【課題】検出精度及び分解能に優れて小型化可能な検出装置を低コストで提供する。
【解決手段】基準面に基づいて対象物の厚さ又は一定方向の移動量を検出する装置であって、一端が回転軸３に支持され、基準面又は対象物と当接可能な曲面を他端に有し、対象物の当接に伴って揺動するレバー部１と、前記回転軸３に支持され、レバー部１の揺動に応じて変位可能な変位量伝達部２とを備えるものにおいて、前記曲面が、想定範囲の対象物の当接に伴って揺動する間は基準面と直交する一つの直線Ｖ上にほぼ一致する点で対象物と当接するように加工されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出精度及び分解能に優れて小型化可能な検出装置を低コストで提供する。
【解決手段】対象物の有無、大きさ又は移動量を検出する装置１であって、光透過性樹脂からなり、対象物と当接可能な接点を有し、対象物の当接に伴って前記接点が変位するレバー部７１と、レバー部７１と同一材料にて一体成形され、レバー部７１の変位に応じて変位可能で、多数の遮光領域と透光領域とが変位方向に交互に形成されたスケール部７２と、スケール部７２に光を照射する光源６と、スケール部７２を透過した光を受光する受光器４とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は被検出物の厚さを測量することができる厚さ検出装置を提供する。
【解決手段】厚さ検出装置２０は、検出アーム２０１及び光学移動センサモジュール２０２を含む。検出アームは、被検出物Ｔ’が通過する時に当接して移動し、且つ、検出アームは、表面を有している。厚さ検出装置は、第一位置に位置する検出アームの表面と第二位置に位置する検出アームの表面をそれぞれ感知し、検出アームが第一位置から第二位置に移動した時の移動量ΔＰ’を計算し、被検出物の厚さを測量する。 （もっと読む）

【課題】測定精度を低下させることなく測定時間を短縮した三次元測定装置及び該測定装置を用いた測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の三次元測定装置１は、被測定物を撮像する撮像手段と、撮像結果から被測定物に付着した異物３の有無を検知する異物検知手段と、被測定物に測定子１６１を接触させて測定する測定手段と、検知された異物３を低減・除去する異物除去手段と、を備えている。そして、異物３検知時には測定手段での測定前に異物除去手段で異物３を除去・低減するものである。これにより、異物３の検知時間を短縮できて、全体の測定時間を短縮することができ、且つ測定子１６１を用いて測定するため被測定物を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】鉛直面及び水平面いずれについても小さい測定力による測定を可能とする。
【解決手段】三次元形状測定装置用プローブ１は、取付用部材２、揺動部３、連結機構、アーム取付部１２０、及び板バネ９Ａ，９Ｂ、及び取付用部材２を備える。アーム取付部１２０にはスタイラス１２１が下端に配置されたアーム１２２が垂下して取り付けられている。アーム取付部１２０は板バネ９Ａ，９Ｂを介して揺動部３に保持されている。揺動部３は連結機構によって水平方向に傾動可能に取付用部材２に連結されている。揺動部３の可動側磁石と取付用部材２の固定側磁石との間の磁気的吸引力によりアーム１２２が鉛直方向に延びる中立位置に揺動部３を復元させる復元力が作用する。鉛直面測定時の測定力は可動側磁石との間の固定側磁石の磁気的吸引力により得られる。水平面測定時の測定力は板バネ９Ａ，９Ｂが鉛直方向に撓むことで得られる。 （もっと読む）

【課題】大型構造物を内径測定装置の場所まで移動するのではなく、内径測定装置の方を大型構造物の場所まで容易に移動できるようにし、また、汎用性が失われないようにする。
【解決手段】当初、４本のアーム部材７は第１の姿勢となっているので、基体部４の深孔部２内部への進入は円滑に行われる。ハンドル部材８の把手部８ａを所定角度だけ所定方向に回転させると、この回転力が基体部４に内蔵されている動力伝達機構を介して４本のアーム部材７に伝達される。そして、各アーム部材７が一様に広がって第２の姿勢に切り換わるので、各先端の球形ローラ７ａが内壁に圧接した状態となる。この後、可動ロッド６Ｘ，６Ｙが突出して各接触子６Ｘａ，６Ｙａが内壁に接触し、そのときのストローク量が内径測定データとなる。 （もっと読む）

【課題】測定可動範囲を大きくでき、被測定物への測定圧力を一定に保ち、高精度な測定が可能な形状測定用プローブの提供。
【解決手段】その先端部に被測定物１３と接触する測定子３を備えて検出軸方向に移動自在に保持された可動部材１と、可動部材の検出軸方向の移動量を測長する測長手段４，５と、可動部材の移動方向と直交する方向に一様な磁界を発生させる磁力発生部７と、可動部材に配置されるとともに、磁界中に配置され、可動部材の移動方向及び磁界の方向と直交する方向に電流が流れる部分を有するアクチュエータ９と、アクチュエータに配置されるとともに、アクチュエータと電気的に接続され、可動部材の移動方向に平行な長手部分を有する導電体８ａ，８ｂと、導電体に接触する接触子１２ａ，１２ｂと、電流源１０とを備え、可動部材の検出軸方向への変位にかかわらず、接触子が、所定の力で導電体に接触する。 （もっと読む）

【課題】比較的安価で、且つ調整及び校正が不要な蛇行量検出装置を提供する。
【解決手段】回走する無端ベルトの蛇行量を検出する蛇行量検出装置であって、前記無端ベルトのベルト幅方向の移動に応じて回転するスリット円板を有し、該スリット円板の回転角度を示すデジタル信号を出力するアブソリュートエンコーダと、前記アブソリュートエンコーダから出力されるデジタル信号に基づいて前記無端ベルトのベルト幅方向の移動量を前記蛇行量として演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、短時間でフレームを計測することができる技術の提供を課題とする。
【解決手段】自動二輪車のフレーム１１を支持する、計測装置用治具１２であって、ヘッドパイプ２０を上下から把持するヘッドパイプ把持部材１６を備え、ヘッドパイプ２０の端面５９に当接する受け座６１を有する抑え部材６２と、受け座６１の当接面８１から水平に延ばした延長線８２が抑え部材６２の車幅方向の側面８４と交わる部位に設けられ、フレーム１１の側方から見ることができるターゲット６４とを備えていることを特徴とする。
【効果】ターゲット６４はヘッドパイプ２０の端面５９に対して同じ高さに配置され、このターゲット６４をフレーム１１の側方から見ることができる。フレーム１１の車幅方向側面からの計測のみで、ヘッドパイプ２０の歪みまで計測でき、計測を短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
被測定物の表面形状を簡便かつ高精度に計測可能な表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】
表面形状計測装置は、ウエハ４に塗布されたレジスト５の表面に接触してこの表面の高さ変化に応じて位置が変化する複数の非光学的検出素子１を有する高さ検出器ＡＢＰと、非光学的検出素子１に向けて測定光１０ａを発する光源１０と、非光学的検出素子１からの測定光１０ａの反射光を受光することにより非光学的検出素子１の位置を検出する光検出器９とを有し、高さ検出器ＡＢＰは、非光学的検出素子１を保持するための開口２０が形成された保持部２を備え、非光学的検出素子１は、保持部２の開口２０に固定されずに配列され、レジスト５の表面に接触することにより位置が変化する。 （もっと読む）

【課題】作業者の熟練度に左右されることなく、プローブの角度を能率的かつ高精度に調整することができるプローブのアライメント調整方法および形状測定機を提供。
【解決手段】軸部の先端に接触部を有するプローブと被測定物とを相対移動させるとともに、その相対移動方向に対して直交しかつ軸部と交差する方向からプローブの移動軌跡画像を撮像する工程ＳＴ２と、撮像されたプローブの移動軌跡画像から相対移動方向を示す基準直線Ｌ１および軸部の傾きを示すプローブ軸線Ｌ２を抽出する工程ＳＴ３と、抽出された基準直線Ｌ１に対するプローブ軸線Ｌ２の傾きを演算して求める工程ＳＴ４と、求められたプローブ軸線Ｌ２の傾きに基づいてプローブの傾きを調整する工程ＳＴ６とを備える。 （もっと読む）

【課題】２ストローク・クロスヘッドエンジンが一時的に非作動状態にある間に、シリンダライナの直径を測定する方法およびその方法で使用される直径測定装置を提供する。
【解決手段】シリンダライナの直径を測定する電子的な直径測定装置１０は、掃気ポート１０３を介して内燃エンジンのシリンダライナ１０６の内側に挿入されて測定位置に配置され、シリンダライナ１０６の内径を電子的なパラメータとして測定する。 （もっと読む）

【課題】三次元形状測定装置において、単一の位置検出器で複数の複数の測定ミラーの変位を測定可能とする。
【解決手段】互いに平行なレーザービームが偏光ビームスプリッタ２０４の偏光面Ｅの異なる位置に入射する。一方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して第１の測定ミラー４と参照ミラー６に入射する。他方のレーザービームは偏光面で２つに分岐して測定ミラー５と参照ミラー６に入射する。偏光ビームスプリッタ２０４と測定ミラー２１０，２１１の間には、測定ミラー２１０に向かうレーザービームを透過させ、測定ミラー２１１に向かうレーザービームを反射される部分反射ミラー２１４が配置されている。測定ミラー４，５と参照ミラー６で反射されたレーザービームの干渉から測定ミラー４，５の参照ミラー６に対する相対位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】軸受用ころの外径寸法を複数の周方向位置で簡単に精度よく測定できるようにすることである。
【解決手段】ころＡを円形の回転測定台１の上面に軸方向を回転中心から半径方向に向けて載置し、ころＡを回転測定台１の所定の位置で回転自在にころ支持具２で支持して、支持されたころＡを回転させながら、その軸心上での回転測定台１の上面からの高さをころ高さ変位計３によって測定することにより、軸受用ころＡの外径寸法を複数の周方向位置で簡単に精度よく測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】接触子の押し付け力を原子間力に相当する微小力（例えば３０ｍｇｆ以下）に設定でき、被測定物の傷を防止し、面粗さ等の微細な形状測定ができ、測定面のうねりに追従でき、プローブのオーバーランによる接触子等の損傷を防止できる形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物の上面に沿って移動可能なプローブ本体１０と、下端に設けられた接触子１２ａと接触子から上方に鉛直に延びる円筒形中間軸１２ｂとその上端に設けられ中間軸より最大径が大きい鍔部１２ｃとを有するスタイラス１２と、プローブ本体の下端に取り付けられスタイラス１２を鉛直にのみ移動可能にガイドするスタイラスホルダ１４と、スタイラスホルダの上面と鍔部の下面の間に挟持され鍔部を上方に付勢する円板状の自重軽減バネ１６と、プローブ本体に取り付けられ鍔部上面の変位を検出する位置検出センサ１８（レーザーセンサ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの中心座標を求めてワークの計測基準点として設定することができるワークの計測基準点設定機能を有する工作機械を提供すること。
【解決手段】加工面が直交する２つの線に対して線対称なワークを、機械座標系の軸と前記２つの線が平行となるように配置する。前記２つの線と平行な第１の線に沿ってワークの加工面上から機上計測装置のプローブの球型測定子をワーク端面に向かって相対移動させる。ワークの端面から球型測定子が離脱して後、プローブの軸方向の移動速度があらかじめ設定された所定速度になる時点の座標を記憶する（Ｓ２〜Ｓ１１）。同様に第２の線に対しても行い座標を記憶する（Ｓ１２〜Ｓ２１）。記憶された座標から、それぞれの中点を求める。求められた中点の座標はワークの中心座標であり、ワークの計測基準位置として設定できる。 （もっと読む）

【課題】可動部の回転運動を、より簡易に製作可能な構造で抑止する。
【解決手段】可動部を、測定子１を先端に固定したシャフト２、変位検出用のスリット板４、リニアガイド５、二つのローラユニット６と、これらを固定したホルダ３とより構成する。そして、測定子１及びシャフト２の測定子１側の一部がフレーム１１の外部に突出し、かつ、リニアガイド５のリニアボールベアリング５１に、フレーム１１に固定した第１ガイドポール１２が挿入され、各ローラユニット６の二つのローラ６１の間に、フレーム１１に固定した第２ガイドポール１３が挿入された形態で、可動部をフレーム１１に収容する。また、可動部のホルダ３は、バネ１５によって、測定子１側に付勢する。 （もっと読む）

【課題】一度に広範囲の被検査物表面形状を検査できる表面形状検査装置及び表面形状検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物５の表面の凹凸を増幅する凹凸形状増幅部材１と、凹凸形状増幅部材１の下面を被検査物５の表面に沿わせるように当接させる透明板２と、被検査物５の表面の検査対象部分を凹凸形状増幅部材１に対して相対的に移動させる回転機構７と、凹凸形状増幅部材１によって増幅された被検査物５の表面の凹凸を光学的に検出するカメラ３及びコンピュータ４とを有する。 （もっと読む）

【課題】形状測定装置において、低測定力を維持したまま高速にプローブを測定面に追従させることができ、高速で高精度な測定を実現できる形状測定用プローブ制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ制御モード切換スイッチ４１とＹ制御モード切換スイッチ４５とを備え、測定物の形状、または測定時のＸプローブ傾斜角度θＸとＹプローブ傾斜角度θＹとの関係により、一方の軸で位置制御を、他方の軸で傾き制御を行うようにした。 （もっと読む）