【課題】エッチングを行うことなく膜厚を簡易に測定することができる膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、基板Ｓ上に形成された膜Ｓ１の膜面の一部を切削して基板面を露出させる切削部１と、露出された基板面と膜面との段差を測定して前記膜の膜厚を測定する測定部とを備えた膜厚測定装置であって、切削部は、膜面を切削する刃２１が設置された刃部２０と、前記刃部２０を移動させる移動手段と、前記刃２１を基板側に押圧する押圧手段とを備え、該押圧手段により刃２１が基板Ｓ側に押圧された状態で該刃部２０を移動させて膜面の一部を切削する。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】支点上でバランスする探針と変位センサで構成される触針式段差計の感度と変位分解能を向上させる方法及び該方法を実施している表面形状測定用触針式段差計を提供する。
【解決手段】Fを探針に加える力、Ｉを支点回りの慣性モーメント、ｒを支点−探針間の距離、ｚを探針の先端の変位、ｔを時間としたときに成り立つ、探針の先端の運動方程式Ｆ＝Ｉ／ｒ^２ｄ^２ｚ／ｄｔ^２に基づき、探針に加える力に応じて支点−探針間の距離ｒを決め、支点と探針の先端とを結ぶ線を水平より４５度傾け、探針の先端を下げる。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良くて、より実物に近い段差部形状が得られ、かつ、変位雑音が小さい触針式段差計における測定精度の改善方法及び装置を提供する。
【解決手段】変位雑音を小さくするために遮断周波数が１５Ｈｚ程度の低域通過フィルターとして、計算処理で行うデジタルフィルターを用いて計測結果をフィルタリングし、その際の窓関数としてブラックマン窓等を用いる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ上に形成されたエピタキシャル層の層厚測定用試料を簡便に製造できる層厚測定用試料製造装置を提供する。
【解決手段】エピタキシャル層３が形成されたウエハ片１を、そのエピタキシャル層３の一部を残してエピタキシャル層３をエッチングして層厚測定用試料を製造し、エッチング後のウエハ片１上に段差として残ったエピタキシャル層３の層厚を測定するための層厚測定用試料製造装置１０において、ウエハ片１を挟み込む開閉自在の２枚の樹脂板１１，１２と、これら２枚の樹脂板１１，１２の一方に設けられ、ウエハ片１上に形成されたエピタキシャル層３の一部をエッチングから保護すべくエピタキシャル層３の一部と密着するエッチング防止ゴム１３とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】周期的な複数の設計段差を有する設計形状に基づいて形成された被測定面の測定データと設計形状とのフィッティングを高精度に行う。
【解決手段】被測定面の測定点列から段差領域と段差の高さとを特定する（Ｓ３）。そして、点列に対する段差高さの移動を行う（Ｓ４）。即ち、段差をなくすような処理を行い、段差のないフィッティング対象データを得る（Ｓ５）。一方、設計形状から複数の設計段差のない参照形状を取得する（Ｓ６、７）。そして、フィッティング対象データと参照形状とを、例えば最小二乗法などによりフィッティングする（Ｓ８）。フィッティング対象データと参照形状とから段差形状成分を除去しているため、フィッティングを高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】段差や凹凸という路面状態を高い精度をもって測定できるようにすること。
【解決手段】荷重センサ１１１に所定重量の錘１１３で荷重をかけた状態のセンシング装置１１２を搭載した車両を走行させ、所定のサンプリング間隔毎に荷重センサ１１１の出力を記録し、これに対応させてその記録位置の位置情報を記録する。錘１１３の重力による荷重のみがかけられた状態の荷重センサ１１１の出力を静止荷重と観念し、車両走行中の荷重センサ１１１の出力を衝撃荷重と観念し、静止荷重に対する衝撃荷重の値の変化を求め、これを位置情報に関連付けて表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】切削加工で製作されるコアを組み込んだ差動トランスを用いた触針式段差計の変位雑音を小さくすることのできるコア及びその製造方法を提供する。
【解決手段】差動トランスのコア６は、切削加工により形成したパーマロイ製の円筒状本体の表面を研磨処理して表面粗さを１μｍオーダー以下にして構成される。また、触針式段差計における本発明による差動トランス用コア６の製造方法は、パーマロイを切削加工により円筒状本体を形成し、円筒状本体の表面を研磨し、その後磁性焼鈍することを含む。 （もっと読む）

【課題】
小型化、コストダウンができる、触針式段差計の針のとびを小さくする計測制御回路装置を提供する。
【解決手段】
被測定試料の表面に対して垂直方向に移動可能でしかも被測定試料の表面に沿って相対的に移動可能である探針と、探針に被測定試料の表面に対して垂直方向に向う針圧を作用させる針圧付加手段と、探針の垂直方向の変位を検出する差動トランスと、差動トランスの出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を増減する制御手段とを有する触針式段差計による試料の表面形状の測定用の計測制御回路装置において、差動トランスの一次側に印加される一次電圧と同じ周波数の信号を位相調整して参照信号を形成し、この参照信号と探針の垂直方向の変位を検出する差動トランスの二次側からの検出した信号とを掛算処理し、探針の垂直方向の変位値を表す信号を発生するデジタル信号処理装置と、針圧付加手段の力発生用コイルの電流値を制御する制御信号を発生する回路とが設けられる。 （もっと読む）

【課題】溶接プロセス後に利用することができ且つコスト及び／又は複雑さが低減された、溶接部が所望の機械的特性を有するか否かを評価するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】風力タービンシステムの形成溶接１１４を分析する装置２０２は、ゲージ２０６と、第１の部材２０４と、第２の部材２０８と、第３の部材２１４とを含む。ゲージ２０６は距離を測定する。第２の部材２０８は、第１の部材２０４に取り付けられ、形成溶接１１４の第１の側部２１２上の第１の表面２１０に解除可能に取り付けられる。第３の部材２１４は、第１の部材２０４に取り付けられ、形成溶接１１４の第２の側部２１８上の第２の表面２１６に解除可能に取り付けられる。装置２０２は、複数の位置にてゲージ２０６を位置決めし、複数の寸法を測定することにより溶接部１１４の品質を判定する。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計を用いて表面形状を測定する際に、表面形状における段差部での応答性の良さと雑音の小ささを両立させることができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】カットオフ周波数７０Ｈｚの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のｘ方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸ｘ方向の距離と縦軸ｚ方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、ｄｚ／ｄｘ又はｄｚ／ｄｔの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、平坦部領域データ部分をさらに１３Ｈｚ程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置とを有して成る。 （もっと読む）

【課題】試料には強い力をかけずに探針のとびを抑制できる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサによる被測定表面上における探針の垂直方向の変位の検出と、探針の変位の検出に基いた探針の速度及び加速度の算出と、及び探針の速度及び加速度の少なくとも一方のリアルタイムでのモニターによる探針のとびの検出と、探針の針圧発生装置への電流制御とから成る制御操作を短時間で行い、探針が空中にあるときにだけ探針にかける針圧を増大し、探針が試料に再び触れる前に探針の針圧を元の状態に戻す。 （もっと読む）

【課題】膜厚の測定精度を向上させた膜厚測定方法、及び磁気デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板Ｓの上にマスクパターンＭを形成し、マスクパターンＭを含む基板Ｓの上に膜厚Ｔ１からなる密着層Ｌ１と、測定対象層Ｌｍと、測定対象層Ｌｍよりも高い機械的強度を有して膜厚Ｔ２からなる保護層Ｌ２とを順に積層して積層膜Ｌ０を形成した。そして、マスクパターンＭをリフトオフして積層膜Ｌ０に段差部１０を形成し、段差部１０の深さＴ０を触針法によって測定して測定対象層Ｌｍの膜厚ＴｍをＴｍ＝Ｔ０−（Ｔ１＋Ｔ２）として得た。 （もっと読む）

【課題】触針式段差計による形状測定時に発生する力を短時間で正確に算出できるようにする表面形状測定用触針式段差計の空気抵抗補正方法。
【解決手段】支点に揺動可能に取付けられた支持体の一端に探針を取付け、一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の空気抵抗補正方法において、針圧発生装置を作動させて探針を上端から下げ、下端で一回跳ね返る際の探針変位の時間変化を測定し、測定した探針変位の時間変化に基づき探針の速度と力の関係を求め、探針の速度がほぼゼロにあるときの力を求め、求めた力に基づいて設定値とのずれを補正し、針圧発生装置に流す電流と探針にかかる力との正しい関係を求め、設定したい力に対応するコイル電流を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ねじ状ドラムの円錐形状部傾斜角度を正確かつ容易に測定することができるねじ状ドラム円錐形状部傾斜角度測定方法を提供する。
【解決手段】 螺旋状に続くねじ溝２ａの各周の底面が、円錐形状部２ａ−１，２…を成すねじ状ドラム２における、前記円錐形状部２ａ−１，２…の傾斜角度を測定する方法である。基準面４ａを有する治具本体４および前記基準面４ａに対する垂直方向の距離を測定する測定ゲージ５を備えた測定治具３を用いる。この測定治具３の前記基準面４ａを前記ねじ状ドラム２の任意の円錐形状部２ａ−２に当て、他の任意の円錐形状部２ａ−１に前記測定ゲージ５の測定子５ａを当てる。前記基準面４ａを当てた円錐形状部２ａ−２と測定ゲージ５を当てた円錐形状部２ａ−１との平行段差Ｈｄを測定することにより、この平行段差Ｈｄの測定値とねじ溝２ａのリードＬｄとから円錐形状部の傾斜角度δｄを求める。 （もっと読む）

【課題】軽量で簡単な構造により触針の測定力を検出して、触針の追従性を向上させ、測定速度の高速化を可能とする。
【解決手段】測定対象面（ワーク表面１０）に接触して変位する触針１４と、該触針１４が先端に保持されたスタイラス１２と、該スタイラス１２の変位を検出するピックアップ１８と、測定力Ｆを検出する手段と、測定力Ｆを調整するアクチュエータ４０とを備え、前記触針１４に加わる測定力Ｆが目標値となるようフィードバック制御しつつ、前記ピックアップ１８により触針１４の変位を検出する表面追従型測定器において、前記触針１４とスタイラス１２の間に圧電素子３０を挿入し、該圧電素子３０により測定力Ｆを検出してフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された貫通部の角部のカエリの大きさを定量的に把握するとともに、効率的に外観検査を実施することが可能な外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】外観検査装置１００は、サプライプレートＰ上に形成された角部Ｋを有する貫通部を検査する装置であって、サプライプレートＰを平面方向に移動させる走査駆動部１０２と、貫通部の画像を取得する画像取得部１０３と、画像を処理し、画像処理データを生成する画像処理部１１１と、角部Ｋの段差を測定し、段差データを取得する段差測定部１０４と、画像処理データおよび段差データをもとに、貫通部の良否を判断する演算処理部としての演算部１１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガイドレール等として使用される直動ベアリングの、その接続面段差の測定値を数値化することで測定の均一化を図り、簡易な装置で、かつ測定精度を向上させてベアリングレール接続面の段差を許容以下に抑えるようにした直動ベアリングの接続面段差の測定治具を提供すること。
【解決手段】直動ベアリングＢのベアリングレールＢ１に跨るようにして嵌入し、かつ摺動移動する測定治具本体１に、ベアリングレールＭ１に形成した３側面のガイド用の軌道溝Ｂａ、Ｂｂ、Ｂｃ内に測定子２１、３１、４１が嵌入するようにして測定器２、３、４を配設する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象を同一基準の下でより短時間で測定することができるキャップ付ボトル缶の測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】 金属製のボトル缶にキャップが被着、ネジ成形され、キャップが天面部の周縁に形成された段差部とキャップネジ部とを有するキャップ付ボトル缶２の測定方法において、缶軸Ｏと交差する平面内で、キャップネジ部の輪郭線を取得することで、キャップネジ部のネジ深さを測定し、段差部に脚部５２の下端部内面を接触させると共に天面部に測定子５３を接触させることで、段差部の天面部に対する深さを測定する。 （もっと読む）