本発明は、本質的に同じ長さに整えられた、少なくとも2つの棒形プロファイル材の長さを同時に検査するための測定装置および方法に関するものである。その際、2つの互いに向かい合う測定脚（30、40）の間に、少なくとも2つの部材（20）が長手方向（L）に隣り合い、規定の方法で積み重ねられた束の状態で、保持部（10）の上に位置決めされており、両方の測定脚（30、40）の少なくともひとつに取り付けられている移動装置（90）によって、両方の測定脚間の距離が縮小される。また、両方の測定脚（30、40）の少なくともひとつは、長手方向（L）に取り付けられた、ひとつの測定脚（30、40）に対して可動な、少なくともひとつの測定ピストン（60）を有し、両方の測定脚（30、40）の距離が縮小した後で、ひとつの部材（20）の端部が厳密にひとつの測定ピストン（60）と接触し、もう一方の端部が他方の測定脚（40）と接触することを特徴とする。 （もっと読む）

高さ測定装置（１）は、垂直に移動可能な測定スライド（４）が、手動でも、クラッチ装置（１５）を介した駆動モータ（１４）を使用しても移動させることができるように取り付けられる測定コラム（３）を有する。測定スライド（４）は、駆動モータ（１４）とクラッチ装置（１５）とによって発生される一定の測定力を加工品の測定点に与える測定ヘッド（８）を有する。測定システム（１９）は、測定ヘッド（８）の高さ座標を記録し、さらなる処理および評価のために、この高さ座標を制御装置（２１）に送信する。制御装置（２１）は、測定順序を自動化するための決定論理（３３）を有する。上記決定論理は、ユーザが手動で行う特定の方向への測定ヘッド（８）の位置決めを自動的に検出し、次に、加工品を走査するために駆動モータ（１４）を適切に駆動し、そして測定システム（１９）からの信号を用いて、それぞれの測定に関連する一つまたは複数の測定値を決定する。オペレータが、所望の測定機能を独立して開始するために面でまたは孔でまたは軸で一方向にまたは逆方向に測定しようとすることを完全に自動的に検出するように、制御装置（２１）を設定し得る。
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【課題】簡単な構成で容易にかつより再現性よく力センサを位置決め可能な接触式倣いプローブシステムの提供。
【解決手段】プローブ本体２００に、コネクタ正面部２６１Ａに立設する中間閉塞部２５０と、雄ねじ部１１０が螺着される雌ねじ部２６１Ｄとを設けている。センサモジュール３００に、コネクタ正面部２６１Ａに摺接される摺接部３２２と、中間閉塞部２５０に押圧される押圧部３２１と、挿通孔部３２５とを設けている。挿通孔部３２５に、ねじ孔形成先端面部３２４側の開口における押圧部３２１側が摺接部３２２側にしたがって押圧部３２１から離れる状態に傾斜する拡開部３２５Ｂを設けている。挿通孔部３２５を、雄ねじ部１１０の太さよりも大きい孔幅に形成している。 （もっと読む）

【課題】短時間で精密に３次元形状を測定する面形状測定装置およびその方法を提供すること。
【解決手段】本発明の面形状測定装置１は，対象点の第１軸方向位置を測定するとともに，測定箇所を第１軸方向と交差する面内で走査して測定対象物の形状を測定するものであって，測定対象領域内における重点測定領域を記憶する記憶部と，対象点の第１軸方向位置の測定を，重点測定領域内では第１水準の測定点密度で行い，重点測定領域外では第１水準より低い第２水準の測定点密度で行うように，測定箇所の走査を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】触針を被測定物の表面形状に追従させた高精度の測定を迅速に達成することができる形状測定装置用の検出器を提供すること。
【解決手段】ロッド部材３は、ワークＷの表面形状に沿って±Ｚ方向に変位する。プローブ装置１０ＡのＸＹ走査に際しては、圧力作用室２７に供給する制御エアの調整により、ワークＷの表面に対する接触部３５ａの接触圧すなわち押圧力が適正値で一定となるように制御される。この際、超精密レギュレータＲ１，Ｒ２の存在によって、圧力作用室２７内の第１空気圧を０．０６ｋＰａ以下の精度で制御することができ、接触部３５ａの接触圧を約２ｍｇ程度以下の変動量に抑えることができる。つまり、接触圧の変動に起因するワークＷの変形の変動が１ｎｍ以下となり、ワークＷの変形による測定誤差が１ｎｍ以下を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】触針を被測定物の表面形状に追従させた高精度の測定を迅速に達成することができる形状測定装置用の検出器を提供すること。
【解決手段】推力ポート２８に制御エアが供給された場合、段差部３９の応力発生面３９ａに対して制御エアが作用する。つまり、推力ポート２８からの制御エアによって、ロッド部材３に対して根元側の＋Ｚ方向に押し出す推力すなわち浮上力が与えられる。この際、ロッド部材３のワークＷに対する押圧力Ｆと、ロッド部材３の質量ｍとをバランスさせているので、ロッド部材３のワークＷ表面に対する追従性が良くなり、高精度で表面形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】周囲温度の変化に対しても、設定した一定の測定力で測定を行うことができ、その結果、高精度化、使い勝手向上および信頼性向上が図れる表面性状測定装置および表面性状測定方法を提供。
【解決手段】スタイラス、加振素子４、検出素子５を有するセンサ１と、これを被測定物に対して相対移動させる駆動用アクチュエータ１１と、設定周波数の加振信号を発振し出力する発振器３４と、発振器からの加振信号の振幅を設定ゲインに応じて補正してセンサの加振素子に与える第１可変アンプ３５と、制御手段３１とを備える。制御手段は、検出素子からの検出信号を検出し、検出信号の振幅が最大となる周波数に発振器の設定周波数を補正する周波数補正手段と、この周波数補正手段によって新たに設定された新設定周波数と旧設定周波数との差に応じて第１可変アンプ３５の設定ゲインを調整する加振用ゲイン調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】プローブ先端の洗浄を容易に実行可能とし、使い勝手の向上、信頼性の向上を図った表面性状測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】接触子１７ａを先端に有するプローブ１７の末端は、スピンドル１６にピエゾ素子１８を介して固定されている。このピエゾ素子１８には、加振回路４４により所定の振幅及び周期を有する交流電圧Ｓが印加可能とされている。交流電圧Ｓを印加することにより、ピエゾ素子１８は、周期的に変形し、プローブ１７の位置を周期的に変化させることが可能である。すなわち、プローブ１７は、加振回路４４により、振動を加えられる。この振動した状態にある接触子１７ａを洗浄液が入れられた容器に挿入して洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 測定期間中に得られた可動部の変位量に基づいて検出信号を生成する際の検出精度を向上させた変位検出装置を提供する。特に、ヘッドユニットを退避位置に移動させても可動部が復帰しない不具合が生じた場合に、その不具合を検知することができる変位検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物に接触させた可動部２１の変位量を測定期間中に測定し、検査対象物が非測定期間中に交換される変位検出装置であって、可動部２１を挿抜可能に保持するホルダー２５と、可動部２１を検査対象物側へ付勢するスプリング２８と、ホルダー２５に対する可動部２１の変位量を検出する変位量算出回路１と、測定期間中に得られた変位量の検出値に基づいて、検出信号を生成する検出信号生成部２と、変位量の検出値を閾値と比較し、非測定期間中に可動部２１の変位量が閾値を越えて変化しなかった場合に、エラー信号を出力させるエラー処理部３により構成される。 （もっと読む）

【課題】対象箇所に生じ得る傷付きを防止することができる形状測定機を提供する。
【解決手段】測定機本体２３にエアシリンダ６１を固定し、シリンダ６２の作動軸６３を測定子３２と逆側へ延出する。作動軸６３にダンパー６４を介してＬ字ブラケット６５を固定し、Ｌ字ブラケット６５を連結板２２に固定する。エアシリンダ６１から延出した作動軸６３とＬ字ブラケット６５と連結板２２と支持アーム２１とによって作動軸６３の作動力を測定子３２に伝達する折返し形状の伝達路を形成し、測定子３２をカムシャフトのカム面に付勢できるように構成する。エアシリンダ６１を、エア圧の逃げを許容するノンシール型のエアシリンダで構成し、エアシリンダ６１の連通穴と作動軸６３間の僅かな間隙からエアが排出されるよう構成する。 （もっと読む）

【課題】オーバーピン径の計測を自動化するとともに、計測誤差を抑制し、装置の信頼性を向上させることができるオーバーピン径計測装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの外周面に形成されたスプラインの相対する歯溝に対するオーバーピン径を計測するオーバーピン径計測装置において、先端に測定プローブ７ａ、７ｂが固定されたアーム部材８ａ８ｂと、測定プローブ７ａ、７ｂに取り付けられて支持され、ワークＷのスプラインの相対する歯溝に挿通して当接可能とされるとともに、その当接時に歯溝の幅方向に対する動作が許容される当接部２０ａとを具備したものである。 （もっと読む）

【課題】 触針を簡易に支持することができ表面形状の計測を高精度化することができる変位量検出器等を提供すること。
【解決手段】 エア供給源Ｐから推力ポート２８を介して圧力作用室２７に供給される制御エアによって、ロッド部材３に対して鉛直方向上方すなわち＋Ｚ方向に任意の浮上力（推力）が付与される。この際、ロッド部材３は、コイルバネ６に吊るされた状態で、その自重を一部相殺する付勢力で持ち上げられる。結果的に、ロッド部材３は、シリンダブロック２内でほとんど浮いた状態で−Ｚ方向にわずかに付勢された状態となる。この状態で、ワークＷの表面にロッド部材３の下端に設けた接触部３５ａを接触させ、プローブ装置１０ＡをワークＷに対してＸＹ面内で相対的に走査させることにより、ロッド部材３は、ワークＷの表面形状に沿って±Ｚ方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】 プローブを昇降させるＺ軸駆動部のブレを低減して、表面形状の計測を高精度化することができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 この形状測定装置では、触針１１，２１の尖端を測定用治具ＨＤに載置した光学素子ＯＥの光学面に沿って２次元的に移動させることができる。つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。
この際、上記形状測定装置１００では、昇降機構８６に設けた昇降駆動装置８６ｃがリニアモータを備え、昇降部材８６ｂの推力発生位置ＰＰや重心位置ＧＣを基準軸線ＡＸ１に対して比較的近くに配置するので、プローブ装置１０のＺ軸方向に関する昇降運動が滑らかでヒステリシスのない高精度なものとなる。 （もっと読む）

【課題】すきまゲージが測定時に落下するのを防止する。
【解決手段】円環状のリングゲージ１１にその一部を切断した開閉部１２を設け、この開閉部１２の対向位置のリングゲージ１１内周面にぬすみ部１３を形成し、前記リングゲージ１１の外周面にぬすみ溝１８を全周に形成し、前記ぬすみ部１３をリングゲージ１１の径方向外向きに延びてぬすみ溝１８に至った後、両側に延びるＴ字状に形成し、リングゲージ１１をその開閉部１２を開いて変形させた際に、リングゲージ１１のぬすみ部１３の外側部分にかかる応力を分散させることにより、リングゲージ１１のクランプ力を、すきまゲージ１０の自重による落下防止に必要なクランプ力以上にして、すきまゲージ１０の落下を防止する。 （もっと読む）

【課題】従来のプランジャ測定軸を有する接触式位置センサでは全長が構造上長くなる欠点があったが本願発明では全長を短く、かつ動作点の精度向上をはかったセンサを提供する。
【解決手段】プランジャ軸を絶縁材とし、軸受けとのはめあい部の中央付近に直交して固定した可動接点は、その先端部で固定接点と接触させ、コイルばねをプランジャ軸の内径に挿入させることでセンサの短縮化を図った。また、軸受のはめあい隙間による傾きが動作点の繰返し精度に与える誤差を少なくし、固定接点は動かなくしたので、高精度化と故障の原因を減らすことができた。 （もっと読む）

【課題】被測定物表面に対する負荷が小さい接触プローブを提供する。
【解決手段】被測定物表面に当接する接触部３１２を先端に有する測定子３１０と、測定子３１０の変位を検出する検出センサと、測定子３１０の軸方向とは略直交して配置された弾性体のプレートであって測定子３１０の基端側を支持する支持プレート４２０と、測定子３１０を変位させるスタイラス変位手段４４０と、を備える。スタイラス変位手段４４０は、支持プレート４２０に応力を付与してそれぞれの点における支持プレート４２０の弾性変形量を変化させるアクチュエータ４４１〜４４３を備えている。 （もっと読む）

【課題】感度が増大される測定プローブを提供する。
【解決手段】測定プローブは、懸架モジュール（１１２）およびトランスデューサモジュール（１１０）を備える。懸架モジュールおよびトランスデューサモジュールの両者は、互いに係合可能な配置要素（１１６，１１８）を有し、かつ、互いに着脱自在に連結可能である。懸架モジュール（１１２）は、ハウジング（１１４）、スタイラス（１５０）が連結された又は連結され得るスタイラスホルダ（１４０）、および、スタイラスホルダの懸架システムであって、これによってスタイラスホルダがハウジングに対して可動である懸架システム（１４２、１４４）を含み、トランスデューサモジュールは、懸架モジュールのハウジングに対するスタイラスホルダの移動を測定する少なくとも一つのトランスデューサ（２００，２１０，２２０）を包含している。 （もっと読む）

【課題】測定位置にかかわりなく一定圧の安定した微小接触圧を創成でき、それにより、傾斜部分でも誤差の少ない正確な精密測定を実現することができ、しかも構造が簡単で安価に実施できる極低測定圧接触式測長装置を提供する。
【解決手段】被測定物に測定端子を接触させて測長する形式の測定装置において、測定端子を並進させるための駆動シリンダを有し、かつ、前記駆動シリンダが、微小圧力創成用のために内部に吹き込まれる駆動用気体の一部を流出させる気体流出機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】 光学素子を確実に固定することによって高精度の形状測定を可能にし、好ましくは、光学素子を表裏の両面から計測することができる光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 この光学素子測定用治具１０において、３つの球面部３０と、３つの当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとは、光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに沿って等間隔で互い違いに配置されている。この結果、球面部３０と当接部材５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃとの干渉を防止しつつ両者を効率的に配置でき、基板２０上に光学素子ＯＥを安定した状態で固定することができる。つまり、球面部３０や光学素子ＯＥの光学面の計測を確実に行うことができ、その作業性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）