【課題】制御性への悪影響、精度悪化、機械寿命への懸念といったデメリットを解消しつつ、高加減速仕様に対応できる三次元測定機の昇降装置を提供する。
【解決手段】Ｙスライダ１６およびＺスピンドル１７の重量を相殺するＹ軸バランス機構５０Ｙと、Ｙスライダを昇降駆動させるＹ軸駆動機構４０Ｙとを備える。Ｙ軸バランス機構は、Ｙコラム１５を挟んでYスライダ１６とは反対側面に配置されたカウンタウエイト５１と、Ｙコラムの上部および下部に設けられたプーリ５２と、これらプーリに掛け回されＹスライダ、カウンタウエイトに連結されたループ状のバランスワイヤ５３とを含む。Ｙ軸駆動機構は、Ｙコラムの上部および下部に設けられたプーリ４１Ｙａ〜４１Ｙｅと、これらプーリに掛け回されＹスライダおよびカウンタウエイトに連結されたループ状の駆動ベルト４２Ｙと、いずれかのプーリに連結されたモータ４３Ｙとを含む。 （もっと読む）

【課題】測定条件に応じて測定機の共振特性が変化する場合であっても適切に測定誤差を低減させることができる測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、三次元測定機本体２と、ホストコンピュータ３とを備える。ホストコンピュータ３は、測定値にデジタルフィルタを適用して三次元測定機本体２の共振特性に基づく測定誤差の影響を低減するフィルタ装置４を備える。フィルタ装置４は、三次元測定機本体２の共振特性を変化させるパラメータを取得するパラメータ取得部４１と、パラメータ取得部４１にて取得されるパラメータに基づいて、三次元測定機本体２の共振特性の変化に追従するデジタルフィルタを設計するフィルタ設計部４２と、フィルタ設計部４２にて設計されたデジタルフィルタを測定値に適用するフィルタ処理部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】機上計測を、直動軸と回転軸を含む同時多軸計測を行うようにし、機上計測装置の測定子の同一先端点で測定対象物の表面と接触して計測を行うことが可能な工作機械システムを提供すること。
【解決手段】一端に接触子を取り付けたプローブを有する機上計測装置１を用いて計測対象物の表面形状を計測する工作機械システムにおいて、前記計測対象物の表面に対して機上計測装置１のプローブ１ｂの中心軸が垂直になるようにプログラムされた計測プログラムに基づいて、球型接触子１ｆが前記計測対象物の表面に接触して倣うように前記各軸が数値制御装置により駆動制御されることを特徴とする機上計測装置にて計測対象物の形状を計測する工作機械システム。 （もっと読む）

【課題】フィードバック制御部の安定性を損なうことなく、高速応答性を向上させることができ、測定精度を向上させることができる測定機の提供。
【解決手段】表面性状測定機１は、被測定物Ｗに当接する接触子４１Ａと、被測定物Ｗの表面に倣って接触子４１Ａを移動させるセンサ駆動機構４３と、センサ駆動機構４３を制御する制御装置３と、被測定物Ｗに当接することで接触子４１Ａにかかる測定力を検出する力センサ４１とを備える。制御装置３は、測定力の目標値を出力する目標値出力部３１と、目標値に対する測定力の偏差に基づいて、センサ駆動機構４３をフィードバック制御するフィードバック制御部３２と、フィードバック制御部３２に設けられるフィードバック補償器３２２とを備える。フィードバック補償器３２２は、測定力に応じてフィードバック補償する。 （もっと読む）

【課題】任意形状の被測定面を、被測定物を回転させることなく高精度で測定可能な、形状測定装置用プローブ及び形状測定装置を提供する
【解決手段】プローブ１は、揺動部材３、取付部材４、及び連結機構５を備える。揺動部材３は、測定物２の被測定面２ａに接触するスタイラス８と、形状測定装置６が備える同一の集光レンズ２３を通って集光されるレーザ光２２ａ〜２２ｃが照射されるミラー２１ａ〜２１ｃとを備える。揺動部材３は取付部材４によって形状測定装置６に取り付けられる。連結機構５は取付部材４に固定された載置台１１と、揺動部材３又は載置台１１に固定された支点部材１２とを備える。揺動部材３は支点部材１２の先端１２ｂを支点として揺動可能である。 （もっと読む）

【課題】プローブを交換した場合や、プローブの姿勢を変更した場合であっても測定値の誤差を適切に補正することができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、プローブ２１と、プローブ２１を保持するとともに、プローブ２１を測定空間内で移動させる移動機構２２と、移動機構２２を制御するホストコンピュータとを備える。ホストコンピュータは、移動機構２２に基準のプローブを保持させたときの基準球２３１の中心位置から基点ＢまでのプローブベクトルＶ_１、及び移動機構２２にプローブ２１Ｂを保持させたときの基準球２３１の中心位置から基点ＢまでのプローブベクトルＶ_２を記憶する記憶部と、プローブベクトルＶ_１、及びプローブベクトルＶ_２に基づいて、基点Ｂの誤差を補正するための補正ベクトルＣＶを算出する補正ベクトル算出部と、補正ベクトルＣＶに基づいて、基点Ｂの誤差を補正する基点補正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】側面形状測定において形状測定プローブの先端の移動量をレーザ光と４分割フォトダイオードを用いて高精度に測定する。
【解決手段】Ｚ軸に沿って移動可能な形状測定プローブと、該形状測定プローブ内に一点で支持され先端がＸＹ方向の力により傾斜可能でかつレーザ光を反射するミラーを有するスタイラスがあり、反射するレーザ光を４分割フォトダイオードに集光して得られる電気信号出力から該スタイラスの傾斜を検知して該スタイラス先端のＸＹ方向移動量を得る３次元形状測定方法において、実測定に先んじて該電気信号出力から得られるＸＹ方向移動量（ＴＸｍ，ＴＹｍ）の生データと真のＸＹ方向移動量（ＴＸ、ＴＹ）の関係を求める参照テーブル測定工程によって参照テーブルを作成し該参照テーブルを用いて実測定した生データから補正した真のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】誤差を抑制して回転テーブルの座標系を定める形状測定装置、形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、回転テーブル５０、回転テーブル５０の表面から第１方向に距離ｈ１をもって位置する基準球６１ｂ、回転テーブル５０の表面から第１方向に距離ｈ２（ｈ２＞ｈ１）をもって位置する基準球６１ｃを備える。制御部３１は、回転テーブル５０を回転軸周りに１２０°ずつ３回にわたって回転させ、１２０°回転毎に接触子１７ａを基準球６１ｂ、６１ｃに追従させる。制御部３１は、基準球６１ｂの球心位置Ｍａ１１〜Ｍａ１３を通る円Ｃ１の中心位置Ｏ１と、基準球６１ｃの球心位置Ｍａ２１〜Ｍａ２３を通る円Ｃ２の中心位置Ｏ２を求め、各中心位置Ｏ１，Ｏ２を通る直線Ａ１をＺ_Ｔ軸として算出する。 （もっと読む）

【課題】レール移動型案内機構を軽量化する。
【解決手段】固定部材３０と、固定部材３０に対して移動することによって固定部材３０との相対的な位置をかえるスライダ３２とを備える。固定部材３０には、ガイドブロック３４が設けられ、スライダ３２にはスライダ３２の移動軸方向に沿ってガイドブロック３４より長く延設され、ガイドブロック３４と摺動するように係合するガイドレール３６を設ける。 （もっと読む）

【課題】光学素子の基準面測定と光学面測定を１つのプローブで測定する。
【解決手段】プローブハウジング４とプローブシャフト２の間に、プローブシャフト２の相対変位を測定するＸ１変位計６ａ、Ｘ２変位計６ｂ等を設け、プローブシャフト２の並進変位と回転変位を測定する。また、プローブシャフト２に対して並進力と回転力を発生させるために、ヨーク３ａ、３ｂ、磁性体３ｃ、３ｄを有するＸ力発生機構、Ｙ力発生機構を設ける。被測定物Ｗの光学面Ｗａの測定は、Ｚ変位計７の出力を用いて行い、基準面Ｗｂの測定は、Ｘ１変位計６ａ、Ｘ２変位計６ｂ等の出力を用いる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、被測定物の平面度や形状を測定するワイヤ式三次元座標測定機を提供するものである。
【解決手段】スタンド１の上部にリニアスケール４を取付けた水平アーム３を設け、このリニアスケール４上を水平に移動するリードヘッド３０の先端にワイヤ８を接続し、水平アーム３の先端に、リニアスケール４から引出されたワイヤ８が通過する回転ガイド５と、これに回動自在に接続された角度ガイド６とからなるワイヤガイド器７を設け、前記回転ガイド５に角度ガイド６の回転角度を検出する中空エンコーダ３３を設け、回転ガイド５と角度ガイド６とを回動自在に接続する軸３０に、ワイヤ８の曲がり角度を検出するエンコーダ４２を設けると共に、先端子１０の座標を演算する座標演算器を設けて、被測定物１２に接触させた先端子１０の位置座標を演算するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、自律倣い測定の高精度化と高速化との両立を実現することのできる倣い測定装置を提供することにある。
【解決手段】倣いプローブ１２による自律倣い測定中、倣いプローブ１２の現在のチップ中心位置に対し過去のチップ中心位置の軌跡情報を保持している軌跡情報保持手段４０と、該軌跡の近似直線方向を軌跡基準方向とする軌跡基準方向決定手段４２と、該方向を進行方向に決定する進行方向決定手段４４と、該進行方向に沿って倣いプローブ１２が移動するように移動手段３２を制御する移動制御手段４６と、該進行方向に基づき被測定面３０の法線方向を求める法線方向決定手段４８と、を備えたことを特徴とする倣い測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】基準球などを用いることなく、被測定物の表裏面を高精度にかつ効率的に測定できる被測定物の表裏面測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の第１測定面（表面）がプローブによって測定可能な姿勢に被測定物を設置する設置工程ＳＴ１と、この姿勢において、被測定物の輪郭形状および第１測定面を測定する第１輪郭形状測定工程ＳＴ２および第１測定面測定工程ＳＴ３と、被測定物を反転する反転工程ＳＴ４と、反転された姿勢において、被測定物の輪郭形状を測定する第２輪郭形状測定工程ＳＴ５と、第１，第２輪郭形状測定工程で得られた輪郭形状データを比較し、第２測定面において、第１測定面測定工程で測定した第１測定面の測定位置に対応する測定位置を求める測定位置算出工程ＳＴ６と、測定位置算出工程で求められた測定位置に沿って第２測定面の形状を測定する第２測定面測定工程ＳＴ７とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、使い勝手の向上を図ることのできる座標値表示装置を提供することにある。
【解決手段】固定部２２に対し異なる速度で移動可能な移動部２４の移動量を計測するための測長ユニット２６より出力されてくる移動部２４の座標値情報が複数桁の数字で表示されるディスプレイ１６と、移動部２４が閾値よりも速い速度で移動している時と該移動部２４が該閾値よりも遅い速度で移動している時とで、該ディスプレイ１６に表示される座標値情報の更新周期を変える動的表示処理手段１８と、を備えたことを特徴とする動的座標値表示装置１０。 （もっと読む）

【課題】機械構成要素を測定するのに使用する測定装置を組立てる方法を提供する。
【解決手段】本方法は、三次元座標測定機（ＣＭＭ）を準備するステップを含む。本方法はまた、超音波検査（ＵＴ）機能及びＣＭＭ機能を組合せて検査プローブを形成するステップを含む。検査プローブは、該検査プローブがＣＭＭ機能を使用して機械構成要素の外部境界を測定しかつほぼ同時にＵＴ機能を使用して該機械構成要素の内部境界を測定するようにＣＭＭ上に取付けられる。 （もっと読む）

【課題】接触式プローブ方式と非接触式プローブ方式の両方に対応し、被測定物によって簡単に切り替えることの可能な三次元形状測定装置を実現する。
【解決手段】接触式プローブ方式では、プローブ先端球１０９を被測定物１１０に接触させてＺ軸アーム１０３によって倣い走査させ、第１、第２の基準ミラー１０２、１１１とプローブ軸ターゲットミラー１１４を用いて被測定物１１０の表面形状のデータを得る。非接触式プローブ方式においては、プローブ軸１０６及びプローブ軸ターゲットミラー１１４をＺ軸アーム１０３から取り外して、第１、第２の基準ミラー１０２、１１１を用いた同じレーザ測長器によって被測定物１１０の表面形状のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】 ３次元測定機に簡単にセットすることができるとともに、３次元測定機の測定範囲を最も長い対角線長に近い測定長で高精度で測定することが可能な３次元測定機用寸法標準器を提供する。
【解決手段】 石英ガラスまたは単結晶石英によって形成されている細長い丸棒状のロッドの両端部に３次元測定機Ａ１のプローブＡ６先端を接触させる基準測定面を有する不変鋼で形成された一対の基準部材７Ｂが固定されている棒状ゲージ２と、前記棒状ゲージ２を傾斜した上面で支持する支持体３から構成されており、前記支持体３を、３次元測定機Ａ１の測定テーブルＡ２上に置かれたマスタブロックＭの上面に取り付けて３次元測定機Ａ１の指示誤差の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】工作機械で加工するための被加工物の加工基準位置を工作機械外部において精度よく測定でき、この被加工物の測定、および工作機械による加工を含めた被加工物の一連の加工・測定の作業性に優れる。
【解決手段】工作機械で被加工物を加工するときに、該被加工物を加工位置に固定して工作機械へ供給するパレットチェンジャーに付設されて、工作機械における被加工物の加工基準位置を加工前に測定する外段取りによる加工基準位置測定装置１であって、該加工基準位置測定装置１は、パレットチェンジャーに搭載されているパレットに連結固定できる支持部９と、この支持部９上に設けられる可動部２とを備え、可動部２は、加工前の被加工物の表面に接触して該被加工物の加工基準位置を測定する測定子３を有し、該測定子３は、被加工物が加工される工作機械軸に対応して直行３軸のＸ、Ｙ、Ｚ軸上を移動するとともに上記工作機械に対応した座標数値で測定する。 （もっと読む）

【課題】接触子の形状が理想的な球ではない場合であっても、測定点を正確に算出可能な形状測定装置、その形状測定方法並びに形状測定プログラムを提供する。
【解決手段】擬似測定点を取得する擬似測定点取得部２１２と、各擬似測定点から被測定物表面へと向かう大凡の方向にガイドラインを生成するガイドライン生成部２１３と、接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準点を擬似測定点に一致させると共に測定時の接触子と接触子モデルとの姿勢を一致させて接触子モデルを配置する接触子モデル配置部２１４と、各ガイドラインと各配置された接触子モデルの表面とが交わる交点を取得する交点取得部２１５と、各ガイドライン上における交点の中から擬似測定点から最も離れた交点を測定点として取得する測定点取得部２１６とを備える。 （もっと読む）

座標測定機を校正するために既知特性の基準測定対象が用意される。基準測定対象で多数の基準測定値が記録される。基準測定値と基準測定対象の既知特性とに基づいて校正データが判定され、校正データは少なくとも１つの多項式変換に基づいて非線形測定誤差を修正するように形成された第１数の多項式係数を含む。本発明の一態様によれば、第１数の多項式係数が反復法で僅かな数の第２数に減らされ、多数の対の多項式係数が形成され、一対の多項式係数の間の統計的依存度が規定された閾値よりも大きいとき、前記対の各一方の多項式係数が消去される。
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