【課題】基準信号の整数倍次の高調波に起因して位相検波処理で生じるドリフトを抑制できる基板観察装置を提供する。
【解決手段】基板観察装置３１は、方形波の基準信号を出力する基準信号源６１と、基準信号源からの方形波を正弦波に変換するための第１のフィルタ回路６３と、第１のフィルタ回路を経た正弦波を基板に対して出力する励磁部４１と、基板からの検出信号を受ける検出部４３と、基準信号と基板からの検出信号とを掛け合わせる位相検波回路７７と、位相研磨回路の後段に接続された第２のフィルタ回路７９と、検出部４３と位相検波回路７７との間に設けられ、検出信号から、基準信号の整数倍次の高調波を除去する第３のフィルタ回路７３とを備える。第３のフィルタ回路７３は、基準信号の３次の高調波を除去してよい。 （もっと読む）

【課題】流体潤滑状態では静電容量計測により潤滑油の油膜の膜厚を正確に計測し得且つ境界潤滑状態では電気抵抗計測によりシリンダライナに対するピストンリングの接触状態の評価を行い得る膜厚・接触状態計測方法及び装置を提供する。
【解決手段】膜厚・接触状態演算評価器１３において、クランク回転角度検出器１４からの計測トリガー信号１４ａが入力される一定クランク回転角度毎に、通常は切換指令信号１３ａにより切換器９を静電容量計測回路１０側へ切り換えて静電容量計測回路１０による計測値に基づき流体潤滑状態にある油膜の膜厚を求める一方、ピストンリング５がセンサ電極８の埋設箇所を通過中の膜厚が設定値以下になった場合、切換指令信号１３ａにより切換器９を電気抵抗計測回路１１側へ切り換えて電気抵抗計測回路１１による計測値に基づき境界潤滑状態にあるシリンダライナ３に対するピストンリング５の接触状態の評価を行うよう構成する。 （もっと読む）

【課題】比較的構造が簡単でメンテナンスが容易な装置を用いて、精度よくシートのたるみを評価すること。
【解決手段】空間を移送されるシート１の表面にタッチローラー２を押し当て、該タッチローラーの変位量を測定することにより、タッチローラーを押し当てた位置におけるシートのたるみを評価する。 （もっと読む）

【課題】屈曲方向が互いに異なる、複数態様の基材の屈曲変形をそれぞれ検出することが可能な、屈曲検出装置を提供すること。
【解決手段】入力装置１４は、可撓性を有するシート状の基材２０と、基材２０の表面の異なる領域にそれぞれ配置され、基材２０の屈曲変形を検出する２つの屈曲検出部２１，２２とを備えている。各々の屈曲検出部２１，２２は、基材２０の表面に設けられた圧電層２３と、圧電層２３の一方の面においてそれぞれ一方向に沿って延在するとともに、互いに導通した複数の第１電極２４と、同じく圧電層２３の一方の面において、それぞれ複数の第１電極２４と平行に延在するとともに互いに導通し、複数の第１電極２４と互い違いに配置された複数の第２電極２５とを有する。さらに、２つの屈曲検出部２１，２２の間で、電極の延在方向が互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】渦電流によるジュール熱損を極小に抑えるとともに、研磨終了時点を精度よく予測・検出し、また除去すべき残膜量及び研磨レート等をその場で精度よく算出して、所定の導電性膜が適正に除去されているかを正確に評価しうる研磨終了時点の予測・検出方法とその装置並びにリアルタイム膜厚モニタ方法とその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、所定の導電性膜２８に高周波インダクタ型センサにおけるインダクタ３６を近接させ、該インダクタ３６で形成される磁束により所定の導電性膜２８に誘起される磁束変化をモニタし、研磨中の膜厚が所定の導電性膜２８の材質を一因子として決まる表皮深さに対応する膜厚になった場合の磁束変化を基に研磨終了時点を予測するための磁束変化部分を検出し、該磁束変化部分から研磨終了時点を予測し、またその場で研磨レート及び除去すべき残りの膜厚量を算出する方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際のプローブによるジャム発生防止及びプローブ破損防止性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】Ｓ字型プローブ１５ａの固定端部を取り付けるネジ穴１５ｃ”と、ネジ穴１５ｃ”に取り付けられたＳ字型プローブ１５ａが回転軸１５ｅに回転可能となるよう固定する軸受け部１５”と、Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部の左右側面に所定の距離を隔てて設けられるプローブ先端保護リブ（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ）とを有し、Ｓ字型プローブ１５ａを保持するプローブ先端保護リブ付きプローブホルダー１８を備え、Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部は、走査方向の側面から見たとき、プローブ先端保護リブ（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ）からシート材７の側に所定の長さ露出しシート材７の表面に当接する。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤセンサを用いた場合と比べて、安価構成で対象物の位置を検出することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】所定方向に並ぶように複数のパターンＰが導電性部材により形成された基板６２を、検出対象とする記録用紙Ｓが搬送される搬送経路４０に、前記所定方向が当該対象物の搬送方向と交差し、かつ搬送される記録用紙Ｓが少なくとも１つのパターンＰ上を通過するように配置し、複数のパターンＰの静電容量を個別に検出し、記録用紙Ｓが搬送経路４０を搬送された際に検出された静電容量に基づいて所定方向に対する当該記録用紙Ｓの位置を特定する。 （もっと読む）

特定の長さにわたる任意の位置に対する範囲内での機械的な操作を測定できる３次元のフレキシブルな記録ユニットを改良する本発明の課題は、この記録ユニットが、ケーブル状に構成されていて且つ３次元の延在部分の全体にわたって１つの外側のフレキシブルな保護カバー及び２つの導体から構成され、当該保護カバー及び導体は、互いに同軸に配置されていて、前記一方の導体は、前記他方の導体をその全長にわたって包囲し、これらの導体のうちの１つの導体が、接地電極として使用され、その他方の導体は、電気抵抗として構成されていて且つ１つの電圧勾配を有し、当該２つの導体を静止状態中に互いに電気絶縁し、外部からの機械的な力の作用時に、これらの２つの導体間の一点接触又は面接触を可能にする誘電体が、これらの２つの導体間に存在し、押圧力ベクトルの方向に前記記録ユニットを操作することによって起動された電圧変化又は抵抗変化を算定するために適した測定値検出部及び評価ユニットが設けられていることによって解決される。
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【課題】渦電流によるジュール熱損を極小に抑えるとともに、研磨終了時点を精度よく予測・検出し、また除去すべき残膜量及び研磨レート等をその場で精度よく算出して、所定の導電性膜が適正に除去されているかを正確に評価しうる研磨終了時点の予測・検出方法とその装置並びにリアルタイム膜厚モニタ方法とその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、所定の導電性膜２８に高周波インダクタ型センサにおけるインダクタ３６を近接させ、該インダクタ３６で形成される磁束により所定の導電性膜２８に誘起される磁束変化をモニタし、研磨中の膜厚が所定の導電性膜２８の材質を一因子として決まる表皮深さに対応する膜厚になった場合の磁束変化を基に膜厚基準点を検出し、該膜厚基準点から研磨終了時点を予測し、またその場で研磨レート及び除去すべき残りの膜厚量を算出する方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】既存製品への後付けを可能とするほど小型且つ高耐久性を有しつつ、高価な測定器と同等以上の検知精度を装置内部で低コストに実現できるシート厚識別装置を提供する。
【解決手段】シート厚識別装置１００は、固定ローラ１８と変位ローラ２０のニップ部ＲＮにシート材を挟持させて搬送するシート材搬送ローラ対７ｅと、変位ローラ２０の軸方向の少なくとも片側端部に、変位ローラ２０の変位量測定用の変位部材２２ｂを備えた変位部材付き軸受け２２ａと、変位部材２２ｂに非接触にて対向配置され、固定ローラ１８を保持する固定ローラ保持部材１８ｄに変位センサホルダー２２ｄを介して固定される変位センサ２２ｅと、を有し、シート材搬送ローラ対７ｅで挟持搬送されるシート材の厚さを変位部材付き軸受け２２ａの変位量として変位センサ２２ｅで非接触により検知して識別する。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置の給紙トレイのように、位置検出面において均一の検知精度を必要としない場合において、位置検出装置の制御や製造が複雑化せず、かつ製造コスト増を伴わずに、必要に応じて高精度の位置検出を行うことができる技術を提供することである。
【解決手段】位置検出装置における位置検出領域には、ループコイル１１が区域に応じて異なった配置間隔で並設されるセンサ基板１０が備えられている。 （もっと読む）

【課題】トナーマークの形成などにトナーを消費することもなく、容易かつ確実に感光体ドラムの偏心等の距離を測定することの可能な距離センサ及びこれを備えた画像形成装置の提供。
【解決手段】表面電位センサ１２は、シールドケース５及びチョッパ２と接続された端子Ｅが、切替スイッチ９によって接地端子Ｆと端子Ｂと接続された端子Ｇと切替可能となっている。従って、切替スイッチ９を端子ＥとＧが接続された場合には、フィードバック制御を加えた交流変換型表面電位センサとなって、感光体ドラム１１の真の表面電位Ｖｅを測定し、切替スイッチ９を切り替えて端子ＥとＦを接続したときには、電極３は距離検出用の検知電極として作用して、感光体ドラム１１の偏芯量及び偏芯位相を測定する距離センサとして作動する。 （もっと読む）

【課題】シーリングテープが包装材料の適正な位置に接合され、良好な縦シールを有する包装充填容器を得ることができる包装充填装置を提供する。
【解決手段】帯状包装積層材料１の縁部１ａにシーリングテープ２を接合し、帯状包装積層材料を筒状に成形して形成される縦シール部のシーリングテープ２を重ね接合し、内容物を充填して横シールし、筒状包装積層材料を切断分離して容器に包装充填する装置であって、搬送される帯状包装積層材料から一定の距離を置いて、センサヘッド面がシーリングテープ２が接合された帯状包装積層材料の縁部１ａを被う第１渦電流式変位センサ１６と、センサヘッド面が帯状包装積層材料の中央を被う第２渦電流式変位センサ１７と、第１渦電流式変位センサ１６と第２渦電流式変位センサ１７からの信号に基づいて、帯状包装積層材料の縁部の位置を計測する位置計測手段１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】雨水貯留槽自体の建設コストの増加を抑制しつつ、遮水シートにおける損傷の有無及び位置を簡単に検出する。
【解決手段】遮水シート２０を介して地中に埋設された雨水貯留槽１０において、遮水シート２０の外側に面電極３８を設置するとともに、遮水シート２０の内側に雨水を介して通電用電極１３４と複数の測定電極１３２とを設置し、通電用電極１３４と面電極１３２との間に交流電流を印加して、複数箇所で交流電流と測定電極１３２，１３２間の電位差との位相差を測定し、この位相差の変化を調べて遮水シート２０の損傷位置を特定する。 （もっと読む）

本発明は、検査対象の導電性基材（５０）上に形成された導電性被膜の膜厚の決定方法に関する。先ず、空気中での渦電流センサの誘起電圧（Ｕ（Ｌｕｆｔ，ω））が励磁器磁界の周波数（ω）の関数として検出される。それぞれ検査対象の基材（５０）および被膜（５２）と同じ材料からなる基材および被膜を含む複数の被覆された基準対象が準備される。基準対象は異なる既知の膜厚を有する。各基準対象についての基準電圧（Ｕ（ｘ，ｗ））が励磁器磁界の周波数（ω）の関数として渦電流センサにより検出される。引続いて、各基準対象について、周波数（ω）の関数としての基準電圧（Ｕ（ｘ，ｗ））および空気中での渦電流センサの誘起電圧（Ｕ（Ｌｕｆｔ，ω））から、材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））が求められる。その後、各基準対象について、材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））の正規化された振幅が形成される。これから、被膜（５２）の膜厚（ｄ₁）の関数として材料誘起電圧（Ｕ_mat（ｘ））の正規化された振幅を表示する較正曲線が作成される。正規化された振幅が同じようにして検査対象についても求められるこれから、検査対象の被膜（５２）の膜厚（ｄ₁）が較正曲線により決定される。
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【課題】半導体基板上に形成されるごく薄い導電性膜から比較的厚い導電性膜まで正確に膜厚等の検出を行いながら該導電性膜を研磨する研磨方法を提供する。
【解決手段】基準ウエハのインピーダンスを渦電流センサ１０で計測することで、渦電流センサ１０のインピーダンスと、センサコイルに供給すべき交流電流の周波数と、膜厚との関係を較正し、渦電流センサ１０は、センサコイルに一定周波数の交流電流を供給して研磨対象物上の導電性膜に渦電流を形成し、センサコイルの両端子から見た導電性膜を含めたインピーダンスを計測し、研磨対象物上の導電性膜を含めたインピーダンスの変化から、導電性膜の膜厚変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】シート抵抗が大きくなると│V_x│はシート抵抗の逆数に比例して小さくなるはずが、測定すると、あるシート抵抗値以上では変化しなくり、│V_x│の測定値から算出できない。
【解決手段】参照コイルと検出コイルが直列に接続された回路と、２個の基準抵抗が直列に接続されたインダクタンスブリッジを用い、測定対象物の表面に形成された導電膜の近傍の所定の位置に配置可能に構成され、参照コイルよりも検出コイルを導電膜に近接した位置に配置可能であり、導電膜に対して所定の渦電流を発生させ且つ当該渦電流による磁界を検出する渦電流コイルセンサで、導電膜からの磁界を検出するとき渦電流を発生させるための直列回路に印加された電圧に対して参照信号の位相合わせをする手段を有し、導電膜のシ−ト抵抗値がマイクロメ−トルオ−ダの膜厚に対応する高抵抗値を測定できるように、ブリッジの出力の抵抗成分のみを測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】測定環境の影響を受けることなく、簡易かつ迅速に、導電性膜の膜厚測定等を行うことができる渦電流センサを提供する。
【解決手段】導電性膜または導電性膜が形成される基板の近傍に配置されるセンサコイルと、該センサコイルに交流信号を供給して上記導電性膜に渦電流を形成する信号源と、上記導電性膜に形成された渦電流を上記センサコイルから見たインピーダンスとして検出する検出回路と、を備えた渦電流センサであって、上記インピーダンスの抵抗成分とリアクタンス成分とを直交座標軸上に表示し、上記インピーダンスの座標と指定された中心点の座標とを結ぶ直線の成す角度から上記導電性膜の膜厚を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】載置部に載置された画像の原稿若しくは印刷用紙となるシートの検出を行う際に、簡単な構成で精度が高く、経年変化等の恐れのない検出を行う。
【解決手段】位置規制手段１Ｌ、１Ｒに直結されたラック２Ｌに電磁誘導方式の位置指示器１０が固定される。位置指示器１０に近接する位置には、電磁誘導方式の送受信手段となる複数のループコイルからなるループコイル群２１を含むセンサ回路基板２０が設けられる。さらにループコイルの各端部が選択回路２２に接続され、これらのループコイルが順次選択されることにより走査されて駆動されるように構成される。そして送信時には、信号発生回路３１で発生される特定周波数の信号が選択回路２２で選択されているループコイル群２１内のループコイルに特定周波数の信号が供給され、受信時には選択回路２２で選択されたループコイルで受信された信号がアンプ３３を介して取り出される。 （もっと読む）

【課題】オフラインで断裁される金属性支持体上に合紙が堆積されているシート形状物のシート形状測定方法において、直角度を簡便に測定する測定方法を提供する。
【解決手段】金属性支持体上に合紙が堆積されているシート形状物のシート形状測定方法において、直線上に２本以上の導電性のガイドピンをスライドガイドとして配置し、かつ該直線に直交する直線上に２本以上の可動性かつ導電性の押当てピンを配置した台上で、該シート形状物を該スライドガイドに沿わせてスライドさせ、該可動性押当てピンに接触させて、該ガイドピンと押当てピンの全てのピンで電気的導通が取れたときの可動性押当てピンの移動量から直角度を検出することを特徴とするシート形状測定方法。 （もっと読む）