【課題】傾き角度を任意の角度に変更した場合でも正確な測定ができ、メモリ容量も少なく、新たなスタイラスの使用でもユーザに対する作業負担を軽減できる表面性状測定機。
【解決手段】質量の異なる第２測定アーム２４Ｂが取り付けられた測定アーム２４の種類毎に、測定アーム全体の質量Ｍ、支点（回転軸２３）からスタイラス２６Ｂまでのアーム長Ｌ、測定アームが水平姿勢時において測定アームの水平方向重心位置Ｇｘおよび上下方向重心位置Ｇｚを記憶した測定アームテーブルと、測定アーム指定手段と、検出手段の傾斜角度θ１を検出する傾斜角度検出器と、指定された測定アームのＭ、Ｌ、ＧｘおよびＧｚを測定アームテーブルから読み出し、これらと傾斜角度検出器で検出された傾斜角度θ１とから、測定アームの水平姿勢時の測定力と測定アームの傾斜姿勢時の測定力との差を演算し、この差を補正値として測定力を調整する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定アームに最適な測定力を発生させる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機は、ブラケットに回転軸を支点として円弧運動可能に支持される測定アーム、測定アームの先端に設けられたスタイラス、及び、測定アームを円弧運動方向へ付勢するボイスコイルを備え、スタイラスに測定力を付与する測定アーム姿勢切替機構６０を備えるスタイラス変位検出手段２０と、制御部１００と、を具備し、制御部１００は、ヒステリシス誤差を取得するヒステリシス誤差取得手段１２４と、目標測定力を取得する目標測定力取得手段１２１と、目標測定力及びヒステリシス誤差に基づいて、測定力指令値を算出する指令値算出手段１２５と、測定力指令値に基づいてボイスコイルに電流を入力する駆動制御手段１２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化できるとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能な表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】ピックアップ１６を移動させるための駆動装置１８Ａ〜１８Ｃが複数備えられた表面粗さ測定装置１０において、駆動装置１８Ａ〜１８Ｃごとに測定待ち時間が設定される。駆動装置１８Ａ〜１８Ｃの一つがデータ処理部１４に接続されると、接続された駆動装置１８Ａ〜１８Ｃが特定され、その駆動装置１８Ａ〜１８Ｃに設定された測定待ち時間の情報が読み出される。測定時は、ピックアップ１６の移動直後の測定データは使用せず、測定待ち時間の経過後に得られる測定データに基づいて表面粗さの測定が行われる。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化するとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能とする表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】まず、ピックアップ１６で所定の試験片８０を走査し変位の測定データを取得する。測定はピックアップ１６の移動開始直後から実施する。次に測定により得られた変位の測定データを解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する。次に、ピックアップ１６が測定値安定開始点に到達するまでに要する移動時間を求める。そして、求めた移動時間を測定待ち時間に設定する。 （もっと読む）

【課題】平面視で直線的な測定経路内に障害部分のある被測定物でも、障害部分に妨げられることなく測定を行えるようにする。
【解決手段】被測定物（Ｂ）の表面（Ｈ）に接触されるスタイラス（３０、３２）を有するスタイラスアーム（２２）を備え、該スタイラスアームを平面視で１つの軸線に沿って駆動することにより、スタイラスが被測定物の表面の凹凸に従って上下動することに基づいて当該被測定物の表面の粗さや形状を測定する輪郭形状測定装置に用いられるスタイラスアーム。このスタイラスアームは、細長いアーム部（１９）と、該アーム部の長さ方向で間隔をあけて設けられ、それぞれ、被測定物の表面に接触可能とされた接触端を有する第１及び第２のスタイラス（３０、３２）とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度で、しかも、スタイラスや測定アームなどの汚破損を少なくできる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ケーシング２８内においてブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成され、着脱機構はケーシング内に配置される。測定アームの円弧運動量を検出する変位検出器２７は、測定アームに配置されたスケール２７Ａと、ブラケット２２にスケールに対向して配置された検出ヘッドとを含んで構成され、スケールの検出面が測定アームの軸線上で測定アームの円弧運動面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】測定アームを交換しても、測定アームのバランスを自動的に調整し、使い勝手および作業効率の向上が期待できる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成される。測定アームを円弧運動方向へ付勢しスタイラスに測定力を付与する測定力付与手段は、測定アームを回転軸を支点として円弧運動方向へ付勢するボイスコイル６２を含んで構成される。第２測定アームの交換後に、ボイルコイルに通電する電流を調整して測定アームのバランスを調整するバランス調整手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】転動部材４の転動面４Ａを触針３にて直接測定しても、高周波帯域のウェービネス等の測定を容易にし、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａの摩耗を抑制し、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａに硬い粒子等が刺さり難い転動部材の周面測定装置１を提供する。
【解決手段】本発明に係る転動部材の周面測定装置１は、周面測定時に転動部材４の転動面４Ａに直接接触する触針の先端が、ダイヤモンドからなることを特徴とする。触針３の先端３Ａの接触面３Ａ１は、転動部材の転動面と１箇所で接触する為には、平面または凸形状になっていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】穴の内面測定時に、測定アームの姿勢を切り替えても、スタイラスや被測定物を損傷することが少ない表面性状測定機を提供する。
【解決手段】揺動可能な測定アーム２４、この測定アームの先端に設けられた一対のスタイラス２６Ａ，２６Ｂ、および、測定アームの揺動量を検出する検出部２７を有するスタイラス変位検出器２０と、被測定物を載置するステージと、検出器とステージとを相対移動させる相対移動機構とを備えた表面性状測定機において、測定アームが揺動方向の一方向に付勢される姿勢および他方向に付勢される姿勢に切り替える測定アーム姿勢切替機構６０と、測定アーム姿勢切替機構によって測定アームの姿勢が切替動作された際に、測定アームの切替動作速度を予め設定された速度に制御する速度制御機構７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 物品の表面の筋目の存在を容易かつ精度良く判定できるようにする。
【解決手段】 第１工程で、物品の表面の位置に対する高さの関係を示す第１の曲線（粗さ曲線）を相互に平行な複数の測定ラインに沿って測定し、第２工程で、第１の曲線をフーリエ変換することで物品の表面の凹凸の周波数に対する振幅の関係を示す第２の曲線に変換し、第３工程で、複数の第２の曲線のピークの重なり状態に基づいて物品の表面に測定ラインに交差する方向の筋目が存在するか否かを判定するので、複数の測定ラインに沿って第１の曲線を求める始点位置がずれても筋目の存在を確実に判定することができ、しかも第２の曲線のピークの高さから筋目の深さあるいは高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】簡易でかつ安価な校正用治具を用いて直角度誤差を簡易にかつ高精度に算出可能な表面性状測定機の直角度誤差算出方法および校正用治具を提供する。
【解決手段】３つの基準球６２Ａ〜６２Ｃを校正プレート６１に直角に配置した校正用治具６０を、テーブル１６上に配置し、接触式検出器２０によって３つの基準球の中心座標を求め（第１測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ１を算出する（第１角度算出工程）。次に、校正用治具を、同一面内で９０度回転させてテーブル上に配置し、接触式検出器によって３つの基準球の中心座標を求め（第２測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ２を算出する（第２角度算出工程）。最後に、交差角度θ１，θ２とからＹ軸駆動機構１７の移動方向とＸ軸駆動機構４８の移動方向との直角度誤差を算出する（直角度誤差算出工程）。 （もっと読む）

【課題】レール面測定装置の運搬性を高める。
【解決手段】レール面測定装置Ｘは、所定の長さのガイドバー１と、ガイドバー１をスライドしてレールＲの頭頂面８の凹凸を測定する測定器７０と、を備えている。ガイドバー１は、第一ガイドバー部１０及び第二ガイドバー部２０と、第一ガイドバー部１０の長手方向の端面１６ａと第二ガイドバー部２０の長手方向の端面２６ａとが互いに接触し、各ガイドバー部１０，２０が一直線上に並んでいる使用可能状態と、レール幅方向Ｗｒで、各ガイドバー部１０，２０が重なり合っている運搬可能状態との間で、測定器７０の接触子の変位方向Ｈを向いている回転軸を中心として、第一ガイドバー部１０に対して第二ガイドバー部２０を揺動可能に連結するヒンジ３０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】段差や凹凸という路面状態を高い精度をもって測定できるようにすること。
【解決手段】荷重センサ１１１に所定重量の錘１１３で荷重をかけた状態のセンシング装置１１２を搭載した車両を走行させ、所定のサンプリング間隔毎に荷重センサ１１１の出力を記録し、これに対応させてその記録位置の位置情報を記録する。錘１１３の重力による荷重のみがかけられた状態の荷重センサ１１１の出力を静止荷重と観念し、車両走行中の荷重センサ１１１の出力を衝撃荷重と観念し、静止荷重に対する衝撃荷重の値の変化を求め、これを位置情報に関連付けて表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】
少なくとも一部円筒状の加工品の表面粗さにおけるリード構造の算出方法を提供する。
【解決手段】
少なくとも一部円筒状の加工品の表面粗さにおけるリード構造の、本発明による算出方法では、対象となる加工品の表面領域に、この加工品の軸方向に延び、円周方向に互いに間隔をあけた複数の触針断面が実行され、この場合、触針断面によって得られる測定値に基づいて、リード構造の少なくとも１つのパラメータが算出される。本発明によると、第１触針断面に帰属する測定値に基づいて、リード構造の少なくとも１つのパラメータの推定値が算出され、この場合、少なくとも１つの第２触針断面に帰属する測定値に基づいて、この推定値が補正される。 （もっと読む）

【課題】直接ナノ粒子の表面粗さを精度よく測定する。
【解決手段】原子間力顕微鏡を用いてナノ粒子の表面粗さを測定する方法は、表面にアミノ基を有する基板上にナノ粒子分散液を塗布して乾燥させることにより基板上にナノ粒子を固定する工程１と、工程１でナノ粒子を固定した基板を原子間力顕微鏡の試料台に設置する工程２と、工程２で原子間力顕微鏡の試料台に設置した基板上に固定されたナノ粒子の表面粗さをプローブを用いて測定する工程３とを含む。 （もっと読む）

【課題】超電導線材の欠陥を感度よく検査する
【解決手段】超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スタイラスの交換時期を適正に知らせることができる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】操作キー５１〜５８によって入力されたしきい値を記憶するしきい値記憶部６４と、スタイラス３３のトレース方向の移動距離を検出するスタイラス移動距離検出器３６と、このスタイラス移動距離検出器によって検出されたスタイラスの移動距離を累積記憶する累積移動距離記憶部６５と、しきい値記憶部６４に記憶されたしきい値と累積移動距離記憶部６５に記憶された累積移動距離とを比較し、累積移動距離がしきい値を超えたときにスタイラスの交換を表示器４１に表示する報知手段（制御手段７０）とを備える。 （もっと読む）