【課題】様々な寸法のセンサヘッドを、工具を使用せずに、隙間内に正確に位置決めして固定する。
【解決手段】被測定物に形成された間隙内に収容するセンサヘッドは、基端からリードが延び、リードは基端近傍でＵ字状に屈曲され、センサヘッド側面に沿って、センサヘッドの先端方向へ折り返されたものである。センサ固定構造は、センサ収容部の一端を規定する第１の端面と、センサ収容部を挟んで第１の端面と対向して、センサ収容部の他端を規定する第２の端面と、センサ収容部に面すると共に第１の端面と隣接し、第１の端面と所定の角度をなして、第１の端面と共に第１の隅部を規定する第３の端面と、を有する。リードに張力が加えられた状態において、センサヘッドの先端が隅部に当接し、リードのＵ字状に屈曲されたＵ字状屈曲部が、第２の端面の、センサ収容部を挟んで隅部と対向する部位に当接して、センサヘッドがセンサ収容部内に固定される。 （もっと読む）

【課題】 正確な被温度検出体の表面温度の検出を行うことができる温度センサ装置を提供する。
【解決手段】 この温度センサ装置は、被温度検出体の表面に面接触して被温度検出体よりの熱を受熱する接触面１１aを裏面に備えた受熱部品１１の表面に、サーミスタ素子５の収納部１１bを備え、受熱部品１１を嵌合保持するように形成された開口部１２aおよびサーミスタ素子５よりの第１のリード線５a、５bに第２のリード線５c、５dが接続された接続導電部５e、５fを収納するための収納部１２bを備えた樹脂ホルダー１２を備え、受熱部品１１の収納部１１bにサーミスタ素子５を収納し、サーミスタ素子５を収納した受熱部品１１を樹脂部材１２の開口部１２aに収納し、第１のリード線５a、５bに第２のリード線５c、５dが接続された接続導電部５e、５fを樹脂ホルダー１２の収納部１２bに収納した構成となっている。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を熱処理するとき、温度ムラをなくすために予め熱電対を埋め込んだ実基板を用いて表面の温度分布が測定される。問題は、接着部が剥離して、熱電対が基板から外れることである。
【解決方法】 測温部材平坦面に配置した熱電対接合部に、無機接着剤の液滴を滴下して、該液滴の中に該熱電対接合部を埋入して該測温部材平坦面に接合するに際して、該該測温部材平坦面に該熱電対接合部を取囲む鋳枠を設けて該鋳枠の中に該液滴を滴下して、該滴下した液滴の広がりを該鋳枠で堰き止め、該液滴を該鋳枠内面に接触させて該鋳枠の中で固化させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】免震装置の温度測定を正確に行なう。
【解決手段】免震装置１０では、積層体１００の積層方向の両端を積層方向と直交する方向に相対変位させても、測定用鋼板１１０は変形しない。よって、測定用鋼板１１０に形成された測定用穴１１２に挿入された温度センサ１１４には力がかからない、又は力がかかったとしても小さいので、温度センサ１１４の抜け出しや断線が防止又は抑制される。また、プラグ１４０を分断する測定用鋼板１１０を設けているので、プラグ１４０の中央部分の温度測定が可能になる。したがって、積層体１００がせん断変形してプラグ１４０が塑性変形することによるプラグ１４０の温度上昇を、正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】測定子とリード線との接続部の過熱防止を図りながら、小型化や測定子の耐久性の向上が可能な温度センサを提供する。
【解決手段】鋳造品を成形する金型２の被測定部位３の温度を測定する温度センサ１は、金型２に取り付けられる取付部１１を有するボディ１０と、被測定部位３の温度を測定する測温部３１ａを有すると共に、ボディ１０の内部に形成された収納空間１４と金型２とに渡って延びて配置されるシース３１と、収納空間１４内でシース３１と接続されると共に、収納空間１４からボディ１０の外部に延びているリード線３２と、ボディ１０と非接触状態で収納空間１４内に配置されると共に、シース３１とリード線３２との接続部３４を収納する収納体３３と、収納空間１４内に配置されると共に、シース３１を押圧して測温部３１ａを被測定部位３に当接させるスプリング３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 急速加熱可能であって且つウエハ載置面での均熱性に優れている上、高精度でレスポンスの良い温度制御が可能なウエハ加熱装置を提供する。
【解決手段】 このウエハ加熱装置は、一方の面にウエハ載置面１０ａを有すると共に他方の面に抵抗発熱体２０を有する均熱プレート１０と、該均熱プレート１０の温度を測定する測温抵抗体素子３０とを備えている。均熱プレート１０は、他方の面側に測温抵抗体素子３０を埋設する掘り込み部１１及び該掘り込み部１１を覆う蓋プレート１３を備えており、測温抵抗体素子３０は掘り込み部１１の底面１１ａに密着して埋設されている。蓋プレート１３の下面にも少なくとも部分的に抵抗発熱体２０の回路が形成されているのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】製造時間及びコストの増加を伴わずに、短い応答時間で、正確に温度を測定することができる温度センサ、その製造方法及び取り付け方法を提供する。
【解決手段】感温素子(3)と、感温素子(3)を受容する閉端部(9)を有し、対応するキャビティ(11)内に挿入可能とした外筒(7)とを有する温度センサであって、外筒(7)の閉端部(9)は、受支部(21)と、その外方に設けられたフレキシブルな取付け用ストッパ(23)とを有し、ストッパ(23)は、キャビティ(11)の底部(15)の形状に沿って、受支部(21)の方に変形可能である温度センサに関する。
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【課題】 調理容器内で加熱する調理物の温度を正確に検出し、外部にその温度を正確に送信する温度検出ユニットを提供すること
【解決手段】 調理容器１０内の調理物と直接接触する温度検出ユニット２００であって、調理物と可動することで接触する接触部２００ａと、この接触部２００ａを支持する支持部１１とを有し、前記接触部２００ａに調理物の温度を検出する温度検出手段２０３を設け、前記支持部１１に前記温度検出手段２０３が検出した温度情報を送信する送信手段９９と、この送信手段９９に電源を供給する電源供給手段２１を設けることを特徴とする温度検出ユニット。 （もっと読む）

本発明は、パイプ(Ｔ)の内面(Ｓ)の温度を計測するための新規な方法に関する。本発明によれば、以下のステップが実施される。すなわち、ａ)少なくとも一つの温度感応要素(８)は、この温度感応要素がパイプ(Ｔ)の内面(Ｓ)と接触状態となるように、その軸線(ＸＸ')に関して半径方向にプローブ(Ｓｏ)から離間するように移動させられ、そして、ｂ)プローブの感応要素(８)と内面との間に加えられる接触力は、それが上記面上のポイントにおいて所定の値に達するまで増大させられる。本発明はまた関連デバイスに関する。
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【課題】圧力媒体の圧力および温度を検出する圧力温度複合センサにおいて、圧力センサ部の高温劣化を防止することを第１の目的とし、圧力温度複合センサの体格を小さくすることを第２の目的とする。
【解決手段】圧力伝達ロッド２を介して第１ダイヤフラム３が受けた圧力媒体の圧力を第２ダイヤフラム４に伝達することにより、圧力センサ部５にて圧力を検出する構成とする。これにより、圧力センサ部５を圧力媒体から熱分離することができ、圧力センサ部５の高温劣化の防止を図る。また、圧力伝達ロッド２の中空部分に温度センサ部６を配置し、当該温度センサ部６によって第１ダイヤフラム３および圧力伝達ロッド２を伝達した圧力媒体の温度を検出する。これにより、圧力温度複合センサの体格を小さくする。 （もっと読む）

【課題】熱応答性を改善し、温度精度の良好な温度センサを提供すること。
【解決手段】本発明の温度センサは、感熱部とリード部とで構成された感熱素子と、前記感熱部を内底部に接触させて位置決めさせる有底金属板と、前記有底金属板の内底部の反対面を露出させて前記有底金属板と前記感熱素子を封止する成型体とから構成されている。 （もっと読む）

【課題】 熱電対を簡単に交換ができ、被測温体への接触を確実且つ安定させることで、測定温度の精度上昇と安定状態になるまでの時間の短縮が可能であり、信頼性の高い測温装置、及びそれを搭載した半導体製造装置を供給する。
【解決手段】 半導体製造装置のチャンバに装着するシース型熱電対を備え、そのシース型熱電対が、大気環境の外部から真空もしくは減圧環境のチャンバ内に対して封止構造を有すると共に、バネ性を有するベローズ５により熱電対１の先端部１ａを被測温体２に押し当てる押し付け構造を有している。 （もっと読む）

【課題】安定的に、かつ、精度よく温度を検出できるとともに、取付け、取り外しの作業性が良好な熱電対およびその取付け構造を提供する。
【解決手段】絶縁被覆から熱電対素線の先端接合部が露出した被覆線タイプの熱電対３において、熱電対素線の先端接合部に、例えば、真鍮からなるチップ状の保持部材６をロウ付けし、この保持部材６を、金型１に形成された溝５内に嵌め込んで、熱電対３を、金型１に取り付け、取り外しできるようにしている。 （もっと読む）

【課題】加熱プレートの多くの箇所で輻射温度計や熱電対を使用して簡単にその内部の温度を測定出来るようにし、加熱プレートの温度制御や温度分布の管理を高精度に行う。
【解決手段】加熱プレート温度測定装置は、加熱プレート２の内部に放射状に複数の孔７を設け、この孔７の中に移動自在に測温ピース４を配置し、この測温ピース４の温度を測定することにより、加熱プレート２の温度を測定するものである。測温ピース４の温度を測定する手段は、例えば前記孔７を通して測温ピース４の輻射熱を測定する輻射温度計５や、或いは前記孔７を通して測温ピース４に測温接点を設け、同測温ピース４の温度を測定する熱電対１４等である。 （もっと読む）

【課題】 タイヤの内部温度を人手及びコストを削減しつつ迅速かつ正確に測定する。
【解決手段】試験機１０上で走行後のタイヤ１２の内部温度を静止状態で測定する温度測定システムである。タイヤ１２の所望箇所に設けた穴に熱電対から成る温度センサを挿入して当該タイヤ部分の温度を測定する。複数の熱電対から成る温度センサをリード線４２で１台の無線子機４５に接続する。複数の無線子機４５から無線親機に送信された温度データは、無線親機５０に接続されたコンピュータである解析機で解析して、タイヤ内部の正しい温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】センサの取り付け対象箇所の正面に障害物が存在する場合であっても、その箇所へのセンサの着脱を容易かつ適切に行なうことが可能なセンサの取付け構造を提供する。
【解決手段】センサＳ１を所望の取付け対象物１の表面１０に接近または接触させて取り付けるための構造であって、センサＳ１を保持しているセンサホルダ５と、取付け対象物１に取付けられ、かつこの取付け対象物１の表面１０との間に、この表面１０の対面方向とは交差する方向にセンサホルダ５を挿脱可能とする少なくとも一端が開口した空隙部６２を形成しているブラケット６と、空隙部６２の他端部に、空隙部の他の部分よりも幅が狭い幅狭部６２Ａを形成し、かつ空隙部６２にセンサホルダ５が挿入されたときにこのセンサホルダ５の先端部を幅狭部６２Ａに進入させるようにガイドして、センサホルダ５を取付け対象物１の表面１０寄りに変移させるガイド部６３と、を備えている。 （もっと読む）

測定装置のための位置決め装置。本発明は、公知の位置決め装置を改良するために、棒状の測定装置の使用が、例えば、連続鋳造金型のような対象物の様々な深さのために、適当な測定点を可能とする課題に基づいている。この課題は、本発明により、延長部分で、円筒状の案内要素の対象物遠方端と接続され、かつ、バネ素子と測定装置が同様に導かれるキャップが設けられ、かつ、円筒状の案内要素の対象物遠方端上で、キャップと接続するバネ素子のための第２のストッパが軸方向外へ延長可能、かつ、固定可能であることである。
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【課題】簡単な構造で外径を小さくすることができ、調理具の温度検知を正確に行うことができる調理器具用温度検出装置を提供する。
【解決手段】ガステーブル等の調理器上面に設けられ、調理器に載置された鍋等の調理具４２底面に当接して、調理具４２の載置により退避可能に設けられたセンサ装置部４４を有する。センサ装置部４４が移動自在に取り付けられた支持シャフト４６と、センサ装置部４４の上端部に取り付けられ調理具４２の底面に当接する集熱板４８を備える。集熱板４８の裏面に固定された温度センサ５２と、温度センサ５２を収容し、集熱板４８に上端部全周が液密に固定された筒状のホルダ５６を備える。支持シャフト４６に対して、集熱板４８及びホルダ５６を突出方向に付勢したバネ部材５８を有する。ホルダ５６の上端部から下端部付近までを同心状に所定空間を空けて覆うとともに、ホルダ５６上端部全周に液密に固定され下端部が開放されたカバー６２を備える。 （もっと読む）

【課題】極めて高い精度にて基板温度を測定できる温度測定システムを提供する。
【解決手段】温度測定用基板ＴＷの基板表面に複数の凹部を彫り込んでそれぞれの内部に検温素子１５を接着固定している。送受信部２０と各検温素子１５とは同軸ケーブル５０によって有線接続されており、送受信部２０から電気信号を与えて検温素子１５に内蔵された水晶振動子を共振させてその周波数を計数し、送受信周波数の変化率から温度測定用基板ＴＷの温度を算出する。凹部１１は温度測定用基板ＴＷの厚さのほぼ半分の深さまで彫り込まれており、検温素子１５は温度測定用基板ＴＷの厚さ方向中心部近傍の温度を測定することができる。また、検温素子１５を取り付けた温度測定用基板ＴＷの重量と通常の処理対象となる基板の重量とが等しくなるように凹部を形設しているため、両者の熱容量はほぼ等しくなり、より精度の高い基板温度測定を実行することが可能となる。 （もっと読む）

活性鑞材（３２）によってセラミック基板（１２）に直接接合されたビード（２６）の形態の熱接点即ち測定接点を有する熱電対（１６）を備えたセラミック加熱器（１０）が提供される。別法としては、セラミック基板（１２）上に金属化層（４２）が形成され、通常の鑞材によって熱電対のビード（２６）が金属化層（４２）に直接接合される。セラミック基板にビードが直接接合されるため、ビードの温度はセラミック加熱器の温度をほぼ瞬時に反映し、したがって熱電対はセラミック加熱器の温度をより正確に測定することができる。
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