【課題】被測定物の表面から受けた抗力の方向に変位しないタイプの測定プローブを用いた場合でも、目標点の３次元座標の正確な測定を可能にする。
【解決手段】測定ヘッド２９に対して３次元変位可能に測定球３３を支持しており３次元座標系における測定ヘッド２９に対する測定球３３の変位量を検出可能になっている測定プローブ１５を用い、測定プローブ１５を目標点に向けてアプローチさせ、測定球３３を測定ヘッド２９に対して変位させた後、このときの測定球３３の変位の方向から測定プローブ１５を被測定物１３に再度アプローチさせることを繰り返す。そして、アプローチの方向と測定ヘッド２９に対する測定球３３の変位の方向とが概略一致したときの測定球３３の変位量と測定ヘッド２９の３次元座標位置とに基づいて接触点における被測定物１３の３次元座標を求める。 （もっと読む）

【課題】
測定ヘッドの調整を容易にし、複数台の調整であっても短時間で実施可能とする測定ヘッド調整装置を提供すること。
【解決手段】
位置合わせされた測定ヘッド１１を測定ヘッドホルダ１７に固定し、ワークホルダ１２に固定されたワークＷが、スライダ１３により測定ヘッド１１と相対的にＸ、Ｙ、Ｚ方向移動されてスライダ１３の位置決めを行い、スライダ１３が固定された後に測定ヘッドホルダ１７から測定ヘッド１１を外し、測定ヘッドホルダ１７に新たな測定ヘッド１１を固定して、固定された新たな測定ヘッド１１を調整する。 （もっと読む）

【課題】 複雑な表面を効果的に走査することが可能であり、測定の細かな精度が、表面の形状に関係なく保証される。
【解決手段】 駆動手段と、該駆動手段の制御手段と、測定対象物の表面の理論的形状と座標を記憶するための記憶手段とを含んだ座標測定機（４）による走査方法が、走査プローブ先端部（１０）が測定対象物の表面（１）に接触する際に生じる接触力（Ｆ）についての設定範囲を決定する過程と、走査プローブ先端部（１０）が測定対象物の表面（１）に接触するように位置づける過程と、所定の軌道に沿って支持体（３）を動かす過程と、測定対象物の表面（１）に対する支持体（３）の相対的な移動と同時に支持体（３）に対する走査プローブ（２）の移動を起こす過程とを含み、制御手段が、走査経路に沿って駆動手段の動作を調整し、走査の全体にわたって接触力Ｆを設定範囲内に維持する。 （もっと読む）

【課題】基準点であるワークの端縁を機上で測定器によって高精度に短時間で検出することができるワーク基準点機上検出方法及びその方法を用いた加工装置を提供する。
【解決手段】ワーク支持台と工具台とを相対移動させて測定器のプローブをワークに当接させてばね力に抗して後退させる。ワーク支持台と工具台とをＸ軸又はＹ軸方向に走査速度で相対移動させて、プローブをワークの端縁から離脱させる。プローブがワークの端縁から離脱してＺ軸方向に前進する速度が所定速度となったとき、ワーク支持台と工具台との相対位置を位置検出装置によって検出する。検出されたＸ軸又はＹ軸方向の相対位置と、プローブがワークの端縁と一致してからワークの端縁から離脱して前進する速度が所定速度となるまでの間にワーク支持台と工具台とが相対移動する補正距離とに基づいてワークの端縁を基準点として検出する。 （もっと読む）

【課題】エラーがなく、正確に測定でき、高速走査に耐えられる座標測定システムを提供する。
【解決手段】 回転軸（６５）を中心にロータ（１００）が回転することで、接触プローブ（１５）の半径アーム（１４９）先端に針（１２３）を介して取り付けた接触ボール（１２０）が移動する座標測定システムについて、回転軸（６５）のスライド移動とロータ（１００）の回転の組み合わせから生じる経路に沿って、測定対象部品の測定地点の座標を接触ボール（１２０）の接触で測定するに際し、測定対象地点の接触ボール（１２０）の位置が、ロータ（１００）の回転軸（６５）に対して距離（ｒ）だけオフセットしている。 （もっと読む）

【課題】測定の高速化を図った表面性状測定装置、表面性状測定方法及び表面性状測定プログラムを提供することが可能である。
【解決手段】ワーク表面３１ａにプローブ１７を追従させて、プローブ１７先端の接触子１７ａと被測定物表面３１ａとの接触を検出しワーク表面３１ａの性状を測定する表面性状測定装置であって、接触子１７ａを移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割する経路情報分割部５１ｂと、複数の区間毎に経路情報に基づき終点から始点へと区間毎に接触子１７ａの移動速度を算出する移動速度算出部４１ａａと、移動速度算出部４１ａａにて移動速度を算出済みの区間において接触子１７ａを移動させる接触子移動制御部４１ａｂとを備える。 （もっと読む）

工作機械などの機械に取り付けられた測定プローブ（４）を備える装置を較正する方法を記載する。機械は、測定プローブの位置を示す機械位置データ（ｘ、ｙ、ｚ；７０；８０）を取り込むように構成され、測定プローブは、測定プローブ（４）に対する表面の位置を示すプローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）を取り込むように構成されている。測定プローブ（４）は、振れ可能なスタイラス（１４）を有するアナログプローブまたは走査プローブであってよい。この方法の第１のステップは、プローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）および機械位置データ（ｘ、ｙ、ｚ；７０；８０）を取り込む間に加工物（３０；４０、４２）に対して知られた速度で測定プローブ（４）を動かすことを含む。具体的には、測定プローブ（４）は、測定プローブ（４）に対する加工物の表面上の２つ以上の箇所の位置を示しているプローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）が取り込まれることを可能にする経路に沿って動かされる。この方法の第２のステップは、機械位置データ（ｘ、ｙ、ｚ；７０；８０）およびプローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）を解析し、そのデータからプローブデータおよび機械位置データを取り込む際の相対的遅延（すなわち、いわゆるシステム遅延）を決定することを含む。
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【課題】マイクロマシンを構成するマイクロパーツやマイクロレンズアレイのような微細形状測定に適し、高い分解能を実現することができる接触式変位センサのスタイラス及びその製造装置並びに接触式変位センサを提供する。
【解決手段】スタイラス軸１の先端にボール２を取り付けた接触式変位センサのスタイラスであって、スタイラス軸１の先端部１ａが先端に向かって細くなる錐状であって、ボール２がガラス、カーボン、セラミックあるいは金属から成り、直径１００μmないし０．０２μmである。 （もっと読む）

本発明は、例えば、最大速度、最大加速度、移動範囲の限界位置又は信号検出の限界値などの、動作中有効性を保持すべき少なくとも一つの動作パラメータを算定する、座標測定器（１１）の動作を制御する方法に関する。座標測定器（１１）の複数のコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）にそれぞれ動作パラメータの値、動作パラメータを算定するための規則及び動作パラメータを算定するための情報の中の一つ以上を割り当てる。複数のコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に対して、動作パラメータの算定シーケンスを規定する。規定された算定シーケンスで動作パラメータを算定する際、各コンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に対して、次の措置を実施するものとして、シーケンスの第一の位置に有るコンポーネント（１１）から開始し、ｉ）動作パラメータの値がコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に割り当てられている場合には、その値を動作に関して有効な動作パラメータの値として採用する措置、ii）動作パラメータの値がコンポーネント（１１，１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）に割り当てられていない場合には、それまでの有効な動作パラメータの値を引き続き有効なままとする措置、iii ）シーケンス内に更に別のコンポーネント（１２，１３，１４，１６，１７，１８，１９）が存在する場合、そのコンポーネントに関して前記の措置を繰り返す。
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本発明の１つの態様は、第１の端と、第２の端と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアームを含む座標測定機器を含み、各アームセグメントは、少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。アームの第２の端には、測定プローブアセンブリが結合される。測定プローブアセンブリは、アームの第２の端と測定プローブアセンブリのボディとの間に第１の回転軸を提供する第１の継ぎ手を含む。エンコーダは、エンコーダケースおよびエンコーダシャフトを含む。エンコーダケースは、ボディに剛結合されるエンコーダシャフトに対して第２の軸を中心に回転するように構成される。エンコーダシャフトにプローブが剛結合される。第２の軸を中心にプローブに対して回転するように、測定機器がエンコーダケースに結合される。
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【課題】非球面レンズなどの測定物の形状等をより高精度に測定でき、壊れにくく長寿命、低コストの三次元測定プローブを実現する。
【解決手段】小エアー軸受け部７Ａに取り付けられた磁石２９とヨーク８と小摺動軸部６に取り付けられた磁性体ピン２０とが磁気回路を形成することにより、小摺動軸部６の回転と軸方向の変位を妨げる磁力を発生させる。非接触の磁力なので下からでも横からでも測定できる三次元測定プローブとなる。 （もっと読む）

可撓性のスタイラス（１２）を有するアナログ式プローブ（４）を用いて、工作機械上のワークピース（６、３０、６０、１００）を測定する方法が記載されている。方法は、工作機械の作業領域内に配置されている、名目上の表面プロフィール（３２）を有するワークピース（６、３０、６０、１００）を受け取るステップを備えている。工作機械は、ワークピース（６、３０、６０、１００）に対してアナログ式プローブ（４）を所定の（既知の）測定経路（４０、６４、１０２）に沿って移動し、スタイラス（１２）の撓みを測定するのに用いられる。アナログ式プローブ（４）は、ワークピース（６、３０、６０、１００）に対して５ｍｍ／ｓｅｃ以上の速度で移動し、所定の測定経路（４０、６４、１０２）は、スタイラスがワークピースのプロフィールが不連続部分を示すワークピースから空間的に離されるように選択される。
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【課題】 接触型３次元座標測定機と非接触型３次元座標測定機との両方の測定機用に容易に変更可能にするとともに、球体をゲージ本体側との間の応力影響がほとんど作用しないようにして保持できるようにし、振動や衝撃に対して、また、接触型３次元座標測定機用と非接触型３次元座標測定機用との変更時においても、標準値が変化する事態を極力防止して寸法安定性の向上を図る。
【解決手段】 ３次元座標測定機の定盤上に設置されるゲージ本体１と、ゲージ本体１に保持される複数の球体Ｇとを備えて構成され、球体Ｇを磁着性材料で形成するとともに、球体Ｇとして、接触型３次元座標測定機に用いられる接触型球体Ｇ（ａ）と、非接触型３次元座標測定機に用いられる非接触型球体Ｇ（ｂ）との二種類の球体Ｇを備え、ゲージ本体１に、永久磁石を備えて形成され接触型球体及び非接触型球体のうちから選択された何れかの球体Ｇを磁着保持する保持体１０を付設した。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面にプローブ球を接触させて一定力で押しながら測定を行う形状測定装置において、プローブの倒れや曲がりによる誤差を補償する。
【解決手段】プローブ球１をワークＷに接触させて測定する形状測定装置において、プローブ２の倒れや曲がりによるプローブ球１の変位を３次元的に測定する２組のプローブ球位置測定ユニット１０を設ける。プローブ２、ハウジング８、板バネ６、支柱４等を含むプローブユニットの３次元位置を干渉計１８ａ〜１８ｃ等から求めて、その位置情報と、プローブ球位置測定ユニット１０から得られた位置情報とから、ワークＷの表面形状を表わす測定データを算出する。 （もっと読む）

可搬型座標測定装置（ＣＭＭ）を開示する。ＣＭＭは向き合った第１および第２端部と、第１の関節アームに取り付けられた測定プローブとを有する、手動で位置決めができる関節アームを有してもよい。アームは複数の接合アーム部位を有してもよい。各アーム部位は位置信号を生じる少なくとも１つの位置トランスデューサを有してもよい。ＣＭＭは、位置信号をトランスデューサから受信し、選択された空間においてプローブの位置に対応するデジタル座標を提供する電子回路を有してもよい。少なくとも１本のアーム部位はその長さに沿って非直線的でもよい。
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【課題】それぞれ傾斜穴の傾斜、方位に基づいて、加工を始める前に主軸頭やテーブルの旋回角度の誤差を測定しておき、自動的に主軸頭やテーブルの旋回角度を補正しながら斜め加工を実施できるようにする。
【解決手段】特定のワークの加工を開始する前の段階で、当該ワークについて加工するすべての傾斜穴の傾斜角度、方位などの形状データに基づいた測定プログラムの実行により、当該ワークに行う各傾斜穴加工のすべてについて、その傾斜角度に前記主軸頭１０を旋回させたときのＡ軸角度の目標値と実際の測定値との誤差である変位角度を測定し、ワークのすべての傾斜穴加工について、変位角度が許容範囲内になるように補正したＡ軸角度を記憶させ、当該ワークの加工プログラムをＮＣ装置で実行したときにすべての傾斜穴について補正後のＡ軸角度を読み出し、各斜め加工を実行するときのＡ軸角度を前記補正後のＡ軸角度で指令する。 （もっと読む）

【課題】物体に形成された測定対象物の形状を低測定力で高感度かつ高精度で測定が可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】基部側に発光器１１及び受光器１２が設けられ、先端に光を反射する光反射部１３が設けられて自由状態で垂直配置された先側領域１４を有し、先側領域１４の一部の曲げ歪みによって通過光に光量変化を発生させる撓み検知部１５が形成された光ファイバ１６と、光ファイバ１６の先端部に固着配置された探触子１７と、光ファイバ１６の下方に配置され測定対象物１８が形成された物体１９を載せるＸＹテーブル２０と、ＸＹテーブル２０を相対的に上下するＺ方向昇降手段２１とを有し、探触子１７に測定対象物１８を側方から当接させて受光器１２での光量変化を検知し、探触子１７に測定対象物１８が当接した際の探触子１７の位置から測定対象物１８の二次元形状を測定する。 （もっと読む）

測定対象（２６）の輪郭（２５）に沿った多数の測定点（２４）の空間座標を判定するために、プローブ（２０）で移動可能に支承された探触素子（２２）を有するプローブ（２０）が用意される。プローブ（２０）が輪郭（２５）に沿って移動するとき、プローブ（２０）の位置測定値（２８〜３２）と、プローブ（２０）に対して相対的な探触素子（２２）の変位量（７０）が判定される。位置測定値（２８〜３２）と変位量（７０）とから輪郭（２５）に沿った測定点（２４）の空間座標が判定される。定義された接触力をアクチュエータ（６２）によって生成することによって、プローブ（２０）の移動時に探触素子（２２）が輪郭（２５）と接触保持される。本発明の１態様によれば、プローブ（２０）に対して相対的な探触素子（２２）の加速度（１０５；１３４）に依存して接触力が設定される。
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【課題】プローブユニットの小型化、簡素化を図ることができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】ルビー球（先端部）２を有するプローブ軸部３と、被測定物Ｏの測定面ＯＳとプローブ軸部３のルビー球２との接触点の空間位置座標を検出する変位計（検出部）５とが設けられたプローブユニット６を備えた形状測定機であって、被測定物Ｏの測定面ＯＳにルビー球２を押付けたときにプローブ軸部３に作用される力、及び、このときに測定された空間位置座標とをパラメータとして記憶する記憶部７と、パラメータに基づいて、測定時におけるプローブ軸部３の傾きに起因する被測定物Ｏの真の空間位置座標からの誤差を補正する補正値を算出する演算部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定の不確かさを軽減し、測定対象物の姿勢及び変位量についての測定精度を向上させ、かつ、高速応答が可能な三次元センサを提供する。
【解決手段】光源２からの光を２分割し一方を参照光ｃ１として参照ミラー１０に照射し、他方を測定光ｃ２として測定対象物９に照射する第１のＰＢＳ３と、参照ミラー１０で反射した参照光ｃ１と測定対象物９で反射した測定光ｃ２とを２分割してそれぞれ干渉させる第２のＰＢＳ４と、一方の干渉光ｃ５を所定の測定直線１４上に導く第１の光学系５と、他方の干渉光ｃ６を光軸を法線とする平面にて９０度回転させて前記測定直線１４上に導く第２の光学系６と、測定直線１４上にて干渉光ｃ５，ｃ６を受光するラインイメージセンサ８とを備えた。 （もっと読む）