【課題】 フレネルレンズを用いてテレセントリック光学系を構成するにしても、測定物体の外形を正しく検査することができる外形検査装置を提供する。
【解決手段】 フレネルレンズ１１に平行光が通過すると、環状溝部で分割されて分割平行光となる。フレネルレンズ１１の焦点には凸レンズ１４の後側主点が位置している。フレネルレンズ１１からの分割平行光は、凸レンズ１４を直線的に通過するものの、凸レンズ１４の焦点位置で集光し、反転した状態でイメージセンサ１３上に結像する。従って、イメージセンサ１３上に結像する分割平行光が隣り合う分割平行光と重ならず連続するようにイメージセンサ１３を位置決めすると、測定物体Ａをイメージセンサ１３上に正しく結像させることができる。 （もっと読む）

透明基板の寸法変化を測定する方法は、基準プレート上に基準マーカーのアレイを形成する工程、透明基板上に基板マーカーのアレイを形成する工程、基準マーカーと基板マーカーが重なるように基準プレートと透明基板を積み重ねる工程、透明基板の処理の前後に基準マーカーの座標に対する基板マーカーの座標を測定する工程及び、透明基板の処理の前後の測定された基板マーカーの相対座標の間の差から透明基板の寸法変化を決定する工程を含む。
（もっと読む）

【課題】 ラフアライメントにおけるアライメントマークの座標測定の精度が低い場合であっても、アライメントマークの座標を測定できる座標の測定方法を提供する。
【解決手段】 アライメントマークを低倍率のモードで撮影するステップと、撮影された画像からアライメントマークの位置を概算するステップと、概算したアライメントマークの位置情報に基づいて基板上に座標原点を設定するステップと、設定された座標原点に基づいてアライメントマークを高倍率モードで撮影するステップと、高倍率モードで撮影された画像からアライメントマークの位置を検出するステップと、検出されたアライメントマークの位置情報に基づいて基板上に座標原点を再設定するステップと、再設定された座標原点に基づいてアライメントマークを高倍率モードで再撮影するステップと、高倍率モードで再撮影された画像からアライメントマークの位置を検出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 光測長器で円筒面など一方向に曲率を有する曲面の変位測定を行う場合に、被測定面に存在する微細な凹凸の影響を受けずに、精度よく測定を行うことができるようにする。
【解決手段】 レーザー光源１から出射するビームのスポット径を変更するスポット径調整手段を備えている。したがって、干渉計２から出射され、対物レンズ光学系４により集光される集光ビームは、被測定物体５の表面に大きさ可変な集光スポットＰとして照射される。これにより、集光スポットＰの大きさを集光スポットＰが被測定物体を走査する際に横断する傷等（符号Ｑ）に対し十分大きく設定することで、変位測定信号の乱れを排除できる。 （もっと読む）

【課題】レーザ距離計を用いて形鋼の断面形状や寸法を測定する形鋼の寸法測定方法において、安価に精度の高い形鋼の寸法測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】レーザ距離計走行方向に対して垂直に設置した校正片上をレーザ距離計で走査し、リニアリティー校正データおよび／または傾斜角度校正データに基づいて、形鋼の寸法測定データを補正する。 （もっと読む）

【課題】従来検査していた穴に加えて同一径の穴が繋がるようにして形成された長穴も検査する。
【解決手段】基板に形成される穴の直径（ｄ）と中心座標とを記述した加工データと、基板を撮像することによって得られる穴の撮像データと、に基づいて、基板に形成された穴を検査する穴の検査方法において、加工データに基づいて、基板に形成される全ての穴（H_１，H_２，H_３）を穴径（ｄ）毎にグループ分けし、それぞれのグループ毎に、互いに繋がる穴（H_２，H_３）が存在するか否かを判別する処理を実行することによって得られる互いに繋がる穴（H_２，H_３）に関するデータと、基板を撮像することによって得られる同一径（ｄ）の穴が繋がるようにして形成された長穴の撮像データと、に基づいて、基板に形成された長穴を検査する。 （もっと読む）

【課題】 被検査物の表面における欠陥を、より確実に検査する欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 被検査物の表面における欠陥を検査する欠陥検査方法は、光源からの光を被検査物の表面に照射し、該被検査物の表面からの反射光を受光手段で受光するステップと、該受光手段からの信号を演算装置で処理して、該被検査物の表面における欠陥の大きさ及び該欠陥の位置を算出するステップと、算出された該欠陥の位置に基づいて該欠陥の深さを測定する測定装置を移動させ、該測定装置を用いて該欠陥の深さを測定するステップと、算出された該欠陥の大きさ及び測定された該欠陥の深さをそれぞれ所定の閾値と比較するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート部材の長さ寸法をより簡易かつ正確に測定することができ、また測定した長さ寸法のデータを容易かつ迅速に記録、管理する。
【解決手段】
各端面１２,１３の各測定点１９,２０につきそれぞれ先端に球状物２１が固着された棒体２２からなる指標１５,１６を突設し、各指標１５,１６を複数の撮像装置２によりそれぞれ撮影範囲に含めて互いに異なる撮影方向から撮像することにより測定用画像を生成し、生成した複数の測定用画像に写し出された指標における球状物の画像位置をそれぞれ特定し、特定した上記球状物の画像位置と、予め測定された上記棒体の突設角度方向並びにその長さとに基づき、測定点１９,２０の座標を求め、求めた各測定点１９,２０の座標に基づいてコンクリート部材１１の端面１２,１３間の長さ寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】圧着端子の位置計測処理における縦方向位置の計測において、縦方向計測ラインＷ３，Ｗ４の始点は、何らかの理由でハイライト部が細くなった場合にはハイライト部に縦方向計測ラインが乗らずに縦方向位置計測ができない。
【解決手段】横方向計測ラインＷ１，Ｗ２を発生して計測したハイライト部との交点（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２），…（Ｘ７，Ｙ７），（Ｘ８，Ｙ８）についてＷ３，Ｗ４用の始点座標（ＸＷ３，ＹＷ３），（ＸＷ４，ＹＷ４），（ＸＷ３‘，ＹＷ３’），（ＸＷ４‘，ＹＷ４’）を用い、ＸＷ３＝Ｘ１＋Ｘ２／２、ＹＷ３＝Ｙ１＋Ｙ２／２、ＸＷ３’＝Ｘ５＋Ｘ６／２、ＹＷ３’＝Ｙ５＋Ｙ６／２のように計算する。 （もっと読む）

【課題】 悪環境下でもローラテーブル上を搬送される鋼板の平面形状を自動的且つ高精度に計測可能な、鋼板の平面形状測定方法および装置を提供する。
【解決手段】 ローラテーブル１上を搬送される鋼板２の搬送方向と直交する方向の鋼板２の幅を測定する幅計３と、鋼板２の搬送方向の長さを測定する、レーザドップラー速度計４Ａ、４Ｂを用いた第１測長計４と、鋼板２の搬送方向の長さを測定する、搬送テーブルロール９に取り付けられたＰＬＧを用いた第２測長計５と、第１測長計４および第２測長計５による鋼板２の長さ測定値の何れかを選択する判定器６と、幅計３による鋼板２の幅測定値と判定器６により選択された鋼板２の長さ測定値とに基づいて、鋼板２の平面形状を計測する平面形状計７とを備え、判定器６は、レーザドップラー速度計４Ａ、４Ｂによる鋼板速度が異常値である場合に、第２測長計５による鋼板２の長さ測定値を選択する。 （もっと読む）

【課題】 被検査面に特定パターンの検査光を照射する照明部と、照射された被検査面を撮像する撮像部とからなる撮像ユニット、被検査面を撮像ユニットに対して相対移動させる搬送機構、及び、得られた撮像画像に基づいて被検査面の欠陥を検知する欠陥検知手段を備えている表面検査装置を、比較的大きな寸法の欠陥でも欠陥として捕え易いように改良する。
【解決手段】 欠陥検知手段が、撮像画像における孤立した高輝度領域を欠陥候補と判定する孤立点抽出部を備え、検査光の所定パターンが、所定寸法の暗部Ｄと、暗部Ｄを外周から包囲する明部Ｌとからなる単位発光面Ｕを相対移動の方向と交差する方向に多数隣接配置した発光面列ＦＲと、発光面列と平行に連続的に延びた列状暗部ＤＲとを有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 シーラーの塗布品質の管理を正確に行う。
【解決手段】 レーザー投光機１８によって、ウインドガラス１２上に塗布されたシーラー１６に対し、塗布ガン１４と平行な方向からレーザースリット光Ｌを照射し、シーラー１６の断面形状を、レーザースリット光の線形状として視認可能とする。制御手段２４において、レーザースリット光の照射軸に対する傾斜角の小さいカメラ２０で撮影した画像に基づき、画像内でのワーク表面座標及びシーラー１６の幅を検出する。また、カメラ２０で撮影した画像に基づき検出された画像内でのワーク表面座標と、レーザースリット光の照射軸に対して傾斜角の大きいカメラ２２で撮影した画像とに基づき、シーラー１６の高さを検出する。よって、シーラー１６の断面形状を正確に把握し、シーラー１６の塗布高さとシーラーの塗布幅を正確に求めることができる。
（もっと読む）

【課題】ピクセル単位の厳密な位置合わせを行う必要がなく、光学的なずれや機械的なずれが存在していた場合でも虚報を生じさせないようにする。
【解決手段】予め基準対象物１０のピクセル毎に、許容輝度幅と、そのピクセル位置を中心として検査対象物１１の対応するピクセルを探索する探索距離を記憶しておき、まず、基準対象物１０のピクセル位置に対応する検査対象物１１のピクセル位置を中心とする第一の探索距離内に第一の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定する。今度は逆に、その検査対象物１１のピクセル位置に対応する基準対象物１０のピクセル位置を中心とする第二の探索距離内に、検査対象物１１の輝度に対する第二の許容輝度幅内のピクセルが存在するか否かを判定し、各探索距離内に許容輝度幅内のピクセルが存在している場合に、基準対象物１０の位置に対応するピクセルを良ピクセルとする。 （もっと読む）

【課題】 被測定物を高い精度で測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 寸法測定装置１００は、被測定物としてのスペーサ１を測定する測定器１０，２０，３０を備える。測定器１０，２０，３０はスペーサ１の中心軸Ｚに垂直な同一平面上において異なる測定方向からスペーサ１を測定し、スペーサ１の投影寸法である測定値を取得する。取得した３つの測定値からスペーサ１の幅ｈ及び厚みｔを演算する。 （もっと読む）

合金成分又は合金種別ごとに迅速な分別が可能な金属および合金の分別方法および分別システムを提供することを目的とする。本発明の合金分別方法は、合金種別不明の金属又は合金から成る分別試料に、その表面の一部に高エネルギービームを照射して溶融させて冷却することにより溶融痕を形成し、該溶融痕及び／又はその周辺部の形態に基づいて識別し、分別する。本発明の分別方法によれば、常に高い精度で合金を分別でき、迅速な分別が可能である。本発明の分別システムは、分別試料の金属表面に所定出力で所定時間に高エネルギービームを照射する照射装置と、照射後に金属表面の溶融痕とその周辺部の画像を撮影する撮像装置と、画像データを表示する表示装置と、を含む。本発明の分別システムは、上記の分別方法を実現するので、合金種別を、容易かつ迅速に分別でき、さらに分別精度を高く保つことができる。
（もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのオブジェクト（２８、５６、６８）の特性を記録するための方法に関する。本発明によれば、ａ）オブジェクト（２８、５６、６８）による影響を受けた光放射が、画像センサ（６）に供給され、ｂ）ピクセル（２６）からなる少なくとも２つの異なる部分画像（３２、３４、３６、４８、７８、９０、９４、Ｔ_１、Ｔ_２）が、画像センサから連続して読み出されて（Ａ_１１、Ａ_１２、Ａ_１３、Ａ_２１）、ピクセル（２６）に割り当てられた値が、評価ユニット（１０）に供給され、ｃ）部分画像（３２、３４、３６、４８、７８、９０、９４、Ｔ_１、Ｔ_２）に割り当てられた値から、オブジェクトのそれぞれの特性（Ｅ_１１、Ｅ_１２、Ｅ_１３、Ｅ_２１）が決定され、ｄ）部分画像（３２、３４、３６、４８、７８、９０、９４、Ｔ_１、Ｔ_２）が組み合わされて全体画像（３８）が形成され、さらなる処理のために出力される。
（もっと読む）

【課題】額の溝部位を再現性良く撮影した上で、溝を簡易に定量的に評価して、治療や化粧の前後で比較検証可能なデータを得る。
【解決手段】顔の全景画像を取得して、顔面の特徴点Ｐ、Ｐ１、Ｐ２、Ｑを自動認識し、該特徴点に基づいて測定範囲５１０、５２０、５３０、５４０を自動設定し、設定された測定範囲内で顔面溝の形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】 複数の測定対象を同時に測定するのに要する測定時間を短縮すること。
【解決手段】 ヘッド２０、２２の移動先を示す測定ポイントを設定し、設定された測定ポイントの座標を基にＹ軸駆動部２６を駆動してヘッド２０、２２全体を測定ポイント近傍まで移動させ、そのあと、ヘッド２０、２２に搭載されたカメラの撮像による画像を処理し、その処理結果を基に、ヘッド２０、２２をそれぞれ非同期でＸ軸用フレーム１２に沿って移動させるとともに、Ｙ１Ｓ軸またはＹ２Ｓ軸に沿って微動させて、各ヘッド２０、２２を測定ポイントに位置決めし、ヘッド２０、２２に搭載されたカメラ５４の撮像による画像をＰＣ３０で処理して、測定テーブル１８上のフラットパネル４２のパターンの微小寸法を測定する。 （もっと読む）

サイズおよび形状の３次元測定のため、および鉱物および岩石小片ならびに同様の物体の組成解析のための機器および方法。鉱物や岩石などの、同じまたは異なるサイズの小片または物体の混合物が、個別かつ自動的にコンベヤ・ベルト上に供給され、レーザおよび２つのカメラを使用する３次元機械視測定を行い、続いて可視光および赤外光を使用する分光測定を行い、次いで、コンベヤの端部で集められる。コンピュータ・ソフトウェアを使用して、組み込まれた測定プロセスまたはユーザ特有の方法に従って、測定を自動的に実行し、個々の各物体のサイズ、形状、丸み、また、好ましくは岩石組成および他の特性や関連する特性の統計分布を計算する。
（もっと読む）

【課題】 フィルム中に分散する粒子の種々の分散特性を正確に検査することができるフィルムの検査装置を提供する
【解決手段】 粒子が分散された光透過性フィルムの一面側に配される光源（照明200）と、このフィルムの他面側に配されて前記フィルムの透過画像を取得する受像手段（カメラ100）を有する。また、受像手段で得た原画像から微細粒子を顕在化させて微細粒子顕在画像を作成する微細粒子顕在化手段350と、原画像から粗大粒子を顕在化させて粗大粒子顕在画像を作成する粗大粒子顕在化手段360とを有する。そして、微細粒子顕在画像と粗大粒子顕在画像から検査画像を作成する検査画像作成手段370と、検査画像中の粒子の特性を演算する特性演算手段380とを有する。 （もっと読む）