【課題】埃等の影響を受けることなく精度を保つことができ、保護用ケーシングに囲まれている場合であっても、容易にロックの操作が可能な装置を提供する。
【解決手段】弾性伝動部材（７０ａ、７０ｂ、７２）によって、移動キャリッジ（３５）に接続されることにより、該移動キャリッジ（３５）の直線移動を行う駆動装置と、移動キャリッジ（３５）に取り付けられ、測定される部分に接触して物品形状を導くプローブと、移動キャリッジ（３５）に力が作用し、移動キャリッジ（３５）に作用した力が伝動し、該伝動した力により変形自由となることが可能な弾性伝動部材（７０ａ、７０ｂ、７２）によってロック解除状態となると共に、伝動した力が弾性伝動部材（７０ａ、７０ｂ、７２）に影響することなく伝達されることでロック状態にできる連結手段（６２、８２）とを含み、移動キャリッジ（３５）およびガイドが配置された保護区域を囲む保護ケーシングを含む。 （もっと読む）

【課題】触針を被測定物の表面形状に追従させた高精度の測定を迅速に達成することができる形状測定装置用の検出器を提供すること。
【解決手段】推力ポート２８に制御エアが供給された場合、段差部３９の応力発生面３９ａに対して制御エアが作用する。つまり、推力ポート２８からの制御エアによって、ロッド部材３に対して根元側の＋Ｚ方向に押し出す推力すなわち浮上力が与えられる。この際、ロッド部材３のワークＷに対する押圧力Ｆと、ロッド部材３の質量ｍとをバランスさせているので、ロッド部材３のワークＷ表面に対する追従性が良くなり、高精度で表面形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 プローブを昇降させるＺ軸駆動部のブレを低減して、表面形状の計測を高精度化することができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 この形状測定装置では、触針１１，２１の尖端を測定用治具ＨＤに載置した光学素子ＯＥの光学面に沿って２次元的に移動させることができる。つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。
この際、上記形状測定装置１００では、昇降機構８６に設けた昇降駆動装置８６ｃがリニアモータを備え、昇降部材８６ｂの推力発生位置ＰＰや重心位置ＧＣを基準軸線ＡＸ１に対して比較的近くに配置するので、プローブ装置１０のＺ軸方向に関する昇降運動が滑らかでヒステリシスのない高精度なものとなる。 （もっと読む）

【課題】使用者が使い易く、安価で小型化された変位計などの検出装置を提供する。
【解決手段】７セグメントＬＥＤ４２は、対象物の測定値等を表示する。バー表示部４３は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを表示する発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバー（セグメント）４３ａ、上限値表示部４３ｂ、および下限値表示部４３ｃを含む。使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値から、使用者が暗に望むある程度の分解能を予測することができる。そこで、本発明では、各バー４３ａの分解能を、（上限値−下限値）／個数により定義する。なお、上記個数とは、上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数を示す。 （もっと読む）

【課題】感度が増大される測定プローブを提供する。
【解決手段】測定プローブは、懸架モジュール（１１２）およびトランスデューサモジュール（１１０）を備える。懸架モジュールおよびトランスデューサモジュールの両者は、互いに係合可能な配置要素（１１６，１１８）を有し、かつ、互いに着脱自在に連結可能である。懸架モジュール（１１２）は、ハウジング（１１４）、スタイラス（１５０）が連結された又は連結され得るスタイラスホルダ（１４０）、および、スタイラスホルダの懸架システムであって、これによってスタイラスホルダがハウジングに対して可動である懸架システム（１４２、１４４）を含み、トランスデューサモジュールは、懸架モジュールのハウジングに対するスタイラスホルダの移動を測定する少なくとも一つのトランスデューサ（２００，２１０，２２０）を包含している。 （もっと読む）

【課題】 更なる軽量化が達成できる構成でありながら、精度の高い変位量検出を行うための変位量検出器を提供すること。
【解決手段】 プローブ装置１０に設けたロッド部材４を構成する軸状部材ＢＤがセラミック材料によって形成されており、可動部の重量を小さくしつつその強度を高めることができ、セラミック材料の選択によって低熱膨張化を図ることができる。さらに、面形状測定装置１００によれば、変位量を検出するためのＺミラー９１ａがロッド部材４の上端に直接成膜されたミラー膜ＭＦであるので、ロッド部材４の軽量化や耐久性をさらに達成することができ、ロッド部材４の製造も簡易となる。結果的に、ロッド部材４の応答精度やプローブ装置１０による変位量検出精度を高めることができるので、ワークＷの表面形状の測定精度をさらに向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であって、測定子の変位を高精度に検出する変位センサを提供する。
【解決手段】測定子２００と、測定子２００を支持するセンサ本体部３００と、を備える。センサ本体部３００は、光源４２１と、受光光学系４３０と、光束シフト手段６００と、を備える。受光光学系４３０は、光を受光して受光信号を出力する光センサ４４０と、光センサ４４０の前段に配設されたスリットプレート４５０と、を備える。光束シフト手段６００は、測定子とともに変位する反射ミラー４１０と、反射ミラー４１０と受光光学系４３０との間に配設された集光レンズ４２３と、を備える。スリットプレート４５０は、４本のスリット４５１〜４５４を有する。光センサ４４０は、４つの受光部４４１〜４４４に分割され、受光部４４１〜４４４ごとに各スリット４５１〜４５４を通過した光を受光して受光信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】小型でかつ個体間での計測精度のばらつきを低減させたプローブ駆動型変位測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】このプローブ駆動型変位測定意装置は、基板１と、この基板１に対して変位可能に形成された可動部２とを備えて構成されている。可動部２は、被検知物体の表面を倣うプローブ４と、このプローブ４の変位量を検出する第１センサ６と、プローブ４を駆動する第１電極が一体形成されており、可動部２は、第１センサと対向する位置に第２センサ９と、第１電極５と対向する位置に第２電極８とが一体形成されている。なお、第１センサ６及び第２センサ９は、プローブ４の変位量を検出するエンコーダを構成しており、第１電極５及び第２電極８は、プローブ４を駆動するアクチュエータを構成している。 （もっと読む）

【課題】微小変位を高精度に検出する変位センサを提供する。
【解決手段】測定子１１０の変位をエデンバネ機構４１１〜４４８を備えた変位拡大機構部４００によって拡大し、この拡大された変位を変位検出手段６００で検出して測定子１１０の変位量および変位方向を検出する。エデンバネ機構４１１〜４４８は、２枚の板バネ３１０、３２０を平行に近接配置した構成である。変位拡大機構部４００は、８つのエデンバネ機構４１１〜４４８を備える。８つのエデンバネ機構４１１〜４４８は、円周上に等間隔に配設されている。 （もっと読む）

【課題】迅速にかつ簡単に取扱い操作可能であり、かつ正確な測定値を確実に生じる、抵抗線ひずみゲージ式プレチスモグラフィ（ストレンゲージ式体積変動記録）に用いる体の四肢の周方向の長さ変化を測定するための装置を提供すること。
【解決手段】帯状の支持ベルトを備えた、体の四肢の周方向の長さ変化を測定するための装置において、支持ベルトを上から見た形が蛇行しており、当該支持ベルトが、縦方向に配置された短い部分と、横方向に配置された横方向部分からなり、横方向部分と短い部分が、支持ベルトを縦方向に引っ張ったときに弾性的に変形し、当該支持ベルトの長さがモジュール式の長さ要素によって決定可能であり、個々の支持ベルト要素が分離可能な継手によって相互作用しているよう構成する。 （もっと読む）

本発明は、外郭が設けられた強固CMMアーム用装置に関し、内部CMMアームと、内部CMMアームを、１つ以上の内部ボリュームが、固体対象物および流体の進入に対してシールされるように、複数の伝達手段を介して駆動する外郭を備える。本発明はまた、RCAの触覚制御にも関する。 （もっと読む）

【課題】作業効率を良好とし、測定精度も良好としたまくらぎ直角度測定をする。
【解決手段】レール間に橋架され得る本体１０と、この本体１０の一端に取り付けられレールの長手方向に亘って当接する当接爪１３を有しこの当接爪１３をレールに当接させてレールに対する本体の位置を決める基準アーム１１と、この基準アーム１１に対してレールの長手方向に沿う測定基準位置に位置決めされレール側でのまくらぎの測定基準部位に当接可能な基準尺１５と、本体１０の他端に取り付けられ他方のレールの長手方向に沿って配置される測定アーム１６と、この測定アーム１６の移動基準位置を基準として長手方向に移動可能でまくらぎの測定基準部位に対応する他方のレール側の測定部位に当接可能な測定尺１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】危険を伴うことなく短時間でクラック幅の変化がわかるとともに、構成が簡易であるクラック幅表示器を提供する。
【解決手段】
本発明のクラック幅表示器１は、表面に生じたクラックによって少なくとも第１部分１０１と第２部分１０２との２つに分かれたコンクリート構造体１００において、当該クラック幅の変化を示し、第１部分のコンクリート構造体１０１に固定される第１蓋材１１と、第２部分のコンクリート構造体１０２に固定される第２蓋材１２と、第１部分のコンクリート構造体１０１に固定される表示材２１と、を備え、クラック幅が増加すると、第１蓋材１１と第２蓋材１２とが相互に離れて、第１蓋材１１及び第２蓋材１２に覆われていた表示材２０が露出する。 （もっと読む）

測定器は、弁胴の内側ハブランド１０６と外側ランド１０４との相対位置を測定するように設計されている。位置決め面２１２は、内側ハブランド１０６に対して測定を行うように内側ハブランド１０６と係合する。プローブは、外側ランド１０４と係合するように設計されている。弁胴を回転させることによって、外側ランド１０４の全周を内側ハブランド１０６に対して測定することができる。 （もっと読む）

工作機械のような座標位置決め機械上の物体の寸法を測定するプローブは、ワークピース接触用針２０を有する。これは、針がワークピースに接触すると、出力を提供する歪ゲージ３４を含むセンサー機構３０を介して吊り下げられている。プロセッサー１６は、歪ゲージの出力を処理し、トリガー信号を発生させる。プロセッサーは、３次元Ｘ、Ｙ、Ｚでのワークピースへの接近の全ての可能性のある方向において等しい感度を保証するアルゴリズムまたは計算式あるいはルックアップテーブルにしたがってそのように行う。
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ポータブル座標測定器は、連接アーム区分材を有する多関節アームを備える。連接アーム区分材は、回転シャフトと、少なくとも２つの離間された軸受と、軸受と回転シャフトを取り囲むハウジングと、を備え、軸受のための案内溝が以下のうちの少なくとも１つによって構成される。（１）シャフトが２つの軸受のうちの少なくとも一方の内側案内溝を構成する。（２）ハウジングが２つの軸受のうちの少なくとも一方の外側案内溝を構成する。
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【課題】 単一形態のレバー部材を用いて高精度に用紙の通過を検出可能であるとともに、用紙が紙送り方向とは逆の方向から挿入された場合でもレバー部材を破損させることのない用紙検出装置を得る。
【解決手段】 紙検出器１７は、用紙搬送路に設けられるとともに、用紙搬送路を遮るように配置されて搬送される記録用紙と接触し、または、接触が解除されることによりその回動軸を中心に回動変位するレバー１５と、レバー１５の回動変位を検出する検出部１６とを備えて構成されている。レバー１５は、回動軸１５ａを中心に、用紙搬送路の上流側方向及び下流側方向の双方向に回動可能に設けられているとともに、搬送される記録用紙との接触が解除された状態における当該レバー１５の姿勢を保持する姿勢保持手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】円筒状被検査物、特に、感光体ドラム両端部の検査時に、位置決め時のセッティング誤差や回転振れにより円筒状被検物の姿勢が傾いた場合においても、円筒状被検物上の凸欠陥を確実に検出することができる装置を提供する。
【解決手段】円筒状被検査物の外周面に所定の圧力で接触し従動回転する接触ローラと、接触ローラをその回転軸が傾動可能に前記支持基部に支持する弾性体または傾動機構と、接触ローラの位置を測定する距離測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 押し込みすぎのない位置制御を実現し、しかも制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定でき、高精度測定可能な形状測定用プローブを提供する。
【解決手段】 出力ホールド回路（４９）と加算器（４５）を備え、フォーカスをかける時に、フォーカス制御回路（３９）の出力にＺ位置制御回路（３８）の出力をローパスフィルタ（４８）を通して出力ホールド回路（４９）でホールドしたものを加算したものを電流指令としてＺ駆動回路（３５）出力する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、効率的に平面度を求めることができる平面度測定方法と装置を提供する。
【解決手段】 互いに直交する方向の傾斜を検知する傾斜計１２と、傾斜計１２が取り付けられた本体１４と、本体１４の下面１４ａから突出した３点の測定子１５，１６，１７と、傾斜計１２により検知した傾斜を記憶しその傾斜の測定子間の距離から測定対象部位の変位を求めるコンピュータ等の演算手段とを備える。傾斜計１２は、傾斜により動く電極間の静電容量の変化を２方向同時に検知する。３点の測定子１５，１６，１７を測定対象面２０に載置し、測定子１５，１６，１７のうちの１点に対する他の２点の平面上での位置と傾斜を検知し、次に本体１４を移動させて、先に検知した２点のうちの少なくとも１点に測定子１６を合わせて、測定対象面２０の他の点の変位を検知する。 （もっと読む）