【課題】より長寿命化を図ることができる冷陰極電離真空計を提供するものである。
【解決手段】アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃを有する測定子１と、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に電圧(Vd)を供給する電源１４、アノード電極１１とカソード電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間に流れる電流(Id)を測定する電流計１５、及び電源１４を制御し、圧力(P)が低くなるにつれて電圧(Vd)を高くし、圧力(P)が高くなるにつれて電圧(Vd)を低くするように、前記圧力(P)の変化に追随して前記電圧(Vd)を絶えず調整して連続的に又は逐次変化させる制御回路３を備えた電子回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板とガラス基板との陽極接合時に良好な接合が得られることを課題とする。
【解決手段】第１の半導体基板１とガラス基板３とが陽極接合により接合され、かつガラス基板３と第２の半導体基板２とが接合されて積層される積層構造を有し、外部から与えられた物理量を静電容量の変化として検出する半導体センサにおいて、第１の半導体基板１と電気的に接続されて第２の半導体基板２に形成された電極領域８ａと、第１の半導体基板１を一方の電極とする静電容量の他方の電極を構成して第２の半導体基板２に形成された電極領域８ｂ、８ｃとを陽極接合時に電気的に接続して同電位とし、陽極接合後に切断されて電極領域８ａと電極領域８ｂ、８ｃとを電気的に分離する同電位配線１０を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ポート部をホースに挿し込む際に、ポート部が破壊されることを抑制することができる圧力センサを提供する。
【解決手段】測定媒体の圧力に応じて電気的信号を出力するセンサ部２０と、一面に第１凹部１１を備え、第１凹部１１にセンサ部２０を搭載するケース１０と、中空部を有する有底筒部材とされ、底部に第１貫通孔６１が形成されているリッド６０と、中空部を有する筒部材とされ、測定媒体をセンサ部２０へ導入し、一端部がリッド６０の中空部に配置されると共に、他端部が第１貫通孔６１を貫通してリッド６０から突出するポート部８０と、を備え、ケース１０の一面に第１凹部１１を覆うように備えられる蓋部５０と、を有し、ポート部８０を、リッド６０よりも弾性率が低い弾性体で構成する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムが破損しにくく、しかもセンサ感度のばらつきも小さな半導体センサを提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板２２とＳｉ薄膜２４をＳｉＯ_２膜２３を介して貼り合わせたＳＯＩ基板の下面に凹部２６を形成する。Ｓｉ薄膜２４の一部が感圧領域であるダイアフラム２５となっている。凹部２６の上面外周部においては、ＳｉＯ_２膜２３がダイアフラム２５の下面外周部を覆っており、凹部２６の上面の外周部を除く領域ではダイアフラム２５の下面が露出している。ダイアフラム２５の下面外周部を覆っているＳｉＯ_２膜２３（補強部２３ａ）は、下面にテーパーを有しており、ダイアフラム２５の外周側からダイアフラム２５の中心部へ向かうに従って、次第に膜厚が薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】診断の基準となるしきい値の変更の必要性を軽減する。
【解決手段】圧力発信器は、圧力に揺動を有する液体、スラリー、気体などの測定対象の圧力を、導圧管を介して検出する。導圧管の詰まり診断装置は、圧力発信器で検出された圧力値の時系列を複数の区間に区切り、揺動の上下動回数を区間毎に検出する上下動回数検出部１１と、揺動の上下動回数を所定のしきい値と比較して導圧管の詰まり状態を判定する判定部１２と、圧力値の自己相関係数に基づいて揺動の上下動回数の検出間隔を調整する検出間隔調整部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】センサチップとターミナルとの電気的接続の遮断を防止するとともに小型化を図り得るセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサチップ４０は、そのセンシング部４０ａがハウジング３０の媒体導入孔３４内に露出するようにコネクタケース２０に支持される。そして、センサチップ４０は、各ターミナル２２に固定された状態で当該ターミナル２２に電気的に接続され、当該センサチップ４０の長手方向が媒体導入方向に平行となるようにセンシング部４０ａを除き各ターミナル２２とともにコネクタケース２０に封止されている。 （もっと読む）

【課題】誘電体素子１０を用いた圧力変化検出装置において、誘電体素子１０が経年劣化することを抑制する。
【解決手段】センシング部を構成する誘電体素子１０と、内部に検出室２０を備え、検出室２０に誘電体素子１０を収容する容器２１と、誘電体素子１０と電気的に接続され、容器２１の外部に引き出される導体１２と、を有し、容器２１によって、検出室２０を気密封止し、容器２１の少なくとも一部を外気の圧力変動に伴って変位することにより検出室２０の体積を変化させるダイヤフラム２３ａで構成し、誘電体素子１０に、検出室２０の体積変化に伴って変化する検出室２０における気体の圧力変化、または、温度変化に応じた電気的信号を出力させる。 （もっと読む）

【課題】樹脂製の継ぎ手に固定された金属製のブルドン管の継ぎ手からの抜けを抑制することが可能なブルドン管圧力計を提供すること。
【解決手段】ブルドン管圧力計は、圧力容器に取り付けられる樹脂製の継ぎ手３と、基端部が継ぎ手３に固定される金属製のブルドン管４とを備えている。継ぎ手３には、ブルドン管４の基端部が差し込まれて接着固定される固定孔３ａが形成され、固定孔３ａの側面３ｊには、扁平方向Ｙに窪む凹部３ｍが形成されている。凹部３ｍは、固定孔３ａの奥側に向かって形成され、固定孔３ａの内部の、凹部３ｍが形成された部分の少なくとも一部は、扁平方向Ｙにおいて、ブルドン管４の差込口となる固定孔３ａの開口部３ｅよりも広がっている。 （もっと読む）

【課題】装置が複雑化することなく、長期間使用した場合であっても、放電の誘発を短時間で行うことが可能な冷陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】棒状の陽極２、陽極を取り囲むように設けられた測定子容器（陰極）１、陰極１の外周に設けられた磁石３を具備する。そして、陰極１の放電空間９に陽極２の中心軸方向に向かって鋭角突起２１を有する放電開始補助電極５を配置する。放電開始補助電極５は陰極１に着脱可能に設け、放電開始補助電極５の鋭角突起２１の先端と陽極２との距離は０．３ｍｍ以上離して設置する。 （もっと読む）

【課題】放電誘発部材によって放電が生じやすく、高電圧をかけた時刻と、放電して電流が流れ始める時刻との間の時間の遅れをより抑制した冷陰極電離真空計を提供する。また、陰極の洗浄作業を放電誘発部材を交換することにより、陰極の洗浄作業を簡素化できる冷陰極電離真空計を提供することを目的とする。
【解決手段】放電誘発部材２０が、記板状の基体２１と、前記基体に形成された陽極が挿通する貫通孔２２と、前記基体の外縁部から斜方向に延設され、前記貫通孔の軸線方向に弾性変形可能な板状の固定部２３と、前記固定部と対峙する基体の外縁部に設けられた、前記貫通孔の軸線方向に延設された板状のガイド部２４とを備え、前記貫通孔２２が複数の長孔２２ａが放射状に連結された貫通孔であって、隣接する長孔２２ａによって突起部２１ａが形成されると共に、前記貫通孔２２の中心部に前記陽極４４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】専用クーラントなどが注入されることによって、高湿度かつ高圧な気体によって満たされるタイヤ・ホイール組立体の内部に設置された場合でも、故障の発生確率を更に低減しつつ、架硫工程の前に、タイヤ・ホイール組立体の内部に埋め込むことが可能なセンサモジュール、及び当該センサモジュールを備えたタイヤ・ホイール組立体の提供。
【解決手段】本発明に係るセンサモジュール１００は、内圧を検出する圧力センサ、無線信号を受信する受信アンテナ１８、無線信号を送信する送信アンテナ４４、受信アンテナ１８、送信アンテナ４４、圧力センサと接続され、センサモジュール１００を構成する電子回路部を収容する箱体１０を備え、圧力センサは、電気抵抗の変化により箱体１０のひずみを検出するひずみゲージを含み、ひずみゲージは、箱体１０の内壁に接着され、箱体１０は、非金属の無機質材料である非金属無機質材料によって形成される。 （もっと読む）

【課題】半導体圧力センサのオフセット電圧の調整コストを低減する。
【解決手段】ピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４の一部の結晶性をレーザで改質して当該ピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４の抵抗値を増加させることによりホイートストンブリッジ回路の各辺の抵抗値を所定の抵抗値に揃える。 （もっと読む）

【課題】タイヤの回転等に伴う振動のタイヤ情報送信機への影響を最小限に抑えることができ、振動によってタイヤ情報送信機がタイヤ内壁から外れ落ちたり、タイヤ情報送信機の回路が破損したりする不具合を防止すること。
【解決手段】タイヤ側に取り付けられてタイヤ内の情報を測定し車両側装置に対してタイヤ情報を送信するトランスポンダ４０の取付け構造１０において、タイヤ本体２００の内側に緩衝材からなる保持体２０を一体形成し、前記保持体２０にタイヤ中心方向に開口した収容空間３０を形成し、前記収容空間３０にトランスポンダ４０を収容し、収容空間３０の開口部を蓋体５０で塞いだことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカルなセンサエレメントを備えた複合構成エレメントの支持体におけるマイクロクラックの形成と成長を減じる手段を提供する。
【解決手段】マイクロマシニングセンサエレメントを備えた構成エレメントであって、センサエレメントがガラス支持体上にボンディングされており、ガラス支持体の上面がセンサエレメントのための結合面として機能しており、ガラス支持体の、前記上面とは反対側の背面が、構成エレメントのための組み付け面として働き、ガラス支持体が、前記上面と背面とを結合する側面を有している形式のものにおいて、ガラス支持体が、ガラス支持体の少なくとも輪郭がエンボス加工されたガラスウェハ３０のセグメントによって形成されていて、これにより、ガラス支持体の側面のこのように形成された領域と、ガラス支持体の背面とが、ほぼマイクロクラックを有さない表面を有している。 （もっと読む）

【課題】耐久性のある発電装置及び電池交換が不要で耐久性のあるタイヤ空気圧測定装置を安価に提供する。
【解決手段】金属ホイール２６１は、タイヤ３に固定されたホイール回転軸Ｃ２に回転自在に取り付けられると共にホイール回転軸Ｃ２を中心とした周方向の質量が偏るように空洞部２６３が設けられている。タイヤ３が回転すると、金属ホイール２６１は質量が重い部分Ａが鉛直下側に向くようにホイール回転軸Ｃ２を中心として回転する。コイル２６２は、タイヤ３に固定されている。よって、タイヤ３が回転すると、金属ホイール２６１とコイル２６２との相対位置が変化してコイル２６２に発生する磁束φが変化しコイル２６２が発電する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、イオンゲージ収集器に到達する汚染物質を削減する方法および装置を提供する。
【解決手段】真空中の気体密度を測定するシステムは、真空計と、真空計を収容するハウジングと、ハウジングの外部表面に固定される磁石とを備える。磁石は可撓性磁気片であり、ハウジングの外部表面の周りに配置される。真空計は、ハウジングの管状部に沿って縦方向に延伸するグリッド絶縁体ポストを含み、磁石は、グリッド絶縁体ポストに隣接するハウジングの外部表面に固定されていて且つグリッド絶縁体ポストに対して横向きにされている。磁石は可撓性磁気片であり、クランプが磁石を、ハウジングの外部表面に固定する。 （もっと読む）

【課題】機能診断をより精度良く行うことができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ素子１の各出力端子ＶＳＭ，ＶＳＰとグランドとの間に、抵抗値がそれぞれ等しく設定される抵抗素子Ｒ１＿１及びＲ１＿２と、抵抗素子Ｒ２とを接続し、抵抗素子Ｒ１＿２と並列にスイッチ回路Ｓ１を接続する。そして、スイッチ回路Ｓ１のオンオフ状態を自己診断時と通常動作時とで異なるように制御し、自己診断時にはスイッチ回路Ｓ１をオンして出力端子ＶＳＭとグランドとの間の抵抗値を変化させてセンサ素子１の出力電圧を変化させる。 （もっと読む）

【課題】作業員の技術と経験に依存しない点検データの採取方法とプラントの検査において、効率の良い作業性を得ることができ、データについてもデータベース化された一括管理を行い、その場で電子データとして閲覧・自動記録採取することが可能となるプラント用微圧計測系の伝送器点検システム。
【解決手段】プラントを構成する圧力伝送器８の点検時に適用する計器校正装置端末１ａと、圧力伝送器の計器仕様の自動取り込み、加圧圧力の監視、自動点検データ採取、点検結果の自動判定を行なう判定手段と、判定結果に基づいて成績表を作成する計器校正用の遠隔サーバと、計器仕様、点検結果、点検履歴の集中管理を行なう管理手段とを一つの携帯型パソコンに備えたことを特徴とするプラント用微圧計測系の伝送器点検システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】車輪側に取り付けられる送受信機の電池の消耗を抑制しつつ、車輪位置検出時におけるトリガ機からのトリガ信号の送信と送受信機でのトリガ信号の受信の同期動作を可能にし、確実に送受信機でトリガ信号が受信されるようにする。
【解決手段】車輪位置検出用信号、つまり信号強度測定に用いられるトリガ信号を出力する前に、予め車輪位置検出通知を示すトリガ信号を送信しておき、それが送受信機２で受信されたことを確認してから改めて受信機３がトリガ機５から車輪位置検出用信号を示すトリガ信号を出力する。これにより、送受信機２が車輪位置検出用信号を受信可能な車輪位置検出待受状態に遷移してから車輪位置検出用信号を出力させることができ、確実に送受信機２に車輪位置検出用信号を受信させてその信号強度を測定させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】相手側コネクタの挿入作業性を向上する。
【解決手段】ハウジング１０に形成されたネジ部１１の側面には、当該ネジ部１１が取付穴４１に挿通されたときにハウジング１０の向きを特定方向に定めるための嵌合部１５が形成され、ブラケット４０に形成された取付穴４１の側面には、嵌合部１５と嵌合する被嵌合部４１ａが形成されており、嵌合部１５と被嵌合部４１ａとが嵌合するようにネジ部１１が取付穴４１に挿通され、ネジ部１１をナット５０に締め付けてハウジング１０がブラケット４０に固定されている。 （もっと読む）