルスの形成動作を行う。 （もっと読む）

【課題】面内特性の均一性に優れ、且つ、圧電体層に生じるクラックの発生率を低減させ
ることができる液体噴射ヘッドの製造方法、圧電素子の製造方法及びこれらの製造方法に
よって製造された液体噴射ヘッド又は圧電素子を備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０の一方面側に下電極膜６０を形成する工程と、
相対湿度が３０〜５０％Ｒｈの範囲内に選択された状態で、下電極膜６０上に、鉛を含む
圧電材料を塗布した後、所定の熱処理を行って圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧
電体前駆体膜７１を焼成して下電極膜６０上に圧電体膜７２を形成する工程と、圧電体膜
７２上に上電極膜８０を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】外気圧の変動に影響されることなく、常に所望の圧力が発生できる静電アクチュ
エータ、液滴の吐出を適切に行うことのできる静電式液体噴射装置を提案することにある
。
【解決手段】静電式のインクジェットヘッド１は、インクノズル２１に連通した圧力室６
と、大気開放された大気圧室１２を備え、圧力室６の底面には振動板５が形成され、この
振動板５と個別電極４３の間に電圧を印加することにより、振動板５が静電気力により振
動して、インク液滴の吐出が行われる。密閉室としての振動室４１は圧力補償室４９に連
通しており、圧力補償室４９の底面は外気圧の変動に応じて面外方向に変位可能な変位板
１６が形成されている。変位板１６が変位することにより、圧力補償室４９の容積が増減
し、これに連通している各振動室４１の内圧が外気圧に一致するように調整される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で駆動耐久性及び信頼性の向上を図ることが可能な静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】電極基板３上に形成された個別電極５と、この個別電極５に所定のギャップを介して対向配置された振動板６とを備え、前記個別電極５と前記振動板６との間に静電気力を発生させて振動板６に変位を生じさせる静電アクチュエータにおいて、前記個別電極５を導電性アモルファス炭素系薄膜で構成したものである。 （もっと読む）

【課題】コストの低減を図ると共に、高密度化を容易に達成し得る液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、圧力発生素子３００と、前記圧力発生素子３００に接続されたリード電極９０と、保持部材１１０と、支持部材４００と、前記リード電極９０に接続されると共に前記支持部材４００に設けられた可撓性の配線基板４１０とを具備し、前記支持部材４００と前記保持部材１１０とが接着剤１２０を介して接着されている。 （もっと読む）

【課題】制御素子をインクジェットヘッドに実装したままで、制御素子を破壊することなく圧電素子の消極、分極ができるインクジェットヘッド製造装置を提供する。
【解決手段】制御素子が実装された基板は、制御素子の高圧電源端子と電気的に接続される第１の配線と、制御素子のグランド端子と電気的に接続される第２の配線と、加減圧素子の共通電極と電気的に接続される第３の配線が互いに短絡しておらず、制御素子のゲートから加減圧素子の個別電極までの経路上に、加減圧素子の個別電極から前記第１の配線に電流が流れるように第１のダイオードを設け、前記第２の配線から加減圧素子の個別電極に電流が流れるように第２のダイオードを設けて、前記加減圧素子の消極又は分極を行うときに前記第１の配線と前記第２の配線を短絡する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】容易に形成することができ、リザーバ内の圧力の変化を効果的に緩和することが可能な流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供すること。
【解決手段】壁部に囲まれ、流体の供給源に接続され、前記流体を保持するリザーバと、前記リザーバに接続され、前記流体を噴射するノズル開口と、を備え、前記リザーバから前記ノズル開口へ前記流体を流通させると共に前記流体に圧力を加えることで前記ノズル開口から前記流体を噴射する流体噴射ヘッドであって、前記壁部は、前記リザーバと前記ノズル開口とを接続する接続口と、前記接続口に近接した位置であって前記リザーバ内を流通する前記流体の流通経路から外れた位置に設けられた凹部とを有する。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体について、量の異なる複数種類の液体滴を安定的に吐出させる。
【解決手段】この液体吐出方法に用いる液体吐出ヘッドは、ノズルと、液体をノズルから吐出させるために液体に圧力変化を与える圧力室と、圧力室に液体を供給する供給部とを有し、液体に対する圧力変化の与え方を異ならせることで、所定量の液体と前記所定量よりも少ない量の液体とをノズルから吐出させる。そして、液体の粘度は、８ミリパスカル秒以上であって２０ミリパスカル秒以下の範囲内である。ノズルの直径は、１５μｍ以上であって４０μｍ以下の範囲内である。ノズルの流路長さは、供給部の流路長さの０．２倍未満である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位特性を向上して十分な変位量を確保しつつ圧電体層の破壊を抑制
して耐久性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエー
タを提供する。
【解決手段】圧電体層７０の端面がその外側に向かって傾斜する傾斜面で構成され、各圧
電素子３００を構成する下電極６０が圧力発生室１２の幅よりも狭い幅で形成されている
と共に圧電体層７０が下電極６０よりも広い幅で形成されて下電極６０の端面が圧電体層
によって覆われており、振動板５０の最表層が酸化チタン（ＴｉＯ_x）からなる絶縁体膜
５２で構成され、下電極６０の最表層がニッケル酸ランタン（ＬａＮｉ_yＯ_x）からなる配
向制御層６２で構成され、且つ配向制御層６２及び少なくとも配向制御層６２上の圧電体
層７０ａが、ペロブスカイト構造の結晶からなり且つ結晶面方位が（１１０）に優先配向
している構成とする。 （もっと読む）