【課題】印刷物の位置ずれや伸縮などに起因する検査画像中の不均一な幾何学的歪みに対して位置補正を行う、高精度かつ高速な印刷物検査方法及び印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】基準画像と検査画像を用いて第一の位置補正を行った後に、検出された欠陥候補に対してその周辺部を探索し、幾何学的歪みに起因した誤検知の可能性が高いと判定された欠陥候補に対しては、第二の位置補正を行い真の欠陥であるかを判定することを特徴とする印刷物検査方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るセラミックシート（但し、固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートを除く）の検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定物の見かけの形状をできるだけ歪ませることなく形状計測できると共に、長い物や連続的に移動する物であっても形状計測できる高速三次元計測装置を提供する。
【解決手段】高速三次元計測装置は、被測定物の上に、一つの方向に沿って光強度が周期的に変化する縞状パターン光を照射するパターン光源と、前記被測定物からの前記縞状パターン光の反射光を前記一つの方向に沿ったラインについて一組の光信号として取り込むラインカメラと、取り込んだ一組の前記光信号について、前記縞状パターン光との関係に基づいて前記被測定物の高さを算出する計測部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】トナーパタンの位置およびトナー濃度の少なくとも一方を検出する反射型光学センサを実現する。
【解決手段】半導体発光素子ＥｉとフォトダイオードＤｉを、半導体発光素子の発光軸とフォトダイオードの受光軸とが平行となるようにし、発光軸および受光軸が間隔：Ｌとなるように相互に近接して配置一体化した一体型発光受光素子と、半導体発光素子から担持媒体２０４０表面に照射される光束に、収束作用を及ぼす照明用集光レンズＬＥｉとを有し、照明用集光レンズは光軸を発光軸と平行にしてフォトダイオード側へシフトし、半導体発光素子から発光軸上に放射される光線が、照明用集光レンズにより屈折されて、発光軸に直交する担持媒体表面に入射角：Θをもって斜め入射し、担持媒体表面により正反射されてフォトダイオードの受光部の中心部に入射するように半導体発光素子とフォトダイオードと照明用集光レンズとの位置関係が調整され、間隔：Ｌが１ｍｍ程度より小さく、入射角：Θが１０度より小さくなるように設定されている反射型光学センサ。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートの検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査効率を向上させる光学検査装置を提供する。
【解決手段】支持ユニット１００には検査対象物１０が載置される。第１照明ユニット４００は、短波長を有する第１光を生成して検査対象物１０に向けて照射する。撮像ユニット２００は、第１光が照射される検査対象物１０を撮像する。これと共に、光学検査装置１０００は、短波長の光を照射して検査対象物１０を撮像するので、検査対象物１０に形成された透明パターンの不良検査が可能である。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造であり、簡易な方法で紙の検知が可能な紙検知センサおよび紙検知方法を提供する。
【解決手段】紙検知センサは、紙検知エリアにフォトレジスタ１１ａ、１１ｂが配置されており、前記フォトレジスタ１１ａ、１１ｂの抵抗値の変化にもとづいて紙の有無を検知する手段を備えた紙検知センサにおいて、前記紙検知エリアの幅が、前記紙が前記紙検知エリアに進入する時に占有する幅以上であり、前記紙検知エリア内の、あらかじめ決められた一つの基準位置より、前記紙の進入方向に対しほぼ垂直方向の一方の端部に渡って、第１のフォトレジスタ１１ａが配置されており、前記基準位置より、前記紙の進入方向に対しほぼ垂直方向の他方の端部に渡って、前記第１のフォトレジスタ１１ａとは独立して、第２のフォトレジスタ１１ｂが配置されている。 （もっと読む）

【課題】干渉膜厚計１００において、検査ワークの光反射率測定時に都度必要であった付随計測（特に校正サンプルの計測）を省略可能にして、測定時間の短縮や装置構成の簡単化を促進する。
【解決手段】ヘッド４の内部に光反射率一定の内部反射機構８を配置するとともに、該内部反射機構８で反射した光が、光検出器２で受光されるように構成しておき、光が実質的に導入されていない状態での光検出器２の出力値と、光を実質的に反射しないダークサンプルを用いたときの前記光検出器２の出力値と、光反射率が既知の校正サンプルを用いたときの光検出器２の出力値と、測定対象である検査ワークを用いたときの光検出器２の出力値とに基づいて、前記検査ワークの光反射率を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】コンベア上を移動中するシート類を、精度良く寸法測定する装置を、安価で小型なものを提供する。
【解決手段】コンベア上に２台のカメラを配置し、コンベア上を搬送するシート類寸がカメラ直下に到達したときに初回の撮影を行い、被測定部材が離脱したときに２回目の撮影を行う。２台のカメラ間隔測定データと、初回から２回目の撮影の間のシート類移動量計測データと、４つの画像データを演算することにより、シート類の移動方向寸法、幅寸法およびシート類の角度計測可能にした。 （もっと読む）

【課題】 膜厚を測定するフィルムに光を照射し、その反射光または透過光のスペクトルからパワースペクトルを求めて膜厚を算出する膜厚測定装置では、ポリプロピレンやポリエチレン等ヘイズが大きい材質ではかけ離れた測定値が頻繁に得られるので測定が困難であり、またフィルムの傾きやしわによって測定値のばらつきが大きくなるので、オンライン膜厚計として用いることが困難であったという課題を解決する。
【解決手段】 パワースペクトルのピーク高さ、ピーク面積、反射率などの測定品質を算出し、この測定品質と閾値を比較して測定の有効、無効を判断して、有効なときのみ膜厚測定値を外部に出力するようにした。かけ離れた測定値を除去することができるので、測定の信頼性が高まり、また従来測定が困難であったポリエチレン等の膜厚が測定できる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面に設けられた透光部材を介して被測定物の変位を測定する場合であっても高精度に測定することができる変位計の測定方法の提供。
【解決手段】変位計１は、被測定物としての半導体ウェハ２に向かって光を射出するとともに、半導体ウェハ２にて反射される光を受光することで半導体ウェハ２の変位を測定するものである。半導体ウェハ２の表面には、透光性を有する平面状のダイシングテープ３が設けられている。変位計１にて半導体ウェハ２の変位を測定する場合には、まず、ダイシングテープ３の屈折率と略同一の屈折率を有する液体４を、ダイシングテープ３の表面に塗布する。そして、液体４、及びダイシングテープ３を介して半導体ウェハ２の変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】軟包装材フィルムのパッケージの表面状態を高感度で検査することができ、シールの部特定とシール幅不良のある箇所の検出が精度良くかつ高速でできるような包装体のシール幅測定装置の提供を課題とする。
【解決手段】被検査物である包装袋を保持して搬送する搬送手段と、被検査物に線状光を照射する光源と、被検査物上の前記光源からの線状光が照射された領域を撮像する撮像手段と、前記撮像手段が撮像した画像を記憶する記憶手段と、前記記憶手段により記憶された画像に対して画像処理を行い被検査物の表面状態を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする包装袋のシール幅測定装置。 （もっと読む）

軸Ｙ及びＺと共に空間の正規直交座標を定める軸Ｘの実質的に平面の軌道に沿って移動する基体（１）のＸＹ平面に対して実質的に平行な表面（２）に対するトポグラフィ装置であって、装置は、基体（１）の移動中に表面（２）のトポグラフィを測定するために表面（２）によって後方散乱される照明を測定するための手段（２０）と協動することができる表面（２）の構造化照明のための手段（１０）を含み、構造化照明のための手段（１０）は、表面（２）上に入射角「ａ」で光ビーム（Ｆ）を投影し、そこに各光筋（Ｓ）がＸ軸と角度「ｂ」を構成する複数の「ｎ」本の光筋（Ｓ１，Ｓ２．．．Ｓｎ）を形成することができ、この装置において、測定手段（２０）は、平面ＸＹ及び平面ＸＺと交差する平面Ｐに位置する線形カメラで構成され、平面Ｐと平面ＸＹとの交差は、Ｙ軸との角度「ｃ」を形成し、平面ＰとＸＺ平面との交差は、Ｚ軸との角度「ｅ」を形成し、この装置において、入射角「ａ」は、３０°と７０°の間にあり、角度「ｂ」は、−４５°と＋４５°の間にあり、角度「ｃ」は、−３０°と＋３０°の間にあり、角度「ｅ」は、−４５°と＋４５°の間にある。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 移動体ＲＳＴのＹ軸方向の位置情報を、干渉計１６ｙと、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ（（２４Ａ，２６Ａ₁）、（２４Ｂ，２６Ｂ₁））とを用いて計測し、その計測結果に基づいてエンコーダの計測値を補正する補正情報を取得するための所定の較正動作を実行する。これにより、干渉計の計測値を用いて、その干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダの計測値を補正する補正情報が取得される。そして、エンコーダの計測値と前記補正情報とに基づいて、移動体をＹ軸方向に精度良く駆動する。 （もっと読む）

【課題】 用紙に接して回転するロールの回転量から用紙の長さを精度よく測定するシート長測定装置を提供する。
【解決手段】 搬送路を搬送される用紙１５０に接触して回転する測長ロール１０１ａと、測長ロール１０１ａの上流側と、下流側とにそれぞれ設けられ、搬送路を搬送される用紙１５０の位置を検出する上流側エッジセンサ１１０ａと下流側エッジセンサ１１１ａと、上流側エッジセンサ１１０ａと測長ロール１０１ａとの間に設けた上流側搬送ロール１２０ａと、下流側エッジセンサ１１１ａと測長ロール１０１ａとの間に設けた下流側搬送ロール１３０ａと、上流側エッジセンサ１１０ａと下流側エッジセンサ１１１ａとで用紙１５０を検出している期間を測定期間として、測長ロール１０１ａの回転量を検出するロータリエンコーダ１０３ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は被検出物の厚さを測量することができる厚さ検出装置を提供する。
【解決手段】厚さ検出装置２０は、検出アーム２０１及び光学移動センサモジュール２０２を含む。検出アームは、被検出物Ｔ’が通過する時に当接して移動し、且つ、検出アームは、表面を有している。厚さ検出装置は、第一位置に位置する検出アームの表面と第二位置に位置する検出アームの表面をそれぞれ感知し、検出アームが第一位置から第二位置に移動した時の移動量ΔＰ’を計算し、被検出物の厚さを測量する。 （もっと読む）

【課題】従来技術に比べて欠陥位置へのマーキング精度を飛躍的に向上することで歩留りを下げることなく、かつ、微小欠陥そのものにマーキングすることで目視検査の工数を削減できるフィルム用欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法を提供すること。
【解決手段】本発明のフィルム用欠陥マーキング装置は、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの欠陥部分の幅方向のズレである蛇行量を検出する第１の検出手段１６，２８と、検査エリア３７で欠陥が検出されてからマーキングエリア３８でマーキングが施されるまでの前記欠陥部分の搬送距離を検出する第２の検出手段１７，２１，２３，２９と、第１及び第２の検出手段に基づいてマーキングエリア３８における欠陥部分の座標を補正してマーキング位置を決定する手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、安定して像担持体のホームポジションを検出可能な画像形成装置を提供すること。
【解決手段】最表面薄膜層３ｂが、厚みが比較的厚い厚膜領域３１および厚みが比較的薄い薄膜領域３２を有し、厚膜領域の厚みｄ_１（ｎｍ）および薄膜領域の厚みｄ_２（ｎｍ）が関係式；５０ｎｍ≦ｄ_１−ｄ_２≦９５０ｎｍ；２０ｎｍ≦ｄ_２＜ｄ_１≦１０００ｎｍ；を満たす像担持体３、および光センサ２０を備えた画像形成装置であって、像担持体のｄ_１およびｄ_２が、発光センサからの光に対する像担持体外周面の反射率Ｒと像担持体の最表面薄膜層の厚みｄ（ｎｍ）との関係を表す反射率関数Ｒ（ｄ）について、関係式；｜Ｒ（ｄ_１）−Ｒ（ｄ_２）｜≧０．５×｛Ｒ_ｍａｘ（ｄ）−Ｒ_ｍｉｎ（ｄ）｝をさらに満たす画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】光の透過性を有する基板の面位置を高精度に検出できること。
【解決手段】 基板の表面で反射された光を検出し、その検出結果に基づいて表面の面位置を検出する面位置検出装置である。その面位置検出装置は、基板の裏面を保持する保持部と、該保持部に対して凹状に形成された凹部とを有する保持装置と、基板の屈折率と同等の屈折率を有する流体を凹部に供給する流体供給装置と、凹部の上方の基板の表面に光を照射する照射装置と、を備える。 （もっと読む）