【課題】測定アームに最適な測定力を発生させる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機は、ブラケットに回転軸を支点として円弧運動可能に支持される測定アーム、測定アームの先端に設けられたスタイラス、及び、測定アームを円弧運動方向へ付勢するボイスコイルを備え、スタイラスに測定力を付与する測定アーム姿勢切替機構６０を備えるスタイラス変位検出手段２０と、制御部１００と、を具備し、制御部１００は、ヒステリシス誤差を取得するヒステリシス誤差取得手段１２４と、目標測定力を取得する目標測定力取得手段１２１と、目標測定力及びヒステリシス誤差に基づいて、測定力指令値を算出する指令値算出手段１２５と、測定力指令値に基づいてボイスコイルに電流を入力する駆動制御手段１２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧延板材の板幅を高い精度で測定できる測定装置の提供。
【解決手段】熱間圧延ラインに組み込まれて進行経路を進行してきた圧延板材１０１の板幅を測定するための測定装置１である。支持板の下方にあって進行経路と垂直に延びるように敷設された単一のスライドレール３に、進行経路を挟んだ両側に位置する一対の測定部材４０が填合している。測定部材の両側にはこれを移動せしめる第１及び第２サーボモータ手段５０が位置する。この各回転は制御出段によって制御される一方、回転トルクに対応する各電流値を検出する。ここで、制御手段６０は、サーボモータ手段を駆動させて一対の測定部材を近接移動せしめ、圧延板材の一方の側端部に当接して変化する電流値に基づいて、対応するサーボモータ手段の回転を停止させ側端部のスライドレールに対する相対位置を決定する。２つのサーボモータ手段による相対位置から板幅を測定する。 （もっと読む）

【課題】被加工物と接触する測定子先端部に研削屑が付着することを防止するとともに、測定子先端部が研削屑に接触することで発生する接触磨耗を低減する。
【解決手段】厚み測定器の測定子３０の先端中央に形成された空間３１０には第１の球体３３が収納され、第１の球体３３の外周側には第１の球体３３より小径の第２の球体３４が複数配設され、第２の球体３４により覆われていることで第１の球体３３が回転可能なベアリング構造になっており、ベアリング構造内に第１の球体３３と第２の球体３４とに水が供給されて潤滑剤の役目となる水の層３８を形成し異物浸入を防ぐことができる。そして、測定子先端部に研削屑が付着することを防止でき、測定子先端部が研削屑に接触することで発生する磨耗及び被加工物を傷つけることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】直接目盛りを当てることが難しい箇所におけるかぶり厚さをコンクリート打設前に測定することが可能な見込みかぶり厚さ測定器具を提供する。
【解決手段】所定方向に長く当該所定方向に沿って目盛りが設けられた目盛り部、及び、前記目盛り部の一方の端に設けられ、前記目盛り部とともに前記所定方向に移動して前記鉄筋に当接される鉄筋当接部、を有する移動部材と、前記所定方向に長く、前記移動部材の前記所定方向への移動をガイドするガイド部、及び、前記ガイド部の一方の端に設けられ、前記鉄筋と対向する前記型枠の内面に当接される型枠当接部、を有するガイド部材と、を備え、前記移動部材が、前記ガイド部に沿って移動されて前記鉄筋当接部が前記鉄筋に当接され、かつ、前記型枠当接部が前記内面に当接されているときの、前記ガイド部の他方の端が位置する前記目盛りにて前記見込みかぶり厚さが示される。 （もっと読む）

【目的】電動機のエアギャップ測定装置において、電動機の種類に関係なくエアギャップの偏心量および方向を精度よく計測することができるとともに、エアギャップの偏心状態のデータを基にエアギャップを調整することができる電動機のエアギャップ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】あらかじめモータ主軸とロータ外径の位置関係を測定しておき、ステータ内径測定装置によりステータの内径を測定し、また、ロータ組み込み後の主軸軸心測定装置により主軸の軸心を測定することで、測定したステータ内径と軸心の位置関係よりエアギャップを算出する電動機のエアギャップ測定装置。 （もっと読む）

【課題】種々の範囲の内径を直接測定することができる高精度且つコンパクトな内径測定装置を提供する。
【解決手段】孔の内径を測定する内径測定装置において、前記孔に挿入するヘッドを、従来技術に係る内径測定装置のようにテーパ部材の軸方向における進退移動によらず、ガイド溝を備える回転部材３の回転によって前記孔の直径方向に移動可能な複数のガイドによって構成し、これら複数のガイドの少なくとも一部の前記孔の内壁に対向する側の端部に接触子１を配設し、且つ前記複数のガイドの変位及び前記接触子１の変位から前記孔の内径を求める。 （もっと読む）

【課題】エッチングを行うことなく膜厚を簡易に測定することができる膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】膜厚測定装置は、基板Ｓ上に形成された膜Ｓ１の膜面の一部を切削して基板面を露出させる切削部１と、露出された基板面と膜面との段差を測定して前記膜の膜厚を測定する測定部とを備えた膜厚測定装置であって、切削部は、膜面を切削する刃２１が設置された刃部２０と、前記刃部２０を移動させる移動手段と、前記刃２１を基板側に押圧する押圧手段とを備え、該押圧手段により刃２１が基板Ｓ側に押圧された状態で該刃部２０を移動させて膜面の一部を切削する。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を増すことなく、最適な条件で精度の良い測定が可能な円形状特性測定方法、装置及びプログラムを提供することが可能となる。
【解決手段】円形状特性測定装置は、円形断面を有する被測定物の円形断面の輪郭形状を測定し測定データを得る形状測定機と、形状測定機で得られた測定データに対して転がり円処理及びフィルタ処理を行って得られた輪郭データに基づいて円形断面の円形状特性を算出する演算処理装置とを有する。演算処理装置は、フィルタ処理のカットオフ値、最小サンプリング点数、及び転がり円処理における円形断面の径と測定子の径の比からなる３つのパラメータのうちの１つを入力する入力装置と、３つのパラメータの関係を記憶し、入力されたパラメータから他の２つのパラメータを決定するパラメータテーブルと、最小サンプリング点数に基づいて測定データを間引き処理する間引き処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】高価な測定機を用いることなく、湾曲した被測定物の湾曲寸法や円柱や球などの被測定物の外径寸法などを高精度に測定することができる外側寸法測定機を提供する。
【解決手段】ベース１と、このベースに設けられ固定基準面１１を有する測定テーブル１０と、ベースにガイド機構２０を介して固定基準面に対して接離方向へ移動可能に設けられた可動ブロック３０と、この可動ブロックに配置され測定テーブルの固定基準面に対して対向する可動基準面４２を有する可動測定子４０と、この可動測定子の移動量を測定する測定手段８０とを備えた外側寸法測定機。可動ブロックには、可動測定子の可動基準面を測定テーブルの固定基準面に対して平行に調整するための姿勢調整手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】探針の交換を、支点を傷めずに、片手でワンタッチで行うことができる触針式表面形状測定器用の探針交換用冶具を提供する。
【解決手段】探針交換用冶具は、触針式表面形状測定器に下方から装着可能なハウジングを備え、ハウジングが測定器に装着された時に、測定器の第一支持部材２に接触して、第一支持部材２を下方から持ち上げて、支点用針５を支点支持面から離間させる押上面２６ａをハウジングに設け、ハウジングに、探針と共に測定器の第二支持部材を取り外す探針交換部材２１を上下方向に移動可能に設け、探針交換部材２１の上端に磁石２２を配置し、ハウジングを下方から測定器に装着した状態において、探針交換部材２１がハウジングに対して最上位置にある時に、磁石２２で第二支持部材の高透磁率部材１７を吸着し、そのままの状態で、探針交換部材２１を下方に下げることにより第二支持部材を第一支持部材２から取り外すように構成する。 （もっと読む）

【課題】転動部材４の転動面４Ａを触針３にて直接測定しても、高周波帯域のウェービネス等の測定を容易にし、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａの摩耗を抑制し、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａに硬い粒子等が刺さり難い転動部材の周面測定装置１を提供する。
【解決手段】本発明に係る転動部材の周面測定装置１は、周面測定時に転動部材４の転動面４Ａに直接接触する触針の先端が、ダイヤモンドからなることを特徴とする。触針３の先端３Ａの接触面３Ａ１は、転動部材の転動面と１箇所で接触する為には、平面または凸形状になっていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】穴の内面測定時に、測定アームの姿勢を切り替えても、スタイラスや被測定物を損傷することが少ない表面性状測定機を提供する。
【解決手段】揺動可能な測定アーム２４、この測定アームの先端に設けられた一対のスタイラス２６Ａ，２６Ｂ、および、測定アームの揺動量を検出する検出部２７を有するスタイラス変位検出器２０と、被測定物を載置するステージと、検出器とステージとを相対移動させる相対移動機構とを備えた表面性状測定機において、測定アームが揺動方向の一方向に付勢される姿勢および他方向に付勢される姿勢に切り替える測定アーム姿勢切替機構６０と、測定アーム姿勢切替機構によって測定アームの姿勢が切替動作された際に、測定アームの切替動作速度を予め設定された速度に制御する速度制御機構７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】樹脂基板の厚みを再現性良く測定することが可能な基板厚み測定装置及び基板厚み測定方法を提供する。
【解決手段】樹脂基板１がテーブルに搭載されていない状態で、基準棒１２の先端の平坦面１２ｆをテーブル１１に接触させると共に、接触センサ１３の先端部１３ｔをテーブル１１に接触させて、接触センサ１３とテーブル１１との接触位置を基準値として保持し、樹脂基板１がテーブル１１に搭載された状態で、基準棒１２の先端の平坦面１２ｆを樹脂基板１の上面に接触させると共に、接触センサ１３の先端部１３ｔをテーブル１１に接触させて、接触センサ１３とテーブル１１との接触位置を測定値とし、基準値と測定値との差分から樹脂基板１の厚みを求める。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する２つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、申し込み用紙、配送伝票などに代表される各種帳票、あるいは帳票の表面にカード類が貼付されたカード付き帳票の厚みを、簡易なシステムで正確に厚み検査を行うことができる厚み検査装置の提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、搬送ベルト６０の載置面６１に載置され搬送される帳票１０の所定箇所と接触する接触子３２の相対位置を検出する検出手段３０によって得られる相対位置のデータから厚みを測定し、測定結果を判定手段５０で基準となる厚みと比較し、正常品であるか否かを判定することにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】探知針の差し込み作業中でも、測定筒体に嵌挿している目盛を指示する測定体が、確実に差し込み深さ目盛を指示し、測定位置の高低にも拘らず測定作業をスムーズに処理できる下地検知具を提供する。
【解決手段】探知針ｊを出入する針孔を有する筒体ａ内に一端部が嵌挿し、他端部１７が飛出し、且内挿するコイルスプリングの付勢によって押圧される前記探知針ｊを飛出せしめる測定筒体ｄを有する下地材探知具において、前記測定筒体ｄの外周面部１３に飛出した探知針ｊの長さに比例する目盛１４を付記せしめると共に、前記測定筒体ｄに嵌挿する測定体ｋを嵌挿せしめた。 （もっと読む）