【課題】高精度に接触子の交換判定を実行可能な表面性状測定装置、表面性状測定方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】制御部５１は、接触子２４を基準ワーク４Ａの表面に倣うように駆動すると共に接触子２４の所定位置の軌跡を第１擬似測定点列Ｐ１ｉとして取得する。制御部５１は、第１擬似測定点列Ｐ１ｉ、及び基準ワーク４Ａの表面を特定する設計面Ｓ０に基づき、接触子２４の表面形状を示し且つ擬似空間上に配置される接触子モデルＭ１を算出する。制御部５１は、被測定物４Ａの表面４１Ａを特定する参照面Ｓ２に接触子モデルＭ１の表面が接し且つ測定時の接触子２４と接触子モデルＭ１との姿勢を一致させるように接触子モデルＭ１を配置し、接触子モデルＭ１の基準位置Ｏを、第２擬似測定点列Ｐ２ｉとして算出する。制御部５１は、第２擬似測定点列Ｐ２ｉに基づき、接触子２４を交換すべきか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】精度よく測定しなければならない小さい領域と、精度よく測定しなくてもよい大きな領域とが混在する大きな被測定物を適切に測定することができる安価な三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、三次元測定機本体２と、制御装置３とを備える。三次元測定機本体２は、測定子を有するプローブ４と、プローブ４を駆動する駆動機構５とを備える。プローブ４は、測定子を駆動する駆動部４３を備える。制御装置３は、第１測定部３２１と、第２測定部３２２とを備える。第１測定部３２１は、駆動部４３にて駆動される測定子の移動量を測定する。第２測定部３２２は、プローブ４の移動量を測定する。また、第２測定部３２２による測定精度は、第１測定部３２１による測定精度より低い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定装置のコストを低減し、且つ測定精度を保障する誤差補正方法及びこれを用いた部品測定方法を提供する。
【解決手段】前記誤差補正方法は、プローブ及びガイドを備える測定装置を提供するステップと、ガイドの真直度誤差を測定して補正するステップと、プローブの取付傾斜角をフィッティングするステップと、プローブの形状誤差を計算するステップと、系統誤差補正プログラムを生成するステップと、を含む。前記部品測定方法は、前記誤差補正方法を通して系統誤差補正プログラムを生成するステップと、曲面又は曲線を有する部品を提供するステップと、前記測定装置を使用して、部品の曲面又は曲線を測定するステップと、ガイドの真直度誤差を測定して補正するステップと、プローブの取付傾斜角による誤差を補正するステップと、プローブの形状誤差を補正するステップと、プログラムにより測定誤差を生成するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 軸方向位置によって外径・内径寸法が異なる筒状の回転体であっても、肉厚、偏肉、偏心状態等を簡単に精度良く測定できる回転体の肉厚等測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定物支持台装置１で支持した被測定物Ｗの中心軸Ｏに直交する方向に移動自在な水平移動台１１を有する水平移動テーブル機構１０と、水平移動台１１にこれと同方向に移動自在にプローブ支持体２２を設けた測定テーブル機構２０とを備える。被測定物Ｗの内外周面への測定端子の接触を検出するプローブ３０を、プローブ支持体２２に設ける。水平移動台１１の進退位置を水平位置検出手段４０で、水平移動台１１に対するプローブ支持体２２の変位量を変位量検出手段５０で検出する。被測定物内周面と対向位置の外周面へ測定端子を接触させたときの、変位量検出手段５０の変位量検出値と水平位置検出手段４０の位置検出値から被測定物Ｗの肉厚を演算する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の形状を適切に測定することができる形状測定機、及び形状測定方法の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、被測定物に当接する測定子と、測定子を移動させるスライド機構２４、及び駆動機構２５と、スライド機構２４、及び駆動機構２５を制御するホストコンピュータ５とを備える。ホストコンピュータ５は、測定子の内部に設定された所定の点を仮測定点として仮測定点の位置を時系列で取得する仮測定点取得手段５１と、仮測定点取得手段５１にて取得された仮測定点の位置と、測定子の表面形状をモデル化した測定子モデルとに基づいて、測定点の位置を推定して取得する測定点推定手段５２とを備える。測定点推定手段５２は、対象モデル配置部５２１と、領域設定部５２２と、前後モデル配置部５２３と、範囲設定部５２４と、測定点取得部５２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】水平面に近い形状を有するときにも高精度かつ低測定力で測定が可能なプローブを提供する。
【解決手段】直動部６は鉛直方向にのみ直動可能に取付部２に支持される。揺動部３は、測定物６０の被測定面６１に接触するスタイラス１２１を先端に備えるアーム１１２を有する。連結機構４は、揺動部３側の支持部材４２の尖端を直動部６側の載置台４１に形成された溝４１ａに嵌入することで、揺動部３を直動部６に対して揺動可能に連結する。揺動側磁石５１と非揺動側磁石５２との間の磁気的吸引力により、アーム１１２を鉛直方向に向ける付勢力が揺動部３に作用する。可動側磁石７１と固定側磁石７２との間の磁気力により、直動部３に鉛直方向上向きの付勢力が作用し、直動部３は取付部３に対して鉛直方向に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ安価の構造で、外乱振動の影響を軽減できる形状測定機および倣いプローブ装置を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、相対移動機構のＺ軸スライダに保持されたケース体１１と、このケース体の内部に往復移動可能に設けられたプローブ本体１２と、このプローブ本体の先端に設けられた力センサ２０と、プローブ本体を往復移動させる駆動アクチュエータ１４とを含む。ケース体とプローブ本体との間にはプローブ本体の往復移動方向へ振動可能な振動素子１７が設けられている。力センサからの力検出信号を基にプローブ本体に伝わる外乱振動を相殺する振動を振動素子１７から発生させる相殺振動発生手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】先端接触子の呼び半径とスタイラスの実際の移動距離とによって、ワークの寸法計測を正確に行うことができる接触検出装置およびスタイラスの先端接触子の製造方法を提供する。
【解決手段】スタイラス２の先端接触子２１の実際の半径をＲａとしたとき、先端接触子２１の呼び半径Ｒｎに対して、動作遅れ分として、先端接触子２１がワーク１１０に接触した位置から可動接点１１，１２，１３のいずれかが対応する鋼球３１と３２，３３と３４，３５と３６との接触から離れる位置までのスタイラス２の追加移動距離ｄを足したＲａ＝Ｒｎ＋ｄの大きさにする。これにより、先端接触子２１がワーク１１０に接触してから追加移動距離ｄだけスタイラス２をワーク１１０側に移動させることができるので、スタイラス２の移動距離と先端接触子２１の呼び半径とを足すと、実際の移動距離と同じにすることができ、誤差を解消できる。 （もっと読む）

【課題】支持用部品の取付誤差が大きいＳ／Ａ部品が次工程に流出することを確実に防止するべく、現状の検査方法の変更を最低限に抑えつつ、支持用部品の取付位置を、容易に短時間で高精度に測定することができる支持用部品の取付位置測定具および取付位置測定方法を提供する。
【解決手段】揺動可能、かつ、その揺動方向が変更可能に支持されるリンク部材１１とリンク部材１１の変位量を検出する変位計６を備える測定具本体２と、ナット孔５０ａの位置を代替して示す測定孔３ｂが形成されるアタッチメント部材３と、からなり、さらにリンク部材１１には、プローブ１２および検出部１３が固設され、プローブ１２が測定面３ｃに当接するときの球面部１２ａの変位量を、球面部１３ａの任意の一軸方向に対する変位量として変位計６により測定し、測定面３ｃの位置を検出して、ナット孔５０ａの取付位置を検出する取付位置測定具１。 （もっと読む）

【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ＳＴ２と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線Ｌ１および軸部の傾きを示すプローブ軸線Ｌ２を抽出する工程ＳＴ３と、抽出された基準直線Ｌ１に対するプローブ軸線Ｌ２の傾きを演算して求める工程ＳＴ４と、求められたプローブ軸線Ｌ２の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ＳＴ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】高精度で３次元接触子モデルを生成可能な表面性状測定装置、その接触子モデル生成方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】表面性状測定装置は、被測定物に先端が接触可能な接触子２４と、接触子２４を互いにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に沿って移動させる制御部４１とを備える。制御部４１は、接触子２４を被測定物の表面に倣うように駆動すると共に接触子２４の先端位置を疑似測定点Ｐｉとして取得する。制御部４１は、基準ワーク４を接触子２４で倣い測定して３次元接触子モデルＭ２を算出する。制御部４１は、接触子２４を、Ｚ軸を中心として回転駆動する。制御部４１は、回転駆動される接触子２４の複数の回転位置のそれぞれにおいて、接触子２４をＸ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させて基準ワーク４を倣い測定して疑似測定点Ｐｉを取得し、取得された疑似測定点Ｐｉに基づいて３次元接触子モデルＭ２を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定条件を変更した場合であってもプローブの移動量を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、一定の範囲内で移動可能に構成される測定子を有するプローブと、プローブを移動させる移動機構と、移動機構を制御する制御装置とを備える。制御装置は、移動機構の移動量、及びプローブの移動量に基づいて測定子の位置を算出する測定値算出部５３を備える。測定値算出部５３は、被測定物を測定するときの測定条件に基づいて、プローブの移動量を補正するための補正パラメータを算出する補正パラメータ算出部５３１と、補正パラメータに基づいて、プローブの移動量を補正する補正部５３２と、移動機構の移動量と、補正部５３２にて補正されたプローブの移動量とを合成することで測定子の位置を算出する移動量合成部５３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】形状測定に用いる接触式プローブにおいて、自重を補償して接触力を小さくして小型化を図るとともに測定精度を向上させ、さらに、先端球の交換を簡便に行うことができる接触式プローブを提供する。
【解決手段】３次元的に移動可能な移動部材１０３と、前記移動部材に対して重力の方向に移動可能に設けられたプローブ１０２と、前記移動部材１０３に支点を取り付けた天秤１１１またはプーリー１１８とを、有している。前記天秤またはプーリーの一端部にプローブ１０２を吊下げ、他端部には、バランス重り１１４を連結し、ばね１１５を前記バランス重りと移動部材との間に設けたことを特徴とする。このように天秤１１１を介してバランス重り１１４を設けることにより、バランス重りがプローブにかかる重力のほとんどを受けるので、ばね１１５が受け持つ力が非常に少なくなる。 （もっと読む）

【課題】補正パラメータの算出にかかる時間を短縮することができ、測定精度を向上させることができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、測定子２１１Ａを有するプローブ２１と、駆動機構と、補正パラメータ算出装置とを備える。補正パラメータ算出装置は、測定子２１１Ａの回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、プローブ２１の移動量が０となる位置を基準位置として設定する基準位置設定部と、拘束手段６にて基準位置に測定子２１１Ａを拘束した状態でプローブ２１を複数の測定点に移動させて各測定点における基準位置からのプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量を取得する測定点情報取得部とを備え、測定点情報取得部にて取得される情報に基づいて、プローブ２１の座標系を補正するための補正パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】クリーンな環境以外の環境でも使用できるとともに、接触圧を小さくできる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】接触子３を先端に有し、本体１３に対し上下に移動可能なスライダ５と、本体とスライダとに接続され、スライダに上向き弾性力を作用させる弾性体７と、本体に設けられた第１磁力作用部９と、第１磁力作用部と上下方向に対向するようにスライダに設けられた第２磁力作用部１１と、を備える。第１磁力作用部と第２磁力作用部とは互いに磁力を作用させることで、スライダに下向き磁力が付与されるようになっている。接触子が被測定物１に接触することでスライダが押し戻されると、上向き弾性力が減少し、下向き磁力も減少する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状測定装置において、単一の位置検出器で複数の複数の測定ミラーの変位を測定可能とする。
【解決手段】互いに平行なレーザービームが偏光ビームスプリッタ２０４の偏光面Ｅの異なる位置に入射する。一方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して第１の測定ミラー４と参照ミラー６に入射する。他方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して測定ミラー５と参照ミラー６に入射する。偏光ビームスプリッタ２０４と測定ミラー２１０，２１１の間には、測定ミラー２１０に向かうレーザービームを透過させ、測定ミラー２１１に向かうレーザービームを反射される部分反射ミラー２１４が配置されている。測定ミラー４，５と参照ミラー６で反射されたレーザービームの干渉から測定ミラー４，５の参照ミラー６に対する相対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】制御性への悪影響、精度悪化、機械寿命への懸念といったデメリットを解消しつつ、高加減速仕様に対応できる三次元測定機の昇降装置を提供する。
【解決手段】Ｙスライダ１６およびＺスピンドル１７の重量を相殺するＹ軸バランス機構５０Ｙと、Ｙスライダを昇降駆動させるＹ軸駆動機構４０Ｙとを備える。Ｙ軸バランス機構は、Ｙコラム１５を挟んでYスライダ１６とは反対側面に配置されたカウンタウエイト５１と、Ｙコラムの上部および下部に設けられたプーリ５２と、これらプーリに掛け回されＹスライダ、カウンタウエイトに連結されたループ状のバランスワイヤ５３とを含む。Ｙ軸駆動機構は、Ｙコラムの上部および下部に設けられたプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅと、これらプーリに掛け回されＹスライダおよびカウンタウエイトに連結されたループ状の駆動ベルト４２Ｙと、いずれかのプーリに連結されたモータ４３Ｙとを含む。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を有するワークを、貫通孔が所定軸方向に平行となるように、短時間で載置可能に構成された形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、貫通孔１２ａを有するワーク１２を載置可能に構成され且つＸ軸及びＹ軸に回転可能に構成された回転テーブル１３ａ、貫通孔１２ａの一方側からＺ軸に平行に光を照射する光源１３ｂ、貫通孔１２ａの他方側に配置され且つ貫通孔１２ａを通過した光源１３ｂからの光を受光してその受光した光に基づく輝度を測定するＣＣＤカメラ１８ａ、回転テーブル１３ａによるワーク１２の回転角度をＣＣＤカメラ１８ａにて測定された輝度に基づき制御する制御部３５を備える。制御部３５は、回転テーブル１３ａによりワーク１２を所定角度ずつ回転させる毎に、ＣＣＤカメラ１８ａにより輝度を測定させ、その輝度が最大となる角度に回転テーブル１３ａの回転角度を設定する。 （もっと読む）

【課題】コストダウンや制御性の向上が可能で、全体を小型化できる測定装置を提供する。
【解決手段】Yスライダ１６に対して、Ｚスピンドル１７をXスライダ１４およびYスライダ１６の移動方向に対して直交する方向へ移動可能にガイドするＺ軸ガイド機構３０Ｚを有する測定装置。ガイド機構は、Ｚスピンドルの対向する上下面にＺスピンドルの移動方向に沿って平行にかつＺスピンドルの軸を中心に対称配置された一対のガイドレール３１Ｚと、Ｙスライダに配置されガイドレールに摺動可能に係合する複数の係合ブロック３２Ｚとを有する。 （もっと読む）