【課題】コストアップや検査工数の増加を招くことなく消費電力を抑制することができるタイヤ空気圧検出装置を提供すること。
【解決手段】本発明によるタイヤ空気圧検出装置１は、タイヤ空気圧Ｐを検出するタイヤ空気圧検出手段４と、タイヤ空気圧Ｐを選択的に含むデータフレームを送信する送信手段６ａと、タイヤ空気圧Ｐが所定空気圧（１０ｋＰａ）の倍数を跨いで変化する場合に送信の頻度を基準頻度よりも増加する増加手段６ｂとを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム割れを防止し、耐久性に優れたダイヤフラム型センサを得る。
【解決手段】シリコン基板にダイヤフラムを形成するキャビティを設け、該シリコン基板のキャビティ側にベース基板を接合してなるダイヤフラム型センサにおいて、ダイヤフラム部に直交するキャビティの中心軸を想定したとき、この中心軸に関し、シリコン基板とベース基板の断面形状を回転非対称とする。 （もっと読む）

【課題】シンプルで、迅速に調整可能な圧力計を提供する。
【解決手段】本発明は、ブッシング６が貫通され固定された円筒状のハウジング４を有する圧力計に関する。圧力計には、さらに、圧力センサ２が、割り当てられた電子評価ユニット３と共に設けられ、前記センサは、ハウジングの長手軸と同軸に位置された圧力ポート１に作動可能に接続される。圧力計の電子評価ユニットの調整装置３１に係合する回転可能な調整ピン７が、ブッシング内に液密状態で受容されると共に、保持手段７１を備え、保持手段により、調整ピンが取り外しできぬようブッシングに固定される。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を処理するチャンバの内外部気圧を測定するモジュール、装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明によると、側面に第１流入部と第２流入部が具備された連結部材と、前記連結部材の一端に連結された第１気圧測定センサと、前記連結部材の他端に連結された第２気圧測定センサとを含むが、前記連結部材には、前記第１流入部と前記第１気圧測定センサを連結する第１通路と、前記第２流入部と前記第２気圧測定センサを連結する第２通路が形成され、前記第１通路と前記第２通路は、分離されるように提供された気圧測定モジュール、気圧測定装置及び方法が提供される。このような本発明によると、大気圧センサの誤作動の問題を解決して、誤作動の防止のために使われた不必要な装備と誤作動に対応することにかかる時間及び人力の浪費を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】検出ポートとセンサとの間のOリングによるシール性が向上し、かつ組立作業が容易となる検出スイッチを提供する。
【解決手段】ブロック１ａ内の通路２０に円形凹部２２を設ける。円形凹部２２に伸縮性材料からなるシール用Oリング２１を収容する。円形凹部２２のセンサ４側に隣接する部分に通路２０を横断する方向に横溝２３を設ける。横溝２３にOリング止具２４をスライド嵌合する。センサ４に設けた検出用凸部４ａを、Oリング止具２４の貫通孔２４ａとOリング２１内に嵌合する。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い圧力センサモジュールを提供する
【解決手段】 配線基板１と、配線基板１の一方主面上に配置された、圧力測定部２および圧力測定部２を収容し上面に圧力測定のための測定媒体導入孔３が開口しているケース部４を具備する圧力センサ素子５と、配線基板１の一方主面上に配置された、配線基板１の一方主面からの上面の高さが圧力センサ素子５のケース部４の上面の高さよりも低い電子部品素子６と、圧力センサ素子５の測定媒体導入孔３を露出させて圧力センサ素子５および前記電子部品素子を封止している封止樹脂とを具備する圧力センサモジュール10である。広い面積で封止樹脂７によって樹脂封止することにより、封止樹脂７が配線基板１から剥がれにくく、高温および高湿な環境やオイルなどの腐食性物質により、配線基板１上に配置されている圧力センサ素子５および電子部品素子６が劣化するのを抑えることができ、かつ低背化にも有利である。 （もっと読む）

【課題】加圧空気充填装置のエアチャックの接続を容易とする。
【解決手段】ハブ９４とリム９３をスポーク９５で連結するホイール９０を一体形成したものにおいて、前記リム９３のスポーク接続部１００に前記スポーク９５側に膨出する凹部１０１を設け、その凹部１０１にエアバルブ９７を一体に備えた空気圧センサユニット９２を設け、前記スポーク９５は、側壁１０３と前壁１０４と後壁１０５とから成り、前記側壁１０３は、前記リム９３の凹部１０１に近づくにしたがい車幅方向に広がるように湾曲し、車幅方向に広がった前記凹部１０１の壁部１０２に連続的な面で接続されると共に、前記凹部１０１の壁部１０２に前記エアバルブ９７を貫通する構造とした。 （もっと読む）

【課題】 差圧センサ内のダイアフラムの中央部の反力部品との接触による傷みを低減する。差圧が微小な範囲における低い感度を改善する。
【解決手段】 ダイアフラム１１２は、前面１１２ＣＡと側周面１１２ＣＢを有して前面にて反力部品１２０を押すことになる中央ブロック部１１２Ｃと、ブロック部をそこに加わる差圧に応じて移動可能なように支持するための支持部１１２Ｂを備える。中央ブロック部１１２Ｃに、それより剛性の高い材料製のキャップ１１４が被せられる。キャップ１１４は、中央ブロック部１１２Ｃが圧力を受けて変形することや、反力部品１２０が食い込んで痛むことを、防止する。 （もっと読む）

【課題】 水晶振動子の電極部分の腐食を防ぎ、固有共振インピーダンスを安定して一定に保つことができ、圧力等の測定精度、および圧力測定機器等としての信頼性および寿命を向上させた水晶振動子を含む計測装置を用いた圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 この計測装置は、圧力の変化に応じて変化する水晶振動子１８の共振インピーダンスを測定することに基づいて計測方法であり、該計測に用いる計測装置は、開口部２０ａを有し、内部に水晶振動子１８を収容する保護ケース２０と、この保護ケースの開口部に関連して設けられ、活性を有する気体分子を、衝突を生じさせながら移動させて開口部に導く通路としての隙間２５を形成する保護キャップ２４と、を備えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムシール部分のみを簡単に交換することができるダイアフラムシール付き差圧測定装置を実現する。
【解決手段】本体カプセルを有する差圧測定装置本体とダイアフラムシール部とを連結パイプで連結するダイアフラムシール付き差圧測定装置において、前記連結パイプの本体ボディ取り付け部に設けられ前記ダイアフラムシール部と前記連結パイプとに封入液６を封入すると共に前記封入液の測定流体に対する膨張量に対応して変位する封入変位手段２０と、この封入変位手段の変位を前記本体カプセルに伝達する伝達手段２６ａとを具備した。 （もっと読む）

【課題】圧力センサを組み付け対象物に容易に組み付けることができる圧力センサの組み付け構造を提供する。
【解決手段】圧力センサ１０を組み付け対象物２０に対して組み付け方向に移動させ、係止部２３を弾性変形させて鍵部１３を鍵穴２２に差し込み、係止部２３が復元することで抜け防止用突起１３ａが係止部２３の係止面２４に引っ掛かることにより、圧力センサ１０を組み付け対象物２０に組み付ける。 （もっと読む）

【課題】劣化せず、ＢＡ型電離真空計の短所を持たず、かつ、チャンバ内の気体の化学種の化学組成を変化させることなく動作できる冷電子放出型の電離真空計、および気体圧力測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の電離真空計は、マイクロチャンネルプレートを含む電子生成アレイ、イオン化体積空間およびイオンを収集する収集電極を備える。マイクロチャンネルプレートは、種となる電子を生成する生成源を有する電子生成部と、前記電子生成部によって生成された前記種となる電子を受けて前記電子を増倍する電子増倍部とを備えている。イオン化体積空間では、電子が気体の化学種と衝突してイオンを生成し、収集電極がこのイオンを収集する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内の汚染物質から電極を保護することが可能な電離真空装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空容器13と、真空容器13内に設けられた陽極11と、真空容器13内に設けられた陰極12a,12bと、陽極11と陰極12a,12bの間に放電用電力を供給する放電用電源19と、陰極に加熱用電力を供給する陰極加熱用電源18と、陽極11と陰極12a,12bの間の空間に磁場を形成する手段16a,16bとを有し、真空容器13を他の真空容器に接続して他の真空容器内の圧力を計測し、又は他の真空容器内を排気する電離真空装置であって、真空容器13内のガスに放電を起こさせている間、陰極加熱用電源18により陰極12a,12bを加熱し、陰極12a,12bの温度を陰極12a,12bから熱電子が放出されない温度範囲内に保つ制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部に出力線を露出させず、また、電磁ノイズの影響を受けにくいエンジン用圧力センサを提供する。
【解決手段】プラグホールの底に設置し中心の貫通孔にエンジン用プラグの取付ねじ部を挿通する環状のセンサ部と、プラグホールに設置した状態で前記センサ部からプラグホールの開口部に向けて延びるパイプ部４と、該パイプ部４の頂部に設けたフランジ状のノイズ遮蔽板４ｃと、前記センサ部に接続した出力線３と、該出力線３に接続され端部がピン形部分１０ａである端子金具１０とを有し、前記ノイズ遮蔽板４ｃよりも下側に前記端子金具１０を配置し、その端子金具１０の一部と前記ノイズ遮蔽板４ｃとを内包する状態にしてインサート成形により樹脂製の環状キャップ部５を形成し、さらに該環状キャップ部５に前記端子金具１０の前記ピン形部分１０ａを囲う筒状のコネクタ部５ｄを一体に成形した。 （もっと読む）

【課題】プロセス流量やプロセス状態に影響されることなく、常に、高い確度で導圧管の詰まり診断を行える管路内流体の測定装置および詰まり診断システムを提供する。
【解決手段】オリフィス５２の上流側および下流側に接続される２本の導圧管５３Ｈ，５３Ｌを介して検出される管路内流体の圧力ＰＨ，ＰＬや差圧ΔＰと、導圧管５３Ｈ，５３Ｌを介さずに測定した管路内流体の圧力Ｐ１，Ｐ２とを、データ収集部２１と演算部２２により時系列の変化パターンとして比較し、診断部２３がこの比較結果に基づいて導圧管５３Ｈ，５３Ｌの詰まり具合を診断する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムを高圧雰囲気においても長期間にわたって正常かつ安定に作動させることが可能なセンサ用パッケージおよびこれを用いたセンサを提供すること。
【解決手段】 基板１と、前記基板１上に配置されるダイアフラム９と、前記基板１と前記ダイアフラム９との間に介在し、両者の間隔を規定するセラミック製スペーサ２と、を備えたセンサ用パッケージであって、前記スペーサ２は、前記ダイアフラム９側の方が前記基板１側よりも横幅の広いセラミック層の積層体により形成されてなることを特徴とする。
好ましくは、前記スペーサ２は、前記基板１から前記ダイアフラム９にかけて、連続して横幅が広くなるようにセラミックが積層されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサの外径が大きくならないようにし、部品点数を削減しつつ、大きな軸力を必要とせずにハウジングの圧力導入孔内をシールすることができる圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング２０の圧力導入孔２４内にセンシング部３０を配置し、センシング部３０をハウジング２０の孔部２５に圧力媒体の導入方向と同じ方向に密着固定する。これによると、センシング部３０のシール方向と圧力媒体の導入方向とが同じになっているため、圧力媒体の導入方向の逆向きにセンシング部３０に軸力を加える必要がない。したがって、センシング部３０に大きな軸力を加える必要もなく、そのための部品も無くすことができる。また、センシング部３０を固定するための部品を無くしたことで、圧力センサの外径を小さくすることもできる。 （もっと読む）

【課題】タイヤの空気圧を検出する空気圧検出装置であって、タイヤの空気圧を検出するために各車輪に取り付けられる送信機毎のＩＤと車輪位置との関係を登録する登録機能を備えた空気圧検出装置にて、構成やコストを増大させることなく消費電力を抑える。
【解決手段】送信機は、タイヤの空気室の空気圧が上昇したと判断し（Ｓ１１０：ＹＥＳ）、かつ空気室の空気温度が上昇していないと判断すると（Ｓ１２０：ＹＥＳ）、調圧がなされた、ひいてはタイヤ（車輪）がローテーションした可能性が高いと判断し、自身が何れの車輪に取り付けられているかを表す情報を記憶する位置情報記憶処理を実行する。この際、車両側の受信機では、ＩＤと車輪位置との関係を登録する登録処理が実行される。これによれば、タイヤ（車輪）がローテーションしていないにもかかわらず、登録処理・位置情報記憶処理が実行されることを抑制でき、消費電力を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】作業性を良好にしつつ、指示対象となる送受信機のみでトリガコマンドを実行させられるようにする。
【解決手段】トリガツール１０から出力されるトリガ信号にいずれの送受信機２に対してトリガコマンドを実行させるか等の情報（具体的には、各送受信機２でトリガ信号を受信したときの受信強度の範囲に関する情報）を含める。そして、その情報と送受信機２でのトリガ信号の受信強度の測定結果に基づいて、自分自身が指示対象となる送受信機２であるかを判定できるようにする。これにより、指示対象となる送受信機のみでトリガコマンドを実行させられ、かつ、指示対象以外の送受信機ではトリガコマンドが実行されないようにできる。したがって、トリガツール１０を指示対象となる送受信機２に極力近づけなくても、ある程度作業者が送受信機２に近づくだけで作業を済ませることが可能となり、作業性を良好にできる。 （もっと読む）

【課題】柱状の脆性材料の一端面が鏡面をなし中央に貫通孔が形成された支持体の鏡面側開口部が洗浄の際に壊れてパーティクルとなって前記鏡面に付着することを防止した柱状支持体を提供する。
【解決手段】柱状の脆性材料からなり、一端面１１ａが直接接合又は陽極接合を適用可能な鏡面をなし、鏡面中央に貫通孔１２が形成された柱状支持体１１において、貫通孔１２の鏡面側開口部１２ａを全周に亘り面取りし、洗浄の際に貫通孔１２の図示しない開口部端部（図４におけるエッジ６ｄに相当する仮想部分）が振動等に起因して壊れることを防止してパーティクルの発生を抑制し、鏡面に付着することを防止する。これにより、洗浄工程における歩留まりの向上が図られると共に鏡面を持った半導体若しくは脆性材基板との陽極接合又は直接接合が可能となりかつ接合面の気密性を確保することが可能となる。 （もっと読む）