本発明は、座標位置決めマシンとともに使用するための測定プローブのための保管装置に関する。保管装置は、測定プローブのための少なくとも一のレセプタクルを有する。少なくとも一のレセプタクルコネクタは、レセプタクルに配置された測定プローブの少なくとも一のプローブコネクタとの電気的接続のために提供される。少なくとも一のレセプタクルコネクタは、それが、レセプタクルに配置された測定プローブのプローブコネクタから切り離されるように移動可能に構成される。
（もっと読む）

【課題】
測定ヘッドの調整を容易にし、複数台の調整であっても短時間で実施可能とする測定ヘッド調整装置を提供すること。
【解決手段】
位置合わせされた測定ヘッド１１を測定ヘッドホルダ１７に固定し、ワークホルダ１２に固定されたワークＷが、スライダ１３により測定ヘッド１１と相対的にＸ、Ｙ、Ｚ方向移動されてスライダ１３の位置決めを行い、スライダ１３が固定された後に測定ヘッドホルダ１７から測定ヘッド１１を外し、測定ヘッドホルダ１７に新たな測定ヘッド１１を固定して、固定された新たな測定ヘッド１１を調整する。 （もっと読む）

【課題】フレーム歪み誤差と並んでプローブ形状誤差をも校正できるステレオビジョンプローブシステムの包括的校正方法を提供する。
【解決手段】ステレオビジョンプローブシステム１２０は、タッチプローブ１４０に形成されたマーカパターン１５０を複数のカメラ１３０Ａ，１３０Ｂで撮影し、三角法演算を行ってタッチプローブ座標位置を測定する。包括的校正システム１００において、フレーム歪み校正は、可搬式の校正治具１６０にタッチプローブ１４０を設置して三角法演算を行う反復工程を含むが、タッチプローブ１４０のプローブ形状歪み誤差に影響されない。プローブ形状歪み校正にはフレーム歪み校正の結果が適用される。同一のプローブチップが包括的校正ルーチンの全体を通じて用いられる場合、プローブチップ校正はフレーム歪み校正により用いられる画像セットからの画像を用いる。 （もっと読む）

【課題】 高精度で面形状を測定でき、そのために短時間で加工を終了できる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】 形状を測定する被測定物の加工面に所定の接触力で接触する接触体と、この接触体を前記加工面に対して進退可能に保持する保持部と、前記被測定物を載置するステージと、予め定められた所定軌跡で相対移動させ、前記被測定物の加工面形状と前記所定軌跡とのズレを、前記接触体の前記保持部に対する所定閾値以上の前記移動量変動の有無によって検出する。 （もっと読む）

【課題】 スケール部材と受光素子との間のギャップを容易に調整することができる変位測定器を提供する。
【解決手段】 変位測定器は、本体ケース１０と、本体ケース１０に組み込まれ、軸方向に移動自在なスピンドル２０と、ガラススケール３２にスケールが描かれた構成を有し、スピンドル２０に装着されるスケール部材３０と、本体ケース１０内でスケール部材３０を挟んで対向位置に配設される投光素子４０および受光素子４１と、を含む構成である。
また変位測定器は、スケール部材３０に対し受光素子４１を近接又は離間する方向に移動させてこれらスケール部材３０と受光素子４１との間隔を微調整するギャップ調整機構５０を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来に比べて高精度に且つ簡単な手法により、ピエゾ素子への印加電圧変化に対する走査部材の昇降方向への移動量を求めることができる表面形状測定器の較正方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 Ｚステージ１１を試料表面に向けて移動させて、レーザホロスケール１２により測定した前記Ｚステージ１１の移動量と、変位検出部６により測定した前記カンチレバー５の変位量との関係を求める。次に、ピエゾ素子７に印加する電圧を変化させて、前記ピエゾ素子７に印加した電圧変化量と、前記変位検出部により測定した前記カンチレバー５の変位量との関係を求める。２つの検出結果から求められる各比率を、組み合わせることにより、ピエゾ素子７への印加電圧変化に対するカンチレバー５の昇降方向への移動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ端部形状にかかわらず、測定対象ウエハの中心点を確実に測定する方法を提供すること。
【解決手段】ウエハ１６を挿入するウエハホルダ３０は３つ以上の物理的接触要素２２を備える。ウエハは接触要素２２に物理的に接触する。接触要素は、ウエハ１６の中心点４０がその内側に入るような幾何学的形状を規定するように、ウエハホルダ３０に分散配置される。各接触要素２２の位置が測定され、所望のウエハ１６の幾何学的変数が接触要素２２の位置から計算される。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシンを構成するマイクロパーツやマイクロレンズアレイのような微細形状測定に適し、高い分解能を実現することができる接触式変位センサのスタイラス及びその製造装置並びに接触式変位センサを提供する。
【解決手段】スタイラス軸１の先端にボール２を取り付けた接触式変位センサのスタイラスであって、スタイラス軸１の先端部１ａが先端に向かって細くなる錐状であって、ボール２がガラス、カーボン、セラミックあるいは金属から成り、直径１００μmないし０．０２μmである。 （もっと読む）

【課題】 接触型３次元座標測定機と非接触型３次元座標測定機との両方の測定機用に容易に変更可能にするとともに、球体をゲージ本体側との間の応力影響がほとんど作用しないようにして保持できるようにし、振動や衝撃に対して、また、接触型３次元座標測定機用と非接触型３次元座標測定機用との変更時においても、標準値が変化する事態を極力防止して寸法安定性の向上を図る。
【解決手段】 ３次元座標測定機の定盤上に設置されるゲージ本体１と、ゲージ本体１に保持される複数の球体Ｇとを備えて構成され、球体Ｇを磁着性材料で形成するとともに、球体Ｇとして、接触型３次元座標測定機に用いられる接触型球体Ｇ（ａ）と、非接触型３次元座標測定機に用いられる非接触型球体Ｇ（ｂ）との二種類の球体Ｇを備え、ゲージ本体１に、永久磁石を備えて形成され接触型球体及び非接触型球体のうちから選択された何れかの球体Ｇを磁着保持する保持体１０を付設した。 （もっと読む）

【課題】ワーク表面にプローブ球を接触させて一定力で押しながら測定を行う形状測定装置において、プローブの倒れや曲がりによる誤差を補償する。
【解決手段】プローブ球１をワークＷに接触させて測定する形状測定装置において、プローブ２の倒れや曲がりによるプローブ球１の変位を３次元的に測定する２組のプローブ球位置測定ユニット１０を設ける。プローブ２、ハウジング８、板バネ６、支柱４等を含むプローブユニットの３次元位置を干渉計１８ａ〜１８ｃ等から求めて、その位置情報と、プローブ球位置測定ユニット１０から得られた位置情報とから、ワークＷの表面形状を表わす測定データを算出する。 （もっと読む）

一実施形態において、座標測定装置は、第１の端および第２の端をそれらの間の少なくとも第１のアームセグメントおよび第２のアームセグメントとともに有する関節付きアームを含む。さらに、装置は、第１のアームセグメントを第２のアームセグメントに接続する少なくとも１つのボールソケット継ぎ手であって、ボール部材およびソケット部材を含むボールソケット継ぎ手と、上記関節付きアームの第１の端に取り付けられる測定プローブとを含むことができる。
（もっと読む）

【課題】室式コークス炉を用いたコークス操業を通して、炉頂部の装入車の移動を妨げることなく、炭化室の炉壁変位量を連続的に、且つ精度良く測定するための炭化室の炉壁変位量の測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】炭化室１ａ，１ｂの炉頂部に石炭装入口７を覆うように配置される支持フランジ１９と、該支持フランジの開口部２８から炉内に挿入され、炉壁表面に向かって屈曲した形状を有する下端部を有する金属製プローブ１０と、該プローブ下端部先端が炉壁３表面に接触した状態で炉幅方向に揺動可能となるように該プローブ上端部を懸垂支持し、かつ前記支持フランジ上に固定するためのプローブ支持部と、前記プローブの傾動量を測定するためのプローブ傾動量検出器とからなる室式コークス炉炭化室の炉壁変位量の測定装置およびこれを用いた測定方法。 （もっと読む）

【課題】表裏を同時に共通の座標系で超高精度に測定し、非球面レンズの表裏面の傾きと偏心を超高精度に算出する。
【解決手段】ＸＹＺ座標を形成するＸＹＺ参照ミラー２、３、４と、Ｚエアスライドガイド部１１を上下で共通とすることにより、上下の測定座標系を完全に同一とした。さらに、スタイラス５の変位検出ユニットを回折格子を使って薄くし、プローブの支持を滑車と定荷重バネを使うことによりさらに薄くし、構造が単純、小型化、製作容易にした。 （もっと読む）

【課題】測定の不確かさを軽減し、測定対象物の姿勢及び変位量についての測定精度を向上させ、かつ、高速応答が可能な三次元センサを提供する。
【解決手段】光源２からの光を２分割し一方を参照光ｃ１として参照ミラー１０に照射し、他方を測定光ｃ２として測定対象物９に照射する第１のＰＢＳ３と、参照ミラー１０で反射した参照光ｃ１と測定対象物９で反射した測定光ｃ２とを２分割してそれぞれ干渉させる第２のＰＢＳ４と、一方の干渉光ｃ５を所定の測定直線１４上に導く第１の光学系５と、他方の干渉光ｃ６を光軸を法線とする平面にて９０度回転させて前記測定直線１４上に導く第２の光学系６と、測定直線１４上にて干渉光ｃ５，ｃ６を受光するラインイメージセンサ８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】長くて径小なスタイラスを有し、被測定物とスタイラスとの接触によって生じた衝撃による破損の可能性が低く、検出精度のよいタッチプローブを提供する。
【解決手段】円筒形のプローブ本体１０と、プローブ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成されるダイヤフラム１１１を備え、ダイヤフラム１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、プローブ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるタッチプローブ１。 （もっと読む）

【課題】非破壊でかつ高速に栓高さ、及び栓の状態の良否を検査することが可能な、栓詰めハニカム構造体の検査方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】ハニカム状に設けられた隔壁により区画された多数のセル２１を有する本体２２と、本体２２の両端面に開口するセル２１の開口部の一方を栓詰めする栓部２３とを有する栓詰めハニカム構造体２の栓部２３の検査方法。載置台３の基準面３１上に、検査すべき栓部２３を備えた端面を下方に向けて栓詰めハニカム構造体２を載置する載置工程と、セルの内径よりも小さい外径を有する挿入部４１を有すると共に基準長さを有する検査棒４を用い、栓詰めハニカム構造体２における検査すべき栓部２３を備えたセル２１の上方開口部から検査棒４の挿入部を挿入する検査棒挿入工程と、セル２１から突出する検査棒４の上端位置高さを測定する高さ測定工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板と偏光板との間の異物検査と偏光板の貼付位置検査とを行える検査装置を提供する。
【解決手段】矩形状のガラス基板の外周縁より所定距離をあけて偏光板がガラス基板に貼り付られている表示パネルにおける偏光板貼付位置検査手段と異物検査手段とを一体的に備え、前記異物検査手段を構成するバックライト型の検査ケースの表面開口側に、偏光板貼付位置検査手段を備えた検査台を搭載しており、前記検査台は、前記表示パネルが載置される光透過部と、載置される表示パネルの前記ガラス基板の連続する二辺を位置決めする位置決め部と、前記位置決め部に当接させたガラス基板の周縁から前記偏光板の周縁までの距離を測定する距離測定部材を設けている。 （もっと読む）

【課題】シートの透明度や色、つや、表面のザラつき等の影響を受けることなく、また、バックアップローラー使用の場合のようなベアリング精度も関係なくなり、精度良くシート厚さをオンラインにて連続的に計測でき、また、１００〜２００ｍ／分程度のシートの走行スピードでも、精度良くシート厚さを計測できるような接触式シート厚さ計を提供すること。
【解決手段】接触式シート厚さ計は、シート厚さの測定時においては固定されている耐摩耗性のバックアッププレートと、一端を固定した板バネと、板バネの反固定側先端部に取り付けられて被計測シートをバックアッププレートに対して接触してバックアッププレートとの間に被計測シートを挟み込むようにする耐摩耗性の接触子と、接触子が取り付けられた板バネの部分に間隔を置いて対峙し被計測シートの厚さの変動に応じた板バネの変位を検出する非接触型変位センサーとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でホース取り出し長さを誤差なく正確に測定する。
【解決手段】ホース取り出し開始時にセンサー１で最先端のマークＭを読み取ってからホースＨを取り出す。取り出されたホースＨの長さが測長手段２で測定されると共に、予め設定された所望のホース切断長さに対する測長手段２からの測定データが表示部４に表示され、表示を確認しながらホースＨの取り出し、所望ホース切断長さに到達した時点で、ホースＨの末端側のマークＭをセンサー１で読み取る。データ処理部３が、測長手段２からの測定データに基づきホース取り出し終了位置のマークＭを検索し、ホース取り出し開始時とホース取り出し終了時に読み込んだ両マークＭからの長さデータの差を求め、長さデータの差と、所望のホース切断長さとを比較し、両者が一致した時のみ、測定完了信号を出力して作業者に通知される。 （もっと読む）

【課題】光学素子成形用の金型や光学素子の表面形状を、接触式、あるいは非接触式のプローブによる三次元形状測定装置によって高精度に測定する。
【解決手段】接触式のプローブを用いる形状測定方法において、ステップＳ３で測定誤差を是正する補正値を予めシミュレーションにより算出し、その補正値を被測定面上にマッピングして、補正テーブルを作成する。ステップＳ４におけるプローブによる実測定の後の、ステップＳ５における測定形状解析の際に、前記補正値を用いて測定誤差を除去する。被測定物の固有差等を含む測定誤差すべてを除去することで、高精度な三次元形状測定を行うことができる。 （もっと読む）