【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】特に高感度で抵抗温度係数の大きなひずみゲージ材料を採用した場合においても、温度勾配に起因する熱見かけひずみを低減可能なひずみゲージを提供することである。
【解決手段】主ひずみを受感する素子１１と、副ひずみを受感する素子１２および１３と、で形成されるひずみゲージ１０であって、前記主ひずみを受感する素子１１と一対の前記副ひずみを受感する素子１２および１３とが各々直交する２方向から成り、前記主ひずみを受感する素子１１の上下に一対の前記副ひずみを受感する素子１２および１３を対称に配置し、両側の前記副ひずみを受感する素子１２および１３方向からの熱による見かけひずみを相殺する構成にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】入力されたパルス波形電圧と同期した信号を出力することが可能な物理量センサを提供する。
【解決手段】力覚センサ１は、外力又は慣性力が作用する作用部と、作用部を支持する支持部と、作用部及び支持部を連結する連結部と、連結部に配置された歪検出用抵抗素子Ｓを含むフルブリッジ回路ＦＢと、フルブリッジ回路ＦＢにパルス波形電圧を印加する信号入力部９と、パルス波形電圧が印加されたフルブリッジ回路ＦＢからの出力信号が入力されるＡ／Ｄ変換部５３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 従来の歪及び温度を同時に検知するセンサは感度が悪い、誤差が大きい、補償回路を必要とする。
【解決手段】 導電性基板上に絶縁性膜を形成し、さらに当該絶縁性膜上に又は絶縁性基板上に温度センサ材料及び歪センサ材料を成膜してなり、歪による温度測定誤差が０．５Ｋ以内で、かつ温度による歪量測定誤差百分率が５０％以内の精度で温度及び歪を同時に検出する。 温度センサ材料が、温度感度２０００ｐｐｍ／Ｋ以上及び歪感度５以下の特性を有し、歪センサ材料が、歪感度２以上及び温度感度±２０００ｐｐｍ／Ｋ以内の特性を有する。 （もっと読む）

【構成】特に変換器温度が変化する場合に、よりバラツキのないクリープ応答が得られる、箔ゆがみゲージを選択し、これをホイートストーン・ブリッジ回路の変換器に正しく設けるための方法を提供するものである。この変換器は、それぞれ正および負の張力ゆがみおよび圧縮ゆがみを与える所定の物理的荷重の作用を受ける反力部分を有する。また、反力部分の張力ゆがみエリアおよび圧縮ゆがみエリアにおいて反力部分に動作可能に取り付けられ、電気信号を発生する複数のゆがみゲージグリッドも有する。これら複数のゆがみゲージをホイートストーン・ブリッジ回路に電気的に接続し、クリープによる電気信号を相殺消去する。 （もっと読む）

【課題】伝熱過程での荷重信号の変化を正確に補償することができるロードセルを提供する。
【解決手段】被計量物１７の荷重の作用により歪みを発生させる起歪部１１〜１４を有する弾性体５と、起歪部で１１〜１４発生した歪みに基づいて被計量物１７の荷重に応じた荷重信号を出力するブリッジ回路３０とを備えるロードセル３において、弾性体５における伝熱経路の上流側の温度を検出する温度センサ２１と、弾性体５における伝熱経路の下流側の温度を検出する温度センサ２２とを設け、これら温度センサ２１，２２の検出温度に基づいて補償演算を行って伝熱過程での荷重信号の変化を補償するものとする。 （もっと読む）

【課題】抵抗型半導体圧力センサのような非線形の温度依存性を有するセンサを用いた計測において、該センサおよびその後段の増幅回路部を含む計測装置全体での温度補償を行い原理上実質的に温度依存性に起因する誤差を０にすることができる温度補正装置及び温度補正方法を提供する。
【解決手段】抵抗型半導体圧力センサを含むセンサ部としてのブリッジ回路ＢＳの持つオフセットおよび感度に関する非線形のセンサ側温度依存性に対し、２次関数発生回路１５０からの制御信号によって出力が調整される可変ゲインアンプの従属接続１３０，１４０の信号伝達特性に、上記センサ側温度依存性とは位相が反転した特性の回路側温度依存性を持たせるように設定して、センサ側および回路側の双方の温度依存性が相殺されるようにする。 （もっと読む）

【課題】過渡温度特性の影響を最小限に抑えることができて、極めて高精度に計量することが可能なロードセルおよびロードセルユニットを提供する。
【解決手段】本発明のロードセルは、起歪体２に歪ゲージ３を貼り付けてなるロードセル１において、起歪体２を恒弾性材料により構成した。これにより、ロードセル１の起歪体２のヤング率の温度変化を最小限に抑えることができて、起歪体２の過渡温度特性の影響を最小限に抑えることができ、高精度に計量できる。 （もっと読む）

【課題】ロードセルの低コスト化を実現する。
【解決手段】ロードセルは荷重に応じて歪量が変化する起歪体とブリッジ回路１００と周辺回路１００Ｐを備える。ブリッジ回路１００は、端子１０２〜１０５と、歪ゲージＧ１〜Ｇ４と、ゼロバランス調整回路２０と、ゼロ点温度補償回路３０と備え、周辺回路１００Ｐはスパン温度補償回路１０を備える。スパン温度補償回路１０にはサーミスタＴＨ１および抵抗体Ｒ１１〜Ｒ１３が用いられて、起歪体の歪量の温度特性を補償する。さらに、ゼロバランス調整回路２０にはチップ抵抗Ｒ２１が用いられ、ゼロ点温度補償回路３０にはサーミスタＴＨ２およびチップ抵抗Ｒ３１，Ｒ３２が用いられる。 （もっと読む）

【課題】 周囲温度が変化した場合であっても良好に被計量物の重量を計量することができるロードセルユニット、ならびに、このロードセルユニットを利用した重量選別機および秤を提供する。
【解決手段】 起歪体は、複数の起歪部を有する。各ひずみゲージ４１は対応する起歪部に配置される。ブリッジ回路４０はひずみゲージ４１によって形成される。各ひずみゲージ４１は、温度感度補償型のゲージであり、ブリッジ回路４０の出力感度を粗補正する。零点補償素子４２は、ブリッジ回路４０の零点を粗補正する。感温抵抗４５は、起歪体の温度を検出する温度センサである。これら零点補償素子４２および感温抵抗４５は、隣接する起歪部に挟まれた厚肉部に設けられる。信号処理部５０は、粗補正されたブリッジ出力につき、２次以上の高次近似によって精補正することにより、ブリッジ回路４０の零点および出力感度をさらに補償する。 （もっと読む）

【課題】周囲温度が変化した場合であっても良好に被計量物の重量を計量することができるロードセルユニット、並びに、このロードセルユニットを利用した重量選別機および電子秤を提供する。
【解決手段】起歪体は、複数の起歪部を有する。各ひずみゲージ４１は、温度感度補償型のゲージであり、対応する起歪部に配置される。ブリッジ回路４０はひずみゲージ４１によって形成される。零点補償素子４２は、ブリッジ回路４０の零点を起歪体の温度に応じて補償し、ブリッジ回路４０の出力を粗補正する。感温抵抗４５は、起歪体の温度を検出する温度センサである。これら零点補償素子４２および感温抵抗４５は、隣接する起歪部に挟まれた厚肉部に設けられる。信号処理部５０は、粗補正されたブリッジ回路４０の出力を精補正する。これにより、回路的に零点補償されたブリッジ回路４０の出力について、さらにソフトウェア的な零点補償を施すことができる。 （もっと読む）

【課題】ひずみゲージによって検出された力成分の誤差を解消する。
【解決手段】力センサ（２０）が、構造体のひずみを検出する複数のひずみゲージ（Ｇｉ）と、力センサの温度を検出する温度検出手段（２１）とを含む。力センサ用の検出装置（３０）は、基準状態における基準ひずみと基準温度とゲージ率補償係数とを記憶する記憶手段（３９）と、温度検出手段により検出された力センサの温度と記憶手段に記憶された基準温度との間の差と記憶手段に記憶されたゲージ率補償係数とに基づいて補償ゲインを作成する補償ゲイン作成手段（３４）と、ひずみゲージにより検出されたひずみおよび記憶手段に記憶された基準ひずみの間の差に補償ゲイン作成手段により作成された補償ゲインを乗算することによりひずみを補償する補償手段（３５）と、ゲージ率温度補償手段により補償された補償後ひずみを用いて多軸の力成分を算出する力成分算出手段（３６）とを含む。 （もっと読む）

【課題】使用される周囲温度の影響を受けず、起歪体に係る温度が変化しても適正な荷重値を検出できる歪検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】荷重により歪を生じる円筒形状の起歪体１２と、この起歪体１２に配置され歪量に応じて抵抗値が変化する抵抗素子と、この抵抗素子に結線された信号処理回路を備え、この起歪体１２を挟むように起歪体の上下にネジ部１４を形成し、信号処理回路を配置したケース１６を起歪体１２に取り付けるとともに、抵抗素子は起歪体１２の外周面に配置して、抵抗素子と信号処理回路とを結線した構成である。 （もっと読む）

【課題】使用される周囲温度の影響を受けず、起歪体に係る温度が変化しても適正な荷重値を検出できる歪検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】荷重により歪を生じる円筒形状の起歪体１２と、この起歪体１２に配置され歪量に応じて抵抗値が変化する抵抗素子と、この抵抗素子に結線された信号処理回路を備え、この起歪体１２を挟むように起歪体の上下にネジ部１４を形成し、信号処理回路を配置したケース１６を起歪体１２に取り付けるとともに、抵抗素子は起歪体１２の外周面に配置して、抵抗素子と信号処理回路とを結線した構成である。 （もっと読む）

【課題】トリガー端子とクロック信号端子とを別個に設ける必要がないから、小形な歪検出装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上電圧値（１０Ｖ）、中間電圧値（５Ｖ）、下電圧値（０Ｖ）の３段階の電圧値の内、下電圧値に対する中間電圧値のＯＮ−ＯＦＦ切り替えに基づくデジタル信号をトリガー信号５３とし、中間電圧値に対するＯＮ−ＯＦＦ切り替えに基づくデジタル信号をクロック信号５４としているので、信号処理回路４７は制御ロジック４１にトリガー信号５３およびクロック信号５４を同一の信号線（第２の入出力信号線４９）を介して出力した構成とした。 （もっと読む）

負荷に依存するバネ要素（１）のたわみが、ひずみゲージ要素（１０）によって電気信号に変換される前記バネ要素（１）を含む、精密力変換器が開示される。バネ要素（１）は、ニッケル含有量３６〜６０％およびクロム含有量１５〜２５％の析出硬化可能なニッケルベースの合金で作られ、一方ひずみゲージ要素は、ポリマー非含有層状フィルム系からなり、こうして、高い精度、低いクリープ量、および湿気に対する低い感度を特徴とする精密力変換器の製造が可能となる。
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【課題】歪みゲージ式荷重計における温度の不均一の発生を抑制し、荷重計測精度を向上する。
【解決手段】アーム４から加わる荷重を計測する荷重変換部５１のアーム４との連結を、上端に設けたボールジョイントでアーム４に連結した上部放熱部５２１と、上部放熱部５２１の下端に上端が連結し、荷重変換部５１の上部に下端が連結した上部断熱部５２２とを介して行う。また、下端に設けたボールジョイントでベース１に連結した下部放熱部５３１と、下部放熱部５３１の上端に下端が連結し、荷重変換部５１の下部に上端が連結した下部断熱部５３２とを介して、荷重変換部５１をベース１上に支持する。 （もっと読む）

【課題】 温度変動による力の測定誤差を小さく抑えることができる安価な力センサを提供する。
【解決手段】 力センサ１０は、荷重を受けたときにひずみが発生するように構成された構造体の複数の測定部位にそれぞれ取り付けられた複数の検出用ひずみゲージ２８，３０と、荷重を受けたときに実質的にひずみが発生しないように構成された基準部位に取り付けられ且つ検出用ひずみゲージ２８，３０と同じ特性を有した温度補償用共通基準ひずみゲージ２２とを備える。直列に接続された複数の検出用ひずみゲージ２８，３０と抵抗３４の両端及び温度補償用共通基準ひずみゲージ２２と抵抗３２の両端に同一の入力電圧を印加し、入力電圧を複数の検出用ひずみゲージ２８，３０の各々と抵抗３４とで分圧した分圧電圧と、入力電圧を温度補償用共通基準ひずみゲージ２２と抵抗３２とで分圧した分圧電圧との差分を求め、求められた差分に基づいて各測定部位のひずみを検出する。 （もっと読む）

【課題】金属面に対して温度変化に耐える密着性を有し、かつ熱履歴により抵抗値の変化が少ない絶縁層を形成するための絶縁ペーストを提供する。
【解決手段】 ３０〜１００℃における熱膨張係数が１０×１０^−６／℃〜１２×１０^−６／℃である金属、特にフェライト系ステンレス鋼上に絶縁層を形成するための絶縁ペーストであり、絶縁材料として（ａ）周期律表２Ａ元素金属酸化物を１０〜５０重量％含み、残部が実質的にＢ_２Ｏ_３とＳｉＯ_２で構成され、かつ３０〜１００℃における熱膨張係数が５×１０^−６／℃〜１２×１０^−６／℃、軟化点が７００〜８５０℃であるガラスからなる第１成分と、（ｂ）Ａｌ_２Ｏ_３、ＣａＺｒＯ_３、ＢａＺｒＯ_３、ＭｇＺｒＯ_３、ＳｒＺｒＯ_３の群から選ばれる１種以上の酸化物で構成される第２成分を、（５０：５０）〜（９０：１０）〔重量比〕の割合で混合される。 （もっと読む）

【課題】ひずみゲージに接続したリード線で熱電対を形成し、測定対象物もしくはひずみゲージ式変換器の起歪体のひずみと温度とを同時に測定することができ、ひいては、測定中に温度が変化する場合でも測定対象物のひずみ、もしくはひずみゲージ式変換器の起歪体のひずみを生ぜしめる物理量を容易に精度良く求めることができる測定装置を提供する。
【解決手段】ひずみゲージ１を有するブリッジ回路７を１ゲージ３線法に従って形成し、ひずみゲージ１に接続される３本のリード線２ａ〜２ｃのうち２本を相互に異種材とすることでひずみゲージ１の近傍に熱電対の接点を形成する。ブリッジ回路７の電源である交流電源９を備え、ブリッジ回路７の出力電圧信号の交流成分から測定対象物のひずみに応じた信号を出力し、ブリッジ回路７の出力電圧信号の直流成分から測定対象物の温度に応じた信号を出力する。ブリッジ回路７の構成手法は２ゲージ法、４ゲージ法でもよい。 （もっと読む）