【課題】穴検査装置において、検査作業の作業性の向上を可能とする。
【解決手段】直交するＸ方向及びＹ方向に沿って検査ヘッド１０５を移動自在に支持し、この検査ヘッド１０５に対して測定ヘッド１２５，１２６をＸ方向及びＹ方向に直交するＺ方向に沿って移動自在に支持し、この測定ヘッド１２５，１２６に複数の第１測定子１２７と複数の第２測定子１２８とを並んで並設し、Ｚ方向に対して後退可能であると共に前進した位置に保持可能とする。 （もっと読む）

【課題】小型、安価で、高速の高精度測定が可能であり、工作機械における機上測定や搬送ラインでのインサイト測定が容易な、座標測定用ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】座標測定用ヘッドユニット１０において、コンピュータ数値制御によりプローブ１２を互いに直交する複数の駆動軸に沿って移動させ、測定対象に当接させて測定対象の寸法を計測するための駆動手段（Ｘ軸駆動部１４、Ｙ軸駆動部１６、Ｚ軸駆動部１８）と、該駆動手段１４、１６、１８を収めるための一体化された筐体１３と、該筐体１３のいずれかの側面に設けられた、前記駆動手段１４、１６、１８のいずれか一つを支持体（ベース３０に固定されたスタンド３２上のサポート３４）に取付けるための取付手段（取付面２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】予め算出した補正テーブルを変更することなく回転軸の位置補正を簡便に行うことができる、載置台、形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】被検物を載置する載置面が少なくとも１軸を中心として回転可能な載置部と、載置部を支持するベース部と、ベース部に固定されており、載置面の位置を規定する基準部と、を備える載置台である。 （もっと読む）

【課題】複数の測定プローブを備えたフレーム部に起因する回転誤差を短時間且つ精度良く算出できる、誤差分布算出方法、形状測定方法、および形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物が載置される載置部と、被検物の形状を測定する複数の測定プローブの各々が所定のオフセットだけ離間して取り付けられた測定部と、測定部を互いに直交する２方向に前記載置部上を移動させる移動部と、を備えた形状測定装置における移動部による回転誤差分布を算出する誤差分布算出方法である。載置部上と所定の関係を持った位置に基準部材を配置する配置工程と、測定プローブの少なくとも２つが、基準部材の座標値をそれぞれ測定する測定工程と、各々の測定座標値の差分に基づいて移動部による回転誤差分布を算出する算出工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転テーブル座標系の登録を効率よく行えるとともに高精度が確保できる三次元測定機の校正方法および校正治具を提供すること。
【解決手段】 回転テーブル５０の座標系を登録するために、少なくとも３つの角度位置で回転テーブル５０の表面の基準点の座標位置を測定する。測定には、接触部６１として３つの同径の球体６５を有し、支持部６２として支柱６４および基台６３を有し、プローブ１７の先端球１７Ａに対して３つの接点で同時に接触する校正治具６０を用いる。測定手順として、回転テーブル５０の表面に校正治具６０を設置し、プローブ１７を校正治具６０に近接させ、プローブ１７の先端球１７Ａが３つの球体６５と同時に接触した状態での座標位置を読み取る。 （もっと読む）

【課題】測定装置に関するエラーログを容易に取得可能な測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定機（測定装置）は、被測定対象に対して相対移動可能な測定子、および測定子を移動させる移動機構を有する本体２と、本体２の移動機構の駆動を制御するモーションコントローラー３と、を備える。モーションコントローラー３は、時刻を計測するＲＴＣ３１と、本体２のエラーを検出して、ＲＴＣ３１エラー検出時刻を取得し、検出したエラーに基づいたエラーデータと、エラー検出時刻とを関連付けたエラーログ３２１を生成するエラー検出部３３と、エラーログが記録される記録部３２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】エアー放出量を低減して省エネルギー化を図れる産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、エアーを供給するエアー供給部７と、エアー供給部７から供給されるエアーにより駆動される駆動機構２５と、エアー供給部７から駆動機構２５にエアーを導入するエアーレギュレータセット内に設けられ、エアーレギュレータセット内の空気供給路を開閉する電磁弁と、駆動機構２５が駆動停止してからの時間が予め設定された設定時間になると、電磁弁を制御して、空気供給路を閉塞させるモーションコントローラー３と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】プローブ交換が行われても、測定データを適正に補正することができる三次元測定機の測定データ補正方法および三次元測定機を提供。
【解決手段】スピンドルに異なる重量を付加したときに三次元移動機構に発生する幾何学誤差を測定する幾何学誤差測定工程と、異なる重量毎に測定された三次元移動機構に発生する幾何学誤差を補正するための補正パラメータを記憶手段に記憶させる補正パラメータ記憶工程と、スピンドルに装着されたプローブの重量情報を入力する重量情報入力工程（ＳＴ１１）と、入力されたプローブの重量情報に対応する補正パラメータを記憶手段から読み出し（ＳＴ１２）、この補正パラメータで測定データを補正する補正工程（ＳＴ１３）とを備える。 （もっと読む）

【課題】より高精度、より簡便に構成可能な三次元座標測定機ゲージを提供するとともに、当該三次元座標測定機ゲージを用いた精度評価方法を提供する。
【解決手段】 基板３の表面に固定された第１の球体４及び第２の球体５と、前記基板３の表面から突出して設けられた第１の柱７上に固定された第３の球体６と、を備えることにより三次元座標測定機を精度評価するための三次元座標測定機ゲージ１を構成する。 （もっと読む）

【課題】熱膨張によるラムのＺ軸シフト量を高精度に算出可能な産業機械を提供する。
【解決手段】三次元測定機１（産業機械）は、Ｚ軸に沿うコラム２２１およびサポータ２２５と、これらの間に設けられたビーム２２２上で移動可能なスライダ２２３と、スライダ２２３にＺ軸方向に移動可能に保持されたラム２２４と、コラム２２１、サポータ２２５、及びラム２２４のそれぞれの温度を検出する温度検出センサー２２６および温度検出部３２と、これらのコラム２２１、サポータ２２５、及びラム２２４の各温度、基準温度におけるこれらの位置関係を示す基準位置データ、及びこれらの熱膨張係数に基づいて、前記Ｚ軸シフト量を算出するシフト量算出部３３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ロータリーカップリングによって下ハウジングを上ハウジングに対して連続的に回転させることを可能とするプローブヘッドを提供する。
【解決手段】測定プローブ２を支持する連結手首を有し、プローブを２つの回転軸Ａ、Ｂのまわりに回転させるプローブヘッド６であり、ヘッドは装置と接続するための上ハウジング１０と回転可能に接続し、第１モータＭＢによって上ハウジングに関して第１軸Ｂまわりに連続的に回転することができる、下ハウジング１２と測定プローブに回転可能に接続し、第２モータＭＡによって下ハウジングに関して前記第１軸を横切る第２軸Ａまわりに回転することができるキャリジ１４と、第１軸まわりの連続的な回転を可能として少なくとも第２モータのための電力経路ａを提供するロータリーカップリング９０と、を具えた。 （もっと読む）

【課題】座標読取値の信頼性の向上、およびラッチ処理の高速化を実現可能な測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定機（測定装置）は、被測定対象物に対して接触可能な測定子２１１、および測定子２１１の被測定対象物への接触を検出してタッチ信号を出力する接触検出センサー２１２を有するプローブ２１と、プローブ２１を互いに直交する３軸方向に沿って移動させる移動機構２２と、プローブ２１の位置座標を検出して座標検出信号を出力するスケールセンサー２５Ｘ，２５Ｙ，２５Ｚと、タッチ信号をカウントするタッチカウンタ２８１、および座標検出信号をカウントするスケールカウンタ２８２が組み込まれた集積回路２８を有する制御回路基板２６と、タッチカウンタの値、およびスケールカウンタの値を同タイミングでラッチするラッチ制御部２９と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 移動機構の位置に基づく信号を出力するリニアエンコーダの原点位置を検出する動作を不要にでき、短時間で測定を開始できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２の位置を制御することにより制御対象物の位置を制御する制御装置３とを備えるものであって、スピンドル２の絶対位置を出力するアブソリュート型のリニアエンコーダ１１を備える。このため、三次元測定機１による測定を短時間で開始できる。 （もっと読む）

【課題】スピンドル内にエアーバランス機構を備えた構成において、外観を損なうことなく、スピンドルの上下動や測定精度にも影響を与えることが少ない三次元測定機を提供。
【解決手段】エアーバランス機構１９を備えた三次元測定機。エアーバランス機構は、Ｚ軸スピンドル１２内に設けられたシリンダ２０と、このシリンダ内に摺動可能に収納されたピストン２９と、このピストンをガイド筒２２等に支持する支持軸２８と、ピストンで区画されたシリンダ内の押上力発生室２０１とを備える。プローブ１３からの配線１３Ａを、シリンダの外面に接触させることなく、スピンドルの内面とシリンダの外面との間を通してスピンドルの外部へ導く誘導路４３がＺ軸スピンドル１２の内部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】外乱に基づいて不適切な幾何誤差が計測された場合であっても、そのような不適切な幾何誤差に基づく補正の実行により多軸工作機械の加工精度が低下する事態を、きわめて効果的に防止することが可能な幾何誤差の計測方法を提供する。
【解決手段】幾何誤差の計測においては外乱誤差有無確認ステップを実行し、幾何誤差を同定する前に、Ａ軸およびＣ軸を複数の条件で割り出して、ターゲット球１２の直径を計測し、それらの計測値のバラツキを算出し、それらのバラツキが予め設定された直径変動量許容値Ｄａを超えた場合には、計測ミスと判断する。 （もっと読む）

【課題】外骨格および伝達手段を有するＣＭＭアームを提供する
【解決手段】 ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 短時間で容易かつ確実に原点位置の検出ができる産業機械および産業機械の制御方法を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、所定の軸方向へ制御対象物を移動させるスピンドル２と、スピンドル２を移動させる駆動力を発生する駆動モータ３と、スピンドル２の位置を制御するとともに駆動モータ３の回転速度を制御する制御装置４とを備えるものであって、スピンドル２の位置に基づく信号を検出するインクリメンタル型のリニアエンコーダ１１と、駆動モータ３の絶対角度に基づく信号を検出するアブソリュート型のロータリーエンコーダ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】プローブの運動の履歴に基づく測定誤差を補正することができ、測定精度を向上させることができる形状測定装置の提供。
【解決手段】形状測定装置１は、装置本体２と、装置本体２を制御する制御手段３とを備える。装置本体２は、プローブ４を備え、プローブ４は、被測定物に接触する測定子を先端側に有する棒状のスタイラス４１と、スタイラス４１の基端側を支持する支持機構４２とを備える。支持機構４２は、スタイラス４１の位置を検出するプローブセンサ４２１を備え、スタイラス４１を一定の範囲内で移動可能に支持する。制御手段３は、プローブセンサ４２１にて検出されるスタイラス４１の位置を入力とし、測定子、及び被測定物の接触する位置を出力とする伝達関数に基づいて、測定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定子の位置を適切に制御することができ、測定子が非接触か否かを適切に判断することができる形状測定装置の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、測定子を有するプローブ２１と、プローブ２１を移動させる移動機構２２と、ホストコンピュータ５とを備える。ホストコンピュータ５は、測定子の移動量を取得する移動量取得部５２と、測定子を非接触とした状態における基準位置からの測定子の移動量を偏差として取得する偏差取得部５４と、偏差取得部５４にて取得される偏差が第１の閾値より大きいか否かを判定する判定部５５と、判定部５５にて偏差が第１の閾値より大きいと判定されると、基準位置と、偏差とを合成した位置に基準位置を更新する更新部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用する環境の温度変化や、経時変化などの影響があっても適切に空間精度補正をすることができる産業機械の提供。
【解決手段】産業機械としての三次元測定機１は、ガイド部２１２と、コラム２２１とで構成され、Ｙ軸方向に沿って移動する移動機構と、コラム２２１の角度を検出する２軸角度計３２と、移動機構を制御する制御装置４とを備える。制御装置４は、角度誤差取得部４２と、パラメータ生成部４３と、補正部４４とを備える。角度誤差取得部４２は、コラム２２１を移動させたときに２軸角度計３２にて検出される角度に基づいて、コラム２２１の位置に対するコラム２２１の角度誤差を取得する。パラメータ生成部４３は、角度誤差取得部４２にて取得されるコラム２２１の角度誤差をコラム２２１の位置で積分することで真直度補正パラメータを生成する。補正部４４は、パラメータ生成部４３にて生成される真直度補正パラメータに基づいて、移動機構の運動誤差を補正する。 （もっと読む）